WO2009084702A1 - 太陽電池検査装置及び太陽電池欠陥判定方法 - Google Patents

太陽電池検査装置及び太陽電池欠陥判定方法 Download PDF

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WO2009084702A1
WO2009084702A1 PCT/JP2008/073895 JP2008073895W WO2009084702A1 WO 2009084702 A1 WO2009084702 A1 WO 2009084702A1 JP 2008073895 W JP2008073895 W JP 2008073895W WO 2009084702 A1 WO2009084702 A1 WO 2009084702A1
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cell
solar cell
solar
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defect
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PCT/JP2008/073895
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English (en)
French (fr)
Inventor
Masato Kasahara
Toshio Shibuya
Original Assignee
Nisshinbo Industries, Inc.
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Publication date
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Priority to CN2008801274961A priority patent/CN101960612B/zh
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/66—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light electrically excited, e.g. electroluminescence
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination

Definitions

  • the present invention relates to a solar battery inspection device and a solar battery defect determination method for inspecting solar battery cells (including a string in which solar battery cells are connected in a row, a solar battery panel in which a plurality of strings are arranged in parallel), and the like.
  • a silicon-type solar cell As a method for utilizing solar energy, a silicon-type solar cell is known. In the production of solar cells, it is important to evaluate whether the solar cells have the desired power generation capacity. As a general performance evaluation method, output characteristics were measured.
  • Output characteristics are measured as photoelectric conversion characteristics that measure the current-voltage characteristics of solar cells under light irradiation.
  • As the light source sunlight is desirable, but a solar simulator is used because of its strength that changes with the weather. Solar simulators use xenon lamps and metal halide lamps instead of sunlight. And if these light sources are turned on for a long time, the amount of light changes due to temperature rise. Therefore, using the flash light of these lamps, plotting the collected data with the horizontal axis representing voltage and the vertical axis representing current, the solar cell output characteristic curve was obtained, and the output characteristic exceeded a certain value. (For example, see Patent Document 1).
  • Patent Document 2 As a method different from the solar simulator described above, there was a method of Patent Document 2.
  • a voltage in the forward direction to a polycrystalline silicon solar cell element, an electric current flows in the forward direction to generate an electro-luminescence (EL) effect.
  • EL electro-luminescence
  • a method for determining the quality of an element has been proposed. By observing the EL light emitted from the solar cell element, the current density distribution can be determined, and the non-emission part of the solar cell element is determined as a defective part due to the non-uniformity of the current density distribution. If it was less than the predetermined amount, it was judged to have the specified power generation capacity.
  • Patent Document 1 Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2 0 0 7—8 8 4 1 9
  • Patent Document 2 WO / 2 0 0 6/0 5 9 6 1 5 Disclosure of the Invention Problems to be Solved by the Invention
  • the quality of the solar cell panel is only judged based on whether the area of the defective portion is larger or smaller than a predetermined amount. It is only possible to determine whether or not the power of the solar panel is in place, and it is not possible to know in detail what the state of the solar panel is, and whether or not there is a possibility that a malfunction will occur if it is used for a long time. Did not consider.
  • the present invention has been made in view of such circumstances, and allows a constant current to flow through a solar cell to emit EL, thereby enabling inspection and judgment of the quality of the solar cell from the light emission state, and a crack that may become defective in the future. It is an object of the present invention to provide a solar cell inspection device and a solar cell defect determination method capable of determining whether or not (including microcracks).
  • an embodiment of the present invention has the following arrangement, for example.
  • a solar cell inspection device capable of determining the quality of solar cells in a solar cell, wherein power is supplied by a power supply means for supplying a constant current to the solar cell to be inspected in a light-shielded space, and the power supply means.
  • An imaging unit that images the emitted light from the cell for each of the solar cells to be inspected, an analysis unit that analyzes a cell-captured image captured by the imaging unit, and a display unit that visually displays the analysis result of the analysis unit
  • the analyzing means is characterized in that the cell photographed image photographed by the photographing means is emphasized to analyze the shape of the buttocks of the cell photographed image and to judge the quality of the cell.
  • the display unit of the solar cell inspection apparatus can also highlight and display the buttocks that the analysis unit has determined to have a problem.
  • the imaging unit may continuously shoot a plurality of solar cells, and the analysis unit may perform pass / fail determination on the interval between adjacent cells captured by the imaging unit.
  • the analysis means can also determine the state of a solar cell that is likely to develop into a defect in the future by performing a microcrack detection determination.
  • the analyzing means can also determine the state of the cell by analyzing the direction and position of the buttock in addition to the shape of the buttock of the cell image.
  • the display means can also display the cell image displayed by highlighting the dark part determined to be problematic by the analysis means and the cell photographed image photographed by the photographing means so as to be visible at the same time.
  • a method for determining a solar cell defect in the solar cell inspection apparatus capable of determining whether a solar cell is good or bad by supplying a constant current to the solar cell to be inspected in a light shielding space and supplying power.
  • the emitted light from the cell is photographed for each solar cell to be inspected, and the photographed cell photographing
  • the solar cell is photographed continuously by photographing a plurality of solar cells, and the dark portion of the cell photographed image is also determined for the interval between adjacent cells, and the pass / fail status of adjacent cells is determined. It is possible to adopt a solar cell defect determination method that also performs.
  • a solar cell defect determination method that enables determination of the state of a solar cell that may develop into a defect in the future by performing microcrack detection determination can be employed.
  • a solar cell defect determination method is adopted that makes it possible to determine the state of the cell by analyzing the direction and position of the dark portion in addition to the shape of the dark portion of the cell captured image. Can do.
  • the solar cell inspection apparatus and the solar cell defect determination method of the present invention since the dark part determined to have a problem in the photographed cell image is highlighted and displayed on the display unit, the inspector looks at the display unit. It is possible to check the solar cell easily and reliably.
  • the solar cell inspection apparatus and the solar cell defect determination method of the present invention it is possible to easily and reliably determine not only the current defective portion of the solar cell but also a portion that may become a defective portion in the future. This further improves the quality and durability of solar cells when used for a long time.
  • FIG. 1 is a block diagram for explaining a schematic configuration of an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a diagram showing a detailed structure of the camera positioning mechanism of the present embodiment.
  • FIG. 3 is a flowchart for explaining the solar cell inspection control of the present embodiment.
  • FIG. 4 is a flowchart for explaining details of the captured image processing S 50 of FIG.
  • FIG. 5 is a diagram showing a display example of the inspection result of the solar battery cell according to the present embodiment.
  • Fig. 6 is an explanatory diagram of the cell string matrix of the solar cell to be inspected.
  • FIG. 7 is an explanatory diagram of the configuration of the solar cell panel to be inspected.
  • FIG. 8 is an explanatory diagram of a solar battery cell that is measured by the inspection apparatus of the present embodiment.
  • FIG. 9 is an explanatory diagram of the form of cell defects in the solar cell panel to be inspected.
  • FIG. 10 is an explanatory diagram of the form of cell defects in the solar cell panel to be inspected.
  • FIG. 11 is an explanatory diagram of the form of cell defects in the solar cell panel to be inspected.
  • Figure 12 shows an example of a captured image of a polycrystalline silicon cell.
  • FIG. 13 is an explanatory diagram of a method for determining a dark part as a crack from a cell image. Explanation of symbols
  • FIG. 1 is a block diagram for explaining a schematic configuration of a solar cell inspection apparatus according to an embodiment of the present invention according to the present invention
  • FIG. 2 is a configuration of a camera and a camera driving device in the apparatus according to the present embodiment.
  • (A) is a plan view
  • (b) is a front view
  • (c) is a right side view.
  • FIG. 3 is a flowchart for explaining the solar cell inspection method of the present embodiment
  • FIG. 4 is a flowchart for explaining in detail the steps of the captured image processing and pass / fail judgment of this embodiment
  • FIG. 5 is a diagram showing a display example of inspection results of the embodiment, where (a) is a captured (original) image, and (b) is an enhanced captured image.
  • FIG. 6 is a plan view illustrating the solar cell string string matrix inside the solar cell to be inspected
  • FIG. 7 is a cross-sectional view showing the structure of the solar cell.
  • Fig. 8 shows the inspection of this embodiment. It is explanatory drawing of a structure of the photovoltaic cell measured with an apparatus.
  • Fig. 9 ⁇ Fig. 10 ⁇ Fig. 11 is an explanatory diagram of the state of cell defects in the solar cell to be inspected.
  • Figure 12 shows an example of an EL image of a polycrystalline silicon cell.
  • Fig. 13 is an explanatory diagram of a method for determining a heel part as a crack from a cell image.
  • the solar cell panel to be inspected 1 0 0 forms a string 2 5 in which a plurality of square solar cells 2 8 are connected in series by lead wires 29, The string is connected by a plurality of column lead wires.
  • the solar cell to be inspected may be one solar cell 28 or a string 25 in which a plurality of solar cells are connected linearly.
  • the solar cells are arranged in multiple rows in parallel. May be a solar cell panel 30 arranged in a matrix.
  • the cross-sectional structure of the solar cell panel to be inspected 100 is between the back material 2 2 disposed on the upper side and the transparent cover glass 21 disposed on the lower side. It has a configuration in which a plurality of strings 25 are sandwiched via 3 and 24.
  • a material such as polyethylene resin is used for fillers 2 3 and 2 4.
  • E VA resin polyethylene vinyl acetate resin
  • the string 25 has a configuration in which the solar cells 28 are connected via the lead wires 29 between the electrodes 26 and 27 as described above.
  • Such a solar cell panel is obtained by laminating components by laminating constituent members as described above and applying a pressure under a vacuum heating condition to cause EVA to crosslink and react with a laminating apparatus.
  • Fig. 8 is a plan view of the solar cell viewed from the light receiving surface.
  • a pass bar which is an electrode for extracting electricity, is printed on the surface of a thin silicon semiconductor.
  • a thin conductor called a finger is printed on the surface of the silicon semiconductor in a direction perpendicular to the bus bar in order to collect current efficiently.
  • the inspection object 100 may be a solar cell generally called a thin film type.
  • a power generation element composed of a transparent electrode, a semiconductor, and a back electrode is previously deposited on a transparent cover glass disposed on the lower side in FIG.
  • Such a thin-film solar cell panel has a structure in which glass is disposed downward, a solar cell element on the glass is covered with a filler, and a back material is further covered on the filler. It can be obtained by laminating.
  • the thin-film solar panel as the inspection object 100 is merely changed to the power generation element on which the crystal cell is deposited, and the basic sealing structure is the same as that of the crystal cell described above. . ⁇ 2> Solar cell defects
  • Solar cell defects are characterized by their shape depending on the cause of the defects.
  • Figure 9 shows the characteristics of the dark area when the fingers are disconnected. In the case of a finger break, a rectangular collar appears along the direction of the finger.
  • FIG. 10 shows the characteristics of the crack-like dark part due to the cause of the occurrence.
  • areas M and N in the vicinity of the bus bar there are cracks caused by thermal deformation that occurs when the lead wire is soldered to the pass bar. This crack tends to be relatively small in size.
  • Figure 11 shows the characteristics of the dark area with area.
  • the appearance of the dark part changes depending on the degree of divergence of the semiconductor itself due to the crack. If the semiconductor is completely separated by cracks as shown in part C1 of the figure, a collar with an area appears on the opposite side of the bus bar. Also, if part of the semiconductor is completely removed as shown in part C2 of the figure, the part that has fallen out does not emit light, and that part becomes a dark part with area. Also, if the semiconductor itself is separated even if it does not fall out completely, as shown in part C3 in the figure, the part from the crack to the edge of the semiconductor becomes a dark part with an area. Dark areas with these areas tend to have a relatively stable depth on the inner surface of the dark area, and there are few cases where brightness, parts and edges, and parts are mixed together in a complicated manner.
  • Figure 12 shows an example of a photographed image of a polycrystalline silicon cell.
  • the pattern-shaped dark part having a complicated shape distributed over the entire surface of the cell is not a defect but a dark part that can be formed at the boundary of the crystal.
  • FIG. 1 is a block diagram showing a schematic configuration of a solar cell inspection apparatus according to an embodiment of the invention according to the present invention.
  • 10 controls the overall control of the embodiment, and It is a control unit that executes solar cell pass / fail judgment processing, and can be composed of a personal computer system.
  • 20 is a memory for storing programs executed by the control unit 10 and various processing data, and 30 is a reference data file in which reference data for pass / fail judgment of the solar cell panel to be inspected is registered.
  • Cell dimension information can be set from both basic pattern hole filling method and graphic information setting method.
  • graphic information When setting from graphic information, it corresponds to DXF format and BMP format files as graphic information.
  • the hole filling method for example, when the number of bus bars is one, two, three, etc., multiple patterns can be selected.
  • 4 0 is a keyboard for inputting various instructions and pass / fail judgment results.
  • 4 0 0 is an input / output control unit that controls input / output devices such as 0 0 0, 5 0 is an image taken from a solar cell panel 100 0
  • a camera control unit that controls the solar cell photography camera 5 0 0, 60 is a display control unit that displays a captured image, a display control unit that controls the 6 0 0, and 7 0 is a solar cell panel to be inspected 1 0
  • a measurement current control unit that applies a constant current (predetermined forward current) through a probe 7 5 to 0, 7 5 is a probe that supplies current to the solar panel, and 8 0 is a camera 5 0 0 shooting position.
  • This is a positioning mechanism control unit for controlling the camera positioning mechanism 800 for carrying and positioning.
  • FIG. 2 shows the details of the force photographic unit including the camera positioning mechanism 800.
  • a predetermined current is supplied in the forward direction from the measurement current control unit 70 to the solar cell panel 100 via the probe 75, so that the solar cell panel 100 is changed to EL ( Electric mouth luminescence) Act as a light source and photograph this light emission state with a solar cell photography camera 500. Since photographing is performed sequentially for each cell of the solar battery panel, the camera position is moved for each cell by the camera positioning mechanism 800.
  • EL Electric mouth luminescence
  • FIG. 2 shows details of the camera photographing unit 5 0 0 (in the drawing, a solar cell photographing camera) including the camera positioning mechanism 800.
  • the camera drive mechanism 800 is provided with a transparent plate 8 12 made of a synthetic resin such as acrylic resin or glass on a flat upper surface 8 11 of a square box-shaped dark room 8 10. Except for the transparent plate 8 12, it is made of a light shielding material that does not allow light to enter the chamber 8 10.
  • the gap between the transparent plate 8 1 2 and the inspection object 1 0 0 needs to be appropriately covered with a light shielding material.
  • a solar cell is placed on the upper surface 8 1 1 as the inspection object 1 0 0 and then the entire upper surface 8 1 1 including the inspection object 1 0 0 is covered with light shielding means, the entire upper surface 8 1 1 is covered. It may be a transparent plate. 4 other than the top
  • the side and bottom surfaces are all light-shielding members.
  • On the upper surface 8 111 a pair of guide members 8 14 for guiding the conveyance of the inspection object 100 is provided.
  • the dark room 8 10 there are a camera 5 0 0 and a y-axis guide portion 8 3 0 that moves the camera 5 0 0 in the y-axis direction.
  • a motor 8 3 2 At one end of the y-axis guide portion 8 30, there is a motor 8 3 2, and by rotating this, the camera 5 0 0 can be advanced and retracted in the y-axis direction.
  • Both ends of the y-axis guide portion 8 30 are supported by the X-axis guide portions 8 40 and 8 40. Then, by the motor 8 4 2 and the timing belts 8 4 4 and 8 4 4 on both sides, the y-axis guide portion 8 3 0 is moved on the X-axis guide portions 8 4 0 and 8 4 0 along the X-axis direction. It is possible to advance and retreat.
  • the drive mechanism is configured.
  • the X-axis guide portions 8 40 and 8 40 and the y-axis guide portion 8 30 are driven by a motor and a ball screw.
  • the drive system is not limited to the above embodiment, and various linear actuators can be used.
  • the camera 5 0 0 can be moved to an arbitrary position in the x—y plane, and the entire surface of the inspection object 1 0 0 from corner to corner can be moved. It is possible to shoot.
  • the solar cell to be inspected may be a single solar cell, or it may be in the form of a string in which a plurality of solar cells are connected linearly as shown in Fig. 6. May be a solar cell panel arranged in a matrix. Photographing with the camera 500 may also be performed for each solar cell, several for each solar cell, or the entire solar panel.
  • the solar cell panel 100 to be inspected is one in which a plurality of strings of solar cells arranged in a row and electrically connected are arranged in parallel, and the solar cells are arranged in a matrix form vertically and horizontally. Then, as shown in FIG. 7, a transparent glass plate is arranged at the bottom, then EVA (ethylene butyl acetate) as the filler, then solar cells, and EVA are stacked, A resin-made pack sheet is disposed on the surface. These are laminated in a laminating apparatus by applying pressure under a vacuum heating condition to cause EVA to crosslink and laminate. Next, the solar cell panel carried out from the laminating apparatus is conveyed to the solar cell inspection apparatus of the present invention by a conveyor or the like. The conveyed solar cell panel is guided between the guide members 8 1 4 and 8 1 4 and reaches the upper part of the storage room 8 10.
  • EVA ethylene butyl acetate
  • the solar panel 10 0 0 that has reached the top of the cell room 8 1 0 is stopped on the transparent plate 8 1 2 in the dark room 8 1 0 with the transparent glass plate facing down, and the probe 7 Connect to 5 and connect to measurement current controller 70.
  • the inspection object 100 is smaller than the transparent plate 8 12
  • the gap between the transparent plate 8 1 2 and the measurement target 100 needs to be appropriately covered with a light shielding material.
  • the light shielding means covers the entire upper surface of the dark room 8 10.
  • the resin back sheet on the back side is opaque and has sufficient light shielding properties.
  • the upper surface 8 11 of the dark room 8 10 is also made of a light shielding member except for the transparent plate 8 1 2. Therefore, when the inspection object 100 is larger than the transparent plate 8 12 and the entire transparent plate 8 12 is covered with the inspection object 100, the light shielding sheet is unnecessary.
  • the light shielding means need only be at least a size that covers this gap.
  • a current in the forward direction is passed from the measurement current control unit 70 to the inspection object 100. Since the inspection object 1 0 0 emits E L, take a picture with the camera 5 0 0.
  • the camera 5 0 0 takes a picture of each of the solar cells arranged in a matrix on the solar battery panel, and from a personal computer (not shown).
  • the image data is sent to the image processing apparatus.
  • the image processing apparatus takes out and analyzes a portion (dark part or lizard) that does not emit light from the image of each solar cell, determines whether each solar cell is good or bad, and determines whether the solar cell is good or bad. The quality of the electronic panel as a whole is judged.
  • the solar cell is not inspected in a special dark room, but may be placed on a device with a simple mechanism as shown in FIG.
  • the present embodiment has the following advantages because only the mechanism and the computer system shown in FIG. 2 are required.
  • step S 1 the solar cell panel is positioned and placed as an inspection object 100 on the upper surface 8 11 of the chamber 8 10 shown in FIG.
  • the probe 75 is connected to the terminal part of the placed solar cell panel to be inspected so that a current can be applied from the measurement current control part 70.
  • step S5 the control unit 10 controls the positioning mechanism control unit 80 to position the camera 5100 at the first solar cell panel photographing position.
  • step S 7 the measurement current control unit 70 is controlled to apply a predetermined forward current to the solar cell panel 100 to be inspected to cause EL emission.
  • the light emission conditions (energization current value, energization time, etc.) are preset for each inspection object and registered in the reference data file 30. In addition, this light emission condition is the same as that in this embodiment. ⁇ ⁇
  • step S 10 the control unit 10 controls the camera control unit 50 to take a picture of the solar panel cell emitting EL with the camera 50 0, capture the taken image, for example, the memory 20 and the external storage. Write to a predetermined area of the device 900.
  • step S 1 2 the display control unit 60 is controlled to read the original image previously captured from the memory 20 and display it on the display unit 60.
  • the control unit 10 performs image processing on the captured image shown in step S 50 and performs analysis processing of captured image information. Details of the defect determination method in step S 50 will be described later in ⁇ 5>.
  • step S 16 an image in which the defective portion is emphasized according to the image processing result in step S 50 is displayed on the display unit 60 0 via the display control unit 60.
  • the method of image enhancement processing will be described later in ⁇ 8>.
  • Step S 18 is a manual determination process by the inspector using the highlighted image, and details will be described later in ⁇ 7>.
  • step S 2 the control unit stores the cell determination result in, for example, the external storage device 90.
  • step S22 the sequence number assigned to each cell of the solar panel to be inspected is incremented by one (increase).
  • step S 24 the counted sequence number is checked to check whether or not the photographing and determination processing for all the cells of the solar panel to be inspected has been completed. If the processing for all the cells has not been completed, the process proceeds to step S 30 and an instruction is issued to the positioning mechanism control unit 80 to control the camera positioning mechanism 8 0 0 to move the camera 5 0 0 to the next cell. Move to the shooting position. Then, the process proceeds to step S7, and the photographing process and determination process for the next cell are performed.
  • step S 26 comprehensive determination is performed as follows. Thereafter, the interval between the cells is checked to determine comprehensively whether or not the entire solar cell panel can be made nondefective, and the determination result is written in a predetermined area of the external storage device 90, for example. Then, the comprehensive judgment process for one solar panel is completed.
  • step S 50 of FIG. 3 details of the captured image processing shown in step S 50 of FIG. 3 will be described with reference to FIG.
  • image processing first, an area with a small amount of light is extracted from the photographed cell image. Next, the extracted region or shape with a small amount of light is subjected to image processing based on the defect pattern of the solar cell in FIG.
  • the image processing conditions are registered in the reference data file 30 and the following processing is performed sequentially.
  • step S52 a scaling process is executed. Depending on the characteristics of the cell, there is a difference in overall light emission.
  • the scaling process is a process that normalizes the brightest part to a certain brightness and adjusts the brightness of the entire image so that it can be compared and examined under more constant conditions.
  • step S54 cell region extraction processing is executed in step S54.
  • the outer peripheral shape of the solar battery cell is automatically calculated by collating with the dimension information of the cell set and registered in the reference data file 30 in advance. Even if the cell's position and angle are misaligned, the outer shape of the cell can be obtained accurately.
  • step S 56 image processing is performed so that the pass bar area is excluded from the photographed image by performing the bus bar exclusion process so that the quality of the cell can be determined.
  • the solar cell has a bus bar, and it is automatically calculated by comparing with the cell dimension information set in advance in the reference data file 30 to obtain the bus bar area. Exclude from Note that the path bar area can be obtained accurately even if the cell position or angle is deviated.
  • step S58 shading correction processing is performed.
  • the center will inevitably become brighter and darker toward the end. For this reason, this process corrects changes in brightness due to camera lens characteristics.
  • step S 60 chip detection processing is performed.
  • the chipping detection process is a process of extracting a part having a certain area or more out of the ridges having an area that can be seen in the periphery of the cell as a chipping. Whether it is a shadow or not is determined by using the lightness reduction rate from the surrounding area as a threshold. The same applies to the subsequent processes.
  • the dark part caused by other than the defect is a complex mixture of dark and bright parts.
  • the process of averaging the lightness distribution is applied to an image with such a complex mixture of bright and dark areas, the difference between the bright and dark areas will be reduced and the border will disappear.
  • the defect is caused by defects, the boundary between the bright and dark areas remains even if the same averaging process is performed. If this boundary is detected, the missing portion can be easily extracted.
  • finger disconnection detection processing is performed in step S62.
  • This process is a process of detecting a finger breakage of a certain area or more out of a shadowed part having an area that appears dark inside the cell.
  • the same lightness averaging process as that used for chipping detection is performed to extract a stable buttock.
  • the dark part of the finger breakage is characterized by a rectangular shape along the finger direction as shown in Fig. 9. Therefore, a dark portion that matches the finger direction set in the reference data file 30 in advance and whose shape is approximate to a rectangle is determined as a finger break. ⁇
  • the dark portion determined to be a finger disconnection is displayed with a color corresponding to the determination result.
  • Image enhancement processing is performed to enable display.
  • a crack detection process is performed.
  • it is a process of detecting, as a crack, a line-shaped dark portion that appears dark except for a broken finger and that is longer than a certain length.
  • the dark part of the crack has a part that is partially bent as shown in FIG. 10, but has a relatively simple shape. The method for determining cracks is described below with reference to FIG.
  • the crack ridge is a set of relatively simple line segments as follows.
  • the dark part (i) (mouth) (c) due to a crack is recognized as one crack, and the lengths of each are added to make the crack length.
  • simply determine whether or not each dark area is part of one ridge by simply linking (joining) each seam (joint) be able to.
  • the dark part due to the crack has a relatively simple shape as shown in Fig. 13 (the joint is bent at an obtuse angle), so the direction of each line segment is considered to be close.
  • the ridges other than the cracks are in random directions, so the probability of matching with the crack direction is low.
  • step S 16 When generating an enhanced image for emphasizing and displaying the determination result, the display shown in step S 16 described above, such as displaying the dark portion determined to be a crack with a color corresponding to the determination result, etc.
  • step S66 the size (area, length) and number of “chips”, “finger breaks”, and “cracks” extracted in each detection process are compared with predetermined threshold values to determine whether the cell is good or bad. .
  • step S 68 the determination result is output.
  • step S 66 three kinds of criteria according to the cell region characteristics are prepared. As shown in Fig. 10, solar cells are divided into areas near the pass bar (area M, area N) and other areas L. The first criterion is applied to the region L other than the region M and the region N, and it is desirable that the extraction is limited to a large size in order to accurately extract the dark portion other than the crack. . The second criterion applies to region M and cracks ⁇ 3
  • the third criterion applies to region N and is the same as the second criterion.
  • a linear dark part having a longer length as a crack according to the first criterion, it is possible to eliminate the dark part other than the crack and extract the crack more accurately.
  • the short linear collar as a crack according to the second and third criteria, it is possible to extract even small cracks.
  • the presence / absence of “chip”, “finger break”, and “crack” is judged. If these are not available, they are considered good. If it is detected, the quality of the cell is ranked based on the detected “chip”, “finger disconnection”, and “crack” information. Ranking is determined based on the following items. (1) Total of detected “chip” area, (2) Total of detected “finger disconnection” area, (3) Total of “crack” length detected The rank for each item is determined in comparison with the threshold value. For example, A, B, C, D, and E are ranked 5 ranks, with A being the best and E being the lowest. The rank of the cell judged to be defective is classified into E rank, which is the lowest rank of automatic judgment. If the cell rank is below the specified rank, it is judged as bad (NG). This predetermined rank can be arbitrarily changed.
  • the cell determination result is directly used as a total determination result as a product.
  • the quality of the product is automatically judged according to the following procedure.
  • Judgment is based on the criteria for each cell, but the overall judgment is based on the number of cells in each ranked cell. For example, if the number of cells below the set rank is greater than or equal to the set number, it is judged as defective. For example, a criterion for determining whether a product is acceptable or not is set when the rank is 5 or higher for rank C or lower, 3 or higher for rank D or lower, and 1 or higher for rank E or lower.
  • the solar cell defect inspection apparatus has a function of highlighting a dark part that is determined to have a problem by analyzing a captured image on the display part.
  • the automatic judgment by this solar cell defect inspection device can be stopped, and in S 18 of Fig. 3, this function can be used to allow the inspector to make a manual judgment by looking at the display.
  • this function can be used to allow the inspector to make a manual judgment by looking at the display. In the case of manual judgment by the inspector, it is as follows.
  • step S 18 of FIG. 3 the inspector views the highlighted image and inputs the pass / fail judgment result from the keyboard 400.
  • an instruction may be input by touching the display screen of the display unit 600.
  • the judgment function “valid / invalid”, the automatic judgment function “valid Z invalid”, manual judgment “Enable / Disable” of the function can be set.
  • the inspector inspects the string and matrix products, andappel
  • the “product judgment complete” button is entered, and the next solar cell panel is inspected.
  • FIG. 5 shows an example of the original image in step S12 and the determination image in which the defective part in step S16 is emphasized in the present embodiment.
  • (A) in Fig. 5 is the judgment image with the original image (B) highlighted.
  • the quality of the cell-captured image can be determined more easily and reliably by comparing and determining this image.
  • the image in which the defect portion in the determination image in step S 16 described above is emphasized is a ridge portion corresponding to a portion that does not emit light naturally, such as a bus bar portion, as a result of analyzing the dark portion of the photographed image in the analysis process described above. If the part that normally needs to emit EL, except for, is recognized as a dark part, the following emphasized image is displayed.
  • the defect is a dark part due to a defect caused by a defect, for example, in the case of the dark part in the vicinity of the left end in FIG. Everything is displayed with brightness that is easily distinguishable from the surrounding area (see Fig. 5 (b)).
  • color display it is desirable to display in a color specific to dark areas such as yellow.
  • the part is determined to be a dark part due to a crack in the determination process described above, for example, the part shown slightly below the center on the left side in FIG. It is displayed as a line with lightness that can be easily distinguished from other parts (see Fig. 5 (b) c).
  • a color specific to the dark part such as red.
  • the dark part expands and a defect occurs in other peripheral parts by long-term use. Since such a part is displayed as a line having a certain thickness, it is possible to easily recognize which part of the photographed image the part concerned.
  • a person who wants to judge pass / fail can check both the photographed image and the emphasized image to easily and reliably recognize the portion of the photographed image that is determined to be problematic as a result of analysis.

Abstract

太陽電池をＥＬ発光させ、発光状態から太陽電池の良否を検査判定可能とすると共に、将来不良となる可能性のあるものも良否判定可能な太陽電池検査装置及び欠陥判定方法を提供する。 太陽電池セルに一定電流を供給してＥＬ発光させ（Ｓ７）、セル毎にセルよりの発光光を撮影し（Ｓ１０）、撮影したセル画像を強調処理して暗部の形状を解析して（Ｓ５０）セルの良否判断を行う。また問題があると判定した欠陥部分を強調した強調画像を視認可能に表示（Ｓ１６）する。

Description

明 細 書
太陽電池検査装置及び太陽電池欠陥判定方法
技術分野
本発明は太陽電池セル （太陽電池セルを一列に接続したストリング、 ストリングを平行 に複数配置した太陽電池パネルなどを含む） を検査する太陽電池検査装置及び太陽電池欠 陥判定方法に関するものである。 背景技術
太陽エネルギーの利用方法として、 シリコン型の太陽電池が知られている。 太陽電池の 製造においては、 太陽電池が目的の発電能力を有しているかどうかの性能評価が重要であ る。 一般的な性能評価方法として、 出力特性の測定を行っていた。
出力特性の測定は、 光照射下において、 太陽電池の電流電圧特性を測定する光電変換特 性として行われる。 光源としては、 太陽光が望ましいのであるが、 天候により強度が変化 すること力ゝら、 ソーラーシミュレーターが使用されている。 ソーラーシミュレーターでは、 太陽光に代えてキセノンランプやメタルハライドランプ等を使用している。 そして、 これ らの光源を長時間点灯していると、 温度上昇などにより光量が変化する。 そこで、 これら のランプのフラッシュ光を用い、 横軸を電圧、 縦軸を電流として、 収集したデータをプロ ットすることにより太陽電池の出力特性曲線を得て、 出力特性が一定値以上であったとき に良品としていた （例えば、 特許文献 1参照） 。
上記したソーラーシミュレーターと異なる方法として、 特許文献 2の方法があった。 こ の方法では、 シリコンの多結晶型の太陽電池素子に対して順方向に電圧を印加することで、 順方向に電流を流しエレクト口ルミネッセンス （E L ) 作用を生じさせ、 発光状態から太 陽電池素子の良否を判定する方法を提案している。 太陽電池素子から発光される E L光を 観察することによって、 電流密度分布が分かり、 電流密度分布の不均一から太陽電池素子 の発光していない部分を欠陥部分と判断し、 この欠陥部分の面積が予め決められた量より 少なければ、 所定の発電能力を有するものと判断していた。
[特許文献 1 ] 特開 2 0 0 7— 8 8 4 1 9
[特許文献 2 ] WO/ 2 0 0 6 / 0 5 9 6 1 5 発明の開示 発明が解決しょうとする課題
し力 しながら、 特許文献 2の方法では、 欠陥部分の面積が予め決められた量より多いか 少ないかで太陽電池のパネルの良否を判断しているに過ぎないため、 現時点で使用に耐え れる力、否かが判定できるのみであり、 太陽電池パネルの状況がどのようなものか、 詳細に 知ることができず、 ましてや長期使用した場合に不具合が発生する可能性があるか否かは 考慮していなかった。
太陽電池は、野外で使用するものであるため、使用環境は厳しいものがある。 このため、 使用による劣化が避けられない面があり、 製造時には良品であっても、 使用していた結果 発電効率が下がることもあった。 従来はこのような事態を考慮していなかった。
本発明は、 かかる実情に鑑みてなされたもので、 太陽電池に一定電流を流して E L発光 させ、 発光状態から太陽電池の良否を検査判定可能とすると共に、 将来不良となる可能性 のあるクラック （マイクロクラックを含む） も良否判定可能な太陽電池検査装置及び太陽 電池欠陥判定方法を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
上記の目的を達成するために本発明に係る一実施の形態例は、 例えば以下の構成を備え る。
1 . 太陽電池内の太陽電池セルの良否を判定可能な太陽電池検査装置であって、 遮光空間 で検査対象太陽電池に一定電流を供給する電源供給手段と前記電源供給手段により電源が 供給された前記検査対象太陽電池セル毎にセルよりの発光光を撮影する撮影手段と、 前記 撮影手段で撮影したセル撮影画像を解析する解析手段と、 前記解析手段の解析結果を可視 表示する表示手段とを備え、 前記解析手段は、 前記撮影手段で撮影したセル撮影画像を強 調処理することによりセル撮影画像の喑部の形状を解析してセルの良否判断を可能とする ことを特徴とする。
2 . 前記の太陽電池検査装置の前記表示手段に前記解析手段が問題があると判定した唷部 を強調して表示することもできる。
3 . 前記撮影手段は、 複数の太陽電池セルを連続して撮影し、 前記解析手段は、 前記撮影 手段の撮影した隣接するセル間隔に対する良否判定を行うこともできる。
4 . 前記解析手段は、 マイクロクラックの検出判定を行うことで将来不良に発展するおそ れのある太陽電池セルの状態を判定することもできる。
5 . 前記解析手段は、 セル撮影画像の喑部の形状に加えて喑部の方向及び位置も解析して セルの状態判断をすることもできる。
6 . 前記表示手段は、 前記解析手段が問題があると判定した暗部を強調して表示したセル 画像と、 前記撮影手段で撮影したセル撮影画像とを同時に視認可能に表示することもでき る。
7 . 太陽電池セルの良否を判定可能な前記太陽電池検査装置における太陽電池欠陥判定方 法であって、 遮光空間で検査対象太陽電池セルに一定電流を供給し、 電源が供給されたこ とによる前記検査対象太陽電池セル毎にセルよりの発光光を撮影し、 前記撮影したセル撮 影画像を強調処理することによりセル撮影画像の喑部の形状を解析してセルの良否判断を 行う太陽電池欠陥判定方法を採用することができる。
8 . 前記解析結果において問題があると判定した暗部を強調して表示する太陽電池欠陥判 定方法を採用することができる。
9 . 前記太陽電池セルの撮影は、 複数の太陽電池セルを連続して撮影し、 セル撮影画像の 暗部の判定は隣接するセル間隔に対しても行い、 隣接するセルの配設状況の良否判定も行 う太陽電池欠陥判定方法を採用することができる。
1 0 . 前記撮影画像の解析において、 マイクロクラックの検出判定を行うことで将来不良 に発展するおそれのある太陽電池セルの状態を判定可能とする太陽電池欠陥判定方法を採 用することができる。
1 1 . 前記撮影画像の解析において、 セル撮影画像の暗部の形状に加えて暗部の方向及び 位置も解析してセルの状態判断を行なうことを可能とする太陽電池欠陥判定方法を採用す ることができる。
1 2 . 前記問題があると判定した暗部を強調して表示したセル画像と、 撮影したセル撮影 画像とを同時に視認可能に表示可能とする太陽電池欠陥判定方法を採用することができる。 発明の効果
本発明の太陽電池検査装置および太陽電池欠陥判定方法によれば、 撮影したセル画像に おいて問題があると判定した暗部を強調して表示部に表示するので、 検査者が表示部を目 視確認可能にて簡単且つ確実に太陽電池を判定することが可能となる。
また本発明の太陽電池検査装置および太陽電池欠陥判定方法では、 太陽電池の現在の不 良箇所のみならず、 将来不良箇所になるおそれのある箇所を簡単且つ確実に判定すること が可能になる。 これにより太陽電池を長期使用する場合の品質や耐久性が更に向上するこ とになる。 図面の簡単な説明
図 1は、 本発明に係る一発明の実施の形態例の概略構成を説明するためのプロック図で ある。
図 2は、 本実施の形態例のカメラ位置決め機構の詳細構造を示す図である。
図 3は、 本実施の形態例の太陽電池検査制御を説明するためのフローチヤ一トである。 図 4は、 図 3の撮影画像処理 S 5 0の詳細を説明するためのフローチャートである。 図 5は、 本実施の形態例の太陽電池セルの検査結果の表示例を示す図である。
図 6は、 検査対象の太陽電池のセル ·ストリング ·マトリックスの説明図である。
図 7は、 検査対象の太陽電池パネルの構成の説明図である。
図 8は、 本実施の形態例の検査装置にて測定する太陽電池セルの説明図である。
図 9は、 検査対象の太陽電池パネル内のセルの欠陥の形態の説明図である。 図 1 0は、 検査対象の太陽電池パネル内のセルの欠陥の形態の説明図である。
図 1 1は、 検査対象の太陽電池パネル内のセルの欠陥の形態の説明図である。
図 1 2は、 多結晶シリコンセルの撮影画像の例である。
図 1 3は、 セル撮影画像から暗部をクラックと判断する方法の説明図である。 符号の説明
1 0 制御部
2 0 メモリ
3 0 基準データファイル
4 0 入出力制御部
5 0 カメラ制御部
7 0 測定電流制御部
7 5 プロ一ブ
8 0 位置決め機構制御部
9 0 0 外部記憶装置
1 0 0 太陽電池パネル （検査対象)
5 0 0 カメラ
8 0 0 カメラ位置決め機構
8 1 0 暗室
8 1 1 検査装置の上面
8 1 2 透明板
8 3 0 y軸ガイド部
8 4 0 X軸ガイド部
8 3 2 ， 8 4 2 駆動機構のモータ
8 1 4 ガイド部材 発明を実施するための最良の形態
以下、 本発明に係る一発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。 図 1は、 本発 明に係る一発明の実施の形態例の太陽電池検査装置の概略構成を説明するためのブロック 図、図 2は本実施の形態例の装置におけるカメラとカメラ駆動装置の構成を示す図で、 （a ) は平面図、 （b ) は正面図、 （c ) は右側面図である。 図 3は本実施の形態例の太陽電池 検査方法を説明するためのフローチヤ一ト、 図 4は本実施の撮影画像処理及び良否判定の 工程を詳細説明するためのフロチャ一ト、 図 5は本実施の形態例の検査結果の表示例を示 す図で、 （a ) は撮影 (元)画像、 （b ) は強調処理した撮影画像である。 図 6は、 検査対 象である太陽電池の内部の太陽電池セル ·ストリング .マトリッ.タスが分かるように記載 した平面図、 図 7は太陽電池の構造を示す断面図である。 図 8は、 本実施の形態例の検査 装置にて測定する太陽電池セルの構成の説明図である。 図 9 ·図 1 0 ·図 1 1は、 検査対 象である太陽電池内のセルの欠陥の状態の説明図である。 図 1 2は、 多結晶シリコンセル の E L撮影画像の例である。 図 1 3は、 セル撮影画像から喑部をクラックと判断する方法 の説明図である。
く 1 >検査対象 （太陽電池セル、 太陽電池パネル）
まず本実施の形態例の検査装置が扱う検査对象 1 0 0の例について説明する。
図 6の平面図に示す様に、 検査対象 1 0 0である太陽電池パネルは角型の太陽電池セル 2 8がリード線 2 9により複数個直列に接続されたストリング 2 5を形成し、 さらにその ストリングを複数列リード線により接続した構成となっている。
検査対象である太陽電池としては、 太陽電池セル 2 8を 1枚でもよく、 太陽電池セルを 複数枚直線的につないだストリング 2 5の状態でもよく、 ストリングを平行に複数列並べ、 太陽電池セルがマトリックス状に配置された太陽電池パネル 3 0でもよい。
また検査対象 1 0 0の太陽電池パネルの断面構造は、 図 7に示す様に、 上側に配置され た裏面材 2 2と下側に配置された透明カバーガラス 2 1の間に、 充填材 2 3、 2 4を介し て複数列のストリング 2 5をサンドィツチした構成を有する。
裏面材 2 2は例えばポリエチレン樹脂などの材料が使用される。 充填材 2 3， 2 4には 例えば E VA樹脂 （ポリエチレンビニルアセテート樹脂） などが使用される。 ストリング 2 5は、 上記のように電極 2 6， 2 7の間に、 太陽電池セル 2 8をリード線 2 9を介して 接続した構成である。
このような太陽電池パネルは、 上記のように構成部材を積層しラミネート装置などによ り、 真空の加熱状態下で圧力を加え、 E V Aを架橋反応させてラミネート加工して得られ る。
さらに、 角型の太陽電池セル 2 8の例について説明する。 図 8は、 太陽電池セルを受光 面から見た平面図である。 セルは薄板状のシリコン半導体の表面に電気を取り出すための 電極であるパスバーが印刷されている。 加えてシリコン半導体の表面には効率よく電流を バスパーに集めるためにバスパーと垂直方向にフィンガーと呼ばれる細い導体が印刷され ている。
また検査対象 1 0 0としては、 一般に薄膜式と呼ばれる太陽電池を対象とすることがで さる。
この薄膜式の代表的な構造例では、 図 7において下側に配置された透明なカバーガラス には、 予め透明電極、 半導体、 裏面電極からなる発電素子が蒸着してある。
このような薄膜型太陽電池パネルは、 ガラスを下向きに配置し、 ガラス上の太陽電池素 子の上に充填材を被せ、 更に、 充填材の上に裏面材を被せた構造で、 同じようにラミネー ト加工することにより得られる。
このように検査対象 1 0 0としての薄膜式の太陽電池パネルは、 結晶系セルが蒸着され た発電素子に変わるだけで、 基本的な封止構造は前記した結晶系セルの場合と同じである。 < 2 >太陽電池セルの欠陥
太陽電池セルの欠陥は、 その発生原因によってその形状に特徴を有している。 図 9はフ インガーが断線した場合の暗部の特徴を示している。 フィンガー断線の場合はこのように フィンガーの方向に沿って長方形の喑部が現れる。
図 1 0はその発生原因によるクラック状の暗部の特徴を示している。 バスバーの近辺の 領域 Mおよび領域 Nには、 パスバーにリード線をハンダ付けする際に生じる熱変形によつ て発生するクラックが存在する。 このクラックは比較的寸法が小さい傾向がある。
それに対してラミネート加工による圧縮や輸送中、 およびモジュール製作工程中のハン ドリングによる荷重や衝撃力に起因するクラックはバスパーの近辺には限らず領域 Lにも 発生する。 このクラックは前述のハンダ付けによるクラックより寸法が大きくなる傾向が ある。 またこれらのクラックは半導体が硬くもろい物性を有しているため、 折れ曲がった 部分を持っているが、 比較的単純な形状になる傾向がある。
図 1 1は面積を持った暗部の特徴を示している。 クラックによる半導体自身の乖離具合 によって暗部の出方が変わってくる。 同図の C 1部のようにクラックによって半導体が完 全に分離されてしまうと、 バスバーと反対側に面積を持った喑部が現れる。 また、 同図の C 2部のように半導体の一部が完全に脱落してしまうと、 脱落した部分は発光しないので、 その部分が面積を持った暗部となる。 また同図の C 3部のように完全に脱落しなくても半 導体自身が分離していると、 そのクラックから半導体の端までの部分が面積を持つた暗部 となる。 これらの面積を持った暗部は暗部の内面の喑さの程度が比較的安定した傾向があ り、 明るレ、部分と喑レ、部分が複雑に混在することは少ない。
撮影画像には欠陥以外でも喑部が写ることがある。 図 1 2は多結晶シリコンセルの撮影 画像の例である。 この画像でセルの全面に分布している複雑な形状をした模様状の暗部は、 欠陥ではなく結晶の境界にできる暗部である。 セルの良否判定を行う場合、 これらの実際 には欠陥ではない暗部と欠陥による暗部を判別する必要がある。 そのためには後述する各 種の画像処理や良否判定基準の工夫が必要になる。
< 3 >本発明の太陽電池検査装置の構成
図 1の本発明に係る一発明の実施の形態例の太陽電池検査装置の概略構成を示すプロッ ク図において、 1 0は本実施の形態例の全体制御を司ると共に、 本実施の形態例の太陽電 池良否判定処理を実行する制御部であり、 パーソナルコンピュータシステムで構成できる。 2 0は制御部 1 0で実行するプログラムや各種処理データを記憶するメモリ、 3 0は検査 対象の太陽電池パネルの良否判定の基準デーダが登録されている基準データファイルであ る。
基準データファイル 3 0には、 検査対象の種類 （セル/ストリング/マトリックス ：図 6 参照） 毎の設定値が登録されている。 登録される設定値は以下のとおりである。
( 1 ) 太陽電池セルに対する発光条件、
( 2 ) セル間隔 （カメラの移動ピッチ） 、 ( 3 ) ストリング /マトリツタスの場合のセル数 （縦、 横） 、
( 4 ) セル寸法情報 （パスバー位置、 角の面取り、 フィンガーの配置、 ディップ位置など) の設定情報
セルの寸法情報設定は、 基本パターンの穴埋め方式と図形情報から設定する方式の両方 法が設定可能であり、 図形情報から設定する場合には図形情報として D X F形式、 BM P 形式ファイルに対応しており、 穴埋め方式の場合には例えばバスバーの本数が 1本の場合、 2本の場合、 3本の場合など、 複数のパターンを選択可能である。
( 5 ) 画像処理条件
( 6 ) 撮影条件
4 0は各種の指示入力や良否判定結果を入力するキーボード 4 0 0などの入出力装置を 制御する入出力制御部、 5 0は検查対象である太陽電池パネル 1 0 0よりの画像を撮影す る太陽電池撮影カメラ 5 0 0を制御するカメラ制御部、 6 0は、 撮影した画像を表示する 表示部 6 0 0を制御する表示制御部、 7 0は検査対象である太陽電池パネル 1 0 0にプロ ーブ 7 5を介して一定電流 （所定の順方向電流） を印加する測定電流制御部、 7 5は太陽 電池パネルに電流を供給するプローブ、 8 0はカメラ 5 0 0を撮影位置に搬送位置決めす るカメラ位置決め機構 8 0 0を制御する位置決め機構制御部である。 カメラ位置決め機構 8 0 0を含む力メラ撮影部の詳細を図 2に示す。
本実施の形態例装置では、 測定電流制御部 7 0から、 プローブ 7 5を介して太陽電池パ ネル 1 0 0に順方向に所定電流を供給することにより、 太陽電池パネル 1 0 0を E L (ェ レクト口ルミネッセンス） 光源として作用させ、 太陽電池撮影カメラ 5 0 0でこの発光状 態を撮影する。 撮影は、 太陽電池パネルの各セル毎に順次撮影していくことになるため、 カメラ位置決め機構 8 0 0でカメラ位置をセル毎に移動させる。
カメラ 5 0 0で撮影する E L発光による発光光量は、 1， 0 0 0 n mから l， 3 0 0 η mの波長の微弱な光であり、 喑室内で発光させて微弱な光を撮影している。 このため、 力 メラ 5 0 0としては微量感度の良いカメラを用いる必要がある。 本実施の形態例では、 浜 松ホトニクス製の型式 C 9 2 9 9— 0 2 ( S i— C C Dカメラ） を用いている。
次に図 2を参照して本実施の形態例の力メラ 5 0 0とカメラ駆動機構 8 0 0の構成 ·制 御を説明する。 図 2は、 カメラ位置決め機構 8 0 0を含むカメラ撮影部 5 0 0 (図面では 太陽電池撮影カメラ）.の詳細を示す。
カメラ駆動機構 8 0 0は、 四角の箱形の暗室 8 1 0の平らな上面 8 1 1に、 アクリル樹 脂などの合成樹脂製又はガラス製の透明板 8 1 2が取り付けられている。 透明板 8 1 2以 外は、 喑室 8 1 0に光を入れないような遮光性の素材からなる構成にしている。 透明板 8 1 2と検査対象 1 0 0との隙間は適宜遮光材で覆う必要がある。 もっとも、 上面 8 1 1に 検査対象 1 0 0として太陽電池を載せた後、 検査対象 1 0 0を含む上面 8 1 1の全体を、 遮光手段で覆うことにすれば、 上面 8 1 1全体を透明板にしてもよい。 上面以外の 4つの 側面と底面は全て遮光性の部材としている。 上面 8 1 1には、 検査対象 1 0 0の搬送をガ ィドする一対のガイド部材 8 1 4が設けられている。
暗室 8 1 0内には、 カメラ 5 0 0と、 このカメラ 5 0 0を y軸方向に移動する y軸ガイ ド部 8 3 0がある。 y軸ガイド部 8 3 0の一端には、 モータ 8 3 2があり、 これが回転す ることで、 カメラ 5 0 0を y軸方向に進退させることができる。
y軸ガイド部 8 3 0の両端は、 X軸ガイド部 8 4 0、 8 4 0に支持されている。 そして、 モータ 8 4 2と両側のタイミングベルト 8 4 4、 8 4 4とによって、 y軸ガイド部 8 3 0 は、 X軸ガイド部 8 4 0、 8 4 0上を、 X軸方向に沿って進退可能となっている。
以上の構成において、 X軸ガイド部 8 4 0、 8 4 0、 y軸ガイド部 8 3 0、 モータ 8 3 2、 8 4 2、 タイミングベルト 8 4 4、 8 4 4とで、 カメラ 5 0 0の駆動機構を構成して いる。 本実施例では、 X軸ガイド部 8 4 0、 8 4 0及び y軸ガイド部 8 3 0をモータおよ びボールネジにて駆動している。 駆動方式は、 上記の実施例に限定されることなく、 各種 のリニアァクチユエータを使用することができる。
駆動機構のモータ 8 3 2， 8 4 2を回転制御することで、 カメラ 5 0 0を、 x— y平面 内の任意の位置に移動し、 検査対象 1 0 0の隅から隅までの全面を撮影することが可能と なっている。
検査対象の太陽電池としては、 太陽電池セル 1枚でもよく、 図 6の様に太陽電池セルを 複数枚直線的につないだストリングの状態でもよく、 ストリングを平行に複数本並べ、 太 陽電池セルがマトリックス状に配置された太陽電池パネルでもよい。 カメラ 5 0 0による 撮影も、 太陽電池セル 1枚ごとでもよいし、 数枚ずつでもよく、 太陽電池パネル全体とし てもよい。
検査対象である太陽電池パネル 1 0 0は、 太陽電池セルを一列に配置して電気的に接続 したストリングを複数本平行に並べ、 太陽電池セルが縦横にマトリックス状に配置したも のである。 そして図 7に示す様に、 一番下側に透明なガラス板が配置され、 次に充填材と しての E V A (エチレンビュルアセテート） 、 次に太陽電池セル、 さらに E V Aが積層さ れ、 上側に樹脂製のパックシートが配置されている。 これらをラミネート装置において、 真空の加熱状態下で圧力を加え、 E V Aを架橋反応させて積層してラミネート構造として いる。 ラミネート装置から搬出された太陽電池パネルは、 次に、 コンベアなどで本発明の 太陽電池の検査装置に搬送される。搬送されてきた太陽電池パネルは、ガイド部材 8 1 4、 8 1 4の間にガイドされて喑室 8 1 0の上に達する。
図 2に示すように喑室 8 1 0の上に達した太陽電池パネル 1 0 0は、 透明なガラス板を 下に向けて暗室 8 1 0の透明板 8 1 2の上で停止し、 プローブ 7 5を接続し測定電流制御 部 7 0と接続する。 検査対象 1 0 0の方が透明板 8 1 2より小さいので、 周囲から暗室內 に光が入るから、 検査対象 1 0 0の上から暗室 8 1 0の上面全体を図示しない遮光手段で 覆う。 または透明板 8 1 2と測定対象 1 0 0との隙間は適宜遮光材で覆う必要がある。 遮光手段であるが、 上記では、 暗室 8 1 0の上面全部を覆うものとして説明したが、 太 陽電池パネルの場合、 裏側の樹脂製のバックシートは、 不透明であり、 遮光性が十分であ る。 また、 暗室 8 1 0の上面 8 1 1も、 透明板 8 1 2以外を遮光性の部材で構成されてい る。 したがって、 検査対象 1 0 0が透明板 8 1 2より大きくて、 透明板 8 1 2の全体が検 査対象 1 0 0で覆われる場合には、 遮光シートは不要である。
しかし、 検査対象 1 0 0の方が透明板より小さければ、 隙間から光が暗室 8 1 0内に入 るので、 遮光手段で覆う必要がある。 覆う範囲は、 最低で、 透明板 8 1 2と測定対象 1 0 0との間に額縁状にできる隙間だけである。 したがって、 遮光手段は、 最低で、 この隙間 を覆う大きさがあればよいことになる。
検査対象 1 0 0に測定電流制御部 7 0から順方向の電流を流す。 検査対象 1 0 0が E L 発光するので、 カメラ 5 0 0で撮影する。
駆動機構のモータ 8 3 2、 8 4 2の回転制御によって、 カメラ 5 0 0は、 太陽電池パネ ルにマトリックス状に配置されている太陽電池セルを 1枚ずつ撮影し、 図示しないバソコ ンなどからなる画像処理装置に画像データを送る。 画像処理装置は、 各太陽電池セルの画 像から発光しない部分 （暗部またはカゲ） を取り出して分析し、 太陽電池セルごとの良否 を判断し、 全ての太陽電池セルについての良否の結果から、 太陽電¾パネル全体としての 良否を判断する。
本実施の形態例では、 太陽電池を特別の暗室内で検査するのではなく、 図 2のように簡 単な機構の装置に載置すればよい。 また本実施の形態例では、 図 2に示す機構とコンビュ ータシステムを備えるのみで足りるため、 以下のような長所がある。
太陽電池パネルのラミネート加工など、 通常の加工工程では、 太陽電池パネルのガラス 面を下にして搬送している。 この検査装置は、 暗室の上面 8 1 1に太陽電池の受光面を下 側にして載置することができるので反転する動作が不要となる。 したがって太陽電池パネ ルなどの製造工程中に容易に配置するこどができる。
< 4 >太陽電池パネルの検査フロー
以上の構成を備える本実施の形態例の検査装置による太陽電池パネルの欠陥検査の方法 を図 3のフローチャートを参照して以下に説明する。
先ずステップ S 1において、 図 2に示す喑室 8 1 0の上面 8 1 1に検査对象 1 0 0とし て太陽電池パネルを位置決め載置する。 続くステップ S 3において、 載置した検査対象の 太陽電池パネルの端子部にプローブ 7 5を接続して測定電流制御部 7 0より電流を印加で きるようにする。
つぎのステップ S 5において、 制御部 1 0は位置決め機構制御部 8 0を制御してカメラ 5 0 0を最初の太陽電池パネル撮影位置に位置決めする。 ステップ S 7において、 測定電 流制御部 7 0を制御して検査対象である太陽電池パネル 1 0 0に所定の順方向電流を印加 して E L発光させる。 発光条件 （通電電流値、 通電時間など） は検査対象ごとに予め設定 し、 基準データファイル 3 0に登録しておく。 また、 この発光条件は、 本実施の形態例で 工 〇
は、 一つの撮影条件に 3セット設定可能に構成されている。 これは、 セルの特性によって は、 単一の条件では E L発光過多や発光不足が発生する可能性があるからである。
この様に複数の発光条件を設定しておくことにより、 撮影画像処理実行時に、 撮影結果 が不十分と判断した場合にはその状況により発光条件を変更して再度ステツプ S 7の処理 から再実行することができるようにしている。 以下の説明では、 再試行についての説明を 省略している。
そしてステップ S 1 0において、 制御部 1 0はカメラ制御部 5 0を制御してカメラ 5 0 0で E L発光している太陽電池パネルセルを撮影し、 撮影画像を取り込み、 例えばメモリ 2 0と外部記憶装置 9 0 0の所定領域に書き込む。
続くステップ S 1 2で表示制御部 6 0を制御して先に撮影したオリジナル画像をメモリ 2 0から読み出して表示部 6 0 0に表示する。 制御部 1 0は、 ステップ S 5 0に示す撮影 画像に対する画像処理を行い、 撮影画像情報の解析処理を行う。 ステップ S 5 0における 欠陥の判断方法などの詳細は < 5 >にて後述する。 そしてステップ S 1 6において、 ステ ップ S 5 0の画像処理結果に従って欠陥部分を強調した画像を表示制御部 6 0を介して表 示部 6 0 0に表示する。 画像の強調処理の方法は < 8 >にて後述する。
なおステップ S 1 8は、 強調表示した画像を使用した検査者による手動判定の工程であ り詳細は < 7 >にて後述する。
制御部はステップ S 2 0でセルの判定結果を例えば外部記憶装置 9 0 0に保存する。 次にステップ S 2 2において、 検査対象の太陽電池パネルのセル毎に割り当てたシーケ ンス番号を一つカウントアップ （歩進） する。 そして続くステップ S 2 4において、 カウ ントアップしたシーケンス番号を調べ、 検査対象の太陽電池パネルのすべてのセルに対す る撮影及び判定処理が修了したか否かを調べる。 すべてのセルに対する処理を終了してい ない場合にはステップ S 3 0に進み、 位置決め機構制御部 8 0に指示を出してカメラ位置 決め機構 8 0 0を制御してカメラ 5 0 0を次のセル撮影位置に移動位置決めする。 そして ステップ S 7に進み、 次のセルに対する撮影処理及び判定処理を行う。
一方、 ステップ S 2 4 すベてのセルに対する判定処理が終了している場合にはステツ プ S 2 6に進み以下の様に総合判定を行う。 その後各セル同士の間隔などを確認して太陽 電池パネル全体として良品とできるか否かを総合的に判定し判定結果をたとえば外部記憶 装置 9 0 0の所定領域に書き込む。 そして 1枚の太陽電池パネルに対する総合判定処理を 終了する。
< 5 > S 5 0撮影画像処理の詳細説明
次に図 4を参照して図 3のステップ S 5 0に示す撮影画像処理の詳細を説明する。 画像処理は、 まず撮影したセル画像に対して光量が少ない領域を抽出する。 次に、 抽出 した光量の少ない領域又は形状を図 9 '図 1 0 ·図 1 1の太陽電池セルの欠陥のパターン に基づき画像処理する。 画像処理条件は基準データファイル 3 0に登録されており、 以下 の処理を順次行うことになる。 先ずステップ S 5 2において、 スケーリング処理を実行する。 セルの特性によって全体 的な発光量には違いがある。 スケーリング処理は、 もっとも明るい部分をある明度に正規 化して、 より一定の条件で比較検討できるように画像全体の明るさを調整する処理である。 次にステップ S 5 4でセル領域抽出処理を実行する。 この処理は、 太陽電池セルの外周 形状を、 予め基準データファイル 3 0に設定し登録していたセルの寸法情報と照合して自 動計算する処理である。 セルの位置や角度がたとえずれていても正確にセルの外周形状を 求めることができる。
次のステップ S 5 6において、 バスバー除外処理を行って撮影画像からパスパー領域を 除外してセルの良否判定を行えるような画像処理を行う。 太陽電池セルにはバスバーが設 けられており、 基準データファイル 3 0に予め設定しておいたセルの寸法情報と照合して 自動計算してバスバー領域を求め、 セルの良否判定のための領域から除外する。 なお、 セ ルの位置や角度がずれていても正確にパスバー領域を求めることができる。
続いてステップ S 5 8において、 シェーディング補正処理を行う。 カメラ 5 0 0に装着 するレンズの特性により、 どうしても中心が明るく端に行くほど暗くなる。 このため、 こ の処理でカメラのレンズ特性による明度の変化を補正する。
次にステップ S 6 0において、 欠け検出処理を行う。 欠け検出処理は、 セル周辺部で喑 く見える面積をもった喑部のうちある面積以上のものを欠けとして抽出する処理である。 なお、 影であるか否かは周辺との明度の低下割合を閾値にして判定を行う。 これは以後の 各処理においても同様である。
欠陥が原因の欠けによる暗部は、 図 1 1のように周辺の明るい部分に比べて比較的安定 して暗くなる傾向がある。 それに対して図 1 2のように欠陥以外が原因の暗部は、 暗い部 分と明るい部分が複雑に混在している。
このような複雑に明るい部分と暗い部分が混在する画像に対して明度の分布を平均化す る処理を施すと、 明るい部分と暗い部分の差が縮まり境界がなくなってしまう。 それに対 して欠陥が原因の欠けでは、 同様の平均化処理を行っても明るい部分と暗い部分の境界が 残る。 この境界を検出すれば容易に欠け部分を抽出することができる。
判定結果を強調して表示するための強調画像を生成する場合には、 欠けと判定した暗部 には、 判定結果に対応した色を付けて表示する、 等の上述したステップ S 1 6に示す表示 を可能とする画像強調処理を施す。
続いてステップ S 6 2でフィンガー断線検出処理を行う。 この処理は、 セル内部で暗く 見える面積をもった影状に見える部分のうちある面積以上のものをフィンガー断線として 検出する処理である。 この処理でも欠け検出で行ったのと同様の明度の平均化処理を行い、 安定した喑部を抽出している。 さらにフィンガー断線の暗部は図 9のようにフィンガーの 方向に沿って長方形の形状を示す特徴がある。 そこで予め基準データファイル 3 0に設定 されているフィンガーの方向と合致して且つ形状が長方形に近似した暗部をフィンガー断 線と判定するようにする。 丄 ム
判定結果を強調して表示するための強調画像を生成する場合には、 フィンガー断線と判 定した暗部には、 判定結果に対応した色を付けて表示する、 等の上述したステップ S 1 6 に示す表示を可能とする画像強調処理を施す。
次にステップ S 6 4において、 クラック検出処理を行う。 ここでは、 フィンガ一断線以 外で暗く見える線状の暗部のうちある長さ以上のものをクラックとして検出する処理であ る。 クラックの暗部は、 図 1 0のように一部折れ曲がった部分を有するが、 比較的単純な 形状をしている。 以下に図 1 3によりクラックを判断する方法について説明する。
クラックの喑部は以下のように比較的単純な線分の集合になっている。 クラック検出の 処理では、 クラックによる暗部 （ィ） （口） （ハ） を 1つのクラックとして認識し、 それ ぞれの長さを合算してそのクラックの長さとしている。 クラックによる暗部だけの場合は、 単に各喑部のつなぎ目 （接合点） でつながって （接合して） いるかを見るだけで各暗部が 一つの喑部の一部である力否かの判定をすることができる。
「< 2 >太陽電池セルの欠陥」 で述べた通り撮影画像にはクラックによる暗部以外の暗部 が存在する可能性がある。 それがクラックによる暗部の結合点と重なつた場合、 '線の接合 を見ただけでは正確にクラック全体を把握することができない。
クラックによる暗部は図 1 3のように比較的単純な形状 （接合点が鈍角に折れ曲がって いる） をしているので、 各線分同士の方向は近いと考えられる。 それに対してクラック以 外の喑部はランダムな方向になっているので、 クラックの方向と一致する確率が低い。 暗部の接合点でつながつている次の暗部を判定する場合、 上述のようにそれまでの暗部 の方向と近いものを優先して次の暗部であると判定すれば、 容易にクラックの全体を把握 できることになる。
判定結果を強調して表示するための強調画像を生成する場合には、 クラックと判定した 暗部には、 判定結果に対応した色を付けて表示する等の上述したステップ S 1 6に示す表 示を可能とする画像強調処理を施す。
そしてステップ S 6 6で各検出処理で抽出した 「欠け」 「フィンガー断線」 「クラック」 のそれぞれの大きさ （面積、 長さ） 、 個数を予め定めた閾値と比較し、 セルの良否を判定 する。 そして続くステップ S 6 8で判定結果を出力する。
「< 2 >太陽電池セルの欠陥」 で述べた通り撮影画像にはクラックによる暗部以外の暗部 が存在する可能性がある。 クラックであるとする判定基準 （クラックと認識するクラック の長さのしきい値） を下げると、 クラック以外の暗部もクラックと誤認してしまう可能性 があります。 そこで以下のような判定基準によりクラックと判定する。
ステップ S 6 6の総合判定処理における判定基準としては、 セルの領域特性に応じた 3 種の基準を用意している。 図 1 0のように太陽電池セルをパスバー近辺の領域 （領域 M、 領域 N) とそれ以外の領域 Lに分ける。 第 1の判定基準は、 領域 Mおよび領域 N以外の領 域 Lに適用され、 クラック以外の暗部を排除して正確に抽出を行うために寸法の大きなも のに限定して抽出することが望ましい。 第 2の判定基準は、 領域 Mに適用され、 クラック ^ 3
はパスパーにリード線をハンダ付けする際に生じる寸法の小さいものも含めて抽出する。 第 3の判定基準は、 領域 Nに適用され、 第 2の判定基準と同様である。 第 1の判定基準で より長さの長い線状の暗部をクラックとすることで、 クラック以外の暗部を排除し、 より 正確にクラックを抽出することができる。 第 2と第 3の判定基準で短い線状の喑部をクラ ックとすることで、 小さな寸法のクラックまで抽出可能となる。
セル良否の自動判定処理では、 まず 「欠け」 「フィンガー断線」 「クラック」 の有無を 判定する。 これらがない場合には良品とする。 検出された場合には、 検出された 「欠け」 「フィンガー断線」 「クラック」 の情報をもとにセルの良否をランク分けすることになる。 ランク分けは以下の項目を基に判定する。 （1 )検出された 「欠け」 の面積の合計、 （2 ) 検出された 「フィンガー断線」 の面積の合計、 （3 ) 検出された 「クラック」 の長さの合 計の 3つについて予め設定した閾値と比較して項目毎のランクを決定している。 ランクは、 例えば、 A、 B、 C、 D、 Eの 5ランクとし、 Aがもっともよく、 Eが最も低いランクと する。 欠陥ありと判断したセルのランクは、 自動判定の最低ランクである Eランクに分類 する。 セルのランクが所定ランク以下の場合に不良 （N G) と判定する。 この所定ランク は任意に設定変更可能である。
く 6 >自動判定 S 2 6
そして、 検査対象がセル単体である場合にはセルの判定結果がそのまま製品としての総 合判定結果となる。 一方、 検査対象がストリング、 マトリックスの場合、 製品としての良 否の自動判定を以下の手順で行うこととしている。
各セルの判定基準を基に判断することになるが、 ランク付けされた各セルのランク別の セルの枚数によって総合判断する。 例えば、 設定したランク以下のセルの枚数が設定以上 の場合、 不良と判断することになる。 例えば、 Cランク以下が 5枚以上、 Dランク以下が 3枚以上、 Eランク以下が 1枚以上のいずれかの場合に製品の良否を不良と判定するなど の判断基準を設定する。
< 7 > S 1 8検査者による手動判定
本実施の形態例の太陽電池欠陥検査装置においては、 撮影画像を解析して問題があると 判定した暗部を、 その表示部に強調表示する機能を有している。 本太陽電池欠陥検査装置 による自動判定を止め、 図 3の S 1 8においてこの機能を使用して検査者が表示部を見て 手動判定することもできる。 検査者による手動判定の場合は、 以下のとおりとなる。
検査者は、 図 3のステップ S 1 8において、 検査者は強調表示した画像を見て良否判定 結果をキーボード 4 0 0から指示入力する。 なお、 表示部 6 0 0がタツチパネルである場 合には、 表示部 6 0 0の表示画面にタツチすることで指示入力としても良い。
本実施の形態例の検査装置には、 検査者が表示部の撮影画像を確認して良否判断するた めに、 判定機能の 「有効 無効」 、 自動判定機能の 「有効 Z無効」 、 手動判定機能の 「有 効 無効」 を設定可能としている。 検査者がストリング、 マトリクスの製品を検査し、 検 „
1 4
查者がすべてのセルを判定し終わったと判断したときに「製品判定完了」ボタンを入力し、 次の太陽電池パネルの検査を行う様にしている。
本実施の形態例のステップ S 1 2のオリジナル画像とステップ S 1 6における欠陥部分 を強調した判定画像の例を図 5に示す。 図 5の （A) がオリジナル画像 (B ) が強調表示 した判定画像である。 例えば、 検査者が手動判定を行う場合には、 この画像を見比べて判 断することにより、 より容易にまた確実にセル撮影画像の良否が判別できる。
< 8 > S 1 6強調画像処理
上述したステップ S 1 6の判定画像における欠陥部分を強調した画像とは、 以上に説明 した解析処理において撮影画像の暗部を解析した結果、 バスバー部分などの本来的に発光 しない部分に対応する喑部を除く、 通常 E L発光していなければならない部分が暗部とし て認識された場合には、 以下の強調画像となる。
( 1 ) 係る部分が上述した判定処理で欠陥が原因の欠けによる暗部であると判定された場 合、 例えば図 5の左端部近傍に示す暗部の場合には、 喑部と判定された部分のすべてを周 辺部分と容易に区別可能な明度で （図 5 ( b ) ィ参照） 表示する。 カラー表示が可能な場 合には、 例えば黄色など係る暗部に特有の色で表示することが望ましい。
( 2 ) 係る部分が上述した判定処理でフィンガー断線と判定された場合、 例えば図 5の中 央やや上部に示す部分の場合には、 フィンガー断線と判定された暗部を中心とした一定の 幅の領域を周辺部分と容易に区別可能な明度で （図 5 ( b ) 口参照） で表示する。 カラー 表示が可能な場合には、 例えば黄緑色など係る暗部に特有の色で表示することが望ましい。
( 3 ) 係る部分が上述した判定処理でクラックによる暗部と判定された、 例えば図 5の左 側中央よりやや下側に示す部分の場合には、 かかる部分を中心とした一定の太さを持った 線として他の部分と容易に区別可能な明度で （図 5 ( b ) ハ参照） で表示する。 カラー表 示が可能な場合には、 例えば赤色など係る暗部に特有の色で表示することが望ましい。 係る部分は、 当該暗部が原因で他の周辺部分に欠陥を示す暗部は生じていないが、 長期 間の使用により当該暗部が拡大し他の周辺部分に欠陥が生じる可能性がある。 係る部分を 一定太さの線として表示するため、 係る部分が撮影画像のどの部分かを容易に認識可能に している。 良否を判定しょうとする者は、 撮影画像とこの強調画像の両方の画像を確認す ることで、 解析の結果、 問題があると判定された撮影画像の箇所を容易且つ確実に認識で さる。

Claims

請 求 の 範 倒
太陽電池内の太陽電池セルの良否を判定可能な太陽電池検査装置であって、 遮光空間で検査対象太陽電池に一定電流を供給する電源供給手段と、
前記電源供給手段により電源が供給された前記検査対象太陽電池セル毎にセルより の発光光を撮影する撮影手段と、
前記撮影手段で撮影したセル撮影画像を解析する解析手段と、
前記解析手段の解析結果を可視表示する表示手段とを備え、
前記解析手段は、 前記撮影手段で撮影したセル撮影画像を強調処理することにより セル撮影画像の喑部の形状を解析してセルの良否判断を可能とすることを特徴とする 太陽電池検査装置。
請求項 1に記載の太陽電池検査装置であって、
前記表示手段は前記解析手段が問題があると判定した暗部を強調して表示することを 特徴とする太陽電池検査装置。
前記撮影手段は、 複数の太陽電池セルを連続して撮影し、 前記解析手段は、 前記撮 影手段の撮影した隣接するセル間隔に対する良否判定も行うことを特徴とする請求項
1又は請求項 2に記載の太陽電池検査装置。
前記解析手段は、 マイクロクラックの検出判定を行うことで将来不良に発展するお それのある太陽電池セルの状態を判断可能とすることを特徴とする請求項 1乃至請求 項 3に記載の太陽電池検査装置。
前記解析手段は、 セル撮影画像の暗部の形状に加えて暗部の方向及び位置も解析し てセルの状態判断を行なうことを特徴とする請求項 1乃至請求項 4のいずれかに記載 の太陽電池検査装置。
前記表示手段は、 前記解析手段が問題があると判定した暗部を強調して表示したセ ル画像と、 前記撮影手段で撮影したセル撮影画像とを同時に視認可能に表示可能とす ることを特徴とする請求項 1乃至請求項 5のいずれかに記載の太陽電池検査装置。 請求項 1乃至請求項 6に記載の太陽電池検査装置における太陽電池欠陥判定方法で あって、
遮光空間で検査対象太陽電池セルに一定電流を供給し、 電源が供給されたことによ る前記検査対象太陽電池セル毎にセルよりの発光光を撮影し、
前記撮影したセル撮影画像を強調処理することによりセル撮影画像の暗部の形状を 解析してセルの良否判断を可能とすることを特徵とする太陽電池欠陥判定方法。 請求項 7に記載の太陽電池欠陥判定方法であって、
前記解析結果において問題があると判定した暗部を強調して表示することを特徴とす る太陽電池欠陥判定方法。 前記太陽電池セルの撮影は、 複数の太陽電池セルを連続して撮影し、 セル撮影画像 の暗部の判定は隣接するセル間隔に対しても行い、 隣接するセルの配設状況の良否判 定も行うことを特徴とする請求項 7または請求項 8に記載の太陽電池欠陥判定方法。. 前記撮影画像の解析において、 マイクロクラックの検出判定を行うことで将来不良 に発展するおそれのある太陽電池セルの状態を判断可能とすることを特徴とする請求 項 7乃至請求項 9に記載の太陽電池欠陥判定方法。
. 前記撮影画像の解析において、 セル撮影画像の暗部の形状に加えて暗部の方向及び 位置も解析してセルの状態判断を行なうことを特徴とする請求項 7乃至請求項 1 0に 記載の太陽電池欠陥判定方法。
. 前記問題があると判定した暗部を強調して表示したセル画像と、 撮影したセル撮影 画像とを同時に視認可能に表示可能とすることを特徴とする請求項 7乃至請求項 1 1 に記載の太陽電池欠陥判定方法。
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