JPS60188364U - 表面欠陥検査装置 - Google Patents

表面欠陥検査装置

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JPS60188364U
JPS60188364U JP7580684U JP7580684U JPS60188364U JP S60188364 U JPS60188364 U JP S60188364U JP 7580684 U JP7580684 U JP 7580684U JP 7580684 U JP7580684 U JP 7580684U JP S60188364 U JPS60188364 U JP S60188364U
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JP
Japan
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inspection device
surface defect
defect inspection
sensitivity
inspection equipment
Prior art date
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Pending
Application number
JP7580684U
Other languages
English (en)
Inventor
恵司 井上
城戸　寿之
英俊 石垣
Original Assignee
エヌオーケー株式会社
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Publication date
Application filed by エヌオーケー株式会社 filed Critical エヌオーケー株式会社
Priority to JP7580684U priority Critical patent/JPS60188364U/ja
Publication of JPS60188364U publication Critical patent/JPS60188364U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は表面欠陥検査装置の概略説明図、第２図Ａおよ
びＢは従来装置と本考案装置のカメラの、視野の相違を
示す説明図、第３図は被体査物がベルトコンベア上を移
送されるものである場合７本考案装置ありメラの視野を
示す説明図、第４図Ａ　、　、は本考案の一実施例に係
る被検査物へこｔｕ＝対するカメラの視野を示子正面図
、第４図Ｂ、Ｃ，Ｄは電気偕号のレベル図、第５図は前
記第４図Ａに対する左側面図と検査装置の概略説明図、
第６図は欠陥検出部の構造説明図である。 １・・・撮像素子、２，１３・・・欠陥検出部、３・・
・搬送部、４・・・ベルトコイベア、５．１５・・・感
度マー　　　□゛′り、１１・・・−次元ラインカメラ
、」２：・・検査部口、−ラ、１４・・・マーキング部
、１６・・・表示部、１７　　”・・・欠陥検出処理部
、１８．２０・・・マスク、１９・・−欠陥判定部、２
１・・・感度確認部、ａ・・・被検査物、Ｓ・・・視野
、Ｓ′・・・検出惑竺確一部分・　　　　　　■　。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. テレビカメラ等′の撮像素子を用いて被検査物からの反
    射光量を測定する非接触光学式表面検査装置において、
    前記撮像素子の視野の一部分で大きさを弊段階に変えた
    感度マークを撮影し、該感度゛　マークを定時的に検出
    し、その検出信号により当該検査装置の検出感度を確認
    する機能を有することを特徴とす゛る表面欠陥検査装置
    。
JP7580684U 1984-05-25 1984-05-25 表面欠陥検査装置 Pending JPS60188364U (ja)

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JPS60188364U true JPS60188364U (ja) 1985-12-13

Family

ID=30617364

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JP7580684U Pending JPS60188364U (ja) 1984-05-25 1984-05-25 表面欠陥検査装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020091219A (ja) * 2018-12-06 2020-06-11 大日本印刷株式会社 検査性能診断装置、検査性能診断方法、検査性能診断装置用のプログラム、および、検査性能診断システム

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5658645A (en) * 1979-10-19 1981-05-21 Tdk Corp Flaw detecting device
JPS56162037A (en) * 1980-05-19 1981-12-12 Nec Corp Detection for foreign matter on surface

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