JPS5964559U - 表面欠陥検査装置 - Google Patents
表面欠陥検査装置Info
- Publication number
- JPS5964559U JPS5964559U JP15885182U JP15885182U JPS5964559U JP S5964559 U JPS5964559 U JP S5964559U JP 15885182 U JP15885182 U JP 15885182U JP 15885182 U JP15885182 U JP 15885182U JP S5964559 U JPS5964559 U JP S5964559U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- defect inspection
- surface defect
- inspection equipment
- determining
- reflected light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims description 4
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 2
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案になる表面欠陥検査装置の一実施例の正
面図、第２図は上記装置龜より検査される被検査部材の
観測領域及び測定領域を示す図、第３図Ａ、 Ｂは夫々
上記装置による検査状況を被検査部材の位置変化を伴な
い示す側面図、第４図Ａ、 Ｂは夫々上記検査状況を示
す拡大正面部分図及び平面図である。 １・・・・・・ロッド、１Ｃ・・・・・・浅打痕、２・
・・・・・回転装置、３・・・・・・ＩＴＶカメラ、４
・・・・・・観測領域、５・・・・・・画像メモリ、６
・・・・・・データ処理判定装置、７・・・・・・照明
装置、８・・・・・・平面鏡、１０・・・・・・光量検
出器、１１−１，１１２・・・・・・測定領域。
面図、第２図は上記装置龜より検査される被検査部材の
観測領域及び測定領域を示す図、第３図Ａ、 Ｂは夫々
上記装置による検査状況を被検査部材の位置変化を伴な
い示す側面図、第４図Ａ、 Ｂは夫々上記検査状況を示
す拡大正面部分図及び平面図である。 １・・・・・・ロッド、１Ｃ・・・・・・浅打痕、２・
・・・・・回転装置、３・・・・・・ＩＴＶカメラ、４
・・・・・・観測領域、５・・・・・・画像メモリ、６
・・・・・・データ処理判定装置、７・・・・・・照明
装置、８・・・・・・平面鏡、１０・・・・・・光量検
出器、１１−１，１１２・・・・・・測定領域。
Claims (1)
- 被検査部材の鏡面状表面を照明する照明手段と、該表面
の浅灯痕等により反射された反射光を検出する反射光量
検出手段と、該反射光量検出手段における反射光量が一
定値より大なるとき上記浅打痕等の欠陥があると判定す
る判定手段とより構成してなる表面欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15885182U JPS5964559U (ja) | 1982-10-20 | 1982-10-20 | 表面欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15885182U JPS5964559U (ja) | 1982-10-20 | 1982-10-20 | 表面欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5964559U true JPS5964559U (ja) | 1984-04-28 |
Family
ID=30349840
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15885182U Pending JPS5964559U (ja) | 1982-10-20 | 1982-10-20 | 表面欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5964559U (ja) |
-
1982
- 1982-10-20 JP JP15885182U patent/JPS5964559U/ja active Pending
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