JPH07151699A - 配線パターン検査装置 - Google Patents
配線パターン検査装置Info
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- JPH07151699A JPH07151699A JP29650093A JP29650093A JPH07151699A JP H07151699 A JPH07151699 A JP H07151699A JP 29650093 A JP29650093 A JP 29650093A JP 29650093 A JP29650093 A JP 29650093A JP H07151699 A JPH07151699 A JP H07151699A
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- wiring
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Abstract
(57)【要約】
【目的】配線の厚さ方向の欠損部の検出を、作業者の疲
労度を軽減しかつ短時間に行う。 【構成】ビデオカメラ２０からの検査対象のプリント配
線板１０１の画像信号から配線部分の信号を抽出する配
線抽出部３１と、抽出された配線部分の信号を厚さ方向
の欠損部込みの信号の階層と欠損部を含まない平坦部分
のみの信号の階層とに区分する階層区分部３２と、区分
された階層それぞれに互いに異なる色を対応させる色分
け部３３とを備えた画像処理回路３０を設ける。カラー
表示装置４０の表示画面上に、各階層の信号により対応
する画像を対応する色で重ね合わせて表示する。
労度を軽減しかつ短時間に行う。 【構成】ビデオカメラ２０からの検査対象のプリント配
線板１０１の画像信号から配線部分の信号を抽出する配
線抽出部３１と、抽出された配線部分の信号を厚さ方向
の欠損部込みの信号の階層と欠損部を含まない平坦部分
のみの信号の階層とに区分する階層区分部３２と、区分
された階層それぞれに互いに異なる色を対応させる色分
け部３３とを備えた画像処理回路３０を設ける。カラー
表示装置４０の表示画面上に、各階層の信号により対応
する画像を対応する色で重ね合わせて表示する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は配線パターン検査装置に
関し、特にプリント配線板等の配線パターンに対する短
絡，断線等の欠陥の有無を検査する配線パターン検査装
置に関する。
関し、特にプリント配線板等の配線パターンに対する短
絡，断線等の欠陥の有無を検査する配線パターン検査装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】基板の表面に配線パターンが形成された
プリント配線板等の配線パターンに対する短絡，断線等
の欠陥の有無を検査する配線パターンの検査方法として
は、従来から、布線検査装置を用いて、配線パターンに
対する電気的導通の有無を点検する方法がある。しかし
ながらこの方法では、配線の短絡，断線の有無及び接続
の良否は判定できるが、配線の部分的な欠損による配線
幅や配線厚の減少、すなわち、断線しかかりの部分（以
下、欠損部という）を検出できないという問題点があっ
た。この問題点を補うために目視検査が並列して行なわ
れてきたが、近年では、回路の微細化も進行し単なる目
視検査は困難となってきたため、カラービデオカメラ等
によりプリント配線板上を撮影してそれをカラー表示装
置により拡大表示する配線パターン検査装置が用いられ
るようになった。
プリント配線板等の配線パターンに対する短絡，断線等
の欠陥の有無を検査する配線パターンの検査方法として
は、従来から、布線検査装置を用いて、配線パターンに
対する電気的導通の有無を点検する方法がある。しかし
ながらこの方法では、配線の短絡，断線の有無及び接続
の良否は判定できるが、配線の部分的な欠損による配線
幅や配線厚の減少、すなわち、断線しかかりの部分（以
下、欠損部という）を検出できないという問題点があっ
た。この問題点を補うために目視検査が並列して行なわ
れてきたが、近年では、回路の微細化も進行し単なる目
視検査は困難となってきたため、カラービデオカメラ等
によりプリント配線板上を撮影してそれをカラー表示装
置により拡大表示する配線パターン検査装置が用いられ
るようになった。
【０００３】図５（ａ），（ｂ）はそれぞれ従来のこの
種の配線パターン検査装置の第１の例を示すブロック図
及び表示画面上の配線パターンの図である。
種の配線パターン検査装置の第１の例を示すブロック図
及び表示画面上の配線パターンの図である。
【０００４】この配線パターン検査装置は、検査対象の
プリント配線板１０１を上面に載せて固定し所定の平面
上をＸ方向，Ｙ方向に移動可能な検査台１０と、検査台
１０に搭載された検査対象のプリント配線板１０１の表
面を撮影してその画像信号を出力するＣＣＤ型のカラー
ビデオカメラ２１と、このカラービデオカメラ２１から
の画像信号を受けて表示画面４０Ｖ上に検査対象のプリ
ント配線板１０１上の配線パターンを表示するカラー表
示装置４０とを有する構成となっている。
プリント配線板１０１を上面に載せて固定し所定の平面
上をＸ方向，Ｙ方向に移動可能な検査台１０と、検査台
１０に搭載された検査対象のプリント配線板１０１の表
面を撮影してその画像信号を出力するＣＣＤ型のカラー
ビデオカメラ２１と、このカラービデオカメラ２１から
の画像信号を受けて表示画面４０Ｖ上に検査対象のプリ
ント配線板１０１上の配線パターンを表示するカラー表
示装置４０とを有する構成となっている。
【０００５】この配線パターン検査装置においては、カ
ラービデオカメラ２１のズーム機能等を利用し、検査対
象のプリント配線板１０１上の配線パターンを高倍率で
表示することができ、微細化が進行したプリント配線板
でも、配線１０２（図５（ｂ）中のＶは画像を示す、以
下同じ）の短絡部１０４，断線部１０５及び配線幅に対
する欠陥部１０３ａ等を明瞭に検出することができる。
また、検査台１０を移動させることにより、検査対象の
プリント配線板１０１の全表面を検査することができ
る。
ラービデオカメラ２１のズーム機能等を利用し、検査対
象のプリント配線板１０１上の配線パターンを高倍率で
表示することができ、微細化が進行したプリント配線板
でも、配線１０２（図５（ｂ）中のＶは画像を示す、以
下同じ）の短絡部１０４，断線部１０５及び配線幅に対
する欠陥部１０３ａ等を明瞭に検出することができる。
また、検査台１０を移動させることにより、検査対象の
プリント配線板１０１の全表面を検査することができ
る。
【０００６】しかしならが、この配線パターン検査装置
では、表示画面４０Ｖ上に拡大された配線パターンの画
像を、検査対象のプリント配線板１０１の全表面にわた
って注意深く点検する必要があるため、検査時間が長く
なる上、作業者の疲労が大きいという問題点がある。
では、表示画面４０Ｖ上に拡大された配線パターンの画
像を、検査対象のプリント配線板１０１の全表面にわた
って注意深く点検する必要があるため、検査時間が長く
なる上、作業者の疲労が大きいという問題点がある。
【０００７】このような問題点を解決するために、検査
対象のプリント配線板のほかに、良品のプリント配線板
を撮影してこれらプリント配線板上の配線パターンを異
なる色で表示し互いに重ね合わせることにより、短絡部
や断線部等の不良箇所を正常の配線パターンとは異なる
色で表示する方法が提案されている（例えば特開昭６１
−２８７２９３号公報参照）。
対象のプリント配線板のほかに、良品のプリント配線板
を撮影してこれらプリント配線板上の配線パターンを異
なる色で表示し互いに重ね合わせることにより、短絡部
や断線部等の不良箇所を正常の配線パターンとは異なる
色で表示する方法が提案されている（例えば特開昭６１
−２８７２９３号公報参照）。
【０００８】図６はこの種の配線パターン検査装置の一
例（従来の第２の例）を示すブロック図、図７（ａ）〜
（ｃ）はその動作を説明するための表示画面上の配線パ
ターンの図である。
例（従来の第２の例）を示すブロック図、図７（ａ）〜
（ｃ）はその動作を説明するための表示画面上の配線パ
ターンの図である。
【０００９】この配線パターン検査装置は、検査対象の
プリント配線板１０１及び良品のプリント配線板１００
を載せて平面上のＸ方向，Ｙ方向に移動可能な検査台１
０ａと、この検査台１０ａ上の検査対象のプリント配線
板１０１の表面を撮影してその画像信号を出力する白黒
ビデオカメラ２２ａと、検査台１０ａ上の良品のプリン
ト配線板１００の表面を撮影してその画像信号を出力す
る白黒ビデオカメラ２２ｂと、白黒ビデオカメラ２２ａ
からの画像信号に従って検査対象のプリント配線板１０
１の配線パターンを例えば赤色（Ｒ）で表示し、白黒ビ
デオカメラ２２ｂからの画像信号に従って良品のプリン
ト配線板１００の配線パターンを例えば青色（Ｂ）で表
示すると共にこれら配線パターンを重ね合せるカラー表
示装置４０と、白黒ビデオカメラ２２ａ，２２ｂの出力
信号の同期を取るタイミング制御回路７０とを有する構
成となっている。
プリント配線板１０１及び良品のプリント配線板１００
を載せて平面上のＸ方向，Ｙ方向に移動可能な検査台１
０ａと、この検査台１０ａ上の検査対象のプリント配線
板１０１の表面を撮影してその画像信号を出力する白黒
ビデオカメラ２２ａと、検査台１０ａ上の良品のプリン
ト配線板１００の表面を撮影してその画像信号を出力す
る白黒ビデオカメラ２２ｂと、白黒ビデオカメラ２２ａ
からの画像信号に従って検査対象のプリント配線板１０
１の配線パターンを例えば赤色（Ｒ）で表示し、白黒ビ
デオカメラ２２ｂからの画像信号に従って良品のプリン
ト配線板１００の配線パターンを例えば青色（Ｂ）で表
示すると共にこれら配線パターンを重ね合せるカラー表
示装置４０と、白黒ビデオカメラ２２ａ，２２ｂの出力
信号の同期を取るタイミング制御回路７０とを有する構
成となっている。
【００１０】この配線パターン検査装置においては、検
査対象のプリント配線板１０１の配線１０２及び短絡部
１０４が赤色（Ｒ）で表示され、良品のプリント配線板
１００の画像は正常な配線１０２が青色（Ｂ）で表示さ
れる。従って、これらを重ね合せた表示画面４０Ｖ上の
画像は、正常な配線部分がマゼンダ色（Ｍ）に表示され
るのに対し、短絡部１０４は赤色（Ｒ）に、断線部１０
５は青色（Ｂ）に表示されるので、不良箇所の判別が極
めて容易となり、作業者の疲労度を低減することができ
る。その上、倍率を下げて一画面当りの検査面積を広げ
ることができるので、検査時間を短縮することができ
る。
査対象のプリント配線板１０１の配線１０２及び短絡部
１０４が赤色（Ｒ）で表示され、良品のプリント配線板
１００の画像は正常な配線１０２が青色（Ｂ）で表示さ
れる。従って、これらを重ね合せた表示画面４０Ｖ上の
画像は、正常な配線部分がマゼンダ色（Ｍ）に表示され
るのに対し、短絡部１０４は赤色（Ｒ）に、断線部１０
５は青色（Ｂ）に表示されるので、不良箇所の判別が極
めて容易となり、作業者の疲労度を低減することができ
る。その上、倍率を下げて一画面当りの検査面積を広げ
ることができるので、検査時間を短縮することができ
る。
【００１１】この配線パターン検査装置では、良品のプ
リント配線板１００を常に必要とするが、これをビデオ
テープに録画しておき、図８に示すように、このビデオ
テープに録画された良品のプリント配線板１００の配線
パターンをプロジェクタ５０ｂにより青色でスクリーン
６０上に投影し、検査対象のプリント配線板１０１の配
線パターンをプロジェクタ５０ａにより赤色でスクリー
ン６０上に投影してこれらを重ね合わせ、上述の第２の
例と同様の作用効果を得ることもできる。
リント配線板１００を常に必要とするが、これをビデオ
テープに録画しておき、図８に示すように、このビデオ
テープに録画された良品のプリント配線板１００の配線
パターンをプロジェクタ５０ｂにより青色でスクリーン
６０上に投影し、検査対象のプリント配線板１０１の配
線パターンをプロジェクタ５０ａにより赤色でスクリー
ン６０上に投影してこれらを重ね合わせ、上述の第２の
例と同様の作用効果を得ることもできる。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の配線パ
ターン検査装置は、第１の例では、１台のカラービデオ
カメラ２１で撮影され拡大された検査対象のプリント配
線板の画像を全表面にわたって注意深く点検する構成と
なっているので、検査時間が長くなる上作業者の疲労が
大きいという欠点と、配線の厚さ方向の欠損が検出しに
くいという欠点があり、第２の例及び第３の例では、検
査対象のプリント配線板の配線パターンと、良品のプリ
ント配線板の配線パターンとを、互いに異なる色で表示
してこれらを重ね合せる構成となっているので、短絡
部、断線部及び配線幅方向の欠損部は正常な配線とは異
なる色で表示されてこれら不良箇所の検出が容易にな
り、かつ一度に広範囲に検査できるので検査時間を短縮
することができるが、配線の厚さ方向の欠損部は検出で
きないという欠点がある。
ターン検査装置は、第１の例では、１台のカラービデオ
カメラ２１で撮影され拡大された検査対象のプリント配
線板の画像を全表面にわたって注意深く点検する構成と
なっているので、検査時間が長くなる上作業者の疲労が
大きいという欠点と、配線の厚さ方向の欠損が検出しに
くいという欠点があり、第２の例及び第３の例では、検
査対象のプリント配線板の配線パターンと、良品のプリ
ント配線板の配線パターンとを、互いに異なる色で表示
してこれらを重ね合せる構成となっているので、短絡
部、断線部及び配線幅方向の欠損部は正常な配線とは異
なる色で表示されてこれら不良箇所の検出が容易にな
り、かつ一度に広範囲に検査できるので検査時間を短縮
することができるが、配線の厚さ方向の欠損部は検出で
きないという欠点がある。
【００１３】本発明の目的は、配線の厚さ方向の欠損部
が、作業者の疲労度が小さく、かつ短時間に容易に検出
できる配線パターン検査装置を提供することにある。
が、作業者の疲労度が小さく、かつ短時間に容易に検出
できる配線パターン検査装置を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明の配線パターン検
査装置は、基板の表面に配線のパターンが形成された検
査対象のプリント配線板を上面に搭載固定して所定の平
面上をＸ方向，Ｙ方向に移動可能な検査台と、この検査
台に搭載固定された検査対象のプリント配線板の表面を
撮影してその画像信号を出力するビデオカメラと、この
ビデオカメラからの画像信号の前記検査対象のプリント
配線板の配線部分の信号をこの信号に含まれる所定の物
理量のレベルに従って少なくとも配線の平坦部のみと対
応する信号及び平坦部とそれ以外の部分を含む部分と対
応する信号から成る複数の階層に区分する階層区分部、
及びこの階層区分部によって区分された複数の階層の信
号それぞれに互いに異なる色を対応させる色分け部を備
えた画像処理回路と、前記複数の階層の信号に基ずく前
記検査対象のプリント配線板の配線部分の画像をこれら
複数の階層の信号それぞれと対応する色で重ね合わせて
表示するカラー表示装置とを有している。
査装置は、基板の表面に配線のパターンが形成された検
査対象のプリント配線板を上面に搭載固定して所定の平
面上をＸ方向，Ｙ方向に移動可能な検査台と、この検査
台に搭載固定された検査対象のプリント配線板の表面を
撮影してその画像信号を出力するビデオカメラと、この
ビデオカメラからの画像信号の前記検査対象のプリント
配線板の配線部分の信号をこの信号に含まれる所定の物
理量のレベルに従って少なくとも配線の平坦部のみと対
応する信号及び平坦部とそれ以外の部分を含む部分と対
応する信号から成る複数の階層に区分する階層区分部、
及びこの階層区分部によって区分された複数の階層の信
号それぞれに互いに異なる色を対応させる色分け部を備
えた画像処理回路と、前記複数の階層の信号に基ずく前
記検査対象のプリント配線板の配線部分の画像をこれら
複数の階層の信号それぞれと対応する色で重ね合わせて
表示するカラー表示装置とを有している。
【００１５】
【実施例】次に本発明の実施例について図面を参照して
説明する。
説明する。
【００１６】図１は本発明の第１の実施例を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
【００１７】この実施例は、検査対象のプリント配線板
を上面に搭載固定して所定の平面上をＸ方向，Ｙ方向に
移動可能な検査台１０と、この検査台１０に搭載固定さ
れた検査対象のプリント配線板１０１の表面を撮影して
その画像信号を出力するビデオカメラ２０と、検査対象
のプリント配線板１０１からの所定の光の反射強度と対
応する信号のレベルに従ってビデオカメラ２０からの画
像信号のうちの検査対象のプリント配線板１０１の基板
の表面と対応する信号を除去して配線部分の信号を抽出
する配線抽出部３１、この配線抽出部３１からの画像信
号を上記光の反射強度と対応する信号のレベルに従って
配線の平坦部（正常部分）のみと対応する信号及び平坦
部とそれ以外の部分とを含む部分と対応する信号の２つ
の階層に区分する階層区分部３２、及びこの階層区分部
３２によって区分された２つの階層の信号それぞれに互
いに異なる色を対応させる色分け部３３を備えた画像処
理回路３０と、上記２つの階層の信号に基ずく検査対象
のプリント配線板１０１の配線部分の画像をこれら２つ
の階層の信号それぞれと対応する色で重ね合わせて表示
するＣＲＴディスプレイのカラー表示装置４０とを有す
る構成となっている。
を上面に搭載固定して所定の平面上をＸ方向，Ｙ方向に
移動可能な検査台１０と、この検査台１０に搭載固定さ
れた検査対象のプリント配線板１０１の表面を撮影して
その画像信号を出力するビデオカメラ２０と、検査対象
のプリント配線板１０１からの所定の光の反射強度と対
応する信号のレベルに従ってビデオカメラ２０からの画
像信号のうちの検査対象のプリント配線板１０１の基板
の表面と対応する信号を除去して配線部分の信号を抽出
する配線抽出部３１、この配線抽出部３１からの画像信
号を上記光の反射強度と対応する信号のレベルに従って
配線の平坦部（正常部分）のみと対応する信号及び平坦
部とそれ以外の部分とを含む部分と対応する信号の２つ
の階層に区分する階層区分部３２、及びこの階層区分部
３２によって区分された２つの階層の信号それぞれに互
いに異なる色を対応させる色分け部３３を備えた画像処
理回路３０と、上記２つの階層の信号に基ずく検査対象
のプリント配線板１０１の配線部分の画像をこれら２つ
の階層の信号それぞれと対応する色で重ね合わせて表示
するＣＲＴディスプレイのカラー表示装置４０とを有す
る構成となっている。
【００１８】次に、この実施例の動作原理について説明
する。図２（ａ）〜（ｃ）はそれぞれこの実施例の動作
原理を説明するための検査対象のプリント配線板１０１
の平面図，断面図及びその表面からの所定の光の反射強
度の分布図である。
する。図２（ａ）〜（ｃ）はそれぞれこの実施例の動作
原理を説明するための検査対象のプリント配線板１０１
の平面図，断面図及びその表面からの所定の光の反射強
度の分布図である。
【００１９】プリント配線板１０１の表面からの光の反
射強度や濃度等は、素材や表面処理等の違いにより、配
線１０２部分と基板１１０部分とで図２（ｃ）のような
差が生じる。配線１０２に生じる厚さ方向の欠損部１０
３は、色彩的には配線部１０２と殆んど変らないので目
視では見わけにくいが、この欠損部１０３はその表面に
凹凸やわん曲等が多く存在して光が散乱するため、光の
反射強度は正常な配線表面より低下し、基板表面からの
反射強度と正常な配線表面からの反射強度との間に分布
する。
射強度や濃度等は、素材や表面処理等の違いにより、配
線１０２部分と基板１１０部分とで図２（ｃ）のような
差が生じる。配線１０２に生じる厚さ方向の欠損部１０
３は、色彩的には配線部１０２と殆んど変らないので目
視では見わけにくいが、この欠損部１０３はその表面に
凹凸やわん曲等が多く存在して光が散乱するため、光の
反射強度は正常な配線表面より低下し、基板表面からの
反射強度と正常な配線表面からの反射強度との間に分布
する。
【００２０】そこで、まず、配線抽出部３１により、基
板表面からの反射強度の分布の強い方の裾の部分に第１
のしきい値ＴＨ１を設定し、このしきい値ＴＨ１より反
射強度の弱い信号、すなわち基板表面からの信号を除去
し、欠損部１０３を含む配線１０２と対応する信号を抽
出する。
板表面からの反射強度の分布の強い方の裾の部分に第１
のしきい値ＴＨ１を設定し、このしきい値ＴＨ１より反
射強度の弱い信号、すなわち基板表面からの信号を除去
し、欠損部１０３を含む配線１０２と対応する信号を抽
出する。
【００２１】次に、階層区分部３２により、配線表面か
らの光の反射強度の分布の弱い方の裾の部分に第２のし
きい値ＴＨ２を設定し、このしきい値ＴＨ２より反射強
度の強い信号のみ、すなわち、欠損部１０３を除去した
正常な配線表面からの反射光と対応する信号を抽出し、
この欠損部１０３を除去した配線１０２と対応する信号
の階層（以下、第２の階層という）と欠損部１０３を含
む配線１０２と対応す信号の階層（以下、第１の階層と
いう）とに区分する。
らの光の反射強度の分布の弱い方の裾の部分に第２のし
きい値ＴＨ２を設定し、このしきい値ＴＨ２より反射強
度の強い信号のみ、すなわち、欠損部１０３を除去した
正常な配線表面からの反射光と対応する信号を抽出し、
この欠損部１０３を除去した配線１０２と対応する信号
の階層（以下、第２の階層という）と欠損部１０３を含
む配線１０２と対応す信号の階層（以下、第１の階層と
いう）とに区分する。
【００２２】そして、色分け部３３により、区分された
第１及び第２の階層の信号それぞれに互いに異なる色を
対応させて（例えば、第１の階層は赤、第２の階層は青
に対応）カラー表示装置４０に供給する。カラー表示装
置４０は、各階層の信号に従ってこの信号と対応する画
像を対応する色で表示画面４０Ｖ上に表示する。
第１及び第２の階層の信号それぞれに互いに異なる色を
対応させて（例えば、第１の階層は赤、第２の階層は青
に対応）カラー表示装置４０に供給する。カラー表示装
置４０は、各階層の信号に従ってこの信号と対応する画
像を対応する色で表示画面４０Ｖ上に表示する。
【００２３】図３（ａ）〜（ｃ）はこの表示画面４０Ｖ
上に表示された第１の階層と対応する画像、第２の階層
と対応する画像及び第１，第２の階層と対応する画像を
重ね合せた画像の図である。
上に表示された第１の階層と対応する画像、第２の階層
と対応する画像及び第１，第２の階層と対応する画像を
重ね合せた画像の図である。
【００２４】第１の階層と対応する画像は正常な配線
（１０２Ｖ）も欠損部１０３Ｖも赤色（Ｒ）で表示され
る。これに対し、第２の階層と対応する画像は、正常な
配線（１０２Ｖ）のみが青色（Ｂ）に表示され欠損部１
０３Ｖは表示されない。従ってこれら第１の第２の階層
を重ね合せた画像は、正常な配線（１０２Ｖ）の部分が
マゼンダ色に、欠損部１０３Ｖの部分が赤色に表示さ
れ、欠損部１０３Ｖを、正常な配線（１０２Ｖ）に対し
極めて容易に区別し検出でき、作業者の疲労度を軽減す
ることができる。また、拡大率も小さくでき、一度に広
範囲の検査ができるので、検査時間が短かくなる。
（１０２Ｖ）も欠損部１０３Ｖも赤色（Ｒ）で表示され
る。これに対し、第２の階層と対応する画像は、正常な
配線（１０２Ｖ）のみが青色（Ｂ）に表示され欠損部１
０３Ｖは表示されない。従ってこれら第１の第２の階層
を重ね合せた画像は、正常な配線（１０２Ｖ）の部分が
マゼンダ色に、欠損部１０３Ｖの部分が赤色に表示さ
れ、欠損部１０３Ｖを、正常な配線（１０２Ｖ）に対し
極めて容易に区別し検出でき、作業者の疲労度を軽減す
ることができる。また、拡大率も小さくでき、一度に広
範囲の検査ができるので、検査時間が短かくなる。
【００２５】図４は本発明の第２の実施例を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
【００２６】この実施例は、第１の実施例におけるＣＲ
Ｔディスプレイのカラー表示装置４０の部分を、プロジ
ェクタ５０ａ，５ｂとスクリーン６０とから成るカラー
表示装置４０ａに置き換えたもので、基本的な動作及び
効果は第１の実施例と同じであるので、これ以上の説明
は省略する。
Ｔディスプレイのカラー表示装置４０の部分を、プロジ
ェクタ５０ａ，５ｂとスクリーン６０とから成るカラー
表示装置４０ａに置き換えたもので、基本的な動作及び
効果は第１の実施例と同じであるので、これ以上の説明
は省略する。
【００２７】これら実施例における画像と、図６及び図
８に示された従来例における良品のプリント配線板の画
像とを、互いに異なる色で重ねて表示することもでき
る。例えば、上述の色分けの実施例の画像と、良品のプ
リント配線板の配線を緑色で表示した画像とを重ね合わ
せると、正常な配線（１０２Ｖ）は白色に、断線部分
（１０５Ｖ）及び幅方向の欠損部分（１０３ａＶ）は緑
色に、短絡部分（１０４Ｖ）はマゼンダ色に、厚さ方向
の欠損部１０３Ｖは黄色にそれぞれ表示され、欠陥部分
の検出と欠陥の種類の区分けが容易となる。
８に示された従来例における良品のプリント配線板の画
像とを、互いに異なる色で重ねて表示することもでき
る。例えば、上述の色分けの実施例の画像と、良品のプ
リント配線板の配線を緑色で表示した画像とを重ね合わ
せると、正常な配線（１０２Ｖ）は白色に、断線部分
（１０５Ｖ）及び幅方向の欠損部分（１０３ａＶ）は緑
色に、短絡部分（１０４Ｖ）はマゼンダ色に、厚さ方向
の欠損部１０３Ｖは黄色にそれぞれ表示され、欠陥部分
の検出と欠陥の種類の区分けが容易となる。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、プリント
配線板の配線部分の信号を、この信号に含まれる所定の
物理量のレベルに従って少なくとも配線の平坦部（正常
部分）のみと対応する信号と平坦部及びそれ以外の部分
を含む部分と対応する信号とから成る複数の階層に分け
てこれら階層それぞれに互いに異なる色を対応させ、カ
ラー表示装置で画像表示する構成とすることにより、正
常な配線に対し、配線の厚さ方向の欠損部を異なる色で
表示することができるので、厚さ方向の欠損部の検出が
容易となり、作業者の疲労度を軽減でき、かつ拡大率も
小さくできて一度に広範囲の検査ができるので検査時間
を短縮できるという効果がある。
配線板の配線部分の信号を、この信号に含まれる所定の
物理量のレベルに従って少なくとも配線の平坦部（正常
部分）のみと対応する信号と平坦部及びそれ以外の部分
を含む部分と対応する信号とから成る複数の階層に分け
てこれら階層それぞれに互いに異なる色を対応させ、カ
ラー表示装置で画像表示する構成とすることにより、正
常な配線に対し、配線の厚さ方向の欠損部を異なる色で
表示することができるので、厚さ方向の欠損部の検出が
容易となり、作業者の疲労度を軽減でき、かつ拡大率も
小さくできて一度に広範囲の検査ができるので検査時間
を短縮できるという効果がある。
【図１】本発明の第１の実施例を示すブロック図であ
る。
る。
【図２】図１に示された実施例の動作原理を説明するた
めのプリント配線板の平面図，断面図及び配線表面から
の反射強度の分布特性図である。
めのプリント配線板の平面図，断面図及び配線表面から
の反射強度の分布特性図である。
【図３】図１に示された実施例の動作を説明するための
表示画面上の画像の図である。
表示画面上の画像の図である。
【図４】本発明の第２の実施例のブロック図である。
【図５】従来の配線パターン検査装置の第１の例のブロ
ック図及び表示面面上の画像の図である。
ック図及び表示面面上の画像の図である。
【図６】従来の配線パターン検査装置の第２の例のブロ
ック図である。
ック図である。
【図７】図６に示された配線パターン検査装置の動作を
説明するための表示画面上の画像の図である。
説明するための表示画面上の画像の図である。
【図８】従来の配線パターン検査装置の第３の例のブロ
ック図である。
ック図である。
１０，１０ａ 検査台 ２０ ビデオカメラ ２１ カラービデオカメラ ２２，２２ａ，２２ｂ 白黒ビデオカメラ ３０ 画像処理回路 ３１ 配線抽出部 ３２ 階層区分部 ３３ 色分け部 ４０，４０ａ カラー表示装置 ５０ａ，５０ｂ プロジェクタ ６０ スクリーン ７０ タイミング制御回路 ８０ ビデオテープレコーダ １００ 良品のプリント配線板 １０１ 検査対象のプリント配線板 １０２，１０２Ｖ 配線 １０３，１０３Ｖ，１０３ａＶ 欠損部 １０４Ｖ 短絡部 １０５Ｖ 断線部 １１０ 基板
Claims (4)
- 【請求項１】 基板の表面に配線のパターンが形成され
た検査対象のプリント配線板を上面に搭載固定して所定
の平面上をＸ方向，Ｙ方向に移動可能な検査台と、この
検査台に搭載固定された検査対象のプリント配線板の表
面を撮影してその画像信号を出力するビデオカメラと、
このビデオカメラからの画像信号の前記検査対象のプリ
ント配線板の配線部分の信号をこの信号に含まれる所定
の物理量のレベルに従って少なくとも配線の平坦部のみ
と対応する信号及び平坦部とそれ以外の部分を含む部分
と対応する信号から成る複数の階層に区分する階層区分
部、及びこの階層区分部によって区分された複数の階層
の信号それぞれに互いに異なる色を対応させる色分け部
を備えた画像処理回路と、前記複数の階層の信号に基ず
く前記検査対象のプリント配線板の配線部分の画像をこ
れら複数の階層の信号それぞれと対応する色で重ね合わ
せて表示するカラー表示装置とを有することを特徴とす
る配線パターン検査装置。 - 【請求項２】 画像処理回路が、検査対象のプリント配
線板からの所定の光の反射強度と対応する信号のレベル
に従ってビデオカメラからの画像信号のうちの前記検査
対象のプリント配線板の基板の表面と対応する信号を除
去して配線部分の信号を抽出する配線抽出部と、この配
線抽出部からの画像信号を前記光の反射強度と対応する
信号のレベルに従って複数の階層に区分する階層区分部
と、この階層区分部からの複数の階層の信号それぞれに
互いに異なる色を対応させる色分け部とを備えた請求項
１記載の配線パターン検査装置。 - 【請求項３】 カラー表示装置がカラーＣＲＴ表示装置
である請求項１記載の配線パターン検査装置。 - 【請求項４】 カラー表示装置が、スクリーンと、複数
の階層の信号それぞれに基ずく検査対象のプリント配線
板の配線部分の画像を対応する色により前記スクリーン
上に表示する複数の投影器とを備えて構成された請求項
１記載の配線パターン検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29650093A JPH07151699A (ja) | 1993-11-26 | 1993-11-26 | 配線パターン検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29650093A JPH07151699A (ja) | 1993-11-26 | 1993-11-26 | 配線パターン検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07151699A true JPH07151699A (ja) | 1995-06-16 |
Family
ID=17834359
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29650093A Pending JPH07151699A (ja) | 1993-11-26 | 1993-11-26 | 配線パターン検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07151699A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013011576A1 (ja) * | 2011-07-20 | 2013-01-24 | 日本たばこ産業株式会社 | フィルム包装型パッケージの皺検査方法及びその皺検査システム |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53145060A (en) * | 1977-05-24 | 1978-12-16 | Fujitsu Ltd | Method of inspecting printed board |
| JPH02101583A (ja) * | 1988-10-11 | 1990-04-13 | Hitachi Ltd | 半導体装置のパターン検査方法 |
| JPH03267745A (ja) * | 1990-03-16 | 1991-11-28 | Agency Of Ind Science & Technol | 表面性状検出方法 |
-
1993
- 1993-11-26 JP JP29650093A patent/JPH07151699A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53145060A (en) * | 1977-05-24 | 1978-12-16 | Fujitsu Ltd | Method of inspecting printed board |
| JPH02101583A (ja) * | 1988-10-11 | 1990-04-13 | Hitachi Ltd | 半導体装置のパターン検査方法 |
| JPH03267745A (ja) * | 1990-03-16 | 1991-11-28 | Agency Of Ind Science & Technol | 表面性状検出方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013011576A1 (ja) * | 2011-07-20 | 2013-01-24 | 日本たばこ産業株式会社 | フィルム包装型パッケージの皺検査方法及びその皺検査システム |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19960702 |