KR100596048B1 - 유리기판의 에지 검사시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 유리기판의 에지에 존재하는 결점을 광학적으로 검사하기 위한 유리기판의 에지 검사시스템을 개시한다. 본 발명은 검사위치에 유리기판을 연속적으로 로딩하는 로딩수단과, 검사위치에 로딩되는 유리기판에 역광을 조명하는 조명수단과, 유리기판의 상측에지를 촬영하여 이미지데이터를 출력하는 제1 카메라와, 유리기판의 하측에지를 촬영하여 이미지데이터를 출력하는 제2 카메라와, 유리기판의 좌측에지 및 우측에지를 촬영하여 이미지데이터를 출력하는 하나 이상의 제3 카메라와, 제1 내지 제3 카메라들로부터의 이미지데이터를 프로세싱하여 유리기판을 양품과 불량품으로 선별하는 컴퓨터와, 검사위치에서 제1 내지 제3 카메라들을 지지하는 카메라스탠드로 구성된다. 본 발명에 의하면, 유리기판을 연속적으로 로딩시키면서 유리기판의 에지이미지를 획득한 후, 컴퓨터의 프로세싱에 의하여 유리기판의 결점을 정확하게 검사할 수 있으며, 양품과 불량품의 유리기판을 자동으로 선별하여 전수검사의 효율성을 크게 향상시킬 수 있다. 또한, 간편한 잡체인지에 의하여 다양한 크기의 유리기판을 검사할 수 있어 유연성생산시스템으로의 전환을 매우 간편하고 효율적으로 실시할 수 있고, 유리기판의 물리적 접촉을 최소화시켜 로딩시킬 수 있는 구조에 의하여 검사중에 결점의 발생을 효과적으로 방지할 수 있다.

Description

유리기판의 에지 검사시스템{SYSTEM FOR INSPECTING EDGE OF GLASS SUBSTRATE}

도 1은 본 발명에 따른 검사시스템에서 이미지획득장치의 작동을 설명하기 위하여 나타낸 제1 내지 제3 카메라, 컴퓨터, 메인모니터와 제1 내지 제3 서브모니터의 배치도,

도 2는 본 발명에 따른 검사시스템의 전체 구성을 나타낸 정면도,

도 3은 본 발명에 따른 검사시스템에서 로딩장치의 컨베이어와 플로팅유닛의 구성을 나타낸 정면도,

도 4는 본 발명에 따른 검사시스템에서 조명장치의 구성을 부분적으로 절제하여 나타낸 평면도,

도 5는 본 발명에 따른 검사시스템에서 이미지획득장치의 제1 내지 제3 카메라, 카메라스탠드와 제1 및 제2 위치결정장치의 구성을 나타낸 측면도,

도 6은 본 발명에 따른 검사시스템에서 무브먼트스테이지의 구성을 나타낸 평면도,

도 7은 본 발명에 따른 검사시스템에서 이미지획득장치의 제1 내지 제3 카메라와 제1 및 제2 위치결정장치의 구성을 나타낸 평면도이다.

♣도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ♣

1: 유리기판 10: 로딩장치

13: 프레임 14: 컨베이어

16: 제1 벨트컨베이어 17: 제2 벨트컨베이어

20: 플로팅유닛 21: 에어파이프

22: 에어공급장치 30: 조명장치

33: 램프유닛 35: 램프

38: 각도조절유닛 50: 이미지획득장치

51∼53: 제1 내지 제3 카메라 54: 컴퓨터

56: 메인모니터 57a∼57c: 제1 내지 제3 서브모니터

58: 센서 59: 컨트롤러

60: 카메라스탠드 61: 메인포스트

62: 서브포스트 63: 각도조절유닛

70: 무브먼트스테이지 71: Y축리니어모션가이드

72: X축리니어모션가이드 75: 케이스

80: 제1 위치결정장치 81: 리니어모션액츄에이터

82: 로터리플레이트 83: 피봇

90: 제2 위치결정장치 91: 리니어모션가이드

92: 마운팅플레이트 93: 제1 조인트플레이트

94: 제2 조인트플레이트 P: 검사위치

본 발명은 유리기판의 에지 검사시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 유리기판의 에지에 존재하는 결점을 광학적으로 정확하게 검사할 수 있는 유리기판의 에지 검사시스템에 관한 것이다.

주지하고 있는 바와 같이, TFT-LCD(Thin film transistor-liquid crystal display), PDP(Plasma display panel), EL(Electro luminescent) 등 평판디스플레이(Flat display)의 제조 분야에서 사용되는 유리기판은 유리용해로(Glass melting furnace)에서 용해된 용해유리를 평판으로 성형하는 성형공정과 일차 규격에 맞도록 절단하는 절단공정을 통하여 제조한 후 가공라인으로 운반하여 가공하고 있다. 유리기판의 가공라인에서는 유리기판을 평판디스플레이의 규격에 맞는 크기로 재차 절단하고, 절단에 의하여 날카로워진 유리기판의 네 에지(Edge)를 연마하며, 네 모서리에는 모따기와 방위표시(Orientation Mark)를 각각 가공하고 있다.

이와 같은 유리기판의 절단공정과 연마공정에서 유리기판의 에지에는 여러 가지 요인에 의하여 많은 결함이 발생되고 있다. 절단공정에서는 크기 오차, 직선성 오차, 칩(Chip), 크랙(Crack) 등이 발생되며, 연마공정에서는 언베벨(Unbevel), 오버베벨(Over-bevel), 베벨칩(Bevel chip) 등이 발생되고, 취급과정에서는 방위표시의 위치 변경, 깨짐 등이 발생되고 있다. 따라서, 고품질의 평판디스플레이를 제조하기 위하여 유리기판의 에지에 존재하는 결함에 대한 검사를 실시한 후, 유리기 판의 양품과 불량품을 선별하며, 제조공정에서의 불량요인을 찾고 그 원인을 규명하여 시정하고 있다.

일반적으로 유리기판의 에지에 존재하는 결함은 검사자가 육안으로 검사하고 있다. 그러나 검사자의 판단에 전적으로 의존하는 육안검사는 상당한 숙련과 경험이 요구되고 있으며, 검사자마다 가지고 있는 측정오차에 의하여 검사결과의 신뢰성이 매우 낮은 문제가 있다. 즉, 검사자가 주관적인 판정기준에 의하여 양품과 불량품을 판정하고 있으므로, 양품과 불량품을 오판할 우려가 높아 검사의 정확성과 신뢰성을 확보하기 어려운 실정이다. 그리고 검사자의 피로, 작업환경 등 내외적 요인에 의해서도 검사의 정확도에 매우 큰 차이가 나타나고 있다. 특히, 유리기판의 정밀한 검사를 위하여 마이크로미터 이하의 현미경검사가 요구되고 있으며, 유리기판의 대형화와 박형화에 기인하여 유리기판의 취급이 상당히 곤란해져 검사에 많은 시간과 인력이 소요되는 매우 비효율적인 문제가 있다.

한편, 일본 공개특허공보 평6-258231호와 평10-132758호에는 조명장치에 의하여 유리기판에 역광을 투사하며, 유리기판의 에지를 복수의 카메라에 의하여 촬영하여 컴퓨터에 입력하고, 컴퓨터는 카메라로부터 입력되는 이미지데이터를 프로그램에 의하여 처리하여 에지이미지를 모니터에 디스플레이한 후, 유리기판의 결점을 검사하여 양품과 불량품으로 선별하는 기술이 개시되어 있다. 이 기술들은 유리기판의 검사를 카메라의 촬영에 의하여 정확하게 실시할 수 있는 장점을 가지고 있으나, 유리기판을 연속적으로 검사할 수 없어 전수검사에 부적합 문제가 있다. 또한, 다양한 크기의 유리기판을 검사하기 위해서는 카메라의 촬영위치와 조명장치의 조명위치 등을 유리기판의 크기에 부합하도록 변경하는 잡체인지(Job change)를 실시해야 하나, 잡체인지에 많은 시간과 인력이 소요되는 등 다기종의 유리기판을 검사하기 위한 유연생산시스템(Flexible Manufacturing System)으로의 전환에 많은 지장을 받고 있다.

본 발명은 상기한 바와 같은 종래기술의 여러 가지 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 유리기판을 연속적으로 로딩시키면서 유리기판의 에지이미지를 획득하여 결점을 정확하게 검사할 수 있는 유리기판의 에지 검사시스템을 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 목적은 양품과 불량품의 유리기판을 자동으로 선별하여 전수검사의 효율성을 크게 향상시킬 수 있는 유리기판의 에지 검사시스템을 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 간편한 잡체인지에 의하여 다양한 크기의 유리기판을 검사할 수 있어 유연성생산시스템으로의 전환을 매우 간편하고 효율적으로 실시할 수 있는 유리기판의 에지 검사시스템을 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 유리기판의 물리적 접촉을 최소화시켜 로딩시킬 수 있는 구조에 의하여 검사중에 결점의 발생을 효과적으로 방지할 수 있는 유리기판의 에지 검사시스템을 제공하는데 있다.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징은, 검사위치에 유리기판을 연속적으로 로딩하는 로딩수단과; 검사위치에 로딩되는 유리기판에 역광을 조명하 는 조명수단과; 유리기판의 상측에지를 촬영하여 이미지데이터를 출력하는 제1 카메라와; 유리기판의 하측에지를 촬영하여 이미지데이터를 출력하는 제2 카메라와; 유리기판의 좌측에지 및 우측에지를 촬영하여 이미지데이터를 출력하는 하나 이상의 제3 카메라와; 제1 내지 제3 카메라들로부터의 이미지데이터를 프로세싱하여 유리기판을 양품과 불량품으로 선별하는 컴퓨터와; 검사위치에서 제1 내지 제3 카메라들을 지지하는 카메라스탠드로 이루어지는 유리기판의 에지 검사시스템에 있다.

이하, 본 발명에 따른 유리기판의 에지 검사시스템에 대한 바람직한 실시예를 첨부된 도면들에 의거하여 상세하게 설명한다.

먼저, 도 2와 도 3을 참조하면, 본 발명의 유리기판의 에지 검사시스템은 예를 들어 세로(mm)×가로(mm)의 크기가 370×470∼1,150×1,300 정도인 유리기판(1)을 검사위치(P)에 연속적으로 로딩하는 로딩장치(10)를 구비한다. 로딩장치(10)는 베이스(11)의 상면에 수직하게 기립되어 있는 포스트(12)와, 포스트(12)의 상부에 소정의 각도로 경사지도록 설치되어 있는 프레임(13)과, 프레임(13)의 하측에 유리기판(1)의 하측에지를 지지하여 이송할 수 있도록 설치되는 컨베이어(14)로 구성되어 있다. 프레임(12)은 유리기판(1)의 상측에지, 좌측 및 우측에지를 후방에서 볼 수 있도록 사각테 형상으로 구성되어 있으며 포스트(12)에 대하여 5° 정도의 각도(θ)로 경사져 있다.

도 3에 도시되어 있는 바와 같이, 컨베이어(14)는 검사위치(P)를 기준으로 소정의 간격(15)을 두고 인라인(In-line)으로 이격되어 있는 제1 벨트컨베이어(16) 와 제2 벨트컨베이어(17)를 구비한다. 제1 및 제2 벨트컨베이어(16, 17) 각각은 모터(16a, 17a)와, 모터(16a, 17a)의 구동에 의하여 회전되는 구동풀리(16b, 17b)와, 구동풀리(16b, 17b)와 소정의 간격을 두고 프레임(13)에 회전할 수 있도록 장착되어 있는 종동풀리(16c, 17c)와, 구동풀리(16b, 17b)와 종동풀리(16c, 17c) 사이의 프레임(13)에 회전할 수 있도록 배열되어 있는 복수의 중간풀리(16d, 17d)들과, 구동풀리(16b, 17b), 종동풀리(16c, 17c)와 중간풀리(16d, 17d)들에 감아걸리는 벨트 (16e, 17e)로 구성되어 있다. 제1 및 제2 벨트컨베이어(16, 17)의 모터(16a, 17a)는 브래킷(16f, 17f)에 의하여 프레임(13)에 장착되어 있다. 본 실시예에 있어서 제1 및 제2 벨트컨베이어(16, 17)의 좌우측에는 유리기판(1)을 연속적으로 이송시킬 수 있도록 제1 및 제2 벨트컨베이어(16, 17)와 동일한 구성의 벨트컨베이어를 연속적으로 배치할 수 있다. 제1 벨트컨베이어(16)와 제2 벨트컨베이어(17) 사이의 간격(15)은 제1 벨트컨베어(16)로부터 제2 벨트컨베이어(17)로 로딩되는 유리기판 (1)의 하측에지가 노출되는 구간이 된다. 제1 및 제2 벨트컨베이어(16, 17)의 모터 (16a, 17a)가 구동되어 구동풀리(16b, 17b)가 회전되면, 구동풀리(16b, 17b), 종동풀리(16c, 17c)와 중간풀리(16d, 17d)들에 감아걸려 있는 벨트(16e, 17e)가 주행되면서 유리기판(1)을 검사위치(P)로 로딩하고 검사위치(P)의 유리기판(1)을 언로딩한다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 로딩장치(10)는 프레임(13)으로부터 유리기판 (1)을 부상시키는 플로팅유닛(Floating unit: 20)을 구비한다. 플로팅유닛(20)은 프레임(13)의 전면에 유리기판(1)의 이송방향을 따라 장착되어 있으며 유리기판(1) 의 후면에 대하여 공기를 분출하는 다수의 노즐구멍(21a)들을 갖는 복수의 에어파이프(21)와, 에어파이프(21)에 공기를 공급하는 에어공급장치(22)로 구성되어 있다. 에어공급장치(22)는 에어라인(Air line: 23)에 의하여 에어파이프(21)와 연결되어 있다. 도 2와 도 3에는 2개의 에어파이프(21)가 유리기판(1)의 중앙, 상측에지와 중앙 사이에 공기를 블로잉할 수 있도록 프레임(13)에 장착되어 있는 것이 도시되어 있으나 이는 예시적인 것으로 에어파이프(21)의 숫자 및 위치는 유리기판 (1)의 크기에 맞도록 적절하게 변경할 수 있다. 에어공급장치(22)는 압축공기를 발생시키는 에어컴프레서(Air compressor)와, 에어컴프레서로부터 공기의 공급을 제어하는 에어컨트롤러(Air controller)와, 에어라인(23)에 장착되어 공기의 압력과 유량을 제어하는 밸브, 압력계 등의 배관부속장치로 구성할 수 있다. 에어파이프 (21)의 노즐구멍(21a)을 통하여 블로잉되는 공기력은 유리기판(1)의 후면이 프레임 (13)으로부터 일정한 간격, 예를 들어 0.5mm 정도로 부상되도록 설정되어 있다. 따라서, 컨베이어(14)의 작동에 의하여 프레임(13)의 기울기에 부합하도록 유리기판 (1)을 경사지게 로딩할 수 있다.

도 2와 도 4를 참조하면, 본 발명의 유리기판의 에지 검사시스템은 검사위치 (P)의 유리기판(1)에 대하여 역광을 투사하는 조명장치(30)를 구비한다. 조명장치 (30)는 베이스(31)의 상면에 수직하게 기립되어 있는 포스트(32)와, 포스트(32)에 대하여 회전할 수 있도록 설치되어 있는 램프유닛(33)으로 구성되어 있다. 램프유닛(33)은 유리기판(1)에 대하여 소정의 폭을 갖는 슬릿광(Slit light)을 투사할 수 있도록 수직한 슬릿(34a)이 형성되어 있는 하우징(34)과, 하우징(34)에 내장되어 있는 램프(35)로 구성되어 있다. 램프(35)는 형광램프, 할로겐램프, 발광다이오드모듈 등으로 구성할 수 있다. 램프(35)의 후방에는 조명효율을 높일 수 있도록 반사판(36)이 배치되어 있으며, 하우징(34)의 슬릿(34a)에는 투광패널(37), 예를 들어 유리판이 배치되어 있다.

또한, 조명장치(30)는 검사위치(P)의 유리기판(1)에 대하여 램프유닛(33)의 각도를 조절하는 각도조절유닛(38)을 구비한다. 각도조절유닛(38)의 피봇(39)은 포스트(32)의 상부를 관통하여 고정되며, 하우징(34)의 후면 중앙에는 커플러 (Coupler: 40)가 부착되어 있다. 커플러(40)의 선단에는 피봇(39)을 중심으로 회전할 수 있도록 결합되는 포크엔드(Fork end: 40a)가 형성되어 있고 포크엔드(40a)의 상하에는 나사구멍(40b)이 형성되어 있다. 램프유닛(33)의 각도를 포스트(32)에 대하여 고정하는 각도조절유닛(38)의 고정수단으로 볼트(41)들은 포스트(32)의 상부에 형성되어 있는 장방형 관통구멍(32a)을 통하여 커플러(40)의 나사구멍(40b)에 체결되어 포스트(32)에 램프유닛(33)의 하우징(34)을 고정한다. 본 실시예에 있어서 볼트(41)들은 커플러(40)의 좌우측 상하에 4개가 체결되어 있으나 볼트(41)들의 숫자는 적절하게 변경할 수 있다. 램프유닛(33)의 각도를 조절하기 위해서는 볼트 (41)들의 체결을 풀고, 피봇(39)을 중심으로 커플러(40)를 회전시켜 유리기판(1)에 대하여 최적의 역광을 조명할 수 있도록 램프유닛(33)의 각도를 조절한 후 볼트 (41)들을 다시 체결한다. 이때, 램프유닛(33)의 각도는 램프(35)로부터 투사되는 광이 유리기판(1)과 직각을 이루도록 조절하는 것이 바람직하다.

도 1, 도 2, 도 5를 참조하면, 본 발명의 유리기판의 에지 검사시스템은 유 리기판(1)의 각 에지들을 촬영하여 각 에지들의 이미지데이터를 출력하는 이미지획득장치(50)를 구비한다. 이미지획득장치(50)는 로딩장치(10)에 의하여 검사위치(P)로 로딩되는 유리기판(1)의 상측에지를 촬영하여 상측에지의 이미지데이터를 출력하는 제1 카메라(51)와, 유리기판(1)의 하측에지를 촬영하여 하측에지의 이미지데이터를 출력하는 제2 카메라(52)와, 유리기판(1)의 좌측에지 및 우측에지를 촬영하여 좌측에지 및 우측에지의 이미지데이터를 출력하는 복수의 제3 카메라(53; 53a∼ 53d)들로 구성되어 있다. 본 실시예에 있어서 제1 내지 제3 카메라(51, 52, 53)들 각각은 라인스캔CCD카메라(Line scan charge coupled device camera)로 구성되어 있다. 제1 및 제2 카메라(51, 52)의 픽셀수는 512개이며 데이터전송속도(Data transfer rate)는 40MHz이다. 제3 카메라(53; 53a∼53d)들 각각의 픽셀수는 8,192개이며 데이터전송속도는 50MHz이다.

제3 카메라(53; 53a∼53d)들은 유리기판(1)의 좌측에지 및 우측에지를 4개의 영역으로 분할하여 촬영하며, 제3 카메라(53; 53a∼53d)들의 촬영영역은 예를 들어 1.5mm 정도로 중첩되도록 설정되어 있다. 그리고 최상측의 제3 카메라(53a)와 최하측의 제3 카메라(53d) 각각은 로딩장치(10)에 의하여 이송되면서 부여받는 기계적 진동에 의한 유리기판(1)의 상하 진동, 예를 들어 ±0.5mm 정도의 오차를 감안하여 유리기판(1)의 상측에지와 하측에지로부터 2.5mm 정도 벗어나는 영역까지 촬영하도록 설정되어 있다. 제3 카메라(53; 53a∼53d)들은 유리기판(1)의 좌측에지 및 우측에지를 분할하여 촬영할 수 있도록 4대가 마련되어 있는 것이 도시되어 있으나 이는 예시적인 것으로 제3 카메라(53; 53a∼53d)들의 숫자는 유리기판(1)의 크기에 따라 증감시킬 수 있다.

도 1에 도시되어 있는 바와 같이, 제1 내지 제3 카메라(51, 52, 53)들 각각은 제1 내지 제3 카메라(51, 52, 53)들로부터 실시간으로 입력되는 이미지데이터를 프로세싱하는 컴퓨터(54)와 인터페이스되어 있다. 컴퓨터(54)는 모니터분배기(55)에 의하여 메인모니터(56), 제1 내지 제3 서브모니터(57a∼57c)와 인터페이스되어 있으며 마이크로프로세서와, 프린터 등의 출력장치와, 키보드 등의 입력장치를 갖추고 있다. 컴퓨터(54)는 제1 내지 제3 카메라(51, 52, 53)들로부터 입력되는 이미지데이터를 프로세싱하여 유리기판(1)의 각 에지이미지를 제1 내지 제3 서브모니터 (57a∼57c)에 디스플레이하며 시스템 전체의 제어에 필요한 일련의 데이터는 메인모니터(56)에 디스플레이한다. 도 1에는 1대의 컴퓨터(54)가 도시되어 있으나 데이터의 프로세싱을 위하여 여러 대를 공유시켜 구성할 수 있으며 제1 내지 제3 카메라(51, 52, 53)들에 대하여 일대일 대응되도록 구성하거나 그룹화하여 구성할 수도 있다.

또한, 컴퓨터(54)는 로딩장치(10)에 의하여 검사위치(P)로 로딩되는 유리기판(1)을 감지하는 센서(58)와 인터페이스되어 있으며, 센서(58)는 로딩장치(10)의 프레임(13)에 고정되어 있다. 센서(58)는 잘 알려진 근접센서, 포토커플러로 구성할 수 있다. 컴퓨터(54)는 센서(58)로부터 입력되는 로딩신호에 의하여 조명장치 (30)와 제1 내지 제3 카메라(51, 52, 53)의 작동을 제어한다. 컴퓨터(54)는 본 발명의 시스템을 제어하는 컨트롤러(48)와 인터페이스되어 있으며, 컨트롤러(59)에는 에어공급장치(22), 조명장치(30)의 램프(35)가 인터페이스되어 있다. 컨트롤러(59) 는 유리기판(1)의 양품과 불량품을 시각적으로 표시할 수 있는 램프(59a)와, 전원을 제어하는 파워스위치와, 기능을 설정하기 위한 다수의 버튼들을 구비하는 프로그램가능논리제어기(Programmable logic controller)로 구성되어 있다.

도 2와 도 5를 참조하면, 본 발명의 검사시스템은 제1 내지 제3 카메라(51, 52, 53)들을 검사위치(P)에 지지하여 설치할 수 있는 카메라스탠드(Camera stand: 60)를 구비한다. 카메라스탠드(60)는 검사위치(P)에 수직하게 기립되어 있는 메인포스트(61)와, 메인포스트(61)의 상부에 회전할 수 있도록 설치되어 있으며 제1 내지 제3 카메라(51, 52, 53)들이 지지되어 있는 서브포스트(62)와, 메인포스트(61)에 대하여 서브포스트(62)의 각도를 조절하는 각도조절유닛(63)으로 구성되어 있다.

도 5에 도시되어 있는 바와 같이, 각도조절유닛(63)의 피봇(64)은 메인포스트(61)의 상부를 관통하여 고정되며, 서브포스트(62)의 하측단은 메인포스트(61)에는 피봇(64)을 중심으로 회전할 수 있도록 결합되어 있다. 카메라스탠드(60)는 서브포스트(62)의 각도를 메인포스트(61)에 고정하는 각도조절유닛(63)의 고정수단으로 볼트(65)들은 메인포스트(61)의 장방형 관통구멍(61a)을 통하여 서브포스트(62)의 나사구멍(62a)에 체결되어 메인포스트(61)에 서브포스트(62)를 고정한다. 본 실시예에 있어서 볼트(65)들은 서브포스트(62)의 좌우측 상하에 4개가 체결되어 있으나 볼트(65)들의 숫자는 적절하게 변경할 수 있다. 카메라스탠드(60)의 메인포스트 (61)에 대하여 서브포스트(62)를 회전시켜 제1 내지 제3 카메라(51, 52, 53)들의 각도를 조절하기 위해서는 볼트(65)들의 체결을 풀고, 피봇(64)을 중심으로 서브포 스트(62)를 회전시켜 제1 내지 제3 카메라(51, 52, 53)들에 의하여 유리기판(1)의 각 에지들을 정확하게 촬영할 수 있도록 서브포스트(62)의 각도를 조절한 후 볼트(65)들을 다시 체결한다.

도 2와 6을 참조하면, 카메라스탠드(60)의 메인포스트(61)는 무브먼트스테이지(Movement stage: 70)에 탑재되어 있다. 무브먼트스테이지(70)는 검사위치(P)의 유리기판(1)에 대하여 메인포스트(61)를 Y축방향으로 병진운동시키는 Y축리니어모션가이드(Y-axis linear motion guide: 71)와 X축방향으로 병진운동시키는 X축리니어모션가이드(72)를 구비한다. 무브먼트스테이지(70)의 Y축 및 X축리니어모션가이드(71, 72)에 의해서는 메인포스트(61)를 직교좌표운동시켜 검사위치(P)의 유리기판(1)에 대한 제1 내지 제3 카메라(51, 52, 53)들의 위치를 조절할 수 있다.

Y축리니어모션가이드(71)는 베이스(73)의 상면에 고정되어 있는 베드플레이트(Bedplate: 71a)와, 베드플레이트(71a)의 상면에 Y축방향으로 서로 평행하게 고정되어 있는 한쌍의 가이드레일(71b)과, 가이드레일(71b)을 따라 슬라이딩운동할 수 있도록 장착되어 있는 한쌍의 슬라이드(71c)와, 베드플레이트(71a)의 양측에 체결되어 있는 조절스크루(71d, 71e)로 구성되어 있다. X축리니어모션가이드(72)는 Y축리니어모션가이드(71)의 슬라이드(71c)의 상면에 고정되어 있는 베드플레이트 (72a)와, 베드플레이트(72a)의 상면에 X축방향으로 서로 평행하게 고정되어 있는 한쌍의 가이드레일(72b)과, 가이드레일(72b)을 따라 슬라이딩운동할 수 있도록 장착되어 있는 한쌍의 슬라이드(72c)와, 슬라이드(72c)의 상면에 고정되어 있는 캐리지(72d)와, 베드플레이트(72a)의 양측에 캐리지(72d)를 X축방향으로 밀어줄 수 있 도록 체결되어 있는 조절스크루(72e, 72f)로 구성되어 있다. X축리니어모션가이드 (72)의 베드플레이트(72a)는 Y축방향으로 운동할 수 있도록 Y축리니어모션가이드 (71)의 조절스크루(71d, 71e)와 간섭되어 있으며, X축리니어모션가이드(72)의 캐리지(72d)에는 메인포스트(61)의 하측단이 고정되어 있다.

도 2에 도시되어 있는 바와 같이, 베이스(73)는 높이를 조절할 수 있는 다수의 레그(74)에 의하여 지지되어 있으며, 레그(74)는 스크루잭으로 구성되어 있다. 카메라스탠드(60)는 먼지 등 이물질에 의한 제1 내지 제3 카메라(51, 52, 53)들의 오염을 차단할 수 있는 케이스(75)의 내측에 설치되어 있고, 케이스(75)의 전방에는 제1 내지 제3 카메라(51, 52, 53)들의 시야를 확보할 수 있는 창(75a)이 형성되어 있다.

도 2, 도 5와 도 7을 참조하면, 이미지획득장치(50)의 제1 카메라(51)는 제1 위치결정장치(80)에 의하여 카메라스탠드(60)의 서브포스트(62)에 높이와 각도를 조정할 수 있도록 설치되어 있으며, 제1 위치결정장치(80)는 유리기판(1)의 상측에지에 정렬되도록 제1 카메라(51)의 높이를 조절하는 리니어모션액츄에이터(81)를 구비한다. 리니어모션액츄에이터(81)는 서브포스트(62)의 일측면에 Z축방향으로 서로 평행하게 고정되어 있는 한쌍의 가이드레일(81a)과, 가이드레일(81a)을 따라 슬라이딩운동할 수 있도록 장착되어 있는 한쌍의 슬라이드(81b)와, 슬라이드(81b)에 제1 카메라(51)를 탑재할 수 있도록 고정되어 있는 캐리지(81c)와, 가이드레일 (81a) 사이에 가이드레일(81a)과 서로 평행하게 배치되어 있으며 베어링(81d)에 의하여 회전할 수 있도록 지지되어 있는 리드스크루(81e)와, 리드스크루(81e)를 회전 시키는 서보모터(81f)와, 리드스크루(81e)를 따라 나사운동할 수 있도록 캐리지 (81c)에 고정되어 있는 너트(81g)로 구성되어 있다.

도 7에 도시되어 있는 바와 같이, 리니어모션액츄에이터(81)의 캐리지(81c) 일측단에는 로터리플레이트(Rotary plate: 82)의 피봇(83)이 회전할 수 있도록 관통되어 있으며, 피봇(83)은 캐리지(81c)를 관통하여 체결되는 세트스크루(84)에 의하여 고정된다. 로터리플레이트(82)에는 길이방향을 따라 서로 평행하게 한쌍의 슬롯(82a)이 형성되어 있으며, 로터리플레이트(82)의 슬롯(82a)을 통하여 제1 카메라 (51)에 세트스크루(82b)를 체결하여 제1 카메라(51)를 로터리플레이트(82)에 조립할 수 있다.

도 2, 도 5와 도 7을 다시 참조하면, 이미지획득장치(50)의 제2 카메라(52)는 제2 위치결정장치(90)에 의하여 카메라스탠드(60)의 서브포스트(62)에 설치되는 위치를 조정할 수 있도록 구성되어 있다. 제2 위치결정장치(90)의 리니어모션가이드(91)는 제1 위치결정장치(80)의 리니어모션액츄에이터(81)와 대향되도록 서브포스트(62)의 타측면에 Z축방향으로 서로 평행하게 고정되어 있는 한쌍의 가이드레일 (91a)과, 가이드레일(91a)을 따라 슬라이딩운동할 수 있도록 장착되어 있는 한쌍의 슬라이드(91b)로 구성되어 있다. 리니어모션가이드(91)의 슬라이드(91b)는 고정수단, 예를 들어 세트스크루의 체결에 의하여 가이드레일(91a)에 고정시킬 수 있다. 리니어모션가이드(91)의 슬라이드(91b)에는 마운팅플레이트(92)가 부착되어 있고, 마운팅플레이트(92)에는 길이방향을 따라 서로 평행하게 한쌍의 슬롯(92a)이 형성되어 있으며, 슬롯(92a)을 통하여 제2 카메라(52)에 세트스크루(92b)를 체결하여 제2 카메라(52)를 마운팅플레이트(92)에 조립할 수 있다.

또한, 마운팅플레이트(92)의 슬롯(92a)을 따라 제1 조인트플레이트(93)가 X축방향으로 이동할 수 있도록 장착되어 있고, 제1 조인트플레이트(93)에는 길이방향을 따라 슬롯(93a)이 형성되어 있다. 마운팅플레이트(92)의 슬롯(92a)을 통하여 세트스크루(93b)를 제1 조인트플레이트(93)에 체결하면, 마운팅플레이트(92)에 제1 조인트플레이트(93)를 조립할 수 있다. 제1 조인트플레이트(93)의 슬롯(93a)을 따라 제2 조인트플레이트(94)가 Y축방향으로 이동할 수 있도록 장착되어 있고, 제2 조인트플레이트(94)에는 길이방향을 따라 슬롯(94a)이 형성되어 있다. 제1 조인트플레이트(93)의 슬롯(93a)을 통하여 세트스크루(94b)를 제2 조인트플레이트(94)에 체결하면, 제1 조인트플레이트(93)에 제2 조인트플레이트(94)를 조립할 수 있다. 제1 및 제2 조인트플레이트(93, 94) 각각의 슬롯(93a, 94a)을 통해서는 마운팅플레이트(92)와 마찬가지로 제2 카메라(52)에 세트스크루(92b)를 체결하여 제2 카메라 (52)의 위치를 조절할 수 있다. 도 2와 도 5에는 제2 카메라(52)가 제2 조인트플레이트(94)에 설치되어 있는 상태가 도시되어 있으며, 도 7에는 제2 카메라 (52)가 마운팅플레이트(92)에 설치되어 있는 상태가 도시되어 있다. 제3 카메라 (53; 53a∼53d)들은 서브포스트(62)에 유리기판(1)의 좌측 및 우측에지를 영역별로 촬영할 수 있도록 고정되어 있으며, 서브포스트(62)의 길이는 제3 카메라(53; 53a∼53d)들의 숫자에 따라 적절하게 변경할 수 있다.

지금부터는 이와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 유리기판의 에지 검사시스템에 대한 작용을 설명한다.

도 2와 도 3을 참조하면, 에어공급장치(22)의 작동에 의하여 에어파이프(21)에 공기를 공급하면, 에어파이프(21)의 노즐구멍(21a)을 통하여 프레임(13)의 전방으로 공기가 분출된다. 유리기판(1)의 가장자리를 잘 알려진 로봇이나 핸들러 (Handler)의 그리퍼에 의하여 척킹하여 유리기판(1)의 후면이 프레임(13)의 전면에 근접되도록 제1 벨트컨베이어(16)의 벨트(16e)에 유리기판(1)의 하측에지를 지지시키면, 유리기판(1)은 에어파이프(21)의 노즐구멍(21a)을 통하여 블로잉되는 공기력에 의하여 프레임(13)으로부터 예를 들어 0.5mm 정도 부상된다. 이때, 검사자는 유리기판(1)의 모서리에 형성되어 있는 방위표시에 의하여 유리기판(1)의 로딩방향을 설정하고 인지할 수 있다. 따라서, 유리기판(1)의 하측에지를 제외한 전면, 후면, 상측에지, 좌측 및 우측에지는 물리적 접촉이 없는 자유로운 상태로 로딩할 수 있으므로, 물리적 접촉에 의하여 유리기판(1)에 발생하는 결점, 예를 들어 특성 변화, 클랙 등을 효과적으로 방지할 수 있다.

또한, 프레임(13)이 5°정도의 기울기를 갖기 때문에 제1 벨트컨베이어(16)의 작동에 의하여 유리기판(1)을 기울여 로딩할 수 있으므로, 제1 벨트컨베이어 (16)의 벨트(16e)로부터 유리기판(1)이 탈락되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다. 컨베이어(14)의 제1 벨트컨베이어(16)에 의하여 유리기판(1)을 검사위치(P)로 로딩하기 이전에 유리기판(1)의 각 에지들에 존재하는 먼지나 유리칩은 블로워에 의한 공기의 블로잉에 의하여 제거할 수도 있다.

도 1과 도 2를 참조하면, 센서(58)는 컨베이어(14)의 제1 벨트컨베이어(16)에 의한 유리기판(1)의 로딩을 감지하여 로딩신호를 출력하며, 제1 벨트컨베이어 (16)의 벨트(16e)를 타고 로딩되는 유리기판(1)은 제2 벨트컨베이어(17)의 벨트 (17e)에 인수되어 검사위치(P)를 경유하게 된다. 컴퓨터(54)는 센서(58)로부터 입력되는 로딩신호에 따라 제어신호를 출력하여 조명장치(30)의 램프(35)를 점등시키고 제1 내지 제3 카메라(51, 52, 53)들을 작동시킨다. 램프(35)의 빛은 하우징(34)의 슬릿(34a)을 통하여 유리기판(1)에 슬릿광으로 조명되며, 조명장치(30)의 조명에 의하여 유리기판(1)의 각 에지들에 대한 이미지를 선명하게 투영된다. 제1 카메라(51)는 검사위치(P)를 통과하는 유리기판(1)의 상측에지를 촬영하여 이미지데이터를 출력하고, 제2 카메라(52)는 제1 및 제2 벨트컨베이어(16, 17) 사이의 간격 (15)을 통과하면서 노출되는 유리기판(1)의 하측에지를 촬영하여 이미지데이터를 출력한다. 제3 카메라(53; 53a∼53d)들은 유리기판(41)의 로딩방향선단, 즉 좌측에지를 촬영하여 이미지데이터를 출력한 후, 유리기판(41)의 로딩방향후단, 즉 우측에지를 촬영하여 이미지데이터를 출력한다.

컴퓨터(54)는 제1 내지 제3 카메라(51, 52, 53)들로부터 실시간으로 입력되는 유리기판(1)의 각 에지들에 대한 이미지데이터를 프로그램에 의하여 프로세싱하여 유리기판(1)의 상측에지, 하측에지, 좌측 및 우측에지 각각에 존재하는 결점을 검출한다. 컴퓨터(54)의 프로그램에 의하여 각 에지의 결점을 검출하는 프로세싱에 대하여 살펴보면, 컴퓨터(54)는 제1 내지 제3 카메라(51, 52, 53)들로부터 입력되는 각 에지들의 그레이레벨이미지(Gray level image)를 임계값(Threshold)에 의하여 이진화하여 각 에지들의 이진이미지(Binary image)로부터 윤곽선(Contour)을 검출한 후, 최소자승오차법에 의하여 노이즈를 필터링하여 각 에지들의 상측에지라 인, 하측에지라인, 좌측 및 우측에지라인을 산출하고, 각 에지들에 대한 에지라인들을 매칭(Matching)한 에지라인이미지를 메인모니터(56)에 디스플레이한다.

컴퓨터(54)는 프로그램에 의하여 에지라인이미지의 특이점을 추출하여 그룹화하고, 마스킹(Masking)을 통하여 파티클(Particle), 예를 들어 150㎛ 이상의 스크래치와 200㎛ 이상의 미세 이물질을 선택한 후, 차분법과 상관법에 의하여 처리대상물에서 제외한다. 컴퓨터(54)는 프로그램에 의하여 유리기판(1)의 에지라인이미지로부터 유리기판(1)의 세로와 가로방향이 바뀌거나 전면과 후면이 바뀌어 잘못 로딩되는 경우를 체크한 후, 유리기판(1)의 로딩이 잘못된 경우에 대해서는 컨트롤러(59)의 램프(59a)를 점등시킨다. 따라서, 유리기판(1)의 로딩방향에 오류가 발생된 것을 바로 잡아 검사의 신뢰성을 확보할 수 있다.

계속해서, 컴퓨터(54)는 프로그램에 의하여 에지라인이미지로부터 결점의 종류, 예를 들어 절단공정에서의 커팅칩(Cutting chip)과 연마공정에서의 베벨칩 등으로 분류하고, 각 에지들의 결점이 허용오차를 만족하고 있는가를 판단하여 유리기판(1)을 양품과 불량품으로 선별하며, 불량품의 유리기판(1)에 대해서는 컨트롤러(59)의 램프(59a)를 점등시킨다. 그리고 결점이 존재하는 에지라인이미지는 제1 내지 제3 서브모니터(57a∼57c)에 확대하여 디스플레이시키고, 유리기판(1)의 검사결과에 대한 데이터를 메인모니터(56)에 디스플레이시킨다. 검사자는 메인모니터 (56)와 제1 내지 제3 서브모니터(57a∼57c)에 디스플레이되는 검사결과를 쉽게 확인할 수 있으며, 제1 내지 제3 서브모니터(57a∼57c)에 디스플레이되는 에지라인이미지를 통하여 검사결과의 오류여부를 재차 감시할 수 있다. 또한, 유리기판(1)의 검사결과에 대한 데이터는 컴퓨터(54)에 저장, 관리할 수 있으며, 검사자는 검사결과의 데이터를 기초로 유리기판(1)의 절단공정과 연마공정에서 발생되는 결점의 원인을 분석하여 불량의 발생을 신속하게 조치할 수 있다.

한편, 유리기판(1)의 크기를 변경하여 검사할 경우 제1 내지 제3 카메라(51, 52, 53)들의 위치를 조절해야 한다. 도 2와 도 6을 참조하면, Y축리니어모션가이드 (71)의 베드플레이트(71a)에 체결되어 있는 조절스크루(71d, 71e)중 하나를 풀고 다른 하나를 조이면, 조절스크루(71d, 71e)의 선단에 간섭되는 X축리니어모션가이드(72)의 베드플레이트(72a)가 Y축방향으로 운동되고, 베드플레이트(72a)의 Y축방향운동은 가이드레일(71b)을 따라 슬라이딩운동하는 슬라이드(71c)에 의하여 안내된다. 따라서, 검사위치(P)에서 카메라스탠드(60)의 Y축방향위치를 미세하게 조절할 수 있다. X축리니어모션가이드(72)의 베드플레이트(72a)에 체결되어 있는 조절스크루(72e, 72f)중 하나를 풀고 다른 하나를 조이면, 조절스크루(72e, 72f)의 선단에 간섭되는 캐리지(72d)가 X축방향으로 운동되며, 캐리지(72d)의 X축방향운동은 가이드레일(72b)을 따라 슬라이딩되는 슬라이드(72c)에 의하여 안내된다. 따라서, 검사위치(P)에서 카메라스탠드(60)의 X축방향위치를 미세하게 조절할 수 있다. 이와 같이 무브먼트스테이지(70)의 Y축 및 X축리니어모션가이드(71, 72) 각각에 의하여 카메라스탠드(60)를 Y축방향 및 X축방향으로 운동시켜 검사위치(P)에 대한 제1 내지 제3 카메라(51, 52, 53)들 전체의 위치를 한번에 간편하게 조절할 수 있다.

도 7을 참조하면, 컴퓨터(54)에 유리기판(1)의 크기에 대한 데이터를 입력하면, 컴퓨터(54)는 서보모터(81f)의 제어신호를 출력한다. 제1 위치결정장치(80)의 서보모터(81f)가 구동되어 리드스크루(81e)가 회전되면, 리드스크루(81e)를 따라 너트(81e)가 나사운동되고, 너트(81e)의 나사운동에 의하여 가이드레일(81a)을 따라 슬라이드(81b)가 슬라이딩운동되면서 캐리지(81c)를 승강시켜 유리기판(1)의 상측에지에 대한 제1 카메라(51)의 높이를 조절한다. 검사자는 피봇(83)을 중심으로 로터리플레이트(82)를 회전시켜 제1 카메라(51)의 각도를 유리기판(1)의 상측에지에 대하여 정확하게 조절할 수 있다.

또한, 제2 위치결정장치(90)의 리니어모션가이드(91)에 의하여 마운팅플레이트(92)에 조립되어 있는 제2 카메라(52)의 높이를 미세하게 조절할 수 있다. 마운팅플레이트(92)의 슬롯(92a)을 따라 제2 카메라(52)의 위치를 조절한 후, 슬롯 (92a)을 통하여 제2 카메라(52)에 세트스크루(92b)를 체결하면, 유리기판(1)의 하측에지에 대하여 제2 카메라(52)의 위치를 정확하게 조절할 수 있다. 마운팅플레이트(92)로부터 제2 카메라(52)를 분리하고, 제1 및 제2 조인트플레이트(93, 94)중 어느 하나의 슬롯(93a, 94a)을 따라 제2 카메라(52)의 위치를 조절한 후, 슬롯 (93a, 94a)을 통하여 제2 카메라(52)에 세트스크루(92b)를 체결하여 제2 카메라 (52)의 위치를 조절할 수 있다. 그리고 마운팅플레이트(91), 제1 및 제2 조인트플레이트(93, 94)간의 상대위치를 조절하는 것에 의하여 제2 카메라(52)의 위치를 미세하게 조절할 수도 있다. 이와 같이 무브먼트스테이지(70), 제1 위치결정장치(80)과 제2 위치결정장치(90)에 의하여 제1 내지 제3 카메라(51, 52, 53)들의 위치를 간편하고 정확하게 조절할 수 있으므로, 유리기판(1)의 크기를 변경하여 검사하는 잡체인지에 의한 생산시스템으로의 전환을 매우 간편하고 효율적으로 실시할 수 있 다.

이상의 실시예는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한 것에 불과하고, 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상과 특허청구범위내에서 이 분야의 당업자에 의하여 다양한 변경, 변형 또는 치환이 가능할 것이며, 그와 같은 실시예들은 본 발명의 범위에 속하는 것으로 이해되어야 한다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 유리기판의 에지 검사시스템에 의하면, 유리기판을 연속적으로 로딩시키면서 유리기판의 에지이미지를 획득한 후, 컴퓨터의 프로세싱에 의하여 유리기판의 결점을 정확하게 검사할 수 있으며, 양품과 불량품의 유리기판을 자동으로 선별하여 전수검사의 효율성을 크게 향상시킬 수 있다. 또한, 간편한 잡체인지에 의하여 다양한 크기의 유리기판을 검사할 수 있어 유연성생산시스템으로의 전환을 매우 간편하고 효율적으로 실시할 수 있고, 유리기판의 물리적 접촉을 최소화시켜 로딩시킬 수 있는 구조에 의하여 검사중에 결점의 발생을 효과적으로 방지할 수 있다.

Claims (8)

1. 검사위치에 유리기판을 연속적으로 로딩하는 로딩수단과;

   상기 검사위치에 로딩되는 상기 유리기판에 역광을 조명하는 조명수단과;

   상기 유리기판의 상측에지를 촬영하여 이미지데이터를 출력하는 제1 카메라와;

   상기 유리기판의 하측에지를 촬영하여 이미지데이터를 출력하는 제2 카메라와;

   상기 유리기판의 좌측에지 및 우측에지를 촬영하여 이미지데이터를 출력하는 하나 이상의 제3 카메라와;

   상기 제1 내지 제3 카메라들로부터의 이미지데이터를 프로세싱하여 상기 유리기판을 양품과 불량품으로 선별하는 컴퓨터와;

   상기 검사위치에서 상기 제1 내지 제3 카메라들을 지지하는 카메라스탠드로 이루어지는 유리기판의 에지 검사시스템.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 로딩수단은,

   상기 유리기판을 경사지게 로딩할 수 있도록 소정의 각도로 경사져 있는 프레임과;

   상기 프레임의 하측에 상기 유리기판의 하측에지를 지지하여 이송할 수 있도록 설치되며, 상기 제3 카메라에 의하여 상기 유리기판의 하측에지를 촬영할 수 있 도록 상기 유리기판의 하측에지가 노출되는 구간을 갖는 컨베이어와;

   상기 프레임으로부터 공기의 블로잉에 의하여 상기 유리기판을 부상시키는 플로팅수단으로 구성되는 유리기판의 에지 검사시스템.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 조명수단은,

   베이스의 상면에 기립되어 있는 포스트와;

   상기 포스트의 상부에 회전할 수 있도록 설치되며, 상기 유리기판에 대하여 소정의 폭을 갖는 슬릿광을 투사할 수 있도록 수직한 슬릿이 형성되어 있는 하우징과 이 하우징에 내장되는 램프를 갖는 램프유닛과;

   상기 포스트에 대하여 상기 램프유닛의 각도를 조절하는 각도조절유닛으로 구성되는 유리기판의 에지 검사시스템.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 카메라스탠드는,

   상기 검사위치에 기립되어 있는 메인포스트와;

   상기 메인포스트의 상부에 회전할 수 있도록 설치되며, 상기 제1 내지 제3 카메라들이 지지되어 있는 서브포스트와;

   상기 메인포스트에 대하여 상기 서브포스트의 각도를 조절하는 각도조절유닛과;

   상기 검사위치에서 상기 메인포스트를 직교좌표운동시키는 모션스테이지로 구성되는 유리기판의 에지 검사시스템.
5. 제 1 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 카메라스탠드에 대하여 상기 제1 카메라의 높이와 각도를 조정하는 제1 위치결정수단을 더 구비하는 유리기판의 에지 검사시스템.
6. 제 5 항에 있어서, 상기 제1 위치결정수단은,

   상기 유리기판의 상측에지에 정렬되도록 상기 제1 카메라의 높이를 조절하는 것으로 상기 카메라스탠드의 서브포스트에 Z축방향으로 서로 평행하게 고정되는 한쌍의 가이드레일과, 상기 가이드레일을 따라 슬라이딩운동할 수 있도록 장착되는 한쌍의 슬라이드와, 상기 슬라이드에 고정되는 캐리지와, 상기 가이드레일 사이에 회전할 수 있도록 배치되는 리드스크루와, 상기 리드스크루를 회전시키는 서보모터와, 상기 리드스크루를 따라 나사운동할 수 있도록 상기 캐리지에 고정되는 너트로 구성되는 리니어모션액츄에이터와;

   상기 리니어모션액츄에이터의 캐리지에 회전할 수 있도록 관통되는 피봇을 가지며, 상기 제1 카메라를 고정수단의 체결에 의하여 부착할 수 있는 슬롯이 길이방향을 따라 형성되어 있는 로터리플레이트로 구성되는 유리기판의 에지 검사시스템.
7. 제 1 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 카메라스탠드에 대하여 상기 제2 카메라의 설치위치를 조정하는 제2 위치결정수단을 더 구비하며, 상기 제2 위치결정수 단은 상기 카메라스탠드의 서브포스트에 Z축방향으로 서로 평행하게 고정되는 한쌍의 가이드레일과, 상기 가이드레일을 따라 슬라이딩운동할 수 있도록 장착되는 한쌍의 슬라이드와, 상기 슬라이드에 부착되며 상기 제2 카메라를 고정수단에 의하여 부착할 수 있는 슬롯이 길이방향을 따라 형성되어 있는 마운팅플레이트로 구성되는 유리기판의 에지 검사시스템.
8. 제 1 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 하나 이상의 제3 카메라는 상기 유리기판의 좌측 및 우측에지를 영역별로 중첩되게 촬영할 수 있도록 상기 카메라의 스탠드에 고정되는 유리기판의 에지 검사시스템.

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