CN102372174A - 板状体输送装置及板状体输送方法 - Google Patents

板状体输送装置及板状体输送方法 Download PDF

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Abstract

板状体输送装置及板状体输送方法。提供一种能够对板状体准确地施加推进力、并且在输送板状体时将板状体损坏防止于未然的板状体输送装置。将主输送辅助送风机构（19）的空气供给部（21）配设在中继输送部（B）的第1间隙（g1）中，将副输送辅助送风机构（20）的空气供给部（21）配设在中继输送部（B）的第2间隙（g2）中，在将中继输送部（B）从副输送状态切换为主输送状态的情况下，将主输送辅助送风机构（19）切换为供给状态且将副输送辅助送风机构（20）切换为供给停止状态，并且在将中继输送部（B）从主输送状态切换为副输送状态的情况下，将主输送辅助送风机构（19）切换为供给停止状态且将副输送辅助送风机构（20）切换为供给状态。

Description

板状体输送装置及板状体输送方法
技术领域
本发明涉及板状体输送装置和利用这样的板状体输送装置的板状体输送方法，所述板状体输送装置设有朝向矩形状的板状体的下表面供给清洁空气而将板状体以水平姿势在非接触状态下支承的送风式支承机构、和接触在由该送风式支承机构支承的板状体的下表面上而对该板状体施加输送方向上的推进力的推进力施加机构，并设有将板状体沿主输送方向输送的上游侧输送部、将板状体向与上述主输送方向正交的副输送方向输送的下游侧输送部、和将从上述上游侧输送部接受到的板状体的输送方向从上述主输送方向切换为上述副输送方向而交接给上述下游侧输送部的中继输送部。
背景技术
该板状体输送装置是通过上游侧输送部将板状体沿着主输送方向输送而将该板状体交接给中继输送部、在中继输送部中将板状体的输送方向从主输送方向切换为副输送方向、在中继输送部中将板状体沿着副输送方向输送而将该板状体交接给下游侧输送部、来输送板状体的装置，在将板状体的输送方向从主输送方向变更为副输送方向时使用（例如参照专利文献1）。
在该专利文献1中，一对主输送推进力施加机构中的位于副输送方向的上游侧的主输送推进力施加机构遍及从上游侧输送部到中继输送部而配设，但位于副输送方向的下游侧的主输送推进力施加机构仅配设在上游侧输送部中，在中继输送部中没有配设。
此外，一对副输送推进力施加机构中的位于主输送方向的下游侧的副输送推进力施加机构遍及从中继输送部到下游侧输送部而配设，但位于主输送方向的上游侧的副输送推进力施加机构仅配设在下游侧输送部中，在中继输送部中没有配设。
即，在中继输送部中，在将板状体沿主输送方向输送的情况下，仅使位于副输送方向的上游侧的主输送推进力施加机构接触在板状体的下表面上，对板状体沿主输送方向施加推进力，在将板状体沿副输送方向输送的情况下，仅使位于主输送方向的下游侧的副输送推进力施加机构接触在板状体的下表面上，对板状体沿副输送方向施加推进力。
专利文献1：特开2005－75543号公报
在上述专利文献1的板状体输送装置中，可以考虑，在中继输送部中设置副输送方向的下游侧的主输送推进力施加机构和主输送方向的上游侧的副输送推进力施加机构，在中继输送部中，也在将板状体沿主输送方向输送的情况下，使主输送推进力施加机构接触在板状体的副输送方向的两端部的下表面上，通过一对主输送推进力施加机构对板状体沿主输送方向准确地施加推进力，在将板状体沿副输送方向输送的情况下，使副输送推进力施加机构接触在板状体的主输送方向的两端部的下表面上，通过一对副输送推进力施加机构对板状体沿副输送方向准确地施加推进力，将板状体沿主输送方向或副输送方向输送。
并且，如果在推进力施加机构的附近用送风式支承机构非接触支承板状体，则通过板状体的浮起，推进力施加机构对板状体的接触压力下降。为了抑制该推进力施加机构对板状体的下表面的接触压力的下降，设在一对主输送推进力施加机构间且一对副输送推进力施加机构间的中继送风式支承机构需要以相对于副输送方向的下游侧的主输送推进力施加机构向副输送方向的上游侧离开且相对于主输送方向的上游侧的副输送推进力施加机构向主输送方向的下游侧离开的状态设置。
但是，在从上游侧输送部向中继输送部输送板状体的情况下，成为将板状体在形成于主输送方向的上游侧的副输送推进力施加机构与中继送风式支承机构之间的第1间隙的上方输送，但由于在该第1间隙中没有设置送风式支承机构，所以板状体的副输送方向的中央部向下方挠曲，这样挠曲的板状体被向主输送方向的下游侧输送，有可能接触在中继送风式支承机构上而损坏。
此外，在从中继输送部向下游侧输送部输送的情况下也同样，当被在形成于副输送方向的下游侧的主输送推进力施加机构与中继送风式支承机构之间的第2间隙的上方输送时，板状体的主输送方向的中央部有可能向下方挠曲而损坏。
发明内容
本发明是鉴于上述实际状况而做出的，其目的是提供一种能够对板状体准确地施加推进力、并且在输送板状体时将板状体损坏防止于未然的板状体输送装置。
有关本发明的板状体输送装置，设有朝向矩形状的板状体的下表面供给清洁空气、将板状体以水平姿势在非接触状态下支承的送风式支承机构、和接触在由该送风式支承机构支承的板状体的下表面上、对该板状体施加输送方向上的推进力的推进力施加机构；设有将板状体沿主输送方向输送的上游侧输送部、将板状体向与上述主输送方向正交的副输送方向输送的下游侧输送部、将从上述上游侧输送部接受到的板状体的输送方向从上述主输送方向切换为上述副输送方向、交接给上述下游侧输送部的中继输送部；
作为上述推进力施加机构，设有遍及从上述上游侧输送部到上述中继输送部配设、接触在板状体的上述副输送方向的两端部的下表面上而对该板状体施加上述主输送方向上的推进力的一对主输送推进力施加机构、和遍及从上述中继输送部到上述下游侧输送部而配设、接触在板状体的上述主输送方向的两端部的下表面上而对该板状体施加上述副输送方向上的推进力的一对副输送推进力施加机构；作为上述送风式支承机构，设有在上述一对主输送推进力施加机构之间在从该一对主输送推进力施加机构分别沿上述副输送方向离开的状态下设在上述上游侧输送部中的上游侧送风式支承机构、在上述一对副输送推进力施加机构之间在从该一对副输送推进力施加机构分别沿上述主输送方向离开的状态下设在上述下游侧输送部中的下游侧送风式支承机构、和在上述一对主输送推进力施加机构之间在从该一对主输送推进力施加机构分别沿上述副输送方向离开的状态下且在上述一对副输送推进力施加机构之间在从该一对副输送推进力施加机构分别沿上述主输送方向离开的状态下设在上述中继输送部中的中继送风式支承机构；上述中继输送部构成为，通过使上述一对主输送推进力施加机构和上述一对副输送推进力施加机构相对升降移动，自如地切换为使上述一对主输送推进力施加机构接触在板状体的下表面上而将板状体的输送方向切换为上述主输送方向的主输送状态、和使上述一对副输送推进力施加机构接触在板状体的下表面上而将板状体的输送方向切换为上述副输送方向的副输送状态；设有将朝向板状体的下表面供给清洁空气的空气供给部配设在上述中继输送部的上述一对副输送推进力施加机构与上述中继送风式支承机构之间的一对间隙中的至少位于主输送方向的上游侧的第1间隙中的主输送辅助送风机构；设有将上述空气供给部配设在上述中继输送部的上述一对主输送推进力施加机构与上述中继送风式支承机构之间的一对间隙中的至少位于副输送方向的下游侧的第2间隙中的副输送辅助送风机构；构成为，上述主输送辅助送风机构及上述副输送辅助送风机构分别自如地切换为供给清洁空气以将位于上述空气供给部的上方的板状体以非接触状态支承的供给状态、和使从上述空气供给部的清洁空气的供给停止的供给停止状态；设有在将上述中继输送部从上述副输送状态切换为上述主输送状态的情况下、将上述主输送辅助送风机构切换为上述供给状态且将上述副输送辅助送风机构切换为上述供给停止状态、并且在将上述中继输送部从上述主输送状态切换为上述副输送状态的情况下、将上述主输送辅助送风机构切换为上述供给停止状态并且将上述副输送辅助送风机构切换为上述供给状态的送风状态切换机构。
即，通过将中继输送部切换为主输送状态，能够通过一对主输送推进力施加机构对板状体沿主输送方向施加推进力，能够将板状体从上游侧输送部输送到中继输送部。此外，在将板状体输送到中继输送部中后，通过将中继输送部切换为副输送状态，能够通过一对副输送推进力施加机构对板状体沿副输送方向施加推进力，能够将板状体从中继输送部输送到下游侧输送部。
并且，在将中继输送部切换为主输送状态的情况下，将主输送辅助送风机构切换为供给状态且将副输送辅助送风机构切换为供给停止状态，所以在将板状体从上游侧输送部向中继输送部输送时，将主输送辅助送风机构切换为供给状态，将副输送辅助送风机构切换为供给停止状态。
由此，在从上游侧输送部向中继输送部输送板状体的情况下，将板状体在形成于主输送方向的上游侧的副输送推进力施加机构与中继送风式支承机构之间的第1间隙的上方输送，而在第1间隙中设有主输送辅助送风机构的空气供给部，该主输送辅助送风机构被切换为供给状态。因此，在将板状体在第1间隙的上方输送时能够通过主输送辅助送风机构支承板状体，能够抑制将板状体沿主输送方向输送时的板状体的挠曲、将板状体损坏防止于未然。
此外，此时，第2间隙位于板状体的副输送方向的下游侧的端部的下方，在该第2间隙中设有副输送辅助送风机构的空气供给部，但由于副输送辅助送风机构被切换为供给停止状态，所以板状体的副输送方向的下游侧的端部不受副输送辅助送风机构支承。因此，接触支承该端部的主输送推进力施加机构的对于板状体的接触压力不会下降，能够通过一对主输送推进力施加机构将板状体准确地沿主输送方向输送。
在从中继输送部向下游侧输送部输送板状体的情况下，主输送辅助送风机构被切换为供给停止状态且副输送辅助送风机构被切换为供给状态，所以能够抑制将板状体沿副输送方向输送时的板状体的挠曲，能够将板状体接触在其他物体上而损坏的情况防止于未然，并且副输送推进力施加机构对于板状体的接触压力不会下降，能够通过一对副输送推进力施加机构将板状体准确地沿副输送方向输送。
总之，在中继输送部中设有一对主输送推进力施加机构和一对副输送推进力施加机构，在第1间隙中设有主输送辅助送风机构的空气供给部，在第2间隙中设有副输送辅助送风机构的空气供给部，通过对应于中继输送部的副输送状态和主输送状态的切换而将主输送辅助送风机构及副输送辅助送风机构的状态切换为供给状态和供给停止状态，达到能够提供在将板状体沿主输送方向或副输送方向输送时能够对板状体适当地施加推进力并且将板状体的损坏防止于未然的板状体输送装置。
在有关本发明的板状体输送装置的实施方式中，优选的是，上述送风状态切换机构构成为，在上述中继输送部被从上述主输送状态切换为上述副输送状态而在上述中继输送部中开始板状体的向上述副输送方向的输送之前，将上述主输送辅助送风机构切换为上述供给停止状态且将上述副输送辅助送风机构切换为上述供给状态。
即，通过在将中继输送部从主输送状态切换为副输送状态而在中继输送部中开始板状体的沿副输送方向的输送之前、将主输送辅助送风机构切换为供给停止状态且将副输送辅助送风机构切换为供给状态，能够在输送开始后立即通过副输送辅助送风机构非接触支承板状体，所以能够抑制沿副输送方向输送时的板状体的挠曲，能够将板状体损坏防止于未然。
在有关本发明的板状体输送装置的实施方式中，优选的是，上述主输送推进力施加机构沿着上述主输送方向排列设置多个接触在板状体的下表面上、对该板状体施加推进力的旋转体而构成；上述副输送推进力施加机构沿着上述副输送方向排列设置多个上述旋转体而构成；上述主输送辅助送风机构的上述空气供给部在俯视图中遍及从上述第1间隙到上述副输送推进力施加机构的沿上述副输送方向相邻的上述旋转体之间而设置；上述副输送辅助送风机构的上述空气供给部在俯视图中遍及从上述第2间隙到上述主输送推进力施加机构的沿上述主输送方向相邻的上述旋转体之间而设置。
即，通过将主输送辅助送风机构的空气供给部不仅是第1间隙、而设置在从该第1间隙到沿副输送方向排列设置的旋转体之间，能够对被沿主输送方向输送的板状体在沿主输送方向较宽的范围中通过主输送辅助送风机构支承板状体，所以在沿主输送方向输送时，能够在沿主输送方向较宽的范围中抑制板状体的挠曲。并且，通过将空气供给部设在旋转体之间，能够如上述那样在较宽范围中支承板状体并且在被旋转体接触支承的板状体的附近设置空气供给部，所以通过从空气供给部喷出较少量的清洁空气能够支承板状体。
此外，同样，通过将副输送辅助送风机构的空气供给部遍及从第2间隙到旋转体之间而设置，在沿副输送方向输送时能够沿副输送方向在较宽范围中抑制板状体的挠曲，此外，通过从空气供给部喷出较少量的清洁空气，能够支承板状体。
在有关本发明的板状体输送装置的实施方式中，优选的是，上述主输送辅助送风机构的上述空气供给部遍及包括上述第1间隙的上述上游侧送风式支承机构与上述中继送风式支承机构之间的间隙的上述主输送方向的整个宽度而设置；上述副输送辅助送风机构的上述空气供给部遍及包括上述第2间隙的上述中继送风式支承机构与上述下游侧送风式支承机构之间的间隙的上述副输送方向的整个宽度而设置。
即，在上游侧送风式支承机构与中继送风式支承机构之间，为了设置副输送推进力施加机构并且形成第1间隙而在主输送方向上形成有较大的间隙，而通过遍及该间隙的整个宽度设置空气供给部，在将板状体沿主输送方向输送时，能够遍及上游侧送风式支承机构与中继送风式支承机构之间的整个范围抑制板状体的挠曲。
此外，通过遍及中继送风式支承机构与下游侧送风式支承机构之间的间隙的整个宽度设置空气供给部，在将板状体沿副输送方向输送时，能够遍及中继送风式支承机构与下游侧送风式支承机构之间的整个范围抑制板状体的挠曲。
在有关本发明的板状体输送装置的实施方式中，优选的是，上述主输送辅助送风机构的上述空气供给部在上述中继输送部的上述副输送方向的端部侧的该空气供给部彼此的间隔比上述中继输送部的上述副输送方向的中央部处的该空气供给部彼此的间隔宽的状态下沿上述副输送方向排列设置有多个；上述副输送辅助送风机构的上述空气供给部在上述中继输送部的上述主输送方向的端部侧的该空气供给部彼此的间隔比上述中继输送部的上述主输送方向的中央部处的该空气供给部彼此的间隔宽的状态下沿上述主输送方向排列设置有多个。
即，被沿主输送方向输送的板状体的副输送方向的两端部被一对主输送推进力施加机构接触支承，所以板状体成为副输送方向的中央较大地向下方挠曲的状态，将这样挠曲的板状体通过主输送辅助送风机构非接触支承，但通过在较大地挠曲的中央部将空气供给部以较窄的间隔设置而供给大量的清洁空气、越靠挠曲较小的端部侧越将空气供给部以较宽的间隔设置而供给少量的清洁空气，能够对板状体供给适应于其姿势的量的清洁空气，能够将被沿主输送方向输送的板状体的副输送方向的中央部通过主输送辅助送风机构适当地支承。此外，同样，能够将被沿副输送方向输送的板状体的主输送方向的中央部通过副输送辅助送风机构适当地支承。
在有关本发明的板状体输送装置的实施方式中，优选的是，上述空气供给部由具有缝隙状的喷出口的喷出喷嘴构成。
即，通过从缝隙状的喷出口喷出清洁空气，能够从该喷出口喷出清洁空气而将清洁空气供给到板状体的下表面，并且能够通过从该喷出口喷出的清洁空气的气流吸引周围的清洁空气而将该吸引的周围的清洁空气也供给到板状体的下表面。
由此，能够通过少量的清洁空气的喷出将大量的清洁空气供给到板状体的下表面，所以能够在确保对板状体的下表面供给的清洁空气的量的同时实现空气供给部的小型化。
在有关本发明的板状体输送装置的实施方式中，优选的是，设有向与在上述主输送状态下被上述一对主输送推进力施加机构载置支承的板状体相同高度且抵接于在上述副输送状态下被上述一对副输送推进力施加机构载置支承的板状体的上述主输送方向的下游侧的侧面上的限制位置、和位于比在上述主输送状态下被上述一对主输送推进力施加机构载置支承的板状体的下表面及在上述副输送状态下被上述一对副输送推进力施加机构载置支承的板状体的下表面靠下方侧且比上述限制位置靠上述主输送方向的下游侧的限制解除位置移动自如的抵接体。
即，通过使抵接体移动到限制位置，能够接住朝向主输送方向的下游侧输送的板状体，由于一对副输送推进力施加机构位于这样被接住的板状体的主输送方向的两端侧的下方，所以在将中继输送部从主输送状态切换为副输送状态时，能够通过一对副输送推进力施加机构支承板状体的主输送方向的两端部的下表面，能够将板状体的输送方向从主输送方向适当地向副输送方向切换。
并且，通过使抵接体移动到限制解除位置，在通过一对副输送推进力施加机构将板状体沿副输送方向输送时，抵接体不抵接在板状体上，所以在将板状体沿副输送方向输送时，能够避免因抵接体抵接在板状体上而使板状体损坏。
此外，抵接体在限制解除位置位于比板状体靠下方，所以在将板状体沿副输送方向输送时，即使板状体沿主输送方向偏移，板状体也不会抵接在抵接体上。即，由于不需要考虑板状体沿主输送方向偏移而使抵接体向主输送方向的下游侧较大地移动，所以能够将抵接体在主输送方向上设在较小的空间中。
此外，在使抵接体从限制位置以直线状移动到限制解除位置的情况下，该抵接体向斜下方移动到主输送方向的下游侧。通过这样使抵接体向主输送方向的下游侧的斜下方移动而从限制位置移动到限制解除位置，在抵接体与由该抵接体接住的板状体之间不发生擦碰，能够将通过该擦碰带来的板状体的损坏防止于未然。
此外，在本发明中，包括对应于上述结构的方法，在方法中，能够期待对应于上述结构的作用及效果。
即，本发明的方法，是利用板状体输送装置的板状体输送方法，上述板状体输送装置设有朝向矩形状的板状体的下表面供给清洁空气、将板状体以水平姿势在非接触状态下支承的送风式支承机构、和接触在由该送风式支承机构支承的板状体的下表面上、对该板状体施加输送方向上的推进力的推进力施加机构；设有将板状体沿主输送方向输送的上游侧输送部、将板状体向与上述主输送方向正交的副输送方向输送的下游侧输送部、和将从上述上游侧输送部接受到的板状体的输送方向从上述主输送方向切换为上述副输送方向、交接给上述下游侧输送部的中继输送部；作为上述推进力施加机构，设有遍及从上述上游侧输送部到上述中继输送部配设、接触在板状体的上述副输送方向的两端部的下表面上而对该板状体施加上述主输送方向上的推进力的一对主输送推进力施加机构、和遍及从上述中继输送部到上述下游侧输送部而配设、接触在板状体的上述主输送方向的两端部的下表面上而对该板状体施加上述副输送方向上的推进力的一对副输送推进力施加机构；作为上述送风式支承机构，设有在上述一对主输送推进力施加机构之间在从该一对主输送推进力施加机构分别沿上述副输送方向离开的状态下设在上述上游侧输送部中的上游侧送风式支承机构、在上述一对副输送推进力施加机构之间在从该一对副输送推进力施加机构分别沿上述主输送方向离开的状态下设在上述下游侧输送部中的下游侧送风式支承机构、和在上述一对主输送推进力施加机构之间在从该一对主输送推进力施加机构分别沿上述副输送方向离开的状态下且在上述一对副输送推进力施加机构之间在从该一对副输送推进力施加机构分别沿上述主输送方向离开的状态下设在上述中继输送部中的中继送风式支承机构；上述中继输送部构成为，通过使上述一对主输送推进力施加机构和上述一对副输送推进力施加机构相对升降移动，自如地切换为使上述一对主输送推进力施加机构接触在板状体的下表面上而将板状体的输送方向切换为上述主输送方向的主输送状态、和使上述一对副输送推进力施加机构接触在板状体的下表面上而将板状体的输送方向切换为上述副输送方向的副输送状态；设有将朝向板状体的下表面供给清洁空气的空气供给部配设在上述中继输送部的上述一对副输送推进力施加机构与上述中继送风式支承机构之间的一对间隙中的至少位于主输送方向的上游侧的第1间隙中的主输送辅助送风机构；设有将上述空气供给部配设在上述中继输送部的上述一对主输送推进力施加机构与上述中继送风式支承机构之间的一对间隙中的至少位于副输送方向的下游侧的第2间隙中的副输送辅助送风机构；构成为，上述主输送辅助送风机构及上述副输送辅助送风机构分别自如地切换为供给清洁空气以将位于上述空气供给部的上方的板状体以非接触状态支承的供给状态、和使从上述空气供给部的清洁空气的供给停止的供给停止状态；
所述板状体输送方法包括在上述中继输送部的从上述副输送状态向上述主输送状态的切换时、将上述主输送辅助送风机构切换为上述供给状态且将上述副输送辅助送风机构切换为上述供给停止状态、在上述中继输送部的从上述主输送状态向上述副输送状态的切换时、将上述主输送辅助送风机构切换为上述供给停止状态并且将上述副输送辅助送风机构切换为上述供给状态的送风状态切换工序。
在本发明的实施方式中，优选的是，构成为，在上述送风状态切换工序中，在上述中继输送部的从上述主输送状态向上述副输送状态的切换时，在上述中继输送部中开始板状体的向上述副输送方向的输送之前，将上述主输送辅助送风机构切换为上述供给停止状态且将上述副输送辅助送风机构切换为上述供给状态。
在本发明的实施方式中，优选的是，设有向与在上述主输送状态下被上述一对主输送推进力施加机构载置支承的板状体相同高度且抵接于在上述副输送状态下被上述一对副输送推进力施加机构载置支承的板状体的上述主输送方向的下游侧的侧面上的限制位置、和位于比在上述主输送状态下被上述一对主输送推进力施加机构载置支承的板状体的下表面及在上述副输送状态下被上述一对副输送推进力施加机构载置支承的板状体的下表面靠下方侧且比上述限制位置靠上述主输送方向的下游侧的限制解除位置移动自如的抵接体；包括在上述中继输送部的从上述主输送状态向上述副输送状态的切换时、在上述中继输送部中开始板状体的向上述副输送方向的输送之前、使上述抵接体从上述限制位置向上述限制解除位置移动的抵接体位置切换工序。
附图说明
图1是有关本发明的实施方式的板状体输送装置的俯视图。
图2是有关本发明的实施方式的中继输送部的俯视图。
图3是有关本发明的实施方式的中继输送部的侧视图。
图4是有关本发明的实施方式的主输送状态的中继输送部的侧视图。
图5是有关本发明的实施方式的副输送状态的中继输送部的侧视图。
图6是有关本发明的实施方式的辅助送风机构的侧视图。
图7是有关本发明的实施方式的主升降式推进力施加部的立体图。
图8是表示有关本发明的实施方式的排列设置的空气供给部的图。
图9是表示有关本发明的实施方式的抵接体的图。
图10是有关本发明的实施方式的板状体输送装置的输送作用图。
图11是有关本发明的实施方式的板状体输送装置的输送作用图。
图12是有关本发明的实施方式的控制框图。
图13是有关本发明的实施方式的中继输送部的控制流程图。
具体实施方式
以下，基于附图说明有关本发明的板状体输送装置。
如图1所示，板状体输送装置设有朝向作为矩形状的板状体的液晶用的玻璃基板1的下表面供给清洁空气而将玻璃基板1以非接触状态支承的送风式支承机构2、和接触支承玻璃基板1的下表面、对玻璃基板1施加输送方向上的推进力的推进力施加机构3而构成。
此外，板状体输送装置由将玻璃基板1沿主输送方向X输送的上游侧输送部A、将玻璃基板1向与主输送方向X正交的副输送方向Y输送的下游侧输送部C、和将从上游侧输送部A接受到的玻璃基板1的输送方向从主输送方向X切换为副输送方向Y而交接给下游侧输送部C的中继输送部B构成，这些输送部A～C分别设有送风式支承机构2及推进力施加机构3而构成单元状。另外，输送部A～C设置为，使其将玻璃基板1以相同高度输送。
在上游侧输送部A的主输送方向X的下游侧排列设置有中继输送部B，构成为，在由送风式支承机构2将玻璃基板1以非接触状态支承且由推进力施加机构3将玻璃基板1以接触状态支承的状态下，通过由推进力施加机构3对玻璃基板1朝向主输送方向X的下游侧施加推进力，将该玻璃基板1从上游侧输送部A输送给中继输送部B，通过由推进力施加机构3对玻璃基板1朝向主输送方向X的上游侧施加推进力，将该玻璃基板1从中继输送部B输送给上游侧输送部A。
此外，在中继输送部B的副输送方向Y的下游侧排列设置有下游侧输送部C，构成为，在由送风式支承机构2将玻璃基板1以非接触状态支承且由推进力施加机构3将玻璃基板1以接触状态支承的状态下，通过由推进力施加机构3对玻璃基板1朝向副输送方向Y的下游侧施加推进力，将该玻璃基板1从中继输送部B输送给下游侧输送部C，通过由推进力施加机构3对玻璃基板1朝向副输送方向Y的上游侧施加推进力，将该玻璃基板1从下游侧输送部C输送给中继输送部B。
这样，板状体输送装置构成为，除了从上游侧输送部A经由中继输送部B向下游侧输送部C输送玻璃基板1的正方向的输送以外，还能够进行从下游侧输送部C经由中继输送部B向上游侧输送部A输送玻璃基板1的反方向的输送。
［推进力施加机构］
作为推进力施加机构3，设有遍及从上游侧输送部A到中继输送部B而配设、接触在玻璃基板1的副输送方向Y的两端部的下表面上而对该玻璃基板1施加主输送方向X上的推进力的一对主输送推进力施加机构5、和遍及从中继输送部B到下游侧输送部C而配设、接触在玻璃基板1的主输送方向X的两端部的下表面上而对该玻璃基板1施加副输送方向Y上的推进力的一对副输送推进力施加机构6。
如图2、图4及图5所示，一对主输送推进力施加机构5分别沿着主输送方向X排列设置多个接触支承玻璃基板1的下表面上的副输送方向Y的端部的作为旋转体的旋转辊7、对多个旋转辊7分别单独设置旋转驱动旋转辊7的电动马达8而构成。并且，构成为，由电动马达8使多个旋转辊7单独旋转驱动，对接触在旋转辊7上的玻璃基板1施加主输送方向X上的推进力。
如图4及图5所示，多个旋转辊7和旋转驱动它的电动马达8支承在一连串的支承框9上，多个旋转辊7支承在支承框9上，以使其位于副输送方向Y的送风式支承机构2的位置的内侧，多个电动马达8支承在支承框9上，以使其位于副输送方向Y的外方侧。
如图6及图7所示，主输送推进力施加机构5中具备的旋转辊7分别具备安装O形环而载置支承玻璃基板1的下表面的小径部7a、和位于比该小径部7a靠副输送方向Y的外方侧、通过抵接在玻璃基板1的侧面上而限制玻璃基板1的向副输送方向Y的移动的大径部7b而构成。
并且，如图1所示，对于主输送推进力施加机构5的设在上游侧输送部A中的部分（以下称作主固定式推进力施加部5b），以位置固定状态设在上游侧输送部A中，关于主输送推进力施加机构5的设在中继输送部B中的部分（以下称作主升降式推进力施加部5a），升降移动自如地设在中继输送部B中。
此外，一对副输送推进力施加机构6分别沿着副输送方向Y排列设置多个接触支承玻璃基板1的下表面上的主输送方向X的端部的旋转辊7，与沿着主输送方向X设置的主输送推进力施加机构5除了设置方向不同以外同样地构成。即，副输送推进力施加机构6在沿着副输送方向Y设置这一点上与主输送推进力施加机构5不同，但与主输送推进力施加机构5同样具备旋转辊7及电动马达8而构成。并且，关于副输送推进力施加机构6的设在中继输送部B中的部分（以下称作副升降式推进力施加部6a），升降移动自如地设在中继输送部B中，关于副输送推进力施加机构6的设在下游侧输送部C中的部分（以下称作副固定式推进力施加部6b），以位置固定状态设在下游侧输送部C中。
［送风式支承机构］
此外，作为送风式支承机构2，设有在一对主输送推进力施加机构5之间在从该一对主输送推进力施加机构5分别沿副输送方向Y离开的状态下设在上游侧输送部A中的上游侧送风式支承机构11、在一对副输送推进力施加机构6之间在从该一对副输送推进力施加机构6分别沿主输送方向X离开的状态下设在下游侧输送部C中的下游侧送风式支承机构13、和在一对主输送推进力施加机构5之间在从该一对主输送推进力施加机构5分别沿副输送方向Y离开的状态下并且在一对副输送推进力施加机构6之间在从该一对副输送推进力施加机构6分别沿主输送方向X离开的状态下设在中继输送部B中的中继送风式支承机构12。
如图3所示，中继送风式支承机构12具备将尘埃除去的除尘过滤器14、和配置在该除尘过滤器14的下方、通过该除尘过滤器14朝向玻璃基板1的下表面供给清洁空气的作为送风机构的送风风扇15而构成。如果加以说明，则中继送风式支承机构12将一体地组装有绕纵轴心旋转的送风风扇15、和覆盖该送风风扇15的上方的板状的除尘过滤器14而构成的风机过滤单元16如图1所示那样在主输送方向X及副输送方向Y上排列设置多个而构成。
并且，中继送风式支承机构12构成为，通过送风风扇15的送风作用，将中继送风式支承机构12的下方的空气吸引，将通过了除尘过滤器14的空气朝向中继送风式支承机构12的上方作为清洁空气喷出，构成为，通过这样将清洁空气喷出，对由中继输送部B输送的玻璃基板1的下表面供给清洁空气，将玻璃基板1以水平姿势支承。另外，在本说明书中，所谓“水平姿势”，作为不仅是玻璃基板1为平行于水平方向的姿势（完全水平姿势）、还包括玻璃基板1相对于水平方向以规定角度（例如5度以下的角度或10度以下的角度等）倾斜的姿势（大致水平姿势）的概念使用。另外，玻璃基板1以相对于水平方向倾斜的姿势被支承的状态例如因为制造上的误差而发生、或者通过设计而有意实现。
顺便说一下，中继送风式支承机构12在位置固定状态下设在中继输送部B中，以使喷出清洁空气的上表面位于比推进力施加机构3的支承玻璃基板1的支承高度靠下方。
并且，上游侧送风式支承机构11及下游侧送风式支承机构13分别也与中继送风式支承机构12同样具备除尘过滤器14及送风风扇15而构成，除了风机过滤单元16的大小不同以外同样地构成。另外，上游侧送风式支承机构11及下游侧送风式支承机构13设在与中继送风式支承机构12相同高度。
［中继输送部］
接着，对中继输送部B进行说明。
如图4及图5所示，中继输送部B构成为，通过使一对主输送推进力施加机构5和一对副输送推进力施加机构6相对地升降移动，自如地切换为使一对主输送推进力施加机构5接触在玻璃基板1的下表面上而将玻璃基板1的输送方向切换为主输送方向X的主输送状态（参照图4）、和使一对副输送推进力施加机构6接触在玻璃基板1的下表面上而将玻璃基板1的输送方向切换为副输送方向Y的副输送状态（参照图5）。
如果加以说明，则一对主升降式推进力施加部5a构成为，通过由主输送用升降操作机构17（参照图6）使支承它的支承框9升降移动，自如地升降移动到与一对主固定式推进力施加部5b或一对副固定式推进力施加部6b相同高度的上升位置（参照图4）、和比该上升位置靠下方的下降位置（参照图5）。
此外，一对副升降式推进力施加部6a也同样，构成为，通过由副输送用升降操作机构18使支承它的支承框9升降移动，自如地升降移动到与一对主固定式推进力施加部5b或一对副固定式推进力施加部6b相同高度的上升位置（参照图5）、和比该上升位置靠下方的下降位置（参照图4）。
另外，主输送用升降操作机构17及副输送用升降操作机构18分别在本例中由气缸构成。
并且，如图4所示，通过使主升降式推进力施加部5a上升到上升位置且使副升降式推进力施加部6a下降到下降位置，将中继输送部B切换为主输送状态。在这样被切换为主输送状态的状态下，主升降式推进力施加部5a接触在玻璃基板1的下表面上，副升降式推进力施加部6a从玻璃基板1的下表面向下方离开。
此外，如图5所示，通过使主升降式推进力施加部5a下降到下降位置且使副升降式推进力施加部6a上升到上升位置，将中继输送部B切换为副输送状态。在这样被切换为副输送状态的状态下，主升降式推进力施加部5a从玻璃基板1的下表面向下方离开，副升降式推进力施加部6a接触在玻璃基板1的下表面上。
［辅助送风机构］
如图2所示，在中继输送部B中，与送风式支承机构2（中继送风式支承机构12）另外地，设有用来以非接触状态支承玻璃基板1的主输送辅助送风机构19及副输送辅助送风机构20。这些主输送辅助送风机构19及副输送辅助送风机构20分别具备朝向玻璃基板1的下表面供给清洁空气的空气供给部21、和设在对该空气供给部21供给清洁空气的配管中途的过滤器（未图示）及开闭阀（未图示）而构成。
主输送辅助送风机构19及副输送辅助送风机构20分别构成为，通过将开闭阀开闭操作，自如地切换为供给清洁空气以将位于空气供给部21的上方的玻璃基板1以非接触状态支承的供给状态、和使从空气供给部21的清洁空气的供给停止的供给停止状态。
此外，空气供给部21如图6、图7所示，由具有缝隙状的喷出口21a的喷出喷嘴、所谓的空气刀构成。顺便说一下，喷出口21形成在空气供给部21的上端部上，空气供给部21构成为，从喷出口21a朝向正上方喷出清洁空气。此外，如图6所示，空气供给部21以位置固定状态设在中继输送部B中，以使其喷出口21a的高度位于比送风式支承机构2的上表面靠下方。
主输送辅助送风机构19在形成于中继输送部B的一对副输送推进力施加机构6（副升降式推进力施加部6a）与中继送风式支承机构12之间的一对间隙中的位于主输送方向X的上游侧的第1间隙g1及位于主输送方向X的下游侧的第3间隙g3中的至少第1间隙g1中配设空气供给部21而构成。在本实施方式中，如图2所示，主输送辅助送风机构19在第1间隙g1及第3间隙g3的两者中配设空气供给部21而构成。
主输送辅助送风机构19的设在第1间隙g1中的空气供给部21在本实施方式中在副输送方向Y上排列设置有多个（换言之是许多、在本例中是6个）。该多个空气供给部21分别以喷出口21a沿着主输送方向X的姿势、在俯视图中遍及从第1间隙g1到位于主输送方向X的上游侧的副输送推进力施加机构6的在副输送方向Y上相邻的旋转辊7之间而设置。此外，主输送辅助送风机构19的设在第3间隙g3中的空气供给部21也同样，在副输送方向Y上排列设置有多个，该多个空气供给部21分别以喷出口21沿着主输送方向X的姿势、在俯视图中遍及从第3间隙g3到位于主输送方向X的下游侧的副输送推进力施加机构6的在副输送方向Y上相邻的旋转辊7之间而设置。
顺便说一下，如图6所示，支承空气供给部21的支承体24位于第1间隙g1（或第2间隙g2）中，空气供给部21由支承体24以悬臂状支承，以与旋转辊7在副输送方向Y上并排的状态设置。
此外，如图1所示，主输送辅助送风机构19的设在第1间隙g1中的空气供给部21及设在第3间隙g3中的空气供给部21分别在本实施方式中在副输送方向Y上排列设置6个，在位于副输送方向Y的最中央侧的两个空气供给部21彼此之间有两个旋转辊7，在该空气供给部21与其在副输送方向Y的外方侧相邻的空气供给部21之间有3个旋转辊7，在该空气供给部21与位于副输送方向Y的最外方侧的空气供给部21之间有4个旋转辊7。
即，如图8所示，主输送辅助送风机构19的空气供给部21在中继输送部B的副输送方向Y的端部侧的空气供给部21彼此的间隔比中继输送部B的副输送方向Y的中央部处的该空气供给部21彼此的间隔宽的状态下、在副输送方向Y上排列设置有多个（在本例中是6个）。
这样，主输送辅助送风机构19构成为，对比副输送方向Y的端部侧靠中央部供给大量的清洁空气，与玻璃基板1的副输送方向Y的端部侧相比、将中央部以更高的支承力非接触支承。
此外，关于主输送辅助送风机构19的设在第1间隙g1中的空气供给部21，如图6所示，遍及包括第1间隙g1的上游侧送风式支承机构11与中继送风式支承机构12之间的间隙的主输送方向X的整个宽度而设置。另外，在本说明书中，所谓“遍及整个宽度”，作为不仅是空气供给部21的宽度与上游侧送风式支承机构11与中继送风式支承机构12之间的间隙的宽度（间隙宽度）一致的情况、即使是空气供给部21的宽度相对于该间隙宽度较小的情况、也包括空气供给部21的宽度是该间隙宽度的规定比例（例如80%或90%等）以上的情况的概念使用。在本实施方式中，如图6所示，空气供给部21的宽度为上游侧送风式支承机构11与中继送风式支承机构12之间的间隙的宽度的90%左右，空气供给部21相对于上游侧送风式支承机构11及中继送风式支承机构12两者离开配置。
如果加以说明，则构成为，在上游侧送风式支承机构11与中继送风式支承机构12之间，为了设置副升降式推进力施加部6a且形成第1间隙g1而在主输送方向X上形成了较大的间隙，但通过如上述那样设置空气供给部21，在上游侧送风式支承机构11与中继送风式支承机构12之间也能够适当地支承玻璃基板1。
副输送辅助送风机构20在中继输送部B的一对主输送推进力施加机构5（主升降式推进力施加部5a）与中继送风式支承机构12之间形成的一对间隙中的位于副输送方向Y的下游侧的第2间隙g2及位于副输送方向Y的上游侧的第4间隙g4中的至少第2间隙g2中配设空气供给部21而构成。在本实施方式中，如图2所示，副输送辅助送风机构20在第2间隙g2及第4间隙g4两者中配设空气供给部21而构成。
副输送辅助送风机构20的设在第2间隙g2中的空气供给部21在主输送方向X上排列设置有多个（换言之是许多，在本例中是6个），该多个空气供给部21分别以喷出口21a沿着副输送方向Y的姿势、在俯视图中遍及从第2间隙g2到位于副输送方向Y的下游侧的主输送推进力施加机构5的沿主输送方向X相邻的旋转辊7之间而设置。此外，副输送辅助送风机构20的设在第4间隙g4中的空气供给部21也同样，在主输送方向X上排列设置有多个，该多个空气供给部21分别以喷出口21a沿着副输送方向Y的姿势、在俯视图中遍及从第4间隙g4到位于副输送方向Y的上游侧的主输送推进力施加机构5的沿主输送方向X相邻的旋转辊7之间而设置。
并且，副输送辅助送风机构20的空气供给部21与主输送辅助送风机构19的空气供给部21同样，在中继输送部B的主输送方向X的端部侧的空气供给部21彼此的间隔比中继输送部B的主输送方向X的中央部处的该空气供给部21彼此的间隔宽的状态下，在主输送方向X上排列设置有多个（在本例中是6个）。
此外，关于副输送辅助送风机构20的设在第2间隙g2中的空气供给部21，与主输送辅助送风机构19的设在第1间隙g1中的空气供给部21同样，遍及包括第2间隙g2的中继送风式支承机构12与下游侧送风式支承机构13之间的间隙的副输送方向Y的整个宽度而设置。
［限制部件］
如图2所示，在中继输送部B中，设有限制被主输送推进力施加机构5朝向主输送方向X的下游侧向正方向输送的玻璃基板1被向比主输送方向X的下游侧末端位置更靠主输送方向X的下游侧输送的主输送限制部件（相当于抵接体）25、和限制被副输送推进力施加机构6朝向副输送方向Y的上游侧向反方向输送的玻璃基板1被向比副输送方向Y的上游侧末端位置更靠副输送方向Y的上游侧输送的副输送限制部件26。
顺便说一下，在玻璃基板1位于主输送方向X的下游侧末端位置的状态下，为副升降式推进力施加部6a的旋转辊7的小径部7a位于该玻璃基板1的主输送方向X的两端部各自的正下方、并且副升降式推进力施加部6a的旋转辊7的大径部7b位于比该玻璃基板1的主输送方向X的两端靠外方侧的状态。此外，在玻璃基板1位于副输送方向Y的上游侧末端位置的状态下，为主升降式推进力施加部5a的旋转辊7的小径部7a位于该玻璃基板1的副输送方向Y的两端部各自的正下方、并且主升降式推进力施加部5a的旋转辊7的大径部7b位于比该玻璃基板1的副输送方向Y的两端靠外方侧的状态。
如图9所示，主输送限制部件25构成为，自如地向与在主输送状态下被一对主输送推进力施加机构5载置支承的玻璃基板1相同高度且抵接于在副输送状态下被一对副输送推进力施加机构6载置支承的玻璃基板1的主输送方向X的下游侧的侧面上的限制位置（参照图9（a））、和位于比在主输送状态下被一对主输送推进力施加机构5载置支承的玻璃基板1的下表面及在副输送状态下被一对副输送推进力施加机构6载置支承的玻璃基板1的下表面靠下方侧且比限制位置靠主输送方向X的下游侧的限制解除位置（参照图9（b））移动。即，主输送限制部件25的限制位置是抵接在位于上述主输送方向X的下游侧末端位置的玻璃基板1的主输送方向X的下游侧的侧面上的位置。
并且，构成为，通过由主限制用升降操作机构28使支承主输送限制部件25的支承部件27向斜向以直线状升降移动，主输送限制部件25在限制位置与限制解除位置之间升降移动。即，主输送限制部件25构成为，从限制位置一边向主输送方向X的下游侧移动一边向下方侧移动，斜向移动到限制解除位置，此外，从限制解除位置一边向主输送方向X的上游侧移动一边向上方侧移动，斜向移动到限制位置。
此外，副输送限制部件26也与主输送限制部件25同样构成为，通过由副限制用升降操作机构29使支承副输送限制部件26的支承部件27以直线状升降移动，自如地向限制位置与限制解除位置移动。该副输送限制部件26的限制位置为与在副输送状态下受一对副输送推进力施加机构6载置支承的玻璃基板1相同高度且抵接于在主输送状态下受一对主输送推进力施加机构5载置支承的玻璃基板1的副输送方向Y的上游侧的侧面上的位置，副输送限制部件26的限制解除位置为比在主输送状态下受一对主输送推进力施加机构5载置支承的玻璃基板1的下表面及在副输送状态下受一对副输送推进力施加机构6载置支承的玻璃基板1的下表面靠下方侧且比限制位置靠副输送方向Y的上游侧的位置。即，副输送限制部件26的限制位置是抵接在位于上述副输送方向Y的上游侧末端位置的玻璃基板1的副输送方向Y的上游侧的侧面上的位置。
［控制装置］
如图12所示，在板状体输送装置中，设有控制送风式支承机构2及推进力施加机构3的动作、以及中继输送部B的主输送辅助送风机构19、副输送辅助送风机构20、主输送用升降操作机构17、副输送用升降操作机构18、主限制用升降操作机构28及副限制用升降操作机构29的动作的控制装置H。另外，各机构的动作控制由安装在控制装置H具备的微型计算机中的软件程序执行。
控制装置H构成为，在将中继输送部B从副输送状态切换为主输送状态的情况下，将主输送辅助送风机构19切换为供给状态且将副输送辅助送风机构20切换为供给停止状态，并且，在将中继输送部B从主输送状态切换为副输送状态的情况下，将主输送辅助送风机构19切换为供给停止状态且将副输送辅助送风机构20切换为供给状态。另外，控制装置H相当于送风状态切换机构。
此外，构成为，在控制装置H中，被输入检测玻璃基板1的存在与否的主输送第1检测传感器31、主输送第2检测传感器32、副输送第1检测传感器33及副输送第2检测传感器34的检测信息。这些4个检测传感器31～34如图10所示，在俯视图中设在被一对主升降式推进力施加部5a和一对副升降式推进力施加部6a包围的空间内。
并且，主输送第2检测传感器32设在比主输送第1检测传感器31靠主输送方向X的下游侧，构成为，被朝向主输送方向X的下游侧输送的玻璃基板1在被主输送第1检测传感器31检测到之后、被主输送第2检测传感器32检测。
此外，副输送第2检测传感器34设在比副输送第1检测传感器33靠副输送方向Y的上游侧，构成为，被朝向副输送方向Y的上游侧输送的玻璃基板1在被副输送第1检测传感器33检测到之后、被副输送第2检测传感器34检测。
另外，在玻璃基板1位于适当位置的状态（玻璃基板1位于主输送方向X的下游侧末端位置且副输送方向Y的上游侧末端位置的状态）下，成为4个检测传感器31～34都检测位于适当位置的玻璃基板1的状态。
接着，对控制装置H进行的中继输送部B的动作进行说明。
首先，基于图13，对将玻璃基板1向正方向输送的情况进行说明。顺便说一下，在将玻璃基板1向正方向输送的情况下，在玻璃基板1的主输送方向X的下游侧端部被输送到第1间隙g1之前，中继输送部B将中继送风式支承机构12切换为动作状态，使主升降式推进力施加部5a上升移动到上升位置，使副升降式推进力施加部6a下降移动到下降位置，将主输送辅助送风机构19切换为供给状态，将副输送辅助送风机构20切换为供给停止状态，使主输送限制部件25移动到限制位置，使副输送限制部件26移动到限制解除位置，切换为正方向主输送状态。
通过主输送推进力施加机构5（主升降式推进力施加部5a）的动作，将玻璃基板1以通常输送速度朝向主输送方向X的下游侧输送<S1>。
此时，主输送辅助送风机构19被切换为供给状态，通过从该主输送辅助送风机构19喷出的清洁空气，能够非接触支承形成在上游侧送风式支承机构11与中继送风式支承机构12之间的间隙上的玻璃基板1，所以能够适当地支承玻璃基板1。此外，由于副输送辅助送风机构20被切换为供给停止状态，所以玻璃基板1的副输送方向Y的两端不易从主输送推进力施加机构5浮起，能够通过主输送推进力施加机构5对玻璃基板1适当地施加推进力。
将玻璃基板1朝向主输送方向X的下游侧输送，如图10所示，如果主输送第1检测传感器31检测到玻璃基板1<S2>，则使主升降式推进力施加部5a（主输送推进力施加机构5）的动作速度减速，将主输送推进力施加机构5带来的输送速度减速到低速输送速度，将玻璃基板1输送<S3>。
然后，如果主输送第2检测传感器32检测到玻璃基板1，则从该检测起经过停止用设定时间（从玻璃基板1被主输送第2检测传感器32检测出到被输送到适当位置所需要的时间）后<S4>，使主升降式推进力施加部5a（主输送推进力施加机构5）的动作停止<S5>。此时，玻璃基板1被输送到主输送方向X的下游侧末端位置，位于图11所示那样的适当位置。
在如上述那样使玻璃基板1位于适当位置的状态下，执行将主输送辅助送风机构19切换为供给停止状态且将副输送辅助送风机构20切换为供给状态的送风状态切换工序，并且执行使主升降式推进力施加部5a下降且使副升降式推进力施加部6a上升、进而使主输送限制部件25移动到限制解除位置的抵接体位置切换工序，将中继输送部B切换为正方向副输送状态<S6>。顺便说一下，这些主输送辅助送风机构19的向供给停止状态的切换、副输送辅助送风机构20的向供给状态的切换、副升降式推进力施加部6a的上升、主升降式推进力施加部5a的下降、主输送限制部件25的向限制解除位置的移动的顺序只要适当设定就可以，也可以将它们的一部分或全部同时进行。
这样，构成为，在将中继输送部B从主输送状态切换为副输送状态而在中继输送部B中开始玻璃基板1的向副输送方向Y的输送之前，将主输送辅助送风机构19切换为供给停止状态且将副输送辅助送风机构20切换为供给状态。此外，构成为，在将中继输送部B从主输送状态切换为副输送状态而在中继输送部B中开始玻璃基板1的向副输送方向Y的输送之前，进行主输送限制部件25的向限制解除位置的移动。
然后，开始副输送推进力施加机构6的动作，将玻璃基板1朝向副输送方向Y的下游侧以通常输送速度输送<S7>。
此时，由于主输送辅助送风机构19被切换为供给停止状态，所以玻璃基板1的主输送方向X的两端不易从副输送推进力施加机构6浮起，能够通过副输送推进力施加机构6对玻璃基板1适当地施加推进力。此外，副输送辅助送风机构20被切换为供给状态，通过从该副输送辅助送风机构20喷出的清洁空气，能够在形成于中继送风式支承机构12与下游侧送风式支承机构13之间的间隙上非接触支承玻璃基板1，能够适当地支承玻璃基板1。
在开始副输送推进力施加机构6的动作后，如果经过切换用设定时间（将玻璃基板1从中继输送部B输送到下游侧输送部C所需要的时间）<S8>，则将中继输送部B切换为正方向主输送状态<S9>。
接着，对将玻璃基板1向反方向输送的情况进行说明。顺便说一下，在将玻璃基板向反方向输送的情况下，在将玻璃基板1从下游侧输送部C输送到中继输送部B中之前，将中继送风式支承机构12切换为动作状态，使主升降式推进力施加部5a下降移动到下降位置，使副升降式推进力施加部6a上升移动到上升位置，将主输送辅助送风机构19切换为供给停止状态，将副输送辅助送风机构20切换为供给状态，使主输送限制部件25移动到限制解除位置，使副输送限制部件26移动到限制位置，将中继输送部B切换为反方向副输送状态。
接着，使副输送推进力施加机构6动作，将玻璃基板1以通常输送速度朝向副输送方向Y的上游侧输送，如果副输送第1检测传感器33检测到玻璃基板1，则将副输送推进力施加机构6带来的输送速度减速为低速输送速度，输送玻璃基板1，如果副输送第2检测传感器34检测到玻璃基板1，则在从该检测起经过停止用设定时间后使副输送推进力施加机构6的动作停止。此时，将玻璃基板1输送到副输送方向Y的上游侧末端位置，使其位于适当位置。
在如上述那样使玻璃基板1位于适当位置的状态下，执行将主输送辅助送风机构19切换为供给状态且将副输送辅助送风机构20切换为供给停止状态的送风状态切换工序，并且使主升降式推进力施加部5a上升且使副升降式推进力施加部6a下降，进而，使副输送限制部件26移动到限制解除位置，将中继输送部B切换为反方向主输送状态。
然后，使主输送推进力施加机构5动作，将玻璃基板1朝向主输送方向X的上游侧以通常输送速度输送。
在开始主输送推进力施加机构5的动作后，如果经过切换用设定时间（将玻璃基板1的整体输送到上游侧输送部A所需要的时间），则将中继输送部B切换为反方向副输送状态。
总之，在第1间隙g1中设置主输送辅助送风机构19的空气供给部21，在第2间隙g2中设置副输送辅助送风机构20的空气供给部21，通过根据中继输送部B的副输送状态和主输送状态的切换而将主输送辅助送风机构19及副输送辅助送风机构20的状态切换为供给状态和供给停止状态，能够将玻璃基板1沿主输送方向X或副输送方向Y准确地输送、并将玻璃基板1的损坏防止于未然。
［其他实施方式］
（1）在上述实施方式中，在将中继输送部B从主输送状态切换为副输送状态而在中继输送部B中开始玻璃基板1的向副输送方向Y的下游侧的输送之前，将主输送辅助送风机构19切换为供给停止状态且将副输送辅助送风机构20切换为供给状态，但也可以与在中继输送部B中玻璃基板1的向副输送方向Y的下游侧的输送的开始同时或紧接着，将主输送辅助送风机构19切换为供给停止状态且将副输送辅助送风机构20切换为供给状态。
（2）在上述实施方式中，将主输送推进力施加机构5在主输送方向X上排列设置多个接触在玻璃基板1的下表面上而对玻璃基板1施加推进力的旋转辊7而构成为辊式，但也可以将主输送推进力施加机构5构成为将接触在玻璃基板1的下表面上而对玻璃基板1施加推进力的环状带沿着主输送方向X配设的带式。
顺便说一下，在将主输送推进力施加机构5做成带式的情况下，既可以将作为旋转体的环状带在主输送方向X上排列设置多个，此外，也可以将单一的环状带沿主输送方向X设置。
同样，关于副输送推进力施加机构6也可以构成为带式。
（3）在上述实施方式中，将主输送辅助送风机构19的空气供给部21在俯视图中遍及从第1间隙g1到旋转辊7之间设置，在包括第1间隙g1的上游侧送风式支承机构11与中继送风式支承机构12之间的间隙中相对于上游侧送风式支承机构11及中继送风式支承机构12两者离开配置，但也可以将主输送辅助送风机构19的空气供给部21设置为，使其接触在上游侧送风式支承机构11及中继送风式支承机构12的某一个或两者上。此外，也可以将主输送辅助送风机构19的空气供给部21设置为，使其在俯视图中仅位于第1间隙g1中。
同样，也可以将副输送辅助送风机构20的空气供给部21设置为，使其接触在中继送风式支承机构12及下游侧送风式支承机构13的某一个或两者上，此外，也可以将副输送辅助送风机构20的空气供给部21设置为，使其在俯视图中仅位于第2间隙g2中。
（4）在上述实施方式中，将主输送辅助送风机构19的空气供给部在中继输送部B的副输送方向Y的端部侧的该空气供给部21彼此的间隔比中继输送部B的副输送方向Y的中央部处的该空气供给部21彼此的间隔宽的状态下在副输送方向Y上排列设置有多个，但也可以将主输送辅助送风机构19的空气供给部21在副输送方向Y上等间隔地排列设置多个。顺便说一下，在将空气供给部21在副输送方向Y上等间隔地排列设置多个的情况下，也可以构成为，使来自位于副输送方向Y的中央侧的空气供给部21的清洁空气的流量比来自端部侧的空气供给部21的清洁空气的流量多，与玻璃基板1的副输送方向Y的端部侧相比、将中央部以更高的支承力非接触支承。关于副输送辅助送风机构20的空气供给部21也是同样的。
（5）在上述实施方式中，将空气供给部21用具有缝隙状的喷出口的喷出喷嘴构成，但也可以将空气供给部21用具有1个或多个圆形的喷出口的喷出喷嘴构成，此外，也可以将空气供给部21用小型的风机过滤单元构成。
此外，在上述实施方式中，在第1间隙g1或第2间隙g2中排列设置多个空气供给部21，但也可以通过将具有缝隙状的喷出口21a的喷出喷嘴以喷出口21a沿着副输送方向Y的姿势设在第1间隙g1中、以喷出口21a沿着主输送方向X的姿势设在第2间隙g2中等，在第1间隙g1或第2间隙g2中设置单一的空气供给部21。
（6）在上述实施方式中，设置主输送限制部件25，构成为，使该主输送限制部件25的限制解除位置位于比限制位置靠下方侧且比限制位置靠主输送方向X的下游侧，使位于限制位置的主输送限制部件25向斜下方移动而移动到限制解除位置，但也可以构成为，使位于限制位置的主输送限制部件25向主输送方向X的下游侧水平移动而移动到限制解除位置，此外，也可以构成为，使位于限制位置的主输送限制部件25向铅直下方移动而移动到限制解除位置。此外，也可以不设置主输送限制部件25。关于副输送限制部件26也是同样的。
（7）在上述实施方式中，在中继输送部B的主输送方向X的上游侧排列设置上游侧输送部A，在中继输送部B的副输送方向Y的下游侧排列设置下游侧输送部C，将板状体输送装置构成为L字状，但也可以在中继输送部B的主输送方向X的下游侧排列设置与上游侧输送部A相同结构的第2下游侧输送部、或者在中继输送部B的副输送方向Y的上游侧排列设置与下游侧输送部C相同结构的第2上游侧输送部、将板状体输送装置构成为T字状，此外，也可以排列设置第2下游侧输送部和第2上游侧输送部两者，将板状体输送装置构成为十字状。
顺便说一下，在中继输送部B中，通过不切换玻璃基板1的输送方向，能够从上游侧输送部A经由中继输送部B向第2下游侧输送部输送玻璃基板1、或从第2上游侧输送部经由中继输送部B向下游侧输送部C输送玻璃基板1。
（8）在上述实施方式中，构成为，通过使一对主输送推进力施加机构5和一对副输送推进力施加机构6两者升降移动，将中继输送部B切换为主输送状态和副输送状态，但也可以构成为，通过使一对主输送推进力施加机构5和一对副输送推进力施加机构6的某一方升降移动，将中继输送部B切换为主输送状态和副输送状态。在这样构成的情况下，在主输送状态和副输送状态下支承板状体1的高度不同，但也可以将中继送风式支承机构12升降移动自如地构成，以根据板状体1的支承高度的变化来匹配中继送风式支承机构12的高度。
（9）在上述实施方式中，以液晶用的玻璃基板1相当于本发明的“矩形状的板状体”的情况为例进行了说明，但作为矩形状的板状体，也可以采用在液晶用以外的用途中使用的玻璃基板、或玻璃以外的材料（例如半导体等）的板状体。
附图标记说明
1 玻璃基板（板状体）
2送风式支承机构
3推进力施加机构
5主输送推进力施加机构
6副输送推进力施加机构
7 旋转体
11上游侧送风式支承机构
12中继送风式支承机构
13下游侧送风式支承机构
19主输送辅助送风机构
20副输送辅助送风机构
21 空气供给部
25主输送限制部件（抵接体）
A上游侧输送部
B中继输送部
C下游侧输送部
g1 第1间隙
g2 第2间隙
H 送风状态切换机构
X主输送方向
Y副输送方向

Claims (10)

1. 一种板状体输送装置，具备：
送风式支承机构，朝向矩形状的板状体的下表面供给清洁空气，将板状体以水平姿势在非接触状态下支承；
推进力施加机构，接触在由上述送风式支承机构支承的板状体的下表面上，对该板状体施加输送方向上的推进力；
上游侧输送部，将板状体沿主输送方向输送；
下游侧输送部，将板状体向与上述主输送方向正交的副输送方向输送；
中继输送部，将从上述上游侧输送部接受到的板状体的输送方向从上述主输送方向切换为上述副输送方向，交接给上述下游侧输送部；
其特征在于，
作为上述推进力施加机构，设有遍及从上述上游侧输送部到上述中继输送部配设、接触在板状体的上述副输送方向的两端部的下表面上而对该板状体施加上述主输送方向上的推进力的一对主输送推进力施加机构、和遍及从上述中继输送部到上述下游侧输送部而配设、接触在板状体的上述主输送方向的两端部的下表面上而对该板状体施加上述副输送方向上的推进力的一对副输送推进力施加机构；
作为上述送风式支承机构，设有在上述一对主输送推进力施加机构之间在从该一对主输送推进力施加机构分别沿上述副输送方向离开的状态下设在上述上游侧输送部中的上游侧送风式支承机构、在上述一对副输送推进力施加机构之间在从该一对副输送推进力施加机构分别沿上述主输送方向离开的状态下设在上述下游侧输送部中的下游侧送风式支承机构、和在上述一对主输送推进力施加机构之间在从该一对主输送推进力施加机构分别沿上述副输送方向离开的状态下且在上述一对副输送推进力施加机构之间在从该一对副输送推进力施加机构分别沿上述主输送方向离开的状态下设在上述中继输送部中的中继送风式支承机构；
上述中继输送部构成为，通过使上述一对主输送推进力施加机构和上述一对副输送推进力施加机构相对升降移动，自如地切换为使上述一对主输送推进力施加机构接触在板状体的下表面上而将板状体的输送方向切换为上述主输送方向的主输送状态、和使上述一对副输送推进力施加机构接触在板状体的下表面上而将板状体的输送方向切换为上述副输送方向的副输送状态；
设有将朝向板状体的下表面供给清洁空气的空气供给部配设在上述中继输送部的上述一对副输送推进力施加机构与上述中继送风式支承机构之间的一对间隙中的至少位于主输送方向的上游侧的第1间隙中的主输送辅助送风机构；
设有将上述空气供给部配设在上述中继输送部的上述一对主输送推进力施加机构与上述中继送风式支承机构之间的一对间隙中的至少位于副输送方向的下游侧的第2间隙中的副输送辅助送风机构；
构成为，上述主输送辅助送风机构及上述副输送辅助送风机构分别自如地切换为供给清洁空气以将位于上述空气供给部的上方的板状体以非接触状态支承的供给状态、和使从上述空气供给部的清洁空气的供给停止的供给停止状态；
设有在将上述中继输送部从上述副输送状态切换为上述主输送状态的情况下、将上述主输送辅助送风机构切换为上述供给状态且将上述副输送辅助送风机构切换为上述供给停止状态、并且在将上述中继输送部从上述主输送状态切换为上述副输送状态的情况下、将上述主输送辅助送风机构切换为上述供给停止状态并且将上述副输送辅助送风机构切换为上述供给状态的送风状态切换机构。
2. 如权利要求1所述的板状体输送装置，其特征在于，
上述送风状态切换机构构成为，在上述中继输送部被从上述主输送状态切换为上述副输送状态而在上述中继输送部中开始板状体的向上述副输送方向的输送之前，将上述主输送辅助送风机构切换为上述供给停止状态且将上述副输送辅助送风机构切换为上述供给状态。
3. 如权利要求1或2所述的板状体输送装置，其特征在于，
上述主输送推进力施加机构沿着上述主输送方向排列设置多个接触在板状体的下表面上、对该板状体施加推进力的旋转体而构成；
上述副输送推进力施加机构沿着上述副输送方向排列设置多个上述旋转体而构成；
上述主输送辅助送风机构的上述空气供给部在俯视图中遍及从上述第1间隙到上述副输送推进力施加机构的沿上述副输送方向相邻的上述旋转体之间而设置；
上述副输送辅助送风机构的上述空气供给部在俯视图中遍及从上述第2间隙到上述主输送推进力施加机构的沿上述主输送方向相邻的上述旋转体之间而设置。
4. 如权利要求1或2所述的板状体输送装置，其特征在于，
上述主输送辅助送风机构的上述空气供给部遍及包括上述第1间隙的上述上游侧送风式支承机构与上述中继送风式支承机构之间的间隙的上述主输送方向的整个宽度而设置；
上述副输送辅助送风机构的上述空气供给部遍及包括上述第2间隙的上述中继送风式支承机构与上述下游侧送风式支承机构之间的间隙的上述副输送方向的整个宽度而设置。
5. 如权利要求1或2所述的板状体输送装置，其特征在于，
上述主输送辅助送风机构的上述空气供给部在上述中继输送部的上述副输送方向的端部侧的该空气供给部彼此的间隔比上述中继输送部的上述副输送方向的中央部处的该空气供给部彼此的间隔宽的状态下沿上述副输送方向排列设置有多个；
上述副输送辅助送风机构的上述空气供给部在上述中继输送部的上述主输送方向的端部侧的该空气供给部彼此的间隔比上述中继输送部的上述主输送方向的中央部处的该空气供给部彼此的间隔宽的状态下沿上述主输送方向排列设置有多个。
6. 如权利要求1或2所述的板状体输送装置，其特征在于，
上述空气供给部由具有缝隙状的喷出口的喷出喷嘴构成。
7. 如权利要求1或2所述的板状体输送装置，其特征在于，
设有向与在上述主输送状态下被上述一对主输送推进力施加机构载置支承的板状体相同高度且抵接于在上述副输送状态下被上述一对副输送推进力施加机构载置支承的板状体的上述主输送方向的下游侧的侧面上的限制位置、和位于比在上述主输送状态下被上述一对主输送推进力施加机构载置支承的板状体的下表面及在上述副输送状态下被上述一对副输送推进力施加机构载置支承的板状体的下表面靠下方侧且比上述限制位置靠上述主输送方向的下游侧的限制解除位置移动自如的抵接体。
8. 一种板状体输送方法，是利用板状体输送装置的板状体输送方法，其特征在于，
上述板状体输送装置
设有朝向矩形状的板状体的下表面供给清洁空气、将板状体以水平姿势在非接触状态下支承的送风式支承机构、和接触在由该送风式支承机构支承的板状体的下表面上、对该板状体施加输送方向上的推进力的推进力施加机构；
设有将板状体沿主输送方向输送的上游侧输送部、将板状体向与上述主输送方向正交的副输送方向输送的下游侧输送部、和将从上述上游侧输送部接受到的板状体的输送方向从上述主输送方向切换为上述副输送方向、交接给上述下游侧输送部的中继输送部；
作为上述推进力施加机构，设有遍及从上述上游侧输送部到上述中继输送部配设、接触在板状体的上述副输送方向的两端部的下表面上而对该板状体施加上述主输送方向上的推进力的一对主输送推进力施加机构、和遍及从上述中继输送部到上述下游侧输送部而配设、接触在板状体的上述主输送方向的两端部的下表面上而对该板状体施加上述副输送方向上的推进力的一对副输送推进力施加机构；
作为上述送风式支承机构，设有在上述一对主输送推进力施加机构之间在从该一对主输送推进力施加机构分别沿上述副输送方向离开的状态下设在上述上游侧输送部中的上游侧送风式支承机构、在上述一对副输送推进力施加机构之间在从该一对副输送推进力施加机构分别沿上述主输送方向离开的状态下设在上述下游侧输送部中的下游侧送风式支承机构、和在上述一对主输送推进力施加机构之间在从该一对主输送推进力施加机构分别沿上述副输送方向离开的状态下且在上述一对副输送推进力施加机构之间在从该一对副输送推进力施加机构分别沿上述主输送方向离开的状态下设在上述中继输送部中的中继送风式支承机构；
上述中继输送部构成为，通过使上述一对主输送推进力施加机构和上述一对副输送推进力施加机构相对升降移动，自如地切换为使上述一对主输送推进力施加机构接触在板状体的下表面上而将板状体的输送方向切换为上述主输送方向的主输送状态、和使上述一对副输送推进力施加机构接触在板状体的下表面上而将板状体的输送方向切换为上述副输送方向的副输送状态；
设有将朝向板状体的下表面供给清洁空气的空气供给部配设在上述中继输送部的上述一对副输送推进力施加机构与上述中继送风式支承机构之间的一对间隙中的至少位于主输送方向的上游侧的第1间隙中的主输送辅助送风机构；
设有将上述空气供给部配设在上述中继输送部的上述一对主输送推进力施加机构与上述中继送风式支承机构之间的一对间隙中的至少位于副输送方向的下游侧的第2间隙中的副输送辅助送风机构；
构成为，上述主输送辅助送风机构及上述副输送辅助送风机构分别自如地切换为供给清洁空气以将位于上述空气供给部的上方的板状体以非接触状态支承的供给状态、和使从上述空气供给部的清洁空气的供给停止的供给停止状态；
上述板状体输送方法包括：
在上述中继输送部的从上述副输送状态向上述主输送状态的切换时、将上述主输送辅助送风机构切换为上述供给状态且将上述副输送辅助送风机构切换为上述供给停止状态、在上述中继输送部的从上述主输送状态向上述副输送状态的切换时、将上述主输送辅助送风机构切换为上述供给停止状态并且将上述副输送辅助送风机构切换为上述供给状态的送风状态切换工序。
9. 如权利要求8所述的板状体输送方法，其特征在于，
在上述送风状态切换工序中，在上述中继输送部的从上述主输送状态向上述副输送状态的切换时，在上述中继输送部中开始板状体的向上述副输送方向的输送之前，将上述主输送辅助送风机构切换为上述供给停止状态且将上述副输送辅助送风机构切换为上述供给状态。
10. 如权利要求8或9所述的板状体输送方法，其特征在于，
设有向与在上述主输送状态下被上述一对主输送推进力施加机构载置支承的板状体相同高度且抵接于在上述副输送状态下被上述一对副输送推进力施加机构载置支承的板状体的上述主输送方向的下游侧的侧面上的限制位置、和位于比在上述主输送状态下被上述一对主输送推进力施加机构载置支承的板状体的下表面及在上述副输送状态下被上述一对副输送推进力施加机构载置支承的板状体的下表面靠下方侧且比上述限制位置靠上述主输送方向的下游侧的限制解除位置移动自如的抵接体；
包括在上述中继输送部的从上述主输送状态向上述副输送状态的切换时、在上述中继输送部中开始板状体的向上述副输送方向的输送之前、使上述抵接体从上述限制位置向上述限制解除位置移动的抵接体位置切换工序。
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