JP5134301B2 - 薄板状材料搬送装置 - Google Patents
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Description
(4)前記交点を中心として、半径が前記L字の一辺の長さの円形領域内における、前記4列のエアテーブルユニット列の外側部分を埋めるようにして、前記と同様のL字形状エアテーブルユニット及び3角形状エアテーブルユニットを配置したことを特徴とする(3)に記載の薄板状材料搬送装置。
されるエアの吹出し圧力が均一化されるので、ガラス基板12を安定して直進搬送させることができる。
れる第4実施形態のように、1本の直線状のパスラインP5のみのようにしても良い。
12…ガラス基板(薄板状材料)
14…第1のエアテーブルユニット列
16…第2のエアテーブルユニット列
18…第3のエアテーブルユニット列
20、52B…3角形状エアテーブルユニット
22、52A…L字形状エアテーブルユニット
22A、22B…直線状エアテーブル
24…円形領域
26、52…外側部分
26B…小型L字形状エアテーブルユニット
26C…小型三角形状エアテーブルユニット
28…直進ローラユニット
29…アライメントローラ
30…方向転換ローラユニット
32…エアテーブル
33…上面部
33A…給気孔
34…正圧発生装置
C…交点
P1、P2、P3、P4、P5…直線状パスライン
34A…回転軸
35…駆動マグネットローラ
36…ブロワー
38…送りローラ上下動装置
42…送りローラ姿勢制御装置
46…駆動モータ
48…転換中心ピン
48A…載置皿
62…第4のエアテーブルユニット列
72…エアテーブルユニット列
Claims (8)
- 薄板状材料の搬送のための直線状パスラインに沿って、複数台連続して配置されたL字形状エアテーブルユニット、及び、このL字形状エアテーブルユニットの溝を埋める大きさの3角形状エアテーブルユニットを有してなり、
前記複数のL字形状エアテーブルユニットは、各々が、平坦な上面に複数の給気孔を備え、且つ、平面視でL字形状であって、L字の一辺及び他辺が、前記直線状パスラインに対して各々45°の角度で、且つL字角部を同一方向に向けて並べて配置されてエアテーブルユニット列を構成し、
前記3角形状エアテーブルユニットは、平坦な上面に複数の給気孔を備え、且つ、前記エアテーブルユニット列における尾端位置のL字形状エアテーブルユニットの略3角形の空白部に入り込むように配置され、
前記エアテーブルユニット列及び3角形状エアテーブルユニットの組合せを、2基、各々の直線状パスラインが直交するように配置してなり、
前記2列のエアテーブルユニット列は、各々の、エアテーブルユニット列の先端のL字角部が前記2本の直線状パスラインの交点近傍位置となるように配置され、
前記交点を中心として、半径が前記L字の一辺の長さの円形領域内における、前記2列のエアテーブルユニット列の外側部分を埋めるようにして、前記と同様のL字形状エアテーブルユニット及び3角形状エアテーブルユニットを配置したことを特徴とする薄板状材料搬送装置。 - 薄板状材料の搬送のための直線状パスラインに沿って、複数台連続して配置されたL字形状エアテーブルユニット、及び、このL字形状エアテーブルユニットの溝を埋める大きさの3角形状エアテーブルユニットを有してなり、
前記複数のL字形状エアテーブルユニットは、各々が、平坦な上面に複数の給気孔を備え、且つ、平面視でL字形状であって、L字の一辺及び他辺が、前記直線状パスラインに対して各々45°の角度で、且つL字角部を同一方向に向けて並べて配置されてエアテーブルユニット列を構成し、
前記3角形状エアテーブルユニットは、平坦な上面に複数の給気孔を備え、且つ、前記エアテーブルユニット列における尾端位置のL字形状エアテーブルユニットの略3角形の空白部に入り込むように配置され、
前記エアテーブルユニット列及び3角形状エアテーブルユニットの組合せを、3基、3本の直線状パスラインがT字形状に交差するように配置してなり、
前記3列のエアテーブルユニット列は、各々の、エアテーブルユニット列の先端のL字角部が前記3本の直線状パスラインの交点近傍位置となるように配置され、
前記交点を中心として、半径が前記L字の一辺の長さの円形領域内における、前記3列のエアテーブルユニット列の外側部分を埋めるようにして、前記と同様のL字形状エアテーブルユニット及び3角形状エアテーブルユニットを配置したことを特徴とする薄板状材料搬送装置。 - 薄板状材料の搬送のための直線状パスラインに沿って、複数台連続して配置されたL字形状エアテーブルユニット、及び、このL字形状エアテーブルユニットの溝を埋める大きさの3角形状エアテーブルユニットを有してなり、
前記複数のL字形状エアテーブルユニットは、各々が、平坦な上面に複数の給気孔を備え、且つ、平面視でL字形状であって、L字の一辺及び他辺が、前記直線状パスラインに対して各々45°の角度で、且つL字角部を同一方向に向けて並べて配置されてエアテーブルユニット列を構成し、
前記3角形状エアテーブルユニットは、平坦な上面に複数の給気孔を備え、且つ、前記エアテーブルユニット列における尾端位置のL字形状エアテーブルユニットの略3角形の空白部に入り込むように配置され、
前記エアテーブルユニット列及び3角形状エアテーブルユニットの組合せを、4基、4本の直線状パスラインが十字状に交差するように配置してなり、
前記4基のエアテーブルユニット列は、各々の、エアテーブルユニット列の先端のL字角部が前記4本の直線状パスラインの交点近傍位置となるように配置されたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。 - 請求項3において、
前記交点を中心として、半径が前記L字の一辺の長さの円形領域内における、前記4列のエアテーブルユニット列の外側部分を埋めるようにして、前記と同様のL字形状エアテーブルユニット及び3角形状エアテーブルユニットを配置したことを特徴とする薄板状材料搬送装置。 - 請求項1、2、4のいずれかにおいて、
前記複数のエアテーブルユニット列の、前記円形領域内の、前記交点から等距離の位置に、該交点を中心とする等角度間隔に配置された複数の薄板状材料搬送ユニットを有し、
該薄板状材料搬送ユニットは、上端に開口を備えた筒状体からなる吸引用パイプと、
この吸引用パイプの内側に、水平面内の回転軸廻りに回転自在に支持され、且つ、上端が前記吸引用パイプの上端の開口よりも僅かに突出可能とされた送りローラと、
前記吸引パイプに負圧を印加する負圧源と、
前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも90°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置と、
を有してなることを特徴とする薄板状材料搬送装置。 - 請求項5において、
前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置と、
前記負圧源から前記吸引用パイプに印加される負圧をオン・オフする負圧制御装置と、を設けたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。 - 請求項5において、
前記負圧源は排気ブロワーとされ、この排気ブロワーの吸気口は、前記吸引用パイプの下端開口に接続され、
前記送りローラを駆動するためのモータを含む駆動装置、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する、及び、前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも90°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置のうち、少なくとも前記駆動装置におけるモータを前記吸引用パイプ内に配置したことを特徴とする薄板状材料搬送装置。 - 請求項1乃至7のいずれかにおいて、
前記L字形状エアテーブルユニットは、平面視で、長さの異なる2台の矩形の直線状エアテーブルを直角に接続して構成されたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
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