JPS58160342U - 表面欠陥検査装置 - Google Patents

表面欠陥検査装置

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JPS58160342U
JPS58160342U JP5753482U JP5753482U JPS58160342U JP S58160342 U JPS58160342 U JP S58160342U JP 5753482 U JP5753482 U JP 5753482U JP 5753482 U JP5753482 U JP 5753482U JP S58160342 U JPS58160342 U JP S58160342U
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JP
Japan
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defect inspection
calculating
reflected light
surface defect
inspected
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JP5753482U
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JPH0247491Y2 (ja
Inventor
斉藤　哲雄
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トキコ株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図及び第２図は夫々本考案になる表面欠陥検査装置
の１実施例の側面図及び平面図、第３図は上記装置の要
部の正面図、第４図は上記装置により検査される被検査
部材の観測領域及び測定領域を示す図、第５図Ａ、　Ｂ
は夫々上記装置による検査状況を被検査部材の位置変化
を伴ない示す図、第６図は上記被検査部材の測定領域毎
の最明部数及び明部数の変化を、異なる反射条件下で示
す図、第７図及び第８図は夫々上記表面欠陥検査装置の
他の実施例の全体平面図及びその要部の一部切截側面図
、第９図は上記装置の電流供給ユニットの下面図である
。 １．４１・・・表面欠陥検査装置、２，５〜８゜１１〜
１４．４８，６７．７０．７２・・・アクチュエータ、
４．４４・・・ロッド、９．１０・・・下レール、１５
．１６・・・上レール、２１．６８・・・ＩＴＶカメラ
、２２．６９・・・照明装置、２５〜２７．　４２・・
・コン叉ヤ、２８．６１・・・コンピュータ、２９・・
・観測領域、３（ｈ、３０゜・・・測定領域、３１・・
・画像メモリ、３２・・・データ処理判定装置、４３・
・・ロッド収納袋、４６・・・検査ユニット、４９・・
田−タ、５０・・・コイル、５１ａ、５１ｂ、６４．６
５−・・電極、５３−・・パルスモータ、６２・・・電
流供給ユニット、６３・・・絶縁円板、６６・・・直流
電源。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　被検査部材の表面を照明する照明手段と、該表面よ
    りの反射光を入射され該表面を撮像する撮像手段と、該
    表面の測定領域を画成してなる複数の区画を少なくとも
    二種の明るさを別に比較識別する比較手段と、該二種の
    明るさの区画個数を夫々求めその比率を演算する演算手
    段と、同一の該測定領域より該撮像手段への反射光の条
    件が異なる二煎様において夫々上記演算手段により演算
    された二個の比率が共に一定値より大なるとき該被検査
    部材の表面に欠陥があると判定する判定手段とより構成
    してなる表面欠陥検査装置。 ２　上記照明手段と撮像手段とは互いに一体構成であり
    、該照明手段及び撮像手段と該被検査部材とのうち少な
    くとも一方を他方に対し相対的に変位駆動せしめること
    により上記反射光の異なる二煎様を現出せしめる駆動手
    段を更に設けた構成としてなる実用新案登録請求の範囲
    第１項記載の表面欠陥検査装置。
JP5753482U 1982-04-20 1982-04-20 表面欠陥検査装置 Granted JPS58160342U (ja)

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JP5753482U JPS58160342U (ja) 1982-04-20 1982-04-20 表面欠陥検査装置

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JPS58160342U true JPS58160342U (ja) 1983-10-25
JPH0247491Y2 JPH0247491Y2 (ja) 1990-12-13

Family

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007285869A (ja) * 2006-04-17 2007-11-01 Denso Corp 表面検査装置及び表面検査方法
JP2011122986A (ja) * 2009-12-11 2011-06-23 Mitsubishi Heavy Ind Ltd き裂検査装置及びき裂解析装置、方法、並びにプログラム

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JP2011122986A (ja) * 2009-12-11 2011-06-23 Mitsubishi Heavy Ind Ltd き裂検査装置及びき裂解析装置、方法、並びにプログラム

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JPH0247491Y2 (ja) 1990-12-13

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