TW201544428A - 非接觸式浮起搬送裝置及其搬送方向切換方法與搬送速度調整方法 - Google Patents

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Hikaru Sato
Akihiko Ito
Takahiro Yasuda
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Abstract

提供活用旋轉流體之旋轉力而不附設接觸式之驅動機構就以簡便之裝置構成使被搬送物在完全之非接觸狀態下浮起同時搬送，且簡便達成前進後退之切換或搬送速度之調整之非接觸式浮起搬送裝置，以及，其搬送方向切換方法與搬送速度調整方法。 以「以左右一對之旋轉流體形成部(130a、130b)分別產生之旋轉流體(Ra、Rb)之旋轉方向設定為相互相同方向，對各旋轉流體形成部(130a、130b)調整旋轉流體之旋轉力之旋轉力調整手段(140)設為在使從前述左右一對之旋轉流體形成部(130a、130b)之一方溢出之旋轉流體之旋轉力比從另一方溢出之旋轉流體之旋轉力強之被搬送物之往路搬送狀態與使從前述左右一對之旋轉流體形成部(130a、130b)之一方溢出之旋轉流體之旋轉力比從另一方溢出之旋轉流體之旋轉力弱之被搬送物之返路搬送狀態間自由切換」為特徵之非接觸式浮起搬送裝置(100)。

Description

非接觸式浮起搬送裝置及其搬送方向切換方法與搬送速度調整方法
本發明係關於一種非接觸式浮起搬送裝置，有使由氣體構成之旋轉流體產生之旋轉流體形成部配設於搬送被搬送物之平坦之搬送路面，並以此旋轉流體將被搬送物浮起搬送，以及，其搬送方向切換方法與搬送速度調整方法，特別是關於將用於太陽電池用平板、行動電話、液晶電視、個人電腦用液晶螢幕等之由顯示用玻璃基板構成之被搬送物浮起搬送之非接觸式浮起搬送裝置，以及，其搬送方向切換方法與搬送速度調整方法者。
以往，做為非接觸搬送裝置，已知有於具有從表面貫通至背面之橫剖面圓形之貫通孔之環狀構件之背面具備噴出口，藉由從此噴出口使氣體噴出，於此環狀構件之表面側使往從此表面離開之方向之旋轉流體產生，並於機台支架之搬送面具備2個以上之於此環狀構件之表面側之貫通孔之開口附近使往背面方向之空氣之流動產生之旋轉流體形成體，將由液晶用玻璃等構成之被搬送物之浮起高度精度維持為高並使用接觸式之驅動機構使被搬送物浮起搬送之非接觸搬送裝置(參照專利文獻1與專利文獻2)。
【先前技術文獻】
【專利文獻】
【專利文獻1】日本專利5237357號公報(特別參照第3頁第6~7段落、圖1、圖2)
【專利文獻2】國際公開WO2010/004800號公報(特別參照請求項1、圖3)
然而，在上述之以往之非接觸搬送裝置雖係為了迴避搬送面上之被搬送物之轉動或搖晃並維持浮起高度精度，以旋轉流體形成體之旋轉流體之旋轉方向互相不同之方式於搬送方向複述排列，藉此，刻意使從各旋轉流體形成體往搬送面上送出之旋轉流體之旋轉力抵銷並對被搬送物之底面與搬送面間之間隙持續送出旋轉流體而呈使旋轉流體介在之浮起狀態，但為了使此浮起之被搬送物往搬送方向搬送，有必要另外使用摩擦滾子或皮帶等接觸式之驅動機構對被搬送物給予用來搬送的驅動力來搬送，若附設此種接觸式之驅動機構會有做為搬送裝置之全體裝置構成或其驅動控制變複雜之問題。
此外，在以往之非接觸搬送裝置為了將被搬送物之搬送方向在前進與後退間切換或調整被搬送物之搬送速度，會有必須將前述之摩擦滾子或皮 帶等接觸式之驅動機構機能提升之問題。
針對上述問題，本發明係解決前述之先前技術之問題者，亦即，本發明之目的係提供活用旋轉流體之旋轉力而不附設接觸式之驅動機構就以簡便之裝置構成使被搬送物在完全之非接觸狀態下浮起同時搬送，且簡便達成前進後退之切換或搬送速度之調整之非接觸式浮起搬送裝置，以及，其搬送方向切換方法與搬送速度調整方法。
本請求項1之發明係一種非接觸式浮起搬送裝置，有使由氣體構成之旋轉流體產生之旋轉流體形成部配設於搬送被搬送物之平坦之搬送路面，使從前述旋轉流體形成部依序溢出之旋轉流體介在於被搬送物之底面與搬送路面之間隙以使被搬送物浮起，並以由前述旋轉流體之旋轉力產生之搬送力搬送被搬送物，其特徵在於：前述旋轉流體形成部在前述搬送路面之路寬方向左右相互分離配設一對，以配設於前述搬送路面之路寬方向之左右一對之旋轉流體形成部分別產生之旋轉流體之旋轉方向設定為相互相同方向，對各前述旋轉流體形成部調整旋轉流體之旋轉力之旋轉力調整手段設為在使從前述左右一對之旋轉流體形成部之一方溢出之旋轉流體之旋轉力比從另一方溢出之旋轉流體之旋轉力強之被搬送物之往路搬送狀態與使從前述左右一對之旋轉流體形成部之一方溢出之旋轉流體之旋轉力比從另一方溢出之旋轉流體之旋轉力弱之被搬送物之返路搬送狀態間自由切換，藉此，解決前述之課題。
本請求項2之發明係如申請專利範圍第1項之非接觸式浮起搬送裝置，其中，前述左右一對之旋轉流體形成部沿著前述搬送路面之搬送方向每隔既定之設置間隔相互分離多數配設，以沿著前述搬送路面之搬送方向多數配設之旋轉流體形成部分別產生之旋轉流體之旋轉方向設定為相互相同方向，藉此，進一步解決前述之課題。
本請求項3之發明係如申請專利範圍第1項之非接觸式浮起搬送裝置，其中，前述左右一對之旋轉流體形成部沿著前述搬送路面之搬送方向每隔既定之設置間隔相互分離多數配設，以沿著前述搬送路面之搬送方向多數配設之旋轉流體形成部分別產生之旋轉流體之旋轉方向設定為相互相反方向，前述旋轉力調整手段將從前述旋轉流體形成部分別產生之旋轉流體之旋轉力沿著搬送方向設定為棋盤狀之強弱狀態，藉此，進一步解決前述之課題。
本請求項4之發明係如申請專利範圍第1項之非接觸式浮起搬送裝置，其中，前述旋轉流體形成部具備設於前述搬送路面下且於搬送路面上開口之有底之周側壁、從該周側壁之切線方向往以周側壁圍繞之旋轉形成空間區域內噴射前述氣體以使旋轉流體產生之氣體噴射口，前述旋轉力調整手段對前述各旋轉流體形成部調整氣體之噴射力，藉此，進一步解決前述之課題。
本請求項5之發明係一種有使由氣體構成之旋轉流體產生之旋轉流體形成部配設於搬送被搬送物之平坦之搬送路面，使從前述旋轉流體形成部依序溢出之旋轉流體介在於被搬送物之底面與搬送路面之間隙以使被搬送物浮起，並以由前述旋轉流體之旋轉力產生之搬送力搬送被搬送物之非接觸式浮起搬送裝置之搬送方向切換方法，其特徵在於：藉由分別調整從在前述搬送路面之路寬方向左右相互分離配設一對且使相互相同旋轉方向之旋轉流體產生之旋轉流體形成部溢出之旋轉流體之旋轉力之旋轉力調整手段，在使從前述左右一對之旋轉流體形成部之一方溢出之旋轉流體之旋轉力比從另一方溢出之旋轉流體之旋轉力強之被搬送物之往路搬送狀態與使從前述左右一對之旋轉流體形成部之一方溢出之旋轉流體之旋轉力比從另一方溢出之旋轉流體之旋轉力弱之被搬送物之返路搬送狀態間切換，藉此，解決前述之課題。
本請求項6之發明係一種有使由氣體構成之旋轉流體產生之旋轉流體形成部配設於搬送被搬送物之平坦之搬送路面，使從前述旋轉流體形成部依序溢出之旋轉流體介在於被搬送物之底面與搬送路面之間隙以使被搬送物浮起，並以由前述旋轉流體之旋轉力產生之搬送力搬送被搬送物之非接觸式浮起搬送裝置之搬送速度調整方法，其特徵在於：藉由分別調整從在前述搬送路面之路寬方向左右相互分離配設一對且使相互相同旋轉方向之旋轉流體產生之旋轉流體形成部溢出之旋轉流體之旋轉力之旋轉力調整手段，使成為使從前述左右一對之旋轉流體形成部之一方溢出之旋轉流體之旋轉力比從另一方溢出之旋轉流體之旋轉力強之被搬送物之加速搬送狀 態，於該加速搬送狀態之後變更為使從前述左右一對之旋轉流體形成部之一方溢出之旋轉流體之旋轉力比從另一方溢出之旋轉流體之旋轉力弱之被搬送物之減速搬送狀態，藉此，解決前述之課題。
本發明之非接觸式浮起搬送裝置、非接觸式浮起搬送裝置之搬送方向切換方法與非接觸式浮起搬送裝置之搬送速度調整方法係藉由使由氣體構成之旋轉流體產生之旋轉流體形成部配設於搬送被搬送物之平坦之搬送路面，不僅可使從前述旋轉流體形成部依序溢出之旋轉流體介在於被搬送物之底面與搬送路面之間隙以使被搬送物浮起，還可發揮如以下之特有之效果。
根據本請求項1之非接觸式浮起搬送裝置，前述旋轉流體形成部在前述搬送路面之路寬方向左右相互分離配設一對，以配設於前述搬送路面之路寬方向之左右一對之旋轉流體形成部分別產生之旋轉流體之旋轉方向設定為相互相同方向，對各前述旋轉流體形成部調整旋轉流體之旋轉力之旋轉力調整手段設為在使從前述左右一對之旋轉流體形成部之一方溢出之旋轉流體之旋轉力比從另一方溢出之旋轉流體之旋轉力強之被搬送物之往路搬送狀態與使從前述左右一對之旋轉流體形成部之一方溢出之旋轉流體之旋轉力比從另一方溢出之旋轉流體之旋轉力弱之被搬送物之返路搬送狀態間自由切換，藉此，只要切換從旋轉流體形成部溢出之旋轉流體之旋轉力之強弱，往搬送往路方向與搬送返路方向作用之力之大小關係亦會改變， 因此可活用旋轉流體之旋轉力而不附設接觸式之驅動機構就可切換被搬送物之往搬送往路方向與搬送返路方向之移動方向。
亦即，在旋轉力強之側係比弱之側由旋轉流體造成之負壓低(往負側較大)而被搬送物被拉往旋轉流體形成部側之力變大，比起由旋轉力弱之側之旋轉流體形成部造成之旋轉流體之影響，變成更容易受到由旋轉力強之側之旋轉流體形成部造成之旋轉流體之影響，在左右一對之旋轉流體形成部之間係由旋轉力強之側之旋轉流體形成部之旋轉流體造成之往搬送返路方向作用之旋轉流體作用力被由旋轉力弱之側之旋轉流體形成部之旋轉流體造成之往搬送往路方向作用之旋轉流體作用力抵銷而左右一對之旋轉流體形成部之路寬方向外側之由旋轉力強之側之旋轉流體形成部之旋轉流體造成之往搬送往路方向作用之旋轉流體作用力變為比往搬送返路方向作用之旋轉流體作用力大，故可使搬送力產生而將被搬送物以非接觸往搬送往路方向搬送。
另外，只要切換左右一對之旋轉流體形成部之旋轉力之強弱關係，往搬送往路方向與搬送返路方向作用之旋轉流體作用力之大小關係就會改變，因此可切換被搬送物之搬送方向。
根據本請求項2之非接觸式浮起搬送裝置，前述左右一對之旋轉流體形成部沿著前述搬送路面之搬送方向每隔既定之設置間隔相互分離多數配設，以沿著前述搬送路面之搬送方向多數配設之旋轉流體形成部分別產生之旋轉流體之旋轉方向設定為相互相同方向，藉此，由左右一對之旋轉流 體形成部之路寬方向之外側之噴射力強之側之旋轉流體形成部之旋轉流體產生之往搬送往路方向或搬送返路方向對被搬送物作用之旋轉流體作用力之位置在搬送方向成為複數，可相應提高被搬送物之加速度，亦可使搬送速度加快。
根據本請求項3之非接觸式浮起搬送裝置，前述左右一對之旋轉流體形成部沿著前述搬送路面之搬送方向每隔既定之設置間隔相互分離多數配設，以沿著前述搬送路面之搬送方向多數配設之旋轉流體形成部分別產生之旋轉流體之旋轉方向設定為相互相反方向，前述旋轉力調整手段將從前述旋轉流體形成部分別產生之旋轉流體之旋轉力沿著搬送方向設定為棋盤狀之強弱狀態，藉此，將從旋轉流體形成部分別產生之旋轉流體之旋轉力加強之位置不僅在路寬方向之一方側而是在兩側產生，路寬方向一方側與另一方側成為同樣之狀態，故在路寬方向兩側平衡良好地對被搬送物有旋轉流體作用力作用而可搬送被搬送物。
根據本請求項4之非接觸式浮起搬送裝置，前述旋轉流體形成部具備設於前述搬送路面下且於搬送路面上開口之有底之周側壁、從該周側壁之切線方向往以周側壁圍繞之旋轉形成空間區域內噴射前述氣體以使旋轉流體產生之氣體噴射口，前述旋轉力調整手段對前述各旋轉流體形成部調整氣體之噴射力，藉此，以簡單且小型之構成形成旋轉流體，故不需要馬達等旋轉構造而可將非接觸式浮起搬送裝置簡化。
此外，隨著氣體之噴射力之調整而旋轉流體之旋轉力之強弱容易改 變，故可容易調整旋轉流體之旋轉力。
根據本請求項5之非接觸式浮起搬送裝置之搬送方向切換方法，藉由分別調整從在前述搬送路面之路寬方向左右相互分離配設一對且使相互相同旋轉方向之旋轉流體產生之旋轉流體形成部溢出之旋轉流體之旋轉力之旋轉力調整手段，在使從前述左右一對之旋轉流體形成部之一方溢出之旋轉流體之旋轉力比從另一方溢出之旋轉流體之旋轉力強之被搬送物之往路搬送狀態與使從前述左右一對之旋轉流體形成部之一方溢出之旋轉流體之旋轉力比從另一方溢出之旋轉流體之旋轉力弱之被搬送物之返路搬送狀態間切換，藉此，只要切換從旋轉流體形成部溢出之旋轉流體之旋轉力之強弱，往搬送往路方向與搬送返路方向作用之力之大小關係就會改變，因此可切換被搬送物之往搬送往路方向與搬送返路方向之移動方向。
亦即，可獲得與請求項1之發明同樣之作用效果。
根據本請求項6之非接觸式浮起搬送裝置之搬送速度調整方法，藉由分別調整從在前述搬送路面之路寬方向左右相互分離配設一對且使相互相同旋轉方向之旋轉流體產生之旋轉流體形成部溢出之旋轉流體之旋轉力之旋轉力調整手段，使成為使從前述左右一對之旋轉流體形成部之一方溢出之旋轉流體之旋轉力比從另一方溢出之旋轉流體之旋轉力強之被搬送物之加速搬送狀態，於該加速搬送狀態之後變更為使從前述左右一對之旋轉流體形成部之一方溢出之旋轉流體之旋轉力比從另一方溢出之旋轉流體之旋轉力弱之被搬送物之減速搬送狀態，藉此，只要切換從旋轉流體形成部溢 出之旋轉流體之旋轉力之強弱，往搬送方向前進方向與搬送方向後退方向作用之旋轉流體作用力之大小關係就會改變，因此可使被搬送物往搬送方向前進方向加速，其後使減速。
100、200‧‧‧非接觸式浮起搬送裝置
110、210‧‧‧基座部
111、211‧‧‧搬送路面
120‧‧‧機台支架
130、230Aa、230Ab‧‧‧旋轉流體形成部
230Ba、230Bb‧‧‧旋轉流體形成部
131‧‧‧導引凹處
132‧‧‧氣體噴射口
140、240‧‧‧噴射力調整手段(旋轉力調整手段)
C‧‧‧被搬送物
D‧‧‧欲往下方拉近之力
F1‧‧‧往搬送往路方向作用之旋轉流體作用力
fa1、fa2‧‧‧由一方之旋轉流體產生之旋轉流體作用力
F2‧‧‧往搬送返路方向作用之旋轉流體作用力
fb1、fb2‧‧‧由一方之旋轉流體產生之旋轉流體作用力
R‧‧‧旋轉流體
S‧‧‧路寬方向
T‧‧‧搬送方向
U‧‧‧浮起方向
圖1係顯示本發明之第1實施例之非接觸式浮起搬送裝置之立體圖。
圖2係顯示圖1之符號2之位置之旋轉流體形成部之擴大立體圖。
圖3係顯示由本發明之旋轉流體形成部產生之旋轉流體與欲往下方拉近之力產生之原理之概念剖面圖。
圖4係從圖1之符號4觀看之俯視圖，且係顯示於第1實施例中搬送力產生之原理之圖。
圖5係從圖1之符號5觀看之俯視圖，且係顯示使一對之一方之旋轉流體形成部之壓力比另一方之旋轉流體形成部之壓力高之樣子之圖。
圖6係從圖1之符號6觀看之俯視圖，且係顯示使壓力之高低關係與圖5時相反之樣子之圖。
圖7係顯示本發明之第2實施例之非接觸式浮起搬送裝置之俯視圖。
本發明之非接觸式浮起搬送裝置只要是旋轉流體形成部在搬送路面之路寬方向左右相互分離配設一對，以配設於搬送路面之路寬方向之左右一 對之旋轉流體形成部分別產生之旋轉流體之旋轉方向設定為相互相同方向，對各旋轉流體形成部調整旋轉流體之旋轉力之旋轉力調整手段設為在使從左右一對之旋轉流體形成部之一方溢出之旋轉流體之旋轉力比從另一方溢出之旋轉流體之旋轉力強之被搬送物之往路搬送狀態與使從左右一對之旋轉流體形成部之一方溢出之旋轉流體之旋轉力比從另一方溢出之旋轉流體之旋轉力弱之被搬送物之返路搬送狀態間自由切換，藉此，活用旋轉流體之旋轉力而不附設接觸式之驅動機構就使搬送力產生而將被搬送物以非接觸方式搬送，並進一步切換被搬送物之往搬送往路方向與搬送返路方向之移動方向者，其具體之實施態樣不論為如何皆無妨。
本發明之非接觸式浮起搬送裝置之搬送方向切換方法只要是藉由分別調整從在前述搬送路面之路寬方向左右相互分離配設一對且使相互相同旋轉方向之旋轉流體產生之旋轉流體形成部溢出之旋轉流體之旋轉力之旋轉力調整手段，在使從前述左右一對之旋轉流體形成部之一方溢出之旋轉流體之旋轉力比從另一方溢出之旋轉流體之旋轉力強之被搬送物之往路搬送狀態與使從前述左右一對之旋轉流體形成部之一方溢出之旋轉流體之旋轉力比從另一方溢出之旋轉流體之旋轉力弱之被搬送物之返路搬送狀態間切換，藉此，活用旋轉流體之旋轉力而不附設接觸式之驅動機構就使搬送力產生而將被搬送物以非接觸方式搬送，並進一步切換被搬送物之往搬送往路方向與搬送返路方向之移動方向者，其具體之實施態樣不論為如何皆無妨。
本發明之非接觸式浮起搬送裝置之搬送速度調整方法只要是藉由分別調整從在前述搬送路面之路寬方向左右相互分離配設一對且使相互相同旋轉方向之旋轉流體產生之旋轉流體形成部溢出之旋轉流體之旋轉力之旋轉力調整手段，使成為使從前述左右一對之旋轉流體形成部之一方溢出之旋轉流體之旋轉力比從另一方溢出之旋轉流體之旋轉力強之被搬送物之加速搬送狀態，於該加速搬送狀態之後變更為使從前述左右一對之旋轉流體形成部之一方溢出之旋轉流體之旋轉力比從另一方溢出之旋轉流體之旋轉力弱之被搬送物之減速搬送狀態，藉此，活用旋轉流體之旋轉力而不附設接觸式之驅動機構就使搬送力產生而將被搬送物以非接觸方式搬送，並進一步使被搬送物往搬送進行方向加速，之後使減速者，其具體之實施態樣不論為如何皆無妨。
亦即，關於在本發明採用之旋轉流體形成部之具體實施態樣，可藉由穿孔加工或切銷加工等直接形成於構成搬送路面之基座部本體，亦可為由樹脂加工等形成之晶片狀之成形品等與構成搬送路面之基座部形成為不同個體，於旋轉流體形成部與基座部形成為不同個體之場合，可使旋轉流體形成部之素材或製作加工之選項多樣化，故較理想。
此外，關於旋轉流體形成部之具體構造，只要是從空氣等氣體形成旋轉流體者不論為如何皆無妨。例如，從旋轉流體形成部之氣體噴射口噴射之氣體藉由沿著往旋轉方向導引之導引凹部之深度3~10mm程度之周側壁流動而形成旋轉流體者亦可。作為俯視之導引凹部之形狀不論為如何者皆無妨。此導引凹部之具體之形狀可為圓形狀、環狀、橢圓形狀、多角形狀、 於圓形狀形成有缺口部之形狀等，更具體而言，具鍔部之圓形杯狀者更理想。
此外，亦可為於具備周側壁之導引凹部內設置吸氣口與風扇，藉由風扇旋轉而形成從以周側壁圍繞之導引凹部內往上方旋轉流體者。
關於本發明之旋轉流體形成部之具體之排列形態係如前述般，只要分別設定於左右一對之旋轉流體形成部之旋轉流體之旋轉方向為以左右一對之旋轉流體形成部對被搬送物作用而基於在往搬送往路方向之方向之旋轉流體之旋轉力與往搬送返路方向之旋轉流體之旋轉力之相互間產生之大小關係決定被搬送物之搬送方向，構築可活用旋轉流體之旋轉力而使被搬送物浮起同時搬送之浮起搬送機構者，不論為如何之排列形態皆可。為旋轉流體形成部在搬送路面之路寬方向左右相互分離僅配設一對之排列形態，或在搬送路面之路寬方向左右相互分離配設一對且在搬送路面之搬送方向前後相互分離複數配設之排列形態之任一皆無妨。
另外，在本發明中，在搬送路面之路寬方向左右相互分離之一對之旋轉流體形成部可在搬送方向以相同位置關係排列，亦可在搬送方向以互相錯開之位置關係排列。
此外，旋轉力調整手段只要是調整從旋轉流體形成部依序溢出之旋轉流體之旋轉力之強弱者，不論為如何皆可。例如，可調整從旋轉流體形成部之氣體噴射口噴射之氣體之壓力來調整旋轉流體之旋轉力之強弱、調整旋轉流體形成部之氣體噴射口之口徑之大小來調整旋轉流體之旋轉力之強弱、調整旋轉流體形成部之風扇之轉速之高低來調整旋轉流體之旋轉力之強弱。
本發明中之搬送路面係平坦為重要，此平坦之搬送路面之加工精度越高可獲得被搬送物之越安定之搬送狀態係不用說。此外，如果有必要，為了抑制從旋轉流體形成部放出之氣體從路寬方向之兩側緣過度漏出並將被搬送物往搬送方向誘導限制而將導引板設於搬送路面之兩側緣亦可。
另外，做為藉由本發明之非接觸式浮起搬送裝置使浮起搬送之被搬送物係由例如玻璃、塑膠、金屬等素材構成之薄板狀者，而做為特別適合之被搬送物係太陽電池用平板面板或用於行動電話、液晶電視、個人電腦用液晶螢幕等之厚度0.1至0.5mm程度之顯示用玻璃基板。
【實施例1】
於以下，針對為本發明之第1實施例之非接觸式浮起搬送裝置100，基於圖1至圖6說明。
在此，圖1係顯示本發明之第1實施例之非接觸式浮起搬送裝置100之立體圖，圖2係顯示圖1之符號2之位置之旋轉流體形成部130之擴大立體圖，圖3係顯示由本發明之旋轉流體形成部130產生之旋轉流體R與欲往下方拉近之力D產生之原理之概念剖面圖，圖4係從圖1之符號4觀看之俯視圖，且係顯示於第1實施例中搬送力產生之原理之圖，圖5係從圖1之符號5觀看之俯視圖，且係顯示使一對之一方之旋轉流體形成部130a之壓力比另一方之旋轉流體形成部130b之壓力高之樣子之圖，圖6係從圖1之符號6觀看之俯視圖，且係顯示使壓力之高低關係與圖5時相反之樣子之圖。
為本發明之第1實施例之非接觸式浮起搬送裝置100係如於圖1至圖6顯示般，構成為有使由氣體構成之旋轉流體R產生之旋轉流體形成部130配設於搬送例如由厚度0.3mm程度之顯示用玻璃基板構成之薄板狀之被搬送物C之平坦之搬送路面111，使從前述旋轉流體形成部130依序溢出之旋轉流體R介在於被搬送物C之底面與搬送路面111之間隙以使被搬送物C浮起，並以由前述旋轉流體R之旋轉力產生之搬送力搬送被搬送物C。
具體地，非接觸式浮起搬送裝置100具備基座部110、支持此基座部110之機台支架120。
而於基座部110中之與被搬送物C對向之搬送路面111有樹脂成形加工而成之帶有鍔部之圓形杯狀之前述旋轉流體形成部130在前述搬送路面111之路寬方向S左右相互分離配設一對沿著前述搬送路面之搬送方向多數排列。
在本實施例係旋轉流體形成部103具備設於前述搬送路面下且於搬送路面上開口之有底之導引凹處131之周側壁131a、從該周側壁131a之切線方向往以周側壁131a圍繞之旋轉形成空間區域內噴射做為氣體之空氣以使旋轉流體R產生之氣體噴射口132。
如於圖2顯示般，旋轉流體形成部130具有將空氣往旋轉方向導引之導引凹處131、沿著圍繞此導引凹處131之圓筒狀之周側壁分別噴射空氣之2個氣體噴射口132。
於本實施例之場合係此等2個氣體噴射口132設於將圍繞導引凹處131之圓筒狀之周側壁二分之位置，使旋轉流體R確實且安定產生。
如上述般構成之旋轉流體形成部130藉由使旋轉流體R往搬送路面111與被搬送物C之間溢出而使被搬送物C浮起例如0.05mm程度。
另外，在本實施例雖係構成旋轉流體形成部130之樹脂成形加工而成之帶有鍔部之圓形杯狀之構件係以與基座部110不同之構件形成並嵌入基座部110，但一體形成於基座部110本身亦可。
此外，機台支架120係設為可將相對於水平方向之基座部110之姿勢自由調整，在本實施例係調整為基座部110之搬送路面111之設置姿勢成為水平。
在此，首先使用圖3說明關於從旋轉流體形成部130放出之旋轉流體R、與欲將被搬送物C往下方之旋轉流體形成部130拉近之力D各自產生之原理。
在從前述之旋轉流體形成部130之氣體噴射口132有空氣被噴射後，被噴射之空氣沿著導引凹處131之周側壁131a流動，在導引凹處131內旋轉流體R連續且繼續被形成。
之後，空氣從氣體噴射口132依序被噴射，故從導引凹處131內連續產生之旋轉流體R會朝向被搬送物C側往上方移動並溢出。
此時，旋轉流體R從導引凹處131之周側壁131a往上方移動，從導引凹處131之周側壁131a離開，故因溢出之旋轉流體R之離心力而旋轉流體R之旋轉半徑以旋轉流體R之旋轉中心為基準擴大。
亦即，旋轉流體R往放射方向擴大同時旋轉。
之後，旋轉流體R之旋轉中心附近之空氣被拉往放射方向，旋轉流體R之旋轉中心附近之氣壓降低，比起於旋轉流體R之旋轉部分產生之氣壓變為相對較低。
因此，對被搬送物C有負壓作用而有欲將被搬送物C往下方之旋轉流體形成部130側吸引並拉近之力D產生。
此欲拉近之力D與欲使被搬送物C以溢出之旋轉流體R浮起之力互相抵銷，被搬送物C保持於被搬送物之浮起位置。
接著使用圖4說明關於第1實施例中搬送力產生之原理。
在本實施例係前述旋轉流體形成部130在前述搬送路面111之路寬方向S左右相互分離配設一對。
另外，U軸之箭頭所表示的是浮起方向(鉛直方向)。
在本實施例係做為一例於搬送方向T複數配設，但於搬送方向T一個亦可。
在圖4係為了說明搬送力產生之原理而於搬送方向T僅顯示一個。
另外，在本實施例係以左右一對之旋轉流體形成部130a、130b分別產生之旋轉流體Ra、Rb之旋轉方向設定為相互相同方向。
在此，假設圖4中之左側之旋轉流體形成部130a之旋轉流體Ra流出到導引凹處131外時對搬送往路方向(T軸箭頭之方向)作用之旋轉流體Ra之旋轉流體作用力為fa1，對搬送返路方向(與T軸箭頭反方向)作用之旋轉流體Ra之旋轉流體作用力為fa2。
同樣地，假設圖4中之右側之旋轉流體形成部130b之旋轉流體Rb流出到導引凹處131外時對搬送往路方向(T軸箭頭之方向)作用之旋轉流體Rb之旋轉流體作用力為fb1，對搬送返路方向(與T軸箭頭反方向)作用之旋轉流體Rb之旋轉流體作用力為fb2。
另外，假設左右一對之旋轉流體形成部130a、130b做為結果對被搬送物C往搬送往路方向(T軸箭頭之方向)作用之旋轉流體作用力為F1，往搬送返路方向(與T軸箭頭反方向)作用之旋轉流體作用力為F2。
在本實施例係做為對旋轉流體形成部130a、130b個別調整旋轉流體Ra、Rb之旋轉力之旋轉力調整手段之一例，設有調整從旋轉流體形成部130之氣體噴射口132噴射之空氣之噴射壓力之噴射力調整手段140。
噴射力調整手段140使從為左右一對之一方之圖4中之左側之旋轉流體形成部130a溢出之旋轉流體之旋轉力比從為左右一對之另一方之圖4中之右側之旋轉流體形成部130b溢出之旋轉流體之旋轉力相對地強地調整(被搬送物C之往路搬送狀態)。
亦即，噴射力調整手段140使從為左右一對之一方之圖4中之左側之旋轉流體形成部130a之氣體噴射口132a噴射之空氣之噴射壓力比從為左右一對之另一方之圖4中之右側之旋轉流體形成部130b之氣體噴射口132b噴射之空氣之噴射壓力相對地高地調整。
如此一來，在噴射壓力高之圖4中之左側之旋轉流體形成部130a係與噴射壓力低之圖4中之右側之旋轉流體形成部130b相比，由旋轉流體Ra 造成之負壓低(往負側大)，欲將被搬送物C往旋轉流體形成部130側吸引並拉近之力D變大。
而且，比起由噴射壓力低之圖4中之右側之旋轉流體形成部130b產生之旋轉流體Rb之影響，更容易受到由噴射壓力高之圖4中之左側之旋轉流體形成部130a產生之旋轉流體Ra之影響。
在沿著配置有左右一對之旋轉流體形成部130a、130b之搬送路面111之搬送方向T之中央部分側係由噴射壓力高之圖4中之左側之旋轉流體形成部130a之旋轉流體Ra產生之往搬送返路方向(與T軸箭頭反方向)作用之旋轉流體之旋轉力fa2被由噴射壓力低之圖4中之右側之旋轉流體形成部130b之旋轉流體Rb產生之往搬送往路方向(T軸箭頭之方向)作用之旋轉流體之旋轉力fa1部分抵銷。
而且，在左右一對之旋轉流體形成部130a、130b之路寬方向S之外側111b係由噴射壓力高之圖4中之左側之旋轉流體形成部130a之旋轉流體Ra產生之往搬送往路方向(T軸箭頭之方向)作用之旋轉流體之旋轉力fa1比往搬送返路方向(與T軸箭頭反方向)作用之旋轉流體之旋轉力fa2大。
因此，成為旋轉流體作用力F1比旋轉流體作用力F2大之關係，有往搬送往路方向(T軸箭頭之方向)之搬送力產生。
以上，按照已說明之原理，如於圖5顯示般，做為將被搬送物C往搬送往路方向搬送之往路搬送狀態或使被搬送物C加速之加速搬送狀態，噴射力調整手段140將從左右一對之一方之旋轉流體形成部130a之氣體噴射 口132a噴射之空氣之噴射壓力調整為比從左右一對之另一方之旋轉流體形成部130b之氣體噴射口132b噴射之空氣之噴射壓力相對高。
如此一來，對被搬送物C有往空心箭頭顯示之搬送往路方向(圖5中之右側)之搬送力作用，被搬送物C往空心箭頭顯示之搬送往路方向(圖5中之右側)加速移動。
此外，如於圖6顯示般，做為將被搬送物C往搬送返路方向搬送之返路搬送狀態或使被搬送物C減速之減速搬送狀態，噴射力調整手段140將從左右一對之一方之旋轉流體形成部130a之氣體噴射口132a噴射之空氣之噴射壓力調整為比從左右一對之另一方之旋轉流體形成部130b之氣體噴射口132b噴射之空氣之噴射壓力相對低。
如此一來，對被搬送物C有往空心箭頭顯示之搬送返路方向(圖6中之左側)之搬送力作用。
此時，若被搬送物C為停止之狀態，被搬送物C會往空心箭頭顯示之搬送返路方向(圖6中之左側)移動。
此外，若被搬送物C為如於圖5顯示般往搬送往路方向(圖5中之右側)移動中，被搬送物C會減速，停止後往空心箭頭顯示之搬送返路方向(圖6中之左側)移動。
亦即，噴射力調整手段140設為可將從左右一對之一方之旋轉流體形成部130a之氣體噴射口132a噴射之空氣之噴射壓力與從左右一對之另一方之旋轉流體形成部130b之氣體噴射口132b噴射之空氣之噴射壓力之高低關 係自由切換。
藉此，往搬送往路方向與搬送返路方向作用之旋轉流體作用力F1、F2之大小關係亦改變。
亦即，只要切換從旋轉流體形成部130a、130b之氣體噴射口132a、132b噴射之空氣之噴射壓力之高低關係，被搬送物C之移動方向就會容易切換。
此外，加速、減速也會切換。
另外，在本實施例係左右一對之旋轉流體形成部130a、130b沿著前述搬送路面111之搬送方向T每隔既定之設置間隔相互分離多數配設，以沿著前述搬送路面111之搬送方向T多數配設之旋轉流體形成部130a、130b分別產生之旋轉流體Ra、Rb之旋轉方向設定為相互相同方向。
藉此，由左右一對之旋轉流體形成部130a、130b之路寬方向之外側111b之噴射力強之側之旋轉流體形成部130a(或130b)之旋轉流體Ra(或Rb)產生之往搬送往路方向或搬送返路方向對被搬送物C作用之旋轉流體作用力F1、F2之位置在搬送方向T成為複數。
如上述而得之為本發明之第1實施例之非接觸式浮起搬送裝置100係前述旋轉流體形成部130a、130b在前述搬送路面111之路寬方向S左右相互分離配設一對，以配設於前述搬送路面111之路寬方向S之左右一對之旋轉流體形成部130a、130b分別產生之旋轉流體Ra、Rb之旋轉方向設定為相互相同方向，做為對各前述旋轉流體形成部130a、130b調整旋轉流體Ra、Rb之旋轉力之旋轉力調整手段之噴射力調整手段140設為在使從前述左右 一對之旋轉流體形成部130a、130b之一方(130a)溢出之旋轉流體(Ra)之旋轉力比從另一方(130b)溢出之旋轉流體(Rb)之旋轉力強之被搬送物C之往路搬送狀態與使從前述左右一對之旋轉流體形成部130a、130b之一方(130a)溢出之旋轉流體(Ra)之旋轉力比從另一方(130b)溢出之旋轉流體(Rb)之旋轉力強之被搬送物C之返路搬送狀態問自由切換，藉此，旋轉流體形成部130a、130b活用旋轉流體Ra、Rb之旋轉力而不附設接觸式之驅動機構就可以簡便之裝置構成使浮力產生並使被搬送物C浮起，同時使搬送力產生而可將被搬送物C以非接觸狀態搬送，並可進一步切換被搬送物C之往搬送往路方向與搬送返路方向之移動方向。
此外，前述旋轉流體形成部130a、130b具備設於前述搬送路面下且於搬送路面上開口之有底之周側壁131a、從該周側壁131a之切線方向往以周側壁131a圍繞之旋轉形成空間區域內噴射空氣以使旋轉流體Ra、Rb產生之氣體噴射口132，前述旋轉力調整手段140對前述各旋轉流體形成部130a、130b調整氣體之噴射力，藉此，不需要馬達等旋轉構造而可將非接觸式浮起搬送裝置100簡化，可容易調整旋轉流體Ra、Rb之旋轉力。
另外，前述左右一對之旋轉流體形成部130a、130b沿著前述搬送路面111之搬送方向T每隔既定之設置間隔相互分離多數配設，以沿著前述搬送路面111之搬送方向T多數配設之旋轉流體形成部130a、130b分別產生之旋轉流體Ra、Rb之旋轉方向設定為相互相同方向，藉此，對被搬送物C作用之旋轉流體作用力F1、F2之位置在搬送方向T成為複數，可相應提高被 搬送物C之加速度，亦可使搬送速度加快。
此外，為本發明之第1實施例之非接觸式浮起搬送裝置100之搬送方向切換方法係藉由做為分別調整從在前述搬送路面111之路寬方向S左右相互分離配設一對且使相互相同旋轉方向之旋轉流體Ra、Rb產生之旋轉流體形成部130a、130b溢出之旋轉流體Ra、Rb之旋轉力之旋轉力調整手段之噴射力調整手段140，在使從前述左右一對之旋轉流體形成部130a、130b之一方(130a)溢出之旋轉流體(Ra)之旋轉力比從另一方(130b)溢出之旋轉流體(Rb)之旋轉力強之被搬送物C之往路搬送狀態與使從前述左右一對之旋轉流體形成部130a、130b之一方(130a)溢出之旋轉流體(Ra)之旋轉力比從另一方(130b)溢出之旋轉流體(Rb)之旋轉力強之被搬送物C之返路搬送狀態間切換，藉此，左右一對之旋轉流體形成部130a、130b使浮力產生並使被搬送物C浮起，同時使搬送力產生而可將被搬送物C以非接觸狀態搬送，並可進一步切換被搬送物C之往搬送往路方向與搬送返路方向之移動方向。
此外，為本發明之第1實施例之非接觸式浮起搬送裝置100之搬送速度調整方法係藉由做為分別調整從在前述搬送路面111之路寬方向S左右相互分離配設一對且使相互相同旋轉方向之旋轉流體Ra、Rb產生之旋轉流體形成部130a、130b溢出之旋轉流體Ra、Rb之旋轉力之旋轉力調整手段之噴射力調整手段140，使成為使從前述左右一對之旋轉流體形成部130a、130b之一方(130a)溢出之旋轉流體(Ra)之旋轉力比從另一方(130b)溢出之 旋轉流體(Rb)之旋轉力強之被搬送物C之加速搬送狀態，於該加速搬送狀態之後變更為使從前述左右一對之旋轉流體形成部130a、130b之一方(130a)溢出之旋轉流體(Ra)之旋轉力比從另一方(130b)溢出之旋轉流體(Rb)之旋轉力弱之被搬送物C之減速搬送狀態，藉此，不附設接觸式之驅動機構就可以簡便之裝置構成使搬送力產生而以非接觸使被搬送物C往搬送方向進行方向加速，之後使減速等，其效果甚大。
接著，針對為本發明之第2實施例之非接觸式浮起搬送裝置200，基於圖7說明。
在此，圖7係顯示本發明之第2實施例之非接觸式浮起搬送裝置200之俯視圖。
第2實施例之非接觸式浮起搬送裝置200係將第1實施例之非接觸式浮起搬送裝置100中之以沿著前述搬送路面111之搬送方向T多數配設之旋轉流體形成部130a、130b分別產生之旋轉流體Ra、Rb之旋轉方向設定為在搬送方向T相互相反方向，關於許多要素則與第1實施例之非接觸式浮起搬送裝置100共通，故關於共通之事項省略詳細之說明，僅賦予下兩位共通之200開頭之符號。
在為本發明之第2實施例之非接觸式浮起搬送裝置200係如於圖7顯示般，左右一對之旋轉流體形成部230Aa、230Ab(230Ba、230Bb)沿著前述搬送路面211之搬送方向T每隔既定之設置間隔相互分離多數配設。
另外，以沿著前述搬送路面211之搬送方向T多數配設之旋轉流體形 成部230Aa、230Ab(230Ba、230Bb)分別產生之旋轉流體RA、RB之旋轉方向設定為相互相反方向。
具體地係旋轉流體形成部230Aa、230Ab之旋轉流體RA之旋轉方向與在搬送方向T相鄰之旋轉流體形成部230Ba、230Bb之旋轉流體RB之旋轉方向是互相逆向之關係，於搬送方向T交互配設有旋轉流體形成部230Aa、230Ab與旋轉流體形成部230Ba、230Bb。
噴射力調整手段240將從前述旋轉流體形成部230Aa、230Ab(230Ba、230Bb)之氣體噴射口噴射之空氣之噴射壓力沿著搬送方向設定為棋盤狀之強弱狀態。
具體地係噴射力調整手段240使從旋轉流體形成部230Aa、230Bb之氣體噴射口噴射之空氣之噴射壓力比旋轉流體形成部230Ab、230Ba之氣體噴射口噴射之空氣之噴射壓力相對較高。
藉此，與上述之第1實施例同樣地，對被搬送物C有往空心箭頭顯示之搬送往路方向(圖7中之右側)之搬送力作用，被搬送物C往空心箭頭顯示之搬送往路方向(圖7中之右側)加速移動。
另外，使從旋轉流體形成部230Aa、230Bb之氣體噴射口噴射之空氣之噴射壓力升高之位置並非路寬方向一方側而是在兩側產生，路寬方向一方側與路寬方向另一方側成為同樣之狀態。
另外，若噴射力調整手段240使從旋轉流體形成部230Aa、230Bb之氣體噴射口噴射之空氣之噴射壓力比旋轉流體形成部230Ab、230Ba之氣體噴 射口噴射之空氣之噴射壓力相對較低，有對被搬送物C有往搬送返路方向(圖7中之左側)之搬送力作用，被搬送物C往搬送返路方向(圖7中之左側)加速移動。
如上述而得之為本發明之第2實施例之非接觸式浮起搬送裝置200係左右一對之旋轉流體形成部230Aa、230Ab(230Ba、230Bb)沿著前述搬送路面211之搬送方向T每隔既定之設置間隔相互分離複數配設，以沿著前述搬送路面211之搬送方向T多數配設之旋轉流體形成部230Aa、230Ab(230Ba、230Bb)分別產生之旋轉流體RA、RB之旋轉方向設定為相互相反方向，藉由噴射力調整手段240將從前述旋轉流體形成部230Aa、230Ab(230Ba、230Bb)之氣體噴射口噴射之空氣之噴射壓力沿著搬送方向設定為棋盤狀之強弱狀態，藉此，不附設接觸式之驅動機構就可以簡便之裝置構成在路寬方向S之兩側平衡良好地對被搬送物C有旋轉流體作用力F1、F2作用而可搬送被搬送物C等，其效果甚大。
111‧‧‧搬送路面
130‧‧‧旋轉流體形成部
130a‧‧‧旋轉流體形成部
130b‧‧‧旋轉流體形成部
140‧‧‧噴射力調整手段
C‧‧‧被搬送物

Claims (6)

  1. 一種非接觸式浮起搬送裝置，使由氣體構成之旋轉流體產生之旋轉流體形成部配設於搬送被搬送物之平坦之搬送路面，使從前述旋轉流體形成部依序溢出之旋轉流體介在於被搬送物之底面與搬送路面之間隙以使被搬送物浮起，並以由前述旋轉流體之旋轉力產生之搬送力搬送被搬送物，其特徵在於：前述旋轉流體形成部在前述搬送路面之路寬方向左右相互分離配設一對，以配設於前述搬送路面之路寬方向之左右一對之旋轉流體形成部分別產生之旋轉流體之旋轉方向設定為相互相同方向，對各前述旋轉流體形成部調整旋轉流體之旋轉力之旋轉力調整手段設為在使從前述左右一對之旋轉流體形成部之一方溢出之旋轉流體之旋轉力比從另一方溢出之旋轉流體之旋轉力強之被搬送物之往路搬送狀態與使從前述左右一對之旋轉流體形成部之一方溢出之旋轉流體之旋轉力比從另一方溢出之旋轉流體之旋轉力弱之被搬送物之返路搬送狀態間自由切換。
  2. 如申請專利範圍第1項之非接觸式浮起搬送裝置，其中，前述左右一對之旋轉流體形成部沿著前述搬送路面之搬送方向每隔既定之設置間隔相互分離多數配設，以沿著前述搬送路面之搬送方向多數配設之旋轉流體形成部分別產生之旋轉流體之旋轉方向設定為相互相同方向。
  3. 如申請專利範圍第1項之非接觸式浮起搬送裝置，其中，前述左右一對之旋轉流體形成部沿著前述搬送路面之搬送方向每隔既 定之設置間隔相互分離多數配設，以沿著前述搬送路面之搬送方向多數配設之旋轉流體形成部分別產生之旋轉流體之旋轉方向設定為相互相反方向，前述旋轉力調整手段將從前述旋轉流體形成部分別產生之旋轉流體之旋轉力沿著搬送方向設定為棋盤狀之強弱狀態。
  4. 如申請專利範圍第1項之非接觸式浮起搬送裝置，其中，前述旋轉流體形成部具備設於前述搬送路面下且於搬送路面上開口之有底之周側壁、從該周側壁之切線方向往以周側壁圍繞之旋轉形成空間區域內噴射前述氣體以使旋轉流體產生之氣體噴射口，前述旋轉力調整手段對前述各旋轉流體形成部調整氣體之噴射力。
  5. 一種有使由氣體構成之旋轉流體產生之旋轉流體形成部配設於搬送被搬送物之平坦之搬送路面，使從前述旋轉流體形成部依序溢出之旋轉流體介在於被搬送物之底面與搬送路面之間隙以使被搬送物浮起，並以由前述旋轉流體之旋轉力產生之搬送力搬送被搬送物之非接觸式浮起搬送裝置之搬送方向切換方法，其特徵在於：藉由分別調整從在前述搬送路面之路寬方向左右相互分離配設一對且使相互相同旋轉方向之旋轉流體產生之旋轉流體形成部溢出之旋轉流體之旋轉力之旋轉力調整手段，在使從前述左右一對之旋轉流體形成部之一方溢出之旋轉流體之旋轉力比從另一方溢出之旋轉流體之旋轉力強之被搬送物之往路搬送狀態與使從前述左右一對之旋轉流體形成部之一方溢出之旋轉流體之旋轉力比從另一方溢出之旋轉流體之旋轉力弱之被搬送物之返路搬送狀態間切換。
  6. 一種有使由氣體構成之旋轉流體產生之旋轉流體形成部配設於搬送被搬送物之平坦之搬送路面，使從前述旋轉流體形成部依序溢出之旋轉流體介在於被搬送物之底面與搬送路面之間隙以使被搬送物浮起，並以由前述旋轉流體之旋轉力產生之搬送力搬送被搬送物之非接觸式浮起搬送裝置之搬送速度調整方法，其特徵在於：藉由分別調整從在前述搬送路面之路寬方向左右相互分離配設一對且使相互相同旋轉方向之旋轉流體產生之旋轉流體形成部溢出之旋轉流體之旋轉力之旋轉力調整手段，使成為使從前述左右一對之旋轉流體形成部之一方溢出之旋轉流體之旋轉力比從另一方溢出之旋轉流體之旋轉力強之被搬送物之加速搬送狀態，於該加速搬送狀態之後變更為使從前述左右一對之旋轉流體形成部之一方溢出之旋轉流體之旋轉力比從另一方溢出之旋轉流體之旋轉力弱之被搬送物之減速搬送狀態。
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