JP6288553B2 - 非接触式浮上搬送装置およびその搬送方向切換方法と搬送速度調整方法 - Google Patents

Description

本発明は、旋回流を発生させる旋回流形成部が被搬送物を搬送する搬送路面に配設され、この旋回流により被搬送物を浮上搬送する非接触式浮上搬送装置、および、その搬送方向切換方法と搬送速度調整方法に関するものであって、特に、太陽電池用フラットパネルや携帯電話、液晶テレビ、パソコン用液晶モニターなどに用いるディスプレイ用ガラス基板からなる被搬送物を浮上搬送する非接触式浮上搬送装置、および、その搬送方向切換方法と搬送速度調整方法に関するものである。

従来、非接触搬送装置として、表面から裏面に貫通する横断面円形の貫通孔を有するリング状部材の裏面に噴出口を備え、この噴出口から気体を噴出させることにより、このリング状部材の表面側にこの表面から離れる方向へ向かう旋回流を生じさせるとともに、このリング状部材の表面側の貫通孔の開口部近傍に裏面方向への空気の流れを生じさせる旋回流形成体を、基台フレームの搬送面に２個以上備えて、液晶用ガラスなどからなる被搬送物の浮上高さ精度を高く維持しつつ接触式の駆動機構を用いて被搬送物を浮上搬送させる非接触搬送装置が知られている（特許文献１および特許文献２参照）。

特許５２３７３５７号公報（特に、第３頁第６〜７段落、図１、図２を参照） 国際公開ＷＯ２０１０／００４８００号公報（特に、請求項１、図３参照）

しかしながら、上述した従来の非接触搬送装置では、搬送面上における被搬送物の回動やふらつきを回避して浮上高さ精度を保つように、旋回流形成体の旋回流の旋回方向が互いに変わるように搬送方向に複数配列することにより、それぞれの旋回流形成体から搬送面上に送り出された旋回流の旋回力を意図的に相殺させるとともに被搬送物の底面と搬送面との間隙に旋回流を送り続けて介在させた浮上状態を呈するものの、この浮上している被搬送物を搬送方向へ搬送させるためには、別途、摩擦コロやベルトなどの接触式の駆動機構を用いて被搬送物に搬送するための駆動力を与えて搬送する必要があり、このような接触式の駆動機構を付設すると搬送装置としての全体的装置構成やその駆動制御が複雑となるという問題があった。
また、従来の非接触式搬送装置では、被搬送物の搬送方向を前進と後退との間で切り換えたり、被搬送物の搬送速度を調整するためには、前述した摩擦コロやベルトなどの接触式の駆動機構を機能アップしなければならないという問題があった。

そこで、本発明は、前述したような従来技術の問題を解決するものであって、すなわち、本発明の目的は、旋回流の旋回力を活用して接触式の駆動機構を付設することなく簡便な装置構成で被搬送物を完全なる非接触状態で浮上させながら搬送するとともに前進後退の切換えや搬送速度の調整を簡便に達成する非接触式浮上搬送装置、および、その搬送方向切換方法と搬送速度調整方法を提供することである。

本請求項１に係る発明は、気体からなる旋回流を発生させる旋回流形成部が被搬送物を搬送する平坦な搬送路面に配設され、前記旋回流形成部から順次溢出してくる旋回流を被搬送物の底面と搬送路面との間隙に介在させて被搬送物を浮上させるとともに前記旋回流の旋回力によって生じる搬送力で被搬送物を搬送する非接触式浮上搬送装置であって、前記旋回流形成部が、前記搬送路面の路幅方向で左右相互に離間して一対配設され、前記搬送路面の路幅方向に配設した左右一対の旋回流形成部でそれぞれ発生する旋回流の旋回方向が、相互に同一方向に設定され、前記旋回流形成部ごとに旋回流の旋回力を調整する旋回力調整手段が、前記左右一対の旋回流形成部の一方から溢出する旋回流の旋回力を他方から溢出する旋回流の旋回力より強くした被搬送物の往路搬送状態と前記左右一対の旋回流形成部の一方から溢出する旋回流の旋回力を他方から溢出する旋回流の旋回力より弱くした被搬送物の復路搬送状態とで切り換え自在に設けられていることにより、前述した課題を解決するものである。

本請求項２に係る発明は、請求項１に記載された非接触式浮上搬送装置の構成に加えて、前記左右一対の旋回流形成部が、前記搬送路面の搬送方向に沿って所定の設置間隔ごとに相互に離間して多数配設され、前記搬送路面の搬送方向に沿って多数配設した旋回流形成部でそれぞれ発生する旋回流の旋回方向が、相互に同一方向に設定されていることにより、前述した課題をさらに解決するものである。

本請求項３に係る発明は、請求項１に記載された非接触式浮上搬送装置の構成に加えて、前記左右一対の旋回流形成部が、前記搬送路面の搬送方向に沿って所定の設置間隔ごとに相互に離間して複数配設され、前記搬送路面の搬送方向に沿って多数配設した旋回流形成部でそれぞれ発生する旋回流の旋回方向が、相互に逆方向に設定され、前記旋回力調整手段が、前記旋回流形成部からそれぞれ発生する旋回流の旋回力を搬送方向に沿って市松模様状の強弱状態に設定していることにより、前述した課題をさらに解決するものである。

本請求項４に係る発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか１つに記載された非接触式浮上搬送装置の構成に加えて、前記旋回流形成部が、前記搬送路面下に設けられて搬送路面上に開口する有底の周側壁と、該周側壁の接線方向から周側壁で囲繞される旋回形成空間領域内へ前記気体を噴射して旋回流を発生させる気体噴射口とを備え、前記旋回力調整手段が、前記旋回流形成部ごとに気体の噴射力を調整することにより、前述した課題をさらに解決するものである。

本請求項５に係る発明は、気体からなる旋回流を発生させる旋回流形成部が被搬送物を搬送する平坦な搬送路面に配設され、前記旋回流形成部から順次溢出してくる旋回流を被搬送物の底面と搬送路面との間隙に介在させて被搬送物を浮上させるとともに前記旋回流の旋回力によって生じる搬送力で被搬送物を搬送する非接触式浮上搬送装置の搬送方向切換方法であって、前記搬送路面の路幅方向で左右相互に離間して一対配設されて相互に同じ旋回方向の旋回流を生じさせる旋回流形成部から溢出する旋回流の旋回力をそれぞれ調整する旋回力調整手段により、左右一対の旋回流形成部の一方から溢出する旋回流の旋回力を他方から溢出する旋回流の旋回力より強くした被搬送物の往路搬送状態と前記左右一対の旋回流形成部の一方から溢出する旋回流の旋回力を他方から溢出する旋回流の旋回力より弱くした被搬送物の復路搬送状態とで切り換えることを特徴とすることにより、前述した課題を解決するものである。

本請求項６に係る発明は、気体からなる旋回流を発生させる旋回流形成部が被搬送物を搬送する平坦な搬送路面に配設され、前記旋回流形成部から順次溢出してくる旋回流を被搬送物の底面と搬送路面との間隙に介在させて被搬送物を浮上させるとともに前記旋回流の旋回力によって生じる搬送力で被搬送物を搬送する非接触式浮上搬送装置の搬送速度調整方法であって、前記搬送路面の路幅方向で左右相互に離間して一対配設されて相互に同じ旋回方向の旋回流を生じさせる旋回流形成部から溢出する旋回流の旋回力をそれぞれ調整する旋回力調整手段により、左右一対の旋回流形成部の一方から溢出する旋回流の旋回力を他方から溢出する旋回流の旋回力より強くした被搬送物の加速搬送状態にし、該加速搬送状態の後に前記左右一対の旋回流形成部の一方から溢出する旋回流の旋回力を他方から溢出する旋回流の旋回力より弱くした被搬送物の減速搬送状態に変更することにより、前述した課題を解決するものである。

本発明の非接触式浮上搬送装置、非接触式浮上搬送装置の搬送方向切換方法および非接触式浮上搬送装置の搬送速度調整方法は、気体からなる旋回流を発生させる旋回流形成部が被搬送物を搬送する平坦な搬送路面に配設されていることにより、旋回流形成部から順次溢出してくる旋回流を被搬送物の底面と搬送路面との間隙に介在させて被搬送物を浮上させることができるばかりでなく、以下のような特有の効果を奏することができる。

本請求項１に係る発明の非接触式浮上搬送装置によれば、旋回流形成部が、搬送路面の路幅方向で左右相互に離間して一対配設され、搬送路面の路幅方向に配設した左右一対の旋回流形成部でそれぞれ発生する旋回流の旋回方向が、相互に同一方向に設定され、旋回流形成部ごとに旋回流の旋回力を調整する旋回力調整手段が、左右一対の旋回流形成部の一方から溢出する旋回流の旋回力を他方から溢出する旋回流の旋回力より強くした被搬送物の往路搬送状態と左右一対の旋回流形成部の一方から溢出する旋回流の旋回力を他方から溢出する旋回流の旋回力より弱くした被搬送物の復路搬送状態とで切り換え自在に設けられていることにより、旋回流形成部から溢出する旋回流の旋回力の強弱を切り換えるだけで搬送往路方向および搬送復路方向へ作用する力の大小関係も変わるため、旋回流の旋回力を活用して接触式の駆動機構を付設することなく被搬送物の搬送往路方向および搬送復路方向への移動方向を切り換えることができる。

すなわち、旋回力が強い側では弱い側と比べて旋回流による負圧が低く被搬送物が旋回流形成部側へ引き寄せられる力が大きくなり、旋回力が弱い側の旋回流形成部による旋回流の影響よりも旋回力が強い側の旋回流形成部による旋回流の影響を受けやすくなり、左右一対の旋回流形成部の間では旋回力の強い側の旋回流形成部の旋回流による搬送復路方向へ向かって作用する旋回流作用力が旋回力の弱い側の旋回流形成部の旋回流による搬送往路方向へ向かって作用する旋回流作用力によって減殺されて左右一対の旋回流形成部の路幅方向外側における旋回力の強い側の旋回流形成部の旋回流による搬送往路方向へ向かって作用する旋回流作用力が搬送復路方向へ向かって作用する旋回流作用力より大きくなるため、搬送力を発生させて被搬送物を非接触で搬送往路方向へ向かって搬送することができる。
さらに、左右一対の旋回流形成部における旋回力の強弱関係を切り換えることで搬送往路方向および搬送復路方向へ作用する旋回流作用力の大小関係が変わるため、被搬送物の搬送方向を切り換えることができる。

本請求項２に係る発明の非接触式浮上搬送装置によれば、請求項１に係る発明が奏する効果に加えて、左右一対の旋回流形成部が、搬送路面の搬送方向に沿って所定の設置間隔ごとに相互に離間して多数配設され、搬送路面の搬送方向に沿って多数配設した旋回流形成部でそれぞれ発生する旋回流の旋回方向が、相互に同一方向に設定されていることにより、左右一対の旋回流形成部の路幅方向外側における噴射力が強い側の旋回流形成部の旋回流による搬送往路方向または搬送復路方向へ向かって被搬送物に対して作用する旋回流作用力の箇所が搬送方向で複数となるため、その分、被搬送物の加速度を高めることができ、搬送速度をも速くすることができる。

本請求項３に係る発明の非接触式浮上搬送装置によれば、請求項１に係る発明が奏する効果に加えて、左右一対の旋回流形成部が、搬送路面の搬送方向に沿って所定の設置間隔ごとに相互に離間して複数配設され、搬送路面の搬送方向に沿って多数配設した旋回流形成部でそれぞれ発生する旋回流の旋回方向が、相互に逆方向に設定され、旋回力調整手段が、旋回流形成部からそれぞれ発生する旋回流の旋回力を搬送方向に沿って市松模様状の強弱状態に設定していることにより、旋回流形成部からそれぞれ発生する旋回流の旋回力を強くした箇所が路幅方向一方側のみではなく両側で生じて路幅方向一方側と他方側とが同様の状態となるため、路幅方向両側でバランスよく被搬送物に対して旋回流作用力が作用して被搬送物を搬送することができる。

本請求項４に係る発明の非接触式浮上搬送装置によれば、請求項１乃至請求項３のいずれか１つに係る発明が奏する効果に加えて、旋回流形成部が、搬送路面下に設けられて搬送路面上に開口する有底の周側壁と、この周側壁の接線方向から周側壁で囲繞される旋回形成空間領域内へ気体を噴射して旋回流を発生させる気体噴射口とを備え、旋回力調整手段が、旋回流形成部ごとに気体の噴射力を調整することにより、簡単でコンパクトな構成で旋回流が形成されるため、モータなどの回転構造を不要として非接触式浮上搬送装置を簡素化することができる。
また、気体の噴射力の調整で容易に旋回流の旋回力の強弱が変わるため、容易に旋回流の旋回力を調整することができる。

本請求項５に係る発明の非接触式浮上搬送装置の搬送方向切換方法によれば、搬送路面の路幅方向で左右相互に離間して一対配設されて相互に同じ旋回方向の旋回流を生じさせる旋回流形成部から溢出する旋回流の旋回力をそれぞれ調整する旋回力調整手段により、左右一対の旋回流形成部の一方から溢出する旋回流の旋回力を他方から溢出する旋回流の旋回力より強くした被搬送物の往路搬送状態と左右一対の旋回流形成部の一方から溢出する旋回流の旋回力を他方から溢出する旋回流の旋回力より弱くした被搬送物の復路搬送状態とで切り換えることにより、旋回流形成部から溢出する旋回流の旋回力の強弱を切り換えるだけで搬送往路方向および搬送復路方向へ作用する旋回流作用力の大小関係が変わるため、被搬送物の搬送往路方向および搬送復路方向への移動方向を切り換えることができる。
つまり、請求項１に係る発明と同様の作用効果を得ることができる。

本請求項６に係る発明の非接触式浮上搬送装置の搬送速度調整方法によれば、搬送路面の路幅方向で左右相互に離間して一対配設されて相互に同じ旋回方向の旋回流を生じさせる旋回流形成部から溢出する旋回流の旋回力をそれぞれ調整する旋回力調整手段により、左右一対の旋回流形成部の一方から溢出する旋回流の旋回力を他方から溢出する旋回流の旋回力より強くした被搬送物の加速搬送状態にし、この加速搬送状態の後に左右一対の旋回流形成部の一方から溢出する旋回流の旋回力を他方から溢出する旋回流の旋回力より弱くした被搬送物の減速搬送状態に変更することにより、旋回流形成部から溢出する旋回流の旋回力の強弱を切り換えるだけで搬送方向進行方向および搬送方向後退方向へ作用する旋回流作用力の大小関係が変わるため、被搬送物を搬送方向進行方向へ向かって加速させ、その後減速させることができる。

本発明の第１実施例の非接触式浮上搬送装置を示す斜視図。 図１の符号２の箇所の旋回流形成部を示す拡大斜視図。 本発明の旋回流形成部による旋回流および下方へ引き寄せようとする力が発生する原理を示す図。 図１の符号４から視た平面図であって第１実施例において搬送力が発生する原理を示す図。 図１の符号５から視た平面図であって一対の一方の旋回流形成部の圧力を他方の旋回流形成部の圧力より高くした様子を示す図。 図１の符号６から視た平面図であって図５のときと圧力の高低関係を逆にした様子を示す図。 本発明の第２実施例の非接触式浮上搬送装置を示す平面図。

本発明の非接触式浮上搬送装置は、旋回流形成部が、搬送路面の路幅方向で左右相互に離間して一対配設され、搬送路面の路幅方向に配設した左右一対の旋回流形成部でそれぞれ発生する旋回流の旋回方向が、相互に同一方向に設定され、旋回流形成部ごとに旋回流の旋回力を調整する旋回力調整手段が、左右一対の旋回流形成部の一方から溢出する旋回流の旋回力を他方から溢出する旋回流の旋回力より強くした被搬送物の往路搬送状態と左右一対の旋回流形成部の一方から溢出する旋回流の旋回力を他方から溢出する旋回流の旋回力より弱くした被搬送物の復路搬送状態とで切り換え自在に設けられていることにより、旋回流の旋回力を活用して接触式の駆動機構を付設することなく搬送力を発生させて被搬送物を非接触で搬送し、さらに、被搬送物の搬送往路方向および搬送復路方向への移動方向を切り換えるものであれば、その具体的な実施態様は、如何なるものであっても構わない。

本発明の非接触式浮上搬送装置の搬送方向切換方法は、搬送路面の路幅方向で左右相互に離間して一対配設されて相互に同じ旋回方向の旋回流を生じさせる旋回流形成部から溢出する旋回流の旋回力をそれぞれ調整する旋回力調整手段により、左右一対の旋回流形成部の一方から溢出する旋回流の旋回力を他方から溢出する旋回流の旋回力より強くした被搬送物の往路搬送状態と左右一対の旋回流形成部の一方から溢出する旋回流の旋回力を他方から溢出する旋回流の旋回力より弱くした被搬送物の復路搬送状態とで切り換えることにより、旋回流の旋回力を活用して接触式の駆動機構を付設することなく搬送力を発生させて被搬送物を非接触で搬送し、さらに、被搬送物の搬送往路方向および搬送復路方向への移動方向を切り換えるものであれば、その具体的な実施態様は、如何なるものであっても構わない。

また、本発明の非接触式浮上搬送装置の搬送速度調整方法は、搬送路面の路幅方向で左右相互に離間して一対配設されて相互に同じ旋回方向の旋回流を生じさせる旋回流形成部から溢出する旋回流の旋回力をそれぞれ調整する旋回力調整手段により、左右一対の旋回流形成部の一方から溢出する旋回流の旋回力を他方から溢出する旋回流の旋回力より強くした被搬送物の加速搬送状態にし、この加速搬送状態の後に左右一対の旋回流形成部の一方から溢出する旋回流の旋回力を他方から溢出する旋回流の旋回力より弱くした被搬送物の減速搬送状態に変更することにより、旋回流の旋回力を活用して接触式の駆動機構を付設することなく搬送力を発生させて被搬送物を非接触で搬送し、さらに、被搬送物を搬送方向進行方向へ向かって加速させ、その後減速させるものであれば、その具体的な実施態様は、如何なるものであっても構わない。

すなわち、本発明で採用する旋回流形成部の具体的な実施態様については、穿孔加工や切削加工などにより搬送路面を構成するベース部自体に直接形成されていても良いが、樹脂加工などによるチップ状の成型品等、搬送路面を構成するベース部と別体に形成されていても良く、旋回流形成部がベース部と別体に形成されている場合には、旋回流形成部の素材や製作加工の選択肢を多様化させることができるので、より好ましい。
また、旋回流形成部の具体的な構造については、空気などの気体から旋回流を形成するものであれば如何なるものであっても何ら構わない。例えば、旋回流形成部の気体噴射口から噴射された気体が、旋回方向へ案内する案内凹所の深さ３〜１０ｍｍ程度の周側壁に沿って流れることで旋回流を形成するものでもよい。平面視の案内凹所の形状としては如何なるものであっても何ら構わない。この案内凹所の具体的な形状は、例えば、円形状、環状、楕円形状、多角形状、円形状に切り欠き部が形成された形状などでも良く、更に具体的には、鍔付きの円形カップ状のものがより好ましい。
また、周側壁を備えた案内凹所内に吸気口とファンとを設けて、ファンが回転することで周側壁で囲繞された案内凹所内から上方へ向かう旋回流を形成するものでも良い。
そして、本発明における旋回流形成部の具体的な配列形態については、前述したように、左右一対の旋回流形成部にそれぞれ設定された旋回流の旋回方向が、左右一対の旋回流形成部で被搬送物に作用して搬送往路方向に向かう旋回流作用力と搬送復路方向に向かう旋回流作用力との相互間で生じた大小関係に基づいて被搬送物の搬送方向を方向付けし、旋回流の旋回力を活用して被搬送物を浮上させつつ搬送させることが可能な浮上搬送機構を構築するものであれば如何なる配列形態であっても良い。旋回流形成部が、搬送路面の路幅方向で左右相互に離間して一対のみ配設された配列形態、あるいは、搬送路面の路幅方向で左右相互に離間して一対配設されるとともに搬送路面の搬送方向で前後相互に離間して複数配設された配列形態のいずれであっても何ら構わない。
さらに、本発明では、搬送路面の路幅方向で左右相互に離間する一対の旋回流形成部が、搬送方向で同じ位置関係で配列されても良く、搬送方向で互いにずれた位置関係で配列されても良い。
また、旋回力調整手段は、旋回流形成部から順次溢出してくる旋回流の旋回力の強弱を調整するものであれば、如何なるものでもよい。例えば、旋回流形成部の気体噴射口から噴射された気体の圧力を調整して旋回流の旋回力の強弱を調整したり、旋回流形成部の気体噴射口の口径の大小を調整して旋回流の旋回力の強弱を調整したり、旋回流形成部のファンの回転数の高低を調整して旋回流の旋回力の強弱を調整してもよい。
そして、本発明における搬送路面は、平坦であることが重要であり、この平坦な搬送路面の加工精度が高ければ被搬送物のより安定した搬送状態が得られることは言うまでもない。また、必要に応じて、旋回流形成部から放出された気体が路幅方向の両側縁から過度に漏出することを抑制するとともに被搬送物を搬送方向へ誘導規制するために、ガイド板を搬送路面の両側縁に設けるのも良い。
なお、本発明の非接触式浮上搬送装置によって浮上搬送させる被搬送物としては、例えば、ガラス、プラスチック、金属などの素材からなる薄板状のものであり、特に好適な被搬送物としては、太陽電池用フラットパネルや携帯電話、液晶テレビ、パソコン用液晶モニターなどに用いる０．１乃至０．５ｍｍ程度のディスプレイ用ガラス基板である。

以下に、本発明の第１実施例である非接触式浮上搬送装置１００について、図１乃至図６に基づいて説明する。
ここで、図１は、本発明の第１実施例の非接触式浮上搬送装置１００を示す斜視図であり、図２は、図１の符号２の箇所の旋回流形成部１３０を示す拡大斜視図であり、図３は、本発明の旋回流形成部１３０による旋回流Ｒおよび下方へ引き寄せようとする力Ｄが発生する原理を示す図であり、図４は、図１の符号４から視た拡大平面図であって第１実施例において搬送力が発生する原理を示す図であり、図５は、図１の符号５から視た平面図であって一対の一方の旋回流形成部１３０ａの圧力を他方の旋回流形成部１３０ｂの圧力より高くした様子を示す図であり、図６は、図１の符号６から視た平面図であって図５のときと圧力の高低関係を逆にした様子を示す図である。

本発明の第１実施例である非接触式浮上搬送装置１００は、図１乃至図６に示すように、気体からなる旋回流Ｒを発生させる旋回流形成部１３０が、例えば、０．３ｍｍ程度のディスプレイ用ガラス基板からなる薄板状の被搬送物Ｃを搬送する平坦な搬送路面１１１に配設され、旋回流形成部１３０から順次溢出してくる旋回流Ｒを被搬送物Ｃの底面と搬送路面１１１との間隙に介在させて被搬送物Ｃを浮上させるとともに旋回流Ｒの旋回力によって生じる搬送力で被搬送物Ｃを搬送するように構成されている。
具体的に、非接触式浮上搬送装置１００は、ベース部１１０と、このベース部１１０と支持する機台フレーム１２０とを備えている。
そして、ベース部１１０における被搬送物Ｃと対向する搬送路面１１１には、樹脂成型加工してなる鍔付きの円形カップ状の旋回流形成部１３０が、搬送路面１１１の路幅方向Ｓで左右相互に離間して一対配設されるとともに搬送方向Ｔに沿って多数配列されている。
本実施例では、旋回流形成部１３０が、搬送路面下に設けられて搬送路面上に開口する有底の案内凹所１３１の周側壁１３１ａと、この周側壁１３１ａの接線方向から周側壁１３１ａで囲繞される旋回形成空間領域内へ気体としての空気を噴射して旋回流Ｒを発生させる気体噴射口１３２とを備えている。
図２に示すように、旋回流形成部１３０は、空気を旋回方向へ案内する案内凹所１３１と、この案内凹所１３１を囲繞する円筒状の周側壁に沿って空気をそれぞれ噴射する２つの気体噴射口１３２とを有している。
本実施例の場合には、これら２つの気体噴射口１３２が、案内凹所１３１を囲繞する円筒状の周側壁を２分する位置に設けられており、旋回流Ｒを確実かつ安定して発生させるようになっている。

そして、このように構成された旋回流形成部１３０が、旋回流Ｒを搬送路面１１１と被搬送物Ｃとの間に溢出することにより被搬送物Ｃを例えば０．０５ｍｍ程度浮上させている。
なお、本実施例では、旋回流形成部１３０を構成する樹脂成型加工してなる鍔付きの円形カップ状の部材は、ベース部１１０と別部材で形成されてベース部１１０に嵌め込まれているが、ベース部１１０自体に一体的に形成されていてもよい。
また、機台フレーム１２０は、水平方向に対するベース部１１０の姿勢を調整自在に設けられ、本実施例では、ベース部１１０の搬送路面１１１の設置姿勢が水平となるように調整されている。

ここで、先ず、図３を用いて、旋回流形成部１３０から放出される旋回流Ｒ、および、被搬送物Ｃを下方の旋回流形成部１３０側へ引き寄せようとする力Ｄがそれぞれ発生する原理について説明する。
前述した旋回流形成部１３０の気体噴射口１３２から空気が噴射されると、噴射された空気が案内凹所１３１の周側壁１３１ａに沿って流れ、案内凹所１３１内で旋回流Ｒが連続的に継続して形成される。
そして、空気が、気体噴射口１３２から順次噴射されるので、案内凹所１３１内から連続的に発生してくる旋回流Ｒは、被搬送物Ｃ側に向かって上方へ移動し溢出する。

この際、旋回流Ｒが案内凹所１３１の周側壁１３１ａから上方へ移動し、案内凹所１３１の周側壁１３１ａから離れるため、溢出した旋回流Ｒの遠心力により旋回流Ｒの旋回半径が旋回流Ｒの旋回中心を基準に拡大する。
つまり、旋回流Ｒが放射方向へ広がりながら旋回する。
そして、旋回流Ｒの旋回中心近傍の空気が、放射方向へ引っ張られるようにして、旋回流Ｒの旋回中心近傍の気圧が下がり旋回流Ｒの旋回部分に生じる気圧と比べて相対的に低くなる。
そのため、被搬送物Ｃに対して負圧が作用して被搬送物Ｃを下方の旋回流形成部１３０側へ吸引して引き寄せようとする力Ｄが発生する。
この引き寄せようとする力Ｄと被搬送物Ｃを溢出した旋回流Ｒで浮上させようとする力とが釣り合って、被搬送物の浮上位置に被搬送物Ｃが保持される。

続いて、図４を用いて、第１実施例において搬送力が発生する原理について説明する。
本実施例では、旋回流形成部１３０が、搬送路面１１１の路幅方向Ｓで左右相互に離間して一対配設されている。
なお、Ｕ軸の矢印が示すのは、浮上方向（鉛直方向）である。
本実施例では、一例として搬送方向Ｔに複数配設されているが、搬送方向Ｔに一つでもよい。
図４では、搬送力が発生する原理を説明するため、搬送方向Ｔに一つだけ示すこととする。
さらに、本実施例では、左右一対の旋回流形成部１３０ａ、１３０ｂでそれぞれ発生する旋回流Ｒａ、Ｒｂの旋回方向が、相互に同一方向に設定されている。

ここで、図４中の左側の旋回流形成部１３０ａの旋回流Ｒａが案内凹所１３１外に出た際、搬送往路方向（Ｔ軸矢印の方向）に作用する旋回流Ｒａの旋回流作用力をｆａ１、搬送復路方向（Ｔ軸矢印と逆方向）に作用する旋回流Ｒａの旋回流作用力をｆａ２とする。
同様に、図４中の右側の旋回流形成部１３０ｂの旋回流Ｒｂが案内凹所１３１外に出た際、搬送往路方向（Ｔ軸矢印の方向）に作用する旋回流Ｒｂの旋回流作用力をｆｂ１、搬送復路方向（Ｔ軸矢印と逆方向）に作用する旋回流Ｒｂの旋回流作用力をｆｂ２とする。
そして、左右一対の旋回流形成部１３０ａ、１３０ｂが結果として被搬送物Ｃに対して搬送往路方向（Ｔ軸矢印の方向）へ作用する旋回流作用力をＦ１とし、搬送復路方向（Ｔ軸矢印と逆方向）へ作用する旋回流作用力をＦ２とする。

本実施例では、旋回流形成部１３０ａ、１３０ｂごとに旋回流Ｒａ、Ｒｂの旋回力を調整する旋回力調整手段の一例として、旋回流形成部１３０の気体噴射口１３２から噴射する空気の噴射圧力を調整する噴射力調整手段１４０が設けられている。
そして、噴射力調整手段１４０が、左右一対の一方である図４中の左側の旋回流形成部１３０ａから溢出する旋回流の旋回力を、左右一対の他方である図４中の右側の旋回流形成部１３０ｂから溢出する旋回流の旋回力より相対的に強く調整する（被搬送物Ｃの往路搬送状態）。
すなわち、噴射力調整手段１４０が、左右一対の一方である図４中の左側の旋回流形成部１３０ａの気体噴射口１３２ａから噴射する空気の噴射圧力を、左右一対の他方である図４中の右側の旋回流形成部１３０ｂの気体噴射口１３２ｂから噴射する空気の噴射圧力より相対的に高く調整する。

すると、噴射圧力が高い図４中の左側の旋回流形成部１３０ａでは噴射圧力が低い右側の旋回流形成部１３０ｂと比べて旋回流Ｒａによる負圧が低く（マイナス側に大きく）被搬送物Ｃを旋回流形成部１３０側へ引き寄せようとする力Ｄが大きくなる。
そして、噴射圧力が低い図４中の右側の旋回流形成部１３０ｂによる旋回流Ｒｂの影響よりも噴射圧力が高い図４中の左側の旋回流形成部１３０ａによる旋回流Ｒａの影響を受けやすくなる。

左右一対の旋回流形成部１３０ａ、１３０ｂが配置された搬送路面１１１の搬送方向Ｔに沿った中央部分側１１１ａでは、噴射圧力が高い図４中の左側の旋回流形成部１３０ａの旋回流Ｒａによる搬送復路方向（Ｔ軸矢印と逆方向）へ向かって作用する旋回流作用力ｆａ２が、噴射圧力が低い図４中の右側の旋回流形成部１３０ｂの旋回流Ｒｂによる搬送往路方向（Ｔ軸矢印の方向）へ向かって作用する旋回流作用力ｆｂ１によって減殺される。
そして、左右一対の旋回流形成部１３０ａ、１３０ｂにおける路幅方向Ｓの外側１１１ｂでは、噴射圧力が高い図４中の左側の旋回流形成部１３０ａの旋回流Ｒａによる搬送往路方向（Ｔ軸矢印の方向）へ向かって作用する旋回流作用力ｆａ１が、搬送復路方向（Ｔ軸矢印と逆方向）へ向かって作用する旋回流作用力ｆａ２より大きくなる。
そのため、旋回流作用力Ｆ１が旋回流作用力Ｆ２より大きい関係となり、搬送往路方向（Ｔ軸矢印の方向）へ向かう搬送力が生じる。

以上、説明した原理を踏まえて、図５に示すように、被搬送物Ｃを搬送往路方向へ搬送する往路搬送状態、または、被搬送物Ｃを加速させる加速搬送状態として、噴射力調整手段１４０が、左右一対の一方の旋回流形成部１３０ａの気体噴射口１３２ａから噴射する空気の噴射圧力を、左右一対の他方である旋回流形成部１３０ｂの気体噴射口１３２ｂから噴射する空気の噴射圧力より相対的に高く調整する。
すると、被搬送物Ｃに対して白抜き矢印の示す搬送往路方向（図５中の右側）への搬送力が作用し、被搬送物Ｃは、白抜き矢印の示す搬送往路方向（図５中の右側）へ加速し移動する。

また、図６に示すように、被搬送物Ｃを搬送復路方向へ搬送する復路搬送状態、または、被搬送物Ｃを減速させる減速搬送状態として、噴射力調整手段１４０が、左右一対の一方の旋回流形成部１３０ａの気体噴射口１３２ａから噴射する空気の噴射圧力を、左右一対の他方である旋回流形成部１３０ｂの気体噴射口１３２ｂから噴射する空気の噴射圧力より相対的に低く調整する。
すると、被搬送物Ｃに対して白抜き矢印の示す搬送復路方向（図６中の左側）への搬送力が作用する。

このとき、被搬送物Ｃが停止した状態であれば、被搬送物Ｃは、白抜き矢印の示す搬送復路方向（図６中の左側）へ移動する。
また、被搬送物Ｃが図５に示すように搬送往路方向（図５中の右側）へ移動中であれば、被搬送物Ｃは減速し、停止した後に白抜き矢印の示す搬送復路方向（図６中の左側）へ移動する。
つまり、噴射力調整手段１４０が、左右一対の一方の旋回流形成部１３０ａの気体噴射口１３２ａから噴射する空気の噴射圧力と他方の旋回流形成部１３０ｂの気体噴射口１３２ｂから噴射する空気の噴射圧力との高低関係を切り替え自在に設けられている。
これにより、搬送往路方向および搬送復路方向へ作用する旋回流作用力Ｆ１、Ｆ２の大小関係も変わる。
すなわち、旋回流形成部１３０ａ、１３０ｂの気体噴射口１３２ａ、１３２ｂから噴射する空気の噴射圧力の高低関係を切り換えるだけで、容易に被搬送物Ｃの移動方向が切り替わる。
また、加速、減速も切り替わる。

さらに本実施例では、左右一対の旋回流形成部１３０ａ、１３０ｂが、搬送路面１１１の搬送方向Ｔに沿って所定の設置間隔ごとに相互に離間して多数配設され、搬送路面１１１の搬送方向Ｔに沿って多数配設した旋回流形成部１３０ａ、１３０ｂでそれぞれ発生する旋回流Ｒａ、Ｒｂの旋回方向が、相互に同一方向に設定されている。
これにより、左右一対の旋回流形成部１３０ａ、１３０ｂの路幅方向外側１１１ｂにおける噴射圧力が高い側の旋回流形成部１３０ａ（または１３０ｂ）の旋回流Ｒａ（またはＲｂ）による搬送往路方向または搬送復路方向へ向かって被搬送物Ｃに対して作用する旋回流作用力Ｆ１、Ｆ２の箇所が搬送方向Ｔで複数となる。

このようにして得られた本発明の第１実施例である非接触式浮上搬送装置１００は、旋回流形成部１３０ａ、１３０ｂが、搬送路面１１１の路幅方向Ｓで左右相互に離間して一対配設され、搬送路面１１１の路幅方向Ｓに配設した左右一対の旋回流形成部１３０ａ、１３０ｂでそれぞれ発生する旋回流Ｒａ、Ｒｂの旋回方向が、相互に同一方向に設定され、旋回流形成部１３０ａ、１３０ｂごとに旋回流Ｒａ、Ｒｂの旋回力を調整する旋回力調整手段としての噴射力調整手段１４０が、左右一対の旋回流形成部１３０ａ、１３０ｂの一方（１３０ａ）から溢出する旋回流（Ｒａ）の旋回力を他方（１３０ｂ）から溢出する旋回流（Ｒｂ）の旋回力より強くした被搬送物Ｃの往路搬送状態と、左右一対の旋回流形成部１３０ａ、１３０ｂの一方（１３０ａ）から溢出する旋回流（Ｒａ）の旋回力を他方（１３０ｂ）から溢出する旋回流（Ｒｂ）の旋回力より弱くした被搬送物Ｃの復路搬送状態とで切り換え自在に設けられていることにより、左右一対の旋回流形成部１３０ａ、１３０ｂが、旋回流Ｒａ、Ｒｂの旋回力を活用して接触式の駆動機構を付設することなく簡便な装置構成で、浮力を発生させて被搬送物Ｃを浮上させると同時に搬送力を発生させて被搬送物Ｃを非接触状態で搬送することができ、さらに、被搬送物Ｃの搬送往路方向および搬送復路方向への移動方向を切り換えることができる。

また、旋回流形成部１３０ａ、１３０ｂが、搬送路面下に設けられて搬送路面上に開口する有底の周側壁１３１ａと、この周側壁１３１ａの接線方向から周側壁１３１ａで囲繞される旋回形成空間領域内へ空気を噴射して旋回流Ｒａ、Ｒｂを発生させる気体噴射口１３２とを備え、噴射力調整手段１４０が、旋回流形成部１３０ａ、１３０ｂごとに気体の噴射力を調整することにより、モータなどの回転構造を不要として非接触式浮上搬送装置１００を簡素化することができ、容易に旋回流Ｒａ、Ｒｂの旋回力を調整することができる。

さらに、左右一対の旋回流形成部１３０ａ、１３０ｂが、搬送路面１１１の搬送方向Ｔに沿って所定の設置間隔ごとに相互に離間して多数配設され、搬送路面１１１の搬送方向Ｔに沿って多数配設した旋回流形成部１３０ａ、１３０ｂでそれぞれ発生する旋回流Ｒａ、Ｒｂの旋回方向が、相互に同一方向に設定されていることにより、被搬送物Ｃに対して作用する旋回流作用力Ｆ１、Ｆ２の箇所が搬送方向Ｔで複数となる分だけ被搬送物Ｃの加速度を高めることができ、搬送速度をも速くすることができる。

また、本発明の第１実施例である非接触式浮上搬送装置１００の搬送方向切換方法は、搬送路面１１１の路幅方向Ｓで左右相互に離間して一対配設されて相互に同じ旋回方向の旋回流Ｒａ、Ｒｂを生じさせる旋回流形成部１３０ａ、１３０ｂから溢出する旋回流Ｒａ、Ｒｂの旋回力をそれぞれ調整する旋回力調整手段としての噴射力調整手段１４０により、左右一対の旋回流形成部１３０ａ、１３０ｂの一方（１３０ａ）から溢出する旋回流（Ｒａ）の旋回力を他方（１３０ｂ）から溢出する旋回流（Ｒｂ）の旋回力より強くした被搬送物Ｃの往路搬送状態と、左右一対の旋回流形成部１３０ａ、１３０ｂの一方（１３０ａ）から溢出する旋回流（Ｒａ）の旋回力を他方（１３０ｂ）から溢出する旋回流（Ｒｂ）の旋回力より弱くした被搬送物Ｃの復路搬送状態とで切り換えることにより、左右一対の旋回流形成部１３０ａ、１３０ｂが、浮力を発生させて被搬送物Ｃを浮上させると同時に搬送力を発生させて被搬送物Ｃを非接触状態で搬送することができ、さらに、被搬送物Ｃの搬送往路方向および搬送復路方向への移動方向を切り換えることができる。

本発明の第１実施例である非接触式浮上搬送装置１００の搬送速度調整方法は、搬送路面１１１の路幅方向Ｓで左右相互に離間して一対配設されて相互に同じ旋回方向の旋回流Ｒａ、Ｒｂを生じさせる旋回流形成部１３０ａ、１３０ｂから溢出する旋回流Ｒａ、Ｒｂの旋回力をそれぞれ調整する旋回力調整手段としての噴射力調整手段１４０により、左右一対の旋回流形成部１３０ａ、１３０ｂの一方（１３０ａ）から溢出する旋回流（Ｒａ）の旋回力を他方（１３０ｂ）から溢出する旋回流（Ｒｂ）の旋回力より強くした被搬送物Ｃの加速搬送状態にし、この加速搬送状態の後に左右一対の旋回流形成部１３０ａ、１３０ｂの一方（１３０ａ）から溢出する旋回流（Ｒａ）の旋回力を他方（１３０ｂ）から溢出する旋回流（Ｒｂ）の旋回力より弱くした被搬送物Ｃの減速搬送状態に変更することにより、接触式の駆動機構を付設することなく簡便な装置構成で、搬送力を発生させて非接触で被搬送物Ｃを搬送方向進行方向へ向かって加速させ、その後減速させることができるなど、その効果は甚大である。

続いて、本発明の第２実施例である非接触式浮上搬送装置２００について、図７に基づいて説明する。
ここで、図７は、本発明の第２実施例の非接触式浮上搬送装置２００を示す平面図である。
第２実施例の非接触式浮上搬送装置２００は、第１実施例の非接触式浮上搬送装置１００における搬送路面１１１の搬送方向Ｔに沿って多数配設した旋回流形成部１３０ａ、１３０ｂでそれぞれ発生する旋回流Ｒａ、Ｒｂの旋回方向を搬送方向Ｔで相互に逆方向に設定したものであり、多くの要素について第１実施例の非接触式浮上搬送装置１００と共通するので、共通する事項については詳しい説明を省略し、下２桁が共通する２００番台の符号を付すのみとする。

本発明の第２実施例である非接触式浮上搬送装置２００では、図７に示すように、左右一対の旋回流形成部２３０Ａａ、２３０Ａｂ（２０３Ｂａ、２３０Ｂｂ）が、搬送路面２１１の搬送方向Ｔに沿って所定の設置間隔ごとに相互に離間して複数配設されている。
さらに、搬送路面２１１の搬送方向Ｔに沿って多数配設した旋回流形成部２３０Ａａ、２３０Ａｂ（２０３Ｂａ、２３０Ｂｂ）でそれぞれ発生する旋回流の旋回方向ＲＡ、ＲＢが、相互に逆方向に設定されている。
具体的には、旋回流形成部２３０Ａａ、２３０Ａｂの旋回流ＲＡの旋回方向と、搬送方向Ｔで隣り合う旋回流形成部２０３Ｂａ、２３０Ｂｂの旋回流ＲＢの旋回方向とが互いに逆向きの関係であり、搬送方向Ｔにおいて旋回流形成部２３０Ａａ、２３０Ａｂと、旋回流形成部２０３Ｂａ、２３０Ｂｂとが交互に配設されている。

そして、噴射力調整手段２４０が、旋回流形成部２３０Ａａ、２３０Ａｂ（２０３Ｂａ、２３０Ｂｂ）の気体噴射口からそれぞれ噴射する空気の噴射圧力を搬送方向Ｔに沿って市松模様状の強弱状態に設定している。
具体的には、噴射力調整手段２４０が、旋回流形成部２３０Ａａ、２３０Ｂｂの気体噴射口から噴射する空気の圧力を、旋回流形成部２３０Ａｂ、２３０Ｂａの気体噴射口から噴射する空気の圧力と比べて相対的に高くする。
これにより、上述した第１実施例と同様に、被搬送物Ｃに対して白抜き矢印の示す搬送往路方向（図７中の右側）への搬送力が作用し、被搬送物Ｃは、白抜き矢印の示す搬送往路方向（図７中の右側）へ加速し移動する。

さらに、旋回流形成部２３０Ａａ、２３０Ｂｂの気体噴射口から噴射する空気の圧力を高くした箇所が路幅方向一方側のみではなく両側で生じて路幅方向一方側と他方側とが同様の状態となる。
なお、噴射力調整手段２４０が、旋回流形成部２３０Ａａ、２３０Ｂｂの気体噴射口から噴射する空気の圧力を、旋回流形成部２３０Ａｂ、２３０Ｂａの気体噴射口から噴射する空気の圧力と比べて相対的に低くすると、被搬送物Ｃに対して白抜き矢印の示す搬送復路方向（図７中の左側）への搬送力が作用し、被搬送物Ｃは、搬送復路方向（図７中の左側）へ加速し移動する。

このようにして得られた本発明の第２実施例である非接触式浮上搬送装置２００は、左右一対の旋回流形成部２３０Ａａ、２３０Ａｂ（２０３Ｂａ、２３０Ｂｂ）が、搬送路面２１１の搬送方向Ｔに沿って所定の設置間隔ごとに相互に離間して複数配設され、搬送路面２１１の搬送方向Ｔに沿って多数配設した旋回流形成部２３０Ａａ、２３０Ａｂ（２０３Ｂａ、２３０Ｂｂ）でそれぞれ発生する旋回流の旋回方向ＲＡ（ＲＢ）が、相互に逆方向に設定され、噴射力調整手段２４０が、旋回流形成部２３０Ａａ、２３０Ａｂ（２０３Ｂａ、２３０Ｂｂ）の気体噴射口からそれぞれ噴射する空気の噴射圧力を搬送方向Ｔに沿って市松模様状の強弱状態に設定していることにより、接触式の駆動機構を付設することなく簡便な装置構成で、路幅方向Ｓの両側でバランスよく被搬送物Ｃに対して旋回流作用力Ｆ１、Ｆ２が作用して被搬送物Ｃを搬送することができるなど、その効果は甚大である。

１００、 ２００ ・・・非接触式浮上搬送装置
１１０、 ２１０ ・・・ベース部
１１１、 ２１１ ・・・搬送路面
１２０ ・・・機台フレーム
１３０、 ２３０Ａ・・・旋回流形成部
２３０Ｂ・・・旋回流形成部
１３１、 ２３１ ・・・案内凹所
１３２ ・・・気体噴射口
１４０、 ２４０ ・・・噴射力調整手段（旋回力調整手段）
Ｃ ・・・被搬送物
Ｄ ・・・下方へ引き寄せようとする力
Ｆ１ ・・・搬送往路方向へ作用する旋回流作用力
ｆａ１、ｆａ２ ・・・一方の旋回流による旋回流作用力
Ｆ２ ・・・搬送復路方向へ作用する旋回流作用力
ｆｂ１、ｆｂ２ ・・・他方の旋回流による旋回流作用力
Ｒ ・・・旋回流
Ｓ ・・・路幅方向
Ｔ ・・・搬送方向
Ｕ ・・・浮上方向

Claims (6)

1. 気体からなる旋回流を発生させる旋回流形成部が被搬送物を搬送する平坦な搬送路面に配設され、前記旋回流形成部から順次溢出してくる旋回流を被搬送物の底面と搬送路面との間隙に介在させて被搬送物を浮上させるとともに前記旋回流の旋回力によって生じる搬送力で被搬送物を搬送する非接触式浮上搬送装置であって、
   前記旋回流形成部が、前記搬送路面の路幅方向で左右相互に離間して一対配設され、
   前記搬送路面の路幅方向に配設した左右一対の旋回流形成部でそれぞれ発生する旋回流の旋回方向が、相互に同一方向に設定され、
   前記旋回流形成部ごとに旋回流の旋回力を調整する旋回力調整手段が、前記左右一対の旋回流形成部の一方から溢出する旋回流の旋回力を他方から溢出する旋回流の旋回力より強くした被搬送物の往路搬送状態と前記左右一対の旋回流形成部の一方から溢出する旋回流の旋回力を他方から溢出する旋回流の旋回力より弱くした被搬送物の復路搬送状態とで切り換え自在に設けられていることを特徴とする非接触式浮上搬送装置。
2. 前記左右一対の旋回流形成部が、前記搬送路面の搬送方向に沿って所定の設置間隔ごとに相互に離間して多数配設され、前記搬送路面の搬送方向に沿って多数配設した旋回流形成部でそれぞれ発生する旋回流の旋回方向が、相互に同一方向に設定されていることを特徴とする請求項１に記載の非接触式浮上搬送装置。
3. 前記左右一対の旋回流形成部が、前記搬送路面の搬送方向に沿って所定の設置間隔ごとに相互に離間して複数配設され、前記搬送路面の搬送方向に沿って多数配設した旋回流形成部でそれぞれ発生する旋回流の旋回方向が、相互に逆方向に設定され、
   前記旋回力調整手段が、前記旋回流形成部からそれぞれ発生する旋回流の旋回力を搬送方向に沿って市松模様状の強弱状態に設定していることを特徴とする請求項１に記載の非接触式浮上搬送装置。
4. 前記旋回流形成部が、前記搬送路面下に設けられて搬送路面上に開口する有底の周側壁と、該周側壁の接線方向から周側壁で囲繞される旋回形成空間領域内へ前記気体を噴射して旋回流を発生させる気体噴射口とを備え、
   前記旋回力調整手段が、前記旋回流形成部ごとに気体の噴射力を調整することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１つに記載の非接触式浮上搬送装置。
5. 気体からなる旋回流を発生させる旋回流形成部が被搬送物を搬送する平坦な搬送路面に配設され、前記旋回流形成部から順次溢出してくる旋回流を被搬送物の底面と搬送路面との間隙に介在させて被搬送物を浮上させるとともに前記旋回流の旋回力によって生じる搬送力で被搬送物を搬送する非接触式浮上搬送装置の搬送方向切換方法であって、
   前記搬送路面の路幅方向で左右相互に離間して一対配設されて相互に同じ旋回方向の旋回流を生じさせる旋回流形成部から溢出する旋回流の旋回力をそれぞれ調整する旋回力調整手段により、左右一対の旋回流形成部の一方から溢出する旋回流の旋回力を他方から溢出する旋回流の旋回力より強くした被搬送物の往路搬送状態と前記左右一対の旋回流形成部の一方から溢出する旋回流の旋回力を他方から溢出する旋回流の旋回力より弱くした被搬送物の復路搬送状態とで切り換えることを特徴とする非接触式浮上搬送装置の搬送方向切換方法。
6. 気体からなる旋回流を発生させる旋回流形成部が被搬送物を搬送する平坦な搬送路面に配設され、前記旋回流形成部から順次溢出してくる旋回流を被搬送物の底面と搬送路面との間隙に介在させて被搬送物を浮上させるとともに前記旋回流の旋回力によって生じる搬送力で被搬送物を搬送する非接触式浮上搬送装置の搬送速度調整方法であって、
   前記搬送路面の路幅方向で左右相互に離間して一対配設されて相互に同じ旋回方向の旋回流を生じさせる旋回流形成部から溢出する旋回流の旋回力をそれぞれ調整する旋回力調整手段により、左右一対の旋回流形成部の一方から溢出する旋回流の旋回力を他方から溢出する旋回流の旋回力より強くした被搬送物の加速搬送状態にし、該加速搬送状態の後に前記左右一対の旋回流形成部の一方から溢出する旋回流の旋回力を他方から溢出する旋回流の旋回力より弱くした被搬送物の減速搬送状態に変更することを特徴とする非接触式浮上搬送装置の搬送速度調整方法。