KR102083573B1 - 셀 갭 모니터링 합착장치 - Google Patents

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KR102083573B1 KR1020180144981A KR20180144981A KR102083573B1 KR 102083573 B1 KR102083573 B1 KR 102083573B1 KR 1020180144981 A KR1020180144981 A KR 1020180144981A KR 20180144981 A KR20180144981 A KR 20180144981A KR 102083573 B1 KR102083573 B1 KR 102083573B1
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김일연
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주식회사 셀코스
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Abstract

본 발명은 디스플레이패널 합착장치에 관한 것으로 본 발명에 따르면, 글라스 상판과 웨이퍼 하판 사이에 소정의 셀 갭이 마련되도록 합착될 패널이 배치되는 위치를 제공하는 스테이지부; 상기 스테이지부의 상측에 배치되며, 상기 스테이지부에 배치된 상기 패널이 합착되도록 가압하기 위하여 상기 패널의 상측에 적어도 일부분이 접하는 푸쉬부; 상기 푸쉬부의 하측에 위치하며, 상기 패널과 상기 스테이지부가 내재되며 외부로부터 격리되는 합착공간을 상기 푸쉬부와 함께 형성하는 공간제공부; 및 상기 푸쉬부의 상측에 배치되며, 합착이 이루어지는 상기 패널의 상기 글라스 상판 및 상기 웨이퍼 하판 사이의 셀 갭을 측정하는 측정부; 를 포함하되, 상기 푸쉬부는, 상기 글라스 상판에 접하는 적어도 일부분이 빛에 대한 투과성이 있으므로 패널 합착공정 중 셀 갭에 대한 모니터링이 가능하며 합착공정 중 샐 갭의 이상이 발생시 이에 대응하여 보정을 하여 패널합착을 할 수 있다. 따라서 디스플레이패널의 품질을 일정 수준 이상 확보할 수 있으며, 나아가 양질의 디스플레이패널 생산수율이 증진시킬 수 있는 기술이 개시된다.

Description

셀 갭 모니터링 합착장치{Cell Gap Monitoring Coalescense Equipment}
본 발명은 액정디스플레이 패널 제조시 패널의 셀 갭의 균일도를 확보 또는 증진시키기 위한 패널합착장치에 관한 것이다.
최근 디스플레이와 같은 표시장치로, 액정 표시 패널, 플라즈마 표시 또는 유기발광 표시패널을 이용하여 화상을 표시하는 표시장치가 널리 이용되고 있다.
액정표시장치는 액정표시패널을 포함하며, 액정 배열을 조정하여 광 투과율을 조정함으로써 영상을 표시한다.
LCOS 패널(panel)은 액정을 이용한 디스플레이장치로서 상판의 ITO 글라스와 하판의 웨이퍼 사이에 액정이 주입되어 제조된다. 따라서, ITO글라스와 웨이퍼 사이에 셀 갭을 형성시켜주기 위하여 스페이서가 ITO글라스와 웨이퍼 사이에 배치되며, 스페이서가 배치된 ITO글라스와 웨이퍼를 합착시키어서 LCOS 패널이 제조된다.
LCOS패널은 상판의 ITO 글라스와 하판의 웨이퍼 사이에 균일한 셀 갭(cell gap)을 갖추어야 디스플레이 전체의 밝기가 균일하게 나타날 수 있으며, 화상의 품질이 향상된다. 만약 셀 갭의 균일도가 일정 수준 이상 확보되지 못하면 화면에 얼룩이 발생하게 되는 등 품질이 불량인 디스플레이장치가 된다.
따라서, 셀 갭의 균일도를 일정 수준 이상 확보하는 것이 중요하다.
종래에는 ITO글라스 상측에 배치되는 상부지그에 압력을 가하여 ITO글라스와 웨이퍼를 합착하는 방법으로 LCOS패널이 제조되었는데 초기 공정 조건의 셋팅이 이루어진 후에는 동일한 조건하에서 다수의 패널에 대한 합착공정이 이루어졌었다.
상판의 ITO글라스 또는 하판의 웨이퍼의 표면장력이 달라지거나 스페이서의 분포가 변화되는 등 다양한 변수가 발생하게 되면 셀 갭이 변화되거나 셀 갭의 균일도가 하락하게 되는 문제가 발생된다.
이러한 공정불량은 패널 제조 후에 셀 갭 측정시 확인될 수 있으나, 요구되는 제품의 스펙에 못 미치거나 벗어난 패널은 보수가 불가능하므로 결국 폐기처분시킬 수 밖에 없는 문제점이 있었다.
대한민국 공개특허 제10-2018-0063799호
본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 액정디스플레이패널 합착공정시 셀 갭의 균일도를 일정 수준 이상 확보할 수 있는 셀 갭 모니터링 합착장치를 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 셀 갭 모니터링 합착장치는 ITO글라스 상판과 웨이퍼 하판 사이에 소정의 셀 갭이 마련되도록 합착될 패널이 배치되는 위치를 제공하는 스테이지부; 상기 스테이지부의 상측에 배치되며, 상기 스테이지부에 배치된 상기 패널이 합착되도록 가압하기 위하여 상기 패널의 상측인 상기 ITO글라스 상판에 적어도 일부분이 접하는 푸쉬부; 상기 푸쉬부의 하측에 위치하며, 상기 패널과 상기 스테이지부가 내재되는 합착공간을 마련하는 공간제공부; 및 상기 푸쉬부의 상측에 배치되며, 합착이 이루어지는 상기 패널의 상기 ITO글라스 상판 및 상기 웨이퍼 하판 사이의 셀 갭을 측정하는 측정부; 를 포함하되, 상기 푸쉬부는, 상기 글라스 상판에 접하는 상기 푸쉬부의 적어도 일부분이 빛에 대한 투과성이 있는 것을 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 푸쉬부가 진공에 의해 상기 글라스를 하측으로 가압시킬 수 있도록 상기 합착공간에 대하여 진공을 형성시켜주는 진공형성부; 를 더 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 공간제공부의 바닥면에는, 상기 스테이지부의 테두리변을 따라 진공홈이 마련되어 있고, 상기 진공홈에는, 상기 진공형성부로 연결되는 진공라인의 흡기구가 마련되어 있는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 스테이지부는 4개의 테두리변을 갖추고 있으며, 상기 진공홈은 상기 스테이지부의 테두리변 각각의 외측에 마련되어 있고, 상기 진공홈에는 상기 스테이지부의 테두리변 각각에 대응되도록 상기 진공라인의 상기 흡기구가 다수 마련되어 있는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
나아가 상기 푸쉬부는, 빛에 대한 투과성이 있는 필름; 및 상기 필름을 홀딩하여 주는 필름홀더;를 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
나아가, 상기 필름은 4개의 테두리변을 갖추고 있고, 상기 필름홀더는, 상기 필름이 상기 글라스 상판에 접하는 부분이 가려지지 않도록 상기 필름의 테두리변에 결합하여 상기 필름을 홀딩하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 측정부는, 상기 필름의 상측에서 상기 셀 갭을 측정하는 갭센서를 포함하고 있으며, 상기 갭센서는 상기 ITO글라스 상판 상의 다수의 측정영역을 순차적으로 스캐닝하여 각 측정영역별로 상기 셀 갭을 측정하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
또한, 상기 측정부는, 상기 필름의 상측에서 상기 셀 갭을 측정하는 갭센서를 다수 포함하고 있으며, 다수의 갭 센서는 상기 ITO글라스 상판 상의 다수의 측정영역별로 각기 전담하여 상기 셀 갭을 측정하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
본 발명에 따른 셀 갭 모니터링 합착장치는 패널 합착공정 중에 셀 갭을 모니터링을 할 수 있으므로 합착공정 중에 샐 갭의 이상 발생시 이에 대응하여 보정을 하여 합착을 할 수 있다. 따라서 디스플레이패널의 품질을 일정 수준 이상 확보할 수 있으며, 나아가 양질의 디스플레이패널 생산수율이 증진되는 효과가 있다.
또한 불량으로 인하여 폐기처분되는 디스플레이패널을 감축시킬 수 있으므로 불량패널 폐기로 인한 비용손실이 감축되는 경제적인 효과 또한 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 셀 갭 모니터링 합착장치의 단면을 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 셀 갭 모니터링 합착장치의 푸쉬부 부분을 개략적으로 나타낸 부분단면사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 셀 갭 모니터링 합착장치의 일부 부분을 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 셀 갭 모니터링 합착장치를 이용하여 셀 갭을 모니터링 하는 실시 형태를 설명하기 위하여 개략적으로 나타낸 개념도이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 셀 갭 모니터링 합착장치를 이용하여 셀 갭을 모니터링 하는 다른 실시 형태를 개략적으로 나타낸 개념도이다.
이하에서는 본 발명에 대하여 보다 구체적으로 이해할 수 있도록 첨부된 도면을 참조한 바람직한 실시 예를 들어 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 셀 갭 모니터링 합착장치의 단면을 개략적으로 나타낸 단면도이고, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 셀 갭 모니터링 합착장치의 푸쉬부 부분을 개략적으로 나타낸 부분단면사시도이며, 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 셀 갭 모니터링 합착장치의 일부 부분을 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 셀 갭(cell gap) 모니터링 합착장치는 스테이지부, 푸쉬부, 공간제공부 및 측정부를 포함하며, 좀 더 바람직하게는 진공형성부를 더 포함하여 이루어질 수도 있다.
스테이지부(100)는 ITO글라스(G) 상판과 웨이퍼(W) 하판 사이에 소정의 셀 갭이 마련되도록 합착될 패널이 배치되는 위치를 제공한다.
도면에서 참조되는 바와 같이, 스테이지부(100)의 상측면에 웨이퍼(W)가 접하여 배치된 것이 바람직하다. 스테이지부(100)가 웨이퍼(W)의 전반에 걸쳐 고르게 받쳐주면 일부 부분에 힘이 편중되는 것을 억제하여 줄 수 있으므로 바람직하다.
푸쉬부(200)는 스테이지부(100)의 상측에 배치되며, 스테이지부(100)에 배치되는 패널이 합착되도록 가압하기 위하여 패널의 상측인 ITO글라스(G)에 적어도 일부분이 접한다.
이러한 푸쉬부(200)는 ITO글라스(G) 상판에 접하는 적어도 일부분이 빛에 대한 투과성이 있는 것이 바람직하다.
이러한 푸쉬부(200)는 필름(210) 및 필름홀더(220)를 포함한다.
필름(210)은 빛에 대한 투과성이 있는 것이 바람직하다. 빛에 대한 투과성이 있으므로 필름(210)의 상측에 위치하는 갭센서(410)가 ITO글라스(G)와 웨이퍼(W) 사이의 셀 갭을 측정할 수 있게 된다. 그리고 푸쉬부(200)의 필름(210)은 유연성 또는 신축성이 있는 것이 좀 더 바람직하다.
이러한 필름(210)은 4개의 테두리변을 갖춘 4각 형태인 것이 바람직하다.
필름(210)은, 나일론, 폴리에스테르, 알루미늄 및 폴리에틸렌(LDPE(low-density polyethylene)) 중 적어도 어느 하나의 소재를 포함하는 필름이 둘 이상 합지되어 형성된 다층 필름(210)인 것이 바람직하며, 특히 빛에 대한 투과성이 있는 필름(210)들이 합지되어 다층구조를 이루는 다층 필름(210)인 것이 바람직하다.
필름홀더(220)는 필림을 홀딩하여 준다. 그리고 필름홀더(220)는 필름(210)이 ITO글라스(G) 상판에 접하는 부분이 가려지지 않도록 필름(210)의 테두리변에서 결합하여 필름(210)을 홀딩하여 준다.
이러한 필름홀더(220)는 도 2에서 참조되는 바와 같이 상측에 제1홀딩프레임(226)과 하측에 제2홀딩프레임(221)을 포함한다. 그리고 제1홀딩프레임(226)과 제2홀딩프레임(221) 사이에 다층 필름(210)이 배치된 후 제1홀딩프레임(226)과 제2홀딩프레임(221)이 체결되어서 필름(210)을 홀딩하여 준다.
공간제공부(300)는 도 1에서 참조되는 바와 같이 푸쉬부(200)의 하측에 위치한다. 이러한 공간제공부(300)는 베이스(310)와 4개의 측벽(320)을 포함한다. 베이스(310)의 상측면 상에 스테이지부(100)가 배치된다. 그리고 스테이지부(100)를 에워싸도록 4개의 측벽(320)이 베이스(310)에 기립된 형태로 결합되어 있다.
공간제공부(300)에는, 합착될 패널과 스테이지부(100)가 내재되는 합착공간이 마련된다. 그리고 푸쉬부(200)는 공간제공부(300) 또는 합착공간의 상측을 커버함으로써 공간제공부(300)와 함께 합착공간이 외부로부터 격리되도록 한다.
스테이지부(100)는 4개의 테두리변을 갖추고 있다. 그리고 베이스(310)의 상측면에는 스테이지부(100)의 테두리변을 따라 4개의 진공홈(315)이 마련되어 있으며, 스테이지부(100)의 테두리변 각각의 외측에 마련되어 있다. 즉, 도면에서 참조되는 바와 같이 측벽(320)과 스테이지부(100)의 테두리변 사이에 배치되어 있다.
그리고, 4 개의 진공홈(315) 각각에는 각기 독립적인 진공라인의 흡기구가 마련되어 있다.
따라서, 각 진공홈(315) 별로 흡기구를 통해 흡기되는 흡기량을 조절할 수도 있다.
진공형성부는 푸쉬부(200)가 진공에 의해 ITO글라스(G)를 하측으로 가압시킬 수 있도록 합착공간에 대하여 진공을 형성시켜준다.
이러한 진공형성부는 진공라인과 연통되는 진공펌프(미도시) 및 진공라인을 포함한다. 여기서 진공펌프는 합착공간 내의 기체 또는 가스를 외부로 배출시키어서 진공이 형성될 수 있도록 펌핑을 한다. 진공라인은 진공펌프와 합착공간 사이에 연통되도록 매개하는 파이프라인이며, 진공펌프에 의해 합착공간 내에 진공이 형성될 수 있도록 한다.
아울러 앞서 언급한 바와 같이 베이스(310)에 형성된 진공홈(315)에는 스테이지부(100)의 테두리변 각각에 대응되도록 진공라인의 흡기구가 다수 마련되어 있는 것이 바람직하다.
이러한 진공형성부는 ITO글라스(G)와 웨이퍼(W)의 합착공정이 진행될 때 셀 갭의 균일도가 확보될 수 있도록 측정부의 제어에 따라 작동되는 것 또한 바람직하다.
푸쉬부(200)의 필름(210)은 유연성 또는 신축성이 있는 것이 바람직하다. 진공형성부에 의하여 압착공간 내에 진공이 형성되면서 푸쉬부(200)의 필름(210)이 ITO글라스(G)의 상측면을 가압하게 되며 ITO글라스(G) 상판과 웨이퍼(W) 하판이 합착이 이루어지게 된다.
그리고 푸쉬부(200)의 필름(210)이 신축성이 있고, 진공형성부에 의하여 각 진공홈(315)마다 진공라인을 통해 흡기되는 흡기량을 조절할 수 있으므로 패널의 각 테두리변에 필름(210)이 가압하는 강도가 조절될 수 있다. 아울러 ITO글라스(G) 상판과 웨이퍼(W) 하판 사이에 개재되어 배치된 스페이서의 형태복원력도 있으므로 셀 갭을 보정하면서 ITO글라스(G) 상판과 웨이퍼(W) 하판의 합착이 진행될 수 있다.
참고로 도면에서는 ITO글라스(G) 상판과 웨이퍼(W) 하판 사이에 개재되어 배치된 스페이서가 생략되어 도시되었으나, ITO글라스(G) 상판과 웨이퍼(W) 하판 사이에 스페이서가 배치되어 있음을 밝혀둔다.
측정부는 푸쉬부(200)의 상측에 배치되며, 합착이 이루어지는 패널의 ITO글라스(G) 상판 및 웨이퍼(W) 하판 사이의 셀 갭을 측정한다. 푸쉬부(200)의 필름(210)이 빛에 대한 투과성이 있으므로 합착이 진행되는 동안에 ITO글라스(G) 상판과 웨이퍼(W) 하판 사이의 셀 갭에 대한 측정이 가능하다. 그리고, 합착되는 패널의 서로 다른 다수의 일부 영역들 각각에 대한 셀 갭 측정이 가능하며, 이 또한 바람직하다.
이러한 측정부는 기본적으로 다층 필름(210)의 상측에서 셀 갭을 측정하는 갭센서(410), 그리고 갭센서(410)와 전기적으로 연결되며, 갭센서(410)로부터 측정된 셀 갭정보를 전달받아서 사용자 또는 관리자가 파악할 수 있도록 정보처리를 하는 정보단말기기(420)를 포함하는 것이 바람직하다. 여기서 갭센서(410)로부터 측정된 샐 갭의 정보에 따라 정보단말기기(420)가 진공형성부의 동작을 제어하는 것 또한 가능하며 바람직하다.
그리고 도면에 도시되지는 않았으나, 갭센서(410)는 측정암에 장착이 되어 측정암의 지지를 받는 형태도 바람직하다. 갭센서(410)가 필름(210)으로부터 상측으로 일정간격 이격된 위치에서 셀 갭을 측정할 수 있도록 측정암의 하측단에 갭센서(410)가 배치되며, 측정암에 의해 갭센서(410)가 지지된다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 셀 갭 모니터링 합착장치를 이용하여 셀 갭을 모니터링 하는 실시 형태를 설명하기 위하여 개략적으로 나타낸 개념도이다.
도 4에서 참조되는 바와 같이, 측정부의 갭센서(410)는 ITO글라스(G) 상판 위에서 다수의 측정영역을 순차적으로 스캐닝하여 각 측정영역별로 셀 갭을 측정하는 실시 형태 또한 바람직하다.
여기서 다수의 측정영역이란 ITO글라스(G) 상판 위에서 측정대상이 되는 전 영역을 서로 다른 다수의 일부영역들로 나눈 것을 말한다. 다수의 측정영역을 스캐닝하듯이 순차적으로 갭센서(410)가 지나가면서 각 측정영역마다 셀 갭을 측정할 수 있다.
이러한 경우 도 4에 도시된 바와 같이 측정암은 이동가능하도록 구성된 형태 또한 바람직하다. 측정암이 이동가능하도록 구성되어 갭센서(410)는 다수의 일부영역의 상측에서 위치이동을 하며 셀 갭을 측정할 수 있다.
갭센서(410)에 의하여 각 측정영역에 대하여 측정된 셀 갭의 정보는 정보단말기기(420) 측으로 전송되어 사용자 또는 관리자가 인식할 수 있도록 전시될 수 있으며, 아울러 셀 갭의 적정수치를 벗어난 경우 진공형성부를 통해 합착공간 내의 진공도를 조절하여 셀 갭에 대한 보정이 이루어질 수 있다.
한편 다음과 같은 실시 형태 또한 가능하며 바람직하다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 셀 갭 모니터링 합착장치를 이용하여 셀 갭을 모니터링하는 다른 실시 형태를 개략적으로 나타낸 개념도이다.
도 5에서 참조되는 바와 같이, 측정부는 필름(210)의 상측에서 셀 갭을 측정하는 갭센서(410)를 다수 포함하고 있다.
그리고 다수의 갭센서(410)는 측정암의 하단에 결합되어 측정암의 지지를 받으며, 다수의 갭센서(410)는 각기 측정영역의 상측에 위치될 수 있도록 배치된다. 이처럼 다수의 갭센서는 측정암의 지지를 받으면서 ITO글라스(G) 상판 상의 서로 다른 다수의 일부영역인 측정영역 별로 각기 전담하여 셀 갭을 측정하는 실시형태도 바람직하다.
이와 같은 실시 형태에 따르면, 다수의 일부영역 각각에 대하여 다수의 갭센서(410)가 전담하여 합착과정이 진행되는 동안에 지속적으로 셀 갭을 측정하여 모니터링이 이루어질 수 있으므로 이 또한 바람직하다.
이처럼, 본 발명에 따른 셀 갭 모니터링 합착장치는 패널의 합착이 이루어지는 동안에 패널 상의 서로 다른 다수의 일부 영역들에 대하여 ITO글라스(G) 상판 및 웨이퍼(W) 하판 사이의 셀 갭을 측정하는 모니터링이 가능하다.
이와 같이 본 발명의 실시 예에 따른 셀 갭 모니터링 합착장치는 패널 합착공정 중에 셀 갭을 모니터링을 할 수 있으므로 합착공정 중에 샐 갭이 정상범위를 이탈하는 문제가 발생되면 즉각적으로 이에 대응하여 보정을 하여 합착을 진행할 수 있다. 따라서 디스플레이패널의 품질을 일정 수준 이상 확보할 수 있으며, 나아가 양질의 디스플레이패널 생산수율이 증진되는 장점이 있다.
또한 불량으로 인하여 폐기처분되는 디스플레이패널을 감축시킬 수 있으므로 불량패널 폐기로 인한 비용손실이 감축되는 경제적인 장점 또한 있다.
이상에서 설명된 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시 예들에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시 예들은 본 발명의 바람직한 실시 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시 예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.
100 : 스테이지부
200 : 푸쉬부
210 : 필름 220 : 필름홀더
300 : 공간제공부
310 : 베이스 320 : 측벽
410 : 갭센서

Claims (8)

  1. ITO글라스 상판과 웨이퍼 하판 사이에 소정의 셀 갭이 마련되도록 합착될 패널이 배치되는 위치를 제공하는 스테이지부;
    상기 스테이지부의 상측에 배치되며, 상기 스테이지부에 배치된 상기 패널이 합착되도록 가압하기 위하여 상기 패널의 상측인 상기 ITO글라스 상판에 적어도 일부분이 접하는 푸쉬부;
    상기 푸쉬부의 하측에 위치하며, 상기 패널과 상기 스테이지부가 내재되는 합착공간을 마련하는 공간제공부; 및
    상기 푸쉬부의 상측에 배치되며, 합착이 이루어지는 상기 패널의 상기 ITO글라스 상판 및 상기 웨이퍼 하판 사이의 셀 갭을 측정하는 측정부; 를 포함하되,
    상기 푸쉬부는,
    상기 ITO글라스 상판에 접하는 상기 푸쉬부의 적어도 일부분이 빛에 대한 투과성이 있는 것을 특징으로 하는,
    셀 갭 모니터링 합착장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 푸쉬부가 진공에 의해 상기 ITO글라스를 하측으로 가압시킬 수 있도록 상기 합착공간에 대하여 진공을 형성시켜주는 진공형성부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,
    셀 갭 모니터링 합착장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 공간제공부의 바닥면에는,
    상기 스테이지부의 테두리변을 따라 진공홈이 마련되어 있고,
    상기 진공홈에는,
    상기 진공형성부로 연결되는 진공라인의 흡기구가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는,
    셀 갭 모니터링 합착장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 스테이지부는 4개의 테두리변을 갖추고 있으며,
    상기 진공홈은 상기 스테이지부의 테두리변 각각의 외측에 마련되어 있고,
    상기 진공홈에는 상기 스테이지부의 테두리변 각각에 대응되도록 상기 진공라인의 상기 흡기구가 다수 마련되어 있는 것을 특징으로 하는,
    셀 갭 모니터링 합착장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 푸쉬부는,
    빛에 대한 투과성이 있는 필름; 및
    상기 필름을 홀딩하여 주는 필름홀더;를 포함하는 것을 특징으로 하는,
    셀 갭 모니터링 합착장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 필름은 4개의 테두리변을 갖추고 있고,
    상기 필름홀더는, 상기 필름이 상기 ITO글라스 상판에 접하는 부분이 가려지지 않도록 상기 필름의 테두리변에 결합하여 상기 필름을 홀딩하는 것을 특징으로 하는,
    셀 갭 모니터링 합착장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 측정부는,
    상기 필름의 상측에서 상기 셀 갭을 측정하는 갭센서를 포함하고 있으며,
    상기 갭센서는 상기 ITO글라스 상판 상의 다수의 측정영역을 순차적으로 스캐닝하여 각 측정영역별로 상기 셀 갭을 측정하는 것을 특징으로 하는,
    셀 갭 모니터링 합착장치.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 측정부는,
    상기 필름의 상측에서 상기 셀 갭을 측정하는 갭센서를 다수 포함하고 있으며,
    다수의 갭 센서는 상기 ITO글라스 상판 상의 다수의 측정영역별로 각기 전담하여 상기 셀 갭을 측정하는 것을 특징으로 하는,
    셀 갭 모니터링 합착장치.
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