KR102456907B1

KR102456907B1 - 프로브 장치

Info

Publication number: KR102456907B1
Application number: KR1020220073961A
Authority: KR
Inventors: 박종현; 오제헌; 이상욱; 손기호
Original assignee: 주식회사 프로이천
Priority date: 2022-06-17
Filing date: 2022-06-17
Publication date: 2022-10-20

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 장치는, 인쇄회로기판; 상기 인쇄회로기판의 일면에 배치되는 베이스 플레이트; 피검사체와 접촉하여 검사용 신호를 상기 피검사체로 전달하는 적어도 하나 이상의 프로브 블록세트; 상기 프로브 블록세트가 정렬 및 고정되어 있는 디바이스 플레이트; 및 일측이 상기 베이스 플레이트와 결합되어 있고, 타측이 상기 디바이스 플레이트와 결합되어 있으며, 상기 디바이스 플레이트의 길이 방향에 대한 정렬 위치를 조정하기 위한 가이드 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

프로브 장치{PROBE APPARATUS}

본 발명은 프로브 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전자 부품을 검사하는 프로브 장치에 관한 것이다.

전자 부품 검사용 프로브 장치는 예컨대 디스플레이의 패널의 에이징 테스트를 위한 장치이다. 에이징은 디스플레이 패널의 제조 과정 중에 수행되는 공정으로, 디스플레이 패널이 제대로 구동되는지 확인하기 위한 신뢰성을 실험하는 공정이다.

이러한 에이징 공정에서는 에이징 챔버 내에 디스플레이 패널을 베이스 플레이트에 결합된 복수 개의 블록에 프로브를 장착한 상태에서, 일정 시간 동안 전기적 신호를 인가하여 디스플레이 패널이 정상적으로 작동하는지 검사한다.

전자 부품 검사용 프로브 장치에는 복수 개의 프로브 블록이 정렬되어 배치될 수 있다. 각각의 프로브 블록에는 디스플레이 패널과 접촉하는 프로브가 장착된다. 프로브와 디스플레이 패널의 접촉 위치는 정렬되어야 한다. 다만, 디스플레이 패널의 종류 및 크기에 따라 접촉 위치가 상이할 수 있다. 따라서, 종류나 크기가 다른 디스플레이 패널로 바뀔 때마다, 디스플레이 패널의 테스트를 위한 프로브 장치의 위치를 정렬해야 하는 번거로움이 있다.

대한민국 공개특허 제10-2012-0077289호(2012.07.10. 공개)

본 발명이 해결하고자 하는 일 과제는, 피검사체 상의 복수의 단자들과 접촉하는 프로브에 대해 가로 방향으로 얼라인할 수 있도록 하는 프로브 장치를 제공하는 것이다.

상기 가이드 부재는, 상기 디바이스 플레이트의 상기 길이 방향에 대한 좌우 이동을 안내하는 가이드 레일; 상기 가이드 레일의 일측에 배치되어, 상기 디바이스 플레이트의 정렬 위치를 조절하기 위한 위치 조절 모듈; 및 상기 가이드 레일의 타측에 배치되어, 상기 디바이스 플레이트의 좌우 이동에 대한 탄성력을 제공하는 스프링 모듈을 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 위치 조절 모듈은, 상기 가이드 레일의 일측과 결합하여 상기 가이드 레일을 고정시키는 위치 조절 블록; 상기 위치 조절 블록 내에 배치되며, 일측에 회전홈이 형성되고 타측에 나사산이 형성된 위치 조절 볼트; 상기 위치 조절 볼트의 회전에 따른 풀림을 방지하는 제1 와셔; 상기 위치 조절 볼트와 결합되어 있으며, 상기 위치 조절 볼트의 회전에 따라 함께 회전하는 볼트 연장부; 원통 구조체를 가지며, 상기 볼트 연장부를 상기 원통 구조체의 내주면에 수용하는 제2 와셔; 및 상기 볼트 연장부와 결합되어 있으며, 상기 볼트 연장부의 회전에 따라 좌우 이동하는 이동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 제1 와셔는, 단차가 형성된 링 구조체의 내주면에 상기 위치 조절 볼트의 나사산과 결합하기 위한 탭이 형성된 것을 특징으로 한다.

상기 볼트 연장부는, 원기둥 구조체를 가지며, 상기 원기둥 구조체의 일측 내주면에 상기 위치조절 볼트의 나사산과 결합하기 위한 탭이 형성되어 있고, 상기 원기둥 구조체의 타측 외주면에 상기 이동부와 결합하기 위한 나사산이 형성된 것을 특징으로 한다.

상기 이동부는, 일측이 상기 볼트 연장부의 나사산과 결합하기 위한 탭이 형성된 탭 홈을 포함하고, 타측이 상기 디바이스 플레이트의 측면부와 접촉하는 것을 특징으로 한다.

상기 스프링 모듈은, 상기 가이드 레일의 타측과 결합하여 상기 가이드 레일을 고정시키는 스프링블록; 상기 스프링 블록에 형성된 관통홀에 삽입되는 스프링 가이드 볼트; 및 상기 스프링 가이드 볼트에 안착되어 있는 스프링 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 피검사체 상의 복수의 단자들과 접촉하는 프로브에 대해 가로 방향에 대한 정렬 위치를 조정할 수 있으며, 특히 복수의 프로브 블록들에 대한 얼라인 상태가 정교하게 조정될 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 장치의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 프로브 장치의 분해 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 가이드 부재의 확대 사시도이다.
도 4a는 도 3에 도시된 위치 조절 모듈의 확대 사시도이다.
도 4b는 도 4a에 도시된 위치 조절 모듈의 수직 단면도이다.
도 5는 위치 조절 모듈의 위치 조절 블록이 제외된 구성요소들에 대한 확대 사시도이다.
도 6은 도 5에 도시된 위치 조절 볼트의 사시도이다.
도 7은 도 5에 도시된 제1 와셔의 사시도이다.
도 8은 도 5에 도시된 볼트 연장부의 사시도이다.
도 9는 도 5에 도시된 제2 와셔의 사시도이다.
도 10은 도 5에 도시된 이동부의 사시도이다.
도 11은 도 3에 도시된 스프링 모듈의 확대 사시도이다.
도 12는 도 11에 도시된 스프링 블록의 사시도이다.
도 13은 도 11에 도시된 스프링 가이드 볼트 및 스프링 부재의 사시도이다.
도 14는 가이드 부재를 구성하는 위치 조절 모듈과 스프링 모듈의 동작을 설명하기 위한 참조도이다.

본 발명을 상세하게 설명하기 전에, 본 명세서에서 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 무조건 한정하여 해석되어서는 아니 되며, 본 발명의 발명자가 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해서 각종 용어의 개념을 적절하게 정의하여 사용할 수 있고, 더 나아가 이들 용어나 단어는 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 함을 알아야 한다.

즉, 본 명세서에서 사용된 용어는 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하기 위해서 사용되는 것일 뿐이고, 본 발명의 내용을 구체적으로 한정하려는 의도로 사용된 것이 아니며, 이들 용어는 본 발명의 여러 가지 가능성을 고려하여 정의된 용어임을 알아야 한다.

또한, 본 명세서에서, 단수의 표현은 문맥상 명확하게 다른 의미로 지시하지 않는 이상, 복수의 표현을 포함할 수 있으며, 유사하게 복수로 표현되어 있다고 하더라도 단수의 의미를 포함할 수 있음을 알아야 한다.

본 명세서의 전체에 걸쳐서 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소를 "포함"한다고 기재하는 경우에는, 특별히 반대되는 의미의 기재가 없는 한 임의의 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 임의의 다른 구성 요소를 더 포함할 수도 있다는 것을 의미할 수 있다.

더 나아가서, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소의 "내부에 존재하거나, 연결되어 설치된다"라고 기재한 경우에는, 이 구성 요소가 다른 구성 요소와 직접적으로 연결되어 있거나 접촉하여 설치되어 있을 수 있고, 일정한 거리를 두고 이격되어 설치되어 있을 수도 있으며, 일정한 거리를 두고 이격되어 설치되어 있는 경우에 대해서는 해당 구성 요소를 다른 구성 요소에 고정 내지 연결하기 위한 제 3의 구성 요소 또는 수단이 존재할 수 있으며, 이 제 3의 구성 요소 또는 수단에 대한 설명은 생략될 수도 있음을 알아야 한다.

반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결"되어 있다거나, 또는 "직접 접속"되어 있다고 기재되는 경우에는, 제 3의 구성 요소 또는 수단이 존재하지 않는 것으로 이해하여야 한다.

또한, 본 명세서에서 "일면", "타면", "일측", "타측", "제 1", "제 2" 등의 용어는, 사용된다면, 하나의 구성 요소에 대해서 이 하나의 구성 요소가 다른 구성 요소로부터 명확하게 구별될 수 있도록 하기 위해서 사용되며, 이와 같은 용어에 의해서 해당 구성 요소의 의미가 제한적으로 사용되는 것은 아님을 알아야 한다.

또한, 본 명세서에서 "상", "하", "좌", "우" 등의 위치와 관련된 용어는, 사용된다면, 해당 구성 요소에 대해서 해당 도면에서의 상대적인 위치를 나타내고 있는 것으로 이해하여야 하며, 이들의 위치에 대해서 절대적인 위치를 특정하지 않는 이상은, 이들 위치 관련 용어가 절대적인 위치를 언급하고 있는 것으로 이해하여서는 아니된다.

이하, 본 발명의 실시 예에 대해 관련 도면들을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 장치(100)의 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 프로브 장치(100)의 분해 사시도이다.

도 2를 참조하면, 프로브 장치(100)는 인쇄회로기판(110), 베이스 플레이트(120), 디바이스 플레이트(130), 프로브 블록세트(140) 및 가이드 부재(150)를 포함한다. 도 1 및 도 2에 도시된 프로브 장치(100)에서 길이 방향을 가로 방향으로 정의하고, 프로브 장치(100)의 수직 방향을 세로 방향으로 정의할 수 있다.

인쇄회로기판(110)은 프로브 블록세트(140)와 전기적으로 연결되어 있으며, 디스플레이 패널 등을 포함하는 전자 부품에 대한 검사 신호를 프로브 블록세트(140)로 전달한다.

베이스 플레이트(120)는 인쇄회로기판(110)의 일면(예를 들어, 하면)에 배치되어 있다. 베이스 플레이트(120)는 단면이 "ㄱ" 형태인 스틱형 구조체로서, 스틱형 구조체의 상면은 인쇄회로기판(110)의 하면에 결합되고, 스틱형 구조체의 하측은 가이드 부재(150)와 접하여 있으며, 가이드 부재(150)가 고정될 수 있는 지지 기반을 제공한다.

디바이스 플레이트(130)는 베이스 플레이트(120)의 하부에 배치되어 있다. 디바이스 플레이트(130)는 스틱형 구조체이며, 스틱형 구조체의 길이 방향을 따라 프로브 블록세트(140)가 정렬 및 고정되어 있다. 프로브 블록세트(140)는 디바이스 플레이트(130)의 측부에 배치 및 고정될 수 있다.

이때, 디바이스 플레이트(130)의 일측 측면부에는 후술할 가이드 부재(150)의 구성요소에 해당하는 스프링 가이드 볼트(150-32)와 스프링 부재(150-33)를 수용하기 위한 장공이 형성되어 있다. 이러한 장공은 1개가 형성될 수도 있고, 스프링 가이드 볼트(150-32)와 스프링 부재(150-33)의 개수에 따라 2개 이상 형성된 것일 수도 있다.

도 11에서, 스프링 가이드 볼트(150-32)와 스프링 부재(150-33)는 각각 2개씩 구비된 것을 도시하고 있으나, 이는 예시적인 것이며, 필요에 따라 1개 또는 3개 이상의 스프링 가이드 볼트(150-32) 및 스프링 부재(150-33)가 구비될 수도 있다.

디바이스 플레이트(130)는 가이드 부재(150)에 의해 스틱형 구조체의 길이 방향을 따라 좌우로 이동하며, 이에 따라 디바이스 플레이트(130)에 고정된 프로브 블록세트(140)도 디바이스 플레이트(130)의 이동에 따라 함께 이동하게 된다.

프로브 블록세트(140)는 피검사체와 접촉하여 검사용 신호를 피검사체로 전달하는 적어도 하나 이상의 프로브 블록들을 포함하고 있다. 프로브 블록은 디바이스 플레이트(130)의 길이 방향을 따라 복수 개가 일정 간격을 유지하면서 정렬되어 있다. 프로브 블록은 하부에 프로브 핀을 포함하도록 구성될 수 있다. 프로브 핀은 피검사체의 단자에 접촉하는 부위이다. 프로브 블록은 상하 방향의 회전을 통해 피검사체와 접촉할 수 있다.

가이드 부재(150)는 상측이 베이스 플레이트(120)와 접해 있고, 하측이 디바이스 플레이트(130)와 결합되어 있다. 가이드 부재(150)는 하측에 결합되어 있는 디바이스 플레이트(130)의 길이 방향에 대한 정렬 위치를 조정한다.

도 3은 도 2에 도시된 가이드 부재(150)의 확대 사시도이다.

도 3을 참조하면, 가이드 부재(150)는 가이드 레일(150-1), 위치 조절 모듈(150-2) 및 스프링 모듈(150-3)을 포함한다.

가이드 레일(150-1)은 디바이스 플레이트(130)의 길이 방향에 대한 좌우 이동을 안내한다. 이를 위해, 가이드 레일(150-1)은 선형 운동(linear motion, LM)을 위한 레일 형태로 구현될 수 있다. 가이드 레일(150-1)은 복수개로 구성될 수 있다. 복수개의 가이드 레일들(150-1)은 레일들을 가로질러서 배치된 가이드 블록(150-11)에 의해 고정될 수 있다.

디바이스 플레이트(130)의 상측은 가이드 레일(150-1)에 결합되어 있으며, 가이드 레일(150-1)을 따라 좌우 방향으로 슬라이딩 변위가 이루어질 수 있다.

위치 조절 모듈(150-2)은 가이드 레일(150-1)의 일측에 배치되어, 상기 디바이스 플레이트의 정렬 위치를 조절한다. 예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이, 위치 조절 모듈(150-2)은 가이드 레일(150-1)의 일측 끝단에 배치될 수 있다.

도 4a는 도 3에 도시된 위치 조절 모듈(150-2)의 확대 사시도이고, 도 4b는 도 4a에 도시된 위치 조절 모듈(150-2)의 수직 단면도이다.

도 4a 및 도 4b를 참조하면, 위치 조절 모듈(150-2)은 위치 조절 블록(150-21), 위치 조절 볼트(150-22), 제1 와셔(150-23), 볼트 연장부(150-24), 제2 와셔(150-25) 및 이동부(150-26)를 포함한다.

위치 조절 블록(150-21)은 가이드 레일(150-1)의 일측과 결합하여 가이드 레일(150-1)을 고정시킨다. 또한, 위치 조절 블록(150-21)은 위치 조절 볼트(150-22), 제1 와셔(150-23), 볼트 연장부(150-24), 제2 와셔(150-25) 및 이동부(150-26)를 수용하기 위한 공간을 제공하고, 이들을 지지하는 지지 블록으로서 기능한다.

위치 조절 블록(150-21)은 중심부에 위치 조절 볼트(150-22), 제1 와셔(150-23), 볼트 연장부(150-24), 제2 와셔(150-25) 및 이동부(150-26)를 수용하기 위한 관통 홀(150-211)이 형성되어 있다. 이러한, 관통 홀(150-211)의 일측으로 위치 조절 볼트(150-22), 제1 와셔(150-23), 볼트 연장부(150-24)가 삽입될 수 있고, 타측으로 제2 와셔(150-25) 및 이동부(150-26)가 삽입될 수 있다.

도 4a 및 도 4b에서, 위치 조절 블록(150-21)은 직육면체 형태를 도시하고 있으나, 이른 예시적인 것이며 위치 조절 블록(150-21)의 구조는 다양한 형태로 설계 변경될 수 있다.

위치 조절 볼트(150-22)는 회전에 의해 이동부(150-26)의 이동을 조절하는 볼트이다.

도 5는 위치 조절 모듈(150-2)의 위치 조절 블록(150-21)이 제외된 구성요소들에 대한 확대 사시도이고, 도 6은 도 5에 도시된 위치 조절 볼트(150-22)의 사시도이다.

도 6을 참조하면, 위치 조절 볼트(150-22)는 일측에 회전 홈(150-221)이 형성되어 있으며, 타측에 나사산(150-222)이 형성되어 있다. 회전 홈(150-221)은 단면이 다각형(사각형, 오각형, 육각형, 팔각형 등) 형태를 포함하고 있으며, 다각 렌치를 이용하여 위치 조절 볼트(150-22)를 회전시킬 수 있도록 하는 홈이다. 도 6에서는 회전 홈(150-221)이 육각형 홈인 것을 도시하고 있으나, 이는 예시적인 것이며, 다양한 형태의 홈 형태로 설계 변경이 가능하다.

위치 조절 볼트(150-22)의 타측에는 나사산(150-222)이 형성되어 있다. 이러한 나사산(150-222)는 볼트 연장부(150-24)와 나사 결합하기 위한 구조를 갖는다. 위치 조절 볼트(150-22)는 나사산(150-222)을 통해 볼트 연장부(150-24)와 결합함으로써, 볼트의 회전력을 볼트 연장부(150-24)로 전달할 수 있고, 이러한 회전력은 볼트 연장부(150-24)와 결합되는 이동부(150-26)과의 나사 결합을 위한 힘으로 제공된다.

제1 와셔(150-23)는 위치 조절 볼트(150-22)의 회전에 따른 풀림을 방지하는 기능을 수행한다.

도 7은 도 5에 도시된 제1 와셔(150-23)의 사시도이다. 도 7을 참조하면, 제1 와셔(150-22)는 단차가 형성된 링 구조체(150-231)의 내주면에 위치 조절 볼트(150-22)의 나사산(150-222)과 결합하기 위한 탭(150-232)이 형성된 것일 수 있다. 제1 와셔(150-23)는 위치 조절 볼트(150-22)의 나사산(150-222)과 결합하는 탭(150-232)을 구비함으로써, 위치 조절 볼트(150-22)가 진동 등에 의해 임의로 풀리는 것을 방지할 수 있다.

볼트 연장부(150-24)는 위치 조절 볼트(150-22)와 결합되어 있으며, 위치 조절 볼트(150-22)의 회전에 따라 함께 회전한다.

도 8은 도 5에 도시된 볼트 연장부(150-24)의 사시도이다. 도 8을 참조하면, 볼트 연장부(150-24)는 단차가 형성된 원기둥 구조체를 가지며, 상기 원기둥 구조체의 일측 내주면에 위치 조절 볼트(150-22)의 나사산(150-222)과 결합하기 위한 탭(150-241)이 형성되어 있고, 원기둥 구조체의 타측 외주면에 이동부(150-26)와 결합하기 위한 나사산(150-242)이 형성된 것일 수 있다.

제2 와셔(150-25)는 원통 구조체를 가지며, 볼트 연장부(150-24)를 원통 구조체의 내주면에 수용한다.

도 9는 도 5에 도시된 제2 와셔(150-25)의 사시도이다. 도 9를 참조하면, 제2 와셔(150-25)는 원통 구조체의 내주면(150-251)에 위치 조절 볼트(150-22)와 결합되어 있는 볼트 연장부(150-24)를 수용할 수 있으며, 위치 조절 볼트(150-22)와 볼트 연장부(150-24)의 회전이 용이하도록 회전 가이드 기능을 수행한다.

이동부(150-26)는 볼트 연장부(150-24)와 결합되어 있으며, 볼트 연장부(150-24)의 회전에 따라 좌우 이동한다.

도 10은 도 5에 도시된 이동부(150-26)의 사시도이다. 도 10을 참조하면, 이동부(150-26)는 일측의 중심부에 삽입 홀(150-261)이 형성되어 있고, 타측이 디바이스 플레이트(130)의 측면부와 접촉하는 것일 수 있다. 삽입 홀(150-261)은 볼트 연장부(150-24)의 나사산(150-242)과 결합하기 위한 탭이 형성되어 있다. 이동부(150-26)의 삽입 홀(150-261)에 볼트 연장부(150-24)의 나사산(150-242)이 결합디고, 이후 볼트 연장부(150-24)가 점점 더 이동부(150-26)의 삽입 홀(150-261)에 점점 더 삽입됨으로 인해, 이동부(150-26)는 점점 위치 조절 블록(150-21)의 내부로 삽입되는 상태가 된다. 이에 따라 이동부(150-26)의 타측에 접해 있는 디바이스 플레이트(130)도 자동적으로 위치 조절 블록(150-21)이 위치하는 방향(예를 들어, 가로 방향 중 좌측 방향)으로 이동하게 된다. 한편, 반대로, 이동부(150-26)의 삽입 홀(150-261)에 삽입되어 있던 볼트 연장부(150-24)를 반대 방향으로 회전시킴으로써, 볼트 연장부(150-24)가 이동부(150-26) 삽입 홀(150-261)로부터 이탈하게 되면, 이동부(150-26)는 점점 위치 조절 블록(150-21)으로부터 멀어지는 상태가 된다. 이에 따라 이동부(150-26)의 타측에 접해 있는 디바이스 플레이트(130)도 자동적으로 위치 조절 블록(150-21)으로부터 멀어지는 방향(예를 들어, 가로 방향 중 우측 방향)으로 이동하게 된다.

도 10에서, 이동부(150-26)는 직육면체 형태를 도시하고 있으나, 이른 예시적인 것이며 이동부(150-26)의 구조는 다양한 형태로 설계 변경될 수 있다.

스프링 모듈(150-3)은 가이드 레일(150-1)의 타측에 배치되어, 디바이스 플레이트(130)의 좌우 이동에 대한 탄성력을 제공한다.

도 11은 도 3에 도시된 스프링 모듈(150-3)의 확대 사시도이다. 도 11을 참조하면, 스프링 모듈(150-3)은 스프링 블록(150-31), 스프링 가이드 볼트(150-32) 및 스프링 부재(150-33)를 포함한다.

스프링 블록(150-31)은 가이드 레일(150-1)의 타측과 결합하여 가이드 레일(150-1)을 고정시킨다. 스프링 블록(150-31)은 스프링 가이드 볼트(150-32) 및 스프링 부재(150-33)가 안착될 수 있도록 하고, 스프링 가이드 볼트(150-32)를 지지하는 지지 블록으로서 기능한다.

도 12는 도 11에 도시된 스프링 블록(150-31)의 사시도이다. 도 12를 참조하면, 스프링 블록(150-31)은 스프링 가이드 볼트(150-32)를 수용하기 위한 관통 홀(150-311)이 형성되어 있다. 이러한, 관통 홀(150-311)의 일측으로 스프링 가이드 볼트(150-32)가 삽입될 수 있다. 관통 홀(150-311)에는 스프링 가이드 볼트(150-32)와 나사 결합을 위한 탭이 형성되어 있다.

도 12에서, 스프링 블록(150-31)은 2개의 스프링 가이드 볼트들(150-32)을 수용하기 위해, 2개의 관통홀들(150-311)을 도시하고 있으나, 이는 예시적인 것이며, 필요에 따라 1개 또는 3개 이상의 관통홀이 형성될 수도 있다. 또한, 도 12에서, 스프링 블록(150-31)은 직육면체 형태를 도시하고 있으나, 이른 예시적인 것이며 스프링 블록(150-31)의 구조는 다양한 형태로 설계 변경될 수 있다.

스프링 가이드 볼트(150-32)는 스프링 블록(150-31)의 관통홀에 삽입되는 볼트이다.

도 13은 도 11에 도시된 스프링 가이드 볼트(150-32) 및 스프링 부재(150-33)의 사시도이다. 도 13을 참조하면, 스프링 가이드 볼트(150-32)는 볼트 헤드(150-321)와 볼트 헤드(150-321)에서 연장된 폴(150-322)로 구성될 수 있다. 폴(150-322)은 표면 전체 또는 볼트 헤드(150-321)와 인접한 위치에 스프링 블록(150-31)의 관통홀(150-31)의 탭과 나사 결합을 하기 위한 나사산이 형성되어 있다.

스프링 부재(150-33)는 스프링 가이드 볼트(150-32)에 안착되어 있는 탄성 부재이다. 스프링 부재(150-33)의는 일측은 스프링 가이드 볼트(150-32) 또는 스프링 블록(150-31)의 일면과 접해 있고, 스프링 부재(150-33)의는 타측은 디바이스 플레이트(130)의 측면부와 접해 있다. 이에 따라, 스프링 부재(150-33)의 탄성력은 지속적으로 디바이스 플레이트(130)를 밀어내도록 작용한다.

도 14는 가이드 부재(150)를 구성하는 위치 조절 모듈(150-2)과 스프링 모듈(150-3)의 동작을 설명하기 위한 참조도이다.

도 14를 참조하면, 위치 조절 모듈(150-2)의 동작에 따라 디바이스 플레이트(130)가 좌우 방향으로 위치를 조절할 수 있으며, 이때, 스프링 모듈(150-3)의 탄성력에 의해 디바이스 플레이트(130)가 위치 조절 모듈(150-2)이 배치된 방향으로 지속적으로 힘을 받게 되며, 이에 따라, 일측에 위치한 위치 조절 모듈(150-2)의 회전만으로도 디바이스 플레이트(130)의 위치를 정렬할 수 있다.

이상, 일부 예를 들어서 본 발명의 바람직한 여러 가지 실시 예에 대해서 설명하였지만, 본 "발명을 실시하기 위한 구체적인 내용" 항목에 기재된 여러 가지 다양한 실시 예에 관한 설명은 예시적인 것에 불과한 것이며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이상의 설명으로부터 본 발명을 다양하게 변형하여 실시하거나 본 발명과 균등한 실시를 행할 수 있다는 점을 잘 이해하고 있을 것이다.

또한, 본 발명은 다른 다양한 형태로 구현될 수 있기 때문에 본 발명은 상술한 설명에 의해서 한정되는 것이 아니며, 이상의 설명은 본 발명의 개시 내용이 완전해지도록 하기 위한 것으로 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것일 뿐이며, 본 발명은 청구범위의 각 청구항에 의해서 정의될 뿐임을 알아야 한다.

100: 프로브 장치
110: 인쇄회로기판
120: 베이스 플레이트
130: 디바이스 플레이트
140: 프로브 블록세트
150: 가이드 부재

Claims

인쇄회로기판;
상기 인쇄회로기판의 일면에 배치되는 베이스 플레이트;
피검사체와 접촉하여 검사용 신호를 상기 피검사체로 전달하는 적어도 하나 이상의 프로브 블록세트;
상기 프로브 블록세트가 정렬 및 고정되어 있는 디바이스 플레이트; 및
일측이 상기 베이스 플레이트와 결합되어 있고, 타측이 상기 디바이스 플레이트와 결합되어 있으며, 상기 디바이스 플레이트의 길이 방향에 대한 정렬 위치를 조정하기 위한 가이드 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 가이드 부재는,
상기 디바이스 플레이트의 상기 길이 방향에 대한 좌우 이동을 안내하는 가이드 레일;
상기 가이드 레일의 일측에 배치되어, 상기 디바이스 플레이트의 정렬 위치를 조절하기 위한 위치 조절 모듈; 및
상기 가이드 레일의 타측에 배치되어, 상기 디바이스 플레이트의 좌우 이동에 대한 탄성력을 제공하는 스프링 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
청구항 2에 있어서,
상기 위치 조절 모듈은,
상기 가이드 레일의 일측과 결합하여 상기 가이드 레일을 고정시키는 위치 조절 블록;
상기 위치 조절 블록 내에 배치되며, 일측에 회전홈이 형성되고 타측에 나사산이 형성된 위치 조절 볼트;
상기 위치 조절 볼트의 회전에 따른 풀림을 방지하는 제1 와셔;
상기 위치 조절 볼트와 결합되어 있으며, 상기 위치 조절 볼트의 회전에 따라 함께 회전하는 볼트 연장부;
원통 구조체를 가지며, 상기 볼트 연장부를 상기 원통 구조체의 내주면에 수용하는 제2 와셔; 및
상기 볼트 연장부와 결합되어 있으며, 상기 볼트 연장부의 회전에 따라 좌우 이동하는 이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
청구항 3에 있어서,
상기 제1 와셔는,
단차가 형성된 링 구조체의 내주면에 상기 위치 조절 볼트의 나사산과 결합하기 위한 탭이 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
청구항 3에 있어서,
상기 볼트 연장부는,
원기둥 구조체를 가지며, 상기 원기둥 구조체의 일측 내주면에 상기 위치조절 볼트의 나사산과 결합하기 위한 탭이 형성되어 있고, 상기 원기둥 구조체의 타측 외주면에 상기 이동부와 결합하기 위한 나사산이 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
청구항 3에 있어서,
상기 이동부는,
일측이 상기 볼트 연장부의 나사산과 결합하기 위한 탭이 형성된 탭 홈을 포함하고, 타측이 상기 디바이스 플레이트의 측면부와 접촉하는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
청구항 3에 있어서,
상기 스프링 모듈은,
상기 가이드 레일의 타측과 결합하여 상기 가이드 레일을 고정시키는 스프링블록;
상기 스프링 블록에 형성된 관통홀에 삽입되는 스프링 가이드 볼트; 및
상기 스프링 가이드 볼트에 안착되어 있는 스프링 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.