JPS5964560U - 表面欠陥検査装置 - Google Patents
表面欠陥検査装置Info
- Publication number
- JPS5964560U JPS5964560U JP15885482U JP15885482U JPS5964560U JP S5964560 U JPS5964560 U JP S5964560U JP 15885482 U JP15885482 U JP 15885482U JP 15885482 U JP15885482 U JP 15885482U JP S5964560 U JPS5964560 U JP S5964560U
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- JP
- Japan
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- Pending
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案になる表面欠陥検査装置の一実施例の正
面図、第２図は上記装置により検査される被検査部材の
観測領域及び測定領域を示す図、第３図Ａ、 Ｂは夫々
上記装置による検査状況を被検査部材の位置変化を伴な
い示す側面図である。 １・・・・・・ロッド、２・・・・・・回転装置、３・
・・・・・ＩＴＶカメラ、４・・・・・・観測領域、５
・・・・・・画像メモリ、６・・・・・・データ処理判
定装置、７・・・・・・照明装置、８−１．８−２・・
・・・・測定領域、９・・・・・・格子。
面図、第２図は上記装置により検査される被検査部材の
観測領域及び測定領域を示す図、第３図Ａ、 Ｂは夫々
上記装置による検査状況を被検査部材の位置変化を伴な
い示す側面図である。 １・・・・・・ロッド、２・・・・・・回転装置、３・
・・・・・ＩＴＶカメラ、４・・・・・・観測領域、５
・・・・・・画像メモリ、６・・・・・・データ処理判
定装置、７・・・・・・照明装置、８−１．８−２・・
・・・・測定領域、９・・・・・・格子。
Claims (1)
- 被検査部材の表面を照明する照明手段と、該表面よりの
反射光を入射され該表面を撮像する撮像手段と、該表面
の測定領域を画成してなる複数の区画を少なくとも四種
の明るさの最明部、明部、暗部及び最暗部に比較識別す
る比較手段と、該最明部及び明部の区画個数を夫々求め
その比率を演算する演算手段と、同一の該測定領域より
該撮像手段への反射光の条件が異なる二煎様のうち一態
様においては上記比率αが第１の一定値より大であり且
つ該明部の区画個数が第２の一定値より大であることを
第１の条件とし、しかも他の態様においては上記比率β
が該第１の一定値より大であり且つ該明部の区画個数が
該第２の一定値より大であると共に、該比率βがゼロの
場合に該暗部の区画個数が第３の一定値より大であるか
又は該明部の区画個数がゼロの場合に該最明部の区画個
数が１以上であることを第２の条件とし、該第１及び第
２の条件が共に成立したとき該被検査部材の表面に欠陥
があると判定する判定手段とより構成してなる表面欠陥
検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15885482U JPS5964560U (ja) | 1982-10-20 | 1982-10-20 | 表面欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15885482U JPS5964560U (ja) | 1982-10-20 | 1982-10-20 | 表面欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5964560U true JPS5964560U (ja) | 1984-04-28 |
Family
ID=30349846
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15885482U Pending JPS5964560U (ja) | 1982-10-20 | 1982-10-20 | 表面欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5964560U (ja) |
-
1982
- 1982-10-20 JP JP15885482U patent/JPS5964560U/ja active Pending
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