JPH0429021B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0429021B2 JPH0429021B2 JP59116039A JP11603984A JPH0429021B2 JP H0429021 B2 JPH0429021 B2 JP H0429021B2 JP 59116039 A JP59116039 A JP 59116039A JP 11603984 A JP11603984 A JP 11603984A JP H0429021 B2 JPH0429021 B2 JP H0429021B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- data
- defects
- amount
- inspected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 21
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 7
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 4
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 101100269850 Caenorhabditis elegans mask-1 gene Proteins 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は、物体の平面をなす表面の凹み、凸
起、不良等の欠陥を画像処理によつて検出する欠
陥認識装置に関するものである。
起、不良等の欠陥を画像処理によつて検出する欠
陥認識装置に関するものである。
（背景技術）
従来の欠陥認識装置は、被検査物の画像を複雑
な浮動２値化処理する必要があり、また２値化方
式では画像データの情報量が小さい為、ノイズに
弱い等の欠陥があつた。
な浮動２値化処理する必要があり、また２値化方
式では画像データの情報量が小さい為、ノイズに
弱い等の欠陥があつた。
（発明の目的）
本発明は、情報量を削減することなく、かつ簡
単な処理で、ノイズに強く光量変動があつても所
定の検出精度を得ることができる欠陥認識装置を
提供することを目的とするものである。
単な処理で、ノイズに強く光量変動があつても所
定の検出精度を得ることができる欠陥認識装置を
提供することを目的とするものである。
（発明の開示）
本発明においては、第１図に示すように、被検
査用の物体１のくぼみのような欠陥部４の右側が
正反射する角度で斜めから照明手段としての光源
２で照明し、この物体１を撮像手段としてのテレ
ビカメラ３により画像として取り込む。この時物
体１を上からテレビカメラ３で見た画像の欠陥部
４には、第２図に示すように左側に暗部４ａ、右
側に明部４ｂが存在している。そこでテレビカメ
ラ３からの映像信号はＡ／Ｄ変換器５でＡ／Ｄ変
換した後、フレームメモリ６に書き込む。フレー
ムメモリ６に書き込まれた物体１の画像データを
第３図中のCPU７によりソフトウエア処理を行
なう。なお、上記Ａ／Ｄ変換器５、フレームメモ
リ６及びCPU７で画像処理手段を構成してある。
ソフトウエア処理においては、まず物体１の画像
中に、欠陥が発生すると予測される予測不良発生
表面に対応して予め、第４図に示すような左右２
個のマスク８ａ，８ｂを設定しておく。これはフ
レームメモリ６に格納された物体１の画像のアド
レスにソフトウエア上で対応したものである。
査用の物体１のくぼみのような欠陥部４の右側が
正反射する角度で斜めから照明手段としての光源
２で照明し、この物体１を撮像手段としてのテレ
ビカメラ３により画像として取り込む。この時物
体１を上からテレビカメラ３で見た画像の欠陥部
４には、第２図に示すように左側に暗部４ａ、右
側に明部４ｂが存在している。そこでテレビカメ
ラ３からの映像信号はＡ／Ｄ変換器５でＡ／Ｄ変
換した後、フレームメモリ６に書き込む。フレー
ムメモリ６に書き込まれた物体１の画像データを
第３図中のCPU７によりソフトウエア処理を行
なう。なお、上記Ａ／Ｄ変換器５、フレームメモ
リ６及びCPU７で画像処理手段を構成してある。
ソフトウエア処理においては、まず物体１の画像
中に、欠陥が発生すると予測される予測不良発生
表面に対応して予め、第４図に示すような左右２
個のマスク８ａ，８ｂを設定しておく。これはフ
レームメモリ６に格納された物体１の画像のアド
レスにソフトウエア上で対応したものである。
次に右側のマスク８ａについて処理の詳細を説
明する。第５図ａは、16個からなるブロツク９…
に１〜16の番号を付けたものである。この１個の
ブロツク９は画素数で言えば例えば、10画素×10
画素程度の大きさのものである。この中からま
ず、Ｔ字型からなる第５図ｂのような番号１、
３、４、６の４個のブロツク９に着目する。この
時この４個のブロツク９からなるＴ字型マスク１
０内の平均光量を算出し、そのデータを第１バツ
フア（図示せず）に格納する。次に番号３、６、
７、９からなるＴ字型マスク１０内についても同
様に平均光量を求め、順次10、13、14、16まで８
個のＴ字型マスク１０について、夫々のＴ字型マ
スク１０内の平均光量をそれぞれ求め、データを
第１バツフア内に格納する。この第１バツフアに
格納された８個のデータの中で最大となるものを
抽出し、これをデータＡとする。次に第６図ａに
示す左側のマスク８ｂについても右側のマスク８
ａと同様に、第６図ｂのような２、４、５、８の
Ｔ字型マスク１０から10、12、13、15まで順次こ
のＴ字型マスク１０内の平均光量を算出し、第２
のバツフア（図示せず）に格納する。この第２の
バツフアに格納された８個のデータの中で最小と
なるものをデータＢとする。欠陥認識の基準とす
るデータＣは次のように設定する。
明する。第５図ａは、16個からなるブロツク９…
に１〜16の番号を付けたものである。この１個の
ブロツク９は画素数で言えば例えば、10画素×10
画素程度の大きさのものである。この中からま
ず、Ｔ字型からなる第５図ｂのような番号１、
３、４、６の４個のブロツク９に着目する。この
時この４個のブロツク９からなるＴ字型マスク１
０内の平均光量を算出し、そのデータを第１バツ
フア（図示せず）に格納する。次に番号３、６、
７、９からなるＴ字型マスク１０内についても同
様に平均光量を求め、順次10、13、14、16まで８
個のＴ字型マスク１０について、夫々のＴ字型マ
スク１０内の平均光量をそれぞれ求め、データを
第１バツフア内に格納する。この第１バツフアに
格納された８個のデータの中で最大となるものを
抽出し、これをデータＡとする。次に第６図ａに
示す左側のマスク８ｂについても右側のマスク８
ａと同様に、第６図ｂのような２、４、５、８の
Ｔ字型マスク１０から10、12、13、15まで順次こ
のＴ字型マスク１０内の平均光量を算出し、第２
のバツフア（図示せず）に格納する。この第２の
バツフアに格納された８個のデータの中で最小と
なるものをデータＢとする。欠陥認識の基準とす
るデータＣは次のように設定する。
（データＣ）＝（データＡ）／（データＢ）
良品では（データＣ）＝１となり、欠陥商品で
は（データＣ）＞１となつて、良品及び欠陥品の
識別が可能となる。
は（データＣ）＞１となつて、良品及び欠陥品の
識別が可能となる。
（発明の効果）
本発明は上述のように物体の被検査表面を斜め
から照明する照明手段と、この照明手段によつて
照明された被検査表面の画像を取り込む撮像手段
と、撮像手段を分割して夫々の分割画像毎に受光
量を求め、分割領域における受光量の差から欠陥
を検出する画像処理手段を備えているので、照明
手段で斜めから照明されることにより生じる欠陥
の影を検出して欠陥を検出することができる。し
かも、照明手段で斜めから照明すると、一般的に
欠陥の影は欠陥自体よりも大きくなるため、信号
処理的に欠陥を際立たせるといつた必要がなく、
従つて外乱光等のノイズの影響を受けにくくでき
る。さらに、画像処理的に欠陥を検出することに
より、画像処理精度を変えることで、大まかな欠
陥検出から微細な欠陥検出までを同じ装置を用い
て行うことができるという効果を有するものであ
る。
から照明する照明手段と、この照明手段によつて
照明された被検査表面の画像を取り込む撮像手段
と、撮像手段を分割して夫々の分割画像毎に受光
量を求め、分割領域における受光量の差から欠陥
を検出する画像処理手段を備えているので、照明
手段で斜めから照明されることにより生じる欠陥
の影を検出して欠陥を検出することができる。し
かも、照明手段で斜めから照明すると、一般的に
欠陥の影は欠陥自体よりも大きくなるため、信号
処理的に欠陥を際立たせるといつた必要がなく、
従つて外乱光等のノイズの影響を受けにくくでき
る。さらに、画像処理的に欠陥を検出することに
より、画像処理精度を変えることで、大まかな欠
陥検出から微細な欠陥検出までを同じ装置を用い
て行うことができるという効果を有するものであ
る。
第１図は本発明一実施例の光学部の概略断面
図、第２図は同上のテレビカメラ側から見た物体
の上面画像図、第３図は同上のテレビカメラによ
る画像信号処理回路のブロツク図、第４図は同上
の被検査用の物体の画像におけるマスク配置状態
の説明図、第５図ａ，ｂは夫々同上の右側のマス
クのブロツク配置図及びＴ字型マスクの説明図、
第６図ａ，ｂは夫々同上の左側のマスクのブロツ
ク配置図及びＴ字型のマスクの説明図であり、１
は物体、２は光源、３はテレビカメラ、４は欠陥
部、５はＡ／Ｄ変換器、６はフレームメモリ、８
ａ，８ｂはマスク、９はブロツク、１０はＴ字型
マスクである。
図、第２図は同上のテレビカメラ側から見た物体
の上面画像図、第３図は同上のテレビカメラによ
る画像信号処理回路のブロツク図、第４図は同上
の被検査用の物体の画像におけるマスク配置状態
の説明図、第５図ａ，ｂは夫々同上の右側のマス
クのブロツク配置図及びＴ字型マスクの説明図、
第６図ａ，ｂは夫々同上の左側のマスクのブロツ
ク配置図及びＴ字型のマスクの説明図であり、１
は物体、２は光源、３はテレビカメラ、４は欠陥
部、５はＡ／Ｄ変換器、６はフレームメモリ、８
ａ，８ｂはマスク、９はブロツク、１０はＴ字型
マスクである。
Claims (1)
- １ 物体の平面をなす表面の凹み、凸起、不良等
の欠陥を画像処理によつて検出する欠陥認識装置
において、物体の被検査表面を斜めから照明する
照明手段と、この照明手段によつて照明された被
検査表面の画像を取り込む撮像手段と、撮像画像
を分割して夫々の分割画像毎に受光量を求め、分
割領域における受光量の差から欠陥を検出する画
像処理手段を備えてなることを特徴とする欠陥認
識装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59116039A JPS60259938A (ja) | 1984-06-06 | 1984-06-06 | 欠陥認識装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59116039A JPS60259938A (ja) | 1984-06-06 | 1984-06-06 | 欠陥認識装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60259938A JPS60259938A (ja) | 1985-12-23 |
| JPH0429021B2 true JPH0429021B2 (ja) | 1992-05-15 |
Family
ID=14677210
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59116039A Granted JPS60259938A (ja) | 1984-06-06 | 1984-06-06 | 欠陥認識装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60259938A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02133883A (ja) * | 1988-11-15 | 1990-05-23 | Matsushita Electric Works Ltd | 外観検査方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4962178A (ja) * | 1972-09-20 | 1974-06-17 |
-
1984
- 1984-06-06 JP JP59116039A patent/JPS60259938A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4962178A (ja) * | 1972-09-20 | 1974-06-17 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60259938A (ja) | 1985-12-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |