JP2002296148A - 表示用基板の検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 測定ステージに移した基板がプローブユ
ニットに対して大きくずれていても、そのずれを容易に
修正することができるようにすることにある。 【解決手段】 表示用基板の検査装置は、相互に間隔を
おいた複数のステージに対する基板の受け渡しを一対の
搬送アームにより行う。測定ステージは、基板の縁部が
当接可能に１以上の位置決め部材を基板受け部に有す
る。ステージと搬送装置とはそれらが相寄り相離れる方
向へ相対的に移動可能である。両搬送アームは、一方の
ステージから他方のステージに同時に移動されて基板を
搬送するのみならず、相寄り相離れる方向へ搬送アーム
毎に個々に移動される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネル
や、有機ＥＬのような表示用基板の検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示パネルのような表示用基板の点
灯検査装置の１つとして、検査すべき基板をローダ部に
配置し、その基板をロボットにより測定部に移し、その
基板の点灯検査をし、検査後の基板をロボットにより、
ローダ部に戻すか、又は検査後の基板をローダ部と異な
るアンローダ部に移すものがある。

【０００３】この種の検査装置において、基板を載せる
測定ステージは測定部に配置されている。基板は、測定
ステージのチャックトップに吸着保持されて、基板の各
電極をプローブユニットの接触子に押圧され、その状態
で通電されて、自動検査又は目視検査により良否を判定
される。

【０００４】この種の装置においては、液晶基板の電極
及びプローブユニットの接触子の配置ピッチが非常に狭
いことから、基板をチャックトップに吸着した状態にお
いて基板とプローブユニットとの相対的位置が正確に一
致していなければならない。両者の相対的位置がずれて
いると、基板の各電極とプローブユニットの接触子とが
正しい関係に接触せず、正しい検査をすることができな
い。

【０００５】上記のことから、従来では、ローダ部にプ
リアライメントステージを配置し、このプリアライメン
トステージにおいてロボットに対する基板の粗アライメ
ントを行い、測定部において精密アライメントを人手に
より又は自動的に行っている。

【０００６】人手による精密アライメントは、光学顕微
鏡を用いて基板に形成されているアライメントマークを
観察しつつ、アライメントマークが光学顕微鏡の視野内
の所定の位置になるように、基板を測定ステージにより
二次元的に移動させることにより、行われる。

【０００７】また、人手による他の精密アライメント
は、光学顕微鏡を用いて基板の所定の電極とこれに対応
する接触子の先端（針先）とを観察しつつ、両者が一致
するように、基板を測定ステージにより二次元的に移動
させることにより、行われる。

【０００８】自動精密アライメントは、基板に形成され
たアライメントマークをビデオカメラで撮影しつつ、ア
ライメントマークがビデオカメラの視野内の所定の位置
になるように、基板を測定ステージにより二次元的に移
動させることにより、行われる。

【０００９】

【解決しようとする課題】しかし、そのようなアライメ
ントを行っても、ロボットによる基板の搬送時、ロボッ
トからチャックトップへの基板の受け渡し時等に、所定
の電極又はアライメントマークが光学顕微鏡又はビデオ
カメラの視野外となるように、基板がプローブユニット
に対し大きくずれてしまうことが多い。そのような場合
には、精密アライメントをすることができない。

【００１０】本発明の目的は、測定ステージに移した基
板がプローブユニットに対して大きくずれていても、そ
のずれを容易に修正することができるようにすることに
ある。

【００１１】

【解決手段、作用、効果】本発明に係る表示用基板の検
査装置は、相互に間隔をおいた第１及び第２のステージ
と、該第１及び第２のステージに対し前記基板の受け渡
しをする搬送装置とを含む。前記両ステージと前記搬送
装置とはそれらが相寄り相離れる方向へ相対的に移動可
能である。前記第１のステージは、前記基板を受ける基
板受け部と、受けた基板の縁部が当接可能に前記基板受
け部に配置された１以上の位置決め部材とを備える。前
記搬送装置は、前記基板を受けて前記第２のステージか
ら前記第１のステージに搬送する一対の搬送アームと、
該搬送アームを前記第１及び第２のステージの間で移動
させる第１の移動機構と、前記搬送アームを相寄り相離
れる方向へ搬送アーム毎に個々に移動させる一対の第２
の移動機構とを備える。

【００１２】第１のステージは測定ステージとして用い
られ、第２のステージはローダステージ又はアンローダ
ステージとして用いられる。検査すべき基板は、第１及
び第２のステージのいずれか一方に載せられ、その箇所
で搬送アームが相寄る方向へ移動されることにより両搬
送アームに受けられ、その状態で搬送アームにより第１
及び第２のステージの他方に搬送される。

【００１３】第１のステージにおいては、先ず第１のス
テージと両搬送アームとが相寄る方向へ移動され、両搬
送アームが相離れる方向へ移動されて、基板が第１のス
テージに渡される。

【００１４】次いで、基板と垂直な軸線方向における少
なくとも一方の搬送アームの位置が同方向における基板
の位置と一致するように、搬送アームと少なくとも第１
のステージとが相対的に移動され、その状態で一方の搬
送アームが他方の搬送アームに向けて移動されて、基板
を第１のステージの相寄る方向又は相離れる方向へさら
に移動させる。これにより、基板は、その端縁を位置決
め部材に押圧されて、第１のステージひいてはプローブ
ユニットに対して位置決められる。

【００１５】上記のように基板を測定ステージに載せた
後、その基板を一方の搬送アームにより位置決め部材に
向けて押すことができるから、測定ステージに移した基
板がプローブユニットに対して大きくずれていても、そ
のずれを容易に修正することができる。

【００１６】前記搬送アームは、それらが対向した状態
でそれらの移動方向へ伸びており、また互いに共同して
前記基板を受ける複数の基板受けを対向する側に備える
ことができる。そのようにすれば、搬送アームの長手方
向全体で基板を受ける必要がないから、搬送アームが多
少撓んでいても、基板を確実に受けることができる。

【００１７】前記第１のステージは前記基板受けを受け
入れる凹所を有することができる。そのようにすれは、
凹所が基板受けのための逃げとして作用するから、測定
ステージにおける基板の受け渡しが確実に行われる。

【００１８】検査装置は、さらに、前記第１のステージ
から前記第２のステージと反対側に間隔をおいた第３の
ステージを含み、前記搬送アームは、さらに、互いに共
同して前記基板を受ける第２の基板受けであって前記基
板を前記第１のステージから前記第３のステージに搬送
する第２の基板受けを有することができる。そのように
すれば、第２及び第３のステージのいずれか一方をロー
ダステージとして用い、他方のアンローダステージとし
て用いて、基板のロード及びアンロードを並行して実行
することができるから、検査効率が向上する。

【００１９】前記第１の移動機構は、前記搬送アームの
移動方向へ伸びる一対のレールであって当該検査装置の
フレームに互いに平行に伸びる状態に組み付けられた一
対のレールと、該レールの長手方向へ相対的に移動可能
に前記搬送アームに組み付けられた一対のガイドと、前
記ガイドを同期して前記レールの長手方向へ移動させる
駆動機構とを備えることができる。そのようにすれば、
移動機構の構造が簡単になると共に、搬送アームの移動
制御が容易になる。

【００２０】前記駆動機構は、前記搬送アームの移動方
向へ間隔をおいて前記搬送アームの相対的な移動方向へ
伸びる一対の伝動軸と、前記搬送アームの相対的な移動
方向へ間隔をおいて前記伝動軸にかけられた一対の連結
部材であって前記ガイドに個々に結合された連結部材
と、該連結部材を前記レールの長手方向へ移動させるべ
く前記連結部材及び前記伝動軸のいずれか一方に連結さ
れた駆動源とを備えていてもよい。

【００２１】各第２の移動機構は、前記ガイドに組み付
けられて前記搬送アームを支持する補助ステージであっ
て前記搬送アームを移動させる補助ステージを含むこと
ができる。

【００２２】前記補助ステージは、前記ガイド及び前記
搬送アームの一方に組み付けられた第２のレールと、前
記ガイド及び前記搬送アームの他方に組み付けられた第
２のガイドと、前記搬送アームを前記ガイドに対して移
動させる機構とを備えていてもよい。

【００２３】 〔発明の詳細な説明〕図１から図４を参照するに、検査
装置１０は、液晶表示パネルのような表示用基板１２の
点灯検査装置として用いられる。基板１２は、複数の表
示パネルに分割される複数個取りの基板であり、したが
って短冊状のような長方形の形状を有している。基板１
２は、複数の電極を基板１２の幅方向の各縁部に備えて
いる。各電極は、基板１２の幅方向に長い帯状の電極で
ある。そのような基板１２として、携帯電話用の表示パ
ネルのような小型のセルを複数個一体的に備えるいわゆ
る複数個取りの基板をあげることができる。しかし、本
発明は、基板が単一のセルからなる場合にも適用するこ
とができる。

【００２４】検査装置１０は、測定ステージ１４と、ロ
ーダステージ１６と、アンローダステージ１８と、これ
らのステージ１４，１６，１８に対する基板１２の受け
渡しのために基板１２をその長手方向へ搬送する搬送装
置２０とを含む。

【００２５】ステージ１４，１６，１８は、測定ステー
ジ１４を中央にして基板１２の搬送方向に互いに間隔を
おいて検査装置１０のベース２２に配置されている。測
定ステージ１４からローダステージ１６までの距離と、
測定ステージ１４からアンローダステージ１８までの距
離とは同じとされている。

【００２６】測定ステージ１４は、互いに直交するＸ，
Ｙ，Ｚの三方向へ移動させると共に基板１２に垂直な軸
線の周りに角度的に回転させる機能を有しており、また
基板１２を受けて真空的に吸着するチャックトップ２４
を上部に備えている。Ｘ方向は基板１２の搬送方向であ
り、Ｙ方向は基板１２の幅方向であり、Ｚ方向は基板１
２に垂直の方向である。

【００２７】チャックトップ２４の上面は、基板１２を
水平に受ける基板受け部とされており、この基板受け部
に図４に示す吸着溝２６を有している。この基板受け部
は、基板１２の搬送方向（Ｘ方向）に長い長方形の形状
を有している。

【００２８】チャックトップ２４の上面すなわち基板受
け部は、Ｘ方向に間隔をおいた複数の位置決めピン２８
を搬送アーム３６側の端縁部に有していると共に、Ｘ方
向に間隔をおいた複数の凹所３０をＹ方向の各端縁部に
有している。位置決めピン２８は、基板受け部から上方
へ突出している。図示の例では、３つの凹所３０が基板
受け部の各端縁部に形成されている。

【００２９】ローダステージ１６及びアンローダステー
ジ１８は、いずれも、Ｘ方向に長い長方形の上面を有し
ており、この上面に基板１２を水平に受ける。ステージ
１６，１８は、また、基板１２を少なくとも基板１２に
垂直の方向（Ｚ方向）へ移動させる。ステージ１６及び
１８は、凹所３２をＹ方向の各端縁部に有している。

【００３０】搬送装置２０は、基板１２を把持してＸ方
向へ搬送する一対の搬送アーム３４３６と、搬送アーム
３４，３６をＸ方向へ移動させる第１の移動機構３８
と、搬送アーム３４，３６を相寄り相離れる方向へ搬送
アーム毎に個々に移動させる一対の第２の移動機構４０
とを備えている。

【００３１】搬送アーム３４，３６は、それらが対向し
た状態でＸ方向へ伸びており、また互いに共同して基板
１２を受ける複数の基板受け４２を対向する側に備えて
いる。各基板受け４２は、対応する搬送アームの縁部か
ら相手の搬送アームの側に突出されており、上向きの段
部４４を先端部に形成されている。

【００３２】凹所３０，３２の各々は、上方に開口して
いると共に、Ｙ方向の対応する端縁部側に開口してお
り、また基板受け４２を受け入れることができる大きさ
を有している。

【００３３】基板受け４２は、Ｘ方向における一方に位
置する３つの基板受け４２の群と、他方に位置する３つ
の基板受け４２の群とに分けられている。両基板受け群
の間隔は、測定ステージ１４とステージ１６及び１８と
の間の間隔と同じとされている。各基板受け群の基板受
け４２のピッチは、凹所３０のピッチと同じである。

【００３４】第１の移動機構３８は、Ｙ方向に間隔をお
いてＸ方向へ平行に伸びる一対のレール４６を検査装置
１０のフレーム４８に組み付けて支持させ、ガイド５０
を各レール４６にＸ方向へ移動可能に組み付けて支持さ
せ、各ガイド５０に第２の移動機構４０を組み付けて支
持させ、各第２の移動機構４０に搬送アーム３４又は３
６を組み付けて支持させている。

【００３５】第１の移動機構３８は、また、ステージ１
４，１６，１８を間にしてＸ方向へ間隔をおいた一対の
伝動軸５２をＹ方向へ伸びる状態に図示しないブラケッ
トによりフレーム４８に支持させ、ステージ１４，１
６，１８を間にしてＹ方向に間隔をおいた一対の無端ベ
ルト５４を伝動軸５２に組み付けられたプーリ５６に巻
きかけ、各無端ベルト５４をガイド５０に個々に結合さ
せている。

【００３６】無端ベルト５４は、駆動源５８により駆動
源５８の出力軸に組み付けられたプーリ６０を介して回
転移動される。無端ベルト５４の張力は、複数のローラ
を用いた張力付与機構６２により所定の値に維持され
る。無端ベルト５４はタイミングベルトであり、したが
ってプーリ５６，６０はタイミングプーリである。しか
し、チェーンとスプロケットのような他の動力伝達機構
を用いてもよい。

【００３７】各第２の移動機構４０は、対応する搬送ア
ーム３４又は３６を支持すると共に、Ｙ方向へ移動させ
る補助ステージとすることができる。

【００３８】次に、図１から図８を参照して検査装置１
０の動作について説明する。

【００３９】検査時、搬送アーム３４，３６は、所定の
搬送高さ位置に維持されていると共に、ステージ１４，
１６，１８からＹ方向へ大きく離されている。また、搬
送アーム３４，３６は、左方の基板受け群の中央に位置
する基板受け４２がＸ方向においてステージ１６の凹所
３２と一致し、右方の基板受け群の基板受け４２がＸ方
向においてステージ１４の凹所３０と一致するように、
最左端に移動されている。

【００４０】検査の間、測定ステージ１４は、受けた基
板１２を搬送高さ位置より上方の検査高さ位置に上昇さ
れて、基板１２の電極をプローブユニット（図示せず）
の対応する接触子に押圧している。検査の間、ステージ
１６，１８は、搬送高さ位置より下方の待機位置に維持
されている。液晶表示パネルの点灯検査装置の場合、バ
ックライトユニットは、チャックトップに収容されてお
り、点灯される。

【００４１】検査の間、新たな基板が人手により又はロ
ボットによりローダステージ１６に配置されると共に、
アンローダステージ１８上の検査済みの基板が人手によ
り又はロボットにより除去される。未検査の基板をロー
ダステージ１６に載せた後、その基板の粗アライメント
を行ってもよい。粗アライメントは、複数のストッパを
ローダステージ１６の上面に設け、そのストッパに未検
査の基板の隣り合う縁部を当接させることにより、行う
ことができる。

【００４２】測定ステージ１４上の基板１２の検査が終
了すると、図５に示すように、測定ステージ１４が搬送
アーム３４，３６の基板受け４２の先端部を凹所３０に
受け入れることができる高さ位置に下げられると共に、
ローダステージ１６が搬送アーム３４，３６の基板受け
４２を受け入れることができる高さ位置に調整される。
ステージ１６，１８の高さ調整は、検査の間に行っても
よい。

【００４３】次いで、図６に示すように、搬送アーム３
４，３６が第２の移動機構４０により相寄る方向へ移動
されて基板受け４２の先端部を凹所３０，３２に挿入さ
れた後、ステージ１４，１６が下げられる。これによ
り、基板１２はステージ１４，１６から搬送アーム３
４，３６に渡されて、搬送アーム３４，３６の段部４４
に受けられる。

【００４４】次いで、図７に示すように、搬送アーム３
４，３６が両基板１２を受けた状態で第１の移動機構３
８により、未検査の基板１２が測定ステージ１４の上方
となり、検査済みの基板１２がアンローダステージ１８
の上方となるように、最右端に移動される。

【００４５】次いで、ステージ１４，１８が搬送高さ位
置に上昇されて、搬送アーム３４，３６の基板受け４２
が凹所３０，３２に受け入れられる。

【００４６】次いで、図８に示すように、搬送アーム３
４，３６が第２の移動機構４０によりステージ１４，１
６，１８からＹ方向へ大きく離される。これにより、未
検査の基板１２が測定ステージ１４に渡され、検査済み
の基板１２がアンローダステージ１８に渡される。

【００４７】次いで、図３及び図４に示すように、未検
査の基板１２の高さ位置が一方の搬送アーム３４の高さ
位置と一致するように、測定ステージ１４の高さ位置が
調整され、搬送アーム３４が対応する第２の移動機構４
０により搬送アーム３６の側に移動される。これによ
り、搬送アーム３４がその基板受け４２の先端で未検査
の基板１２を位置決め部材２８に押圧するから、未検査
の基板１２がＹ方向の位置決め部材２８に当接して測定
ステージ１４ひいてはプローブユニットに対して位置決
められる。

【００４８】次いで、搬送アーム３４が測定ステージ１
４からＹ方向へ離された後、アンローダステージ１８が
待機位置に下降され、測定ステージ１４が検査高さに上
昇されて未検査の基板１２の検査が行われる。

【００４９】プローブユニットに対する基板の精密アラ
イメント、特にＸ方向におけるアライメントを測定ステ
ージ１４において行う場合、測定ステージ１４は、基板
に予め形成されているアライメントマークが光学顕微鏡
やビデオカメラの視野内の所定の箇所に位置するよう
に、チャックトップ２４を移動させる精密アライメント
作業を終了した後に、検査高さ位置に上昇される。

【００５０】しかし、検査装置１０においては、基板１
２の電極が基板１２の幅方向（Ｙ方向）に長い帯状の電
極であるから、基板１２を位置決めピン２８に当接さ
せ、Ｘ方向における基板１２の精密アライメントを行う
だけで、Ｙ方向における基板１２の精密アライメントを
行わなくても、基板１２の各電極はプローブユニットの
対応する接触子に確実に及び正しく押圧され、アライメ
ント作業が容易になる。また、測定ステージ１４に移し
た基板１２がプローブユニットに対してＹ方向に大きく
ずれていても、基板１２を位置決めピン２８に当接させ
ることにより、アライメントマークが光学顕微鏡やビデ
オカメラの視野内に入るから、前記のようなずれは容易
に修正される。

【００５１】検査装置１０によれば、基板１２を搬送ア
ーム３４，３６の複数の基板受け４２に受けるから、搬
送アーム３４，３６の長手方向全体で基板１２を受ける
必要がなく、搬送アーム３４，３６が多少撓んでいて
も、基板１２を確実に受けることができる。

【００５２】検査装置１０によれば、また、測定ステー
ジ１４が基板受け４２のための逃げとして作用する凹所
３０を有するから、測定ステージ１４における基板１２
の受け渡しが確実に行われる。

【００５３】検査装置１０によれば、さらに、測定ステ
ージ１４のほかに、ソーダステージ１６とアンローダス
テージ１８とを備えるから、未検査の基板１２のロード
と検査済みの基板１２のアンロードとを並行して実行す
ることができ、検査効率が向上する。

【００５４】検査装置１０によれば、さらに、Ｙ方向に
間隔をおいてＸ方向へ平行に伸びる一対のレール４６を
検査装置１０のフレーム４８に組み付けて支持させ、ガ
イド５０を各レール４６にＸ方向へ移動可能に組み付け
て支持させ、各ガイド５０に第２の移動機構４０を組み
付けて支持させ、各第２の移動機構４０に搬送アーム３
４又は３６を組み付けて支持させているから、第１の移
動機構３８の構造が簡単になると共に、搬送アームの移
動制御が容易になる。

【００５５】本発明は、液晶表示基板のみならず、有機
ＥＬ(electroluminescense)のような他の表示用基板の
検査装置にも適用することができるし、点灯検査装置の
みならず他の検査装置にも適用することができる。本発
明は、また、基板１２を水平の状態で検査する装置のみ
ならず、基板を斜めの状態で検査する装置にも適用する
ことができる。

【００５６】本発明は、上記実施例に限定されず、その
趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る表示用基板の検査装置の一実施例
を示す平面図である。

【図２】図１における２−２線に沿って得た断面図であ
る。

【図３】図１に示す検査装置の要部の一実施例を示す平
面図である。

【図４】図３における４−４線に沿って得た断面図であ
る。

【図５】図１に示す検査装置の動作を説明するための図
であって、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は断面図である。

【図６】図５に続く動作を説明するための図であって、
（Ａ）は平面図、（Ｂ）は断面図である。

【図７】図６に続く動作を説明するための図であって、
（Ａ）は平面図、（Ｂ）は断面図である。

【図８】図７に続く動作を説明するための図であって、
（Ａ）は平面図、（Ｂ）は断面図である。

【符号の説明】

１０ 検査装置 １２ 表示用基板 １４ 測定ステージ １６ ローダステージ １８ アンローダステージ ２０ 搬送装置 ２２ ベース ２４ チャックトップ ２６ 吸着溝 ２８ 位置決めピン ３０，３２ 凹所 ３４，３６ 搬送アーム ３８ 第１の移動機構 ４０ 第２の移動機構 ４２ 基板受け ４４ 基板受けの段部 ４６ レール ４８ フレーム ５０ ガイド ５２ 伝動軸 ５４ 無端ベルト（連結部材） ５６，６０ プーリ ５８ 駆動源

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G086 EE10 2H088 FA13 MA20 5G435 AA17 BB05 BB12 EE33 KK05 KK10

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 相互に間隔をおいた第１及び第２のステ
   ージと、該第１及び第２のステージに対し前記基板の受
   け渡しをする搬送装置とを含み、 前記両ステージと前記搬送装置とはそれらが相寄り相離
   れる方向へ相対的に移動可能であり、 前記第１のステージは、前記基板を受ける基板受け部
   と、受けた基板の縁部が当接可能に前記基板受け部に配
   置された１以上の位置決め部材とを備え、 前記搬送装置は、前記基板を受けて前記第２のステージ
   から前記第１のステージに搬送する一対の搬送アーム
   と、該搬送アームを前記第１及び第２のステージの間で
   移動させる第１の移動機構と、前記搬送アームを相寄り
   相離れる方向へ搬送アーム毎に個々に移動させる一対の
   第２の移動機構とを備える、表示用基板の検査装置。
2. 【請求項２】 前記搬送アームは、それらが対向した状
   態でそれらの移動方向へ伸びており、また互いに共同し
   て前記基板を受ける複数の基板受けを対向する側に備え
   る、請求項１に記載の検査装置。
3. 【請求項３】 前記第１のステージは前記基板受けを受
   け入れる凹所を有する、請求項２に記載の検査装置。
4. 【請求項４】 さらに、前記第１のステージから前記第
   ２のステージと反対側に間隔をおいた第３のステージを
   含み、 前記搬送アームは、さらに、互いに共同して前記基板を
   把持する第２の基板受けであって前記基板を前記第１の
   ステージから前記第３のステージに搬送する第２の基板
   受けを有する、請求項２又は３に記載の検査装置。
5. 【請求項５】 前記第１の移動機構は、前記搬送アーム
   の移動方向へ伸びる一対のレールであって当該検査装置
   のフレームに互いに平行に伸びる状態に組み付けられた
   一対のレールと、該レールの長手方向へ相対的に移動可
   能に前記搬送アームに組み付けられた一対のガイドと、
   前記ガイドを同期して前記レールの長手方向へ移動させ
   る駆動機構とを備える、請求項１から４のいずれか１項
   に記載の検査装置。
6. 【請求項６】 前記駆動機構は、前記搬送アームの移動
   方向へ間隔をおいて前記搬送アームの相対的な移動方向
   へ伸びる一対の伝動軸と、前記搬送アームの相対的な移
   動方向へ間隔をおいて前記伝動軸にかけられた一対の連
   結部材であって前記ガイドに個々に結合された連結部材
   と、該連結部材を前記レールの長手方向へ移動させるべ
   く前記連結部材及び前記伝動軸のいずれか一方に連結さ
   れた駆動源とを備える、請求項５に記載の検査装置。
7. 【請求項７】 各第２の移動機構は、前記ガイドに組み
   付けられて前記搬送アームを支持する補助ステージであ
   って前記搬送アームを移動させる補助ステージを含む、
   請求項１から６のいずれか１項に記載の検査装置。