JPH08304298A - 赤外検査装置 - Google Patents
赤外検査装置Info
- Publication number
- JPH08304298A JPH08304298A JP11184395A JP11184395A JPH08304298A JP H08304298 A JPH08304298 A JP H08304298A JP 11184395 A JP11184395 A JP 11184395A JP 11184395 A JP11184395 A JP 11184395A JP H08304298 A JPH08304298 A JP H08304298A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- infrared
- subject
- infrared camera
- camera
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 従来、赤外線カメラ単独では解像度が低いた
めに検出することが困難であった欠陥部周辺の微細な構
造まで高い解像度撮像ですることができる検査装置を得
る。 【構成】 １は被検体、２は微動台、３はプローブ、７
はレンズ、８は赤外線カメラ、９はモニタ、１２は光
源、１３は長波長カットフィルタ、１４は光ファイバ、
１５は照明光、そして１６は微細な表面像と欠陥像であ
る。
めに検出することが困難であった欠陥部周辺の微細な構
造まで高い解像度撮像ですることができる検査装置を得
る。 【構成】 １は被検体、２は微動台、３はプローブ、７
はレンズ、８は赤外線カメラ、９はモニタ、１２は光
源、１３は長波長カットフィルタ、１４は光ファイバ、
１５は照明光、そして１６は微細な表面像と欠陥像であ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば集積回路や液
晶薄膜トランジスタパネル（以下ＴＦＴパネルと略して
記載する）の被検体の欠陥を検査する装置の改良に関す
るものである。
晶薄膜トランジスタパネル（以下ＴＦＴパネルと略して
記載する）の被検体の欠陥を検査する装置の改良に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】図５は従来のこの種の検査装置でＴＦＴ
パネルの検査を行う場合の例を示す図であり、図におい
て１は被検体、２は被検体を保持する微動台、３は被検
体と接触するプローブ、４は被検体に電気エネルギを供
給する電源、５は可視光を反射して赤外光を透過する赤
外透過鏡、６は赤外光、７は赤外光を集光するレンズ、
８は赤外光を電気信号に変換する赤外線カメラ、９は電
気信号を映像に変換するモニタ、１０は赤外透過鏡で反
射された可視光、そして１１は可視カメラである。
パネルの検査を行う場合の例を示す図であり、図におい
て１は被検体、２は被検体を保持する微動台、３は被検
体と接触するプローブ、４は被検体に電気エネルギを供
給する電源、５は可視光を反射して赤外光を透過する赤
外透過鏡、６は赤外光、７は赤外光を集光するレンズ、
８は赤外光を電気信号に変換する赤外線カメラ、９は電
気信号を映像に変換するモニタ、１０は赤外透過鏡で反
射された可視光、そして１１は可視カメラである。
【０００３】次に動作について説明する。被検体１の位
置と高さは、微動台２によって設定することができるの
で、後述のカメラは被検体の任意の部分を検査すること
ができる。また電源４の電気エネルギはプローブ３によ
って被検体１に供給される。ここで被検体が発生する赤
外線は赤外透過鏡５を透過して赤外光６となる。この赤
外光はレンズ７によって集光されて赤外線カメラ８で電
気信号となり、モニタ９上に被検体の赤外画像を表示す
る。一方被検体からの可視光は赤外透過鏡で反射されて
可視光１０となり、可視カメラ１１に入射するため、例
えば別のモニタ９上で被検体の欠陥部周辺の微細な構造
を可視画像で観察することができる。ここで、被検体１
がＴＦＴパネルであった場合、欠陥がない場合の薄膜ト
ランジスタのゲートとソース間は数十メグオーム程度の
高い抵抗値を有しているため、電流はほとんど流れな
い。一方、ショートモードの欠陥を生じたＴＦＴパネル
であった場合、上記抵抗は数キロオーム程度の低い抵抗
値となる。このため欠陥部に電流が流れ、電源から供給
された電気エネルギは流れる電流の２乗と配線部の抵抗
値を乗じた値によって定まる熱を発生する。ところがＴ
ＦＴパネルの基板の材質はガラスであり、その熱伝導度
が非常に低いために発生した熱量は微少であっても伝導
することがなく、その部分にヒートスポットを生じる。
上記赤外線カメラは、このヒートスポットが発生する赤
外線を捕らえてモニタ９上に輝点として表示することが
できるため、検査員はＴＦＴパネルの欠陥部分をモニタ
上にて目視で容易に認識することが可能となる。可視カ
メラは欠陥部周囲の構造部分の微細な像を表示するもの
であり、例えばこの例では、あらかじめ赤外線カメラと
光軸を合わせてあるために、両モニタの表示を比較する
ことによって欠陥部がＴＦＴパネルのどの箇所に存在し
ているかを調べる事ができる。
置と高さは、微動台２によって設定することができるの
で、後述のカメラは被検体の任意の部分を検査すること
ができる。また電源４の電気エネルギはプローブ３によ
って被検体１に供給される。ここで被検体が発生する赤
外線は赤外透過鏡５を透過して赤外光６となる。この赤
外光はレンズ７によって集光されて赤外線カメラ８で電
気信号となり、モニタ９上に被検体の赤外画像を表示す
る。一方被検体からの可視光は赤外透過鏡で反射されて
可視光１０となり、可視カメラ１１に入射するため、例
えば別のモニタ９上で被検体の欠陥部周辺の微細な構造
を可視画像で観察することができる。ここで、被検体１
がＴＦＴパネルであった場合、欠陥がない場合の薄膜ト
ランジスタのゲートとソース間は数十メグオーム程度の
高い抵抗値を有しているため、電流はほとんど流れな
い。一方、ショートモードの欠陥を生じたＴＦＴパネル
であった場合、上記抵抗は数キロオーム程度の低い抵抗
値となる。このため欠陥部に電流が流れ、電源から供給
された電気エネルギは流れる電流の２乗と配線部の抵抗
値を乗じた値によって定まる熱を発生する。ところがＴ
ＦＴパネルの基板の材質はガラスであり、その熱伝導度
が非常に低いために発生した熱量は微少であっても伝導
することがなく、その部分にヒートスポットを生じる。
上記赤外線カメラは、このヒートスポットが発生する赤
外線を捕らえてモニタ９上に輝点として表示することが
できるため、検査員はＴＦＴパネルの欠陥部分をモニタ
上にて目視で容易に認識することが可能となる。可視カ
メラは欠陥部周囲の構造部分の微細な像を表示するもの
であり、例えばこの例では、あらかじめ赤外線カメラと
光軸を合わせてあるために、両モニタの表示を比較する
ことによって欠陥部がＴＦＴパネルのどの箇所に存在し
ているかを調べる事ができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の検査装置は以上
のように構成されていた。ここで顕微鏡タイプの赤外線
カメラの解像度が低いために、赤外カメラ単独では欠陥
部分のアドレスを特定することは困難であった。これを
改善するために従来例では可視カメラと組み合わせて使
用していたが、赤外線カメラと可視カメラの表示視野を
一致させるためにはＸ，Ｙ，Ｚの光軸および像の回転さ
らには視野角の一致など数多くの調整要素があるために
複雑である。また使用期間中に狂いを生じる可能性があ
るので定期的に調整が必要であった。これらの調整作業
には熟練と時間を要し、また当然の事ながら調整中は使
用できないので検査装置の稼働率を低減させるなどの問
題があった。さらに赤外線カメラではコントラストが低
く、しかも画像が暗い。これらを改善するために補助光
源などを組み合わせるがこの場合は被検体に加わる熱量
が多く、被検体の劣化を生じるなどの問題があった。ま
た、顕微鏡タイプの赤外線カメラのワークディスタンス
即ち対物レンズと被検体との距離は数ミリメートルと近
いためにＴＦＴパネルの周辺部の欠陥を捜索する際は、
操作速度を落としてレンズとプローブなどが接触しない
ことを確認しながら検査を行っていた。このため人手と
時間がかかるなどの問題があった。
のように構成されていた。ここで顕微鏡タイプの赤外線
カメラの解像度が低いために、赤外カメラ単独では欠陥
部分のアドレスを特定することは困難であった。これを
改善するために従来例では可視カメラと組み合わせて使
用していたが、赤外線カメラと可視カメラの表示視野を
一致させるためにはＸ，Ｙ，Ｚの光軸および像の回転さ
らには視野角の一致など数多くの調整要素があるために
複雑である。また使用期間中に狂いを生じる可能性があ
るので定期的に調整が必要であった。これらの調整作業
には熟練と時間を要し、また当然の事ながら調整中は使
用できないので検査装置の稼働率を低減させるなどの問
題があった。さらに赤外線カメラではコントラストが低
く、しかも画像が暗い。これらを改善するために補助光
源などを組み合わせるがこの場合は被検体に加わる熱量
が多く、被検体の劣化を生じるなどの問題があった。ま
た、顕微鏡タイプの赤外線カメラのワークディスタンス
即ち対物レンズと被検体との距離は数ミリメートルと近
いためにＴＦＴパネルの周辺部の欠陥を捜索する際は、
操作速度を落としてレンズとプローブなどが接触しない
ことを確認しながら検査を行っていた。このため人手と
時間がかかるなどの問題があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明の実施例１によ
る赤外検査装置は、被検体に電気エネルギを供給する手
段と、赤外線カメラの感度の短波長側に合致する波長の
光を被検体に照射する手段を備えたものである。
る赤外検査装置は、被検体に電気エネルギを供給する手
段と、赤外線カメラの感度の短波長側に合致する波長の
光を被検体に照射する手段を備えたものである。
【０００６】この発明の実施例２による赤外検査装置
は、被検体に電気エネルギを供給する手段と、赤外線カ
メラの感度の短波長側に合致する、スペクトル幅が狭
く、かつ強度が高い光を被検体に照射する手段を備えた
ものである。
は、被検体に電気エネルギを供給する手段と、赤外線カ
メラの感度の短波長側に合致する、スペクトル幅が狭
く、かつ強度が高い光を被検体に照射する手段を備えた
ものである。
【０００７】この発明の実施例３による赤外検査装置
は、被検体に電気エネルギを供給する手段と、被検体の
表面からは光源によって、また裏面からは赤外反射板に
よって被検体に光を照射する手段を備えたものである。
は、被検体に電気エネルギを供給する手段と、被検体の
表面からは光源によって、また裏面からは赤外反射板に
よって被検体に光を照射する手段を備えたものである。
【０００８】この発明の実施例４による赤外検査装置
は、被検体に電気エネルギを供給するプローブと反対側
の面より赤外線カメラで撮像する手段を備えたものであ
る。
は、被検体に電気エネルギを供給するプローブと反対側
の面より赤外線カメラで撮像する手段を備えたものであ
る。
【０００９】
【作用】この発明の実施例１による赤外検査装置は、被
検体に電気エネルギを供給することにより、赤外線カメ
ラによって被検体の欠陥部を容易に検出することができ
る。また、赤外線カメラの感度の短波長側に合致する波
長の光を被検体に照射することによって外線カメラ単体
でも十分な解像度を実現することができ、欠陥部分の特
定を容易に実現することが可能となる。
検体に電気エネルギを供給することにより、赤外線カメ
ラによって被検体の欠陥部を容易に検出することができ
る。また、赤外線カメラの感度の短波長側に合致する波
長の光を被検体に照射することによって外線カメラ単体
でも十分な解像度を実現することができ、欠陥部分の特
定を容易に実現することが可能となる。
【００１０】また、この発明の実施例２による赤外検査
装置は、被検体に電気エネルギを供給することにより、
赤外線カメラによって被検体の欠陥部を容易に検出する
ことができる。また、照明としての光源にレーザダイオ
ードを用いたので、赤外線カメラ単体でも十分な解像度
と像の明るさを実現することができ、これによって欠陥
部分の特定を容易に実施することが可能となる。
装置は、被検体に電気エネルギを供給することにより、
赤外線カメラによって被検体の欠陥部を容易に検出する
ことができる。また、照明としての光源にレーザダイオ
ードを用いたので、赤外線カメラ単体でも十分な解像度
と像の明るさを実現することができ、これによって欠陥
部分の特定を容易に実施することが可能となる。
【００１１】また、この発明の実施例３による赤外検査
装置は、被検体に電気エネルギを供給することにより、
赤外線カメラによって被検体の欠陥部を容易に検出する
ことができる。また、被検体の裏面に到達した表面側か
らの照明の光を赤外反射板によって再度被検体に照射す
るため、被検体に与える熱の悪影響を最小限度にとどめ
ながら、明るくコントラストの高い赤外画像で欠陥部の
検査を実施することが可能となる。
装置は、被検体に電気エネルギを供給することにより、
赤外線カメラによって被検体の欠陥部を容易に検出する
ことができる。また、被検体の裏面に到達した表面側か
らの照明の光を赤外反射板によって再度被検体に照射す
るため、被検体に与える熱の悪影響を最小限度にとどめ
ながら、明るくコントラストの高い赤外画像で欠陥部の
検査を実施することが可能となる。
【００１２】また、この発明の実施例４による赤外検査
装置は、電気エネルギを供給するプローブと赤外線カメ
ラのレンズとを被検体を間にして対向して設置したので
機械的な干渉を生じないために、被検体全域にわたって
早い速度で検査が可能となる。
装置は、電気エネルギを供給するプローブと赤外線カメ
ラのレンズとを被検体を間にして対向して設置したので
機械的な干渉を生じないために、被検体全域にわたって
早い速度で検査が可能となる。
【００１３】
実施例１．図１はこの発明の実施例１を示す構成図であ
り、図において１２は可視光から長波長の遠赤外光まで
の連続するスペクトルを発生する光源、１３はこの光源
が発生する光のうち長い波長を遮断する長波長カットフ
ィルタ、１４はこの長波長をカットした光を被検体の表
面に導く光ファイバ、１６はこの長波長をカットした光
で照明した微細な表面像と、電源からのエネルギで欠陥
部に輝点を生じさせた欠陥像と重畳した像である。次に
動作について説明する。光限１２が発生した光のうち、
長波長カットフィルタ１３によって赤外線カメラの感度
の短波長側に合致する波長を選別し、その光を光ファイ
バ１４で被検体１に導く。ここで、この照明は赤外線カ
メラの感度のうち波長が短い光すなわち解像度が高い光
のみを使用するために明瞭な画像が得られる。このため
赤外線カメラ単独でも欠陥部周辺の微細な表面構造の像
を得ることができる。一方、被検体は２本のプローブを
介して電源に接続されており、ショートモードの欠陥が
あるＴＦＴパネルの場合は、上述の従来の技術の項で述
べたように欠陥部にヒートスポットが生じる。赤外線カ
メラはこの欠陥によるヒートスポットによって生じた赤
外線を輝点としてモニタ上に表示する。上述の一連の動
作によって、レンズ７には欠陥像１６と欠陥部周辺の微
細な表面構造の像が入射し、これらの映像は赤外線カメ
ラ８で電気信号となり、モニタ９上に欠陥部とその周囲
の微細な表面像を表示することができる。検査員はこの
モニタを目視し、例えば欠陥部の最寄りにある配線パタ
ーンの間隙にレジスト印刷されたゲートやソースの座標
を示す番号を読取り、これらを基にして欠陥部への配線
の輝点のゲートやソースの座標を特定することができ
る。この欠陥座標の情報によって、次の工程でレーザト
リミング等によるＴＦＴパネルのリペア作業を実施する
ことができる。なお、上記実施例では一般的な電球など
を光源として用いた例について説明したが、赤外光を発
生する発行ダイオードでもかまわない。その場合は発光
ダイオードの発光スペクトルによっては長波長カットフ
ィルタを省略することができる。また、上記実施例では
長波長カットフィルタと光ファイバを用いた例について
説明したが、この光ファイバの材質を選定してファイバ
に長波長カットフィルタの働きを持たせて、このフィル
タを省略しても、もちろん良い。さらに、上記実施例で
は使いやすい照明を得るために屈曲性に富む光ファイバ
を用いた例について説明したが、簡単な光学系を持つ照
明であっても、また単に空間中に光を放射する光源であ
っても良いことはいうまでもない。また、上記実施例で
は微動台で保持した被検体を水平、垂直の方向に移動さ
せたが、カメラと照明側を移動させても良いし、またさ
らにこれら両者を移動できるようにしても、もちろん良
い。さらに上述の発明の実施例は、個々の発明を単独で
使用した例について説明したが、これらを組み合わせて
実施しても良いことはいうまでもない。
り、図において１２は可視光から長波長の遠赤外光まで
の連続するスペクトルを発生する光源、１３はこの光源
が発生する光のうち長い波長を遮断する長波長カットフ
ィルタ、１４はこの長波長をカットした光を被検体の表
面に導く光ファイバ、１６はこの長波長をカットした光
で照明した微細な表面像と、電源からのエネルギで欠陥
部に輝点を生じさせた欠陥像と重畳した像である。次に
動作について説明する。光限１２が発生した光のうち、
長波長カットフィルタ１３によって赤外線カメラの感度
の短波長側に合致する波長を選別し、その光を光ファイ
バ１４で被検体１に導く。ここで、この照明は赤外線カ
メラの感度のうち波長が短い光すなわち解像度が高い光
のみを使用するために明瞭な画像が得られる。このため
赤外線カメラ単独でも欠陥部周辺の微細な表面構造の像
を得ることができる。一方、被検体は２本のプローブを
介して電源に接続されており、ショートモードの欠陥が
あるＴＦＴパネルの場合は、上述の従来の技術の項で述
べたように欠陥部にヒートスポットが生じる。赤外線カ
メラはこの欠陥によるヒートスポットによって生じた赤
外線を輝点としてモニタ上に表示する。上述の一連の動
作によって、レンズ７には欠陥像１６と欠陥部周辺の微
細な表面構造の像が入射し、これらの映像は赤外線カメ
ラ８で電気信号となり、モニタ９上に欠陥部とその周囲
の微細な表面像を表示することができる。検査員はこの
モニタを目視し、例えば欠陥部の最寄りにある配線パタ
ーンの間隙にレジスト印刷されたゲートやソースの座標
を示す番号を読取り、これらを基にして欠陥部への配線
の輝点のゲートやソースの座標を特定することができ
る。この欠陥座標の情報によって、次の工程でレーザト
リミング等によるＴＦＴパネルのリペア作業を実施する
ことができる。なお、上記実施例では一般的な電球など
を光源として用いた例について説明したが、赤外光を発
生する発行ダイオードでもかまわない。その場合は発光
ダイオードの発光スペクトルによっては長波長カットフ
ィルタを省略することができる。また、上記実施例では
長波長カットフィルタと光ファイバを用いた例について
説明したが、この光ファイバの材質を選定してファイバ
に長波長カットフィルタの働きを持たせて、このフィル
タを省略しても、もちろん良い。さらに、上記実施例で
は使いやすい照明を得るために屈曲性に富む光ファイバ
を用いた例について説明したが、簡単な光学系を持つ照
明であっても、また単に空間中に光を放射する光源であ
っても良いことはいうまでもない。また、上記実施例で
は微動台で保持した被検体を水平、垂直の方向に移動さ
せたが、カメラと照明側を移動させても良いし、またさ
らにこれら両者を移動できるようにしても、もちろん良
い。さらに上述の発明の実施例は、個々の発明を単独で
使用した例について説明したが、これらを組み合わせて
実施しても良いことはいうまでもない。
【００１４】実施例２．図２はこの発明の実施例２を示
す構成図であり、図において１７は高周波ランダム変調
部、そして１８はレーザダイオードであり、１から１６
までは上述の実施例１の項に示すものと同一あるいは同
等の働きをするものである。次に動作について説明す
る。高周波ランダム変調部１７はレーザダイオード１８
を駆動する。ここでレーザダイオードを直流あるいは正
弦波のように規則性のある波形で変調したものをこのよ
うな装置の光源として用いると、その発生する光の干渉
性が高いためスペックル散乱等を生じ、カメラでの観察
が困難となる。この対策として上述の実施例のようにレ
ーザダイオードを高い周波数でランダムに変調して、発
生する光の干渉性を低くすると、このような弊害を避け
つつ、強力な光で明るく照明された被検体を観察するこ
とが可能となる。
す構成図であり、図において１７は高周波ランダム変調
部、そして１８はレーザダイオードであり、１から１６
までは上述の実施例１の項に示すものと同一あるいは同
等の働きをするものである。次に動作について説明す
る。高周波ランダム変調部１７はレーザダイオード１８
を駆動する。ここでレーザダイオードを直流あるいは正
弦波のように規則性のある波形で変調したものをこのよ
うな装置の光源として用いると、その発生する光の干渉
性が高いためスペックル散乱等を生じ、カメラでの観察
が困難となる。この対策として上述の実施例のようにレ
ーザダイオードを高い周波数でランダムに変調して、発
生する光の干渉性を低くすると、このような弊害を避け
つつ、強力な光で明るく照明された被検体を観察するこ
とが可能となる。
【００１５】実施例３．図３はこの発明の実施例３を示
す構成図であり、図において１９は赤外光源、そして２
０は反射板であり、１から１６までは上述の実施例１の
項に示すものと同一あるいは同等の働きをするものであ
る。次に動作について説明する。赤外光源１９が放射す
る赤外線は照明光１５となって被検体１を照射する。こ
こで照明光１５の一部は被検体を透過して裏面の反射板
２０に達する。すると照明光の一部は反射板２０で反射
されて再度被検体１を裏面より照明する。従来コントラ
ストが低い被検体などを明確に撮像するためには強力な
光源を用いる、または光源の数を増加させるなどの手法
がとられた。しかしこれにともなって発生する多量の熱
は温度を上昇させ、被検体に悪影響を及ぼしていた。と
ころがこのように裏面に反射板を用いて再度被検体を照
明することによれば、光源の発生する熱を必要最小限度
に押さえつつ、明瞭な画像を得る事が可能となる。
す構成図であり、図において１９は赤外光源、そして２
０は反射板であり、１から１６までは上述の実施例１の
項に示すものと同一あるいは同等の働きをするものであ
る。次に動作について説明する。赤外光源１９が放射す
る赤外線は照明光１５となって被検体１を照射する。こ
こで照明光１５の一部は被検体を透過して裏面の反射板
２０に達する。すると照明光の一部は反射板２０で反射
されて再度被検体１を裏面より照明する。従来コントラ
ストが低い被検体などを明確に撮像するためには強力な
光源を用いる、または光源の数を増加させるなどの手法
がとられた。しかしこれにともなって発生する多量の熱
は温度を上昇させ、被検体に悪影響を及ぼしていた。と
ころがこのように裏面に反射板を用いて再度被検体を照
明することによれば、光源の発生する熱を必要最小限度
に押さえつつ、明瞭な画像を得る事が可能となる。
【００１６】
【発明の効果】以上のように、この発明の実施例１によ
れば、被検体に電気エネルギを供給して欠陥部に赤外線
を発生させて欠陥部の座標を明確にすると同時に、赤外
線カメラの感度の短波長側に合致する波長を被検体に照
射して、欠陥周囲の表面の構造部分の微細な像を重畳す
るようにしたので、赤外線カメラ単独でも欠陥部分の座
標を明確に特定する事が可能な検査装置を実現すること
が可能となった。
れば、被検体に電気エネルギを供給して欠陥部に赤外線
を発生させて欠陥部の座標を明確にすると同時に、赤外
線カメラの感度の短波長側に合致する波長を被検体に照
射して、欠陥周囲の表面の構造部分の微細な像を重畳す
るようにしたので、赤外線カメラ単独でも欠陥部分の座
標を明確に特定する事が可能な検査装置を実現すること
が可能となった。
【００１７】この発明の実施例２によれば、被検体に電
気エネルギを供給して欠陥部に赤外線を発生させて欠陥
部を明確にすると同時に、赤外線カメラの感度の短波長
側に合致する、高周波でランダムに変調したレーザダイ
オードの光を被検体に照射するようにしたので、スペッ
クル散乱等のない明瞭な画像を得ることができ、赤外線
カメラ単独でも欠陥部分の座標を明確に特定する事が可
能な検査装置を実現することが可能となった。
気エネルギを供給して欠陥部に赤外線を発生させて欠陥
部を明確にすると同時に、赤外線カメラの感度の短波長
側に合致する、高周波でランダムに変調したレーザダイ
オードの光を被検体に照射するようにしたので、スペッ
クル散乱等のない明瞭な画像を得ることができ、赤外線
カメラ単独でも欠陥部分の座標を明確に特定する事が可
能な検査装置を実現することが可能となった。
【００１８】この発明の実施例３によれば、被検体に電
気エネルギを供給して欠陥部に赤外線を発生させて欠陥
部を明確にすると同時に、被検体に光源の光を照射し、
裏面に設けた反射板によって再度被検体を照明するよう
にしたので、被検体に与える熱の悪影響を最小限にとど
めつつ、明瞭で明るく、欠陥部分の座標を明確に特定す
る事が可能な映像を撮像する事が可能な検査装置を実現
することが可能となった。
気エネルギを供給して欠陥部に赤外線を発生させて欠陥
部を明確にすると同時に、被検体に光源の光を照射し、
裏面に設けた反射板によって再度被検体を照明するよう
にしたので、被検体に与える熱の悪影響を最小限にとど
めつつ、明瞭で明るく、欠陥部分の座標を明確に特定す
る事が可能な映像を撮像する事が可能な検査装置を実現
することが可能となった。
【００１９】この発明の実施例４によれば、被検体に電
気エネルギを供給するプローブと反対側の面から撮像す
るようにしたため、プローブとレンズの干渉がなくな
り、被検体全域にわたって早い速度で検査を実現するこ
とが可能な検査装置を実現することが可能となった。
気エネルギを供給するプローブと反対側の面から撮像す
るようにしたため、プローブとレンズの干渉がなくな
り、被検体全域にわたって早い速度で検査を実現するこ
とが可能な検査装置を実現することが可能となった。
【図１】 この発明による赤外検査装置の実施例１を示
す図である。
す図である。
【図２】 この発明による赤外検査装置の実施例２を示
す図である。
す図である。
【図３】 この発明による赤外検査装置の実施例３を示
す図である。
す図である。
【図４】 この発明による赤外検査装置の実施例４を示
す図である。
す図である。
【図５】 従来の検査装置を示す図である。
１ 被検体、２ 微動台、３ プローブ、７ レンズ、
８ 赤外線カメラ、９モニタ、１２ 光源、１３ 長波
長カットフィルタ、１４ 光ファイバ、１７高周波ラン
ダム変調部、１８ レーザダイオード、１９ 赤外光
源、２０ 反射板。
８ 赤外線カメラ、９モニタ、１２ 光源、１３ 長波
長カットフィルタ、１４ 光ファイバ、１７高周波ラン
ダム変調部、１８ レーザダイオード、１９ 赤外光
源、２０ 反射板。
Claims (4)
- 【請求項１】 レンズによって被検体の赤外線を取り込
んで電気信号に変換する赤外線カメラと、この赤外線カ
メラの電気信号を入力して可視映像を表示するモニタと
からなる赤外検査装置において、上記被検体に電気エネ
ルギを供給して赤外線を発生させる電源と、上記赤外線
カメラの感度の短波長側に合致する波長を発生する光源
とを備えたことを特徴とする赤外検査装置。 - 【請求項２】 光源としてレーザダイオードを用い、こ
のレーザダイオードを駆動する高周波ランダム変調部を
備えたことを特徴とする請求項１記載の赤外検査装置。 - 【請求項３】 レンズによって被検体の赤外線を取り込
んで電気信号に変換する赤外線カメラと、この赤外線カ
メラの電気信号を入力して可視映像を表示するモニタと
からなる赤外検査装置において、上記被検体に赤外線を
透過する物体を用いるとともに、別に設けた赤外線反射
板を上述の被検体を間にして上記赤外線カメラと対向す
るように配置したことを特徴とする赤外線装置。 - 【請求項４】 レンズによって被検体の赤外線を取り込
んで電気信号に変換する赤外線カメラと、この赤外線カ
メラの電気信号を入力して可視映像を表示するモニタと
からなる赤外検査装置において、上記赤外線カメラを、
上述の被検体を間にして上記被検体に電気エネルギを供
給するプローブと対向するように配置したことを特徴と
する赤外検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11184395A JPH08304298A (ja) | 1995-05-10 | 1995-05-10 | 赤外検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11184395A JPH08304298A (ja) | 1995-05-10 | 1995-05-10 | 赤外検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08304298A true JPH08304298A (ja) | 1996-11-22 |
Family
ID=14571566
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11184395A Pending JPH08304298A (ja) | 1995-05-10 | 1995-05-10 | 赤外検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08304298A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006184177A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Mitsubishi Electric Corp | 赤外検査装置及び赤外検査方法 |
| JP2008058270A (ja) * | 2006-09-04 | 2008-03-13 | Mitsubishi Electric Corp | 多結晶シリコン基板の検査方法および太陽電池セルの検査方法、並びに赤外線検査装置 |
| JP2014107483A (ja) * | 2012-11-29 | 2014-06-09 | Fujitsu Semiconductor Ltd | Ｏｂｉｒｃｈ検査方法及びｏｂｉｒｃｈ装置 |
-
1995
- 1995-05-10 JP JP11184395A patent/JPH08304298A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006184177A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Mitsubishi Electric Corp | 赤外検査装置及び赤外検査方法 |
| JP2008058270A (ja) * | 2006-09-04 | 2008-03-13 | Mitsubishi Electric Corp | 多結晶シリコン基板の検査方法および太陽電池セルの検査方法、並びに赤外線検査装置 |
| JP2014107483A (ja) * | 2012-11-29 | 2014-06-09 | Fujitsu Semiconductor Ltd | Ｏｂｉｒｃｈ検査方法及びｏｂｉｒｃｈ装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6175645B1 (en) | Optical inspection method and apparatus | |
| US7271889B2 (en) | Device and method for inspecting an object | |
| US7227648B2 (en) | Method and apparatus for a touch-free examination of objects, particularly regarding the surface character of the same | |
| US20010030744A1 (en) | Method of simultaneously applying multiple illumination schemes for simultaneous image acquisition in an imaging system | |
| TW200809185A (en) | Apparatus and method for characterizing defects in a transparent substrate | |
| US6043882A (en) | Emission microscope and method for continuous wavelength spectroscopy | |
| KR20110024608A (ko) | 광학 검사 장치 및 이를 이용한 검사 방법 | |
| KR20190122160A (ko) | 용액에 잠겨있는 안과용 렌즈의 광학 배율 및 두께 검사 시스템 및 방법 | |
| KR20190014483A (ko) | 자동 광학 검사 방법 | |
| KR101203210B1 (ko) | 결함 검사장치 | |
| JP2947513B1 (ja) | パターン検査装置 | |
| JPH1090064A (ja) | 顕微ラマン装置 | |
| TW202242395A (zh) | 半導體檢查裝置 | |
| JPH08304298A (ja) | 赤外検査装置 | |
| TWI817991B (zh) | 光學系統，照明模組及自動光學檢測系統 | |
| JP2007101494A (ja) | 表面検査装置 | |
| JP2003232749A (ja) | 半導体デバイス故障解析装置 | |
| JPH0783841A (ja) | バイアホールの残渣検出装置および残渣観察装置 | |
| JP2014107483A (ja) | Ｏｂｉｒｃｈ検査方法及びｏｂｉｒｃｈ装置 | |
| US7385690B2 (en) | Inspecting system for color filters | |
| JP2004347525A (ja) | 半導体チップ外観検査方法およびその装置 | |
| JPH02198347A (ja) | 半導体不良解析装置 | |
| JPH11211612A (ja) | 光センサ検査用光照射装置及びこれを用いた光センサ検査装置 | |
| KR950003643B1 (ko) | 새도우 마스크 검사용 영상취득 장치 | |
| JP2724249B2 (ja) | レンズ性能検査装置用調整治具 |