CN104102029A - 液晶面板检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供能够迅速且准确地确定缺陷地址的紧凑的液晶面板检查装置。检查装置具备：第1偏振片和第2偏振片，其分别配置于工作台上的液晶面板的上方和下方；背光单元，其经由第2偏振片自工作台上的液晶面板的下表面与该下表面成直角照射液晶面板；倾斜照明光源，其自上述下表面的下方倾斜地照射工作台上的液晶面板；探头单元，其对工作台上的液晶面板的像素施加电压，以进行液晶面板的点亮检查；摄像装置，其在选择性地接收到来自背光单元的照射光和来自倾斜照明光源的倾斜照射光中的任一者的状态下经由第1偏振片拍摄液晶面板的上表面；以及反射部件，其以倾斜照射光以适当的入射角向液晶面板入射的方式将倾斜照射光向液晶面板的下表面引导。

Description

液晶面板检查装置

技术领域

本发明涉及一种液晶面板检查装置，其使用背光来对处于未安装有偏振片的状态下的液晶面板进行照射并使用摄像装置来拍摄该液晶面板，根据该液晶面板的图像来判定液晶面板的缺陷地址。

背景技术

在这种检查装置中具有专利文献1所记载的检查装置。如图7所示，该以往的检查装置包括非点亮检查部A和点亮检查部B。在非点亮检查部A中，未安装有偏振片的液晶面板1在其各像素没有被施加电压的非点亮（非驱动）状态下接受检查。另外，在点亮检查部B中，液晶面板1在其各像素被经由探头单元2施加了电压的点亮（驱动）状态下接受检查。

在非点亮检查部A中，在工作台3上的液晶面板1的上方和下方配置有一对偏振片4a、4b。背光光源5经由下方的偏振片4b向液晶面板1的下表面1b照射与该下表面1b成直角的光。在工作台3上垂直地保持有镜子6，来自背光光源5的光的一部分被镜子6反射而朝向液晶面板1的周边照射，由此使液晶面板1的周边部的光量增加。

在液晶面板1接收到该背光光源5的光的状态下，利用摄像装置7经由上方的偏振片4a来拍摄液晶面板1的上表面1a。一对偏振片4a、4b以偏振方向彼此平行的方式配置。并且，透过非点亮状态的液晶面板1的光的相位在透过期间被旋转90度。因此，只要在经由液晶面板1的光路上不存在散射因子，则背光光源5的透过液晶面板1的光的行进就会被偏振片4a阻断。其结果，来自背光光源5的光不会被摄像装置7捕捉，摄像装置7得到的是黑暗画面。但是，当在液晶面板1上存在缺陷、或在液晶面板1的面1a、1b上附着有异物时，来自背光光源5的较强的光会因缺陷、异物而产生散射。散射光的一部分会透过偏振片4a，因此上述缺陷、异物作为黑暗画面上的亮点被摄像装置7观察到。

由于附着在液晶面板1的面1a、1b上的异物能够通过例如清洗而被去除，因此需要将该异物导致的亮点从考虑的对象中剔除。为此，液晶面板1接下来要在相同的非点亮检查部A中接受利用倾斜照明光源8的非点亮检查。在该非点亮检查中，替代背光光源5而点亮安装于工作台3的倾斜照明光源8。另外，镜子6收纳于图7的非点亮检查部A中的以虚线表示的水平的收纳位置，以不妨碍来自倾斜照明光源8的光。工作台3上的液晶面板1自下表面1b接受没有通过偏振片4b的、来自倾斜照明光源8的倾斜照射光。该倾斜照射光不直接到达摄像装置7，会因附着在液晶面板1的面1a、1b上的异物而发生散射。但是，来自倾斜照明光源8的倾斜照射光不会因液晶面板1内的缺陷而发生如上述异物所导致的散射那样的较强的散射。其结果，在倾斜照明光源8的照射下，在液晶面板1的面1a的经由偏振片4a而被摄像装置7拍摄到的黑暗画面中，能够通过上述异物导致的亮点和上述缺陷导致的亮点之间的亮度差来辨别上述异物导致的亮点和上述缺陷导致的亮点。

因而，通过对由背光光源5照射下的非点亮检查部A得到的亮点数据和由倾斜照明光源8照射下的非点亮检查部A得到的亮点数据进行比较，能够判定哪些亮点是真的缺陷（像素缺陷）导致的亮点。

然而，在上述非点亮检查部A进行的两个检查中，由于在黑暗画面上显示亮点，因此不能迅速地确定被判定为缺陷所导致的亮点的像素地址即缺陷的准确的像素地址。

因此，为了求出在上述非点亮检查部A进行的两个检查中被判定为缺陷的亮点的像素地址，在点亮检查部B中，液晶面板1在被经由探头单元2施加了电压的点亮（驱动）状态下接受检查。在点亮检查部B中，在液晶面板1经由与偏振片4b同样的偏振片4b′而接收到来自背光光源5′的光的状态下，利用摄像装置7′经由与偏振片4a同样的偏振片4a′拍摄液晶面板1。通过该拍摄，上述缺陷和异物在液晶面板1的点亮画面上作为黑点被捕捉到，并且在上述点亮画面上捕捉到用于划分各像素的黑色矩阵。因而，能够易于自摄像装置7′的拍摄画面中读取与上述缺陷导致的亮点相对应的黑点的地址，由此易于查明真的缺陷的像素地址。

其结果，能够根据该缺陷的像素地址来适当地修复缺陷像素。

然而，在上述以往的液晶面板检查装置中，需要在非点亮检查部A和点亮检查部B中分别设置用于构成各检查部的装置的设置空间，而设备占用空间变大。另外，需要在两个检查部A、B之间移送液晶面板1，并且为了将在非点亮检查部A获得的亮点和在点亮检查部B获得的黑点相关联而需要准确配置液晶面板1，因此，在缩短生产节拍时间这点上不佳。

专利文献1：日本特开2008－40201号公报

发明内容

因此，本发明的目的在于，提供一种能够去除以往的上述缺点且能够迅速且准确地确定液晶面板的缺陷地址的紧凑的液晶面板检查装置。

为了避免以往的设备占用空间问题和在两个检查部A、B之间移送液晶面板，能够想到将点亮检查部B的探头单元2安装于非点亮检查部A。但是，单将点亮检查部B的探头单元2安装于非点亮检查部A，有时存在以下问题：在来自倾斜照明光源8的倾斜照射下，适当的倾斜照射光不能充分到达液晶面板1的与配置有倾斜照明光源的一侧相反的那一侧的周边部，从而在液晶面板1的周边部适当的照射光不足。该不充分的倾斜照射光会妨碍在倾斜照明光源8照射下的非点亮检查部A中迅速且容易地进行亮点的判定作业。

因此，为了在该倾斜照明光源光照射下的非点亮检查中谋求增加液晶面板的周边部的倾斜照射光，基本上，本发明的特征在于，在工作台内设有反射部件，该反射部件以使来自倾斜照明光源的倾斜照射光在不经由配置于液晶面板的下方的偏振片的情况下以适当的入射角向上述液晶面板入射的方式将倾斜照射光的一部分向上述液晶面板的下表面的周边部引导。

即，本发明提供一种液晶面板检查装置，其用于检查没有偏振片的液晶面板，其中，该液晶面板检查装置具备：升降台；工作台，其配置在该升降台之上，并包括具有整体上为矩形的开口部的框体，该工作台利用上述框体支承上述液晶面板的缘部，以便在上述升降台上方保持该液晶面板；第1偏振片和第2偏振片，该第1偏振片和第2偏振片分别配置于上述工作台上的液晶面板的上方和下方，且彼此的偏振方向被保持为规定关系；背光单元，其用于经由上述第2偏振片自上述工作台上的上述液晶面板的下方朝向上述液晶面板的下表面照射照射光；倾斜照明光源，其用于自上述下表面的下方朝向上述液晶面板倾斜地进行照射；探头单元，其用于在上述升降台上升位置对上述液晶面板的像素施加电压，以进行该液晶面板的点亮检查；摄像装置，其在选择性地接收到来自上述背光单元的上述直角的照射光和来自上述倾斜照明光源的倾斜照射光中的任意一种照射光的状态下经由上述第1偏振片拍摄上述液晶面板的上表面；以及反射部件，其配置于上述工作台内，以使来自上述倾斜照明光源的倾斜照射光在不经由上述第2偏振片的情况下以适当的入射角向上述液晶面板入射的方式将上述倾斜照射光的一部分向上述液晶面板的下表面的周边部引导。

采用本申请发明的液晶面板检查装置，在来自设于单个升降台上的背光单元的照射光照射下进行非点亮检查，并替代来自上述背光的照射光而在上述倾斜照明光源照射下进行非点亮检查，进而能够在来自背光单元的照射光照射下进行利用上述探头单元的点亮检查。因此，能够在不必如以往那样将液晶面板自非点亮检查部A移送至点亮检查部B的情况下迅速地进行一系列的检查，并且不需要在两个检查部A、B进行对位。因而，能够以紧凑的装置结构迅速地进行检查，从而能够缩短生产节拍时间。

并且，在上述倾斜照明光源光照射下的非点亮检查中，上述反射部件以使来自上述倾斜照明光源的倾斜照射光不经由第2偏振片地以适当的入射角向上述液晶面板入射的方式将上述倾斜照射光的一部分向上述液晶面板的下表面引导。因而，不会在上述倾斜照明光源光照射下的非点亮检查中发生在上述液晶面板的周边部的倾斜照射光的光量不足的情况。因而，能够消除该光量不足导致的不良，从而能够在上述倾斜照明光源光照射下的非点亮检查中迅速且容易地进行亮点的判定作业。

为了能够与上述液晶面板的大小相对应地向该液晶面板的下表面进行均匀的倾斜照射，能够将上述反射部件以能够绕支承于上述工作台的轴转动的方式进行支承，另外，能够通过用于使上述反射部件绕上述轴转动的驱动装置来将上述反射部件保持为适当的角度。

上述反射部件能够利用上述驱动装置来调整角度，以便将由该反射部件反射而向上述液晶面板的上述下表面入射的入射角设定为60度以上且小于90度。

上述反射部件的上述轴能够沿着上述工作台的上述矩形的开口部的彼此相对的一对边中的一个边配置，上述倾斜照明光源能够以沿着上述一对边中的另一个边延伸的方式配置。上述反射部件和倾斜照明源能够以沿上述矩形开口部的4个边分别相互成对的方式配置。

上述反射部件能够由在上缘经由水平的轴支承于上述工作台的反射镜构成。在该情况下，上述驱动装置能够以将上述反射镜保持为期望的立起角度的方式与上述反射镜联动地连结。

上述驱动装置可以为滚珠丝杠机构和线性马达中的任意一者，滚珠丝杠机构包括能够通过电动马达而旋转的螺杆构件和与该螺杆构件螺纹配合的螺母构件。

上述倾斜照明光源以其高度位置位于比上述第2偏振片高的高度位置的方式支承于上述升降台。另外，上述倾斜照明光源能够经由支承于该升降台的上述背光单元的基座而支承于上述升降台。

上述工作台能够借助间隔构件而与上述升降台隔开间隔地被保持。在该情况下，上述倾斜照明光源能够配置在利用上述间隔构件而在上述工作台与上述升降台之间形成的空间中。

上述工作台的上述框体的上述开口部的各边的尺寸能够进行调整，以便适应大小不同的液晶面板。这样的框体例如通过将各构件以能够平行移动的方式呈井字状组合来实现。

也可以是，不使用能够进行调整的上述框体，而是将该工作台以能够拆卸的方式支承于上述升降台之上，以便将该工作台更换为设有与上述液晶面板相匹配的上述开口部的工作台。

在采用能够根据上述那样的液晶面板的大小而相应地调整上述开口部的工作台、能够更换为设有与上述液晶面板相匹配的上述开口部的工作台的结构的情况下，优选的是将该结构与以上结构进行组合、即将上述反射部件以能够绕支承于上述工作台的轴转动的方式进行支承、并利用用于使上述反射部件绕上述轴转动的驱动装置来将上述反射部件保持为适当的角度的以上结构。其原因在于，不管液晶面板的大小的如何，均能够将倾斜照射光以适当的入射角范围均匀地照射液晶面板。

采用本发明，如上所述，能够在不在两个检查部之间移送液晶面板的情况下在单个装置上进行液晶面板的检查，因此能够谋求检查装置的紧凑化，从而能够谋求短缩生产节拍时间。并且，由于能够在倾斜照明光源光照射下的非点亮检查中迅速且容易地进行亮点的判定作业，因此能够进一步缩短生产节拍时间。

附图说明

图1是概略地表示本发明的液晶面板检查装置的剖视图。

图2是表示处于背光光源光照射下的非点亮（非驱动）检查步骤中的液晶面板检查装置的剖视图。

图3是表示处于倾斜照明光源光照射下的非点亮（非驱动）检查步骤中的液晶面板检查装置的剖视图。

图4是表示处于背光光源光照射下的点亮（驱动）检查步骤中的液晶面板检查装置的剖视图。

图5表示在各检查步骤中由摄像装置获得的摄像画面，图5的（a）是在图2所示的在背光光源光照射下的非点亮（非驱动）检查步骤中获得的摄像画面，图5的（b）是在图3所示的倾斜照明光源光照射下的非点亮（非驱动）检查步骤中获得的摄像画面，图5的（c）是在图4所示的背光光源光照射下的点亮（驱动）检查步骤中获得的摄像画面。

图6是表示本发明的液晶面板检查装置的另一例子的、与图3同样的剖视图。

图7是表示以往的液晶面板检查装置的剖视图。

具体实施方式

本发明的液晶面板检查装置10应用于不具有一对偏振片的液晶面板12的检查。液晶面板12具有矩形的俯视形状，在液晶面板12的一个面（上表面）12a的各边部分上排列有用于对液晶面板12的各像素施加驱动电压的以往公知的电极（未图示）。

液晶面板检查装置10包括：升降台14，其能够沿着在图1中看的上下方向、即铅垂方向（z轴方向）升降；工作台16，其支承于该升降台之上，用于保持作为被检查体的液晶面板12；以及摄像部件18，其是能够自工作台16的上方拍摄保持在该工作台之上的液晶面板12的上表面12a的例如CCD摄像机那样的摄像部件。

升降台14能够沿例如与z轴成直角的xy平面的x、y方向移动，并由能够绕z轴旋转的xyzθ工作台构成。以往公知的背光单元20以位于被保持在工作台16之上的液晶面板12的大致正下方的方式配置在该升降台14之上。背光单元20以其光放射面20a与被保持在工作台16之上的液晶面板12的下表面12b大致平行的方式借助单元基座20b安装于升降台14。

第1偏振片22a和第2偏振片22b以分别位于液晶面板12的上方和下方的方式配置在摄像部件18与背光单元20之间。在图示的例子中，作为摄像部件18，使用了3台摄像机18a、18a、18a，各摄像机18a以使拍摄区域略微重叠的方式并列地配置。另外，3张第1偏振片22a以与各摄像机18a相对应的方式配置。作为替代，也可以利用单个第1偏振片22a覆盖各摄像机18a的拍摄区域。

第2偏振片22b隔着用于谋求光强度的均匀化的光扩散板24而配置在背光单元20的光放射面20a之上。第1偏振片22a和第2偏振片22b以其偏振方向彼此平行的方式被保持。

用于保持液晶面板12的工作台16借助间隔件26以在升降台14的上方与升降台14隔开间隔的方式保持在该升降台14之上，该工作台16具有整体呈矩形的框体28，该框体28具有沿着矩形的液晶面板12的各边配置的边部分。框体28具有矩形的开口部28a，框体28的各边部分支承液晶面板12的对应的各边部分。来自背光单元20的经由上述光扩散板24和第2偏振片22b的光能够通过工作台16的开口部28a，以与液晶面板12的下表面12b成大致直角的角度照射至该下表面12b。

在利用间隔件26而在工作台16与升降台14之间形成的空间30中配置有例如4个直线状的倾斜照明光源32。在图1中示出了该4个倾斜照明光源32中的彼此相对的两个倾斜照明光源32。各倾斜照明光源32配置为与液晶面板12的对应的各边大致平行地延伸且相互共同包围背光单元20的光放射面20a。另外，各倾斜照明光源32以被保持在液晶面板12的外侧区域的下方的、比第2偏振片22b高的高度位置的方式利用托架32a而支承于背光单元20的单元基座20b之上。也可以是，不将倾斜照明光源32支承于单元基座20b，而将倾斜照明光源32直接支承于升降台14。

在工作台16的内侧即框体28的开口部28a的一侧，沿着框体28的对应的边部分配置有例如反射镜那样的反射部件34，该反射部件34以使其反射面34a朝向开口部28a的中央的方式配置。各反射部件34通过沿大致水平配置且支承于工作台16的轴36而以在上缘能够转动的方式支承于工作台16。另外，在工作台16上设有用于使各反射部件34绕轴36转动的驱动装置38。

各驱动装置38与对应的反射部件34的下缘联动地连结，以便调整反射面34a与水平面之间的夹角、即反射部件34的立起角度θ且将该立起角度θ保持为期望的设定角。作为这样的驱动装置38，能够采用包括例如未图示的电动马达、能够通过该电动马达而旋转的螺杆构件以及与该螺杆构件螺纹配合的螺母构件在内的以往公知的滚珠丝杠机构、或者线性马达等。

通过驱动装置38将各立起角度θ设定为小于90度，从而如后述那样配置于开口部28a的对应的各边中的一个边的反射部件34将沿着与该一个边相对的另一个边配置倾斜照明光源32所射出的倾斜照射光以向液晶面板12的下表面12b入射的入射角为适当大小的方式引导到下表面12b，像这样各反射部件34将倾斜照明光源32所射出的倾斜照射光分别引导到下表面12b。

在图1所示的例子中，为了能够更换具有与液晶面板12的大小相匹配的开口部28a的工作台16，工作台16通过未图示的螺栓螺母组装体或未图示的能够解除夹持的夹持机构等而以能够拆卸的方式与间隔件26联接。

在图1中，用实线示出了工作台16，该工作台16具有与实线所示的液晶面板12相应的大小的开口部28a，并用假想线示出了工作台16′，该工作台16′具有与尺寸比液晶面板12小的液晶面板12′相应的大小的开口部28a′。

也可以是，不与液晶面板12的尺寸相对应地将整个工作台16如上述那样更换为工作台16′，而是如例如日本特开2007－163426号公报公开那样将4个边构件以能够平行移动的方式呈井字状（日文：井桁状）或卍状联接，由此构成具有尺寸能够调整的开口部28a的框体28。

为了进行工作台16上的液晶面板12的点亮检查，在该工作台16的上方配置有用于驱动该液晶面板的以往公知的探头单元40。探头单元40使其与液晶面板12的上述电极相对应的探头40a在升降台14的上升位置处与液晶面板12的上述电极相接触。

摄像部件18以在进行液晶面板12的检查时与液晶面板12之间的距离成为恒定的方式设定。由各摄像部件18获得的图像数据被输送至以往公知的图像处理装置42。

以下，对使用液晶面板检查装置10来检查液晶面板12的步骤进行说明。

背光照射光照射下的非点亮检查

在背光照射光照射下的非点亮检查中，倾斜照明光源32处于熄灭状态，点亮背光单元20即背光光源。另外，如图2所示，探头单元40的各探头40a处于不与液晶面板12的上述电极接触的非接触状态，因此，液晶面板12处于非点亮（非驱动）状态。

在该非点亮状态中，自背光单元20的光放射面20a放射出的光在被光扩散板24较佳地分散的状态下透过第2偏振片22b。来自背光单元20的光经由第2偏振片22b被转换为偏振光，该偏振光与液晶面板12成大致直角地向液晶面板12入射。由于液晶面板12处于非驱动状态，因此，上述偏振光因透过液晶面板12而使其偏振面旋转90度。该偏振面被旋转90度后的偏振光被第1偏振片22a阻断而不能透过。

其结果，各摄像机18a没有捕捉到上述偏振光，只要在液晶面板12的上表面12a或下表面12b没有附着异物且液晶面板12的像素不存在缺陷，则各摄像机18a拍摄到通过第1偏振片22a后的液晶面板12的图像，并且该图像的数据借助图像处理装置42处理而得到的液晶面板12的拍摄画面为黑暗画面。但是，当在液晶面板12的上表面12a、下表面12b附着有异物或在液晶面板12的像素内部具有异物时，上述异物会导致上述偏振光散射，该散射光通过第1偏振片22a而作为亮点被摄像部件18捕捉到。

对于来自上述背光单元20的光经由光扩散板24和第2偏振片22b后得到的上述偏振光，上述偏振光不会被保持为作为近似直角的角度θ的立起角度的反射面34a实质地向液晶面板12的周边部反射。

图5的（a）表示从图像处理装置42获得的散布在上述黑暗画面之上的亮点的例子。在图5的（a）所示的例子中，观察到4个亮点44a、44b、44c、44d。

需要辨别上述4个亮点44a、44b、44c、44d中的各亮点是由于附着于液晶面板12的上表面12a、下表面12b的异物而不是像素缺陷所导致的，还是由于液晶面板12的像素内部的被视作像素缺陷的异物所导致的。为了判定该异物的附着导致的亮点和像素缺陷导致的亮点，要进行如下叙述的倾斜照明光源光照射下的非点亮检查。

倾斜照明光源光照射下的非点亮检查

在倾斜照明光源下的非点亮检查中，没有点亮背光单元20，而是点亮倾斜照明光源32，背光单元20处于熄灭状态。另外，如图3所示，由于探头单元40的各探头40a处于没有与液晶面板12的上述电极接触的非接触状态，因此，液晶面板12处于非点亮（非驱动）状态。

来自倾斜照射光源32的光在不经由光扩散板24和第2偏振片22b的情况下向斜上方朝向工作台16上的液晶面板12的下表面12b照射。沿着液晶面板12的各边配置有倾斜照射光源32，但来自该倾斜照明光源的光难以充分到达液晶面板12的与该倾斜照射光源接近的对应的上述边的附近。例如，以图3观察时，自位于图中的右方的倾斜照射光源32放射的倾斜光难以直接地充分到达液晶面板12的位于图中右方的周边部。同样地，自位于图中的左方的倾斜照射光源32放射的倾斜光难以直接地充分到达液晶面板12的位于图中左方的周边部。

然而，在本发明的液晶面板检查装置10中，设有通过轴36以能够转动的方式支承于工作台16的、利用驱动装置38来将立起角度调整为适当的角度的反射部件34。因此，例如，自设于图3的右方的倾斜照射光源32放射的倾斜光的一部分被设于相反侧即图3的左方的反射部件34的反射面34a以α度的入射角朝向液晶面板12的下表面12b的位于图中右方的周边部引导。同样地，自设于图3的左方的倾斜照射光源32放射的倾斜光的一部分被设于相反侧即图3的右方的反射部件34的反射面34a以α度的入射角朝向液晶面板12的下表面12b的位于图中左方的周边部引导。

上述反射部件34的反射面34a的反射光使液晶面板12的各周边部的光量增加，因此能够消除该周边部的光量不足。以能够使向反射面34a入射的入射角α成为60度以上且小于90度的方式将反射部件34的上述立起角度θ调整为小于90度的适当的角度。

对于来自倾斜照射光源32的倾斜的照射光，只要没有发生散射就不会经由第1偏振片22a而到达摄像部件18。然而，当在液晶面板12的上表面12a或下表面12b附着有异物时，该异物的散射光的一部分会经由第1偏振片22a而被摄像部件18捕捉。另外，液晶面板12内的缺陷也会产生散射，但不会产生如上述异物所产生的散射那样较强的散射。其结果，在倾斜照射光源32的倾斜照射光照射下，在液晶面板12的面12a的经由第1偏振片22a而被摄像部件18拍摄到的黑暗画面中，如图5的（b）所示，能够在与图5的（a）所示的位置相同的位置处观察到4个亮点44a、44b、44c、44d。然而，由于在异物导致的亮点与上述缺陷导致的亮点之间产生明显的亮度差，因此，图像处理装置42能够通过在该图像处理装置中设定的适当的阈值来借助各亮点的亮度差辨别异物导致的亮点和像素缺陷导致的亮点。在图示的例子中，亮点44b、44c、44d是异物导致的亮点，亮度比亮点44b、44c、44d的亮度低的亮点44a是像素缺陷导致的亮点。因而，能够判定亮点44a是作为检测对象的像素缺陷。

由于来自该倾斜照射光源32的倾斜的照射光如上述那样借助反射部件34而补充液晶面板12的周边部的光量不足，因此使期望的光量遍布液晶面板12的大致整个领域。因而，即使上述异物导致的亮点和像素缺陷导致的亮点位于液晶面板12的周边部，也能够通过各亮点的亮度差来比较容易且可靠地辨别两者。

点亮检查

接着，对工作台16上的液晶面板12进行各像素被驱动的状态下的点亮检查。在该点亮检查中，如图4所示，探头单元40的各探头40a与工作台16上的液晶面板12的对应的上述电极接触而向各像素供给驱动电压。因此，液晶面板12的各像素不会使透过各像素的光的偏振面旋转。因而，当替代倾斜照射光源32而再次点亮背光单元20时，来自背光单元20的光经由光扩散板24和第2偏振片22b而被转换为均匀的偏振光，但由于液晶面板12处于驱动状态，因此，该偏振光在其偏振面没有旋转的情况下透过液晶面板12而到达第1偏振片22a。该第1偏振片22a容许偏振面没有旋转的上述偏振光透过。其结果，对于液晶面板12的由摄像部件18获得的图像，其在点亮画面即液晶面板12为黑白面板时成为白色画面，在液晶面板12为彩色面板时成为与滤光片的配色相匹配的彩色画面。

在该点亮画面中，如图5的（c）所示，上述像素缺陷和异物分别作为对应的黑点44a、44b、44c、44d被捕捉到，并且在上述点亮画面上捕捉到用于划分各像素的黑色矩阵46。根据由图5的（a）和图5的（b）获得的黑色图像或其图像数据判定为亮点44a是像素缺陷导致的，能够容易地根据包括黑色矩阵46的图5的（c）的图像或其图像数据来获得点亮画面上的与该亮点44a相对应的黑点44a的像素地址。因而，能够容易地获得图5的（c）的黑点44a的像素地址。

如上所述，采用本发明的液晶面板检查装置10，能够在单个液晶面板检查装置10的单个工作台16上实施液晶面板12的上述全部检查步骤，因此能够谋求检查装置的紧凑化，从而能够谋求短缩生产节拍时间。并且，在倾斜照明光源32的倾斜光照射下的非点亮检查中，能够利用反射部件34向液晶面板12的周边部引导充分的照射光，因此，即使在液晶面板12的周边部，也能够迅速且容易地判定附着于液晶面板12的面12a、12b的异物导致的亮点和像素缺陷导致的亮点，从而能够进一步短缩生产节拍时间。

图6示出如图1中的假想线所示那样的、具有与尺寸比图1中的实线所示的液晶面板12的尺寸小的液晶面板12′相应的大小的开口部28a′的工作台16′的例子，是与图3同样地表示倾斜照明光源光照射下的非点亮检查的图。

如图6所示，与处理大型的液晶面板12的情况相比，在处理小型的液晶面板12′的情况下，反射部件34的立起角度θ设定为比前者情况下的立起角度θ小的值。与上述大型的液晶面板12的情况同样地，也能够通过操作工作台16′的驱动装置38′而将该反射部件34的立起角度θ设定为使向液晶面板12′的下表面12b′入射的入射角α成为适当的角度范围（60度以上且小于90度）那样的角度，以便能够确保向液晶面板12′的周边部引导充分的光量。

产业上的可利用性

本发明并不限定于上述实施例，只要不脱离其主旨，就能够进行各种变更。例如，能够使反射部件的立起角度θ为固定。另外，能够将单个摄像机用作摄像部件18，并能够根据需要的图像分辨率而增加摄像机的台数。

附图标记说明

10、液晶面板检查装置；12、12′、液晶面板；12a、12a′、液晶面板的上表面；12b、12b′、液晶面板的下表面；14、升降台；16、16′、工作台；18、摄像部件；20、背光单元；22a、22b、偏振片；26、间隔件；28、框体；32、倾斜照射光源；34、反射部件；34a、反射面；36、轴；38、驱动装置；40、探头单元。

Claims (10)

1.一种液晶面板检查装置，其用于检查没有偏振片的液晶面板，其中，

该液晶面板检查装置具备：

升降台；

工作台，其配置在该升降台之上，并包括具有整体上为矩形的开口部的框体，该工作台利用上述框体支承上述液晶面板的缘部，以便在上述升降台上方保持该液晶面板；

第1偏振片和第2偏振片，该第1偏振片和第2偏振片分别配置于上述工作台上的液晶面板的上方和下方，且彼此的偏振方向被保持为规定关系；

背光单元，其用于经由上述第2偏振片自上述工作台上的上述液晶面板的下方朝向上述液晶面板的下表面照射照射光；

倾斜照明光源，其用于自上述下表面的下方朝向上述液晶面板倾斜地进行照射；

探头单元，其用于在上述升降台上升位置对上述液晶面板的像素施加电压，以进行该液晶面板的点亮检查；

摄像装置，其在选择性地接收到来自上述背光单元的上述照射光和来自上述倾斜照明光源的倾斜照射光中的任意一种照射光的状态下经由上述第1偏振片拍摄上述液晶面板的上表面；以及

反射部件，其配置于上述工作台内，以使来自上述倾斜照明光源的倾斜照射光在不经由上述第2偏振片的情况下以适当的入射角向上述液晶面板入射的方式将上述倾斜照射光的一部分向上述液晶面板的下表面的周边部引导。

2.根据权利要求1所述的液晶面板检查装置，其中，

为了能够与上述液晶面板的大小相对应地向该液晶面板的下表面进行均匀的倾斜照射，上述反射部件以能够绕支承于上述工作台的轴转动的方式被支承，通过用于使上述反射部件绕上述轴转动的驱动装置来将上述反射部件保持为适当的角度。

3.根据权利要求2所述的液晶面板检查装置，其中，

上述反射部件利用上述驱动装置来调整角度，以便将由该反射部件反射而向上述液晶面板的上述下表面入射的入射角设定为60度以上且小于90度。

4.根据权利要求2或3所述的液晶面板检查装置，其中，

上述反射部件的上述轴沿着上述工作台的上述矩形的开口部的彼此相对的一对边中的一个边配置，上述倾斜照明光源以沿着上述一对边中的另一个边延伸的方式配置。

5.根据权利要求4所述的液晶面板检查装置，其中，

上述反射部件由在上缘经由水平的轴支承于上述工作台的反射镜构成，上述驱动装置以将上述反射镜保持为期望的立起角度的方式与上述反射镜联动地连结。

6.根据权利要求5所述的液晶面板检查装置，其中，

上述驱动装置为滚珠丝杠机构和线性马达中的任意一者，滚珠丝杠机构包括能够通过电动马达而旋转的螺杆构件和与该螺杆构件螺纹配合的螺母构件。

7.根据权利要求1所述的液晶面板检查装置，其中，

上述倾斜照明光源以其高度位置位于比上述第2偏振片高的高度位置的方式支承于上述升降台。

8.根据权利要求7所述的液晶面板检查装置，其中，

上述工作台借助间隔构件而与上述升降台隔开间隔地被保持，上述倾斜照明光源配置在利用上述间隔构件而在上述工作台与上述升降台之间形成的空间中。

9.根据权利要求1所述的液晶面板检查装置，其中，

上述工作台的上述框体的上述开口部的各边的尺寸能够进行调整，以便适应大小不同的液晶面板。

10.根据权利要求1所述的液晶面板检查装置，其中，

将上述工作台以能够拆卸的方式支承于上述升降台之上，以便能够将该工作台更换为设有与上述液晶面板相匹配的上述开口部的工作台。