JP2008082878A - 照度測定装置、及び照度測定方法 - Google Patents

Abstract

【課題】例えば、液晶装置の表示領域における照度むらを測定する。
【解決手段】複数の平行化レンズ２０４によれば、複数の光Ｌ３を光入射面Ｓ１に照射できるため、光入射面Ｓ１の各領域において、複数の光Ｌ３の夫々が光入射面Ｓ１に入射する際に光軸Ｐ１及び光入射面Ｓ１がなす角度である入射角度を、複数の光Ｌ３について相互に揃えることが可能である。したがって、画像表示領域１０ａに含まれる複数の領域１０ｂから出射された透過光を測定することによって得られた照度に基づいて、画像表示領域１０ａの照度むらを定量化して評価できる。
【選択図】図３

Description

本発明は、例えば、液晶パネル等の電気光学装置の表示領域における照度むらを測定可能な照度測定装置、及び照度測定方法の技術分野に関する。

この種の電気光学装置の一例である液晶パネルは、例えば、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）等の画素スイッチング用素子が形成されたＴＦＴアレイ基板、及びＴＦＴアレイ基板に対向するように配置された対向基板、及びこれら基板間に挟持された液晶層を有しており、例えば、投写型表示装置の一例であるプロジェクタのライトバルブとして多用されている。このようなプロジェクタの高画質化に対する要請が高まるに伴い、解像度の高い液晶パネルのニーズも高まっている。特許文献１は、このような解像度が高い液晶パネルに生じた欠陥画素を検査する検査方法及び検査装置を開示している。

特開平９−２５７６３９号公報

この種の電気光学装置では、ＴＦＴアレイ基板及び対向基板間の基板間ギャップのばらつきによって表示領域に照度むらが生じてしまう問題点がある。このような電気光学装置では、その表示性能は、通常、プロジェクタ等の完成品に組み込まれた状態を想定して評価されるため、電気光学装置単体の表示性能を正確に検査することが困難であり、基板間ギャップのばらつきによって表示領域に生じる照度むらを正確に測定することが困難である。

仮に電気光学装置単体について照度を測定したとしても、基板間ギャップの相違によって生じる照度むらを正確に測定することは難しい。より具体的には、特許文献１に開示されているように、一つの光源から出射された検査用の光をそのまま液晶パネルに入射させた場合、光源より出射された光は様々な角度の成分を有するため、液晶パネルを透過する透過光の角度が各領域で異なる。そのため、液晶パネルを通過する際の光路の長さが液晶パネルの各部分で異なり、光路長の違いから液晶パネルの各部分で透過光が変化する。また、光の入射角度の違いに応じて液晶分子の屈折率にも差が生じてしまい、偏光状態が相互に異なる透過光が表示領域から出射されてしまう。したがって、基板間ギャップのばらつきによって表示領域に生じる本来測定すべき透過率むら、及び照度むらを測定することが困難である。

よって、本発明は上記問題点等に鑑みてなされたものであり、例えば、液晶装置等の電気光学装置において、基板間ギャップ等に起因して生じる照度むらを正確に測定可能な照度測定装置、及び照度測定方法を提供することを課題とする。

本発明に係る照度測定装置は上記課題を解決するために、互いに光軸が平行となるように平行化処理された複数の光を電気光学装置の光入射面に照射する光源手段と、前記電気光学装置の光出射面の側に配置されており、前記電気光学装置の表示領域に含まれる複数の領域の夫々から出射された複数の透過光を検出する光検出手段とを備える。

本発明に係る照度測定装置によれば、光源手段が、互いに光軸が平行となるように平行化処理された複数の光を電気光学装置の光入射面に照射することにより、光入射面内の各領域において、複数の光の夫々が光入射面に入射する際の入射角度をこれら光について相互に揃えることができ、入射角度の相違に起因して生じる透過光の偏光状態の相違を低減できる。

光検出手段は、電気光学装置の光出射面の側に配置されており、表示領域に含まれる複数の領域の夫々から出射された複数の透過光を検出する。したがって、表示領域に含まれる複数の領域の夫々について、複数の領域の夫々から出射された透過光の光量に応じて照度を測定できる。したがって、例えば、液晶パネルにおける液晶分子の屈折率差によって生じる照度のばらつきを排除でき、ＴＦＴアレイ基板及び対向基板間の基板間ギャップに応じて生じる表示領域の照度むらを正確に測定できる。

本発明に係る照度測定装置の他の態様では、前記光源手段は、前記光入射面の法線に沿って前記複数の光を照射してもよい。

この態様によれば、複数の光を電気光学装置の光入射面に斜めに入射させる場合に比べて、表示領域の照度を正確に測定できる。

本発明に係る照度測定装置の他の態様では、前記光源手段は、光源光を出射する光源と、前記光源光を分岐して複数の分岐光として導く導光手段と、該導光手段によって導かれた複数の分岐光の光軸が夫々平行となるように保持される保持手段と、該分岐光のＦナンバーが夫々等しくなるような投射手段とを備えていてもよい。

この態様によれば、光源は、その中心から空間的に広がりを持って光源光を出射する。光源光は、複数の分岐光として導光手段によって導かれる。導光手段によって導かれた複数の分岐光の夫々は、保持手段によって互いに光軸が平行となるように保持される。分岐光は光の広がり、即ちＦナンバーが共に等しくなるように投射手段を介して角度分布を制御され、複数の光として電気光学装置の光入射面に照射される。ここで、「平行」とは、文字通りの平行という意味に限定されるものではなく、表示領域における照度むらに影響しない範囲で複数の光の夫々の光軸がなす角を実践的に許容するということを意味する。この態様によれば、複数の光に応じて表示領域の各領域から出射される透過光の光量に基づいて、表示領域の照度むらを測定できる。

本発明に係る照度測定装置の他の態様では、前記光検出手段が直接前記複数の光を検出することによって取得された基準照度、及び前記透過光に応じて前記複数の領域毎に特定される照度に基づいて、前記電気光学装置の光利用効率を特定する特定手段とを備えていてもよい。

この態様によれば、「直接」とは、電気光学装置を介することなく、即ち測定対象である電気光学装置を当該照度測定装置に配置することなく、複数の光をそのまま検出することを意味する。「透過光に応じて複数の領域毎に特定される照度」とは、電気光学装置を当該照度測定装置に配置した状態で測定された照度であり、電気光学装置の表示性能を反映した照度である。「光利用効率」とは、例えば、照度から基準照度を差し引いた値を意味する。したがって、この態様によれば、照度むらに限定されず、表示領域に含まれる各領域における表示性能を検査することが可能である。

この態様では、前記特定手段は、前記複数の領域の夫々について前記照度から前記基準照度を差し引いた相対照度を特定し、該特定された相対照度を前記複数の領域の夫々について比較することによって前記表示領域の照度むらを特定してもよい。

この態様によれば、複数の光の光量の変動等の外乱に左右されず、客観的に照度むらを特定できる。

本発明に係る照度測定装置の他の態様では、前記導光手段は、複数のグラスファイバであってもよい。

この態様によれば、グラスファイバの機械的強度は、他の光学材料に比べて高いため、長期間に亘って分岐光を確実に伝達できる。

本発明に係る照度測定装置の他の態様では、前記投射手段は、複数の平行化レンズであってもよい。

この態様によれば、複数の分岐光を効率良く絞り込めるため、平行化処理における光の損失を低減できる。

本発明に係る照度測定方法は上記課題を解決するために、互いに光軸が平行となるように平行化処理された複数の光を電気光学装置の光入射面に照射する照射ステップと、前記電気光学装置の光出射面の側に配置された光検出手段によって、前記電気光学装置の表示領域に含まれる複数の領域の夫々から出射された複数の透過光を検出する光検出ステップとを備えている。

本発明に係る照度測定方法によれば、上述した照度測定装置と同様に、例えば、液晶パネル内を通過する光の光路長差による液晶分子の屈折率差によって生じる照度のばらつきを排除でき、ＴＦＴアレイ基板及び対向基板間の基板間ギャップに応じて生じる表示領域の各領域の照度の差に起因する照度むらを正確に測定できる。

本発明に係る照度測定方法の一の態様では、前記光検出手段によって直接前記複数の光が検出されることによって基準照度を取得する取得ステップと、前記透過光に応じて前記複数の領域毎に特定される照度及び前記基準照度に基づいて、前記電気光学装置の光利用効率を特定する特定ステップとを備えていてもよい。

この態様によれば、取得ステップは、照射ステップに相前後して実行される。この態様によれば、上述した照度測定装置と同様に、照度むらに限定されず、表示領域に含まれる各領域における表示性能を検査することが可能である。

この態様では、前記特定ステップにおいて、前記複数の領域の夫々について前記照度から前記基準照度を差し引いた相対照度を特定し、該特定された相対照度を前記複数の領域の夫々について比較することによって前記表示領域の照度むらを特定してもよい。

この態様によれば、複数の光の光量の変動等の外乱に左右されず、客観的に照度むらを特定できる。

本発明のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施形態から明らかにされる。

以下、図面を参照しながら、本発明に係る照度測定装置、及び照度測定方法の各実施形態を説明する。

＜１：電気光学装置＞
先ず、図１及び図２を参照しながら、本実施形態に係る照度測定装置によって表示領域の照度が測定される電気光学装置を説明する。本実施形態に係る照度測定装置によって照度が測定される電気光学装置は、液晶プロジェクタ等の投写型表示装置のライトバルブに用いられる液晶装置である。図１は、本実施形態に係る照度測定装置によって照度が測定される液晶装置を対向基板側から見た平面図であり、図２は、図１のＩＩ−ＩＩ´断面図である。ここでは、液晶装置の一例である駆動回路内蔵型のＴＦＴアクティブマトリクス駆動方式の液晶装置を例に挙げている。

図１及び図２において、液晶装置１では、ＴＦＴアレイ基板１０と、対向基板２０とが対向配置されている。ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間に液晶層５０が封入されており、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とは、画像表示領域１０ａの周囲に位置するシール領域に設けられたシール材５２により相互に接着されている。

シール材５２は、両基板を貼り合わせるための、例えば紫外線硬化樹脂、熱硬化樹脂等からなり、製造プロセスにおいてＴＦＴアレイ基板１０上に塗布された後、紫外線照射、加熱等により硬化させられたものである。シール材５２中には、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間隔（基板間ギャップ）を所定値とするためのグラスファイバ或いはガラスビーズ等のギャップ材５６が散布されている。

シール材５２が配置されたシール領域の内側に並行して、画像表示領域１０ａの額縁領域を規定する遮光性の額縁遮光膜５３が、対向基板２０側に設けられている。但し、このような額縁遮光膜５３の一部又は全部は、対向基板２０上において、電極より上層側に配置されて形成されてもよいし、ＴＦＴアレイ基板１０側に内蔵遮光膜として形成されてもよい。

画像表示領域１０ａの周辺に位置する周辺領域のうち、シール材５２が配置されたシール領域の外側に位置する領域には、データ線駆動回路１０１、及び外部回路接続端子１０２がＴＦＴアレイ基板１０の一辺に沿って複数設けられている。液晶装置１を駆動させるための電源及び各種信号は、外部回路に電気的に接続された外部回路端子１０２を介して液晶装置１に供給される。これにより液晶装置１が動作状態となり、液晶装置１の画像表示領域１０ａの透過率に対応する照度が測定可能になる。尚、後述する照度測定装置によって液晶装置１の照度を測定する際には、液晶層５０から見て図２中上側である対向基板２０の上面の側が、液晶装置１に光を入射させる光入射面側となり、図２中下側、即ち液晶層５０から見てＴＦＴアレイ基板１０の下面の側が、液晶装置１を透過した透過光が出射される光出射面側になる。

走査線駆動回路１０４は、この一辺に隣接する２辺のいずれかに沿い、且つ、額縁遮光膜５３に覆われるようにして設けられている。尚、走査線駆動回路１０４を、データ線駆動回路１０１及び外部回路接続端子１０２が設けられたＴＦＴアレイ基板１０の一辺に隣接する２辺に沿って設けるようにしてもよい。この場合、ＴＦＴアレイ基板１０の残る一辺に沿って設けられた複数の配線によって、二つの走査線駆動回路１０４は互いに接続されるようにする。

対向基板２０の４つのコーナー部には、両基板間の上下導通端子として機能する上下導通材１０６が配置されている。他方、ＴＦＴアレイ基板１０にはこれらのコーナー部に対向する領域において上下導通端子が設けられている。これらにより、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間で電気的な導通をとることができる。

図２において、ＴＦＴアレイ基板１０上には、画素スイッチング用のＴＦＴ（Thin Film Transistor；以下適宜、“ＴＦＴ”と称する。）や走査線、データ線等の配線が形成された後の画素電極９ａ上に、配向膜１６が形成されている。他方、詳細な構成については省略するが、液晶装置１において、対向基板２０に形成された電極が、画素電極９ａと対向するように配置されており、この電極上には、配向膜２２が形成されている。尚、ＴＦＴアレイ基板１０には、例えば、石英やプラスチック等の透明基板が用いられる。

ＴＦＴアレイ基板１０又は対向基板２０上において、配向膜１６又は２２は、例えばポリイミド等の有機材料により形成される。本実施形態では、ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０のいずれか一方上にのみ配向膜を形成するか、或いはこれらのいずれか一方上に形成される配向膜を無機材料により形成するようにしてもよい。

図１及び図２に示したＴＦＴアレイ基板１０上には、これらのデータ線駆動回路１０１、走査線駆動回路１０４等に加えて、画像信号線上の画像信号をサンプリングしてデータ線に供給するサンプリング回路、複数のデータ線に所定電圧レベルのプリチャージ信号を画像信号に先行して各々供給するプリチャージ回路、製造途中や出荷時の当該電気光学装置の品質、欠陥等を検査するための検査回路等を形成してもよい。

＜２：照度測定装置＞
次に、図３乃至図５を参照しながら、本実施形態に係る照度測定装置を説明する。図３は、本実施形態に係る照度測定装置の構成を図式的に示した図式的構成図である。図４は、本実施形態に係る照度測定装置が有する光学ユニットの平面図である。図５は、測定対象である液晶装置の表示領域における複数の領域の分布を図式的に示した平面図である。

図３において、本実施形態に係る照度測定装置２００は、光源２０９、受光ユニット２０１、本発明に係る「導光手段」の一例を構成する複数のグラスファイバ２０２、本発明に係る「投射手段」の一例を構成する複数の平行化レンズ２０４、第１レンズ２０５、第２レンズ２０６、本発明に係る「光検出手段」の一例である照度計２０７、及び本発明に係る「特定手段」の一例である制御部２０８を備えて構成されている。

グラスファイバ２０２は、その一端が受光ユニット２０１に保持され、且つ他端が平行化レンズ２０４に臨むように光学ユニット２０３に保持されている。平行化レンズ２０４は、照度が測定される液晶装置１に臨むように光学ユニット２０３に保持されている。

液晶装置１の照度を測定する際に、光源２０９から出射された空間的に広がりを持った光Ｌ１は、受光ユニット２０１を介して複数のグラスファイバ２０２の夫々に分岐される。複数のグラスファイバ２０２の夫々は、分岐光Ｌ２を導光するライトガイドとして機能する。グラスファイバ２０２は、プラスチック単体では得られない高強度、及び高靭性を持つ軽量な光学材料であるため、照度測定装置２００を長期間に亘って使用しても、分岐光Ｌ２を複数の平行化レンズ２０４の夫々に確実に伝達できる。

液晶装置１の照度を測定する際に、平行化レンズ２０４は、複数の分岐光Ｌ２の夫々を集光し、光軸Ｐ１が互いに平行である複数の光Ｌ３を液晶装置１の光入射面Ｓ１に照射する。複数の平行化レンズ２０４によれば、複数の光Ｌ３を光入射面Ｓ１に照射できるため、光入射面Ｓ１の各領域において、複数の光Ｌ３の夫々が光入射面Ｓ１に入射する際に光軸Ｐ１及び光入射面Ｓ１がなす角度である入射角度を、複数の光Ｌ３について相互に揃えることが可能である。加えて、光を絞込むことによって光損失を低減できる。

したがって、後述する照度計２０７で検出される透過光について、当該透過光が液晶装置１を透過する際の光路の長さを相互に揃えることができ、入射角度の相違に起因して生じる偏光状態の相違が低減される。より具体的には、液晶分子の配向状態に応じた光の旋光性、及び液晶分子の複屈折率による透過光の偏光状態が、複数の光Ｌ３の入射角度を相互に揃えることによって複数の透過光相互で均一とされる。尚、本実施形態では、光入射面Ｓ１の法線に沿って複数の光Ｌ３を光入射面Ｓ１に照射しているため、光入射面Ｓ１に斜めに複数の光Ｌ３を照射する場合に比べて、より正確に画像表示領域１０ａの照度を測定できる。

ここで、図４を参照しながら、光学ユニット２０３における複数の平行化レンズ２０４の配置状態を説明する。図４に示すように、複数の平行化レンズ２０４は、光学ユニット２０３の表面の中央領域及びその周囲に位置する領域に配置されている。したがって、液晶装置１の光入射面Ｓ１において、互いに異なる領域の夫々に光Ｌ３を照射できる。

再び、図３において、第１レンズ２０５は、液晶装置１の光出射面Ｓ２における画像表示領域１０ａ（図１参照）から出射された透過光を屈折させ、拡大する。

ここで、図３及び図５に示すように、複数の透過光Ｌ４は、画像表示領域１０ａに含まれる複数の領域１０ｂの夫々から出射される。複数の透過光Ｌ４は、液晶装置１の光入射面Ｓ１に照射された複数の光Ｌ３の夫々が複数の領域１０ｂを透過したものである。

再び、図３において、第２レンズ２０６は、第１レンズ２０５によって拡大された光の光軸が互いに平行になるように、当該拡大された光を屈折させ、複数の透過光Ｌ４の夫々に対応した複数の光Ｌ５を出射する。

照度計２０７は、複数の光検出器２０７ａを有している。複数の光検出器２０７ａは、第２レンズ２０６によって屈折された複数の光Ｌ５の夫々を検出し、複数の領域１０ｂの夫々について照度を測定する。

照度計２０７は、液晶装置１を透過する透過光に応じた照度を測定する工程と相前後して、液晶装置１を照度測定装置２００に配置しない状態で平行化レンズ２０４から出射された光を直接検出し、各領域１０ｂにおける基準照度を測定する。このような基準照度は、制御部２０８に接続されたメモリ等の記憶手段に、領域１０ｂ毎に記憶されている。

制御部２０８は、メモリ等の記憶手段に記憶された基準照度と、液晶装置１を透過した透過光に応じて領域１０ｂ毎に測定された照度とに基づいて、液晶装置１の光利用効率を算出する。より具体的には、制御部２０８は、基準照度に対する照度の割合を光利用効率として算出し、算出した光利用効率を領域１０ｂ毎にメモリ等の記憶手段に記憶する。これにより、各領域１０ｂにおける光の透過しやすさを数値化して比較することが可能である。

制御部２０８は、複数の領域１０ｂの夫々について照度から基準照度を差し引いた相対照度を算出し、該算出された相対照度を複数の領域１０ｂの夫々について比較することによって画像表示領域１０ａの照度むらを定量化する。

より具体的には、複数の領域１０ｂのうち画像表示領域１０ａの中心領域に規定された領域１０ｂの相対照度を基準として、他の領域１０ｂの相対照度の比を百分率で数値化することによって、画像表示領域１０ａにおける照度むらを定量化できる。このようにして照度むらを定量化することにより、光源から出射される光源光Ｌ１等の光量の変動のような外乱に左右されず、客観的に照度むらを定量化できる。

よって、本実施形態に係る照度測定装置によれば、液晶装置に入射する光の入射角度が光入射面の各領域で相互に異なることによって生じる照度の測定誤差を低減できる。より具体的には、相互に入射角度が異なる光に対する液晶分子の屈折率の違いを排除でき、ＴＦＴアレイ基板及び対向基板間の基板間ギャップに応じて生じる照度むらを正確に測定できる。

＜３：照度測定方法＞
次に、図６を参照しながら、本実施形態に係る照度測定方法を説明する。図６は、本実施形態に係る照度測定方法の主要な工程を示したフローチャートである。以下では、上述した照度測定装置２００を用いて液晶装置１の照度を測定する場合を例に挙げる。

図６において、照度測定装置２００に液晶装置１を配置しない状態で光源２０９から出射された光源光Ｌ１から、受光ユニット２０１、複数のグラスファイバ２０２、平行化レンズ２０４、第１レンズ２０５、及び第２レンズ２０６を介して出射された複数の光を複数の光検出器２０７ａによって検出し、基準照度を測定する（ステップＳ１０）。制御部２０８は、領域１０ｂ毎に測定された基準照度をメモリ等の記憶手段に記憶する。

次に、照度測定装置２００に液晶装置１を配置した状態で、平行化処理された複数の光Ｌ３を液晶装置１の光入射面Ｓ１に照射する（ステップＳ２０）。

次に、各領域１０ｂから出射された透過光に対する複数の光Ｌ５を測定し、領域１０ｂ毎に照度を測定する（ステップＳ３０）。

次に、複数の領域１０ｂの夫々について照度から基準照度を差し引いた相対照度を算出し、該算出された相対照度を複数の領域１０ｂの夫々について比較することによって画像表示領域１０ａの照度むらを定量化する（ステップ４０）。より具体的には、上述した照度測定装置２００と同様に、複数の領域１０ｂのうち画像表示領域１０ａの中心領域に規定された領域１０ｂの相対照度を基準として、他の領域１０ｂの相対照度の比を百分率で数値化することによって、画像表示領域１０ａにおける照度むらを定量化できる。このようにして照度むらを定量化することにより、光源から出射される光源光Ｌ１等の光量の変動のような外乱に左右されず、客観的に照度むらを定量化できる。

また、ステップＳ４０と相前後して、測定された基準照度及び照度に基づいて、各領域１０ｂにおける光利用効率を算出する（ステップＳ５０）。これにより、各領域１０ｂにおける光の透過しやすさを数値化して比較することが可能である。

よって、本実施形態に係る照度測定方法によれば、上述した照度測定装置２００と同様に、液晶装置に入射する光の入射角度が光入射面の各領域で相互に異なることによって生じる照度の測定誤差を低減できる。

本実施形態に係る照度測定装置による測定対象である電気光学装置の平面図である。 図１のＩＩ−ＩＩ´断面図である。 本実施形態に係る照度測定装置の構成を図式的に示した図式的構成図である。 本実施形態に係る照度測定装置が備える光学ユニットの平面図である。 電気光学装置の表示領域に含まれる複数の領域を図式的に示した図式的平面図である。 本実施形態に係る照度測定方法の主要な工程を示したフローチャートである。

符号の説明

１・・・液晶装置、２００・・・照度測定装置、２０１・・・受光ユニット、２０２・・・グラスファイバ、２０５・・・第１レンズ、２０６・・・第２レンズ、２０７・・・照度計、２０８・・・制御部、２０９・・・光源

Claims (10)

1. 互いに光軸が平行となるように平行化処理された複数の光を電気光学装置の光入射面に照射する光源手段と、
   前記電気光学装置の光出射面の側に配置されており、前記電気光学装置の表示領域に含まれる複数の領域の夫々から出射された複数の透過光を検出する光検出手段と
   を備えたことを特徴とする照度測定装置。
2. 前記光源手段は、前記光入射面の法線に沿って前記複数の光を照射すること
   を特徴とする請求項１に記載の照度測定装置。
3. 前記光源手段は、光源光を出射する光源と、前記光源光を分岐して複数の分岐光として導く導光手段と、該導光手段によって導かれた複数の分岐光の光軸が夫々平行となるように保持される保持手段と、該分岐光のＦナンバーが夫々等しくなるような投射手段と
   を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の照度測定装置。
4. 前記光検出手段が直接前記複数の光を検出することによって取得された基準照度、及び前記複数の領域毎に測定された照度に基づいて、前記電気光学装置の光利用効率を特定する特定手段と
   を備えたことを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載の照度測定装置。
5. 前記特定手段は、前記複数の領域の夫々について前記照度から前記基準照度を差し引いた相対照度を特定し、該特定された相対照度を前記複数の領域の夫々について比較することによって前記表示領域の照度むらを特定すること
   を特徴とする請求項４に記載の照度測定装置。
6. 前記導光手段は、複数のグラスファイバであること
   を特徴とする請求項１から５の何れか一項に記載の照度測定装置。
7. 前記投射手段は、複数の平行化レンズであること
   を特徴とする請求項１から６の何れか一項に記載の照度測定装置。
8. 互いに光軸が平行となるように平行化処理された複数の光を電気光学装置の光入射面に照射する照射ステップと、
   前記電気光学装置の光出射面の側に配置された光検出手段によって、前記電気光学装置の表示領域に含まれる複数の領域の夫々から出射された複数の透過光を検出する光検出ステップと
   を備えたことを特徴とする照度測定方法。
9. 前記光検出手段によって直接前記複数の光が検出されることによって基準照度を取得する取得ステップと、
   前記透過光に応じて前記複数の領域毎に特定される照度及び前記基準照度に基づいて、前記電気光学装置の光利用効率を特定する特定ステップと
   を備えたことを特徴とする請求項８に記載の照度測定方法。
10. 前記特定ステップにおいて、前記複数の領域の夫々について前記照度から前記基準照度を差し引いた相対照度を特定し、該特定された相対照度を前記複数の領域の夫々について比較することによって前記表示領域の照度むらを特定すること
    を特徴とする請求項９に記載の照度測定方法。

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