JPH11211612A - 光センサ検査用光照射装置及びこれを用いた光センサ検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】高価な光学部品などを使用することのない光セ
ンサ検査用光照射装置及びこれを用いた光センサ検査装
置を提供する。 【解決手段】所望のパターンが表示されるディスプレイ
を光源として設ける。光センサに光を導く光学系にグラ
スファイバを使用すれば好適である。このらの構成によ
り、特に複数の受光部を有する光センサの光特性検査が
簡便となり、また、高価な光学部品を多数準備すること
なく、所望も光を加工することが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、各種光センサの光
特性検査に好適な照射光を照射する光センサ検査用照射
装置及びこれを用いた検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】フォトダイオード、イメージセンサ等各
種の光センサが実用化されている。また、フォトダイオ
ードにおいても、複数の受光部に分割されたセンサが周
知である。このような各種光センサは、一般に、光特性
に関して規格値が定められ、光特性検査を行いこの規格
に合格することが要求される。

【０００３】図７は、光センサの光特性を計測する従来
の光センサ検査装置の構成図である。水銀ランプ等の光
源７１から出射された光は、各種フィルタ７２を通過す
ることにより所望の波長や強度に調整される。ここでフ
ィルタには、ローパスフィルタ、ハイパスフィルタ、バ
ンドパスフィルタ等の波長を選択するフィルタと、ＮＤ
フィルタなどの光強度を調節するフィルタが使用され
る。これらの光源７１やフィルタ７２は、検査に要求さ
れる波長及び光強度に伴って適時選択される。

【０００４】各種フィルタ７２を通過した光は、マスク
７３にてスポット状に光の形状を加工されレンズ７４に
て集光される。一方、被検物である光センサ７５は、セ
ラミックパッケージ７６などの容器に収納される（図１
では一部の内部断面を図示した）。セラミックパッケー
ジ７６は、一般に本体部７６−２と端子７６−３から成
り、光センサ７５を固定した後カバーガラス７６−１に
て蓋をして封止される。また、光センサは、ワイヤ７７
にて端子７６−３と電気的に接続されている。

【０００５】光センサ７５を収納したセラミックパッケ
ージ７６は、端子７６−３をソケット７８の接続部（図
示せず）に差し込むことにより固定されソケット７８と
電気的に接続される。ソケット７８には、外部より電源
７９が接続されソケットを介して光センサに電源７９が
供給される。このように準備された光センサ７５は、集
光された光が光センサ７５の受光部に到達するようにセ
ラミックパッケージ７６ごと光の下に配置される。

【０００６】光が照射されて光センサ７５にて生じた電
気信号は、ソケット７８を介して外部に出力され、電
流、電圧などの各種電気特性計測装置に導かれる。図８
は、光センサの平面図である。（ａ）は受光部８１を一
つ有するもの、（ｂ）は受光部を４つ有するものであ
る。受光部８１，８１−１，８１−２，８１−３，８１
−４で生じた電気信号は配線８２を介してパッド８３に
導かれる。８４は受光部のＰＮ接合を逆バイアスにする
ための電源である。尚、図８（ｂ）ではこの電源を光セ
ンサの裏面より供給している。

【０００７】図８（ａ）の光センサのように、受光部が
一つであるなら、集光された光をこの受光部に入射する
ように光の位置を制御すればよい。また、受光部内の感
度ばらつきを計測するなら、受光部内にて集光された光
を走査することもある。そして、出力される電気信号を
計測し、その値が規格に入っていれば合格品と判定され
る。また、規格値外であるならば、その光センサは不良
品として廃棄される。

【０００８】一方、被検物が図８（ｂ）のように複数の
受光部を有するなら、それぞれの受光部８１−１，８１
−２，８１−３，８１−４に光を当ててそれぞれの電気
信号の出力を計測する。また、複数の受光部を有する光
センサは、一般にクロストーク特性が規格値として定め
られる。クロストークとは、一つの受光部に入射した光
が漏れて別の受光部で電気信号を生成することを言う。
クロストークを計測するには、図８（ｂ）の矢印で示し
たように光を走査すればよい（この図の場合には２回走
査する）。

【０００９】図９は、クロストーク特性の計測値を示す
グラフである。ここでは、図８（ｂ）の受光部８１−１
と８１−２のクロストークを計測している。光が受光部
８１−１の左側にあるときは、両受光部からの出力は無
い。光が走査されて受光部８１−１に入り始めると出力
は急激に増加する。光が受光部８１−１内を走査されて
いる間、受光部８１−１からは理想的には一定値の出力
がある。しかし、感度むらがあれば、出力に変化を生ず
る。図９では、受光部８１−１の中央部の感度が高い例
を示している。

【００１０】光が右に走査され、受光部８１−１の右端
から外れ始めると、受光部８１−１の出力は急激に減少
する。光がさらに右に走査されると、光は受光部８１−
１に当たらなくなる。しかし、クロストークのため受光
部８１−１の出力はまだゼロにはならない。さらに光が
受光部８１−１より遠ざかると、クロストークが無くな
り、このため受光部８１−１からの電気信号の出力は無
くなる。

【００１１】一方、受光部８１−２においても、光が受
光部８２−２に入射する前からクロストークにより出力
が徐々に増加する。光が右に走査され受光部８２−２に
当たり始めると、受光部８２−２からの出力は急激に増
加する。なお、一般に光の走査は、光センサをＸ−Ｙス
テージ上に置き、Ｘ−Ｙステージを動作させることによ
る行われる。

【００１２】このように光が入射する位置と各受光部か
らの電気信号の出力を計測し、クロストーク特性が計測
される。そして、これらの計測値が規格に入っていれば
合格品と判定される。また、規格値外であるならば、そ
の光センサは不良品として廃棄される。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
光センサ検査装置は、集光させる光を適切な波長や強度
にするため、適時各フィルタを選択する必要があった。
このため、高価な光学部品であるフィルタを多数準備せ
ねばならないという問題点が有った。さらに、クロスト
ークや受光部内の感度ばらつきを計測する場合、光を微
細に走査せねばならず、このため、高価なＸ−Ｙステー
ジを搭載せねばならないと言う問題点も有った。

【００１４】本発明はこのよう問題点に鑑みてなされた
ものであり、高価な光学部品を使用することのない光セ
ンサ検査用光照射装置を提供することを目的とする。ま
た、本発明は、高価なＸ−Ｙステージを使用せずとも光
を微細に走査できる光センサ検査用光照射装置を提供す
ることを目的とする。更に本発明は、これらの光センサ
検査用光照射装置を搭載した光センサ検査装置を提供す
ることを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】請求項１の光センサ検査
用光照射装置は、「光源と、該光源より放射された光を
被検物である光センサに導く光学系を有し、前記光セン
サの光学的特性を検査するための光照射装置において、
前記光源は、所望のパターンが表示されるディスプレィ
からなる」ことを特徴とする。

【００１６】即ち、本装置は、光源にディスプレィを使
用し、ディスプレィ上に映し出されたパターンを検査用
の光として供給するものである。ディスプレィはパター
ンの色、輝度、形状、位置を自由に変化することが出来
る。よって、高価な光学部品やステージを使用しなくと
も、検査に好適な光に加工することができる。また、請
求項２は請求項１の光センサ検査用光照射装置におい
て、「前記光学系は、グラスファイバからなる」ことを
特徴とする。この構成により、ディスプレィから出射さ
れた光は、グラスファイバによって被検物である光セン
サに導かれる。グラスファイバは光路を自由に加工でき
る。このため、光を光センサに導く作業が容易となる。

【００１７】一方、例えば赤外線領域の光を光センサに
照射するなら、肉眼で確認できないため、アライメント
に労力を要する。よって、請求項２の構成により、非可
視光を光センサに導く際には、その作業が格段に容易と
なる。また、請求項３は請求項１または請求項２のいず
れかに記載の光センサ検査用光照射装置において、「前
記所望のパターンは、前記ディスプレィに接続される指
令手段により指定される」ことを特徴とする。

【００１８】また、請求項４は請求項３に記載された光
センサ検査用光照射装置において、「前記ディスプレィ
は、前記指令手段の指令に基づき前記パターンの大き
さ、又は形状、又は位置、又は輝度、又は波長の少なく
ともいずれか一つを制御される」ことを特徴とする。こ
れらの構成は、より具体的に本発明を例示したものであ
る。

【００１９】また、請求項５は請求項２から請求項４の
いずれかに記載の光センサ検査用光照射装置において、
前記グラスファイバの端面は、凸レンズ処理がなされて
いる」ことを特徴とする。この構成により、グラスファ
イバに光を導くレンズや、集光させるレンズが不要とな
り、装置をさらに小型化することが可能となる。また、
請求項６の光センサ検査装置は、「光源として所望のパ
ターンが表示されるディスプレィ及び検査すべき光セン
サに該光源から放射された光を導く光学系を有する光照
射装置と、少なくとも一つの前記光センサを固定し、該
光センサに電源を供給すると共に該光センサから出力さ
れるセンサ信号を受け取り、受け取った前記センサ信号
を出力するソケットと、前記ディスプレィ及び前記ソケ
ットのそれぞれに接続され、前記所望のパターンを前記
ディスプレィに指定すると共に、前記ソケットから出力
される前記センサ信号をメモリに蓄積する制御部とを有
する」ことを特徴とする。

【００２０】また、請求項７の光センサ検査装置は、
「光源として所望のパターンが表示されるディスプレ
ィ、及び該光源から放射された光を検査すべき光センサ
が製造された半導体ウエハに導く光学系を有する光照射
装置と、前記半導体ウエハを固定し、制御信号を受け取
って移動するステージと、前記半導体ウエハ上に形成さ
れた前記光センサに電源を供給する第１のプローブと、
該光センサから出力されるセンサ信号を受け取る第２の
プローブを有するプローバと、コントロール信号を受け
取って前記第１と第２のプローブを同時に上下方向に移
動させるコントローラと、前記ディスプレィと前記ステ
ージ及び前記プローバに接続され、前記所望のパターン
を前記ディスプレィに指定し、前記光学系からの光が前
記光センサの受光部に照射されるように前記ステージの
位置を制御する前記制御信号を前記ステージに出力し、
前記コントローラに前記コントロール信号を出力して前
記第１第２プローブを上下に移動させることにより前記
プローブと前記光センサの端子とを電気的に接触、非接
触させると共に、前記プローバから出力されるセンサ信
号を受け取ってメモリに蓄積する制御部とを有するこ
と」を特徴とする。

【００２１】これらの構成により、高価な光学部品や高
価なＸ−Ｙステージを使用することのない光センサ検査
用光照射装置を搭載した光センサ検査装置を提供するこ
とが可能となる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、実施の形態について図面を
参照して説明する。 （第１実施形態）図１は、第１実施形態の光センサ検出
用光照射装置である。本装置は、パソコン２と、パソコ
ン２からの指令に基づき所望のパターンを表示するＣＲ
Ｔ１と、ＣＲＴ１からの光をスポット状に加工するマス
ク３と、マスク３から出射される光を集光するレンズ４
を有している。

【００２３】パソコン２は、ＣＲＴ１に表示されるパタ
ーンの大きさ、形状、輝度、位置、色の情報をＣＲＴ１
に出力する指令手段である。これらの情報は、検査に必
要な光を出射するために適切な情報が選択される。この
指令に基づき、ＣＲＴ１はパターンを表示する。即ち、
ＣＲＴ１は光源として使用する。マスク３及びレンズ４
は、パッケージ５に組み込まれた光センサ（図示せず）
にＣＲＴ１からの光を導く光学系である。

【００２４】ＣＲＴは、ＲＧＢの表示が容易に変更可能
であり、このため波長帯が自由に選択でき、また、パタ
ーンの大きさ、形状、輝度が容易に変更可能であり、こ
のため光強度が自由に変更できる。よって、高価な各種
フィルタを使用する必要がない。さらにＣＲＴは、パタ
ーンの位置が容易に変更できるので、光軸調整さえも容
易である。なお、ここでは光源としてＣＲＴを用いた
が、本発明はこれに限られるものではなく、液晶表示、
プラズマディスプレィなど、各種ディスプレイを用いて
も構わない。 （第２実施形態）図２は、第２実施形態の光センサ検出
用光照射装置である。第１実施形態との違いは、ＣＲＴ
１から出射された光がグラスファイバ７を介して光セン
サに導かれる点にある。ＣＲＴ１から出射された光は、
レンズ６で集光されてグラスファイバ７に入射し、他方
の端から出射する。グラスファイバ７から出た光は、レ
ンズ４にて集光されパッケージ５に組み込まれた光セン
サ（図示せず）に照射される。

【００２５】グラスファイバは光路を比較的自由に加工
できる。よって、光を光センサに導く作業が容易とな
る。一方、例えば赤外線などの非可視光を光センサに照
射するなら、肉眼で確認できないためアライメントに労
力を要するが、グラスファイバを使用すれば、光と光セ
ンサとのアライメントの作業が格段に容易となる。ま
た、マスクを必要としないという効果もある。

【００２６】図３は、第２実施形態の変形例に係る光セ
ンサ検出用光照射装置である。第２実施形態の装置と異
なる点は、グラスファイバの両端が凸レンズ状に加工処
理さされている点にある。このようにすれば、グラスフ
ァイバの端面が凸レンズとして機能するので、集光レン
ズを改めて配置させる必要がない。なお、ここでは、グ
ラスファイバの両端を凸レンズ加工処理させたが、本発
明はこれに限らず、一方の端面のみを凸レンズ加工処理
しても良い。 （第３実施形態）図４は、第３実施形態の光センサ検査
装置である。ＣＲＴ１は、パソコン９に接続されパソコ
ン９からの指令に基づき所望のパターンを表示させる。
ＣＲＴは、ＲＧＢの表示が容易に変更可能であり、この
ため波長帯が自由に選択でき、また、パターンの大き
さ、形状、輝度が容易に変更可能である。このため光強
度が自由に変更できる。よって、高価な各種フィルタを
使用する必要がない。さらにＣＲＴは、パターンの位置
が容易に変更できるので、光軸調整さえも容易である。
なお、ここでは光源としてＣＲＴを用いたが、本発明は
これに限られるものではなく、液晶表示、プラズマディ
スプレィなど、各種ディスプレイを用いても構わない。

【００２７】グラスファイバ７は、ＣＲＴ１からの光を
パッケージ５に組み込まれた光センサ（図示せず）に導
く。グラスファイバは光路を比較的自由に加工できる。
よって、光を光センサに導く作業が容易となる。一方、
例えば赤外線などの非可視光を光センサに照射するな
ら、肉眼で確認できないためアライメントに労力を要す
るが、グラスファイバを使用すれば、光と光センサとの
アライメントの作業が格段に容易となる。また、マスク
を必要としないという効果もある。

【００２８】パッケージ５は、ソケット８に固定され且
つ電気的に接続される。ソケット８は外部の電源と接続
され、その電源をパッケージ５を介して光センサに供給
する。また、ソケット８は、光センサから出力される信
号を受け取り、パソコン９に出力する。パソコン９は、
ＣＲＴ１と接続されると共にソケット８及び計測装置１
０に接続される。パソコン９は、ＣＲＴ１に表示される
パターンの情報をＣＲＴ１に出力する。これらの情報
は、検査に必要な光を出射するために適切な情報が選択
される。また、パソコン９は、ソケット８から出力され
た信号を受け取って、内部に設けられたメモリに蓄積す
ると同時に電気特性計測装置１０に出力する。このよう
にすれば、ＣＲＴ１に指令を出すパソコンと光信号を記
録するパソコンとを共通化することができる。

【００２９】電気特性計測装置１０は、パソコン９から
入力された信号を各種演算処理して、光センサの光特性
を算出し適時グラフ化する。尚、パソコン９にその演算
処理能力及びグラフ化の能力が有るなら、電気特性計測
装置１０は必ずしも必要ではない。なお、本光センサ検
査装置は、ＣＲＴ１の光を光センサに導く光学系に第２
実施形態の構成を採用している。しかし、これに限られ
るものではなく、第１実施形態の構成や第２実施形態の
変形例の構成を採用しても良い。 （光センサ計測例）本発明の光センサ検査装置は、光源
にＣＲＴ１を使用する。ＣＲＴ１に表示されたパターン
は、光として集光されて光センサ上の受光部に照射され
る。ところで、光センサ上の光照射位置は、ＣＲＴ１上
のパターン表示位置によって定められる。即ち、本装置
は、ＣＲＴ１上のパターン表示位置を変更すれば、光を
照射する受光部を容易に選択することが可能である。

【００３０】光センサは上述の如くパッケージ５に固定
され、パッケージ５はソケット８に固定される（図４参
照）。よって、ソケット８上の光照射位置と光センサ上
の光照射位置とは一義的に対応付けられる。そこで、光
特性を計測する前に、ＣＲＴ１上のパターン表示位置と
ソケット８上の光照射位置との対応関係を予め計測して
おく。

【００３１】図５は、本光センサ検査装置を用いて複数
の受光部を有する光センサを測定する場合の概念図であ
る。ここでは、４つの受光部１２−１，１２−２，１２
−３，１２−４を有する光センサ１１を被検物として例
示する。図５（ａ）は、各々の受光部の感度特性を計測
する概念図である。このような場合には、各々の受光部
１２−１，１２−２，１２−３，１２−４に順次光を照
射する。まず、ＣＲＴ１は、パソコン９の指令に基づ
き、受光部１２−１に光が照射されるＡ位置に所望のパ
ターンを表示する。ここでは、円状でＲＧＢをすべて含
む白色のパターンを表示させた。このパターン以外は黒
レベルであり何も表示されていない。ＣＲＴ１のＡ位置
のパターンはグラスファイバ７にて集光され、その光は
光センサ１１に導かれる。そして、対応する受光部１２
−１のａ部に照射される。受光部１２−１で生じた光信
号は、パッケージ５及びソケット８を介してパソコン９
に出力される。計測が終了したら、パソコンは、ＣＲＴ
１上のパターンを消去させる。

【００３２】次いで、ＣＲＴ１は、受光部１２−２に光
が照射されるＢ位置に、Ａ位置に表示したパターンと同
一のパターンを表示する。ＣＲＴ１のＢ位置のパターン
はグラスファイバ７にて集光され、その光は光センサ１
１に導かれる。そして、対応する受光部１２−２のｂ部
に照射される。受光部１２−２で生じた光信号は、パッ
ケージ５及びソケット８を介してパソコン９に出力され
る。計測が終了したら、パソコンは、ＣＲＴ１上のパタ
ーンを消去させる。そして、順次ＣＲＴ１上のＣ，Ｄの
位置に上記と同一のパターンを表示させて、順次受光部
１２−３，１２−４の光特性を計測する。

【００３３】図５（ｂ）は、受光部間のクロストークを
計測する概念図である。このような場合には、例えば受
光部１２−１，１２−２と、受光部１２−３，１２−４
を横切るように光を走査させる。まず、ＣＲＴ１は、パ
ソコン９の指令に基づき、パッケージ５上（又は光セン
サ１１上）のｅ部に光を照射するのに対応したＣＲＴ１
上の位置Ｅに所望のパターンを表示させる。そして、パ
ソコン９は、ＣＲＴ１上のパターンをパッケージ５上
（又はセンサ１１上）のｆ部に対応したＣＲＴ１上の位
置Ｆまで走査させる。光センサ１１上の光は、それに伴
いｅ部からｆ部まで移動する。その時に、受光部１２−
１及び１２−２から出力される信号は、パッケージ５及
びソケット８を介してパソコン９に出力される。

【００３４】受光部１２−１と受光部１２−２とのクロ
ストーク特性の計測が終了したなら、パソコンは、ＣＲ
Ｔ１上のパターンを消去させる。そして、受光部１２−
３と受光部１２−４のクロストークを測定する。即ち、
パッケージ５上のｇ部からｈ部に光を走査するために、
ＣＲＴ１上の位置Ｇから位置Ｈまで、パターンを走査さ
せる。

【００３５】これまで光の走査は、高価なＸ−Ｙステー
ジを使用していた。しかし、上記のような計測では光を
微細に走査せねばならず、そのためには高価なＸ−Ｙス
テージを必要としていた。しかし、本装置は、ＣＲＴ上
のパターンを走査すればよく、Ｘ−Ｙステージを必要と
はしない。 （第４実施形態）図６は、第４実施形態の光センサ検査
装置である。第３実施形態の光センサ検査装置がパッケ
ージに組み込まれた光センサの光特性を計測する装置で
あるのに対し、第４実施形態の光センサ検査装置は、ウ
エハ１５上の光センサ（半製品）の光特性を計測する装
置である。

【００３６】ＣＲＴ１、グラスファイバ７及び電気特性
計測装置１４は、第３実施形態と同様であり、ここでは
説明を省略する。ウエハ１５は、ステージ１６上に固定
される。ウエハ１５上には、半製品として製造された光
センサ（図示せず）が２次元的に配列されている。ステ
ージ１６は、パソコン１３の制御信号に基づき位置を移
動させて、これに固定されたウエハ１５を所定の位置に
移動させる。なお、ここで使用するステージ１６は、光
を走査するための物ではない。ウエハ１５を移動させる
ものである。よって、高価な物でなくとも構わない。

【００３７】ウエハ１５上の光センサは、光特性を計測
しているときにはプローバ１７と電気的に接続される。
プローバ１７は、複数のプローブ１７−１とプローバ本
体１７−２からなる。プローブ１７−１は針状の電極で
あり、プローバ本体１７−２と電気的に接続されてい
る。計測時には、プローブ１７−１は光センサの端子と
接触され、プローバ本体１７−２と光センサとが電気的
に接続されるようになっている。プローバ本体１７−２
には、外部から電源が供給され、光センサはプローブ
（第１のプローブ）１７−１を介して電源が供給され
る。光センサからの信号は、別のプローブ（第２のプロ
ーブ）１７−１を介してプローバ本体１７−２に出力さ
れる。光センサが複数の受光部を有するなら、受光部の
数を勘案してプローブ（第２のプローブ）１７−１を準
備すればよい。

【００３８】また、プローブ１７−１は、少なくともス
テージ１６が移動しているときには上に移動されること
により光センサと非接触の状態にされる。プローバ本体
１７−２は、コントローラ１８に固定される。コントロ
ーラは、パソコン１３と接続されパソコン１３のコント
ロール信号に基づきプローバ１７を上下方向に移動させ
る。これにより、光センサの端子とプローブ１７−１と
の接触、非接触の状態が制御される。

【００３９】パソコン１３は、ＣＲＴ１、計測装置１４
と接続されると共にステージ１６、プローバ１７及びコ
ントローラ１８に接続される。パソコン１３は、ＣＲＴ
１に表示されるパターンの情報をＣＲＴ１に出力する。
これらの情報は、検査に必要な光を出射するために適切
な情報が選択される。また、パソコン１３は、制御師号
を出力することによりステージ１６を移動させ、ウエハ
１５上に製造された複数の光センサを順次光の下に導
く。検査する光センサが光の下に導かれると、パソコン
は、コントロール信号を出力することによりコントロー
ラ１８を下に移動させてプローブ１７−１を光センサの
端子と接触させる。更にパソコン１３は、プローバ１７
から出力された信号を受け取って、内部に設けられたメ
モリに蓄積すると同時に電気特性計測装置１０に出力す
る。

【００４０】一つの光センサの検査が終了すると、順次
次ぎの光センサを光の下に移動させて、ウエハ１５上に
製造されたすべての光センサの光特性を計測する。

【００４１】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明の光センサ
検査用照射装置は、光源にディスプレィを使用し、ディ
スプレィ上に映し出されたパターンを検査用の光として
供給するものである。ディスプレィはパターンの色、輝
度、形状、位置を自由に変化することが出来る。よっ
て、高価な光学部品やステージを使用しなくとも、検査
に好適な光に加工することができる。

【００４２】また、ディスプレィから出射された光をグ
ラスファイバによって被検物である光センサに導けば、
グラスファイバは光路を自由に加工できるので光を光セ
ンサに導く作業が容易となる。更にグラスファイバの端
面を凸レンズ状に加工すれば、グラスファイバに光を導
くレンズや、集光させるレンズが不要となり、装置をさ
らに小型化することが可能となる。

【００４３】また、本発明の光センサ検査装置は、高価
な光学部品や高価なＸ−Ｙステージを使用することのな
い光センサ検査用光照射装置を搭載した光センサ検査装
置を提供することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施形態の光センサ検出用光照射装置であ
る。

【図２】第２実施形態の光センサ検出用光照射装置であ
る。

【図３】第２実施形態の変形例に係る光センサ検出用光
照射装置である。

【図４】第３実施形態の光センサ検査装置である。

【図５】本光センサ検査装置を用いて複数の受光部を有
する光センサを測定する場合の概念図である。

【図６】第４実施形態の光センサ検査装置である。

【図７】光センサの光特性を計測する従来の光センサ検
査装置の構成図である。

【図８】光センサの平面図であって、（ａ）は受光部を
一つ有するもの、（ｂ）は受光部を４つ有するものであ
る。

【図９】クロストーク特性の計測値を示すグラフであ
る。

【符号の説明】

１・・・ ＣＲＴ ２，９，１３・・・ パソコン ３・・・ マスク ４，６・・・ レンズ ５・・・ パッケージ ７・・・ グラスファイバ ８・・・ ソケット １０，１４・・・ 電気特性計測装置 １１・・・ 光センサ １２−１，１２−２，１２−３，１２−４・・・ 受光
部 １５・・・ ウエハ １６・・・ ステージ １７・・・ プローバ １８・・・ コントローラ

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光源と、該光源より放射された光を被検
   物である光センサに導く光学系を有し、前記光センサの
   光学的特性を検査するための光照射装置において、 前記光源は、所望のパターンが表示されるディスプレィ
   からなることを特徴とする光センサ検査用光照射装置。
2. 【請求項２】 前記光学系は、グラスファイバからなる
   ことを特徴とする請求項１記載の光センサ検査用光照射
   装置。
3. 【請求項３】 前記所望のパターンは、前記ディスプレ
   ィに接続される指令手段により指定されることを特徴と
   する請求項１または請求項２のいずれかに記載の光セン
   サ検査用光照射装置。
4. 【請求項４】 前記ディスプレィは、前記指令手段の指
   令に基づき前記パターンの大きさ、又は形状、又は位
   置、又は輝度、又は波長の少なくともいずれか一つを制
   御されることを特徴とする請求項３の光センサ検査用光
   照射装置。
5. 【請求項５】 前記グラスファイバの端面は、凸レンズ
   処理がなされていることを特徴とする請求項２から請求
   項４のいずれかに記載の光センサ検査用光照射装置。
6. 【請求項６】 光源として所望のパターンが表示される
   ディスプレィ及び検査すべき光センサに該光源から放射
   された光を導く光学系を有する光照射装置と、 少なくとも一つの前記光センサを固定し、該光センサに
   電源を供給すると共に該光センサから出力されるセンサ
   信号を受け取り、受け取った前記センサ信号を出力する
   ソケットと、 前記ディスプレィ及び前記ソケットのそれぞれに接続さ
   れ、前記所望のパターンを前記ディスプレィに指定する
   と共に、前記ソケットから出力される前記センサ信号を
   メモリに蓄積する制御部と、 を有することを特徴とする光センサ検査装置。
7. 【請求項７】 光源として所望のパターンが表示される
   ディスプレィ、及び該光源から放射された光を検査すべ
   き光センサが製造された半導体ウエハに導く光学系を有
   する光照射装置と、 前記半導体ウエハを固定し、制御信号を受け取って移動
   するステージと、 前記半導体ウエハ上に形成された前記光センサに電源を
   供給する第１のプローブと、該光センサから出力される
   センサ信号を受け取る第２のプローブを有するプローバ
   と、 コントロール信号を受け取って前記第１と第２のプロー
   ブを同時に上下方向に移動させるコントローラと、 前記ディスプレィ、前記ステージ、前記プローバ及び前
   記コントローラに接続され、前記所望のパターンを前記
   ディスプレィに指定し、前記光学系からの光が前記光セ
   ンサの受光部に照射されるように前記ステージの位置を
   制御する前記制御信号を前記ステージに出力し、前記コ
   ントローラに前記コントロール信号を出力して前記第１
   第２プローブを上下に移動させることにより前記プロー
   ブと前記光センサの端子とを電気的に接触、非接触させ
   ると共に、前記プローバから出力されるセンサ信号を受
   け取ってメモリに蓄積する制御部と、 を有することを特徴とする光センサ検査装置。