JP2005172782A - ガラス基板の検査装置及び検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】検査に要する時間を短縮し、検査の際にガラス基板に物理的な接触による欠陥の発生を最小化して正確な検査が実施できるようにすること
【解決手段】本発明の検査装置は、検査ゾーンに設置され、前記ガラス基板の端部をクランプして固定させる基板固定手段と、前記基板固定手段によって固定された前記ガラス基板を、照明装置で光を照射して複数のカメラでスキャンするビジョンアセンブリと、前記ビジョンアセンブリを前記ガラス基板の一方の側から他方の側に移動させるビジョンアセンブリ移動手段と、前記ビジョンアセンブリのカメラから転送されるイメージから前記ガラス基板の欠陥をデータ化して処理する欠陥データ処理部と、前記欠陥データ処理部から処理されたデータを表示するディスプレイ部とを含む。
【選択図】 図１

Description

本発明は、ガラス基板の検査装置及び検査方法に関し、更に詳しくは、成形工程においてガラス基板の検査を迅速、且つ、正確に実施するガラス基板の検査装置及び検査方法に関する。

一般に、ＴＦＴ−ＬＣＤ（薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ）、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）、ＥＬ（Electro luminescence）などの平板ディスプレイの製造分野で用いられるガラス基板は、成形工程においてガラス溶解炉で溶解されたガラス液を溶解成形機に供給して製造され、カッティング機（cutting apparatus）によって一次規格に合わせて切断され、コンベアシステムによって加工ラインに運搬される。

成形工程におけるガラス基板の検査は、後工程への不良品投入を事前に遮断することによって、コストを低減し、歩留りを向上させる効果がある。
成形工程において、コンベアシステムによって移送されるガラス基板を、検査の際にガラス基板をコンベアシステムから取り外して別途の検査装置にローディングする場合、検査に長時間を要するだけでなく、運搬に手間がかかり、且つ、物理的な接触によってガラス基板に欠陥を発生する恐れが多くあるとの不都合があった。

そこで、成形工程において、ガラス基板の検査のために、次のような点等を十分考慮する必要がある。
第一に、ガラス基板を検査ゾーンに容易にローディングして固定させることにより、検査ゾーンにガラス基板を固定させるときの手間を低減すると共に、一定の時間内に一連の検査工程を終了させて検査にかかる時間を短縮する必要があり、検査の際にガラス基板に物理的な接触を最小化してガラス基板の欠陥の発生を最大限抑制する必要がある。

第二に、移送されるガラス基板の振動を焦点深度内に抑えて正確な検査が行われるようにする必要がある。
上記のような点等を考慮した、成形工程におけるガラス基板検査装置を開発する必要性があり、これによって、成形工程後に実施される工程に投入されるガラス基板の不良率を最小化して、コストを低減すると共に、歩留りを向上させる必要がある。

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、成形工程においてガラス基板の検査を容易に実施するだけでなく、検査に要する時間を短縮させ、検査の際にガラス基板に物理的な接触による欠陥発生を最小化し、且つ、制約的な焦点深度内に、移送されるガラス基板の振動を最小化して正確な検査が行われるようにするガラス基板の検査装置及び検査方法を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明はガラス基板を検査する装置であって、検査ゾーンに設置され、前記ガラス基板の端部をクランプして固定させる基板固定手段と、前記基板固定手段によって固定された前記ガラス基板を、照明装置で光を照射して複数のカメラでスキャンするビジョンアセンブリと、前記ビジョンアセンブリを前記ガラス基板の一方の側から他方の側に移動させるビジョンアセンブリ移動手段と、前記ビジョンアセンブリのカメラから転送されるイメージから前記ガラス基板の欠陥をデータ化して処理する欠陥データ処理部と、前記欠陥データ処理部から処理されたデータを表示するディスプレイ部とを含むことを特徴とする装置が提供される。

更に、本発明は、ガラス基板を検査する方法であって、前記ガラス基板を検査ゾーンに位置させた後、前記ガラス基板の端部をクランプして固定させるステップと、前記検査ゾーンに固定されている前記ガラス基板の一方の側から他方の側に照明と複数のカメラを移動させると共に、前記ガラス基板をスキャンするステップと、前記ガラス基板をスキャンして取得したイメージから前記ガラス基板の欠陥をデータ化して処理するステップと、前記ガラス基板の欠陥に関するデータを外部に表示するステップとを含むことを特徴とする方法が提供される。

本発明によるガラス基板の検査装置及び検査方法は、成形工程においてガラス基板の検査を容易に実施するだけでなく、検査に要する時間を短縮させ、検査の際にガラス基板に物理的な接触による欠陥の発生を最小化し、且つ、制約的な焦点深度内に、移送されるガラス基板の振動を最小化して、正確な検査が行われるようにする効果を奏する。

以下、図面を参照しつつ本発明の好適な実施の形態を説明する。
図１は本発明によるガラス基板の検査装置の正面図、図２は本発明によるガラス基板の検査装置の側面図、図３は本発明によるガラス基板の検査装置の平面図、図４は本発明によるガラス基板の検査装置を示すブロック図である。

図示のように、本発明によるガラス基板の検査装置は、ガラス基板１の成形工程において、移送レール（図示せず）に沿って移動する移送グリッパ（図示せず）によって上端がクランプされて移送されるガラス基板１を検査ゾーンに固定させて検査する装置で、ガラス基板１の端部をクランプして固定させる基板固定手段１００と、ガラス基板１をスキャンするビジョンアセンブリ２００と、ビジョンアセンブリ２００をガラス基板１の一方の側から他方の側に移動させるビジョンアセンブリ移動手段３００と、ビジョンアセンブリ２００によってスキャンしたイメージからガラス基板１の欠陥をデータとして処理する欠陥データ処理部４００と、欠陥データ処理部４００から処理されたデータを表示するディスプレイ部５００とを含む。

基板固定手段１００は、上端が複数の移送グリッパ（図示せず）によってクランプされて移送レール（図示せず）に沿って移送されるガラス基板１の移送経路に隣接して設置され、移送レール（図示せず）に沿って移送されていたガラス基板１が停止するとき、移送グリッパ（図示せず）から取り外したガラス基板１の端部をクランプして検査ゾーンに固定させる。

図５に示すように、基板固定手段１００は、固定フレーム１４０と、固定フレーム１４０の上側に設置され、ガラス基板１の上端部をクランプする上部クランプ手段１１０と、固定フレーム１４０の下側に設置され、ガラス基板１の下端部をクランプすると共に、ガラス基板１が上下に伸ばされるようにガラス基板１を下方に引っ張る下部クランプ手段１２０と、固定フレーム１４０の両側にそれぞれ設置され、ガラス基板１の両端部をクランプすると共に、ガラス基板１が左右に伸ばされるようにガラス基板１を両側に引っ張る側部クランプ手段１３０とを含む。

固定フレーム１４０は、成形工程においてガラス基板１を検査するための位置に設置され、その上側と下側にそれぞれ位置する上部及び下部フレーム１４１、１４２が一対の側部フレーム１４３によって支持される。
上部クランプ手段１１０は、固定フレーム１４０の上側、すなわち、上部フレーム１４１にそれぞれ設置され、ガラス基板１の上端部をクランプする第１及び第２上部クランプ１１１、１１２からなり、第１上部クランプ１１１は、固定フレーム１４０の上部フレーム１４１に固定され、第２上部クランプ１１２は、固定フレーム１４０の上部フレーム１４１に沿って左右に移動自在に設置される。

図６及び図７に示す第１上部クランプ１１１は、固定フレーム１４０の上部フレーム１４１によって設置されたブラケット１４１ａを有し、この第１空圧シリンダ１１１ａが設置され、第１空圧シリンダ１１１ａの端、すなわち、下端に回転自在に結合される一対のグリッパ１１１ｃを、空圧によって、ガラス基板１の上端部を掴んだり放したりするために、互いに閉じたり開いたりする。

第１空圧シリンダ１１１ａは、一対のポート１１１ｂを介して空圧が選択的に供給され、一対のグリッパ１１１ｃを回転させて互いに閉じたり開いたりすることにより、グリッパ１１１ｃが閉じられるとき、その端がガラス基板１の上端部を把持せしめる。
図８及び図９に示す第２上部クランプ１１２は、固定フレーム１４０の上側、すなわち、上部フレーム１４１に設置されるガイドレール１１２ａに沿って摺動するように、第２空圧シリンダ１１２ｂが設置され、第２空圧シリンダ１１２ｂは、端に回転自在に結合される一対のグリッパ１１２ｄを、空圧によって、ガラス基板１の上端部を掴んだり放したりするために、互いに閉じたり開いたりする。

第２空圧シリンダ１１２ｂは、上部フレーム１４１に上部フレーム１４１の長手方向に並設されるガイドレール１１２ａに摺動自在に設置され、一対のポート１１２ｃに選択的に供給される空圧によってグリッパ１１２ｄを回転させて互いに閉じたり開いたりすることにより、グリッパ１１２ｄが閉じられるとき、その端がガラス基板１の上端部を把持せしめる。

第２上部クランプ１１２は、第２空圧シリンダ１１２ｂがガイドレール１１２ａに摺動自在に設置されるため、側部クランプ手段１３０によってガラス基板１が左右に伸ばされる場合、ガラス基板１が伸ばされる方向に移動することにより、ガラス基板１が全領域にわたって伸ばされるようにする。

第２上部クランプ１１２には、ガラス基板１が左右に 伸ばされることによって移動していた第２空圧シリンダ１１２ｂが元の位置に復帰するように、固定フレーム１４０の上側、すなわち、上部フレーム１４１と第２空圧シリンダ１１２ｂにコイルばねのような弾性部材１１２ｅが設置される。

下部クランプ手段１２０は、固定フレーム１４０の下側、すなわち、下部フレーム１４２にそれぞれ設置され、ガラス基板１の下端部をクランプすると共に、ガラス基板１が上下に伸ばされるようにガラス基板１を下方に引っ張る第１及び第２下部クランプ１２１、１２２からなり、第１下部クランプ１２１は，下部フレーム１４２に固定され、第２下部クランプ１２２は、下部フレーム１４２に沿って左右に移動自在に設置される。

図１０及び図１１に示す第１下部クランプ１２１は、固定フレーム１４０の下側、すなわち、下部フレーム１４２に空圧によって上下に往復移動する移動部材１２１ｂを有する第３空圧シリンダ１２１ａが設置され、第３空圧シリンダ１２１ａの移動部材１２１ｂの端に第４空圧シリンダ１２１ｄが設置され、第４空圧シリンダ１２１ｄは、端に回転自在に結合される一対のグリッパ１２１ｆを、空圧によって、ガラス基板１の下端部を掴んだり放したりするために、互いに閉じたり開いたりする。

第３空圧シリンダ１２１ａは、一対のポート１２１ｃを介して空圧が選択的に供給され、移動部材１２１ｂを往復移動せしめることにより、第４空圧シリンダ１２１ｄを上下に往復移動させる。
第４空圧シリンダ１２１ｄは、一対のポート１２１ｅを介して空圧が選択的に供給され、一対のグリッパ１２１ｆを回転させて互いに閉じたり開いたりすることにより、グリッパ１２１ｆが閉じられるとき、その端がガラス基板１の下端部を把持せしめる。

図１２及び図１３に示す第２下部クランプ１２２は、固定フレーム１４０の下側、すなわち、下部フレーム１４２に設置されるガイドレール１２２ａに沿って摺動するように、第５空圧シリンダ１２２ｂが設置され、第５空圧シリンダ１２２ｂは、空圧によって上下に往復移動する移動部材１２２ｃを有し、第５空圧シリンダ１２２ｂの移動部材１２２ｃの端に第６空圧シリンダ１２２ｅが設置され、第６空圧シリンダ１２２ｅは、空圧によって端に回転自在に結合される一対のグリッパ１２２ｇを、ガラス基板１の下端部を掴んだり放したりするために、互いに閉じたり開いたりする。

第５空圧シリンダ１２２ｂは、下部フレーム１４２に下部フレーム１４２の長手方向に並列して設置されるガイドレール１２２ａに摺動自在に設置され、一対のポート（図示せず）を介して空圧が選択的に供給され、移動部材１２２ｃを往復移動することにより、移動部材１２２ｃに結合された第６空圧シリンダ１２２ｅを上下に往復移動させる。

第６空圧シリンダ１２２ｅは、一対のポート１２２ｆを介して空圧が選択的に供給され、一対のグリッパ１２２ｇを回転させて互いに閉じたり開いたりすることにより、グリッパ１２２ｇが閉じられるとき、その端がガラス基板１の下端部を把持せしめる。
第２下部クランプ１２２は、第５空圧シリンダ１２２ｂがガイドレール１２２ａに摺動自在に設置されることにより、側部クランプ手段１３０によってガラス基板１が左右に伸ばされる場合、ガラス基板１が伸ばされる方向に移動することによって、ガラス基板１が全領域にわたって伸ばされるようにする。

第２下部クランプ１２２は、ガラス基板１が左右に伸ばされることによって移動していた第５空圧シリンダ１２２ｂが元の位置に復帰するように、固定フレーム１４０の下側、すなわち、下部フレーム１４２と第５空圧シリンダ１２２ｂにコイルばねのような弾性部材１２２ｈが設置される。

側部クランプ手段１３０は、固定フレーム１４０の両側、すなわち、側部フレーム１４３ごとにそれぞれ設置されて、ガラス基板１の両端部をクランプすると共に、ガラス基板１が左右に伸ばされるようにガラス基板１を左右に引っ張る複数の側部クランプ１３１からなる。

図１４及び図１５に表した側部クランプ１３１は、固定フレーム１４０の一方の側、すなわち、側部フレーム１４３に空圧によって左右に往復移動する移動部材１３１ｂを有する第７空圧シリンダ１３１ａが設置され、第７空圧シリンダ１３１ａの移動部材１３１ｂの端に第８空圧シリンダ１３１ｄが設置され、第８空圧シリンダ１３１ｄは、端に回転自在に結合される一対のグリッパ１３１ｆを、空圧によって、ガラス基板１の側端部を掴んだり放したりするために、互いに閉じたり開いたりする。

第７空圧シリンダ１３１ａは、一対のポート１３１ｃを介して空圧が選択的に供給され、移動部材１３１ｂを往復移動することにより、移動部材１３１ｂに結合された第８空圧シリンダ１３１ｄを左右に往復移動させる。
第８空圧シリンダ１３１ｄは、一対のポート１３１ｅを介して空圧が選択的に供給され、一対のグリッパ１３１ｆを回転させて互いに閉じたり開いたりすることにより、グリッパ１３１ｆが閉じられるとき、その端がガラス基板１の側端部を把持せしめる。

下部クランプ手段１２０の第１及び第２下部クランプ１２１、１２２と側部クランプ手段１３０の側部クランプ１３１のうち、左側の上端のものは、図５に示すように、ガラス基板１をクランプするとき、ガラス基板１がクランプされる位置に整列できるように、ガラス基板１の端部を支持するアライナ１２１ｇ、１２２ｉ、１３１ｇが備えられる。

各々のアライナ１２１ｇ、１２２ｉ、１３１ｇは、第３空圧シリンダ１２１ａ、第５空圧シリンダ１２２ｂ及び第７空圧シリンダ１３１ａのそれぞれの端に結合されるブラケット１２１ｈ、１２２ｊ、１３１ｈごとに両側に１枚ずつ設置される。
図１６に示すビジョンアセンブリ２００は、一方の側が開放されているビジョンフレーム２３０の内側の両方にカメラ固定部材２４０と照明固定部材２５０がそれぞれ垂設され、カメラ固定部材２４０に複数のカメラ２２０が開放されている一方の側を介してガラス基板１をスキャンするように固定され、照明固定部材２５０の照明２１０が複数のカメラ２２０のスキャン領域に光を照射するように設置される。

図１及び図３に戻ると、ビジョンアセンブリ移動手段３００は、ビジョンアセンブリ２００のカメラ２２０がガラス基板１の全領域をスキャンするようにビジョンアセンブリ２００をガラス基板１の一方の側から他方の側に移動させる。
ビジョンアセンブリ移動手段３００は、ビジョンアセンブリ移動手段３００のフレーム３１５の下部に第１リードスクリュー３１０が回転自在に設置され、第１リードスクリュー３１０に螺合されるカート３２０の上側にビジョンアセンブリ２００が結合され、第１リードスクリュー３１０を回転させる第１移動モータ（図示せず）が第１リードスクリュー３１０に機械的に連結して、フレーム３１５の上部に第１リードスクリュー３１０と平行をなすように第２リードスクリュー３４０が回転自在に設置され、第２リードスクリュー３４０に螺合されるボールナット３５０がビジョンアセンブリ２００のビジョンフレーム２３０に固定され、第２リードスクリュー３４０を回転させる第２移動モータ３６０が第２リードスクリュー３４０に機械的に連結される。

第２リードスクリュー３４０は、フレーム３１５の上部に設置される支持フレーム３３０に両端が支持されることにより、回転自在に設置される。
欠陥データ処理部４００（図４）は、ビジョンアセンブリ２００のカメラ２２０から転送されるイメージからガラス基板１の欠陥を個数、大きさ、位置などのデータとして処理する。

ディスプレイ部５００は、欠陥データ処理部４００から処理されたガラス基板１の欠陥の個数、大きさ、位置などのデータを外部に表示する。
図１７は、本発明によるガラス基板の検査方法を示すフローチャートである。図示のように、本発明によるガラス基板の検査方法は、成形工程において移送レール（図示せず）に沿って移動する移送グリッパ（図示せず）に上端がクランプされて移送されるガラス基板１を検査する方法であって、ガラス基板１を停止させるステップ（Ｓ１０）と、ガラス基板１を検査ゾーンに固定させるステップ（Ｓ２０）と、ガラス基板１の全領域をスキャンするステップ（Ｓ３０）と、ガラス基板１の欠陥をデータとして処理するステップ（Ｓ４０）と、ガラス基板１の欠陥に関するデータを表示するステップ（Ｓ５０）とを含む。
ガラス基板１を停止させるステップ（Ｓ１０）では、移送グリッパ（図示せず）に上端が固定されて移送レール（図示せず）に沿って移送されるガラス基板１を一定の位置に停止させる。

ガラス基板１が停止すると（Ｓ１０）、ガラス基板１を移送グリッパ（図示せず）から取り外して検査ゾーンに位置させた後、ガラス基板１の端部を基板固定手段１００の上部クランプ手段１１０、下部クランプ手段１２０及び側部クランプ手段１３０でクランプして固定させる（Ｓ２０）。

一方、基板固定手段１００でガラス基板１をクランプするとき、上部クランプ手段１１０によって上端部がクランプされたガラス基板１は、下部クランプ手段１２０の第３及び第５空圧シリンダ１２１ａ、１２２ｂを作動させてガラス基板１を上下に伸ばされるようにし、上下に伸ばされたガラス基板１は、側部クランプ手段１３０の第７空圧シリンダ１３１ａを作動させて左右に伸ばされるようにする。よって、ガラス基板１が撓まないようにすると共に、振動を最小化して、ビジョンアセンブリ２００でスキャンするとき、鮮明なイメージを取得せしめる。

基板固定手段１００によってガラス基板１を固定させると（Ｓ２０）、ガラス基板１の全領域をスキャンする（Ｓ３０）。
ガラス基板１の全領域をスキャンするステップ（Ｓ３０）では、ビジョンアセンブリ移動手段３００によって、ビジョンアセンブリ２００を、検査ゾーンに固定されているガラス基板１の一方の側から他方の側に移動させることにより、照明２１０と複数のカメラ２２０でガラス基板１の全領域をスキャンせしめる。

ガラス基板１の全領域をスキャンして取得したイメージからガラス基板１の欠陥をデータ化して処理する（Ｓ４０）。すなわち、ガラス基板１の全領域のイメージを映像処理して、欠陥の個数、大きさ、位置などをデータとして処理する。
ガラス基板１の欠陥に関する処理データは、モニターなどを介して外部に表示する（Ｓ５０）。

ガラス基板１の欠陥に関するデータを外部に表示するステップ（Ｓ５０）において、ガラス基板１が不良であることを表示するステップ（Ｓ７０）を更に実施することができる。
ガラス基板１が不良であることを表示するステップ（Ｓ７０）では、ガラス基板１の欠陥に関するデータが設定値、例えば、欠陥の個数、大きさなどの設定値以上であることを判断して（Ｓ７１）、ガラス基板１の欠陥に関するデータから欠陥が設定値以上であるとき、該当ガラス基板１が不良であることをモニターなどに表示する（Ｓ７２）。

また、ガラス基板１が不良であることを表示するステップ（Ｓ７０）において、表示された不良のガラス基板１は、後続工程に進まないように外部に取り出す（Ｓ８０）。
ガラス基板１の欠陥に関するデータを外部に表示するステップ（Ｓ５０）において、ガラス基板１の欠陥が設定値未満である場合、後続工程を行うために、ガラス基板１を基板固定手段１００から取り外してガラス基板１の上端を移送グリッパ（図示せず）でクランプして移送レール（図示せず）に沿って移送させるか、または、別途のカセット（図示せず）に装着して移送させる。

かかる構造のガラス基板の検査装置及び検査方法の作用は、次のように行われる。
成形工程において成形されたガラス基板１を、移送グリッパ（図示せず）によって移送レール（図示せず）に沿って移送させて一定の位置に進入すると、移送グリッパ（図示せず）の移動を停止させることにより、ガラス基板１を停止させる（Ｓ１０）。

ガラス基板１が停止すると（Ｓ１０）、ガラス基板１を移送グリッパ（図示せず）から取り外して検査ゾーンに位置させた後、ガラス基板１の端部を基板固定手段１００の上部クランプ手段１１０、下部クランプ手段１２０及び側部クランプ手段１３０でクランプして固定させる（Ｓ２０）。

ガラス基板１を基板固定手段１００によって固定させるステップ（Ｓ２０）は、次のように行われる。
移送グリッパ（図示せず）からガラス基板１を取り外して固定フレーム１４０の内側に位置させた後、上部クランプ手段１１０の第１及び第２上部クランプ１１１、１１２でガラス基板１の上端部をクランプする。

上部クランプ手段１１０でガラス基板１の上端部をクランプするために、第１及び第２上部クランプ１１１、１１２の第１及び第２空圧シリンダ１１１a、１１２bを動作させて、グリッパ１１１ｃ、１１２ｄでとってガラス基板１の上端部をクランプせしめる。

一方、ガラス基板１を固定フレーム１４０の内側に位置させるとき、ガラス基板１を下部クランプ手段１２０及び側部クランプ手段１３０のアライナ１２１ｇ、１２２ｉ、１３１ｇに位置させることにより、容易にクランプ位置に整列できるようにすることができる。
上部クランプ手段１１０によってガラス基板１の上端部がクランプされると、下部クランプ手段１２０でガラス基板１の下端部をクランプする。

すなわち、下部クランプ手段１２０の第４及び第６空圧シリンダ１２１ｄ、１２２ｅを動作させて、下部クランプ手段１２０のグリッパ１２１ｆ、１２２ｇでガラス基板１の下端部をクランプする。
ガラス基板１の上端と下端が、それぞれ、上部及び下部クランプ手段１１０、１２０によってクランプされると、下部クランプ手段１２０の第３及び第５空圧シリンダ１２１ａ、１２２ｂを動作させて、ガラス基板１を下方に一定の力で引張って上下に伸ばされるようにする。

ガラス基板１が上下に伸ばされると、側部クランプ手段１３０の第８空圧シリンダ１３１ｄが動作して、グリッパ１３１ｆでガラス基板１の側端部をそれぞれクランプし、第７空圧シリンダ１３１ａを動作させて、ガラス基板１を両側に引張って、ガラス基板１が左右に伸ばされるようにする。

側部クランプ手段１３０の第７空圧シリンダ１３１ａによってガラス基板１が左右に伸ばされるとき、上部及び下部クランプ手段１１０、１２０の第１上部クランプ１１１と第１下部クランプ１２１によって、ガラス基板１は一定の位置に固定された状態で、第２上部クランプ１１２と第１下部クランプ１２２がそれぞれガイドレール１１２ａ、１２２ａに沿って移動することにより、ガラス基板１が全領域にわたって左右に伸ばされるようにする。よって、ガラス基板１が撓まないようにすると共に、振動を最小化して、ビジョンアセンブリ２００でスキャンするとき、鮮明なイメージを取得せしめる。

ガラス基板１が基板固定手段１００によってクランプされて固定されると（Ｓ２０）、ビジョンアセンブリ移動手段３００の第１及び第２移動モータ３６０を駆動させて、第１及び第２リードスクリュー３１０、３４０を回転させることにより、第１及び第２リードスクリュー３１０、３４０の回転によって直線運動をするカート３２０とボールナット３５０に結合されるビジョンアセンブリ２００を、第１及び第２リードスクリュー３１０、３４０に沿ってガラス基板１の一方の側から他方の側に移動させ、ビジョンアセンブリ２００の照明２１０と複数のカメラ２２０でガラス基板１の全領域をスキャンする（Ｓ３０）。

ビジョンアセンブリ２００のカメラ２２０でガラス基板１の全領域をスキャンすると（Ｓ３０）、欠陥データ処理部４００によってスキャンして取得したイメージからガラス基板１の欠陥の個数、大きさ、位置などをデータ化して処理する（Ｓ４０）。
ガラス基板１の欠陥に関する処理データは、モニターなどのディスプレイ部５００を介して外部に表示される（Ｓ５０）。

ガラス基板１の欠陥に関するデータを外部に表示するステップ（Ｓ５０）において、ガラス基板１の欠陥に関するデータから欠陥が設定値、例えば、欠陥の個数、大きさなどの設定値以上であることを判断して（Ｓ７１）、ガラス基板１の欠陥が設定値以上であるとき、該当ガラス基板１が不良であることを、ディスプレイ部５００を介して表示する（Ｓ７２）。

ディスプレイ部５００に表示された不良のガラス基板１は、後続工程に進まないように、外部に取り出す（Ｓ８０）。
ガラス基板１の欠陥に関するデータを外部に表示するステップ（Ｓ５０）において、ガラス基板１の欠陥が設定値未満であれば、後続工程を行うために、ガラス基板１を基板固定手段１００から取り外してガラス基板１の上端を移送グリッパ（図示せず）でクランプして、移送レール（図示せず）に沿って移送させるか、または、別途のカセット（図示せず）に装着して移送させる。

上述のように本発明の好適な実施例によれば、成形工程においてガラス基板の検査を容易に実施するだけでなく、検査に要する時間を短縮し、検査の際にガラス基板に物理的な接触による欠陥の発生を最小化し、且つ、制約的な焦点深度に、移送されるガラス基板の振動を最小化して、正確な検査が行われるようにする。

上記において、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明の請求範囲を逸脱することなく、当業者は種々の改変をなし得るであろう。

本発明によるガラス基板の検査装置の正面図。 本発明によるガラス基板の検査装置の側面図。 本発明によるガラス基板の検査装置の平面図。 本発明によるガラス基板の検査装置を示すブロック図。 本発明によるガラス基板の検査装置において基板固定手段を示す正面図。 本発明によるガラス基板の検査装置において基板固定手段の第１上部クランプを示す正面図。 本発明によるガラス基板の検査装置において基板固定手段の第１上部クランプを示す側面図。 本発明によるガラス基板の検査装置において基板固定手段の第２上部クランプを示す正面図。 本発明によるガラス基板の検査装置において基板固定手段の第２上部クランプを示す底面図。 本発明によるガラス基板の検査装置において基板固定手段の第１下部クランプを示す正面図。 本発明によるガラス基板の検査装置において基板固定手段の第１下部クランプを示す側面図。 本発明によるガラス基板の検査装置において基板固定手段の第２下部クランプを示す正面図。 本発明によるガラス基板の検査装置において基板固定手段の第２下部クランプを示す平面図。 本発明によるガラス基板の検査装置において基板固定手段の側部クランプを示す正面図。 本発明によるガラス基板の検査装置において基板固定手段の側部クランプを示す側面図。 本発明によるガラス基板の検査装置においてビジョンアセンブリを示す斜視図。 本発明によるガラス基板の検査方法を示すフローチャート。

符号の説明

１００ 基板固定手段．１１０ 上部クランプ手段．１１１ 第１上部クランプ．１１２ 第２上部クランプ．１２０ 下部クランプ手段．１２１ 第１下部クランプ．１２２ 第２下部クランプ．１３０ 側部クランプ手段．１３１ 側部クランプ．１４０ 固定フレーム．２００ ビジョンアセンブリ．２１０ 照明．２２０ カメラ．２３０ ビジョンフレーム．２４０ カメラ固定部材．２５０ 照明固定部材．３００ ビジョンアセンブリ移動手段．３１０ 第１リードスクリュー．３２０ カート．３３０ 支持フレーム．３４０ 第２リードスクリュー．３５０ ボールナット．３６０ 第２移動モータ．４００ 欠陥データ処理部．５００ ディスプレイ部．

Claims (6)

1. ガラス基板を検査する装置であって、
   検査ゾーンに設置され、前記ガラス基板の端部をクランプして固定させる基板固定手段と、
   前記基板固定手段によって固定された前記ガラス基板を、照明装置で光を照射して複数のカメラでスキャンするビジョンアセンブリと、
   前記ビジョンアセンブリを前記ガラス基板の一方の側から他方の側に移動させるビジョンアセンブリ移動手段と、
   前記ビジョンアセンブリのカメラから転送されるイメージから前記ガラス基板の欠陥をデータ化して処理する欠陥データ処理部と、
   前記欠陥データ処理部から処理されたデータを表示するディスプレイ部とを含むガラス基板の検査装置。
2. 前記ビジョンアセンブリは、
   少なくとも一方の側が開放されているビジョンフレームの内側の両方にカメラ固定部材と照明固定部材がそれぞれ垂設され、前記カメラ固定部材に前記複数のカメラが開放されている一方の側を介して前記ガラス基板をスキャンするように固定され、前記照明固定部材に前記照明が前記複数のカメラのスキャン領域に光を照射するように設置されることを特徴とする請求項１に記載のガラス基板の検査装置。
3. 前記ビジョンアセンブリ移動手段は、
   前記基板固定手段に隣接して設置され、いるフレームの下部に回転自在に設置される第１リードスクリューと、
   前記第１リードスクリューに螺合され、上側に前記ビジョンアセンブリが結合されるカートと、
   前記第１リードスクリューに連結されて前記第１リードスクリューに回転力を提供する第１駆動装置と、
   前記フレームの上部に前記第１リードスクリューと平行をなし、回転自在に設置される第２リードスクリューと、
   前記第２リードスクリューに螺合され、前記ビジョンアセンブリに固定されるボールナットと、
   前記第２リードスクリューに連結されて前記第２リードスクリューに回転力を提供する第２駆動装置とを含むことを特徴とする請求項１に記載のガラス基板の検査装置。
4. ガラス基板を検査する方法であって、
   前記ガラス基板を検査ゾーンに位置させた後、前記ガラス基板の端部をクランプして固定させるステップと、
   前記検査ゾーンに固定されている前記ガラス基板の一方の側から他方の側に照明と複数のカメラを移動させると共に、前記ガラス基板をスキャンするステップと、
   前記ガラス基板をスキャンして取得したイメージから前記ガラス基板の欠陥をデータ化して処理するステップと、
   前記ガラス基板の欠陥に関するデータを外部に表示するステップとを含むガラス基板の検査方法。
5. 前記ガラス基板の欠陥に関するデータを外部に表示するステップにおいて、前記ガラス基板の欠陥に関するデータから前記欠陥が設定値以上であるとき、前記ガラス基板が不良であることを表示するステップを更に含むことを特徴とする請求項４に記載のガラス基板の検査方法。
6. 前記ガラス基板が不良であることを表示するステップにおいて、表示された前記不良のガラス基板を外部に取り出すステップを更に含むことを特徴とする請求項５に記載のガラス基板の検査方法。

Images