CN112595722A - 一种分段式气浮平台、平台模组和检测设备 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种分段式气浮平台、平台模组和检测设备，气浮平台包括气浮精度依次增高的搬运段气浮组件、过渡段气浮组件和精密段气浮组件构成的三段式结构，平台模组包括两组对置设置的气浮平台，其中两个精密段气浮组件临近设置。检测设备在精密段气浮组件处通过光学检测装置实现对待测件的检测定位、初检和精检。本发明采用分段式气浮平台，大幅降低了成本，整体结构简单，模块化的设计，便于装配和维修，能适应不同进出料流道的布局，从而提高了应用场景。

Description

一种分段式气浮平台、平台模组和检测设备
技术领域
本发明涉及检测设备及其零部件技术，具体涉及一种分段式气浮平台、平台模组和检测设备。
背景技术
对于computer-计算机、通信-communication、消费类电子产品-consumerelectronics等3C产品的主板（如FPC、flexible printed circuit，柔性印刷电路板，FPD、flat panel display-平板显示器）检测设备中，必不可少的用到对检测件的气浮承载机构，这类机构通常与移载装置联合使用，以对待测件进行气浮、吸附、抓取并输送。
然而，随着检测设备越来越高的精度和多功能集成的要求，检测设备对检测段的气浮机构精度要求越来越高，而气浮机构通常价格较高，如果整体采用同样高精度的气浮机构，则对整套设备的成本势必造成影响。因此，针对3C产品，尤其是其FPD（Flat PanelDisplay，平板显示器）的检测用气浮机构，亟需一种适应高精度检测段且成本低的气浮机构和检测设备。
发明内容
为了克服现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种分段式气浮平台、平台模组和检测设备，其能解决上述问题。
本发明的目的采用以下技术方案实现：
一种分段式气浮平台，所述气浮平台包括从前往后依次设置的搬运段气浮组件、过渡段气浮组件和精密段气浮组件三段，其中，三段气浮组件的安装平面度|▱|关系为|▱ 搬运|≥|▱ 过渡|＞|▱ 精密|；三段气浮组件的上浮高度Hf为：Hf搬运=150μm~250μm，Hf过渡=100μm~200μm，Hf精密=30μm~70μm；三段气浮组件的上浮平面度绝对值|▱ f|关系为|▱ f搬运|＞|▱ f过渡|＞|▱ f精密|。
优选的，所述搬运段气浮组件包括搬运气浮底座、搬运立板、搬运气浮室以及位于搬运气浮室底面的搬运气接头；垂直于物料运输方向的搬运段两端分别设置一个带滑槽的搬运气浮底座，搬运立板的底部位置可调的连接在所述搬运气浮底座上，搬运气浮室的底面两端可拆卸的连接至两个搬运立板的顶部，在搬运气浮室的顶板上开设搬运气浮孔。
优选的，所述过渡段气浮组件包括过渡气浮底座、过渡立板、过渡气浮室、位于过渡气浮室下方的过渡气接头；垂直于物料运输方向的过渡段两端分别设置一个带滑槽的过渡气浮底座，过渡立板的底部位置可调的连接在所述过渡气浮底座上，过渡气浮室的底面两端可拆卸的连接至两个过渡立板的顶部，在过渡气浮室的顶板上开设过渡气浮孔，过渡气浮室提供可调的气浮力。
优选的，所述过渡段气浮组件还包括过渡气路转接板，所述过渡气路转接板设置在过渡立板顶部和过渡气浮室底面端部之间，所述过渡气接头通过所述过渡气路转接板连通至所述过渡气浮室，两端的过渡气接头可控的提供不同压力的压缩气体或负压，以调节整个过渡气浮室上表面的气浮力。
优选的，在所述过渡气浮室的顶面上开设过渡气流导向槽，所述过渡气流导向槽与过渡气浮室顶面的过渡气孔中心线相交或相离设置。
优选的，所述精密段气浮组件包括精密气浮底架、精密转接板、精密负压转接板、精密气浮室、精密气接头和精密负压接头；精密转接板设置在精密气浮底架顶部，所述精密负压转接板设置在精密转接板底部部分开设的凹腔中，精密气浮室可拆卸的设置在所述精密转接板顶部，在所述精密气浮室顶板上开设正压气孔和负压孔，所述精密气接头通过所述精密转接板将压缩气体通向正压气孔，所述精密负压接头通过所述精密负压转接板将负压连通至所述负压孔。
优选的，所述精密段气浮组件整体垂直于物料传送方向设置，用作待测件的检测工位。
本发明还提供了一种平台模组，所述平台模组包括移载装置和气浮平台，所述移载装置跨设在气浮平台上输送待测件或物料。
优选的，平台模组包括两组对置设置的气浮平台，其中两个精密段气浮组件临近设置。
本发明还提供了一种检测设备，包括减震台架、平台模组、和光学检测装置，其中所述平台模组和光学检测装置设置在所述减震台架上；根据前述的平台模组用于待测件的气浮承载及定位输送；所述光学检测装置设置在所述平台模组上方，用于待测件的检测；所述光学检测装置包括定位相机、主检相机和复检相机，用于待测件的定位、初检和精检。
相比现有技术，本发明的有益效果在于：采用分段式气浮平台，大幅降低了成本，整体结构简单，模块化的设计，便于装配和维修，能适应不同进出料流道的布局，从而提高了应用场景。
附图说明
图1为本发明分段式气浮平台的结构示意图；
图2为分段式气浮平台的另一视角的示意图；
图3为分段式气浮平台的另一视角的示意图；
图4为采用两组对置的分段式气浮平台的示意图；
图5为检测设备的示意图。
图中：
2000、减震台架；
3000、平台模组；
3100、移载装置；
3200、气浮平台；
3210、搬运段气浮组件；3211、搬运气浮底座；3212、搬运立板；3213、搬运气浮室；3214、搬运气接头；
3220、过渡段气浮组件；3221、过渡气浮底座；3222、过渡立板；3223、过渡气浮室；3224、过渡气接头；3225、过渡气路转接板；3226、过渡气流导向槽；
3230、精密段气浮组件；3231、精密气浮底架；3232、精密转接板；3233、精密负压转接板；3234、精密气浮室；32341、正压气孔；32342、负压孔；3235、精密气接头；3236、精密负压接头；
4000、光学检测装置。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例一
一种分段式气浮平台，参见图1-图3，气浮平台3200包括从前往后依次设置的搬运段气浮组件3210、过渡段气浮组件3220和精密段气浮组件3230三段。
其中，三段气浮组件的安装平面度|▱|关系为|▱ 搬运|≥|▱ 过渡|＞|▱ 精密|；具体的，
搬运段气浮组件3210的安装平面度▱ 搬运=±20μm，绝对值|▱ 搬运|=20μm；
过渡段气浮组件3220的安装平面度▱ 过渡=±20μm；绝对值|▱ 过渡|=20μm；
精密段气浮组件3230的安装平面度▱ 精密=±10μm；绝对值|▱ 精密|=10μm。
其中，三段气浮组件的上浮高度Hf为：Hf搬运=150μm~250μm，Hf过渡=100μm~200μm，Hf精密=30μm~70μm。
其中，三段气浮组件的上浮平面度绝对值|▱ f|关系为|▱ f搬运|＞|▱ f过渡|＞|▱ f精密|，具体的，
搬运段气浮组件3210的上浮平面度▱ f搬运=±40μm，|▱ f搬运|=40μm；
过渡段气浮组件3220的上浮平面度▱ f过渡=±30μm，|▱ f过渡|=30μm；
精密段气浮组件3230的上浮平面度▱ f精密=±20μm，|▱ f精密|=20μm。
需要说明的是，方案不限于三段式，也可以根据实际需要和成本控制采用两段式、四段式等，只要符合设备设计需求即可，这些均包含在本发明的保护范围中。
其中，搬运段气浮组件3210包括搬运气浮底座3211、搬运立板3212、搬运气浮室3213以及位于搬运气浮室3213底面的搬运气接头3214；垂直于物料运输方向的搬运段两端分别设置一个带滑槽的搬运气浮底座3211，搬运立板3212的底部位置可调的连接在所述搬运气浮底座3211上，搬运气浮室3213的底面两端可拆卸的连接至两个搬运立板3212的顶部，在搬运气浮室3213的顶板上开设搬运气浮孔。
其中，所述过渡段气浮组件3220包括过渡气浮底座3221、过渡立板3222、过渡气浮室3223、位于过渡气浮室3223下方的过渡气接头3224；垂直于物料运输方向的过渡段两端分别设置一个带滑槽的过渡气浮底座3221，过渡立板3222的底部位置可调的连接在所述过渡气浮底座3221上，过渡气浮室3223的底面两端可拆卸的连接至两个过渡立板3222的顶部，在过渡气浮室3223的顶板上开设过渡气浮孔，过渡气浮室3223提供可调的气浮力。
进一步的，所述过渡段气浮组件3220还包括过渡气路转接板3225，所述过渡气路转接板3225设置在过渡立板3222顶部和过渡气浮室3223底面端部之间，所述过渡气接头3224通过所述过渡气路转接板3225连通至所述过渡气浮室3223，两端的过渡气接头3224可控的提供不同压力的压缩气体或负压，以调节整个过渡气浮室3223上表面的气浮力。
进一步的，在所述过渡气浮室3223的顶面上开设过渡气流导向槽3226，所述过渡气流导向槽3226与过渡气浮室3223顶面的过渡气孔中心线相交或相离设置。
其中，所述精密段气浮组件3230包括精密气浮底架3231、精密转接板3232、精密负压转接板3233、精密气浮室3234、精密气接头3235和精密负压接头3236；精密转接板3232设置在精密气浮底架3231顶部，所述精密负压转接板3233设置在精密转接板3232底部部分开设的凹腔中，精密气浮室3234可拆卸的设置在所述精密转接板3232顶部，在所述精密气浮室3234顶板上开设正压气孔32341和负压孔32342，所述精密气接头3235通过所述精密转接板3232将压缩气体通向正压气孔32341，所述精密负压接头3236通过所述精密负压转接板3233将负压连通至所述负压孔32342。
进一步的，所述精密段气浮组件3230整体垂直于物料传送方向设置，用作待测件的检测工位。
进一步的，在物料输送方向上，搬运段气浮组件3210和过渡段气浮组件3220均采用并排间隔设置，以此降低气浮面积从而降低成本，同时便于顶升机构从间隔处将待测件或物料抵接顶升等。
进一步的，精密段气浮组件3230在垂直于物料输送方向上设置多块组合设置，以便于不同规格需求的检测面积的匹配和调整，以此提高适配性。
进一步的，搬运段气浮组件3210和过渡段气浮组件3220上的气孔为均布设置，而精密段气浮组件3230顶面上的气孔采用精密研磨的均布或非均布设置。且精密段气浮组件3230上的气孔（正压气孔及负压孔）的开孔处采用碗状开口，采用精密研磨工艺研磨而成。
实施例二
一种平台模组3000包括移载装置3100和气浮平台3200，所述移载装置3100跨设在气浮平台3200上输送待测件或物料，所述气浮平台3200采用前述的分段式气浮平台。
其中，所述平台模组3000包括两组对置设置的气浮平台3200，参见图4，两个精密段气浮组件3230临近设置。
实施例三
一种检测设备，检测设备包括减震台架2000、平台模组3000、和光学检测装置4000，其中所述平台模组3000和光学检测装置4000设置在所述减震台架2000上；平台模组3000用于待测件的气浮承载及定位输送；所述光学检测装置4000设置在所述平台模组3000上方，用于待测件的检测；所述光学检测装置4000包括定位相机、主检相机和复检相机，用于待测件的定位、初检和精检。
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种分段式气浮平台，其特征在于：所述气浮平台（3200）包括从前往后依次设置的搬运段气浮组件（3210）、过渡段气浮组件（3220）和精密段气浮组件（3230）三段，其中，三段气浮组件的安装平面度|▱ |关系为|▱ 搬运|≥|▱ 过渡|＞|▱ 精密|；三段气浮组件的上浮高度Hf为：Hf搬运=150μm~250μm，Hf过渡=100μm~200μm，Hf精密=30μm~70μm；三段气浮组件的上浮平面度绝对值|▱ f|关系为|▱ f搬运|＞|▱ f过渡|＞|▱ f精密|。
2.根据权利要求1所述的分段式气浮平台，其特征在于：所述搬运段气浮组件（3210）包括搬运气浮底座（3211）、搬运立板（3212）、搬运气浮室（3213）以及位于搬运气浮室（3213）底面的搬运气接头（3214）；垂直于物料运输方向的搬运段两端分别设置一个带滑槽的搬运气浮底座（3211），搬运立板（3212）的底部位置可调的连接在所述搬运气浮底座（3211）上，搬运气浮室（3213）的底面两端可拆卸的连接至两个搬运立板（3212）的顶部，在搬运气浮室（3213）的顶板上开设搬运气浮孔。
3.根据权利要求2所述的分段式气浮平台，其特征在于：所述过渡段气浮组件（3220）包括过渡气浮底座（3221）、过渡立板（3222）、过渡气浮室（3223）、位于过渡气浮室（3223）下方的过渡气接头（3224）；垂直于物料运输方向的过渡段两端分别设置一个带滑槽的过渡气浮底座（3221），过渡立板（3222）的底部位置可调的连接在所述过渡气浮底座（3221）上，过渡气浮室（3223）的底面两端可拆卸的连接至两个过渡立板（3222）的顶部，在过渡气浮室（3223）的顶板上开设过渡气浮孔，过渡气浮室（3223）提供可调的气浮力。
4.根据权利要求3所述的分段式气浮平台，其特征在于：所述过渡段气浮组件（3220）还包括过渡气路转接板（3225），所述过渡气路转接板（3225）设置在过渡立板（3222）顶部和过渡气浮室（3223）底面端部之间，所述过渡气接头（3224）通过所述过渡气路转接板（3225）连通至所述过渡气浮室（3223），两端的过渡气接头（3224）可控的提供不同压力的压缩气体或负压，以调节整个过渡气浮室（3223）上表面的气浮力。
5.根据权利要求3或4所述的分段式气浮平台，其特征在于：在所述过渡气浮室（3223）的顶面上开设过渡气流导向槽（3226），所述过渡气流导向槽（3226）与过渡气浮室（3223）顶面的过渡气孔中心线相交或相离设置。
6.根据权利要求4所述的分段式气浮平台，其特征在于：所述精密段气浮组件（3230）包括精密气浮底架（3231）、精密转接板（3232）、精密负压转接板（3233）、精密气浮室（3234）、精密气接头（3235）和精密负压接头（3236）；精密转接板（3232）设置在精密气浮底架（3231）顶部，所述精密负压转接板（3233）设置在精密转接板（3232）底部部分开设的凹腔中，精密气浮室（3234）可拆卸的设置在所述精密转接板（3232）顶部，在所述精密气浮室（3234）顶板上开设正压气孔（32341）和负压孔（32342），所述精密气接头（3235）通过所述精密转接板（3232）将压缩气体通向正压气孔（32341），所述精密负压接头（3236）通过所述精密负压转接板（3233）将负压连通至所述负压孔（32342）。
7.据权利要求6所述的分段式气浮平台，其特征在于：所述精密段气浮组件（3230）整体垂直于物料传送方向设置，用作待测件的检测工位。
8.一种平台模组，其特征在于：所述平台模组（3000）包括移载装置（3100）和气浮平台（3200），所述移载装置（3100）跨设在气浮平台（3200）上输送待测件或物料，所述气浮平台（3200）采用权利要求6或7所述的分段式气浮平台。
9.根据权利要求8所述的平台模组，其特征在于：所述平台模组（3000）包括两组对置设置的气浮平台（3200），其中两个精密段气浮组件（3230）临近设置。
10.一种检测设备，其特征在于：检测设备包括减震台架（2000）、平台模组（3000）、和光学检测装置（4000），其中所述平台模组（3000）和光学检测装置（4000）设置在所述减震台架（2000）上；根据权利要求8或9所述平台模组（3000）用于待测件的气浮承载及定位输送；所述光学检测装置（4000）设置在所述平台模组（3000）上方，用于待测件的检测；
所述光学检测装置（4000）包括定位相机、主检相机和复检相机，用于待测件的定位、初检和精检。
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