JPH0821711A - シート板表面のうねり検出装置 - Google Patents
シート板表面のうねり検出装置Info
- Publication number
- JPH0821711A JPH0821711A JP15462394A JP15462394A JPH0821711A JP H0821711 A JPH0821711 A JP H0821711A JP 15462394 A JP15462394 A JP 15462394A JP 15462394 A JP15462394 A JP 15462394A JP H0821711 A JPH0821711 A JP H0821711A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 樹脂板等のシート板表面に生じたうねりを確
実に検出し、検査精度及び検査効率の向上を図る。 【構成】 レーザ等の光源と、測定面から反射光を投影
する受光板と、投影像を撮像して画像を生成する撮像部
と、画像を２値化する２値化部と、２値画像から被検査
物のうねりの有無を判別する処理部を備えたシート板表
面のうねり検出装置。
実に検出し、検査精度及び検査効率の向上を図る。 【構成】 レーザ等の光源と、測定面から反射光を投影
する受光板と、投影像を撮像して画像を生成する撮像部
と、画像を２値化する２値化部と、２値画像から被検査
物のうねりの有無を判別する処理部を備えたシート板表
面のうねり検出装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は表面平滑性のあるシート
板の製造時に生じる表面の微小なうねりの検出および変
位量の相対的な定量化を必要とする検査装置に関する。
板の製造時に生じる表面の微小なうねりの検出および変
位量の相対的な定量化を必要とする検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】平面の微小変位量を計測する技術は、光
学等の分野だけでなく複合材料等の製造業にとっても、
極めて重要な計測項目になっている。例えば、印刷用感
光性樹脂版の製造過程で生じる微小なうねりの早期検出
は、品質の向上および省力化に大きく寄与するために、
実時間での簡便な計測法に対する要求は強い。現在の物
体表面の変位量計測の主流は、直接、測定面に歪みゲー
ジを接触させて電気信号を処理ね解析するものである。
測定領域が広くなると多点測定を行うが、面情報は得ら
れず、目視検査の代替にはなり得ない。また、微小荷重
で変形する樹脂版には無論使えない。このような要求を
満たす測定法として、光の干渉原理を利用したスペック
ル干渉計、ラマン干渉計等が開発され、表面の微小変位
量の実時間での解析が可能になった。さらに魔鏡の原理
を応用して表面の微小変位の有無を検出する装置も実用
化されている。
学等の分野だけでなく複合材料等の製造業にとっても、
極めて重要な計測項目になっている。例えば、印刷用感
光性樹脂版の製造過程で生じる微小なうねりの早期検出
は、品質の向上および省力化に大きく寄与するために、
実時間での簡便な計測法に対する要求は強い。現在の物
体表面の変位量計測の主流は、直接、測定面に歪みゲー
ジを接触させて電気信号を処理ね解析するものである。
測定領域が広くなると多点測定を行うが、面情報は得ら
れず、目視検査の代替にはなり得ない。また、微小荷重
で変形する樹脂版には無論使えない。このような要求を
満たす測定法として、光の干渉原理を利用したスペック
ル干渉計、ラマン干渉計等が開発され、表面の微小変位
量の実時間での解析が可能になった。さらに魔鏡の原理
を応用して表面の微小変位の有無を検出する装置も実用
化されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、干渉計
は外部からの振動や熱変形の影響を受けやすい欠点があ
る。さらに、シート板を製造過程の走行中に実時間で測
定しようとすると、測定面の上下変動や角度変動は避け
られず、検出変位量の信頼性がなくなる。また、魔鏡を
応用した検出手法では、微小な変位量の有無を検出する
ことが可能であり、さらに走行中のシート板の変動に対
しても許容幅が大きく、実用上問題なく測定できる。し
かしながら、原理上、変位量の定量化ができず、良否選
別時の判定の信頼性が著しく低下する。
は外部からの振動や熱変形の影響を受けやすい欠点があ
る。さらに、シート板を製造過程の走行中に実時間で測
定しようとすると、測定面の上下変動や角度変動は避け
られず、検出変位量の信頼性がなくなる。また、魔鏡を
応用した検出手法では、微小な変位量の有無を検出する
ことが可能であり、さらに走行中のシート板の変動に対
しても許容幅が大きく、実用上問題なく測定できる。し
かしながら、原理上、変位量の定量化ができず、良否選
別時の判定の信頼性が著しく低下する。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明者らは上記の問題
を解決すべく鋭意検討した結果、魔鏡の原理をもとに、
被測定面に２方向から指向性の強いスリット光を照射
し、被測定面からの反射光を受光板に投影させることを
特徴とし、これにより２枚の投影像を撮影し、解析する
ことによりシート板の微小なうねりの検出および定量化
を可能にする装置を発明するに至った。本発明を具体的
に説明すると、シート板にスリット状のレーザ光を照射
し、シート板からの反射光を受光板に投影させるが、こ
のとき、被測定面が平坦であれば、受光板上の投影像は
歪みのない直線的な分布となる。図４に微小変位の存在
するシート板にレーザ光を一定の角度で入射させたとき
の光路を示す。もし被測定表面に微小な変位があれば、
その変位の傾斜部に入射した光は、その傾斜角に応じて
反射し、その偏差量が受光板上で拡大され、投影像が歪
んで観察される。つまり、受光板上の投影像は、微小変
位部の傾斜値を反映していることがわかる。しかし、実
際に表面にうねりがある場合であっても、光源方向とう
ねりの方向が平行の場合はスリット光が照射する線上で
は変位はなく、被測定面が正常（平坦）であるときと同
様、受光板上の投影像は歪みのない直線的な分布となっ
てしまう。また、光源方向とうねりの方向が垂直の場合
は、スリット光が照射する線上で変位はあるが、反射光
の垂直成分がどの点においても等しくなり、前述のよう
に受光板上で変位が拡大されることがない。したがっ
て、受光板上の投影像はほぼ直線的な分布となり、うね
りを検出するこは困難となる。図１は本発明の方法を実
施する検査装置の概略図の例示である。この問題を解決
するため、このうねり検査装置では、図２のように２方
向の光源１、２から指向性の強い光を照射し、被測定面
８からの反射光を受光板３、４上で結像させる。光源部
１、２からの光は、レンズ系とスリットの組合せにより
線状光束に生成される。そして光源１、２は被検査面に
斜め上方から一定角度で光を照射させ、受光板３、４
は、被測定面に対してそれぞれ光源１、２と相対する位
置に設置され、被測定面からの反射光が投影される。次
にこの２枚の投影像をＣＣＤカメラ５、６で撮像し、画
像処理装置７に画像データとして取り込む。このそれぞ
れのデータをノイズ除去回路でノイズを除去した後、２
値化処理回路にて２値画像を生成し、演算処理回路によ
り２枚の画像の解析を行う。上記例によれば、被測定面
８が正常（平坦）であれば、受光板上の投影像は歪みの
ない直線的な分布となる。また、被測定面にうねり９が
生じると、その変位が受光板上で拡大され、投影像が歪
んで観察される。そして、前述のように２方向からレー
ザ光を照射することにより、２枚の画像のうち少なくと
も一方にうねりに対応した歪んだ画像が現れ、うねりの
発生を確実に検出することができる。また、その２枚の
画像を演算処理することにより、うねりの発生方向、
幅、高さを定量的に判別することができる。
を解決すべく鋭意検討した結果、魔鏡の原理をもとに、
被測定面に２方向から指向性の強いスリット光を照射
し、被測定面からの反射光を受光板に投影させることを
特徴とし、これにより２枚の投影像を撮影し、解析する
ことによりシート板の微小なうねりの検出および定量化
を可能にする装置を発明するに至った。本発明を具体的
に説明すると、シート板にスリット状のレーザ光を照射
し、シート板からの反射光を受光板に投影させるが、こ
のとき、被測定面が平坦であれば、受光板上の投影像は
歪みのない直線的な分布となる。図４に微小変位の存在
するシート板にレーザ光を一定の角度で入射させたとき
の光路を示す。もし被測定表面に微小な変位があれば、
その変位の傾斜部に入射した光は、その傾斜角に応じて
反射し、その偏差量が受光板上で拡大され、投影像が歪
んで観察される。つまり、受光板上の投影像は、微小変
位部の傾斜値を反映していることがわかる。しかし、実
際に表面にうねりがある場合であっても、光源方向とう
ねりの方向が平行の場合はスリット光が照射する線上で
は変位はなく、被測定面が正常（平坦）であるときと同
様、受光板上の投影像は歪みのない直線的な分布となっ
てしまう。また、光源方向とうねりの方向が垂直の場合
は、スリット光が照射する線上で変位はあるが、反射光
の垂直成分がどの点においても等しくなり、前述のよう
に受光板上で変位が拡大されることがない。したがっ
て、受光板上の投影像はほぼ直線的な分布となり、うね
りを検出するこは困難となる。図１は本発明の方法を実
施する検査装置の概略図の例示である。この問題を解決
するため、このうねり検査装置では、図２のように２方
向の光源１、２から指向性の強い光を照射し、被測定面
８からの反射光を受光板３、４上で結像させる。光源部
１、２からの光は、レンズ系とスリットの組合せにより
線状光束に生成される。そして光源１、２は被検査面に
斜め上方から一定角度で光を照射させ、受光板３、４
は、被測定面に対してそれぞれ光源１、２と相対する位
置に設置され、被測定面からの反射光が投影される。次
にこの２枚の投影像をＣＣＤカメラ５、６で撮像し、画
像処理装置７に画像データとして取り込む。このそれぞ
れのデータをノイズ除去回路でノイズを除去した後、２
値化処理回路にて２値画像を生成し、演算処理回路によ
り２枚の画像の解析を行う。上記例によれば、被測定面
８が正常（平坦）であれば、受光板上の投影像は歪みの
ない直線的な分布となる。また、被測定面にうねり９が
生じると、その変位が受光板上で拡大され、投影像が歪
んで観察される。そして、前述のように２方向からレー
ザ光を照射することにより、２枚の画像のうち少なくと
も一方にうねりに対応した歪んだ画像が現れ、うねりの
発生を確実に検出することができる。また、その２枚の
画像を演算処理することにより、うねりの発生方向、
幅、高さを定量的に判別することができる。
【０００５】
【実施例】図２にこの発明の一実施例にかかるうねり検
査装置を示す。この装置例は印刷用感光性樹脂版を検査
対象としているが、この発明はこれに限らず、平面平滑
性のあるシート板を検査対象とすることができる。図示
例の装置は搬送されてくる被検査物を、所定の検査位置
にて表面のうねりの有無をオンラインで検査するもので
ある。光源部１、２にはレーザを用い、レンズ系とスリ
ットの組合せにより線状光束を生成させる。光源１、２
は、互いに４５°の角度をなす方向に設け、同じ高さか
ら一定角度でレーザ光を照射させる。受光板３、４には
すりガラスを用い、被測定面に対してそれぞれ光源１、
２と相対する位置に設置され、被測定面からの反射光を
投影させる。次にこの２枚の投影像をＣＣＤカメラ５、
６で撮像し、画像処理装置７に画像データとして取り込
む。そして、このそれぞれのデータをノイズ除去回路で
ノイズを除去した後、２値化処理回路にて２値画像を生
成し、演算処理回路により画像の解析を行うことによ
り、うねりの発生を検出する。図３にうねりが発生した
ときの受光板上の投影像の一例を示す。
査装置を示す。この装置例は印刷用感光性樹脂版を検査
対象としているが、この発明はこれに限らず、平面平滑
性のあるシート板を検査対象とすることができる。図示
例の装置は搬送されてくる被検査物を、所定の検査位置
にて表面のうねりの有無をオンラインで検査するもので
ある。光源部１、２にはレーザを用い、レンズ系とスリ
ットの組合せにより線状光束を生成させる。光源１、２
は、互いに４５°の角度をなす方向に設け、同じ高さか
ら一定角度でレーザ光を照射させる。受光板３、４には
すりガラスを用い、被測定面に対してそれぞれ光源１、
２と相対する位置に設置され、被測定面からの反射光を
投影させる。次にこの２枚の投影像をＣＣＤカメラ５、
６で撮像し、画像処理装置７に画像データとして取り込
む。そして、このそれぞれのデータをノイズ除去回路で
ノイズを除去した後、２値化処理回路にて２値画像を生
成し、演算処理回路により画像の解析を行うことによ
り、うねりの発生を検出する。図３にうねりが発生した
ときの受光板上の投影像の一例を示す。
【０００６】
【発明の効果】以上、詳述したようにこの発明によれ
ば、シート板表面に生じるうねりを確実に検出すること
ができるとともに、検査精度の向上、検査効率の向上が
はかられる。
ば、シート板表面に生じるうねりを確実に検出すること
ができるとともに、検査精度の向上、検査効率の向上が
はかられる。
【図１】本発明の方法を実施する検査装置の概略図。
【図２】本発明の一実施例にかかるうねり検査装置。
【図３】うねりが発生したときの受光板上の投影像の一
例。
例。
【図４】微小変位部にレーザ光を一定の角度で入射させ
たときの光路。
たときの光路。
１、２・・・光源 ３、４・・・受光板 ５、６・・・ＣＣＤカメラ ７ ・・・画像処理
装置 ８ ・・・シート板 ９ ・・・歪み（う
ねり） １０ ・・・昇り １１ ・・・頂上 １２ ・・・下り
装置 ８ ・・・シート板 ９ ・・・歪み（う
ねり） １０ ・・・昇り １１ ・・・頂上 １２ ・・・下り
Claims (1)
- 【請求項１】 樹脂版等のシート板表面に指向性の強い
光を２方向から照射する光源と、測定面から反射光を投
影する受光板と投影像を撮像して画像を生成する撮像部
と、画像を２値化して２値画像を生成する２値化部と、
この２値画像から被検査部のうねりの有無を判別する判
別処理部を備えたことを特徴とするシート板表面のうね
り検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15462394A JPH0821711A (ja) | 1994-07-06 | 1994-07-06 | シート板表面のうねり検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15462394A JPH0821711A (ja) | 1994-07-06 | 1994-07-06 | シート板表面のうねり検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0821711A true JPH0821711A (ja) | 1996-01-23 |
Family
ID=15588235
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15462394A Pending JPH0821711A (ja) | 1994-07-06 | 1994-07-06 | シート板表面のうねり検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0821711A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100356137C (zh) * | 2004-10-20 | 2007-12-19 | 力特光电科技股份有限公司 | 在线自动测量光学薄板翘曲的方法以及装置 |
| JP2012228706A (ja) * | 2011-04-26 | 2012-11-22 | Sumitomo Heavy Industries Techno-Fort Co Ltd | 矯正プレス |
| CN106289064A (zh) * | 2016-10-18 | 2017-01-04 | 上海船舶工艺研究所 | 一种便携式船板肋位线检测装置 |
-
1994
- 1994-07-06 JP JP15462394A patent/JPH0821711A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100356137C (zh) * | 2004-10-20 | 2007-12-19 | 力特光电科技股份有限公司 | 在线自动测量光学薄板翘曲的方法以及装置 |
| JP2012228706A (ja) * | 2011-04-26 | 2012-11-22 | Sumitomo Heavy Industries Techno-Fort Co Ltd | 矯正プレス |
| CN106289064A (zh) * | 2016-10-18 | 2017-01-04 | 上海船舶工艺研究所 | 一种便携式船板肋位线检测装置 |
| CN106289064B (zh) * | 2016-10-18 | 2019-10-22 | 上海船舶工艺研究所 | 一种便携式船板肋位线检测装置 |
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