KR20060105505A - 기판 이재 장치, 기판 이재 방법 및 전기 광학 장치의 제조방법 - Google Patents

Abstract

기판 수납 케이스에 지지 홈을 따라 수납된 유리 기판을 팔렛트에 포함되는 기판 수납면으로 이재하는 기판 이재 장치가, 기판 수납 케이스 탑재부와, 팔렛트 탑재부와, 기판 수납 케이스에 수납된 유리 기판을 유지하여 기판 수납 케이스로부터 끌어냄과 함께, 로터리 포켓의 포켓으로 이체하는 기판 이체 기구와, 포켓에 탑재된 유리 기판을 유지 위치에서 유지함과 함께, 방출 위치에서 방출하여 기판 수납면에 배치하는 기판 유지 기구와, 기판 유지 기구를 유지 위치로부터 방출 위치로 반송하는 반송 기구를 구비하고 있다.

기판 이재 장치, 기판 수납 케이스, 방출 위치, 흡착 콜릿, 소자 기판

Description

기판 이재 장치, 기판 이재 방법 및 전기 광학 장치의 제조 방법{SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS, METHOD OF TRANSFERRING SUBSTRATE, AND METHOD OF MANUFACTURING ELECTRO-OPTICAL DEVICE}

도 1 은 기판 이재 장치를 나타내는 모식도.

도 2 는 제 1 기판 수납 케이스를 나타내는 모식 사시도.

도 3 은 제 1 위치에 있는 기판 탑재부로서의 포켓을 갖는, 기판 탑재 기구로서의 로터리 포켓의 모식도.

도 4 는 제 2 위치에 있는 기판 탑재부로서의 포켓을 갖는, 기판 탑재 기구로서의 로터리 포켓의 모식도.

도 5 는 제 2 기판 수납 케이스로서의 팔렛트의 모식 사시도.

도 6 은 기판 이재 장치의 전기적인 구성을 나타내는 블록도.

도 7 은 본 발명의 실시형태의 기판 이재 방법을 나타내는 공정도.

도 8 은 본 발명의 실시형태의 기판 이재 방법을 나타내는 모식도.

도 9 는 본 발명의 실시형태의 기판 이재 방법을 나타내는 모식도.

도 10 은 본 발명의 실시형태의 액정 표시 장치의 제조 방법을 나타내는 공정도.

도 11 은 (a) 및 (b) 는 액정 표시 장치의 모식도.

도 12 는 본 발명의 변형예의 기판 이재 방법을 나타내는 모식도.

※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 기판 이재 장치 5 : 유리 기판

10 : 기판 이채 기구 11 : 핸드

12 : 핸드 이동 기구 13 : 핸드 이동 기구 기부

20 : 로터리 포켓 21 : 포켓

22 : 포켓 기부 23 : 이동 기구

24 : 회전축 30 : 기판 유지 기구

31 : 흡착 콜릿 40 : 반송 기구

50 : 기판 수납 케이스 탑재부 51 : 기판 수납 케이스

52 : 지지 홈 60 : 팔렛트 탑재부

61 : 팔렛트 62 : 기판 수납면

63 : 팔렛트 격벽 71 : 처리부

72 : 레시피 기억부 73 : 입력부

80 : 액정 패널 81 : 소자 기판

82 : 대향 기판 83 : 방진 유리

84 : FPC 85 : 커버

91, 92, 93, 94 : 카메라 95 : 방향 판정부

96 : 파손 판정부 97 : 기판 단면 판정부

98 : 팔렛트 격벽 단면 판정부 100 : 액정 표시 장치

본 발명은 기판을 기판 수납 케이스 사이에서 이재 (移載) 하기 위한 기판 이재 장치, 기판 이재 방법 및 당해 기판 이재 방법을 이용한 전기 광학 장치의 제조 방법에 관한 것이다.

액정 표시 장치는 한 쌍의 유리 기판에 복수의 액정 표시 장치를 만들어 넣고, 그 후 당해 유리 기판으로부터 단일의 액정 표시 장치 (이하에서는「단품」이라고도 부른다) 를 잘라내어 제조되는 것이 일반적이다. 이러한 제조 방법에 사용되는 유리 기판은 각 변이 수백밀리미터 이상의 길이를 갖고 있다.

한편, 액정 표시 장치는 큰 유리 기판에, 미리 단품에 대응한 대각 2인치 이하 정도 크기의 대향 유리 기판을 복수 접합하고, 그 후 단일의 액정 표시 장치를 잘라내어 제조되는 경우도 있다. 이 제조 방법은 대향 유리 기판 접합시의 어긋날 위험을 회피하는 것이나, 유리 기판 사이의 갭을 고정밀도로 제어하는 것을 목적으로 하여 행해진다. 이 경우의 액정 표시 장치의 제조 방법은 단품에 대응한 크기의 대향 유리 기판을 반송하는 공정을 갖는다. 이러한 공정의 예로서는 기판 수납 케이스에 세워져 수납된 대향 유리 기판을 한 장씩 집어내어, 팔렛트 (palette) 상의 별도의 기판 수납 케이스에 나열한 상태로 이재하는 공정 등을 들 수 있다.

그러나, 상기 서술한 공정에 적용 가능한 작은 대향 유리 기판을 이재하는 장치는 아직 제안되어 있지 않아, 이러한 공정에서는 사람의 손으로 대향 유리 기판을 이재하고 있는 것이 현재 상태이다. 사람의 손에 의한 이재에는 기판의 파손, 이재 위치의 어긋남, 기판 수납 방향의 틀림 등을 원인으로 하는 수율 저하나, 작업 요원 증가, 작업자의 숙련에 장기간이 걸린다는 등의 과제가 있다.

본 발명에 의한 기판 이재 장치는 내벽에 지지 홈을 갖는 제 1 기판 수납 케이스에 상기 지지 홈을 따라 수납된 기판을 제 2 기판 수납 케이스에 포함되는 기판 수납면으로 이재하는 장치로서, 상기 제 1 기판 수납 케이스를 탑재하는 (place; 載置) 제 1 기판 수납 케이스 탑재부; 상기 제 2 기판 수납 케이스를 탑재하는 제 2 기판 수납 케이스 탑재부; 상기 제 1 기판 수납 케이스에 수납된 상기 기판을 유지하여, 당해 제 1 기판 수납 케이스로부터 끌어냄과 함께, 당해 기판을 기판 탑재 기구의 기판 탑재부로 이체 (移換) 하는 기판 이체 기구; 상기 기판 탑재부에 탑재된 상기 기판을 유지 위치에서 유지함과 함께, 방출 위치에서 당해 기판을 방출하여 상기 제 2 기판 수납 케이스의 상기 기판 수납면에 배치하는 기판 유지 기구; 및 상기 기판 유지 기구를 상기 유지 위치로부터 상기 방출 위치로 반송하는 반송 기구를 구비하는 것을 특징으로 한다.

이러한 기판 이재 장치는 기판 이체 기구가 기판을 제 1 기판 수납 케이스로부터 기판 탑재부로 옮겨 바꾼 뒤에, 기판 유지 기구가 당해 기판을 유지하고, 이어서 이 상태의 기판 유지 기구를 반송 기구가 방출 위치로 반송하고, 마지막으로 기판 유지 기구가 기판을 제 2 기판 수납 케이스에 수납한다. 이와 같이, 상기 구성에 의해서 얻어지는 효과 중 하나는 대각 2인치 이하의 유리 기판을 포함하는 기판을 사람의 손을 거치지 않고서 제 1 기판 수납 케이스로부터 제 2 기판 수납 케이스로 이재할 수 있다는 것이다.

여기서, 상기 기판 탑재 기구는 상기 기판 탑재부를 제 1 위치 및 제 2 위치를 포함하는 복수의 위치로 이동시키는 이동 기구를 가지며, 상기 제 1 위치에 있는 상기 기판 탑재부에 탑재된 상기 기판은 상기 제 1 기판 수납 케이스 탑재부 상의 상기 제 1 기판 수납 케이스에 수납된 상기 기판과 거의 평행이어도 된다. 이 구성에 의하면, 기판 이체 기구에 의해서 제 1 기판 수납 케이스로부터 끌어 내어진 기판은 제 1 위치에 있는 기판 탑재부와 거의 평행하게 되어 있어, 기판을 이체할 때에 있어서 기판의 각도를 조정할 필요가 없기 때문에, 기판의 이체를 용이하게 행할 수 있다. 또한, 상기 구성에 의하면, 기판은 제 1 기판 수납 케이스 내에서 연직면 (鉛直面) 으로부터 기울어진 상태로 수납된다. 이에 의해, 기판은 자중에 의해 지지 홈에 기대어져 자세가 안정됨과 함께, 지지 홈이 등간격이면 등간격으로 배치된다. 이 때문에, 기판 이체 기구는 당해 기판을 용이하게 유지할 수 있다.

더욱이, 상기 제 2 위치에 있는 상기 기판 탑재부에 탑재된 상기 기판 및 상기 제 2 기판 수납 케이스에 포함되는 상기 기판 수납면은 거의 수평이고, 상기 기판 유지 기구는 상기 제 2 위치에 있는 상기 기판 탑재부에 탑재된 상기 기판을 상기 유지 위치에서 유지하는 것이어도 된다. 이 구성에 의하면, 상기 기판 유지 기구는 균형있게 기판을 유지할 수 있음과 함께, 당해 기판을 평행 이동시킴으로써 당해 기판을 제 2 기판 수납 케이스에 포함되는 기판 수납면에 수납할 수 있다.

여기서, 상기 이동 기구는 상기 기판 탑재부를 포함하는 부위를 거의 수평인 축을 중심으로 회전시키는 회전 기구를 포함하고 있는 것이 바람직하다. 회전 기구를 사용함으로써, 상기 이동 기구는 상기 기판 탑재부를 탑재된 기판이 수평으로부터 기울어지는 상기 제 1 위치와, 탑재된 기판이 거의 수평이 되는 상기 제 2 위치와의 사이에서 용이하게 이동시킬 수 있다.

또한, 상기 기판 유지 기구는 상기 기판을 흡착하여 유지하는 흡착 기구를 구비하고 있어도 된다. 이 구성에 의하면, 기판 유지 기구는 기판의 1 평면을 흡착함으로써, 기판 단면이 자유로운 상태로 기판을 유지할 수 있다. 여기서 자유로운 상태란, 어떠한 이물과도 접촉하지 않고 있는 상태를 가리킨다. 기판의 모든 단면이 자유로운 상태에 있으면, 기판 유지 기구는 제 2 기판 수납 케이스가 기판 단면을 안내하는 격벽을 갖는 경우이더라도 당해 기판을 용이하게 제 2 기판 수납 케이스로 방출할 수 있다.

여기서, 상기 기판 유지 기구는 상기 흡착 기구를 대략 연직인 축을 중심으로 회전시키는 회전 수단을 포함하고 있어도 된다. 이러한 기판 유지 기구는 흡착 기구에 의해서 기판을 유지한 상태로 당해 기판을 연직인 축을 중심으로 회전시킬 수 있다. 이에 의해, 기판 이재 장치는 기판을 기판 수납면의 격벽을 따른 상태로 이재할 수 있다.

본 발명에 의한 기판 이재 장치는 상기 기판 탑재부에 탑재된 상기 기판의 방향을 검출하는 제 1 검출 기구를 구비하는 것을 특징으로 한다. 이 구성의 기판 이재 장치는 제 1 검출 기구에 의해, 기판 탑재부에 탑재된 기판의 방향이 소정의 상태로부터 동일 평면 내에서 180도 회전한 것이 검출된 경우, 예를 들어, 기판 유지 기구가 당해 기판을 유지한 흡착 기구를 180도 회전시킴으로써, 기판의 방향을 소정의 상태로 수정하여 이재할 수 있다. 또한, 이 기판 이재 장치는 제 1 검출 기구에 의해, 기판 탑재부에 탑재된 기판이 소정의 상태와 표리 (表裏) 가 반대로 되어 있는 것이 검출된 경우, 예를 들어 장치를 정지시킴으로써, 표리가 뒤집힌 상태로 기판을 이재하는 것을 방지할 수 있다.

또한, 본 발명의 기판 이재 장치는 상기 기판 탑재부에 탑재된 상기 기판의 파손을 검출하는 제 2 검출 기구를 구비하는 것을 특징으로 한다. 이 구성의 기판 이재 장치는 제 2 검출 기구에 의해 기판이 파손된 것이 검출된 경우, 예를 들어 장치를 정지시킴으로써, 파손된 기판을 이재하는 것을 방지할 수 있다.

더욱이, 본 발명에 의한 기판 이재 장치는 상기 기판 유지 기구에 의해서 유지된 상기 기판 단면의 위치를 검출하는 제 3 검출 기구; 상기 제 2 기판 수납 케이스의 상기 기판 수납면의 격벽 위치를 검출하는 제 4 검출 기구; 및 상기 제 3 검출 기구에 의해서 검출된 상기 단면 위치 및 상기 제 4 검출 기구에 의해서 검출된 상기 격벽 위치로부터 상기 방출 위치를 산출하여, 당해 방출 위치 정보를 상기 반송 기구에 전달하는 처리부를 구비하는 것을 특징으로 한다. 이 구성의 기판 이재 장치는 유지 기구에 의해서 유지된 기판 단면의 위치와, 제 2 기판 수납 케이스의 격벽 위치로부터 기판을 방출하는 위치를 미리 산출함으로써, 기판을 정밀하 게 기판 수납면에 수납할 수 있다.

본 발명에 의한 기판 이재 장치는 제 2 기판 수납 케이스에 포함되는 기판 수납면에 수납된 기판을, 내벽에 지지 홈을 갖는 제 1 기판 수납 케이스로 이재하는 장치로서, 상기 제 2 기판 수납 케이스를 탑재하는 제 2 기판 수납 케이스 탑재부; 상기 제 1 기판 수납 케이스를 탑재하는 제 1 기판 수납 케이스 탑재부; 상기 제 2 기판 수납 케이스의 상기 기판 수납면에 탑재된 상기 기판을 유지 위치에서 유지함과 함께, 방출 위치에서 당해 기판을 방출하여 기판 탑재 기구의 기판 탑재부에 배치하는 기판 유지 기구; 상기 기판 유지 기구를 상기 유지 위치로부터 상기 방출 위치로 반송하는 반송 기구; 및 상기 기판 탑재부에 탑재된 상기 기판을 유지함과 함께, 당해 기판을 상기 제 1 기판 수납 케이스로 이체하는 기판 이체 기구를 구비하는 것을 특징으로 한다. 이 구성에 의한 효과 중 하나는 기판을 상기 서술한 방향과는 반대의 방향으로 이재하는 것, 구체적으로는 제 2 기판 수납 케이스에 포함되는 기판 수납면에서 제 1 기판 수납 케이스로 이재하는 것이 가능하다는 것이다.

본 발명에 의한 기판 이재 방법은 내벽에 지지 홈을 갖는 제 1 기판 수납 케이스에 상기 지지 홈을 따라 수납된 기판을 제 2 기판 수납 케이스에 포함되는 기판 수납면으로 이재하는 방법으로서, 기판 이체 기구가, 제 1 기판 수납 케이스 탑재부 상의 상기 제 1 기판 수납 케이스에 수납된 상기 기판을 유지하여 당해 제 1 기판 수납 케이스로부터 끌어냄과 함께, 당해 기판을 기판 탑재 기구의 기판 탑재부로 이체하는 제 1 단계; 기판 유지 기구가, 상기 기판 탑재부에 탑재된 상기 기 판을 유지 위치에서 유지하는 제 2 단계; 반송 기구가, 상기 기판 유지 기구를 상기 유지 위치로부터 방출 위치로 반송하는 제 3 단계; 및 상기 유지 기구가, 상기 방출 위치에서 상기 기판을 방출하여 제 2 기판 수납 케이스 탑재부에 탑재된 상기 제 2 기판 수납 케이스의 상기 기판 수납면에 배치하는 제 4 단계를 갖는 것을 특징으로 한다.

상기 방법에 의해서 얻어지는 효과 중 하나는 대각 2인치 이하의 유리 기판을 포함하는 기판을 사람의 손을 거치지 않고서 제 1 기판 수납 케이스로부터 제 2 기판 수납 케이스로 이재할 수 있다는 것이다.

여기서, 상기 기판 탑재 방법은 상기 제 1 단계 전에, 상기 기판 탑재 기구에 포함되는 이동 기구가 상기 기판 탑재부를 제 1 위치로 이동시키는 제 5 단계를 가지며, 상기 제 1 위치에 있는 상기 기판 탑재부에 탑재된 상기 기판은 상기 제 1 기판 수납 케이스 탑재부 상의 상기 제 1 기판 수납 케이스에 수납된 상기 기판과 거의 평행이어도 된다. 이 방법에 의하면, 기판 이체 기구에 의해서 제 1 기판 수납 케이스로부터 끌어 내어진 기판은 제 1 위치에 있는 기판 탑재부와 거의 평행하게 되어 있어, 기판을 이체할 때에 있어서 기판의 각도를 조정할 필요가 없으므로, 기판의 이체를 용이하게 실시할 수 있다. 또한, 상기 방법에 의하면, 기판은 제 1 기판 수납 케이스 내에서 연직면으로부터 기울어진 상태로 수납되어 있다. 이에 의해, 기판은 자중에 의해 지지 홈에 기대어져 자세가 안정됨과 함께, 지지 홈이 등간격이면 등간격으로 배치된다. 이 때문에, 기판 이체 기구는 당해 기판을 용이하게 유지할 수 있다.

더욱이, 상기 제 1 단계 후에, 상기 기판 탑재 기구에 포함되는 이동 기구가 상기 기판 탑재부를 제 2 위치로 이동시키는 제 6 단계를 가짐과 함께, 상기 제 2 단계는 상기 유지 기구가 상기 제 2 위치에 있는 상기 기판 탑재부에 탑재된 상기 기판을 상기 유지 위치에서 유지하는 단계를 포함하며, 상기 제 2 위치에 있는 상기 기판 탑재부에 탑재된 상기 기판 및 상기 제 2 기판 수납 케이스에 포함되는 상기 기판 수납면은 거의 수평이어도 된다. 이 방법에 의하면, 상기 기판 유지 기구는 균형있게 기판을 유지할 수 있음과 함께, 당해 기판을 기판을 평행 이동시킴으로써 당해 기판을 제 2 기판 수납 케이스에 포함되는 기판 수납면에 수납할 수 있다.

여기서, 상기 제 5 단계 및 상기 제 6 단계는 상기 기판 탑재부를 포함하는 부위를 대략 수평한 축을 중심으로 회전시키는 회전 기구를 포함하는 이동 기구가 상기 기판 탑재부를 이동시키는 것이 바람직하다. 회전 기구를 사용함으로써, 상기 이동 기구는 상기 기판 탑재부를, 탑재된 기판이 수평으로부터 기울어지는 상기 제 1 위치와, 탑재된 기판이 대략 수평이 되는 상기 제 2 위치와의 사이에서 용이하게 이동시킬 수 있다.

또한, 상기 제 2 단계는 상기 기판 유지 기구가 상기 기판을 흡착하여 유지하는 단계를 포함하고 있어도 된다. 이 방법에 의하면, 기판 유지 기구는 기판의 1 평면을 흡착하고 이것을 유지함으로써, 기판 단면이 자유로운 상태로 기판을 유지할 수 있다. 기판의 모든 단면이 자유로운 상태에 있으면, 기판 유지 기구는 제 2 기판 수납 케이스가 기판 단면을 안내하는 격벽을 갖는 경우이더라도, 당 해 기판을 용이하게 제 2 기판 수납 케이스로 방출할 수 있다.

본 발명에 의한 기판 이재 방법은 상기 제 1 단계 뒤에, 제 1 검출 기구가, 상기 기판 탑재부에 탑재된 상기 기판의 방향을 검출하는 제 7 단계를 갖는 것을 특징으로 한다. 이 기판 이재 방법에 의하면, 제 1 검출 기구에 의해, 기판 탑재부에 탑재된 기판의 방향이 소정의 상태로부터 동일 평면 내에서 180도 회전한 것이 검출된 경우, 예를 들어 기판 유지 기구가 당해 기판을 유지한 흡착 기구를 180도 회전시킴으로써, 기판의 방향을 소정의 상태로 수정하여 이재할 수 있다. 또한, 이 기판 이재 방법에 의하면, 제 1 검출 기구에 의해, 기판 탑재부에 탑재된 기판이 소정의 상태와 표리가 반대로되어 있는 것이 검출된 경우, 예를 들어 장치를 정지시킴으로써, 표리가 뒤집힌 상태로 기판을 이재하는 것을 방지할 수 있다.

또한, 본 발명의 기판 이재 방법은 상기 제 1 단계 뒤에, 제 2 검출 기구가, 기판 탑재부에 탑재된 상기 기판의 파손을 검출하는 제 8 단계를 갖는 것을 특징으로 한다. 이 기판 이재 방법에 의하면, 제 2 검출 기구에 의해 기판이 파손된 것이 검출된 경우, 예를 들어 장치를 정지시킴으로써, 파손된 기판을 이재하는 것을 방지할 수 있다.

더욱이, 본 발명에 의한 기판 이재 방법은 상기 제 2 단계 뒤에, 제 3 검출 기구가, 상기 기판 유지 기구에 의해서 유지된 상기 기판 단면의 위치를 검출하는 제 9 단계; 상기 제 9 단계 뒤에, 제 4 검출 기구가, 상기 제 2 기판 수납 케이스에 형성된 상기 기판 단면을 안내하기 위한 격벽 위치를 검출하는 제 10 단계; 및 상기 제 10 단계 후에, 처리부가, 상기 제 3 검출 기구에 의해서 검출된 상기 단면 위치 및 상기 제 4 검출 기구에 의해서 검출된 상기 격벽 위치로부터 상기 방출 위치를 산출하여, 당해 방출 위치 정보를 상기 반송 기구로 전달하는 제 11 단계를 갖는 것을 특징으로 한다. 이 기판 이재 방법에 의하면, 유지 기구에 의해서 유지된 기판 단면의 위치와, 제 2 기판 수납 케이스의 격벽 위치로부터 기판을 방출하는 위치를 미리 산출함으로써, 기판을 정밀하게 기판 수납면에 수납할 수 있다.

본 발명에 의한 기판 이재 방법은 제 2 기판 수납 케이스에 포함되는 기판 수납면에 수납된 기판을 내벽에 지지 홈을 갖는 제 1 기판 수납 케이스로 이재하는 방법으로서, 기판 유지 기구가, 제 2 기판 수납 케이스 탑재부 상의 상기 제 2 기판 수납 케이스에 포함되는 상기 기판 수납면에 수납된 기판을 유지 위치에서 유지하는 제 1 단계; 반송 기구가, 상기 기판 유지 기구를 상기 유지 위치로부터 방출 위치로 반송하는 제 2 단계; 상기 유지 기구가, 상기 방출 위치에서 상기 기판을 방출하여 당해 기판을 기판 탑재 기구의 기판 탑재부에 탑재하는 제 3 단계; 및 기판 이체 기구가, 상기 기판 탑재부에 탑재된 상기 기판을 유지함과 함께, 당해 기판을 제 1 기판 수납 케이스 탑재부에 탑재된 상기 제 1 기판 수납 케이스로 이체하는 제 4 단계를 갖는 것을 특징으로 한다. 이 방법에 의한 효과 중 하나는 기판을 상기 서술한 방향과는 반대의 방향으로 이재하는 것, 구체적으로는 제 2 기판 수납 케이스에 포함되는 기판 수납면에서 제 1 기판 수납 케이스로 이재하는 것이 가능하다는 것이다.

본 발명에 의한 전기 광학 장치의 제조 방법은 내벽에 지지 홈을 갖는 제 1 기판 수납 케이스에 상기 지지 홈을 따라 수납된 기판을 제 2 기판 수납 케이스에 포함되는 기판 수납면으로 이재하여 전기 광학 장치를 제조하는 방법으로서, 기판 이체 기구가, 제 1 기판 수납 케이스 탑재부 상의 상기 제 1 기판 수납 케이스에 수납된 상기 기판을 유지하여 당해 제 1 기판 수납 케이스로부터 끌어냄과 함께, 당해 기판을 기판 탑재 기구의 기판 탑재부로 이체하는 제 1 단계; 기판 유지 기구가, 상기 기판 탑재부에 탑재된 상기 기판을 유지 위치에서 유지하는 제 2 단계; 반송 기구가, 상기 기판 유지 기구를 상기 유지 위치로부터 방출 위치로 반송하는 제 3 단계; 및 상기 유지 기구가, 상기 방출 위치에서 상기 기판을 방출하여 제 2 기판 수납 케이스 탑재부에 탑재된 상기 제 2 기판 수납 케이스의 상기 기판 수납면에 배치하는 제 4 단계를 갖는 것을 특징으로 한다. 이 제조 방법은 기판을 사람의 손을 거치지 않고 이재할 수 있는 기판 이재 방법을 포함하기 때문에, 높은 수율로 전기 광학 장치를 제조할 수 있다.

(A. 기판 반송 장치의 구성)

도 1 은 본 실시형태의 기판 이재 장치 (1) 의 구성을 나타내는 모식도이다. 기판 이재 장치 (1) 는 기판 이체 기구 (10), 「제 1 기판 수납 케이스 탑재부」 로서의 기판 수납 케이스 탑재부 (50), 「기판 탑재 기구」 로서의 로터리 포켓 (20), 기판 유지 기구 (30), 반송 기구 (40), 카메라 (91, 92, 93, 94), 「제 2 기판 수납 케이스 탑재부」 로서의 팔렛트 탑재부 (60) 를 구비하고 있다. 기판 이재 장치 (1) 는 전체로서, 기판 수납 케이스 탑재부 (50) 에 탑재된 기판 수납 케이스 (51) 내의 「기판」 으로서의 유리 기판 (5) 을 팔렛트 탑재부 (60) 에 탑 재된 팔렛트 (61) 로 이재하는 장치이다. 이하에서는 수평면 중, 기판 수납 케이스 (51) 로부터 팔렛트 (61) 로 향하는 방향, 즉 유리 기판 (5) 이 운반되는 방향을 X축, 수평면 상으로서 X축과 직교하는 방향을 Y축, 연직 상향을 Z축으로 한다. 이하, 상기 구성 요소에 관해서 도 1 을 사용하여 설명한다.

(A1. 기판 이체 기구)

기판 이체 기구 (10) 는 핸드 (11), 핸드 이동 기구 (12), 핸드 이동 기구 기부 (13) 로 이루어지고, 핸드 이동 기구 기부 (13) 에는 기판 수납 케이스 (51) 가 탑재되는 기판 수납 케이스 탑재부 (50) 가 설치되어 있다. 기판 수납 케이스 탑재부 (50) 는 기판 수납 케이스 (51) 를 탑재할 수 있도록 구성된 용기를 복수개 연결한 형상을 갖고 있다. 기판 수납 케이스 (51) 에는 기판 이재 장치 (1) 가 이재하는 대상인 유리 기판 (5) 이 수납되어 있다.

도 2 는 기판 수납 케이스 (51) 의 모식 사시도이다. 기판 수납 케이스 (51) 는 유리 기판 (5) 을 지지하기 위해 등간격으로 형성된 지지 홈 (52) 을 내벽에 갖는 플라스틱제의 용기이고, 유리 기판 (5) 을 지지 홈 (52) 을 따른 방향으로 정렬하여 수납할 수 있다. 하나의 기판 수납 케이스 (51) 는 20장의 유리 기판 (5) 을 수납할 수 있다.

여기서 유리 기판 (5) 은 액정 표시 장치 (100) (도 11(b) 참조) 의 대향 기판 (82) (도 11(a) 참조) 을 구성하는 부재이고, 한쪽면 (외연부를 제외한다) 에는 투명 전극 및 이것에 겹쳐져 도포된 배향막이 형성되어 있다. 유리 기판 (5) 의 외연부 근방의 한 점에는 방향 판정용 마크가 기재되어 있다. 또한, 유리 기판 (5) 은 대각 1.3인치인 직사각형의 면을 가지며, 두께는 1.1㎜ 이다.

핸드 이동 기구 기부 (13) 중 기판 수납 케이스 탑재부 (50) 가 설치되는 면은 수평면으로부터 일정한 각도만큼 기울어진 사면 (斜面) 으로 되어 있고, 이에 수반하여 기판 수납 케이스 탑재부 (50) 및 기판 수납 케이스 (51) 도 수평면에 대하여 당해 각도를 가지고 설치된다. 이때, 유리 기판 (5) 은 기판 수납 케이스 (51) 내에서 연직면으로부터 기울어진 상태로 수납되어, 자중에 의해 지지 홈 (52) 에 기댄다. 이에 의해 유리 기판 (5) 은 자세가 안정됨과 함께, 모든 유리 기판 (5) 이 같은 자세로 지지 홈 (52) 에 기대기 때문에, 서로 등간격인 상태로 기판 수납 케이스 (51) 에 수납된다.

기판 이체 기구 (10) 의 상기 구성 요소는 서로 다음과 같이 조합될 수 있다. 핸드 이동 기구 기부 (13) 에는 핸드 이동 기구 (12) 가 부착되어 있고, 핸드 이동 기구 (12) 에는 핸드 (11) 가 부착되어 있다. 이 중, 핸드 이동 기구 (12) 는 암부 (121) 를 갖고 있다. 핸드 이동 기구 (12) 는 핸드 이동 기구 기부 (13) 의 상기 사면을 승강하는 방향으로 가동 범위를 가짐과 함께, 당해 사면에 수직하는 방향으로도 가동 범위를 갖는다. 즉, X-Z 평면 내의 방향으로 이동 가능하다. 핸드 (11) 는 간격을 조정할 수 있도록 구성된 한 쌍의 평행한 파지 (把持; gripping) 핑거로 이루어지고, 핸드 이동 기구 (12) 의 암부 (121) 에, 당해 암부 (121) 와 평행한 방향, 즉 Y축 방향으로 가동 범위를 가지고 부착되어 있다.

핸드 (11) 는 유리 기판 (5) 을 파지할 수 있는 위치에 있어서 파지 핑거의 간격을 좁힘으로써, 유리 기판 (5) 단면을 파지할 수 있다. 여기서, 유리 기판 (5) 은 전술한 바와 같이 등간격으로 안정되게 기판 수납 케이스 (51) 에 수납되어 있기 때문에, 핸드 (11) 는 용이하게 유리 기판 (5) 을 파지할 수 있다. 핸드 (11) 에 의해서 유리 기판 (5) 을 파지한 기판 이체 기구 (10) 는 핸드 이동 기구 (12) 및 핸드 (11) 를 상기 가동 범위로 적당히 움직임으로써, 유리 기판 (5) 을 후술하는 제 1 위치에 있는 포켓 (21) 의 근방으로 이동시킬 수 있다. 이 상태에서 핸드 (11) 의 파지 핑거의 간격을 넓혀 유리 기판 (5) 을 놓음으로써, 기판 이체 기구 (10) 는 유리 기판 (5) 을 포켓 (21) 에 탑재시킬 수 있다. 이 때, 유리 기판 (5) 은 투명 전극 및 배향막이 형성되어 있지 않은 면이 포켓 (21) 을 향하게 하여 탑재된다. 따라서, 유리 기판 (5) 의 탑재에 있어서 배향막면이 오염되는 일은 없다.

이상과 같이, 기판 이체 기구 (10) 는 기판 수납 케이스 (51) 에 수납된 유리 기판 (5) 을 끌어냄과 함께, 당해 유리 기판 (5) 을 포켓 (21) 에 탑재시킬 수 있다.

(A2. 기판 탑재 기구)

도 1 에 나타내는 바와 같이, 「기판 탑재 기구」 로서의 로터리 포켓 (20) 은「기판 탑재부」로서의 포켓 (21), 포켓 기부 (22) 및 이동 기구 (23) 로 이루어진다. 포켓 (21) 은 포켓 기부 (22) 에 고정되어 있고, 포켓 기부 (22) 는 이동 기구 (23) 에 부착되어 있다.

여기서, 도 3 및 도 4 를 이용하여, 로터리 포켓 (20) 의 구성 요소 배치 및 동작에 관해서 자세히 설명한다. 도 3 에 나타내는 바와 같이, 포켓 기부 (22) 는 포켓 (21) 을 설치하기 위한 8개의 면을 고리형으로 배치한 정팔각 기둥에 가까운 형상을 갖고 있고, 상기 8개의 면중 한 쌍의 면이 거의 수평이 되도록 이동 기구 (23) 에 부착되어 있다. 포켓 기부 (22) 는 금속으로 이루어진다. 상기 8개의 면중 수평면으로부터 +45도 방향을 향한 면의 하나에는 포켓 (21) 이 설치되어 있다. 포켓 (21) 의 이 위치를 이하에서는「제 1 위치」 라고도 부른다. 제 1 위치에 있는 포켓 (21) 에는 기판 이체 기구 (10) 가 유리 기판 (5) 을 탑재시킬 수 있다.

포켓 (21) 은 유리 기판 (5) 을 탑재할 수 있는 금속제의 부품으로, 유리 기판 (5) 단면 위치를 규정하기 위한 격벽 (211a, 211b, 211c) 과, 흡착 구멍 (212) 을 갖고 있다. 또, 포켓 (21) 의 표면은 유리 기판 (5) 을 손상시키지 않기 위해서 불소 수지 등으로 코팅해두어도 된다. 흡착 구멍 (212) 내는 외기에 대하여 부압 (負壓) 으로 되어 있고, 흡착 구멍 근방의 외기 또는 물체를 흡인한다. 격벽 (211a) 은 격벽 (211b, 211c) 에 대하여 상대적으로 높아져 있다. 이 구성에 의해, 상기 서술한 핸드 (11) 로부터 제 1 위치에 있는 포켓 (21) 에 놓인 유리 기판 (5) 은 격벽 (211a) 에 의해서 일단 지지되는 동시에, 자중 및 흡착 구멍 (212) 이 발생시키는 부압에 의해서 포켓 (21) 에 가까이 당겨지고, 탑재된다. 포켓 (21) 에 탑재된 유리 기판 (5) 은 흡착 구멍 (212) 에 의한 흡인력 및 격벽 (211a, 212b, 212c) 에 의해서 포켓 (21) 에 고정된다.

또, 제 1 위치에 있는 포켓 (21) 에 탑재된 상태의 유리 기판 (5) 은 상기 서술한 기판 수납 케이스 (51) 에 수납된 상태의 유리 기판 (5) 및 핸드 (11) 에 파지된 상태의 유리 기판 (5) 과 거의 평행하다. 바꾸어 말하면, 핸드 (11) 에 파지되어 포켓 (21) 의 근방으로 옮겨진 유리 기판 (5) 은 각도를 거의 바꾸는 일없이 포켓 (21) 에 탑재된다. 이 구성에 의해, 상기 서술한 기판 이체 기구 (10) 는 유리 기판 (5) 을 용이하게 포켓 (21) 에 탑재시킬 수 있다.

이동 기구 (23) 는 내부에 설치된 도시하지 않는 회전 기구에 의해서, 포켓 기부 (22) 를 도 3 에 나타내는 Y축에 평행한 회전축 (24) 을 중심으로 회전시킬 수 있다. 이동 기구 (23) 가 포켓 기부 (22) 를 포켓 (21) 이 연직 상향이 되 도록 회전시킨 상태를 도 4 에 나타낸다. 포켓 (21) 의 이 위치를 이하에서는「제 2 위치」 라고도 부른다. 후술하는 기판 유지 기구 (30) 는 제 2 위치에 있는 포켓 (21) 에 탑재된 유리 기판 (5) 을 유지할 수 있다. 이동 기구 (23) 는 포켓 기부 (22) 를 어느 쪽 방향으로도 임의의 회전량만큼 회전할 수 있기 때문에, 포켓 (21) 을 제 2 상태로부터 제 1 상태로 되돌릴 수도 있다.

또, 본 실시형태에 있어서는 포켓 기부 (22) 의 8개의 면 중 1개소에만 포켓 (21) 이 설치되어 있지만, 그 밖의 면에 동시에 포켓 (21) 을 설치해도 된다. 예를 들어, 각 면에 각각 크기가 다른 유리 기판을 수납할 수 있는 포켓을 설치하면, 포켓 기부 (22) 를 적절히 회전시키는 것만으로, 이들 크기의 유리 기판의 이재에 대응할 수 있다.

또한, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 로터리 포켓 (20) 의 전체는 X축 방향으로 이동할 수 있도록 구성되어 있다. 보다 상세하게는 로터리 포켓 (20) 은 핸 드 (11) 가 유리 기판 (5) 을 제 1 위치에 있는 포켓 (21) 에 탑재할 수 있는 위치 (도 1 에 있어서 2중 쇄선으로 그려진 위치) 와, 후술하는 흡착 콜릿 (31) 이 유리 기판 (5) 을 제 2 위치에 있는 포켓 (21) 으로부터 유지할 수 있는 위치 (도 1 에 있어서 실선으로 그려진 위치) 와의 사이에서 이동할 수 있다. 이하에서는 전자를「제 3 위치」, 후자를「제 4 위치」라고도 부른다. 이 로터리 포켓 (20) 의 이동은 이동 기구 (23) 내의 도시하지 않은 구동 장치에 의해서 실현된다.

상기 서술한 내용을 유리 기판 (5) 의 반송의 관점에서 바꾸어 말하면, 포켓 (21) 이 제 1 위치에 있고, 또한 로터리 포켓 (20) 전체가 제 3 위치에 있는 경우에, 핸드 (11) 가 유리 기판 (5) 을 포켓 (21) 에 탑재시킬 수 있다. 또한, 포켓 (21) 이 제 2 위치에 있고, 또한 로터리 포켓 (20) 전체가 제 4 위치에 있는 경우에, 흡착 콜릿 (31) 이 유리 기판 (5) 을 포켓 (21) 으로부터 유지할 수 있다.

이상과 같이, 기판 탑재 기구로서의 로터리 포켓 (20) 은 포켓 (21) 에 있어서 유리 기판 (5) 을 탑재할 수 있음과 함께, 이 상태의 유리 기판 (5) 을 소정의 위치 사이에서 이동시킬 수 있다.

(A3. 기판 유지 기구 및 반송 기구)

도 1 에 나타내는 바와 같이, 기판 유지 기구 (30) 는 Z축 방향의 하단에「흡착 기구」 로서의 흡착 콜릿 (31) 을 가지며, 동일하게 상단에서 반송 기구 (40) 에 부착되어 있다. 또한, 기판 유지 기구 (30) 에는 연직 하방을 향한 카메라 (94) 가 고정되어 있다.

흡착 콜릿 (31) 은 부압에 의해서 물체를 흡착할 수 있는 사각고리형의 흡착 부를 갖는다. 당해 사각고리형의 흡착부는 항상 X-Y 평면과 평행을 유지하며, 그 형상은 유리 기판 (5) 의 외연부에 대응한다. 따라서, 흡착 콜릿 (31) 은 유리 기판 (5) 과 정면 대향한 상태로 흡착함으로써, 유리 기판 (5) 의 외연부에만 접하여 이를 유지할 수 있다. 유리 기판 (5) 의 외연부에는 배향막이 배치되어 있지 않기 때문에, 흡착 콜릿 (31) 은 배향막을 오염시키지 않고 유리 기판 (5) 을 유지할 수 있다. 또, 기판 유지 기구 (30) 는 흡착 콜릿 (31) 을 Z축을 중심으로하여 회전시킬 수 있다. 이하에서는 당해 회전각도를 θ로 한다.

반송 기구 (40) 는 흡착 콜릿 (31) 을 포함하는 기판 유지 기구 (30) 를 반송할 수 있다. 상세하게는 기판 유지 기구 (30) 를 Z축 방향으로 상하 이동시키는 것 및 X-Y 평면 내에 평행 이동시키는 것이 가능하다.

흡착 콜릿 (31) 을 포함하는 기판 유지 기구 (30) 및 반송 기구 (40) 의 상기 동작에 의해서, 기판 유지 기구 (30) 는 제 2 위치에 있는 포켓 (21) 에 탑재된 유리 기판 (5) 을 유지함과 함께, 팔렛트 (61) 의 기판 수납면 (62) 에 수납되도록 방출할 수 있다.

여기서, 팔렛트 (61) 는 팔렛트 탑재부 (60) 상에 수평인 상태로 탑재된 금속제의 기판 수납 케이스이며, 도 5 에 그 모식 사시도를 나타낸다. 팔렛트 (61) 는 금속의 판을 깎아냄으로써 형성한 팔렛트 격벽 (63) 을 갖는다. 팔렛트 격벽 (63) 은 유리 기판 (5) 의 크기에 맞추어 형성되어 있고, 당해 팔렛트 격벽 (63) 에 의해서 구획된 기판 수납면 (62) 에는 유리 기판 (5) 을 합계 20장 수납할 수 있다.

또, 팔렛트 (61) 와, 상기 서술한 제 2 위치에 있는 포켓 (21) 은 함께 수평인 상태로 유리 기판 (5) 을 탑재할 수 있기 때문에, 기판 유지 기구 (30) 는 유리 기판 (5) 을 일단 유지한 뒤에는 당해 유리 기판 (5) 의 앙각 (仰角, elevation angle) 을 조정하지 않고 기판 수납면 (62) 에 수납할 수 있다.

이하에서는 기판 유지 기구 (30) 가 포켓 (21) 에 탑재된 유리 기판 (5) 을 유지할 때의 기판 유지 기구 (30) 의 위치를 「유지 위치」, 기판 유지 기구 (30) 가 유리 기판 (5) 을 기판 수납면 (62) 에 방출할 때의 기판 유지 기구 (30) 의 위치를「방출 위치」 라고 부른다. 이에 의하면, 반송 기구 (40) 는 기판 유지 기구 (30) 를 유지 위치와 방출 위치의 사이에서 반송한다.

방출 위치는 기판 유지 기구 (30) 가 유리 기판 (5) 을 방출하면, 당해 유리 기판 (5) 이 기판 수납면 (62) 에 수납되도록 하는 위치이다. 따라서, 방출 위치에서 기판 유지 기구 (30) 가 유지하는 유리 기판 (5) 단면과, 당해 유리 기판 (5) 이 수납되어야 하는 기판 수납면 (62) 에 대응하는 팔렛트 격벽 (63) 단면은 정밀하게 맞추어져야 할 필요가 있다. 반송 기구 (40) 는 후술하는 카메라 (93, 94) 의 기능에 의해서, 이러한 조건을 만족시키는 방출 위치로 기판 유지 기구 (30) 를 이동시킬 수 있다. 방출 위치로 이동한 기판 유지 기구 (30) 는 유리 기판 (5) 을 방출함으로써, 유리 기판 (5) 을 기판 수납면 (62) 에 수납할 수 있다.

기판 유지 기구 (30) 의 흡착 콜릿 (31) 은 유리 기판 (5) 의 1 평면을 흡착하여 유지하고 있기 때문에, 유리 기판 (5) 의 모든 단면은 전혀 이물과 접촉하 지 않고 있다. 이 때문에, 기판 유지 기구 (30) 는 팔렛트 (61) 가 팔렛트 격벽 (63) 을 갖고 있더라도, 팔렛트 격벽 (63) 에 접촉하지 않고, 용이하게 유리 기판 (5) 을 기판 수납면 (62) 으로 방출할 수 있다.

(A4. 검출 기구)

도 1 에 나타내는 바와 같이, 기판 이재 장치 (1) 에는 기판 유지 기구 (30) 의 가동 범위의 한 점에서, 당해 기판 유지 기구 (30) 에 대향하는 방향, 즉 연직상방을 향하여 카메라 (93) 가 배치되어 있다. 또한, 상기 서술하였듯이, 기판 유지 기구 (30) 에는 연직 하방을 향한 카메라 (94) 가 고정되어 있다. 카메라 (93) 는 기판 단면 판정부 (97) 를 통해 처리부 (71) 에 접속되어 있다 (도 6 참조). 또한, 카메라 (94) 는 팔렛트 격벽 단면 판정부 (98) 를 통해 동일하게 처리부 (71) 에 접속되어 있다 (도 6 참조).

카메라 (93, 94) 는 CCD (Charge Coupled Device) 를 이용한 촬상 소자를 구비한 카메라이다. 카메라 (93) 는 기판 유지 기구 (30) 가 유지하는 유리 기판 (5) 단면을 촬영하여, 촬영한 화상 데이터를 기판 단면 판정부 (97) 로 송신한다. 기판 단면 판정부 (97) 는 수신한 당해 데이터로부터, 유리 기판 (5) 단면 위치 및 각도를 검출하여, 그 정보를 처리부 (71) 로 송신한다. 한편, 카메라 (94) 는 기판 유지 기구 (30) 가 유지하고 있는 유리 기판 (5) 이 수납될 기판 수납면 (62) 의 팔렛트 격벽 (63) 단면을 촬영하여, 촬영한 화상 데이터를 팔렛트 격벽 단면 판정부 (98) 로 송신한다. 팔렛트 격벽 단면 판정부 (98) 는 수신한 당해 데이터로부터, 팔렛트 격벽 (63) 단면 위치 및 각도를 검출하여, 그 정보를 처리부 (71) 로 송신한다.

여기서, 카메라 (93) 및 기판 단면 판정부 (97) 는 본 발명에 있어서의 「제 3 검출 기구」 에 대응하고, 카메라 (94) 및 팔렛트 격벽 단면 판정부 (98) 는 본 발명에 있어서의「제 4 검출 기구」에 대응한다.

기판 단면 판정부 (97) 및 격벽 단면 판정부 (98) 로부터 각각 유리 기판 (5) 단면 및 팔렛트 격벽 (63) 단면 위치 및 각도 정보를 수신한 처리부 (71) 는 이들 데이터로부터, 기판 유지 기구 (30) 의 적정한 방출 위치를 산출한다. 그리고, 기판 유지 기구 (30) 및 흡착 콜릿 (31) 을 당해 방출 위치로 이동시키기 위해서 필요한 정보를 반송 기구 (40) 및 기판 유지 기구 (30) 로 송신한다. 당해 필요한 정보란, 기판 유지 기구 (30) 의 X, Y, Z 방향의 이동량과, 흡착 콜릿 (31) 의 회전각도 θ이고, 전자는 반송 기구 (40) 로 후자는 기판 유지 기구 (30) 로 각각 송신된다. 반송 기구 (40) 는 수신한 정보를 바탕으로 기판 유지 기구 (30) 를 이동시킨다. 또한, 기판 유지 기구 (30) 는 수신한 정보를 바탕으로 흡착 콜릿 (31) 을 회전시킨다. 이렇게 해서, 흡착 콜릿 (31) 을 포함하는 기판 유지 기구 (30) 는 유리 기판 (5) 을 기판 수납면 (62) 으로 적정하게 방출할 수 있는 방출 위치로 이동시킨다.

기판 이재 장치 (1) 에는 또한 카메라 (91, 92) 가 배치되어 있다. 카메라 (91, 92) 는 각각, 로터리 포켓 (20) 의 가동 범위 중 어딘가에서, 제 2 위치에 있는 포켓 (21) 에 대향하도록, 즉 연직 하방을 향하여 배치되어 있다. 카메라 (91) 는 방향 판정부 (95) 를 통하여 처리부 (71) 에 접속되어 있다 (도 6 참조). 또한, 카메라 (92) 는 파손 판정부 (96) 를 통하여 처리부 (71) 에 접속되어있다 (도 6 참조).

카메라 (91) 는 카메라 (93, 94) 와 동일하게 CCD를 이용한 촬상 소자를 구비한 카메라이다. 카메라 (91) 는 포켓 (21) 에 탑재된 유리 기판 (5) 의 방향 판정용 마크를 촬영하여, 촬영한 화상 데이터를 방향 판정부 (95) 로 송신한다. 방향 판정부 (95) 는 수신한 데이터로부터, 유리 기판 (5) 의 방향을 검출하여, 판정한다. 구체적으로는 방향 판정용 마크가 소정의 위치에 있으면 유리 기판 (5) 의 방향은 정상이고, 방향 판정용 마크가 소정의 위치의 반대측, 즉 유리 기판 (5) 의 중심에 대하여 점대칭인 위치에 있으면 유리 기판 (5) 의 방향은 180도 어긋난 것이고, 방향 판정용 마크의 위치가 상기 서술한 어떤 것에도 해당되지 않는 경우는 유리 기판 (5) 은 표리 반대인 탑재 위치를 포함하는, 상기 이외의 이상한 탑재가 행해져 있다고 판정한다. 그 후 방향 판정부 (95) 는 당해 유리 기판 (5) 의 방향 정보를 처리부 (71) 로 송신한다. 처리부 (71) 는 방향이 정상인 경우에는 특별한 동작은 실시하지 않는다. 또한, 방향이 180도 어긋나있는 경우에는 기판 유지 기구 (30) 가 당해 유리 기판을 유지하였을 때에, 반송 기구 (40) 에 대하여 기판 유지 기구 (30) 를 θ 방향으로 180도 회전시키기 위한 신호를 송신하고, 방향이 표리 반대인 경우에는 기판 이재 장치 (1) 전체를 정지시킨다. 또, 카메라 (91) 및 방향 판정부 (95) 가 본 발명에 있어서의 「제 1 검출 기구」 에 대응한다.

카메라 (92) 도, 카메라 (93, 94) 와 동일하게 CCD를 이용한 촬상 소자를 구 비한 카메라이다. 카메라 (94) 는 포켓 (21) 에 탑재된 유리 기판 (5) 단면을 촬영하여, 촬영한 화상 데이터를 파손 판정부 (96) 로 송신한다. 파손 판정부 (96) 는 수신한 데이터로부터, 유리 기판 (5) 에 있어서의 파손 유무를 검출하여, 판정한다. 구체적으로는 촬영된 단면의 화상에 깨어짐·결여 등의 파손에 의한 콘트라스트 변화가 있는 경우에, 유리 기판 (5) 이 파손되어 있다고 판정한다. 그 후 파손 판정부 (96) 는 당해 유리 기판 (5) 의 파손 유무 정보를 처리부 (71) 로 송신한다. 처리부 (71) 는 유리 기판 (5) 에 파손이 없는 경우에는 특별한 동작은 행하지 않는다. 또한, 파손이 있는 경우에는 기판 이재 장치 (1) 전체를 정지시킨다. 또, 카메라 (92) 및 파손 판정부 (96) 가 본 발명에 있어서의 「제 2 검출 기구」 에 대응한다.

카메라 (91, 92) 의 이러한 기능에 의해, 기판 이재 장치 (1) 는 파손되지 않은 유리 기판 (5) 만을 소정의 방향으로 팔렛트 (61) 의 기판 수납면 (62) 으로 이재할 수 있다.

이상 서술한 구성을 갖는 기판 이재 장치 (1) 는 유리 기판 (5) 을 기판 수납 케이스 (51) 로부터 팔렛트 (61) 의 기판 수납면 (62) 으로, 사람의 손을 거치지 않고 이재할 수 있다.

(B. 기판 이재 방법)

이어서, 도 6 을 사용하여 기판 이재 장치 (1) 의 전기적인 구성에 관해서 설명하고, 그 후, 이에 근거하여 도 7 에서 도 9 를 사용하여 본 실시형태에 있어서의 기판 이재 방법에 관해서 설명한다.

도 6 은 기판 이재 장치 (1) 의 전기적 구성을 나타내는 블록도이다. 이 도면에 나타내는 바와 같이, 처리부 (71) 는 핸드 이동 기구 (12), 핸드 이동 기구 기부 (13), 이동 기구 (23), 방향 판정부 (95), 파손 판정부 (96), 기판 단면 판정부 (97), 팔렛트 격벽 단면 판정부 (98), 기판 유지 기구 (30), 반송 기구 (40), 레시피 기억부 (72; recipe storage unit) 및 입력부 (73) 와 접속되어 있다. 처리부 (71) 는 상기 서술한 구성 요소로부터 각종 정보 및 신호를 받아들임과 함께, 이들을 처리하고, 또한, 상기 구성 요소에 각종 정보 및 신호를 송신한다. 기판 이재 장치 (1) 는 처리부 (71) 가, 기판 이체 기구 (10), 로터리 포켓 (20), 기판 유지 기구 (30), 반송 기구 (40) 등을 구동하기 위한 신호를 적절한 타이밍에 송신함으로써, 이들 구성 요소를 순차 구동하여 기판을 이재하는 장치이다.

레시피 기억부 (72) 는 입력부 (73) 로부터 입력된 레시피 정보를 처리부 (71) 를 통하여 수취, 기억한다. 여기서, 레시피 정보는 유리 기판 (5) 의 사이즈, 기판 수납 케이스 (51) 에 수납되어 있는 유리 기판 (5) 의 매수, 지지 홈 (52) 의 피치, 방향 판정용 마크의 위치, 팔렛트 (61) 의 기판 수납면 (62) 의 배치 (행·열의 수) 를 포함한다.

계속해서, 본 실시형태의 기판 이재 방법에 관해서 도 7 에서 도 9 를 사용하여 설명한다. 도 7 의 공정도에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 기판 이재 방법은 공정 S1 에서 공정 S17 로 나눌 수 있다. 도 7 에 있어서, 각 공정은 대상이 되는 구성 요소별로 열방향으로 나뉘어져 배치되어 있고, 화살표가 공정의 진행 방향을 나타낸다. 도 8 및 도 9 는 본 실시형태의 기판 이재 방법의 모식도이다.

공정 S1 에서는 로터리 포켓 (20) 이 제 3 위치로 이동함과 함께, 포켓 (21) 이 제 1 위치로 이동한다. 이들 이동은 처리부 (71) 로부터 발신된 당해 이동을 위한 신호를 이동 기구 (23) 가 수신하여, 이동 기구 (23) 가 당해 신호에 근거하여 로터리 포켓 (20) 전체를 평행 이동시킴과 함께, 포켓 기부 (22) 를 회전축 (24) 을 중심으로 회전시킴으로써 실시된다.

이어지는 공정 S2 에서는 기판 이체 기구 (10) 의 핸드 (11) 가, 기판 수납 케이스 (51) 에 수납된 유리 기판 (5) 을 파지한다. 이 공정은 보다 상세하게는 핸드 (11) 가 유리 기판 (5) 을 파지할 수 있는 위치로 이동하는 단계와, 핸드 (11) 의 파지 핑거가 유리 기판 (5) 단면을 가지고 이것을 파지하는 단계를 포함한다.

상기 서술한 핸드 (11) 의 이동 및 파지 핑거에 의한 유리 기판 (5) 의 파지는 다음과 같은 동작의 조합에 의해서 행해진다. 처리부 (71) 는 당해 이동 및 파지을 위한 신호를 핸드 이동 기구 기부 (13) 및 핸드 이동 기구 (12) 로 송신한다. 핸드 이동 기구 기부 (13) 는 당해 신호에 근거하여 핸드 이동 기구 (12) 를 이동시킨다. 핸드 이동 기구 (12) 는 당해 신호에 근거하여 핸드 (11) 및 핸드 (11) 의 파지 핑거를 움직인다. 핸드 (11) 는 이들 동작의 조합에 따라 이동하여, 유리 기판 (5) 을 파지한다. 또, 처리부 (71) 가 발신하는 신호는 레시피 기억부 (72) 에 기억된 유리 기판 (5) 의 사이즈, 기판 수납 케이스 (51) 에 수납되어 있는 유리 기판 (5) 의 매수, 기판 수납 케이스 (51) 의 지지 홈 (52) 의 피치 정보를 바탕으로 처리부 (71) 에 의해서 생성된다.

핸드 (11) 에 의한 유리 기판 (5) 의 파지가 행해진 경우에는 공정 S3 이 행해진다. 이 공정에서는 도 8(a) 에 나타내는 바와 같이, 기판 이체 기구 (10) 의 핸드 (11) 가 유리 기판 (5) 을 로터리 포켓 (20) 의 포켓 (21) 에 탑재시킨다. 이 공정은 보다 상세하게는 핸드 (11) 가 유리 기판 (5) 을 포켓 (21) 에 탑재시킬 수 있는 위치로 이동하는 단계와, 핸드 (11) 의 파지 핑거가 유리 기판 (5) 을 놓아 이것을 포켓 (21) 에 탑재시키는 단계를 포함한다.

상기 서술한 핸드 (11) 의 이동 및 유리 기판 (5) 의 개방은 다음과 같은 동작의 조합에 의해서 행해진다. 처리부 (71) 는 당해 이동 및 파지를 위한 신호를 핸드 이동 기구 기부 (13) 및 핸드 이동 기구 (12) 로 송신한다. 핸드 이동 기구 기부 (13) 는 당해 신호에 근거하여 핸드 이동 기구 (12) 를 이동시킨다. 핸드 이동 기구 (12) 는 당해 신호에 근거하여 핸드 (11) 및 핸드 (11) 의 파지 핑거를 움직인다. 핸드 (11) 는 이들 동작의 조합에 의해서 이동하여, 유리 기판 (5) 을 개방한다.

상기 서술한 공정 S2 및 S3 은 본 발명에 있어서의 「제 1 단계」 에 대응한다.

다음으로, 공정 S4 에 있어서, 로터리 포켓 (20) 의 포켓 (21) 이 제 2 위치로 이동함과 함께, 로터리 포켓 (20) 이 포켓 (21) 과 카메라 (91) 가 서로 대향하는 위치 (도 8(b) 참조) 로 이동한다. 로터리 포켓 (20) 및 포켓 (21) 의 이동은 처리부 (71) 로부터 발신된 당해 이동을 위한 신호를 이동 기구 (23) 가 수신하 여, 이동 기구 (23) 가 당해 신호에 근거하여 로터리 포켓 (20) 전체를 평행 이동시킴과 함께, 포켓 기부 (22) 를 회전축 (24) 을 중심으로 회전시킴으로써 실시된다.

로터리 포켓 (20) 의 이동이 완료된 경우에는 공정 S5 에 있어서, 포켓 (21) 에 탑재된 유리 기판 (5) 의 방향을 검출한다. 당해 검출은 카메라 (91), 방향 판정부 (95) 및 처리부 (71) 의 협동으로 행해진다. 당해 판정 시의 동작은 이미 상세히 서술하였기 때문에 중복을 피하기 위해서 여기서는 설명하지 않는다.

공정 S5 에 있어서, 유리 기판 (5) 이 정확하게 탑재되어 있다고, 또는 180도 회전하여 탑재되어 있다고 판정된 경우에는 공정 S6 에 있어서, 로터리 포켓 (20) 이 포켓 (21) 과 카메라 (92) 가 서로 대향하는 위치 (도 8(c) 참조) 로 이동한다. 로터리 포켓 (20) 의 이동은 처리부 (71) 로부터 발신된 당해 이동을 위한 신호를 이동 기구 (23) 가 수신하여, 이동 기구 (23) 가 당해 신호에 근거하여 로터리 포켓 (20) 전체를 평행 이동시킴으로써 실시된다.

로터리 포켓 (20) 의 이동이 완료된 경우에는 공정 S7 에 있어서, 포켓 (21) 에 탑재된 유리 기판 (5) 의 파손 검출이 행해진다. 당해 검출은 카메라 (92), 파손 판정부 (96) 및 처리부 (71) 의 협동으로 행해진다. 당해 판정 시의 동작은 이미 상세히 서술하였기 때문에 중복을 피하기 위해서 여기서는 설명하지 않는다.

또, 공정 S5 에 있어서, 유리 기판 (5) 이 표리가 반대로 탑재되어 있다고 판정된 경우, 또는 공정 S6 에 있어서, 유리 기판 (5) 이 파손되어 있다고 판정된 경우에는 공정 S17 이 행해진다. 이 공정에서는 처리부 (71) 가 기판 이재 장치를 정지시킨다. 그 후는 작업자가 유리 기판 (5) 을 제거하는 등의 대처를 하여, 다시 공정 S1 으로부터 기판의 이재를 시작하게 된다.

공정 S7 에 있어서, 유리 기판 (5) 에 파손이 없다고 판정된 경우에는 공정 S8 에 있어서, 로터리 포켓 (20) 이 제 4 위치로 이동한다. 로터리 포켓 (20) 의 이동은 처리부 (71) 로부터 발신된 당해 이동을 위한 신호를 이동 기구 (23) 가 수신하여, 이동 기구 (23) 가 당해 신호에 근거하여 로터리 포켓 (20) 전체를 평행 이동시킴으로써 실시된다.

로터리 포켓 (20) 의 이동이 완료된 경우에는 공정 S9 가 행해진다. 이 공정에서는 도 9(a) 에 나타내는 바와 같이, 기판 유지 기구 (30) 가 유지 위치로 이동함과 함께, 기판 유지 기구 (30) 의 흡착 콜릿 (31) 이 포켓 (21) 에 탑재된 유리 기판 (5) 을 유지한다. 이 공정은 본 발명에 있어서의 「제 2 단계」 에 대응한다.

기판 유지 기구 (30) 의 유지 위치로의 이동은 처리부 (71) 로부터 발신된 당해 이동을 위한 신호를 반송 기구 (40) 가 수신하여, 반송 기구 (40) 가 당해 신호에 근거하여, 기판 유지 기구 (30) 를 동반하여 이동함으로써 실시된다. 또한, 흡착 콜릿 (31) 에 의한 유리 기판 (5) 의 흡착은 처리부 (71) 로부터 발신된 당해 흡착을 위한 신호를 기판 유지 기구 (30) 가 수신하여, 기판 유지 기구 (30) 가 당해 신호에 근거하여 흡착 콜릿 (31) 의 흡착 동작을 함으로써 실시된다. 또, 흡착 콜릿 (31) 이 유리 기판 (5) 을 흡착하는 때에는 포켓 (21) 의 흡착 구멍 (212) 에 의한 유리 기판 (5) 의 흡착은 행해지지 않는다.

여기서, 당해 유리 기판 (5) 이, 공정 S5 에 있어서 정상인 방향으로부터 180도 회전되어 있다고 판정된 경우에는 공정 S10 이 행해진다. 공정 S10 에서는 기판 유지 기구 (30) 가 흡착 콜릿 (31) 을 θ 방향으로 180도 회전시킨다. 당해 회전은 처리부 (71) 로부터 발신된 당해 회전을 위한 신호를 기판 유지 기구 (30) 가 수신하여, 기판 유지 기구가 당해 신호에 근거하여 흡착 콜릿 (31) 을 회전시킴으로써 실시된다. 이 공정을 거친 유리 기판 (5) 의 방향은 정상인 상태로 수정된다.

공정 S10 이 종료된 경우, 또는 공정 S9 에 있어서 기판 유지 기구 (30) 가 정상인 방향에서 유리 기판 (5) 을 유지한 경우에는 공정 S11 이 행해진다. 공정 S11 에서는 기판 유지 기구 (30) 가 유리 기판 (5) 과 카메라 (93) 가 서로 대향하는 위치 (도 9(b) 참조) 로 이동한다. 기판 유지 기구 (30) 의 이동은 처리부 (71) 로부터 발신된 당해 이동을 위한 신호를 반송 기구 (40) 가 수신하여, 반송 기구 (40) 가 당해 신호에 근거하여, 기판 유지 기구 (30) 를 동반하여 이동함으로써 실시된다.

이어지는 공정 S12 에서는 유리 기판 (5) 단면의 검출이 행해진다. 이 공정은 카메라 (93), 기판 단면 판정부 (97) 및 처리부 (71) 의 협동으로 행해진다. 당해 검출 시의 동작은 이미 상세히 서술하였기 때문에 중복을 피하기 위해서 여기서는 설명하지 않는다.

다음으로, 공정 S13 에 있어서, 기판 유지 기구 (30) 가 카메라 (94) 와 팔 렛트 (61) 의 기판 수납면 (62) 이 대향하는 위치로 이동한다. 상기 서술한 바와 같이, 카메라 (94) 는 기반 유지 기구 (30) 에 고정되어 있기 때문에, 기판 유지 기구 (30) 의 이동에 동반하여 이동한다.

이렇게 해서 카메라 (94) 와 기판 수납면 (62) 이 대향한 상태로, 공정 S14 에 있어서 팔렛트 격벽 (63) 단면의 검출이 행해진다. 이 공정은 카메라 (94), 팔렛트 격벽 단면 판정부 (98) 및 처리부 (71) 의 협동으로 행해진다. 당해 검출 시의 동작은 이미 상세히 서술하였기 때문에 중복을 피하기 위해서 여기서는 설명하지 않는다.

팔렛트 격벽 (63) 단면의 검출이 종료된 경우에는 공정 S15 가 행해진다. 이 공정에서는 기판 유지 기구 (30) 가 방출 위치 (도 9(c) 참조) 로 이동한다. 이 공정은 본 발명에 있어서의 「제 3 단계」 에 대응한다.

이 공정에서의 기판 유지 기구 (30) 의 이동은 다음과 같이 행해진다. 처리부 (71) 는 공정 S12, 14 에 있어서, 기판 단면 판정부 (97) 및 팔렛트 격벽 단면 판정부 (98) 로부터 각각 유리 기판 (5) 단면 및 팔렛트 격벽 (63) 의 단면 위치 및 각도 정보를 수신하고 있다. 처리부 (71) 는 이들 데이터로부터, 기판 유지 기구 (30) 가 유지하는 유리 기판 (5) 을 적정한 위치로 이동시키기 위해서 필요한 정보를 반송 기구 (40) 및 기판 유지 기구 (30) 로 송신한다. 당해 필요한 정보란, 기판 유지 기구 (30) 의 X, Y, Z 방향의 이동량과, 흡착 콜릿 (31) 의 회전각도 θ이고, 전자는 반송 기구 (40) 로, 후자는 기판 유지 기구 (30) 로, 각각 송신된다. 다음으로, 반송 기구 (40) 는 수신한 정보를 바탕으로 기판 유 지 기구 (30) 를 이동시킨다. 또한, 기판 유지 기구 (30) 는 수신한 정보를 바탕으로 흡착 콜릿 (31) 을 회전시킨다. 이렇게 해서, 흡착 콜릿 (31) 을 포함하는 기판 유지 기구 (30) 는 적정한 방출 위치로 이동한다.

이어지는 공정 S16 에서는 기판 유지 기구 (30) 의 흡착 콜릿 (31) 이 유리 기판 (5) 을 방출하여, 당해 유리 기판 (5) 을 팔렛트 (61) 의 기판 수납면 (62) 에 수납한다. 이 공정은 본 발명에 있어서의 「제 4 단계」에 대응한다.

이 공정은 처리부 (71) 가 기판 유지 기구 (30) 에 대하여 유리 기판 (5) 을 방출하기 위한 신호를 발신하여 행해진다. 당해 신호를 수신한 기판 유지 기구 (30) 는 흡착 콜릿 (31) 의 흡착 동작을 정지시킴으로써 유리 기판 (5) 을 방출한다. 방출된 유리 기판 (5) 은 도 5 에 나타내는 것과 같은 상태로 팔렛트 (61) 의 기판 수납면 (62) 에 수납된다.

이상의 공정에 의해, 한 장의 유리 기판 (5) 이 기판 수납 케이스 (51) 로부터 팔렛트 (61) 의 기판 수납면 (62) 으로 이재된다. 이들 일련의 공정에 걸리는 시간은 약 7초이다. 이들 공정을 레시피 기억부 (72) 에 기억된 기판 수납 케이스 (51) 에 수납되어 있는 유리 기판 (5) 의 매수 분만큼 반복하여, 동일한 팔렛트 (61) 의 기판 수납면 (62) 의 배치 (행·열의 수) 정보에 근거하여 유리 기판 (5) 을 팔렛트 (61) 에 수납한다.

이렇게 해서, 기판 수납 케이스 (51) 에 수납된 모든 유리 기판 (5) 을 사람의 손을 거치지 않고 높은 수율로 팔렛트 (61) 로 이재할 수 있다. 발명자의 조사에 의하면, 사람의 손으로 유리 기판 (5) 을 이재했을 때에는 파손, 수납 방향 의 틀림 등을 원인으로 하는 불량에 의해 수율이 약 75% 이었으나, 본 실시형태의 기판 이재 장치 (1) 를 사용함으로써 이들 불량이 저감되어, 수율이 약 96% 까지 향상되는 것이 확인되었다.

(C. 전기 광학 장치의 제조 방법)

계속해서, 상기 서술한 기판 이재 방법을 포함하는 「전기 광학 장치의 제조 방법」으로서의 액정 표시 장치의 제조 방법에 관해서, 도 10 을 참조하면서 설명한다. 도 10 은 본 실시형태의 액정 표시 장치의 제조 순서를 나타내는 공정도이다. 도 10 에 있어서, 공정 P11 에서부터 P14 는 복수의 소자 기판 (81) 이 일체로 형성된 복합 소자 기판을 제조하기 위한 공정이고, 공정 P21 및 공정 P23 이 대향 기판 (82) 을 제조하기 위한 공정이다. 공정 P31 로부터 공정 P35 는 복합 소자 기판 및 대향 기판 (82) 을 조합하여 액정 패널 (80), 나아가서는 액정 표시 장치 (100) 를 완성시키기 위한 공정이다. 공정 P11 로부터 P14 와, 공정 P21 및 공정 P23 은 각각 독립적으로 행해진다.

공정 P11 은 복합 소자 기판의 기본이 되는 원반상의 석영 유리 기판의 표면에, TFT 소자, 금속 배선, 투명 전극을 포함하는 구성 요소를 적층하여 형성하는 공정이다. 한 장의 석영 유리 기판에는 복수의 액정 표시 장치에 대응하는 이들 구성 요소가 형성된다. 이 공정은 예를 들어 포토리소그래피법에 의해서 행해진다.

공정 P12 는 공정 P11 에서 형성된 구성 요소에 거듭하여, 플렉소 인쇄법 (flexography) 에 의해서 폴리이미드로 이루어지는 배향막을 형성하는 공정이다.

공정 P13 은 공정 P12 에 있어서 형성된 배향막의 표면을 천으로 문지르는 러빙이라고 불리는 공정이다. 러빙 공정을 거친 배향막은 이에 접하는 액정을 당해 러빙 방향을 따라 배향시키는 기능을 갖는다.

공정 P14 는 공정 P13 에 있어서 러빙된 면에, 스크린 인쇄법에 의해서 시일제를 형성하는 공정이다. 시일제는 대향 기판 (82) 을 부착하는 영역의 외연부에, 후술하는 액정 주입을 위한 주입구가 되는 부분을 제외하고 형성된다. 이상의 공정 P11 로부터 P14 를 거쳐, 복합 소자 기판이 완성된다.

공정 P21 은 기판 수납 케이스 (51) 에 수납된 상태의 유리 기판 (5) 을 기판 이재 장치 (1) 를 사용하여 팔렛트 (61) 의 기판 수납면 (62) 으로 이재하여 나열하는 공정이다. 이 공정은 상술한 공정 S1 부터 S17 을 포함하고 있다. 이들 공정에 관해서는 이미 상세히 서술하였기 때문에, 중복을 피하기 위해서 여기서는 설명하지 않는다. 또, 유리 기판 (5) 의 한 쪽 표면에는 상기 서술한 바와 같이 투명 전극 및 배향막이 형성되어 있고, 유리 기판 (5) 은 당해 배향막이 형성된 면을 위로 하여 팔렛트 (61) 로 이재된다.

공정 P23 은 공정 P21 에 있어서 팔렛트 (61) 상에 나열된 유리 기판 (5) 표면의 배향막을 천으로 문지르는 러빙이라고 불리는 공정이다. 유리 기판 (5) 은 팔렛트 (61) 에 배향막을 위로 하여 동일 평면상에 나열되어 있기 때문에, 팔렛트 (61) 상의 모든 유리 기판 (5) 에 대하여 한번에 러빙을 할 수 있다. 러빙 공정을 거친 배향막은 이에 접하는 액정을 당해 러빙 방향을 따라 배향시키는 기능을 갖는다. 이상의 공정 P21 및 P23 을 거쳐, 대향 기판 (82) 이 완성된다.

공정 P31 은 복합 소자 기판에 시일제를 통하여 대향 기판 (82) 을 접합하여, 접합 기판을 형성하는 공정이다. 접합은 복합 소자 기판과 대향 기판 (82) 과의 사이에서 얼라인먼트 (위치 맞추기) 한 상태로 접촉, 압착하고, 그 후 시일제를 건조시켜 행해진다.

공정 P32 는 복합 소자 기판, 대향 기판 (82) 및 시일제에 의해서 둘러싸인 영역에 액정을 주입하는 공정이다. 이 공정은 진공하에서 상기 서술한 주입구에 액정을 적하하여, 모세관 현상에 의해서 상기 영역에 액정을 도입하여 실시한다.

공정 P33 은 복합 소자 기판과 대향 기판 (82) 과의 사이의 기판 간격을 적정한 상태로 조정한 상태에서 주입구를 밀봉하는 공정이다. 밀봉은 주입구에 자외선 경화성 수지를 도포한 뒤에 자외선을 조사하여, 당해 수지를 경화시켜 실시한다.

공정 P34 는 액정 주입 및 밀봉이 완료된 접합 기판을 개개의 액정 표시 장치에 대응하는 형상으로 브레이크하여 (breaking) 단품인 액정 패널 (80) (도 11(a) 참조) 을 제조하는 공정이다. 브레이크는 복합 소자 기판의 표면에 스크라이브 홈을 형성하여, 당해 스크라이브 홈의 위치에서 복합 소자 기판을 절단하여 행해진다. 액정 패널 (80) 은 복합 소자 기판을 절단하여 얻어지는 단품에 대응하는 크기의 소자 기판 (81) 과 대향 기판 (82) 을 갖는다.

공정 P35 는 공정 P34 에서 얻어진 액정 패널 (80) 에, 외부와 전기적으로 접속하기 위한 FPC (Flexible Printed Circuit) (84) (도 11(a) 참조), 액정 패널 (80) 의 표면에 이물이 부착되는 것을 방지하는 방진 유리 (83) (도 11(a) 참조), 액정 패널 (80) 의 보호나 방열을 위한 커버 (85) (도 11(b) 참조) 를 실장하는 공정이다. 이상의 공정을 거쳐, 액정 표시 장치 (100) 가 제조된다.

이상 설명한 것과 같은 액정 표시 장치 (100) 의 제조 방법에 의하면, 유리 기판 (5) 을 사람의 손을 거치지 않고서 기판 수납 케이스 (51) 로부터 팔렛트 (61) 로 이재할 수 있기 때문에, 높은 수율로 액정 표시 장치 (100) 를 제조할 수 있다. 또한, 보다 적은 작업 요원에 의해서 액정 표시 장치 (100) 를 제조할 수 있다.

이상, 본 발명의 실시형태에 관해서 설명하였지만, 상기 실시형태에 대하여는 본 발명의 취지로부터 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지 변형을 가할 수 있다. 변형예로는 예를 들어 이하와 같은 것을 생각할 수 있다.

(변형예 1)

상기 서술한 실시형태는 유리 기판 (5) 을 기판 수납 케이스 (51) 로부터 팔렛트 (61) 로 이재하는 것이지만, 본 실시형태의 기판 이재 장치 (1) 를 사용하면, 팔렛트 (61) 로부터 기판 수납 케이스 (51) 로의 이재, 즉 상기 서술한 것과 역방향의 이재도 가능하다. 이하에서는 유리 기판 (5) 을 팔렛트 (61) 로부터 기판 수납 케이스 (51) 로 이재하는 방법을 도 12 를 사용하여 설명한다.

본 변형예에 있어서는 우선 도 12(a) 에 나타내는 것과 같이, 기판 유지 기구 (30) 가 상기 서술한 방출 위치로 이동하여, 팔렛트 (61) 의 기판 수납면 (62) 에 수납된 유리 기판 (5) 을 유지한다. 보다 상세하게는 기판 유지 기구 (30) 에 포함되는 흡착 콜릿 (31) 이, 유리 기판 (5) 을 흡착함으로써 이것을 유지한다. 다음으로, 유리 기판 (5) 을 유지한 기판 유지 기구 (30) 가 상기 서술한 유지 위치로 이동함과 함께, 로터리 포켓 (20) 이 제 4 위치로 이동한다. 그 때, 포켓 (21) 은 제 2 위치로 이동한다. 그 후, 도 12(b) 에 나타내는 바와 같이, 기판 유지 기구 (30) 의 흡착 콜릿 (31) 이 유리 기판 (5) 을 방출하여, 포켓 (21) 에 탑재시킨다. 이어서, 유리 기판 (5) 을 탑재한 포켓 (21) 이 제 1 위치로 이동함과 함께, 로터리 포켓 (20) 이 제 3 위치로 이동한다. 이 상태에서, 도 12(c) 에 나타내는 바와 같이, 기판 이체 기구 (10) 의 핸드 (11) 가 유리 기판 (5) 을 파지한다. 당해 파지는 포켓 (21) 의 격벽 (211c) 의 빈틈을 이용하여 파지 핑거가 유리 기판 (5) 의 단면을 파지하여 행한다. 유리 기판 (5) 을 파지한 핸드 (11) 는 기판 수납 케이스 (51) 의 지지 홈 (52) 을 따라 당해 유리 기판 (5) 을 기판 수납 케이스 (51) 내로 끼워 넣고, 그 후 유리 기판 (5) 을 개방함으로써 기판 수납 케이스 (51) 에 수납한다. 이상과 같은 공정에 의하면, 기판 이재 장치 (1) 를 사용하여 유리 기판 (5) 을 팔렛트 (61) 로부터 기판 수납 케이스 (51) 로 이재할 수 있다.

본 변형예는 유리 기판 (5) 의 이재 방향이 상기 서술한 실시형태와 반대이지만, 기판 이재 장치 (1) 의 각 구성 요소의 동작은 당해 실시형태와 같기 때문에, 이들에 관한 상세한 설명은 생략한다.

(변형예 2)

상기 서술한 실시형태에 있어서의 기판 이재 장치 (1) 는 유리 기판 (5) 을 이재하지만, 반송하는 대상은 이것에 한정되지 않고, 기판의 형상을 갖는 것이면 이재할 수 있다. 예를 들어, 석영 기판, 규소 기판 등을 이재하는 것도 가능하다. 또한, 기판 이재 장치 (1) 는 상기 서술한 반송 방법으로 반송 가능한 것인 한, 반송하는 기판의 크기는 특별히 한정하지 않는다.

(변형예 3)

상기 서술한 실시형태에 있어서, 핸드 (11) 는 파지 핑거를 가지고, 유리 기판 (5) 을 파지할 수 있도록 구성되어 있지만, 핸드는 유리 기판 (5) 을「유지」할 수 있는 것이면 무엇이든지 좋다. 예를 들어, 흡착 콜릿과 같이 유리 기판 (5) 을 흡착하여 유지하는 것을 핸드로 사용할 수도 있다.

(변형예 4)

상기 서술한 실시형태에 있어서, 포켓 (21) 은 수평으로부터 기울어진 제 1 위치와, 수평인 제 2 위치와의 사이에서 이동할 수 있도록 구성되어 있지만, 이 대신에 제 2 위치에 고정된 구성이어도 된다. 이 경우에는 기판 수납 케이스 (51) 는 유리 기판 (5) 을 수평인 상태로 수납하는 것이 바람직하고, 기판 이체 기구 (10) 는 당해 수평인 상태의 유리 기판 (5) 을 유지하고, 이것을 평행 이동하여 포켓 (21) 에 탑재시키는 것이 바람직하다. 이러한 기판 이체 기구 (10) 의 예로는 수평인 유리 기판 (5) 을 상부로부터 흡착하여 유지하는 흡착 기구를 구비한 기판 이체 기구를 들 수 있다.

(변형예 5)

상기 서술한 실시형태는 한 쌍의 유리 기판을 사용하여 투과형의 액정 표시 장치 (100) 를 제조하는 것이지만, 본 발명에 의한 기판 이재 방법은 그 외에도, 반사막을 갖는 규소기판을 사용한 LCOS (Liquid Crystal on Silicon) 를 비롯하여, 여러 가지 전기 광학 장치의 제조에 응용할 수 있다.

본 발명에 의하면 액정 표시 장치 제조시 유리 기판을 사람의 손을 거치지 않고서 기판 수납 케이스로부터 팔렛트로 이재할 수 있는 이점이 있으므로, 사람의 손에 의한 이재시 발생하는 기판의 파손, 이재 위치의 어긋남, 기판 수납 방향의 틀림 등을 원인으로 하는 수율 저하를 개선하여 높은 수율로 액정 표시 장치를 제조할 수 있고, 또한 보다 적은 작업 인력으로도 액정 표시 장치를 제조할 수 있다.

Claims (13)

1. 내벽에 지지 홈을 갖는 제 1 기판 수납 케이스에 상기 지지 홈을 따라 수납된 기판을 제 2 기판 수납 케이스에 포함되는 기판 수납면으로 이재 (移載) 하는 장치로서,

   상기 제 1 기판 수납 케이스를 탑재하는 제 1 기판 수납 케이스 탑재부;

   상기 제 2 기판 수납 케이스를 탑재하는 제 2 기판 수납 케이스 탑재부;

   상기 제 1 기판 수납 케이스에 수납된 상기 기판을 유지하여 상기 제 1 기판 수납 케이스로부터 끌어냄과 함께, 상기 기판을 기판 탑재 기구의 기판 탑재부로 이체 (移換) 하는 기판 이체 기구;

   상기 기판 탑재부에 탑재된 상기 기판을 유지 위치에서 유지함과 함께, 방출 위치에서 상기 기판을 방출하여 상기 제 2 기판 수납 케이스의 상기 기판 수납면에 배치하는 기판 유지 기구; 및

   상기 기판 유지 기구를 상기 유지 위치로부터 상기 방출 위치로 반송하는 반송 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 이재 장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 기판 탑재 기구는 상기 기판 탑재부를 제 1 위치 및 제 2 위치를 포함하는 복수의 위치로 이동시키는 이동 기구를 가지고,

   상기 제 1 위치에 있는 상기 기판 탑재부에 탑재된 상기 기판은, 상기 제 1 기판 수납 케이스 탑재부 상의 상기 제 1 기판 수납 케이스에 수납된 상기 기판과 거의 평행한 것을 특징으로 하는 기판 이재 장치.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 제 2 위치에 있는 상기 기판 탑재부에 탑재된 상기 기판 및 상기 제 2 기판 수납 케이스에 포함되는 상기 기판 수납면은 거의 수평이고,

   상기 기판 유지 기구는 상기 제 2 위치에 있는 상기 기판 탑재부에 탑재된 상기 기판을 상기 유지 위치에서 유지하는 것을 특징으로 하는 기판 이재 장치.
4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,

   상기 이동 기구는 상기 기판 탑재부를 포함하는 부위를 거의 수평인 축을 중심으로 회전시키는 회전 기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이재 장치.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 기판 유지 기구는 상기 기판을 흡착하여 유지하는 흡착 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 이재 장치.
6. 제 5 항에 있어서,

   상기 기판 유지 기구는 상기 흡착 기구를 대략 연직 (鉛直) 인 축을 중심으로 회전시키는 회전 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이재 장치.
7. 제 1 항에 있어서,

   상기 기판 탑재부에 탑재된 상기 기판의 방향을 검출하는 제 1 검출 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 이재 장치.
8. 제 1 항에 있어서,

   상기 기판 탑재부에 탑재된 상기 기판의 파손을 검출하는 제 2 검출 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 이재 장치.
9. 제 1 항에 있어서,

   상기 기판 유지 기구에 의해서 유지된 상기 기판의 단면 위치를 검출하는 제 3 검출 기구;

   상기 제 2 기판 수납 케이스의 상기 기판 수납면의 격벽 위치를 검출하는 제 4 검출 기구; 및

   상기 제 3 검출 기구에 의해서 검출된 상기 단면 위치 및 상기 제 4 검출 기구에 의해서 검출된 상기 격벽 위치로부터 상기 방출 위치를 산출하여, 상기 방출 위치 정보를 상기 반송 기구에 전달하는 처리부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 이재 장치.
10. 제 2 기판 수납 케이스에 포함되는 기판 수납면에 수납된 기판을 내벽에 지 지 홈을 갖는 제 1 기판 수납 케이스로 이재하는 장치로서,

    상기 제 2 기판 수납 케이스를 탑재하는 제 2 기판 수납 케이스 탑재부;

    상기 제 1 기판 수납 케이스를 탑재하는 제 1 기판 수납 케이스 탑재부;

    상기 제 2 기판 수납 케이스의 상기 기판 수납면에 탑재된 상기 기판을 유지 위치에서 유지함과 함께, 방출 위치에서 상기 기판을 방출하여 기판 탑재 기구의 기판 탑재부에 배치하는 기판 유지 기구;

    상기 기판 유지 기구를 상기 유지 위치로부터 상기 방출 위치로 반송하는 반송 기구; 및

    상기 기판 탑재부에 탑재된 상기 기판을 유지함과 함께, 상기 기판을 상기 제 1 기판 수납 케이스로 이체하는 기판 이체 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 이재 장치.
11. 내벽에 지지 홈을 갖는 제 1 기판 수납 케이스에 상기 지지 홈을 따라 수납된 기판을 제 2 기판 수납 케이스에 포함되는 기판 수납면으로 이재하는 방법으로서,

    기판 이체 기구가, 제 1 기판 수납 케이스 탑재부 상의 상기 제 1 기판 수납 케이스에 수납된 상기 기판을 유지하여 상기 제 1 기판 수납 케이스로부터 끌어냄과 함께, 상기 기판을 기판 탑재 기구의 기판 탑재부로 이체하는 제 1 단계;

    기판 유지 기구가, 상기 기판 탑재부에 탑재된 상기 기판을 유지 위치에서 유지하는 제 2 단계;

    반송 기구가, 상기 기판 유지 기구를 상기 유지 위치로부터 방출 위치로 반송하는 제 3 단계; 및

    상기 유지 기구가, 상기 방출 위치에서 상기 기판을 방출하여 제 2 기판 수납 케이스 탑재부에 탑재된 상기 제 2 기판 수납 케이스의 상기 기판 수납면에 배치하는 제 4 단계를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 이재 방법.
12. 제 2 기판 수납 케이스에 포함되는 기판 수납면에 수납된 기판을 내벽에 지지 홈을 갖는 제 1 기판 수납 케이스로 이재하는 방법으로서,

    기판 유지 기구가, 제 2 기판 수납 케이스 탑재부 상의 상기 제 2 기판 수납 케이스에 포함되는 상기 기판 수납면에 수납된 기판을 유지 위치에서 유지하는 제 1 단계;

    반송 기구가, 상기 기판 유지 기구를 상기 유지 위치로부터 방출 위치로 반송하는 제 2 단계;

    상기 유지 기구가, 상기 방출 위치에서 상기 기판을 방출하여 상기 기판을 기판 탑재 기구의 기판 탑재부에 탑재시키는 제 3 단계; 및

    기판 이체 기구가, 상기 기판 탑재부에 탑재된 상기 기판을 유지함과 함께, 상기 기판을 제 1 기판 수납 케이스 탑재부에 탑재된 상기 제 1 기판 수납 케이스로 이체하는 제 4 단계를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 이재 방법.
13. 내벽에 지지 홈을 갖는 제 1 기판 수납 케이스에 상기 지지 홈을 따라 수납 된 기판을 제 2 기판 수납 케이스에 포함되는 기판 수납면으로 이재하여 전기 광학 장치를 제조하는 방법으로서,

    기판 이체 기구가, 제 1 기판 수납 케이스 탑재부 상의 상기 제 1 기판 수납 케이스에 수납된 상기 기판을 유지하고 상기 제 1 기판 수납 케이스로부터 끌어냄과 함께, 상기 기판을 기판 탑재 기구의 기판 탑재부로 이체하는 제 1 단계;

    기판 유지 기구가, 상기 기판 탑재부에 탑재된 상기 기판을 유지 위치에서 유지하는 제 2 단계;

    반송 기구가, 상기 기판 유지 기구를 상기 유지 위치로부터 방출 위치로 반송하는 제 3 단계; 및

    상기 유지 기구가, 상기 방출 위치에서 상기 기판을 방출하여 제 2 기판 수납 케이스 탑재부에 탑재된 상기 제 2 기판 수납 케이스의 상기 기판 수납면에 배치하는 제 4 단계를 갖는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 제조 방법.

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