CN116753838A - 一种可双向检测的双探头基板玻璃测量系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种可双向检测的双探头基板玻璃测量，系统测量系统用于对基板玻璃进行检测，包括支撑装置、定位装置、驱动装置和激光测头，支撑装置和定位装置连接，基板玻璃置于定位装置上侧，驱动装置和支撑装置连接，激光测头和驱动装置传动连接，支撑装置包括支撑台、支架和横担，支架和支撑台滑动连接，支架上端和横担紧固连接，驱动装置包括两个滑座，滑座下侧设有激光测头，滑座和横担滑动连接，激光测头朝向基板玻璃，通过非接触检测，防止基板玻璃产生损伤。

Description

一种可双向检测的双探头基板玻璃测量系统

技术领域

本发明涉及基板玻璃测量技术领域，具体为一种可双向检测的双探头基板玻璃测量系统。

背景技术

近年来，随着自动化和数控技术的不断发展，企业的生产力大大提高，通过各种自动控制系统，大大降低了人工参与度，也相应的提高了生产效率。

其中，基板玻璃的生产，也在逐步适应自动化技术，基板玻璃是液晶显示面板的重要组成部分之一，在生产完成后，需要进行多参数的检测，而为了满足个性化的使用需求，基板玻璃的尺寸一般较大，通过人工检测，效率较低，且也容易造成较大的检测误差。目前，在垂度检测时，由于初始状态，对基板玻璃的支撑为面接触支撑，基板玻璃受力较为分散，然而，在进行垂度检测时，由于减少了对基板玻璃中部的支撑，基板玻璃为双端夹持状态，当基板玻璃中部变形沉降后，两端的夹持状态，会由面接触变为线接触，增大了基板玻璃局部压力，容易导致基板玻璃受损，造成检测损伤。

此外，在对基板玻璃进行检测时，通过传统的支撑平台对基板玻璃进行支撑，由于支撑基础存在的不平整，可能会使基板玻璃局部受损，影响基板玻璃的成品质量。

发明内容

本发明的目的在于提供一种可双向检测的双探头基板玻璃测量系统，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：

一种可双向检测的双探头基板玻璃测量系统，测量系统用于对基板玻璃进行检测，包括支撑装置、定位装置、驱动装置和激光测头，支撑装置和定位装置连接，基板玻璃置于定位装置上侧，驱动装置和支撑装置连接，激光测头和驱动装置传动连接，支撑装置包括支撑台、支架和横担，支架和支撑台滑动连接，支架上端和横担紧固连接，驱动装置包括两个滑座，滑座下侧设有激光测头，滑座和横担滑动连接，激光测头朝向基板玻璃。

通过测量系统对基板玻璃各尺寸参数进行检测，支撑装置作为主要的安装基础，用于对其他各装置进行安装定位，通过定位装置对基板玻璃进行自动定位，便于保证检测基础，驱动装置作为主要的动力源，用于驱动激光测头移动，在对大面积的基板玻璃进行检测过程中，进行全面检测，提高检测精度，激光测头内置色散共焦位移传感器，通过光学色散原理建立距离与波长间的对应关系，然后通过光谱仪解码光谱信息，获取位置信息，通过非接触检测，防止基板玻璃产生损伤，支架可以沿着支撑台横向位移，并带动横担移动，从而使横担带着两个安装了激光测头的滑座移动，对基板玻璃进行检测。

进一步的，定位装置包括载物台，载物台置于支撑台上，基板玻璃置于支撑台上，驱动装置还包括横移组件，横担上设有啮合腔，横移组件置于啮合腔内，横移组件包括横移电机、齿轮和齿条，横移电机机壳和啮合腔紧固连接，横移电机和其中一个齿轮传动连接，两个齿轮齿面啮合，齿轮和齿条组成的传动副设有两个，齿轮和啮合腔转动连接，齿条和啮合腔滑动连接，两个齿条分别和相邻的滑座传动连接，两个齿条位于不同层高。

载物台为基板玻璃的支撑基础，安装在支撑台上，用于对基板玻璃进行支撑，横移组件安装在啮合腔内，横移电机的机壳固定在啮合腔壁面上，通过输出转矩带动一个齿轮转动，两个齿轮啮合传动，从而带动两个齿条反向位移，每一个齿轮、齿条构成的传动副，用于驱动一个滑座沿基板玻璃宽度方向移动，两个激光测头的初始定位点分别位于基板玻璃长度方向中线两侧，由于基板玻璃是完全对称的，通过两个激光测头检测到的数据进行比对，若两组数据一致，说明基板玻璃这两处的尺寸参数达标，若两组数据不一致，则说明此处存在缺陷，通过设置两个齿条位于不同层高，防止造成运动干涉。

进一步的，定位装置还包括进气管、阻流缸和阻流板，载物台上设有若干导气道，导气道一侧设有浮动气道，沿基板玻璃长度方向的多个浮动气道导通，浮动气道上侧开口朝向基板玻璃下侧，进气管和导气道连通，载物台中部的导气道一侧设有阻流槽，导气道和相邻的阻流槽导通，阻流缸置于阻流槽内，阻流缸输出端和阻流板传动连接，阻流板和阻流槽滑动连接；

垂度检测时：阻流板伸出阻流槽，阻流槽相邻的导气道截止。

进气管和气源连通，将高压空气稳定送入导气道内，并通过导气道吹向基板玻璃，在载物台和基板玻璃之间形成稳定的气膜，通过气膜对载物台进行无接触支撑，防止在定位过程中，造成局部受损，通过浮动气道进行气体导流，将高压气体均匀分布在基板玻璃下表面，提高支撑稳定性，通过中部导气道一侧的阻流槽，对阻流缸和阻流板进行安装，导气道个数最少为四个，且为双数，在进行垂度检测时，若导气道个数正好为四个，中间部分的两个阻流缸完全伸出，使此处的导气道被截止，侧边的导气道增大输出功率，使形成的气膜层位于基板玻璃的两端，从而对基板玻璃的自重进行平衡，对基板玻璃进行双端支撑，气流为定向吹动，不会向中部汇流，基板玻璃中部由于缺少支撑，在自身重力作用下会慢慢下垂，当下垂完成后，再通过激光测头对垂度进行检测，此时气膜仍对基板玻璃下端进行面支撑，避免局部受损。

进一步的，定位装置还包括截流组件，载物台上设有调气槽，截流组件包括感压膜，感压膜和调气槽上端开口紧固连接，调气槽位于感压膜下侧的腔室内充有压缩气体。

通过截流组件进行气体截流，通过调气槽对感压膜进行安装，感压膜可以采用橡胶材质，然后下侧的腔室充有压缩气体，通过气膜对基板玻璃正常支撑状态下，感压膜处于水平状态，当局部气流增大时，由于瞬时出气量增大，使感压膜附近的气压增大，感压膜下侧压力小于上侧压力，在两侧压差作用下，使感压膜向下形变，感压膜形变量和两侧的压差呈正相关，压差越大，感压膜形变量越大。

进一步的，载物台上设有若干泄流道，泄流道进口朝向基板玻璃和载物台上表面之间的空间，截流组件还包括调节块、第一截板和复位弹簧，感压膜中部下侧和调节块传动连接，泄流道和相邻的调气槽连通，第一截板和调气槽滑动连接，第一截板为“L”型设置，调节块为“倒三角”设置，调节块侧壁和第一截板短边的内侧传动接触，复位弹簧一侧和第一截板紧固连接，复位弹簧另一端和调气槽壁面紧固连接；

泄气时：调节块远离泄流道一侧和第一截板传动连接。

泄流道与基板玻璃和载物台之间的空间连通，气流在沿着浮动气道前移过程中，会形成逸散，通过泄流道对逸散的气体进行收集，当局部气流增大时，感压膜向下形变，并带动调节块向下移动，调节块下移时，使第一截板短板的内侧壁沿着调节块滑动，并推动第一截板向远离泄流道的方向移动，使此处的泄流道局部过流面积增大，从而增大单位时间内的出气量，使此处的气膜回复到压力平衡状态，防止局部压力过大，形成向上的凸起，影响检测精度，第一截板在向远离泄流道的方向运动时，需要克服复位弹簧的弹力作用移动，当此处压力平衡时，通过复位弹簧对第一截板进行复位，便于进行连续性调压监控，同时，泄流道出口和负压气源连通，提高逸散气体的排气效率，提高气膜支撑稳定性。

进一步的，截流组件还包括第二截板，第二截板和调气槽滑动连接，调气槽和导气道导通，第二截板倾斜布置，第二截板靠近导气道一端位于低位，第二截板低位端设有截流面，截流面水平布置，导气道内的气体流向朝向截流面，第二截板位于第一截板，调节块和第二截板间歇传动接触。

第二截板位于第一截板下侧，当局部气体量过大，即第一截板完全伸入调气槽时，第一截板继续滑动也无法增大过流面积，通过调节块推动第二截板移动，使第二截板插入导气道内，增大插入导气道内的长度，截流面的长度增加，使导气道局部的过流面积减小，即通过导气道进入浮动气道内的气体量减小，通过设置截流面，当感压膜上侧压力减小时，不再通过调节块对第二截板进行抵接，气流吹向截流面时，推动第二截板倾斜向上移动，从而进行自动复位。

作为优化，定位装置还包括拦板，导气道出气口倾斜布置，拦板和载物台紧固连接，导气道朝向拦板，拦板位于浮动气道末端。导气道输出的气流为连续的稳定气流，形成气膜对基板玻璃进行支撑，为了保证气膜的稳定性，进行定向输气，并通过末端的导气道进行收集，气体在吹向基板玻璃上时，会带动基板玻璃移动，通过气流末端的拦板对基板玻璃进行限位，保证气膜支撑稳定性。

作为优化，驱动装置还包括驱动模组，支撑台上设有传动腔，驱动模组置于支撑台的传动腔内，驱动模组包括驱动电机、丝杠和螺母，驱动电机和传动腔壁面紧固连接，驱动电机输出端和丝杠传动连接，丝杠和螺母螺纹传动，螺母和传动腔滑动连接，螺母和支架传动连接。驱动模组置于传动腔内，驱动电机作为驱动的主要动力源，输出转矩，带动丝杠转动，丝杠两端通过轴承支撑在传动腔内，螺母和丝杠螺纹传动，并沿着传动腔滑动，从而带动支架沿着基板玻璃长度方向移动，从而对基板玻璃进行全面积检测。

与现有技术相比，本发明所达到的有益效果是：本发明的两个激光测头的初始定位点分别位于基板玻璃长度方向中线两侧，通过两个激光测头检测到的数据进行比对，若两组数据一致，说明基板玻璃这两处的尺寸参数达标，若两组数据不一致，则说明此处存在缺陷；进气管和气源连通，将高压空气稳定送入导气道内，并通过导气道吹向基板玻璃，在载物台和基板玻璃之间形成稳定的气膜，通过气膜对载物台进行无接触支撑，防止在定位过程中，造成局部受损，通过浮动气道进行气体导流，将高压气体均匀分布在基板玻璃下表面，提高支撑稳定性；垂度检测时，中间部分的两个阻流缸完全伸出，使此处的导气道被截止，基板玻璃中部由于缺少支撑，在自身重力作用下会慢慢下垂，当下垂完成后，再通过激光测头对垂度进行检测，此时气膜仍对基板玻璃下端进行面支撑，避免局部受损；气膜对基板玻璃正常支撑状态下，感压膜处于水平状态，当局部气流增大时，由于瞬时出气量增大，使感压膜附近的气压增大，感压膜下侧压力小于上侧压力，在两侧压差作用下，使感压膜向下形变，对局部压差进行检测；当局部气流增大时，感压膜向下形变，并带动调节块向下移动，调节块下移时，使第一截板短板的内侧壁沿着调节块滑动，并推动第一截板向远离泄流道的方向移动，使此处的泄流道局部过流面积增大，从而增大单位时间内的出气量，使此处的气膜回复到压力平衡状态，防止局部压力过大，形成向上的凸起，影响检测精度。

附图说明

附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1是本发明的总体结构示意图；

图2是本发明的双激光测头传动结构示意图；

图3是本发明的基板玻璃浮动检测示意图；

图4是图3视图载物台的H-H向剖视图；

图5是图4视图的P-P向剖视图；

图6是本发明的支架驱动结构示意图；

图中：1-支撑装置、11-支撑台、12-支架、13-横担、131-啮合腔、2-定位装置、21-载物台、211-浮动气道、212-调气槽、213-泄流道、214-阻流槽、215-导气道、22-截流组件、221-感压膜、222-调节块、223-第一截板、224-第二截板、225-复位弹簧、23-进气管、24-拦板、25-阻流缸、26-阻流板、3-驱动装置、31-驱动模组、311-驱动电机、312-丝杠、313-螺母、32-滑座、33-横移组件、331-横移电机、332-齿轮、333-齿条、4-激光测头、5-基板玻璃。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明提供技术方案：

如图1~图2所示，一种可双向检测的双探头基板玻璃测量系统，测量系统用于对基板玻璃5进行检测，包括支撑装置1、定位装置2、驱动装置3和激光测头4，支撑装置1和定位装置2连接，基板玻璃5置于定位装置2上侧，驱动装置3和支撑装置1连接，激光测头4和驱动装置3传动连接，支撑装置1包括支撑台11、支架12和横担13，支架12和支撑台11滑动连接，支架12上端和横担13紧固连接，驱动装置3包括两个滑座32，滑座32下侧设有激光测头4，滑座32和横担13滑动连接，激光测头4朝向基板玻璃5。

通过测量系统对基板玻璃5各尺寸参数进行检测，支撑装置1作为主要的安装基础，用于对其他各装置进行安装定位，通过定位装置2对基板玻璃5进行自动定位，便于保证检测基础，驱动装置3作为主要的动力源，用于驱动激光测头4移动，在对大面积的基板玻璃5进行检测过程中，进行全面检测，提高检测精度，激光测头4内置色散共焦位移传感器，通过光学色散原理建立距离与波长间的对应关系，然后通过光谱仪解码光谱信息，获取位置信息，通过非接触检测，防止基板玻璃5产生损伤，支架12可以沿着支撑台11横向位移，并带动横担13移动，从而使横担13带着两个安装了激光测头4的滑座32移动，对基板玻璃5进行检测。

如图1~图2所示，定位装置2包括载物台21，载物台21置于支撑台11上，基板玻璃5置于支撑台11上，驱动装置3还包括横移组件33，横担13上设有啮合腔131，横移组件33置于啮合腔131内，横移组件33包括横移电机331、齿轮332和齿条333，横移电机331机壳和啮合腔131紧固连接，横移电机331和其中一个齿轮332传动连接，两个齿轮332齿面啮合，齿轮332和齿条333组成的传动副设有两个，齿轮332和啮合腔131转动连接，齿条333和啮合腔131滑动连接，两个齿条333分别和相邻的滑座32传动连接，两个齿条333位于不同层高。

载物台21为基板玻璃5的支撑基础，安装在支撑台11上，用于对基板玻璃5进行支撑，横移组件33安装在啮合腔131内，横移电机331的机壳固定在啮合腔131壁面上，通过输出转矩带动一个齿轮332转动，两个齿轮啮合传动，从而带动两个齿条333反向位移，每一个齿轮332、齿条333构成的传动副，用于驱动一个滑座32沿基板玻璃5宽度方向移动，两个激光测头4的初始定位点分别位于基板玻璃5长度方向中线两侧，由于基板玻璃5是完全对称的，通过两个激光测头4检测到的数据进行比对，若两组数据一致，说明基板玻璃5这两处的尺寸参数达标，若两组数据不一致，则说明此处存在缺陷，通过设置两个齿条333位于不同层高，防止造成运动干涉。

如图3~图5所示，定位装置2还包括进气管23、阻流缸25和阻流板26，载物台21上设有若干导气道215，导气道215一侧设有浮动气道211，沿基板玻璃5长度方向的多个浮动气道211导通，浮动气道211上侧开口朝向基板玻璃5下侧，进气管23和导气道215连通，载物台21中部的导气道215一侧设有阻流槽214，导气道215和相邻的阻流槽214导通，阻流缸25置于阻流槽214内，阻流缸25输出端和阻流板26传动连接，阻流板26和阻流槽214滑动连接；

垂度检测时：阻流板26伸出阻流槽214，阻流槽214相邻的导气道215截止。

进气管23和气源连通，将高压空气稳定送入导气道215内，并通过导气道215吹向基板玻璃5，在载物台21和基板玻璃5之间形成稳定的气膜，通过气膜对载物台21进行无接触支撑，防止在定位过程中，造成局部受损，通过浮动气道211进行气体导流，将高压气体均匀分布在基板玻璃5下表面，提高支撑稳定性，通过中部导气道215一侧的阻流槽214，对阻流缸25和阻流板26进行安装，导气道215个数最少为四个，且为双数，在进行垂度检测时，若导气道215个数正好为四个，中间部分的两个阻流缸25完全伸出，使此处的导气道215被截止，侧边的导气道215增大输出功率，使形成的气膜层位于基板玻璃5的两端，从而对基板玻璃5的自重进行平衡，对基板玻璃5进行双端支撑，气流为定向吹动，不会向中部汇流，基板玻璃5中部由于缺少支撑，在自身重力作用下会慢慢下垂，当下垂完成后，再通过激光测头4对垂度进行检测，此时气膜仍对基板玻璃5下端进行面支撑，避免局部受损。

如图4~图5所示，定位装置2还包括截流组件22，载物台21上设有调气槽212，截流组件22包括感压膜221，感压膜221和调气槽212上端开口紧固连接，调气槽212位于感压膜221下侧的腔室内充有压缩气体。

通过截流组件22进行气体截流，通过调气槽212对感压膜221进行安装，感压膜221可以采用橡胶材质，然后下侧的腔室充有压缩气体，通过气膜对基板玻璃5正常支撑状态下，感压膜处于水平状态，当局部气流增大时，由于瞬时出气量增大，使感压膜221附近的气压增大，感压膜221下侧压力小于上侧压力，在两侧压差作用下，使感压膜221向下形变，感压膜221形变量和两侧的压差呈正相关，压差越大，感压膜221形变量越大。

如图4所示，载物台21上设有若干泄流道213，泄流道213进口朝向基板玻璃5和载物台21上表面之间的空间，截流组件22还包括调节块222、第一截板223和复位弹簧225，感压膜221中部下侧和调节块222传动连接，泄流道213和相邻的调气槽212连通，第一截板223和调气槽212滑动连接，第一截板223为“L”型设置，调节块222为“倒三角”设置，调节块222侧壁和第一截板223短边的内侧传动接触，复位弹簧225一侧和第一截板223紧固连接，复位弹簧225另一端和调气槽212壁面紧固连接；

泄气时：调节块222远离泄流道213一侧和第一截板223传动连接。

泄流道213与基板玻璃5和载物台21之间的空间连通，气流在沿着浮动气道211前移过程中，会形成逸散，通过泄流道213对逸散的气体进行收集，当局部气流增大时，感压膜221向下形变，并带动调节块222向下移动，调节块222下移时，使第一截板223短板的内侧壁沿着调节块222滑动，并推动第一截板223向远离泄流道213的方向移动，使此处的泄流道213局部过流面积增大，从而增大单位时间内的出气量，使此处的气膜回复到压力平衡状态，防止局部压力过大，形成向上的凸起，影响检测精度，第一截板223在向远离泄流道213的方向运动时，需要克服复位弹簧225的弹力作用移动，当此处压力平衡时，通过复位弹簧225对第一截板223进行复位，便于进行连续性调压监控，同时，泄流道213出口和负压气源连通，提高逸散气体的排气效率，提高气膜支撑稳定性。

如图4所示，截流组件22还包括第二截板224，第二截板224和调气槽212滑动连接，调气槽212和导气道215导通，第二截板224倾斜布置，第二截板224靠近导气道215一端位于低位，第二截板224低位端设有截流面，截流面水平布置，导气道215内的气体流向朝向截流面，第二截板224位于第一截板223，调节块222和第二截板224间歇传动接触。

第二截板224位于第一截板223下侧，当局部气体量过大，即第一截板223完全伸入调气槽212时，第一截板223继续滑动也无法增大过流面积，通过调节块222推动第二截板224移动，使第二截板224插入导气道215内，增大插入导气道215内的长度，截流面的长度增加，使导气道215局部的过流面积减小，即通过导气道215进入浮动气道211内的气体量减小，通过设置截流面，当感压膜221上侧压力减小时，不再通过调节块222对第二截板224进行抵接，气流吹向截流面时，推动第二截板224倾斜向上移动，从而进行自动复位。

作为优化，定位装置2还包括拦板24，导气道215出气口倾斜布置，拦板24和载物台21紧固连接，导气道215朝向拦板24，拦板24位于浮动气道211末端。导气道215输出的气流为连续的稳定气流，形成气膜对基板玻璃5进行支撑，为了保证气膜的稳定性，进行定向输气，并通过末端的导气道215进行收集，气体在吹向基板玻璃5上时，会带动基板玻璃5移动，通过气流末端的拦板24对基板玻璃5进行限位，保证气膜支撑稳定性。

如图6所示，驱动装置3还包括驱动模组31，支撑台11上设有传动腔，驱动模组31置于支撑台11的传动腔内，驱动模组31包括驱动电机311、丝杠312和螺母313，驱动电机311和传动腔壁面紧固连接，驱动电机311输出端和丝杠312传动连接，丝杠312和螺母313螺纹传动，螺母313和传动腔滑动连接，螺母313和支架12传动连接。驱动模组31置于传动腔内，驱动电机311作为驱动的主要动力源，输出转矩，带动丝杠312转动，丝杠312两端通过轴承支撑在传动腔内，螺母313和丝杠312螺纹传动，并沿着传动腔滑动，从而带动支架12沿着基板玻璃5长度方向移动，从而对基板玻璃5进行全面积检测。

本发明的工作原理：两个激光测头4的初始定位点分别位于基板玻璃5长度方向中线两侧，由于基板玻璃5是完全对称的，通过两个激光测头4检测到的数据进行比对，若两组数据一致，说明基板玻璃5这两处的尺寸参数达标，若两组数据不一致，则说明此处存在缺陷；进气管23和气源连通，将高压空气稳定送入导气道215内，并通过导气道215吹向基板玻璃5，在载物台21和基板玻璃5之间形成稳定的气膜，通过气膜对载物台21进行无接触支撑，通过浮动气道211进行气体导流，将高压气体均匀分布在基板玻璃5下表面；中间部分的两个阻流缸25完全伸出，使此处的导气道215被截止，侧边的导气道215增大输出功率，使形成的气膜层位于基板玻璃5的两端，从而对基板玻璃5的自重进行平衡，对基板玻璃5进行双端支撑，气流为定向吹动，不会向中部汇流，基板玻璃5中部由于缺少支撑，在自身重力作用下会慢慢下垂，当下垂完成后，再通过激光测头4对垂度进行检测，此时气膜仍对基板玻璃5下端进行面支撑；通过气膜对基板玻璃5正常支撑状态下，感压膜处于水平状态，当局部气流增大时，由于瞬时出气量增大，使感压膜221附近的气压增大，感压膜221下侧压力小于上侧压力，在两侧压差作用下，使感压膜221向下形变；当局部气流增大时，感压膜221向下形变，并带动调节块222向下移动，调节块222下移时，使第一截板223短板的内侧壁沿着调节块222滑动，并推动第一截板223向远离泄流道213的方向移动，使此处的泄流道213局部过流面积增大，从而增大单位时间内的出气量，使此处的气膜回复到压力平衡状态，防止局部压力过大，形成向上的凸起。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种可双向检测的双探头基板玻璃测量系统，所述测量系统用于对基板玻璃（5）进行检测，其特征在于：所述测量系统包括支撑装置（1）、定位装置（2）、驱动装置（3）和激光测头（4），所述支撑装置（1）和定位装置（2）连接，所述基板玻璃（5）置于定位装置（2）上侧，所述驱动装置（3）和支撑装置（1）连接，所述激光测头（4）和驱动装置（3）传动连接，所述支撑装置（1）包括支撑台（11）、支架（12）和横担（13），所述支架（12）和支撑台（11）滑动连接，支架（12）上端和横担（13）紧固连接，所述驱动装置（3）包括两个滑座（32），所述滑座（32）下侧设有激光测头（4），滑座（32）和横担（13）滑动连接，所述激光测头（4）朝向基板玻璃（5）。

2.根据权利要求1所述的一种可双向检测的双探头基板玻璃测量系统，其特征在于：所述定位装置（2）包括载物台（21），所述载物台（21）置于支撑台（11）上，所述基板玻璃（5）置于支撑台（11）上，所述驱动装置（3）还包括横移组件（33），所述横担（13）上设有啮合腔（131），所述横移组件（33）置于啮合腔（131）内，横移组件（33）包括横移电机（331）、齿轮（332）和齿条（333），所述横移电机（331）机壳和啮合腔（131）紧固连接，横移电机（331）和其中一个齿轮（332）传动连接，两个所述齿轮（332）齿面啮合，所述齿轮（332）和齿条（333）组成的传动副设有两个，所述齿轮（332）和啮合腔（131）转动连接，所述齿条（333）和啮合腔（131）滑动连接，两个所述齿条（333）分别和相邻的滑座（32）传动连接，两个齿条（333）位于不同层高。

3.根据权利要求2所述的一种可双向检测的双探头基板玻璃测量系统，其特征在于：所述定位装置（2）还包括进气管（23）、阻流缸（25）和阻流板（26），所述载物台（21）上设有若干导气道（215），所述导气道（215）一侧设有浮动气道（211），沿所述基板玻璃（5）长度方向的多个浮动气道（211）导通，所述浮动气道（211）上侧开口朝向基板玻璃（5）下侧，所述进气管（23）和导气道（215）连通，所述载物台（21）中部的导气道（215）一侧设有阻流槽（214），所述导气道（215）和相邻的阻流槽（214）导通，所述阻流缸（25）置于阻流槽（214）内，阻流缸（25）输出端和阻流板（26）传动连接，所述阻流板（26）和阻流槽（214）滑动连接；

垂度检测时：所述阻流板（26）伸出阻流槽（214），所述阻流槽（214）相邻的导气道（215）截止。

4.根据权利要求3所述的一种可双向检测的双探头基板玻璃测量系统，其特征在于：所述定位装置（2）还包括截流组件（22），所述载物台（21）上设有调气槽（212），所述截流组件（22）包括感压膜（221），所述感压膜（221）和调气槽（212）上端开口紧固连接，所述调气槽（212）位于感压膜（221）下侧的腔室内充有压缩气体。

5.根据权利要求4所述的一种可双向检测的双探头基板玻璃测量系统，其特征在于：所述载物台（21）上设有若干泄流道（213），所述泄流道（213）进口朝向基板玻璃（5）和载物台（21）上表面之间的空间，所述截流组件（22）还包括调节块（222）、第一截板（223）和复位弹簧（225），所述感压膜（221）中部下侧和调节块（222）传动连接，所述泄流道（213）和相邻的调气槽（212）连通，所述第一截板（223）和调气槽（212）滑动连接，所述第一截板（223）为“L”型设置，所述调节块（222）为“倒三角”设置，调节块（222）侧壁和第一截板（223）短边的内侧传动接触，所述复位弹簧（225）一侧和第一截板（223）紧固连接，复位弹簧（225）另一端和调气槽（212）壁面紧固连接；

泄气时：所述调节块（222）远离泄流道（213）一侧和第一截板（223）传动连接。

6.根据权利要求5所述的一种可双向检测的双探头基板玻璃测量系统，其特征在于：所述截流组件（22）还包括第二截板（224），所述第二截板（224）和调气槽（212）滑动连接，所述调气槽（212）和导气道（215）导通，所述第二截板（224）倾斜布置，第二截板（224）靠近导气道（215）一端位于低位，第二截板（224）低位端设有截流面，所述截流面水平布置，所述导气道（215）内的气体流向朝向截流面，所述第二截板（224）位于第一截板（223），所述调节块（222）和第二截板（224）间歇传动接触。

7.根据权利要求6所述的一种可双向检测的双探头基板玻璃测量系统，其特征在于：所述定位装置（2）还包括拦板（24），所述导气道（215）出气口倾斜布置，所述拦板（24）和载物台（21）紧固连接，所述导气道（215）朝向拦板（24），所述拦板（24）位于浮动气道（211）末端。

8.根据权利要求7所述的一种可双向检测的双探头基板玻璃测量系统，其特征在于：所述驱动装置（3）还包括驱动模组（31），所述支撑台（11）上设有传动腔，所述驱动模组（31）置于支撑台（11）的传动腔内，驱动模组（31）包括驱动电机（311）、丝杠（312）和螺母（313），所述驱动电机（311）和传动腔壁面紧固连接，驱动电机（311）输出端和丝杠（312）传动连接，所述丝杠（312）和螺母（313）螺纹传动，所述螺母（313）和传动腔滑动连接，螺母（313）和支架（12）传动连接。