JP2008076986A - 検査装置及び検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】例えば、同一の検査装置によって、液晶装置及び液晶装置モジュールの両方を検査する。
【解決手段】第２検査工程において、液晶装置モジュール１００をステージ２７１に固定した状態で、図中上側である液晶装置１の光入射面側から第２検査光を液晶装置１に照射しながら、穴部２７３を介して第２検査用端子２６１を図中矢印Ｂに沿って端子１１２に接触させることが可能である。これにより、透過光に応じてスクリーン２１９に投写される投写画像に基づいて、接続基板１１０の電気的に接続された液晶装置１の輝度、およびコントラスト等の光学特性を検査できる。
【選択図】図８

Description

本発明は、例えば、投写型表示装置のライトバルブに用いられる液晶パネル等の電気光学装置と、このような電気光学装置及び電気光学装置に電気的に接続されるＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）等の接続基板を備えた電気光学装置モジュールとの両方を検査可能な検査装置、及びそのような検査装置で実行可能な検査方法の技術分野に関する。

液晶プロジェクタ等の投写型表示装置のライトバルブ等に用いられる液晶装置では、その表示性能を検査する方法として、例えば、実際に液晶装置を用いて液晶層内のゴミや、異物または基板のキズなどの欠陥を検出する方法、または、投写された投写画像の輝度或いはコントラストを検査する方法が用いられることが多い（例えば、特許文献１参照。）。このような検査方法を行うことが可能な検査装置の一例として、検査装置に含まれる光学系を構成するレンズの表面に付着したゴミ或いはレンズに生じた傷を検出しないように検査精度が高められた検査装置も提案されている（例えば、特許文献２参照。）。

また、液晶装置の光入射側及び光出射側に配置される偏光板の夫々の偏光軸が相互になす角度を調整可能な検査装置、或いはこのような検査装置において、検査対象である液晶パネルの位置決めや液晶パネルの端子部に接触させるプローブの接触精度を高めることが可能な検査装置も提案されている（例えば、特許文献３乃至５参照。）。

特開平５−１８８３４５号公報 特開２００５−１０７４０２号公報 特開２００１−２５５５２６号公報 特開２００２−２６８０４４号公報 特開２００４−１０１９４１号公報

しかしながら、特許文献１乃至５に開示された検査装置或いは検査方法では、検査対象である、液晶装置或いは液晶装置にＦＰＣ等の接続基板を電気的に接続してなる液晶装置モジュールに対して、光源及び光学系の相対的な位置は一定であり、同じ検査装置を用いて液晶装置及び液晶装置モジュールの液晶層内のゴミや、異物または基板のキズなどの欠陥、輝度或いはコントラスト等の光学特性を検査することが困難であるという問題点がある。より具体的には、ＦＰＣ等の接続基板の両端の夫々に設けられた端子は、接続基板の両面のうち一方の面側で接続先である他の端子に接続されるため、液晶装置の光源から出射される検査用の光が液晶装置に対して一定の方向から入射される場合には、液晶装置を基準として一定の方向から液晶装置の端子及び接続基板の端子の夫々に、液晶装置を駆動させるための信号を供給するプローブを接触させることができない。したがって、液晶装置及び液晶装置モジュールの夫々を同一の検査装置を用いて検査することが困難となり、液晶装置の検査結果、及び液晶装置モジュールの検査結果を直接比較することによって、液晶装置に生じた不具合の原因を迅速、且つ確実に特定することが難しい。

加えて、液晶装置に設けられる端子のピッチが、ＦＰＣ等の接続基板に設けられる端子のピッチより狭い場合は、液晶装置の端子にプローブを接触させる際に、接続基板の端子にプローブを接触させる場合に比べて高いプロービング精度、即ち、より高いプローブの位置決め精度が要求される。

よって、本発明は上記問題点等に鑑みてなされたものであり、例えば、液晶装置等の電気光学装置、及びそのような電気光学装置を有する電気光学装置モジュールの両方を検査可能な検査装置、及び検査方法を提供することを課題とする。

本発明に係る検査装置は上記課題を解決するために、電気光学装置、又は、前記電気光学装置及び接続基板を有する電気光学装置モジュールを検査するための検査装置であって、前記電気光学装置又は前記電気光学装置モジュールが載置されるステージと、第１検査用端子を備えた第１プロービング手段と、前記ステージに対して前記第１プロービング手段とは反対側に設けられ、第２検査用端子を備えた第２プロービング手段と、前記ステージに対して、前記第１プロービング手段側に設けられた、検査用の光を照射するための光源とを備える。

本発明に係る検査装置によれば、例えば、投写型表示装置の一例であるプロジェクタのライトバルブに用いられる液晶装置等の電気光学装置、及び当該電気光学装置にＦＰＣ等の接続基板を電気的に接続してなる電気光学装置モジュールの両方を検査可能である。このような電気光学装置及び電気光学装置モジュールは、液晶層内のゴミや、異物または基板のキズなどの欠陥、または、光源手段から出射される検査用の光に対する透過率、及びコントラスト等の光学特性が検知されることによって別々に検査される。

第１プロービング手段は、例えば電気光学装置の検査時に、第１検査用端子を電気光学装置に接触させる。第１検査用端子は、例えば電気光学装置の検査時に、電気光学装置を駆動するために検査用のデータ信号を含む各種信号を当該電気光学装置に供給する端子である。ここで、電気光学装置は、例えば、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）及び画素電極が形成されたＴＦＴアレイ基板と、ＴＦＴアレイ基板に対向するように配置された対向基板と、これら基板間に挟持された液晶層とを有しており、光源に対して、光入射側である対向基板から検査用の光が照射される。

第２プロービング手段は、電気光学装置又は電気光学装置モジュールが載置されるステージに対して第１プロービング手段とは反対側に設けられ、第２検査用端子を備えている。第２プロービング手段は、電気光学装置モジュールの検査時に、接続基板に第２検査用端子を接触させる。「電気光学装置モジュール」とは、例えば、投写型表示装置の動作時に、当該投写型表示装置によって投写されるべき画像を表示する表示領域が規定された電気光学装置と、外部回路から各種信号を供給するために当該電気光学装置に電気的に接続された接続基板とを含んでいる。電気光学装置に接続基板を電気的に接続した状態で、当該電気光学装置における傷や光学特性等を検査するためには、例えば、電気光学装置が有する対向基板における液晶層に臨まない側の面を光入射面として、光源から検査用の光を入射させることになる。即ち、電気光学装置の光源に対する向きと、電気光学装置モジュールの一部である電気光学装置の向きとは同一の向きである。

しかしながら、例えば、接続基板の両端に設けられた端子は、例えば当該接続基板の一方の面に設けられているため、接続基板の一方の端に設けられた端子を電気光学装置に接続した状態では、第１プロービング手段によって接続基板の他方の端に設けられた端子に光入射面側から第１検査用端子を接触させることができない。

そこで、本発明に係る検査装置では、第２プロービング手段によって電気光学装置の光出射面側から第２検査用端子を接触させることによって、電気光学装置モジュールを検査可能である。尚、第２プロービング手段も、第１プロービング手段と同様に、例えば、汎用の駆動機構を備えた駆動ユニットを有しており、当該駆動ユニットによって第２検査用端子を移動させることによって当該第２検査用端子を端子部に接触可能である。

このように、本発明に係る検査装置によれば、電気光学装置及び電気光学装置モジュールの両方を検査できるため、これらの検査結果、より具体的には、例えば電気光学装置単体が有する傷の有無や光学特性と、電気光学装置モジュールにおける電気光学装置が有する傷の有無や光学特性とを直接比較することができ、電気光学装置に生じた不具合の原因を迅速、且つ確実に特定することが可能である。より具体的には、同一の検査装置を用いて電気光学装置及び電気光学装置モジュールを検査できるため、検査装置の光学系等の違いに起因する測定誤差がなく、不具合の原因を迅速且つ確実に特定可能である。

加えて、本発明に係る検査装置によれば、電気光学装置単体と、電気光学装置モジュールとの両方を検査できることから、互いに異なる検査装置を用いて電気光学装置及び電気光学装置モジュールの夫々を検査する場合に比べて、電気光学装置及び電気光学装置モジュールの検査に要するコストを低減できる。

本発明に係る検査装置の一の態様では、前記電気光学装置モジュール又は前記電気光学装置が前記ステージに固定された状態で、当該電気光学装置モジュール又は当該電気光学装置の端子部に重なるように前記ステージに設けられた穴部を備えていてもよい。

この態様によれば、電気光学装置モジュールをステージに載置した状態では、端子部は、電気光学装置の光出射面側であるステージ側に臨んでいる。したがって、このままでは、光出射面側から第２検査用端子を端子部に接触させることができなくなる。

そこで、この態様では、電気光学装置モジュール又は電気光学装置がステージに固定された状態で、ステージに設けられた穴部を介して第２検査用端子を端子部に接触させることができ、電気光学装置モジュールの検査が可能となる。尚、穴部は、端子部が光出射面側に臨むように設けられていればよいが、例えば、接続基板における端子部の平面形状、或いは、端子部を構成する複数の端子の配列状態に応じて第２検査用端子をこれら端子に接触可能なように形成されているほうが好ましい。

本発明に係る検査装置の他の態様では、前記第１検査用端子の位置情報を取得するための位置情報取得手段を備えていてもよい。

この態様によれば、カメラ等の位置情報取得手段によって第１検査用端子及び端子部の夫々の位置情報を取得しながら、第１検査用端子及び端子部の夫々の位置合わせが可能となり、第１検査用端子及び端子部を確実に接触させることが可能である。

本発明に係る検査装置の他の態様では、前記第２プロービング手段が前記電気光学装置モジュール又は前記電気光学装置の端子部に接触する際に、当該電気光学装置モジュール又は当該電気光学装置を押さえるための押さえ部材を備えていてもよい。

この態様によれば、電気光学装置、又は電気光学装置モジュールを固定した状態でこれら電気光学装置、又は電気光学装置モジュールを検査できる。

この態様では、前記押さえ部材は、前記電気光学装置モジュール又は前記電気光学装置を挿入するための開口部と、前記電気光学装置モジュール又は前記電気光学装置に当接するための当接部とを備えていてもよい。

この態様によれば、確実に前記電気光学装置モジュール又は前記電気光学装置を固定できる。

本発明に係る検査方法は上記課題を解決するために、電気光学装置と、前記電気光学装置及び接続基板を有する電気光学装置モジュールとを検査するための検査方法であって、前記電気光学装置の一方の側から検査光を照射すると共に、前記電気光学装置に設けられた第１端子部に、前記検査光の照射面側から第１検査用端子を接触させる第１検査工程と、前記一方の側から検査光を照射すると共に、前記電気光学装置モジュールの接続基板に設けられた第２端子部に、前記照射面とは反対側から第２検査用端子を接触させる第２検査工程とを備える。

本発明に係る検査方法によれば、上述した検査装置と同様に、電気光学装置及び電気光学装置モジュールに生じる不具合の原因を迅速且つ確実に特定可能である。加えて、本発明に係る検査方法によれば、電気光学装置単体と、電気光学装置モジュールとの両方を検査できることから、互いに異なる検査装置を用いて電気光学装置及び電気光学装置モジュールの夫々を検査する場合に比べて、電気光学装置及び電気光学装置モジュールの検査に要するコストを低減できる。

本発明のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施形態から明らかにされる。

以下、図面を参照しながら、本発明に係る検査装置及び検査方法の各実施形態を説明する。

＜１：電気光学装置＞
先ず、図１及び図２を参照しながら、本実施形態に係る検査装置によって検査される電気光学装置の一例である液晶装置を説明する。本実施形態に係る検査装置によって検査される液晶装置は、液晶プロジェクタ等の投写型表示装置のライトバルブに用いられる。図１は、本実施形態に係る検査装置によって検査される液晶装置を対向基板側から見た平面図であり、図２は、図１のＩＩ−ＩＩ´断面図である。ここでは、液晶装置の一例である駆動回路内蔵型のＴＦＴアクティブマトリクス駆動方式の液晶装置を例に挙げている。

図１及び図２において、液晶装置１では、ＴＦＴアレイ基板１０と、対向基板２０とが対向配置されている。ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間に液晶層５０が封入されており、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とは、画像表示領域１０ａの周囲に位置するシール領域に設けられたシール材５２により相互に接着されている。

シール材５２は、両基板を貼り合わせるための、例えば紫外線硬化樹脂、熱硬化樹脂等からなり、製造プロセスにおいてＴＦＴアレイ基板１０上に塗布された後、紫外線照射、加熱等により硬化させられたものである。シール材５２中には、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間隔（基板間ギャップ）を所定値とするためのグラスファイバ或いはガラスビーズ等のギャップ材５６が散布されている。したがって、液晶装置１は、ギャップが均一であり、プロジェクタのライトバルブ用として小型で拡大表示を行うのに適している。

シール材５２が配置されたシール領域の内側に並行して、画像表示領域１０ａの額縁領域を規定する遮光性の額縁遮光膜５３が、対向基板２０側に設けられている。但し、このような額縁遮光膜５３の一部又は全部は、対向基板２０上において、電極より上層側に配置されて形成されてもよいし、ＴＦＴアレイ基板１０側に内蔵遮光膜として形成されてもよい。

画像表示領域１０ａの周辺に位置する周辺領域のうち、シール材５２が配置されたシール領域の外側に位置する領域には、データ線駆動回路１０１、及び、本発明の「端子部」の一例を構成する複数の外部回路接続端子１０２がＴＦＴアレイ基板１０の一辺に沿って複数設けられている。外部回路接続端子１０２は、液晶装置１の検査時に検査用の光を液晶装置１に入射させる光入射面側に臨むように、ＴＦＴアレイ基板１０に設けられている。後に詳細に説明するように、液晶装置１の検査時には、外部回路に電気的に接続された第１検査用端子を外部回路接続端子１０２に接触させた状態で電源及び各種信号が外部回路接続端子１０２を介して液晶装置１に供給される。これにより液晶装置１が動作状態となり、液晶装置１の画像表示領域１０ａの液晶層５０内のゴミや、異物または基板のキズなどの欠陥の有無、または、輝度、及びコントラスト等の光学特性が検査される。尚、液晶装置１の検査時には、液晶層５０から見て図２中上側である対向基板２０の側が、検査用の光を液晶装置１に入射させる光入射面側となり、図２中下側、即ち液晶層５０から見てＴＦＴアレイ基板１０側が、液晶装置を透過した透過光が出射される光出射面側になる。

走査線駆動回路１０４は、この一辺に隣接する２辺のいずれかに沿い、且つ、額縁遮光膜５３に覆われるようにして設けられている。尚、走査線駆動回路１０４を、データ線駆動回路１０１及び外部回路接続端子１０２が設けられたＴＦＴアレイ基板１０の一辺に隣接する２辺に沿って設けるようにしてもよい。この場合、ＴＦＴアレイ基板１０の残る一辺に沿って設けられた複数の配線によって、二つの走査線駆動回路１０４は互いに接続されるようにする。

対向基板２０の４つのコーナー部には、両基板間の上下導通端子として機能する上下導通材１０６が配置されている。他方、ＴＦＴアレイ基板１０にはこれらのコーナー部に対向する領域において上下導通端子が設けられている。これらにより、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間で電気的な導通をとることができる。

図２において、ＴＦＴアレイ基板１０上には、画素スイッチング用のＴＦＴ（Thin Film Transistor；以下適宜、“ＴＦＴ”と称する。）や走査線、データ線等の配線が形成された後の画素電極９ａ上に、配向膜１６が形成されている。他方、詳細な構成については省略するが、液晶装置１において、対向基板２０に形成された電極が、画素電極９ａと対向するように配置されており、この電極上には、配向膜２２が形成されている。尚、ＴＦＴアレイ基板１０には、例えば、石英やプラスチック等の透明基板が用いられる。

ＴＦＴアレイ基板１０又は対向基板２０上において、配向膜１６又は２２は、例えばポリイミド等の有機材料により形成される。本実施形態では、ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０のいずれか一方上にのみ配向膜を形成するか、或いはこれらのいずれか一方上に形成される配向膜を無機材料により形成するようにしてもよい。

図１及び図２に示したＴＦＴアレイ基板１０上には、これらのデータ線駆動回路１０１、走査線駆動回路１０４等に加えて、画像信号線上の画像信号をサンプリングしてデータ線に供給するサンプリング回路、複数のデータ線に所定電圧レベルのプリチャージ信号を画像信号に先行して各々供給するプリチャージ回路、製造途中や出荷時の当該電気光学装置の品質、欠陥等を検査するための検査回路等を形成してもよい。

＜２：電気光学装置モジュール＞
次に、図３及び図４を参照しながら、本実施形態に係る検査装置によって検査される電気光学装置モジュールを説明する。図３は、本実施形態に係る検査装置によって検査される電気光学装置モジュールの一例である液晶装置モジュール１００の平面図であり、図４は、図３のＩＶ−ＩＶ´断面図である。尚、以下では、液晶装置１と共通する部分に共通の参照符号を付し、詳細な説明を省略する。

図３において、液晶装置モジュール１００は、液晶装置１と、液晶装置１に電気的に接続されたＦＰＣ等の接続基板１１０とを備えて構成されている。

接続基板１１０は、図中Ｙ方向に沿って延びており、且つ屈曲性を有するフィルム状の基板本体１１３、基板本体１１３の一端に設けられ、且つ外部回路接続端子１０２に電気的に接続された端子１１１（図４参照。）、及び基板本体１１３の他端に設けられており、本発明に係る「端子部」の一例を構成する端子１１２を備えている。

端子１１２は、基板本体１１３の他端に図中Ｘ方向に沿って複数設けられている。外部回路接続端子１０２の図中Ｘ方向に沿ったピッチＰ１は、複数の端子１１２の図中Ｘ方向に沿ったピッチＰ２に比べて狭い。したがって、接続基板１１０が接続されていない液晶装置１単体を検査する際には、端子１１２に検査用の端子を接触させる場合に比べてより高い精度で検査用の端子を位置決めして外部回路接続端子１０２に接触させる必要が生じる。後述するように、本実施形態に係る検査装置によれば、カメラによって取得された外部回路接続端子１０２及び第１検査用端子の夫々の位置情報に基づいて、これら端子の接触を精度良く、且つ確実に行うことが可能である。

図４において、液晶装置モジュール１００の検査時には、液晶装置１の検査時と同様に、液晶層５０から見て対向基板２０が配置された側（即ち、図中上側）が、検査用の光を液晶装置１に入射させる光入射面側になり、液晶層５０から見てＴＦＴアレイ基板１０が配置された側（即ち、図中下側）が、光出射面側になる。

外部回路接続端子１０２は、基板本体１１３の一端に設けられた端子１１１に電気的に接続されている。端子１１１及び１１２は、基板本体１１３の両面うち光出射面側に臨む面に設けられている。したがって、液晶装置１及び液晶装置モジュール１００の夫々を検査する検査工程において、検査用の光を液晶装置１及び液晶装置モジュール１００の夫々に照射する光源と、検査対象である液晶装置１及び液晶装置モジュール１００との相対的な位置が一定である場合、言い換えれば、検査装置において光源に対して一定の方向に配設されたステージに、検査工程毎に液晶装置１及び液晶装置モジュール１００を載置した場合、一定の方向から検査用の端子を外部回路接続端子１０２及び端子１１２の夫々に接触させることが検査装置の構造上困難となる。より具体的には、後述する検査装置において、液晶装置１及び液晶装置モジュール１００の夫々の光入射面側から検査用の光が照射されるため、液晶装置１単体の検査時に、光入射面側から外部回路接続端子１０２に接触させた検査用の端子を、液晶装置モジュール１００の検査時にそのまま用いたとしても、光入射面側から検査用の端子を端子１１２に接触させることができない。

そこで、後述する本実施形態に係る検査装置によれば、液晶装置１及び液晶装置モジュール１００の夫々の検査時に、互いに異なる検査用の端子を光入射面側及び光出射面側の夫々から外部回路接続端子１０２及び端子１１２の夫々に接触させることによって、液晶装置１及び液晶装置モジュール１００を動作状態に切り換えて、これら液晶装置１及び液晶装置モジュール１００における欠陥の有無及び光学特性を検査することが可能である。

＜３：検査装置＞
次に、図５乃至図８を参照しながら、本実施形態に係る検査装置の実施形態を説明する。本実施形態に係る検査装置は、上述した液晶装置及び液晶装置モジュールの夫々を順次入れ替えて検査することが可能である。図５は、本実施形態に係る検査装置の構成を図式的に示した図式的構成図である。図６は、検査対象である液晶装置１がステージに載置された検査装置の構成の一部を詳細に示した要部断面図である。図７は、検査対象である液晶装置モジュール１００がステージに載置された検査装置の構成の一部を詳細に示した要部平面図である。図８は、検査対象である液晶装置モジュール１００がステージに載置された検査装置の構成の一部を詳細に示した要部断面図である。

図５において、検査装置２００は、光源２１０、液晶装置１及び液晶装置モジュール１００の夫々を検査する第１検査工程及び第２検査工程の夫々において、光源２１０から出射された第１検査光及び第２検査光を液晶装置１及び液晶装置モジュール１００の夫々に照射する検査光学系２０５、ステージユニット２７０、液晶装置１を検査する第１検査工程において第１検査用端子２５１を液晶装置１に対して相対的に移動させて外部回路接続端子１０２に接触させるプロービングユニット２５０、液晶装置モジュール１００を検査する第２検査工程において第２検査用端子２６１を液晶装置モジュール１００に対して相対的に移動させて端子１１２に接触させるプロービングユニット２６０、及びカメラ２３０を備えている。プロービングユニット２５０及び２６０の夫々が、本発明に係る「第１プロービング手段」及び「第２プロービング手段」の夫々一例である。カメラ２３０は、本発明に係る「位置情報取得手段」の一例である。

検査光学系２０５は、プロジェクタ用の光学系に対応して設計された第１のマルチレンズ２２０、検査用の光の光量を調節する光量調節フィルタとしてのＮＤ（ｎｅｕｔｒａｌ ｄｅｎｓｉｔｙ）フィルタ２２１、紫外線フィルタ２２２、第２のマルチレンズ２２３、ＰＢＳ（Ｐｏｌａｒｚｅｄ Ｂｅａｍ Ｓｐｌｉｔｔｅｒ）ユニット２２４、コンデンサレンズ（集光レンズ）２２５、緑、赤、青等の所定の波長領域を有する検査用の光を透過する色フィルタ２２６を有している。

光源２１０から出射される検査用の光の光路４０において、光源２１０及び検査光学系２０５と、ステージユニット２７０が備えるステージ２７１との相対的な位置は固定されている。光源２１０から出射された検査用の光は、検査光学系２０５、検査光学系２０５から出射された検査用の光の光束を所定の範囲に制限する遮光板２１２、一対の紫外線フィルタ２１３、光路４０において互いの偏光軸が直交するようにステージ２７１の図中上側及び下側の夫々に配置された第１偏光板２１４及び第２偏光板２１５、投射レンズ２１７、及び投射レンズ１７から出射された光を反射する反射ミラー２１８を介して、スクリーン２１９上に投写される。第１検査工程及び第２検査工程の夫々において検査対象となる液晶装置１及び液晶装置モジュール１００の夫々の液晶層５０内のゴミや、異物または基板のキズなどの欠陥の有無、または、輝度及びコントラスト等の光学特性は、スクリーン２１９に投写された投写画像や、その輝度及びコントラストに測定することによって検査される。

ステージユニット２７０は、搬送ユニット２７２及びステージ２７１を有している。搬送ユニット２７２は、第１検査工程及び第２検査工程の夫々の検査工程において、検査対象である液晶装置１及び液晶装置モジュール１００を入れ替える。より具体的には、搬送ユニット２７２は、制御部２８０の制御下で図中左右方向にスライドさせて各検査工程においてステージ２７１に液晶装置１及び液晶装置モジュール１００を位置決めして順次載置する。

プロービングユニット２５０は、液晶装置１を検査する第１検査工程において、液晶装置１の光入射面側（即ち図中上側）に臨む外部回路接続端子１０２に光入射面側から第１検査用端子２５１を接触させる。第１検査用端子２５１は、液晶装置１を駆動するための電源及び各種信号を供給する外部回路に電気的に接続されている。したがって、第１検査工程において、第１検査用端子２５１及び外部回路接続端子１０２を介して液晶装置１に供給された電源及び各種信号によって液晶装置１が駆動され、液晶装置１の画像表示領域１０ａを透過する透過光によって、液晶層５０内のゴミや、異物または基板のキズなどの欠陥の有無、または、投写画像の輝度、及びコントラストが測定される。

ここで、図６を参照しながら、プロービングユニット２５０が第１検査用端子２５１を外部回路接続端子１０２に接触させる様子を詳細に説明する。図６に示すように、ステージ２７１に載置された液晶装置１は、光入射面側である図中上側から第１検査光が照射され、当該第１検査光のうち画像表示領域１０ａを透過した透過光が、図中液晶装置１に対して下側である光出射面側に出射される。液晶装置１を検査する第１検査工程において、プロービングユニット２５０は、液晶装置１に第１検査光が照射された状態、或いは第１検査光を液晶装置１に照射するに先んじて、図中矢印Ａに沿って光入射面側から第１検査用端子２５１を外部回路接続端子１０２に接触させる。

再び、図５において、カメラ２３０は、ステージ２７１に載置された液晶装置１から見て液晶装置１の光入射面側に配置されている。カメラ２３０は、液晶装置１を検査する第１検査工程において、第１検査用端子２５１を外部回路接続端子１０２に接触させる際に、制御部２８０の制御下で第１検査用端子２５１及び外部回路接続端子１０２の夫々の位置情報を取得する。制御部２８０は、カメラ２３０によって取得された位置情報に基づいてプロービングユニット２５０による第１検査用端子２５１の移動量を設定し、迅速、且つ確実に外部回路接続端子１０２に第１検査用端子を接触させる。制御部２８０は、カメラ２３０から第１検査用端子２５１及び外部回路接続端子１０２の位置情報を取得しながら、第１検査用端子２５１の外部回路接続端子１０２に対する相対的な位置を補正し、第１検査用端子２５１を外部回路接続端子１０２に接触させることも可能である。

特に、外部回路接続端子１０２のピッチが、端子１１２のピッチに比べて狭い場合、カメラ２３０によって取得された第１検査用端子２５１及び外部回路接続端子１０２の位置情報に基づいて第１検査用端子２５１の移動量及び移動方向を設定することによって、液晶装置１の検査精度及び検査速度を高めることが可能である。尚、外部回路接続端子１０２のピッチが、端子１１２のピッチと同等、或いは広い場合でも本実施形態に係る検査装置を用いることができるのは言うまでもない。

図５において、プロービングユニット２６０は、液晶装置モジュール１００を検査する第２検査工程において、液晶装置モジュール１００が有する液晶装置１の光出射面側に臨む端子１１２（図８参照）に光出射面側から第２検査用端子２６１を接触させる。第１検査用端子２６１は、第２検査工程において、液晶装置モジュール１００が有する液晶装置１を駆動するための電源及び各種信号を供給する外部回路に電気的に接続されている。したがって、第２検査工程において、第２検査用端子２６１及び端子１１２を介して液晶装置１に供給された電源及び各種信号によって液晶装置１が駆動され、接続基板１１０が電気的に接続された液晶装置１の画像表示領域１０ａを透過する透過光によって、液晶層５０内のゴミや、異物または基板のキズなどの欠陥の有無、または、投写画像の輝度、及びコントラストが測定される。

ここで、図７及び図８を参照しながら、液晶装置モジュール１００がステージ２７１に載置された状態、及びプロービングユニット２６０が第１検査用端子２６１を端子１１２に接触させる様子を詳細に説明する。図７に示すように、液晶装置モジュール１００は、液晶装置１の光入射面が検査光学系２０５に臨むようにステージ２７１に載置されている。液晶装置１の四隅、及び接続基板１１０の端は、本発明に係る「押さえ部材」の一例を構成する固定ピン等の押さえ部２７５ａ及び２７５ｂによって固定されている。押さえ部２７５ａは、液晶装置１に接する当接部２７６ａ及び２７７ａを介して液晶装置１をステージに固定する。押さえ部２７５ｂは、液晶装置モジュール１００の検査時に、接続基板１１０の端が挿入される開口部２７８ｂを有しており、接続基板１１０をステージ２７１に固定する。したがって、液晶装置モジュール１００の検査時に生じる液晶装置１の位置ずれを低減でき、カメラ２３０によって取得される外部回路接続端子１０２の位置を確定させることが可能である。

ステージ２７１は、液晶装置モジュール１００がステージ２７１に載置された状態で、端子１１２がステージ２７１の裏面側である光出射面側に臨むように設けられた穴部２７３を有している。

図８に示すように、第２検査工程において、液晶装置モジュール１００をステージ２７１に固定した状態で、図中上側である液晶装置１の光入射面側から第２検査光を液晶装置１に照射しながら、穴部２７３を介して第２検査用端子２６１を図中矢印Ｂに沿って端子１１２に接触させることが可能である。これにより、透過光に応じてスクリーン２１９に投写される投写画像に基づいて、接続基板１１０の電気的に接続された液晶装置１の液晶層５０内のゴミや、異物または基板のキズなどの欠陥の有無、または、輝度、およびコントラスト等の光学特性を検査できる。

以上説明したように、本実施形態に係る検査装置２００によれば、液晶装置１単体を検査する第１検査工程において用いられる光源２１０、検査光学系２０５、及びステージ２７１の相対的な位置関係を変更することなく、そのままの位置関係で液晶装置モジュール１００を検査できるため、プロジェクタのライトバルブに用いられる液晶装置の光学特性を液晶装置単体及び液晶装置モジュールの夫々の状態で共通の検査装置を用いて検査でき、検査装置に要するコストを低減できる。加えて、本実施形態に係る検査装置２００によれば、液晶装置１及び液晶装置モジュール１００の両方を検査できるため、第１検査工程及び第２検査工程の夫々において取得された検査結果、より具体的には、検査装置が有する光学系等の違いに起因する測定誤差がなく、液晶装置１単体の光学特性と、液晶装置モジュール１００における液晶装置１の光学特性とを直接比較することができ、液晶装置１に生じた不具合の原因を迅速、且つ確実に特定することが可能である。

尚、液晶装置１及び液晶装置モジュール１００の何れか一方が、光源２１０側に配置されていても、液晶装置１又は液晶装置モジュール１００を検査することは可能である。

＜４：検査方法＞
次に、図９を参照しながら、本実施形態に係る検査方法を説明する。図９は、本実施形態に係る検査方法の主要な工程を示したフローチャートである。

図９において、第１検査工程において、液晶装置１の光学特性を検査する（ステップＳ１０）。ステップＳ１０では、図１乃至図８を参照しながら説明したように、プロービングユニット２５０によって第１検査用端子２５１を外部回路接続端子１０２に接触させた状態で、液晶装置１の光学特性を検査する。

次に、第２検査工程において、検査対象である液晶装置１を液晶装置モジュール１００に入れ替えて、プロービングユニット２６０によって第２検査用端子２６１を端子１１２に接触させた状態で、液晶装置モジュール１００、即ち接続基板１１０が電気的に接続された液晶装置１の光学特性を検査する（ステップＳ２０）。

以上の検査工程によって、液晶装置１単体の光学特性、及び液晶装置モジュール１００に組み上げられた液晶装置１の光学特性の両方を共通の検査装置２００を用いて検査することが可能である。したがって、本実施形態に係る検査方法によれば、本実施形態に係る検査装置と同様に、液晶装置に生じた不具合の原因を迅速、且つ確実に特定することが可能である。尚、本発明の検査装置においては、光源側に電気光学装置モジュールを配置可能なように設計しても良い。また、本発明の検査装置及び検査方法は、外部回路接続端子のピッチが、ＦＰＣ等の端子ピッチと同じものにも適用が可能である。

本実施形態に係る検査装置によって検査される液晶装置を対向基板側から見た平面図である。 図１のＩＩ−ＩＩ´断面図である。 本実施形態に係る検査装置によって検査される液晶装置モジュールの平面図である。 図３のＩＶ−ＩＶ´断面図である。 本実施形態に係る検査装置の構成を図式的に示した図式的構成図である。 検査対象である液晶装置がステージに載置された検査装置の構成の一部を詳細に示した要部断面図である。 検査対象である液晶装置モジュールがステージに載置された検査装置の構成の一部を詳細に示した要部平面図である。 検査対象である液晶装置モジュール１００がステージに載置された検査装置の構成の一部を詳細に示した要部断面図である。 本実施形態に係る検査方法の主要な工程を示したフローチャートである。

符号の説明

１・・・液晶装置、１００・・・液晶装置モジュール、１１０・・・接続基板、２００・・・検査装置、２５０，２６０・・・プロービングユニット、２０５・・・検査光学系、２１０・・・光源、２７０・・・ステージユニット、２７３・・・穴部、２７５ａ，２７５ｂ・・・固定部

Claims (6)

1. 電気光学装置、又は、前記電気光学装置及び接続基板を有する電気光学装置モジュールを検査するための検査装置であって、
   前記電気光学装置又は前記電気光学装置モジュールが載置されるステージと、
   第１検査用端子を備えた第１プロービング手段と、
   前記ステージに対して前記第１プロービング手段とは反対側に設けられ、第２検査用端子を備えた第２プロービング手段と、
   前記ステージに対して、前記第１プロービング手段側に設けられた、検査用の光を照射するための光源と
   を備えたことを特徴とする検査装置。
2. 前記電気光学装置モジュール又は前記電気光学装置が前記ステージに固定された状態で、当該電気光学装置モジュール又は当該電気光学装置の端子部に重なるように前記ステージに設けられた穴部と
   を備えたことを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
3. 前記第１検査用端子の位置情報を取得するための位置情報取得手段と
   を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の検査装置。
4. 前記第２プロービング手段が前記電気光学装置モジュール又は前記電気光学装置の端子部に接触する際に、当該電気光学装置モジュール又は当該電気光学装置を押さえるための押さえ部材と
   を備えたことを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載の検査装置。
5. 前記押さえ部材は、前記電気光学装置モジュール又は前記電気光学装置を挿入するための開口部と、前記電気光学装置モジュール又は前記電気光学装置に当接するための当接部と
   を備えたことを特徴とする請求項４に記載の検査装置。
6. 電気光学装置と、前記電気光学装置及び接続基板を有する電気光学装置モジュールとを検査するための検査方法であって、
   前記電気光学装置の一方の側から検査光を照射すると共に、前記電気光学装置に設けられた第１端子部に、前記検査光の照射面側から第１検査用端子を接触させる第１検査工程と、
   前記一方の側から検査光を照射すると共に、前記電気光学装置モジュールの接続基板に設けられた第２端子部に、前記照射面とは反対側から第２検査用端子を接触させる第２検査工程と
   を備えたことを特徴とする検査方法。

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