TW201447422A - 液晶面板檢查裝置 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種液晶面板檢查裝置，其係精簡、迅速且正確地特定液晶面板之瑕疵位址。該檢查裝置係包含有：第1、第2偏光板，配置於工作台上之液晶面板之上方及下方；背光單元，通過第2偏光板而自液晶面板之下表面直角地照射工作台上之液晶面板；傾斜照明光源，用以自前述下表面之下方呈傾斜地照射工作台上之液晶面板；探針單元，為了進行工作台上之液晶面板之點亮檢查而對該液晶面板之畫素施加電壓；攝像裝置，用以在選擇性接收來自背光單元之照射光及來自傾斜照明光源之斜照射光中任一者之狀態下，通過第1偏光板對液晶面板之上表面進行攝影；以及反射手段，以使斜照射光以適當之入射角入射至液晶面板之方式，將斜照射光引導至液晶面板之下表面。

Description

液晶面板檢查裝置

本發明係有關於一種液晶面板檢查裝置，其係利用攝像裝置進行攝影且以背光(backlight)照射未組裝有偏光板之狀態的液晶面板，且從其影像判斷液晶面板之瑕疵位址(defect address)。

在該種檢查裝置，有一種如專利文獻1所記載之檢查裝置。如第7圖所示，該種習知之檢查裝置係具備有非點亮檢查部A、及點亮檢查部B。在非點亮檢查部A中，未組裝有偏光板之液晶面板1係在未對液晶面板1之各畫素施加有電壓之非點亮(未驅動)狀態下接受檢查。此外，在點亮檢查部B中，液晶面板1係在對其各畫素經介探針單元2而施加有電壓之點亮(驅動)狀態下接受檢查。

在非點亮檢查部A中，一對的偏光板4a、4b係配置在工作台3上之液晶面板1的上方及下方。背光光源5係通過下方之偏光板4b對液晶面板1之下表面1b照射與此下表面1b呈直角之光。於工作台3中，鏡6係垂直地保持，使來自背光光源5之光的一部分藉由鏡6之反 射而朝向液晶面板1之周邊，藉此使液晶面板1之周邊部的光量增大。

液晶面板1係在接收該背光光源5之光的狀態下，透過上方之偏光板4a並藉由攝像裝置7而攝影上表面1a。一對的偏光板4a、4b係將偏光方向配置成彼此平行。此外，穿透非點亮狀態之液晶面板1之光，係於穿透之間相位90度旋轉。因此，除非於經過液晶面板1之光路存在散射因子，否則穿透液晶面板1之背光光源5的光之行進係被偏光板4a所遮斷。結果，來自背光光源5之光，不會被攝像裝置7擷取，而可由攝像裝置7獲得黑畫面。然而，當於液晶面板1有瑕疵存在、或於液晶面板1之表面1a、1b有異物附著時，來自背光光源5之強光會因瑕疵及/或異物而產生散射。由於散射光之一部分係穿透偏光板4a，故藉由攝像裝置7，前述瑕疵及/或異物被觀察為黑畫面上之亮點。

於液晶面板1之表面1a、1b所附著之異物，例如由於藉由清洗即能夠去除，故必須將因異物所產生之亮點自考慮對象予以去除。因此，液晶面板1係接著在相同之非點亮檢查部A接受採用傾斜照明光源8之非點亮檢查。在此非點亮檢查中，點亮了組裝於工作台3之傾斜照明光源8，以取代背光光源5。此外，鏡6係以不會對來自傾斜照明光源8之光造成妨礙之方式，收容在第7圖之非點亮檢查部A中以虛線顯示之水平的收容位置。工作台3上之液晶面板1並非通過偏光板4b而是從下表面1b接收 來自傾斜照明光源8之斜照射光。該斜照射光不會直接到達至鏡6，藉由於液晶面板1之表面1a、1b所附著之異物而受到散射。然而，來自傾斜照明光源8之斜照射光係根據液晶面板1內之瑕疵，不會接收如前述異物程度那麼強之散射。結果，在傾斜照明光源8下，在通過偏光板4a並藉由攝像裝置7所攝影之液晶面板1之表面1a的黑畫面中，根據因前述異物所產生之亮點、及因前述瑕疵所產生之亮點的亮度差，即能夠辨別因前述異物所產生之亮點、及因前述瑕疵所產生之亮點。

因此，根據利用在背光光源5下之非點亮檢查部A所獲得的亮點資料、與利用在傾斜照明光源8下之非點亮檢查部A所獲得的亮點資料之比較，即能夠判斷任一亮點是否為因真實之瑕疵(畫素瑕疵)所產生之亮點。

然而，在利用前述之非點亮檢查部A之兩檢查中，為了在黑畫面上顯示亮點，無法迅速地決定判斷為屬於因瑕疵者所產生之亮點的畫素位址，即無法迅速地決定瑕疵之正確的畫素位址。

因此，為了求得在利用前述之非點亮檢查部A之兩檢查中判斷為瑕疵之亮點的畫素位址，液晶面板1係利用點亮檢查部B，在經介探針單元2而施加電壓之點亮(驅動)狀態下接受檢查。在點亮檢查部B中，液晶面板1係在透過與偏光板4b同樣之偏光板4b，而接收來自背光光源5′之光的狀態下，通過與偏光板4a同樣之偏光板4a′藉由攝像裝置7′而進行攝影。藉由該攝影，前述 瑕疵及異物作為黑點被加以擷取於液晶面板1之點亮畫面，此外，於前述點亮畫面擷取用以界定各畫素之黑色矩陣(black matrix)。因此，可容易地自攝像裝置7′之攝影畫面讀取與因前述瑕疵所產生之亮點相對應之黑點的位址，藉此容易地得知真實之瑕疵的畫素位址。

結果，根據該瑕疵之畫素位址，能夠恰當地修理瑕疵畫素。

然而，在前述之習知的液晶面板檢查裝置中，在各個非點亮檢查部A、與點亮檢查部B需要有構成各檢查部之裝置的設置空間，而使佔地面積(footprint)擴大。此外，必須在兩檢查部A、B間移送液晶面板1，且為了使在非點亮檢查部A所獲得之亮點與在點亮檢查部B所獲得之黑點相互對應，必須進行液晶面板1之正確配置，故不利於產距時間(tact time)之縮短化。

(先前技術文獻)

(專利文獻)

專利文獻1：日本特開2008-40201號公報

因此，本發明之目的在於提供一種液晶面板檢查裝置，其係排除習知之前述之缺點、精簡、迅速且正確地特定液晶面板之瑕疵位址。

為了解決習知之佔地面積之問題及防止液晶 面板在兩檢查部A、B間之移送，可考慮將點亮檢查部B之探針單元2組裝至非點亮檢查部A。然而，即便僅將點亮檢查部B之探針單元2組裝至非點亮檢查部A，藉由來自傾斜照明光源8之斜照射亦無法使適當之斜照射光充分地到達至與液晶面板1之配置有傾斜照明光源之側為相反側之周邊部，在液晶面板1之周邊部會缺乏適當之照射光。該不充分之斜照射光，會成為利用在傾斜照明光源8下之非點亮檢查部A進行亮點之迅速且容易之判斷作業的阻礙。

因此，本發明係在該傾斜照明光源光下之非點亮檢查中，為了謀求在液晶面板之周邊部之斜照射光的增強，基本上其特徵於：在工作台內設置反射手段，該反射手段係以使來自傾斜照明光源之斜照射光不經過配置於液晶面板之下方之偏光板而以適當之入射角入射至前述液晶面板之方式，將斜照射光之一部分引導至前述液晶面板之下表面的周邊部。

亦即，本發明係用以檢查無偏光板之液晶面板的液晶面板檢查裝置，其係包含有：升降台；工作台，配置於該升降台上，並具備有具有整體呈矩形之開口部的框體，且為了在前述升降台之上方保持前述液晶面板而利用前述框體承受該液晶面板的緣部；第1及第2偏光板，配置於前述工作台上之液晶面板之上方及下方，且彼此將偏光方向保持為預定之關係；背光單元，利用通過前述第2偏光板而自前述液晶面板之下表面與該下表面大致呈直 角之照射光照射前述工作台上之前述液晶面板；傾斜照明光源，用以自前述下表面之下方以角度方向照射前述工作台上之前述液晶面板；探針單元，為了在前述升降台之上升位置進行前述液晶面板之點亮檢查而用來對該液晶面板之畫素施加電壓；攝像裝置，用以在選擇性接收來自前述背光單元之前述呈直角之照射光及來自前述傾斜照明光源之斜照射光中任一者之狀態下，通過前述第1偏光板對前述液晶面板之上表面進行攝影；以及反射手段，配置於前述工作台內，以使來自前述傾斜照明光源之斜照射光不經過前述第2偏光板而以適當之入射角入射至前述液晶面板之方式，將前述斜照射光之一部分引導至前述液晶面板之下表面的周邊部。

根據本願發明之液晶面板檢查裝置，能夠在來自設置於單一之升降台上之背光單元的照射光下進行非點亮檢查，且取代來自前述背光之照射光而在前述傾斜照明光源下進行非點亮檢查，又在來自背光單元之照射光下進行使用前述探針單元之點亮檢查。因此，不需要如習知技術般將液晶面板從非點亮檢查部A移送至點亮檢查部B，即能夠迅速地進行一連串的檢查，此外不需進行在兩檢查部A、B之對位。因此，能夠以精簡之裝置構成迅速地進行檢查，且能夠實現產距時間的縮短化。

再者，在前述傾斜照明光源光下之非點亮檢查中，前述反射手段係以使來自前述傾斜照明光源之斜照射光不經過第2偏光板而以適當之入射角入射至前述液晶 面板之方式，將前述斜照射光之一部分引導至前述液晶面板之下表面。因此，在前述傾斜照明光源光下之非點亮檢查中不會發生斜照射光在前述液晶面板之周邊部的光量不足之情形。因此，可解決因該光量不足所造成之不良影響，且利用在前述傾斜照明光源光下之非點亮檢查能夠進行亮點之迅速且容易之判斷作業。

為了要能夠進行對於與前述液晶面板之大小相對應之該液晶面板之下表面的均勻之斜照射，可將前述反射手段以繞著支持於前述工作台之軸之方式可轉動地加以支持，此外，藉由用以繞著前述軸轉動之作動裝置，可將前述反射手段保持在適當之角度。

前述反射手段係藉由前述作動裝置來調整角度，俾使利用該反射手段反射而朝入射至前述液晶面板之前述下表面之入射角設定成60度以上未達90度。

前述反射手段之前述軸係能以沿著前述工作台之前述矩形之開口部之彼此相對向的一對邊之一方邊之方式加以配置，而前述傾斜照明光源係可為了沿著前述一對邊之另一方邊伸長而配置。前述反射手段及傾斜照明源係以彼此成對之方式，配置於前述矩形開口部之4邊的各邊。

前述反射手段係可由經介在上緣呈水平之軸而支持於前述工作台的反射鏡所構成。此時，前述作動裝置係為了以所期望之前述豎起角度來保持前述反射鏡操作性地連結在前述反射鏡。

前述作動裝置可包含有具備藉由電動馬達而能夠旋轉之螺栓構件、及螺合於該螺栓構件之螺帽構件的滾珠螺桿機構和線性馬達之任一者。

前述傾斜照明光源係能以使其高度位置位於高於前述第2偏光板之高度位置之方式支持於前述升降台。此外，前述傾斜照明光源係可在前述升降台上經介支持於該升降台之前述背光用的基底而被支持於前述升降台。

前述工作台係可經介間隔體構件並自前述升降台隔開間隔而加以保持。此時，前述傾斜照明光源係可配置於藉由前述間隔體構件所界定之前述工作台與前述升降台之間的空間。

前述工作台之前述框體係可將前述開口部之各邊之尺寸調整成適合於大小不同之液晶面板。如前述之框體係例如以能夠平行移動於各構件之方式組裝成井字狀而可實現。

為了取代採用前述之能夠調整之框體，而可將該工作台以能夠拆卸的方式支持於前述升降台上，俾使該工作台能夠替換成設置有適合於前述液晶面板之前述開口部的工作台。

當採用如前述之依據液晶面板之大小而能夠調整前述開口部之工作台、或能夠替換成設置有適合於前述液晶面板之前述開口部的工作台之構成時，較佳為組合下述構成：將前述反射手段以繞著支持於前述工作台之軸 之方式可轉動地加以支持，且藉由用以繞著前述軸轉動之作動裝置，將前述反射手段保持成適當之角度。這是由於不論液晶面板之大小如何皆能在適當之入射角範圍內以斜照射光均勻地照射液晶面板之故。

根據本發明，如前述之方式，由於無須在兩個檢查部間移送液晶面板即可在單一之裝置上進行，故可謀求檢查裝置之精簡化，且可謀求產距時間之縮短化。又，由於利用在傾斜照明光源光下之非點亮檢查能夠進行亮點之迅速且容易之判斷作業，故能夠使產距時間進一步縮短化。

1、12、12′‧‧‧液晶面板

1a、1b‧‧‧表面

2、40‧‧‧探針單元

3、16、16′‧‧‧工作台

5、5′‧‧‧背光光源

6‧‧‧鏡

7、7′‧‧‧攝像裝置

8、32‧‧‧傾斜照明光源

10‧‧‧液晶面板檢查裝置

12a、12a′‧‧‧液晶面板之上表面

12b、12b′‧‧‧液晶面板之下表面

14‧‧‧升降台

18‧‧‧攝像手段

18a‧‧‧攝影機

20‧‧‧背光單元

20a‧‧‧光放射面

20b‧‧‧單元基底

22a、22b、4a、4b、4a′‧‧‧偏光板

24‧‧‧光擴散板

26‧‧‧間隔體

28‧‧‧框體

28a、28a′‧‧‧開口部

30‧‧‧空間

32a‧‧‧托架

34‧‧‧反射手段

34a‧‧‧反射面

36‧‧‧軸

38‧‧‧作動裝置

38′‧‧‧作動裝置

40a‧‧‧探針

42‧‧‧影像處理裝置

44a、44b、44c、44d‧‧‧亮點

46‧‧‧黑色矩陣

A‧‧‧非點亮檢查部

B‧‧‧點亮檢查部

第1圖係概略性地顯示本發明之液晶面板檢查裝置的剖面圖。

第2圖係顯示處於在背光光源光下之非點亮(非驅動)檢查步驟之液晶面板檢查裝置的剖面圖。

第3圖係顯示處於在傾斜照明光源光下之非點亮(非驅動)檢查步驟之液晶面板檢查裝置的剖面圖。

第4圖係顯示處於在背光光源光下之點亮(驅動)檢查步驟之液晶面板檢查裝置的剖面圖。

第5圖係顯示在各檢查步驟中藉由攝像裝置所獲得之攝像畫面，第5圖(a)係於第2圖所示之在背光光源光下之非點亮(非驅動)檢查步驟所獲得之攝像畫面，第5圖 (b)係於第3圖所示之在傾斜照明光源光下之非點亮(非驅動)檢查步驟所獲得之攝像畫面，而第5圖(c)係於第4圖所示之在背光光源光下之點亮(驅動)檢查步驟所獲得之攝像畫面。

第6圖係顯示本發明之液晶面板檢查裝置之其他例之與第3圖同樣之剖面圖。

第7圖係顯示習知之液晶面板檢查裝置的剖面圖。

本發明之液晶面板檢查裝置10係使用於不具有一對之偏光板之液晶面板12之檢查。液晶面板12係具有矩形之平面形狀，且在液晶面板12之一方之表面(上表面)12a的各邊部分排列有用以對液晶面板12之各畫素施加驅動電壓之以往眾所周知之電極(未圖示)。

液晶面板檢查裝置10係包含有：能夠沿著在第1圖觀看屬於上下方向之垂直方向(z軸方向)升降的升降台14；支持於該升降台上，且用以保持屬於被檢查體之液晶面板12的工作台16；以及能夠自工作台16之上方對保持於該工作台上之液晶面板12之上表面12a進行攝影之例如CCD攝影機的攝像手段18。

升降台14係例如能夠朝與z軸呈直角之xy平面之x、y方向移動，此外可由能夠繞著z軸旋轉之xyzθ載物台(stage)來構成。於該升降台14上，以往眾所周知的背光單元20係以位於保持在工作台16上之液晶面板12之大致正下方之方式配置。背光單元20係以使其光放射面 20a與保持在工作台16上之液晶面板12之下表面12b大致平行之方式，利用單元基底20b而安裝於升降台14。

於攝像手段18與背光單元20之間，第1及第2之偏光板22a、22b係以各自位於液晶面板12之上方及下方之方式配置。在圖示之例子中，採用3台攝影機18a、18a、18a作為攝像手段18，且各攝影機18a係以令攝影領域些微重複之方式排列而配置。此外，3片之第1偏光板22a係對應於各攝影機18a而配置。取而代之地，可利用單一之第1偏光板22a來覆蓋各攝影機18a之攝影區域。

第2偏光板22b係隔介用以謀求光強度之均勻化之光擴散板24而配置於背光單元20之光放射面20a上。第1偏光板22a及第2偏光板22b，係以令其偏光方向彼此平行之方式加以保持。

保持液晶面板12之工作台16係具備具有邊部分之整體呈矩形的框體28，該邊部分係經介間隔體26並自該升降台朝上方隔開間隔而保持在升降台14上、並且沿著矩形之液晶面板12之各邊所配置。框體28係具有矩形之開口部28a，而框體28之各邊部分係承受液晶面板12所對應的各邊部分。來自經過前述之光擴散板24及第2偏光板22b之背光單元20之光，係通過工作台16之開口部28a，並能夠以大致與液晶面板12之下表面12b呈直角之角度照射在該下表面12b。

於藉由間隔體26而保持在工作台16與升降 台14之間的空間30，配置有例如4個直線狀之傾斜照明光源32。於第1圖中顯示有4個傾斜照明光源32中彼此相對向之兩者。各傾斜照明光源32係以與液晶面板12所對應之各邊大致呈平行地伸長、並且彼此共同圍起背光單元20之光放射面20a之方式配置。此外，各傾斜照明光源32係保持在液晶面板12之外方區域之下方並高於第2偏光板22b之高度位置，且利用托架32a保持在背光單元20之單元基底20b上。可將傾斜照明光源32直接支持在升降台14，以取代支持在單元基底20b。

於工作台16之內側、亦即框體28之開口部28a之側，以沿著框體28所對應的邊部分之方式，配置有例如反射鏡之反射手段34，該反射手段34係配置成使其反射面34a朝向開口部28a之中央。各反射手段34係藉由大致水平地配置並且支持在工作台16之軸36，利用上緣可轉動地支持在工作台16。此外，於工作台16設置有使各反射手段34繞著軸36轉動之作動裝置38。

各作動裝置38係為了調整屬於反射面34a與水平面之狭角之反射手段34的豎起角度θ並且保持成所期望之設定角，而操作性地連結在對應之反射手段34之下緣。就如前述之作動手段38而言，可採用具備有未圖示之電動馬達、藉由該電動馬達而能夠旋轉之螺栓(bolt)構件、以及螺合於該螺栓構件之螺帽(nut)構件之以往眾所周知的滾珠螺桿(ball screw)機構、或線性馬達(linear motor)等。

作動裝置38係藉由將各豎起角度θ設定為未達90度，藉此如後述配置於開口部28a所對應之各邊之一方的各反射手段34係以分別朝液晶面板12之下表面12b之入射角成為適當角度之方式，將來自沿著相對向之另一方之邊而配置的傾斜照明光源32之斜照射光引導至下表面12b。

在第1圖所示之例子中，為了能夠替換具有與液晶面板12之大小相對應之開口部28a的工作台16，工作台16係藉由未圖示之螺栓螺帽組裝體或可解除之夾緊機構等而能夠拆卸地結合在間隔體26。

於第1圖中，係以實線顯示工作台16，該工作台16係具有適合於以實線所示之液晶面板12之大小的開口部28a，此外以虛擬線顯示工作台16′，該工作台16′係具有適合於液晶面板12′之大小的開口部28a′，而該液晶面板12′係具有小於以實線所示之液晶面板12之尺寸。

與液晶面板12之尺寸相對應而將工作台16之整體替換成如前述之工作台16′來取代之，則例如日本特開2007-163426號公報所揭露，藉由可平行移動地將4個邊構件結合成井字狀或由字狀，即可構成具有可調整尺寸之開口部28a的框體28。

於工作台16之上方，配置有以往眾所周知之探針單元40，其係為了進行該工作台上之液晶面板12之點亮檢查而驅動該液晶面板。探針單元40係在升降台 14之上升位置令所對應之探針40a接觸於液晶面板12之前述電極其。

攝像手段18係設定為在液晶面板12之檢查之際與液晶面板12之距離為固定。藉由各攝像手段18所獲得之影像資料，係傳送至以往眾所周知之影像處理裝置42。

以下，說明使用液晶面板檢查裝置10來檢查液晶面板12之順序。

[在背光照射光下之非點亮檢查]

在背光照射光下之非點亮檢查中，傾斜照明光源32係處於熄滅狀態，且點亮背光單元20，亦即點亮背光光源。此外，如第2圖所示，探針單元40之各探針40a，由於處於未接觸液晶面板12之前述電極之狀態，故液晶面板12係處於非點亮(非驅動)狀態。

在非點亮狀態中，自背光單元20之光放射面20a所放射之光，係藉由光擴散板24並在適當地分散之狀態下穿透第2偏光板22b。來自背光單元20之光係藉由經過第2偏光板22b而轉換為偏光，且該偏光係以大致直角之方式入射至液晶面板12。由於液晶面板12處於非驅動狀態，故前述偏光係藉由液晶面板12之穿透而90度旋轉於其偏光面。經90度旋轉於該偏光面之偏光，係由第1偏光板22a遮斷穿過。

結果，在各攝影機18a不會擷取前述偏光，而通過第1偏光板22a之液晶面板12的影像，除非於液晶 面板12之上表面12a或下表面12b附著有異物、或者於液晶面板12之畫素存在有瑕疵，否則利用各攝影機18a所攝影，且其資料利用影像處理裝置42處理所獲得之液晶面板12的攝影畫面，應觀察為黑畫面。然而，當於液晶面板12之上表面12a及/或下表面12b附著有異物、或者於液晶面板12之畫素內部有異物時，該等異物為前述偏光之散射原因，該散射光即通過第1偏光板22a並於攝像手段18擷取為亮點。

來自前述之背光單元20之光經過光擴散板24及第2偏光板22b所獲得之前述偏光，係因保持成近似於直角之角度θ之豎起角度之反射面34a而實質上不會朝向液晶面板12之周邊部。

第5圖(a)係顯示分布於由影像處理裝置42所獲得之前述黑畫面上之亮點之例子。於第5圖(a)所示之例中，觀察到4個亮點44a、44b、44c、44d。

必須辨別該等4個亮點44a、44b、44c、44d中之任一者是否屬於因非畫素瑕疵之附著於液晶面板12之上表面12a及/或下表面12b之異物所產生者、或是否屬於因視為畫素瑕疵之液晶面板12之畫素內部之異物所產生者。為了判斷因該異物之附著所產生之亮點、及因畫素瑕疵所產生之亮點，而進行以下所述之在傾斜照明光源光下之非點亮檢查。

[在傾斜照明光源光下之非點亮檢查]

在傾斜照明光源下之非點亮檢查中，點亮傾 斜照明光源32來取代背光單元20，而背光單元20係處於熄滅狀態。此外，如第3圖所示，探針單元40之各探針40a係由於處於與液晶面板12之前述電極之非接觸狀態，故液晶面板12係處於非點亮(非驅動)狀態。

來自傾斜照射光源32之光並未經過光擴散板24及第2偏光板22b，而是朝向工作台16上之液晶面板12之下表面12b朝斜上方照射。雖沿著液晶面板12之各邊而配置有傾斜照射光源32，惟於該傾斜照射光源所接近之對應之液晶面板12之前述邊的附近，來自該傾斜照明光源之光係難以充分到達。例如，在第3圖觀看自位於圖中之右方之傾斜照射光源32所放射之斜光，係難以直接地充分到達位於液晶面板12之圖中右方之周邊部。同樣地，自位於圖中之左方之傾斜照射光源32所放射之斜光，亦難以直接地充分到達位於液晶面板12之圖中左方之周邊部。

然而，本發明之液晶面板檢查裝置10中，設置有反射手段34，其係用以藉由作動裝置38將豎起角度θ調整為適當之角度，該作動裝置38係藉由軸36可轉動地支持在工作台16。因此，例如自設置於第3圖之右方之傾斜照射光源32所放射之斜光之一部分，係藉由設置於位於相反側之第3圖之左方之反射手段34的反射面34a，而朝向位於液晶面板12之下表面12b之圖中右方之周邊部，並以α度之入射角被引導。同樣地，自設置於第3圖之左方之傾斜照射光源32所放射之斜光的一部分，係藉由設置於位於相反側之反射手段34的反射面34a，而朝向位 於液晶面板12之下表面12b之圖中左方之周邊部，並以α度之入射角被引導。

由於藉由在該等反射手段34之反射面34a的反射光，使液晶面板12之各周邊部的光量增大，故解決了在該周邊部的光量不足。反射手段34的前述之豎起角度θ，係可調整成未達90度之適當角度，俾使往反射面34a之入射角α成為60度以上未達90度。

來自傾斜照射光源32之斜的照射光，除非受到散射，否則不會經過第1偏光板22a而到達攝像手段18。然而，當於液晶面板12之上表面12a或下表面12b附著有異物時，該異物之散射光的一部份係經過第1偏光板22a而擷取至攝像手段18。此外，即使液晶面板12內之瑕疵，雖亦產生散射，但不會接收如前述異物程度那麼強之散射。結果，在傾斜照射光源32之斜照射光下，在通過第1偏光板22a並藉由攝像手段18所攝影之液晶面板12的上表面12a的黑畫面，如第5圖(b)所示，於如第5圖(a)所示之相同位置觀察到4個亮點44a、44b、44c、44d。然而，由於因異物所產生之亮點、與因前述瑕疵所產生之亮點之間會產生明確之亮度差，故影像處理裝置42係藉由於該影像處理裝置設定適當之閾值，依據該等之亮度差來辨別因異物所產生之亮點與因畫素瑕疵所產生之亮點。在圖示之例子中，亮點44b、44c、44d為因異物所產生者，而較亮點44b、44c、44d亮度還低之亮點44a為因畫素瑕疵所產生者。因此，可判定亮點44a為屬於檢測對象的畫素 瑕疵。

來自該傾斜照射光源32之斜的照射光係如前述之方式，由於藉由反射手段34弭補在液晶面板12之周邊部之光量不足，因此以所期望之光量擴散在液晶面板12之大致全部區域。因此，即使前述之因異物所產生之亮點、因畫素瑕疵所產生之亮點位於液晶面板12之例如周邊部，亦可依據兩者亮點之亮度差而較容易且確實地辨別兩者。

[點亮檢查]

接著，工作台16上之液晶面板12，係在驅動各畫素之狀態下接受點亮檢查。如第4圖所示，在該點亮檢查中，探針單元40之各探針40a係接觸於工作台16上之液晶面板12之對應的前述電極，且對各畫素供應驅動電壓。因此，液晶面板12之各畫素並未令穿透液晶面板12之光的偏光面旋轉。因此，當再次點亮背光單元20來取代傾斜照射光源32時，來自背光單元20之光雖經過光擴散板24及第2偏光板22b而轉換為均勻之偏光，惟由於液晶面板12處於驅動狀態，故該偏光不會使該偏光面旋轉而穿透液晶面板12，且到達第1偏光板22a。該第1偏光板22a係允許未使偏光面旋轉之前述偏光之穿透。結果，藉由攝像手段18所獲得之液晶面板12的影像係成為點亮畫面，亦即液晶面板12為黑白面板時形成白畫面，而液晶面板12為彩色面板時形成與濾光器之配色相對應的色畫面。

如第5圖(c)所示，在該點亮畫面中，前述之畫素瑕疵及異物係擷取為與各個對應之黑點44a、44b、44c、44d，此外於前述點亮畫面中，擷取有用以界定各畫素之黑色矩陣46。由第5圖(a)及第5圖(b)所獲得之黑影像或其影像資料判斷亮點44a為因畫素瑕疵所產生者，而與該亮點44a對應之點亮畫面上之黑點44a的畫素位址，係可由黑色矩陣46所映射之第5圖(c)之影像或者其影像資料容易地獲得。因此，可容易地獲得第5圖(c)之黑點44a的畫素位址。

根據本發明之液晶面板檢查裝置10，如前述之方式，由於可在單一之液晶面板檢查裝置10之單一的工作台16上進行液晶面板12之前述的全部檢查步驟，故可謀求檢查裝置之精簡化，並可謀求產距時間之縮短化。再者，在利用傾斜照明光源32之斜光下之非點亮檢查中，由於藉由反射手段34可將充分之照射光引導至液晶面板12之周邊部，故即使在液晶面板12之周邊部，亦可迅速且容易地判斷因附著於液晶面板12之表面12a、12b之異物所產生的亮點、與因畫素瑕疵所產生之亮點，故能夠使產距時間之進一步的縮短化。

第6圖係顯示採用工作台16′之例子，且顯示與第3圖同樣之利用在傾斜照明光源光下之非點亮檢查之圖式，該工作台16′係如於第1圖以虛擬線所示，具有適合於液晶面板12′之大小的開口部28a′，而該液晶面板12′係具有較第1圖中以實線所示之液晶面板12還 小之尺寸。

如第6圖所示，相較於處理大型之液晶面板12的情形，處理小型之液晶面板12′的情形，反射手段34之豎起角度θ係設定為較前者之情形還小之值。該反射手段34之豎起角度θ，係與於前述之大型之液晶面板12的情形同樣地，藉由工作台16′之作動裝置38′的操作，以令往液晶面板12′之下表面12b′之入射角α設定成為適當之角度範圍(60度以上未達90度)的角度之方式，俾可在液晶面板12′之周邊部確保充分之光量。

(產業上之可利用性)

本發明並不限定為上述實施例，只要未偏離其宗旨，即可進行各種之變更。例如，可將反射手段之豎起角度θ設為固定。此外，可採用單一之攝影機作為攝像手段18，且可依據必要之影像解像度增加攝影機之台數。

10‧‧‧液晶面板檢查裝置

12、12′‧‧‧液晶面板

12a‧‧‧液晶面板之上表面

12b‧‧‧液晶面板之下表面

14‧‧‧升降台

16、16′‧‧‧工作台

18‧‧‧攝像手段

18a‧‧‧攝影機

20‧‧‧背光單元

20a‧‧‧光放射面

20b‧‧‧單元基底

22a、22b‧‧‧偏光板

24‧‧‧光擴散板

26‧‧‧間隔體

28‧‧‧框體

28a、28a′‧‧‧開口部

30‧‧‧空間

32‧‧‧傾斜照明光源

32a‧‧‧托架

34‧‧‧反射手段

34a‧‧‧反射面

36‧‧‧軸

38‧‧‧作動裝置

40‧‧‧探針單元

40a‧‧‧探針

42‧‧‧影像處理裝置

Claims (10)

1. 一種液晶面板檢查裝置，係用以檢查無偏光板之液晶面板，該液晶面板檢查裝置係包含有：升降台；工作台，配置於該升降台上，並具備有具有整體呈矩形之開口部的框體，且為了在前述升降台之上方保持前述液晶面板而利用前述框體承受該液晶面板的緣部；第1及第2偏光板，配置於前述工作台上之液晶面板之上方及下方，且彼此將偏光方向保持為預定之關係；背光單元，利用通過前述第2偏光板而自前述液晶面板之下表面與該下表面大致呈直角之照射光照射前述工作台上之前述液晶面板；傾斜照明光源，用以自前述下表面之下方以角度方向照射前述工作台上之前述液晶面板；探針單元，為了在前述升降台之上升位置進行前述液晶面板之點亮檢查而用以對該液晶面板之畫素施加電壓；攝像裝置，用以在選擇性接收來自前述背光單元之前述呈直角之照射光及來自前述傾斜照明光源之斜照射光中任一者之狀態下，通過前述第1偏光板對前述液晶面板之上表面進行攝影；以及反射手段，配置於前述工作台內，以使來自前述 傾斜照明光源之斜照射光不經過前述第2偏光板而以適當之入射角入射至前述液晶面板之方式，將前述斜照射光之一部分引導至前述液晶面板之下表面的周邊部。
2. 如申請專利範圍第1項所述之液晶面板檢查裝置，其中，前述反射手段係為了要能夠進行對於與前述液晶面板之大小相對應之該液晶面板之下表面的均勻之斜照射，以繞著支持於前述工作台之軸之方式可轉動地被支持，且該反射手段係藉由用以繞著前述軸轉動之作動裝置，保持成適當之角度。
3. 如申請專利範圍第2項所述之液晶面板檢查裝置，其中，前述反射手段係藉由前述作動裝置來調整角度，俾使利用該反射手段反射而朝入射至前述液晶面板之前述下表面之入射角設定成60度以上未達90度。
4. 如申請專利範圍第2項或第3項所述之液晶面板檢查裝置，其中，前述反射手段之前述軸係以沿著前述工作台之前述矩形之開口部之彼此相對向的一對邊之一方邊之方式配置，而前述傾斜照明光源係為了沿著前述一對邊之另一方邊伸長而配置。
5. 如申請專利範圍第4項所述之液晶面板檢查裝置，其中，前述反射手段係包括經介在上緣呈水平之軸而支持於前述工作台的反射鏡，而前述作動裝置係為了以所期望之前述豎起角度保持前述反射鏡而操作性地連結在前述反射鏡。
6. 如申請專利範圍第5項所述之液晶面板檢查裝置，其中，前述作動裝置係包含有具備藉由該電動馬達而能夠旋轉之螺栓構件、及螺合於該螺栓構件之螺帽構件的滾珠螺桿機構和線性馬達之任一者。
7. 如申請專利範圍第1項所述之液晶面板檢查裝置，其中，前述傾斜照明光源係以使其高度位置位於高於前述第2偏光板之高度位置之方式支持於前述升降台。
8. 如申請專利範圍第7項所述之液晶面板檢查裝置，其中，前述工作台係經介間隔體構件自前述升降台隔開間隔而加以保持，而前述傾斜照明光源係配置於藉由前述間隔體構件所界定之前述工作台與前述升降台之間的空間。
9. 如申請專利範圍第1項所述之液晶面板檢查裝置，其中，前述工作台之前述框體係將前述開口部之各邊之尺寸能夠調整成適合於大小不同之液晶面板。
10. 如申請專利範圍第1項所述之液晶面板檢查裝置，其中，前述工作台係以能夠拆卸之方式支持於前述升降台上，俾使該工作台能夠替換成設置有適合於前述液晶面板之前述開口部的工作台。