CN115790455A - 一种喷墨打印基板平整度检测系统 - Google Patents
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Abstract
本发明属于新型显示喷墨打印设备相关技术领域，并公开了一种喷墨打印基板平整度检测系统，其包括纠偏输送驱动组件、气浮支撑组件和基板平整度检测组件等，其中纠偏输送驱动组件用于将基板传递至平整度检测位置，并在后续执行角度纠偏动作；气浮支撑组件用于通过气膜悬浮无接触地支撑基板，并结合平整度检测结果来执行基板平整度调整；基板平整度检测组件用于执行基板不同区域的平整度检测。通过本发明，可以对基板进行更为精确地纠偏，而且能重复精确检测基板平面度并进行调整补偿，因而尤其适合喷墨打印中大尺寸基板的平整度以及厚度高精度检测以及调整。
Description
技术领域
本发明属于新型显示喷墨打印设备相关技术领域，更具体地，涉及一种喷墨打印基板平整度检测系统。
背景技术
喷墨打印技术在多个传统领域获得了广泛的应用。近年来，逐渐在OLED、RFID、薄膜太阳能电池、可穿戴柔性设备、PCB、智能蒙皮等柔性器件领域也得到应用，柔性电子与喷墨打印结合的柔性电子制造工艺正在获得更多的关注。
更具体地，当前喷墨打印技术逐渐大范围应用平板显示领域，尤其是OLED有机发光层的喷墨打印，对设备精度要求非常高，喷墨打印过程中的基板平整度以及基板纠正定位精度直接影响喷墨打印精度，进而影响产品良率，尤其是大尺寸产品。
然而，为了解决喷墨打印领域的基材平面度问题，现有技术中当前广泛采用气浮或者微孔陶瓷结构，采用机械打表方式进行调整，这种方式无法实现精确锁定平面度问题区且无法实现实时调节气浮气压进行高度补偿。此外，考虑到大尺寸基板之类对象的特殊要求，现有技术同样无法满足对此类大尺寸基板的更高纠偏要求。
发明内容
针对现有技术的以上缺陷或需求，本发明的目的在于提供一种喷墨打印基板平整度检测系统，其中通过对整个检测系统的构造组成及多个关键组件的针对性改进，不仅能够实现更高精度的角度纠偏功能，可结合视觉进行高精度位置定位检测，并且还可通过多种方式来灵活、精准地完成基板平整度调整，因而尤其适用于OLED有机发光层之类的大尺寸基板喷墨打印用途。
为实现上述目的，按照本发明，提供了一种喷墨打印基板平整度检测系统，其特征在于，该系统包括纠偏输送驱动组件(1000)、气浮支撑组件(2000)、基板平整度检测组件(3000)、检测头驱动组件(4000)和基板输送从动组件(5000)，其中：
该纠偏输送驱动组件(1000)整体设置于大理石基座上，其用于将基板传递至平整度检测位置，并在后续执行角度纠偏动作；该气浮支撑组件(2000)整体设置于大理石基座上，其通过气膜悬浮无接触地支撑基板，并结合平整度检测结果来执行基板平整度调整；该检测头驱动组件(4000)设置于横跨大理石基座的横梁(4002)上，并带动安装其上的该基板平整度检测组件(3000)一同移动，然后由所述检测头驱动组件(4000)执行基板不同区域的平整度检测；该基板输送从动组件(5000)与该纠偏输送驱动组件(1000)保持对置地设置于大理石基座上，并用于配合所述纠偏输送驱动组件(1000)做同步双驱进给；
对于该基板平整度检测组件(3000)而言，其包括检测底板(3001)、丝杆直线模组(3003)、激光测距传感器(3006)和视觉组件(3008)，其中所述检测底板(3001)固定于所述检测头驱动组件(4000)的底座上；所述丝杆直线模组(3003)安装于沿着所述检测底板(3001)延伸方向而布置的轴滑座(3002)上，并在伺服电机(3004)的驱动下带动设置其上的所述激光测距传感器(3006)、视觉组件(3008)一同移动；所述激光测距传感器(3006)固定于可调节工作高度的微型滑台(3007)上，并用于移动采集基板的多区域数据；所述视觉组件(3008)用于对基板的校正位置进行视觉拍照，由此配合所述激光测距传感器(3006)一同来测量基板不同区域的平整度。
作为进一步优选地，对于所述纠偏输送驱动组件(1000)而言，其优选包括第一直线驱动轴(1001)、第一吸附块(1008)、纠偏底板(1012)、圆弧导轨(1013)、旋转支撑安装板(1003)、轴承座(1005)和直线模组(1011)，其中所述第一直线驱动轴(1001)安装于大理石基座上，并带动设置其上的所述第一吸附块(1008)执行直线移动；所述第一吸附块(1008)配套有第一负压表(1014)，并通过压力控制来实现基板的吸附；所述纠偏底板(1012)与所述第一直线驱动轴(1001)的支撑座连接，所述圆弧导轨(1013)与所述纠偏底板(1012)连接，并用于对所述旋转支撑安装板(1003)提供旋转运动导向，进而对基板执行角度纠偏动作；所述轴承座(1005)与中心旋转轴(1004)以及所述旋转支撑安装板(1003)相连，并用作所述圆弧导轨(1013)的旋转中心定位；所述直线模组(1011)与所述纠偏底板(1012)固定相连，该直线模组(1011)的滑座连接有直线导轨(1010)，所述直线导轨(1010)的滑座继续与所述中心旋转轴(1014)相连；此外，在所述纠偏底板(1012)上还固定安装有标定位(1002)。
作为进一步优选地，所述直线模组优选为伺服电机丝杆结构或者音圈电机结构，同时配置有光栅尺或激光干涉检测部件作为运动反馈。
作为进一步优选地，对于所述气浮支撑组件(2000)而言，其优选包括分组设计的多种气浮条也即入料气浮条(2001)、精密气浮条(2003)和出料气浮条(2004)，其中所述入料气浮条(2001)与第一支撑座(2005)连接，所述精密气浮条(2003)与第二支撑座(2006)连接，所述出料气浮条(2004)与第三支撑座(2007)连接，并且以上各组气浮条的气压分别通过电气比例阀来独立控制。
作为进一步优选地，所述入料气浮条(2001)、精密气浮条(2003)和出料气浮条(2004)优选可多块横向或纵向布置，然后共同拼接呈一个完整的基板传送气浮支撑面；或者是整面一体式气浮板。
作为进一步优选地，对于所述基板输送从动组件(5000)而言，其优选包括第二直线驱动轴(5001)、第二吸附块(5004)和从动底板(5002)，其中所述第二直线驱动轴(5001)安装于大理石基座上，并带动设置其上的所述第二吸附块(5004)执行直线移动；所述第二吸附块(5004)配套有第二负压表(5007)，并通过压力控制来实现基板的吸附；所述从动底板(5002)与所述第二直线驱动轴(5001)的支撑座连接。
作为进一步优选地，根据基板的尺寸不同，可选择所述纠偏输送驱动组件(1000)和所述基板输送从动组件(5000)两者配合完成同步双驱进给，或者仅由所述纠偏输送驱动组件(1000)完成单驱进给。
作为进一步优选地，所述纠偏输送驱动组件(1000)优选结合所述视觉组件(3008)的拍摄图像来完成角度纠偏动作。
作为进一步优选地，上述系统优选可采用机械调平与气浮压力调节两种方式来调节基板平面度：
对于气浮压力调节方式而言，即通过改变所述入料气浮条(2001)、精密气浮条(2003)和出料气浮条(2004)的局部气体压力来实现基板高度微调；
对于机械调平方式而言，即通过在中转板(6004)上安装精密底板(6002)，然后在该精密底板(6002)上安装精密吸附条(6001)，同时在该精密底板(6002)的四周布置调节锁紧顶丝(6003)，由此通过拧动所述调整锁紧顶丝(6003)来实现基板高度微调。
作为进一步优选地，所述基板优选为承载新型显示器件结构的无机或有机功能层的大尺寸基板。
总体而言，通过本发明所构思的以上技术方案与现有技术相比，具有以下
有益效果：
(1)本发明通过对整个系统的构造组成以及多个关键组件如基板平整度检测组件、气浮支撑组件和纠偏输送驱动组件等的具体构造及设置方式进行针对性改进，能够以结构紧凑、灵活性高、便于操控的方式顺利实现基板的位置标定，能重复准确检测相同位置的基板高度变化；
(2)本发明通过进一步对基板平整度检测功能进行设计，能够精确检测出精密气浮与输送吸附之间的高度差并相应进行高度补偿；此外，本发明通过高精度位移传感器检测基板高度变化，气浮平台可根据基板高度变化自动调整气浮压力补偿区域基板高度值，实现闭环反馈控制；
(3)本发明通过进一步对基板驱动的同步双驱和单驱方式进行改进，相应能够更好地实现大尺寸基板的精确进给；此外，本发明通过结合视觉对位功能来实现基板角度的纠偏，相应有助于继续提高高标准的大尺寸基板喷墨打印需求。
附图说明
图1是按照本发明的喷墨打印基板平整度检测系统的整体结构示意图；
图2是按照本发明的一个优选实施例、更为具体地显示了纠偏输送驱动组件的结构立体图；
图3是按照本发明的一个优选实施例、更为具体地显示了气浮支撑组件的结构立体图；
图4是按照本发明的一个优选实施例、更为具体地显示了基板平整度检测组件的结构立体图；
图5是按照本发明的一个优选实施例、更为具体地显示了检测头驱动组件的结构立体图；
图6是按照本发明的一个优选实施例、更为具体地显示了基板输送从动组件的结构立体图
图7是用于示范性显示本发明采用机械调平方式来调节基板平面度的示意图。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
需要说明的包括，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
需要说明的还包括，在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
需要说明的还包括，在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
图1是按照本发明的喷墨打印基板平整度检测系统的整体结构示意图。该喷墨打印基板平整度检测系统主要包括纠偏输送驱动组件1000、气浮支撑组件2000、基板平整度检测组件3000、检测头驱动组件4000和基板输送从动组件5000等组件，下面将逐一进行解释说明。
如图1所述，该纠偏输送驱动组件1000整体设置于大理石基座上，其用于将基板传递至平整度检测位置，并在后续执行角度纠偏动作；该气浮支撑组件2000整体设置于大理石基座上，其通过气膜悬浮无接触地支撑基板，并结合平整度检测结果来执行基板平整度调整；该检测头驱动组件4000设置于横跨大理石基座的横梁4002上，并带动安装其上的该基板平整度检测组件3000一同移动，然后由所述检测头驱动组件4000执行基板不同区域的平整度检测；该基板输送从动组件5000与该纠偏输送驱动组件1000保持对置地设置于大理石基座上，并用于配合所述纠偏输送驱动组件1000做同步双驱进给。
同时参看图4，对于该基板平整度检测组件3000而言，其主要包括检测底板3001、丝杆直线模组3003、激光测距传感器3006和视觉组件3008，其中所述检测底板3001固定于所述检测头驱动组件4000的底座上；所述丝杆直线模组3003安装于沿着所述检测底板3001延伸方向而布置的轴滑座3002上，并在伺服电机3004的驱动下带动设置其上的所述激光测距传感器3006、视觉组件3008一同移动；所述激光测距传感器3006固定于可调节工作高度的微型滑台3007上，并用于移动采集基板的多区域数据；所述视觉组件3008用于对基板的校正位置进行视觉拍照，由此配合所述激光测距传感器3006一同来测量基板不同区域的平整度。
更具体地，基板平整度检测组件3000用于高精度检测基板变形情况，引导气浮平台进行高度补偿，其具体的组成结构如图4所一一列举地，更为详细地包括检测底板3001，轴滑座3002，丝杆直线模组3003，伺服电机3004，夹块3005，激光测距传感器3006，微型滑台3007，视觉组件3008，固定板3009等。其中所述检测底板3001固定于检测头驱动组件4000的底座上，两者之间平整度可调节。所述丝杆直线模组3003固定于轴滑座3002上，丝杆直线模组3003采用高精度级别，避免高度行走平度对检测精度影响，其用于控制激光测距传感器3006移动采集基板不同位置数据。所述伺服电机3004用作丝杆直线模组3003动力源。激光测距传感器3006固定在夹块3005上，通过脉冲触发等距采集高度数据，所述夹块3005固定在微型滑台3007上，所述微型滑台3007固定在固定板3009上用于调节激光测距传感器3006工作高度。所述视觉组件3008固定于固定板3009上，用于抓拍基板“Mark”或者特征点，引导纠偏轴以及XY轴进行位置校正。通过相机对标定块1002“Mark”进行拍照后并移动激光测距传感器3006到“Mark”点位置，使传感器光斑与“Mark”拍照点重合、上位机记录两者之间位置差，相应实现相机与位移传感器的位置标定。
参看图2，对于所述纠偏输送驱动组件1000而言，其优选包括第一直线驱动轴1001、第一吸附块1008、纠偏底板1012、圆弧导轨1013、旋转支撑安装板1003、轴承座1005和直线模组1011，其中所述第一直线驱动轴1001安装于大理石基座上，并带动设置其上的所述第一吸附块1008执行直线移动；所述第一吸附块1008配套有第一负压表1014，并通过压力控制来实现基板的吸附；所述纠偏底板1012与所述第一直线驱动轴1001的支撑座连接，所述圆弧导轨1013与所述纠偏底板1012连接，并用于对所述旋转支撑安装板1003提供旋转运动导向，进而对基板执行角度纠偏动作；所述轴承座1005与中心旋转轴1004以及所述旋转支撑安装板1003相连，并用作所述圆弧导轨1013的旋转中心定位；所述直线模组1011与所述纠偏底板1012固定相连，该直线模组1011的滑座连接有直线导轨1010，所述直线导轨1010的滑座继续与所述中心旋转轴1014相连；此外，在所述纠偏底板1012上还固定安装有标定块1002。
更具体地，所述纠偏输送驱动组件1000具体的组成结构如图2所一一列举地，更为详细包括了第一直线驱动轴1001，视觉标定块1002，旋转支撑安装板1003，中心旋转轴1004，轴承座1005，吸附板安装块100)，驱动安装块1007，第一吸附块1008，驱动轴1009，直线导轨1010，直线模组1011，纠偏底板1012，圆弧导轨1013，第一负压表1014等。其中，所述第一直线驱动轴1001安装于大理石基座上避免振动造成轴精度误差，采用直线电机以及精密导轨结构配置高精度光栅尺闭环反馈移动位置实现精确定位，用于第一吸附块1008执行直线移动。第一吸附块1008可根据产品尺寸大小采用一体式或者分体拼接结构，拼接方式需确保吸附板共面，防止吸附漏真空，导致吸附失效。第一负压表1014与吸附块数量相等，分别监控每个吸附块压力，漏真空时报警。所述纠偏底板1012与第一直线驱动轴1001支撑座连接，所述圆弧导轨1013与纠偏底板1012连接并且与旋转支撑安装板1003)用于所述旋转支撑安装板1003旋转运动导向。轴承座1005与所述中心旋转轴1004以及旋转支撑安装板1003连接、用作所述圆弧导轨1013旋转中心定位，控制中心旋转轴1004与轴承座1005之间间隙。所述直线模组1011与纠偏底板1012固定连接。所述直线导轨1010与直线模组1011滑座连接，为满足定位精度要求，直线模组优选可采用伺服丝杆结构配置光栅做全闭环控制，亦可采用音圈电机结构。直线导轨1010滑座与中心旋转轴1004连接，驱动安装块1007与旋转支撑安装板1003固定连接。标定位1002固定安装在纠偏底板1012上，不跟随整个纠偏输送驱动组件运动，用于标定激光测距传感器以及视觉组件相对位置。另外可用作基准校验纠偏角度重复精度。
参看图3，对于所述气浮支撑组件2000而言，其优选包括分组设计的多种气浮条也即入料气浮条2001、精密气浮条2003和出料气浮条2004，其中所述入料气浮条2001与第一支撑座2005连接，所述精密气浮条2003与第二支撑座2006连接，所述出料气浮条2004与第三支撑座2007连接，并且以上各组气浮条的气压分别通过电气比例阀来独立控制。
更为具体地，所述入料气浮条2001、精密气浮条2003和出料气浮条2004优选可多块横向或纵向布置，然后共同拼接呈一个完整的基板传送气浮支撑面；或者是整面一体式气浮板。
参看图5，所述检测头驱动组件譬如包括直线模组4001固定在大理石横梁4002上，大理石横梁4002与大理石基座固定连接。转接座4004与直线模组滑块座4003连接。采用大理石结构减小机器安装以及运行振动造成的定位误差。
参看图6，对于所述基板输送从动组件5000而言，其优选包括第二直线驱动轴5001、第二吸附块5004和从动底板5002，其中所述第二直线驱动轴5001安装于大理石基座上，并带动设置其上的所述第二吸附块5004执行直线移动；所述第二吸附块5004配套有第二负压表5007，并通过压力控制来实现基板的吸附；所述从动底板5002与所述第二直线驱动轴5001的支撑座连接。
更具体地，所述基板输送从动组件5000具体的组成结构如图6所一一列举地，更为详细包括了第二直线驱动轴5001，从动底板5002，支撑板5003，第二吸附块5004，吸附板安装块5005，吸附块底板5006，第二负压表5007。所述第二直线驱动轴5001安装于大理石基座上，用于第二吸附块执行直线移动。所述从动底板5002与第二直线驱动轴5001支撑座连接，所述吸附块底板5006与吸附板安装块5005、支撑板5003连接，所述第二吸附块5004与吸附板安装块5005连接。第二吸附块5004气路由一路或者多路控制，第二负压表5007监控每路气压值，确保第二吸附块稳定吸附。以此方式，纠偏输送驱动组件1000与基板输送从动组件5000关联，可实现同步双驱控制。
参考图7，本发明的基板平整度调整优选可通过两种方式实现，即气浮气压调节和机械调平方式。就气浮气压调节而言；所述气浮支撑组件2000由入料气浮条2001，精密气浮条2003，出料气浮条2004组成，每种气浮条数量由多个根据不同安装布置方式拼接成整体的气浮传送面并且其正负压力由电气比例阀独立控制，通过改变气浮块局部气体压力实现基板高度微调。上位机通过激光位移传感器反馈数据引导正负压电气比例阀调节压力补偿高度差异。
就机械调平方式而言，譬如图7中所示，即通过在中转板6004上安装精密底板6002，然后在该精密底板6002上安装精密吸附条6001，同时在该精密底板6002的四周布置调节锁紧顶丝6003，由此通过拧动所述调整锁紧顶丝6003来实现基板高度微调。此外，激光测距传感器3006可用于检测指导调节。
综上所述，通过本发明，可以实现视觉与纠偏组件关联执行高精度基板位置纠偏功能，通过标定视觉与激光测距传感器能精确检测指定区域高度值。此外，通过电气比例阀与激光测距传感器关联，能实时做高度补偿，同时通过双驱同步控制实现基板平稳高精度输送，因而尤其适用于OLED有机发光层之类的大尺寸基板喷墨打印用途。
本领域的技术人员容易理解，以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种喷墨打印基板平整度检测系统，其特征在于，该系统包括纠偏输送驱动组件(1000)、气浮支撑组件(2000)、基板平整度检测组件(3000)、检测头驱动组件(4000)和基板输送从动组件(5000)，其中：
该纠偏输送驱动组件(1000)整体设置于大理石基座上，其用于将基板传递至平整度检测位置，并在后续执行角度纠偏动作；该气浮支撑组件(2000)整体设置于大理石基座上，其通过气膜悬浮无接触地支撑基板，并结合平整度检测结果来执行基板平整度调整；该检测头驱动组件(4000)设置于横跨大理石基座的横梁(4002)上，并带动安装其上的该基板平整度检测组件(3000)一同移动，然后由所述检测头驱动组件(4000)执行基板不同区域的平整度检测；该基板输送从动组件(5000)与该纠偏输送驱动组件(1000)保持对置地设置于大理石基座上，并用于配合所述纠偏输送驱动组件(1000)做同步双驱进给；
对于该基板平整度检测组件(3000)而言，其包括检测底板(3001)、丝杆直线模组(3003)、激光测距传感器(3006)和视觉组件(3008)，其中所述检测底板(3001)固定于所述检测头驱动组件(4000)的底座上；所述丝杆直线模组(3003)安装于沿着所述检测底板(3001)延伸方向而布置的轴滑座(3002)上，并在伺服电机(3004)的驱动下带动设置其上的所述激光测距传感器(3006)、视觉组件(3008)一同移动；所述激光测距传感器(3006)固定于可调节工作高度的微型滑台(3007)上，并用于移动采集基板的多区域数据；所述视觉组件(3008)用于对基板的校正位置进行视觉拍照，由此配合所述激光测距传感器(3006)一同来测量基板不同区域的平整度。
2.如权利要求1所述的一种喷墨打印基板平整度检测系统，其特征在于，对于所述纠偏输送驱动组件(1000)而言，其优选包括第一直线驱动轴(1001)、第一吸附块(1008)、纠偏底板(1012)、圆弧导轨(1013)、旋转支撑安装板(1003)、轴承座(1005)和直线模组(1011)，其中所述第一直线驱动轴(1001)安装于大理石基座上，并带动设置其上的所述第一吸附块(1008)执行直线移动；所述第一吸附块(1008)配套有第一负压表(1014)，并通过压力控制来实现基板的吸附；所述纠偏底板(1012)与所述第一直线驱动轴(1001)的支撑座连接，所述圆弧导轨(1013)与所述纠偏底板(1012)连接，并用于对所述旋转支撑安装板(1003)提供旋转运动导向，进而对基板执行角度纠偏动作；所述轴承座(1005)与中心旋转轴(1004)以及所述旋转支撑安装板(1003)相连，并用作所述圆弧导轨(1013)的旋转中心定位；所述直线模组(1011)与所述纠偏底板(1012)固定相连，该直线模组(1011)的滑座连接有直线导轨(1010)，所述直线导轨(1010)的滑座继续与所述中心旋转轴(1014)相连；此外，在所述纠偏底板(1012)上还固定安装有标定位(1002)。
3.如权利要求2所述的一种喷墨打印基板平整度检测系统，其特征在于，所述直线模组优选为伺服电机丝杆结构或者音圈电机结构，同时配置有光栅尺或激光干涉检测部件作为运动反馈。
4.如权利要求1-3任意一项所述的一种喷墨打印基板平整度检测系统，其特征在于，对于所述气浮支撑组件(2000)而言，其优选包括分组设计的多种气浮条也即入料气浮条(2001)、精密气浮条(2003)和出料气浮条(2004)，其中所述入料气浮条(2001)与第一支撑座(2005)连接，所述精密气浮条(2003)与第二支撑座(2006)连接，所述出料气浮条(2004)与第三支撑座(2007)连接，并且以上各组气浮条的气压分别通过电气比例阀来独立控制。
5.如权利要求4所述的一种喷墨打印基板平整度检测系统，其特征在于，所述入料气浮条(2001)、精密气浮条(2003)和出料气浮条(2004)优选可多块横向或纵向布置，然后共同拼接呈一个完整的基板传送气浮支撑面；或者是整面一体式气浮板。
6.如权利要求1-5任意一项所述的一种喷墨打印基板平整度检测系统，其特征在于，对于所述基板输送从动组件(5000)而言，其优选包括第二直线驱动轴(5001)、第二吸附块(5004)和从动底板(5002)，其中所述第二直线驱动轴(5001)安装于大理石基座上，并带动设置其上的所述第二吸附块(5004)执行直线移动；所述第二吸附块(5004)配套有第二负压表(5007)，并通过压力控制来实现基板的吸附；所述从动底板(5002)与所述第二直线驱动轴(5001)的支撑座连接。
7.如权利要求1-6任意一项所述的一种喷墨打印基板平整度检测系统，其特征在于，根据基板的尺寸不同，可选择所述纠偏输送驱动组件(1000)和所述基板输送从动组件(5000)两者配合完成同步双驱进给，或者仅由所述纠偏输送驱动组件(1000)完成单驱进给。
8.如权利要求1-7任意一项所述的一种喷墨打印基板平整度检测系统，其特征在于，所述纠偏输送驱动组件(1000)优选结合所述视觉组件(3008)的拍摄图像来完成基板角度纠偏动作。
9.如权利要求4所述的一种喷墨打印基板平整度检测系统，其特征在于，上述系统优选可采用机械调平与气浮压力调节两种方式来调节基板平面度：
对于气浮压力调节方式而言，即通过改变所述入料气浮条(2001)、精密气浮条(2003)和出料气浮条(2004)的局部气体压力来实现基板高度微调；
对于机械调平方式而言，即通过在中转板(6004)上安装精密底板(6002)，然后在该精密底板(6002)上安装精密吸附条(6001)，同时在该精密底板(6002)的四周布置调节锁紧顶丝(6003)，由此通过拧动所述调整锁紧顶丝(6003)来实现基板高度微调。
10.如权利要求1-9任意一项所述的一种喷墨打印基板平整度检测系统，其特征在于，所述基板优选为承载新型显示器件结构的无机或有机功能层的大尺寸基板。
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