TW201544423A - 非接觸式浮起搬送裝置 - Google Patents

Abstract

提供活用旋轉流體之旋轉力而不附設接觸式之驅動機構就以簡便之裝置構成使被搬送物在完全之非接觸狀態下浮起同時順利搬送之非接觸式浮起搬送裝置。 使由氣體構成之旋轉流體產生之旋轉流體形成部(130A、130B)配設於搬送被搬送物之平坦之搬送路面(111)之路寬方向左右相互分離配設一對，旋轉流體形成部(130A、130B)之旋轉流體之旋轉方向設定為相互相反方向，接受從前述左右一對之旋轉流體形成部(130A、130B)合流之氣體之氣體接受凹部(140)設於在前述左右一對之旋轉流體形成部(130A、130B)之間延伸於搬送方向T之氣體合流區域(A)內，藉此，可使從前述旋轉流體形成部(130A、130B)溢出之旋轉流體介在於被搬送物之底面與搬送路面(111)之間隙以使被搬送物浮起並以由前述旋轉流體之旋轉力產生之搬送力順利搬送被搬送物之非接觸式浮起搬送裝置(100)。

Description

非接觸式浮起搬送裝置

本發明係關於一種非接觸式浮起搬送裝置，有使旋轉流體產生之旋轉流體形成部配設於搬送被搬送物之搬送路面，並以此旋轉流體使被搬送物浮起同時使對被搬送物之驅動力產生而使被搬送物以完全之非接觸狀態浮起搬送，特別是關於將用於太陽電池用平板、行動電話、液晶電視、個人電腦用液晶螢幕等之由顯示用玻璃基板構成之被搬送物浮起搬送之非接觸式浮起搬送裝置者。

以往，做為非接觸搬送裝置，已知有於具有從表面貫通至背面之橫剖面圓形之貫通孔之環狀構件之背面具備噴射口，藉由從此噴射口使空氣噴射，於此環狀構件之表面側使往從此表面離開之方向之旋轉流體產生，並於機台支架之搬送面具備2個以上之於此環狀構件之表面側之貫通孔之開口附近使往背面方向之空氣之流動產生之旋轉流體形成體，將由液晶用玻璃等構成之被搬送物之浮起高度精度維持為高並使用接觸式之驅動機構使被搬送物浮起搬送之非接觸搬送裝置(參照專利文獻1與專利文獻2)。

【先前技術文獻】 【專利文獻】

【專利文獻1】日本專利5237357號公報(特別參照第3頁第6~7段落、圖1、圖2)

【專利文獻2】國際公開WO2010/004800號公報(特別參照請求項1、圖3)

然而，在上述之以往之非接觸搬送裝置雖係為了迴避搬送面上之被搬送物之轉動或搖晃並維持浮起高度精度，以旋轉流體形成體之旋轉流體之旋轉方向互相不同之方式於搬送方向複述排列，藉此，刻意使從各旋轉流體形成體往搬送面上送出之旋轉流體之旋轉力抵銷並對被搬送物之底面與搬送面間之間隙持續送出旋轉流體而呈使旋轉流體介在之浮起狀態，但為了使此浮起之被搬送物往搬送方向搬送，有必要另外使用摩擦滾子或皮帶等接觸式之驅動機構對被搬送物給予用來搬送的驅動力來搬送，若附設此種接觸式之驅動機構會有做為搬送裝置之全體裝置構成或其驅動控制變複雜之問題。

此外，在以往之非接觸搬送裝置係在形成於被搬送物與搬送面之間之間隙空間內有被送出之旋轉流體滯留而停滯，若此停滯之旋轉流體被過剩 送出，會有可能成為往搬送方向之搬送抵抗之問題。

針對上述問題，本發明係解決如前述之先前技術之問題者，亦即，本發明之目的係提供活用旋轉流體之旋轉力而不附設接觸式之驅動機構就以簡便之裝置構成使被搬送物在完全之非接觸狀態下浮起同時順利搬送之非接觸式浮起搬送裝置。

本請求項1之發明係一種非接觸式浮起搬送裝置，使由氣體構成之旋轉流體產生之旋轉流體形成部配設於搬送被搬送物之平坦之搬送路面，使從前述旋轉流體形成部依序溢出之旋轉流體介在於被搬送物之底面與搬送路面之間隙以使被搬送物浮起，並以由前述旋轉流體之旋轉力產生之搬送力搬送被搬送物，其特徵在於：前述旋轉流體形成部在前述搬送路面之路寬方向左右相互分離配設一對，以前述旋轉流體形成部分別產生之旋轉流體之旋轉方向設定為在前述搬送路面之路寬方向相互相反方向，接受從前述左右一對之旋轉流體形成部分別做為旋轉流體溢出後合流之氣體之氣體接受凹部設於在前述左右一對之旋轉流體形成部之相互間延伸於搬送方向之氣體合流區域內，藉此，解決前述之課題。

本請求項2之發明係如申請專利範圍第1項之非接觸式浮起搬送裝置，其中，前述旋轉流體形成部在前述搬送路面之搬送方向前後相互分離地配設有複數個，以前述旋轉流體形成部分別產生之旋轉流體之旋轉方向 設定為在前述搬送路面之搬送方向相互相同方向，藉此，進一步解決前述之課題。

本請求項3之發明係如申請專利範圍第1項之非接觸式浮起搬送裝置，其中，前述旋轉流體形成部具備設於前述搬送路面下且於搬送路面上開口之有底之周側壁、以及從該周側壁之切線方向往以周側壁圍繞之旋轉形成空間區域內噴射前述氣體以使旋轉流體產生之氣體噴射口，藉此，進一步解決前述之課題。

本請求項4之發明係如申請專利範圍第1項之非接觸式浮起搬送裝置，其中，存在於比前述搬送路面低位置之氣體接受凹部之底面部分朝向前述搬送路面之背面側開放，藉此，進一步解決前述之課題。

本請求項5之發明係如申請專利範圍第1項之非接觸式浮起搬送裝置，其中，存在於比前述搬送路面低位置之氣體接受凹部之底面部分形成為開閉自如，藉此，進一步解決前述之課題。

本請求項6之發明係如申請專利範圍第1項之非接觸式浮起搬送裝置，其中，將從前述旋轉流體形成部往搬送路面與被搬送物之間隙溢出而過剩滯留之氣體釋放之氣體釋放孔分散配設於前述搬送路面，藉此，進一步解決前述之課題。

本請求項7之發明係如申請專利範圍第1項之非接觸式浮起搬送裝置，其中，前述旋轉流體形成部做為可將前述氣體之噴射力擇一地選擇之其他零件裝卸自如地安裝於前述搬送路面，藉此，進一步解決前述之課題。

本發明之非接觸式浮起搬送裝置係藉由使由氣體構成之旋轉流體產生之旋轉流體形成部配設於搬送被搬送物之平坦之搬送路面，不僅可使從前述旋轉流體形成部依序溢出之旋轉流體介在於被搬送物之底面與搬送路面之間隙以使被搬送物浮起，還可發揮如以下之特有之效果。

根據本請求項1之非接觸式浮起搬送裝置，前述旋轉流體形成部在前述搬送路面之路寬方向左右相互分離配設一對，以前述旋轉流體形成部分別產生之旋轉流體之旋轉方向設定為在前述搬送路面之路寬方向相互相反方向，接受從前述左右一對之旋轉流體形成部分別做為旋轉流體溢出後合流之氣體之氣體接受凹部設於在前述左右一對之旋轉流體形成部之相互間延伸於搬送方向之氣體合流區域內，藉此，基於在以左右一對之旋轉流體形成部對被搬送物作用朝向搬送方向之前方區域之旋轉流體作用力與朝向搬送方向之後方區域之旋轉流體作用力之相互間產生之大小關係而被搬送物之搬送方向被定向，因此，可活用旋轉流體之旋轉力而不附設接觸式之驅動機構就以簡便之裝置構成在非接觸狀態下使被搬送物朝向搬送方向之前方區域浮起同時順利搬送。

此外，在旋轉流體形成部內連續產生之旋轉流體從旋轉流體形成部往被搬送物側溢出至搬送路面上後，因此旋轉流體之離心力而旋轉流體之旋轉半徑擴大，於旋轉流體之中心附近部分產生之氣壓比起於旋轉流體之旋轉部分產生之氣壓相對變低，藉由此變低之氣壓對被搬送物做為負壓作用，於欲將被搬送物往旋轉流體形成部側吸引拉近之力與欲使被搬送物以溢出之旋轉流體浮起之力抵銷之被搬送物之浮起位置保持被搬送物，故可在使被搬送物安定之浮起支持狀態下將由旋轉流體作用力產生之搬送力確實地傳往被搬送物。

亦即，並非單往搬送方向對被搬送物附加氣體之力，是在有欲將被搬送物往旋轉流體形成部側吸引拉近之力作用之狀態下對被搬送物附加前述之旋轉流體作用力，故可確實地將由旋轉流體作用力產生之搬送力確實地傳往被搬送物。

另外，從搬送方向觀察之氣體接受凹部之剖面積越大，流入氣體接受凹部之旋轉流體之流量就越多，故可使往搬送方向之前方區域之搬送力變大。

亦即，若調整從搬送方向觀察之氣體接受凹部之剖面積，流入氣體接受凹部之旋轉流體之流量會變化，故可調整往搬送方向之前方區域之搬送力。

根據本請求項2之非接觸式浮起搬送裝置，除請求項1之發明發揮之效果外，前述旋轉流體形成部在前述搬送路面之搬送方向前後相互分離地配設有複數個，以前述旋轉流體形成部分別產生之旋轉流體之旋轉方向設 定為在前述搬送路面之搬送方向相互相同方向，藉此，以排列於搬送方向之複數組之旋轉流體形成部產生之各旋轉流體對被搬送物作用往搬送方向之旋轉流體作用力，故可使搬送力更大。

根據本請求項3之非接觸式浮起搬送裝置，除請求項1之發明發揮之效果外，前述旋轉流體形成部具備設於前述搬送路面下且於搬送路面上開口之有底之周側壁、以及從該周側壁之切線方向往以周側壁圍繞之旋轉形成空間區域內噴射前述氣體以使旋轉流體產生之氣體噴射口，藉此，以簡單且小型之構成形成旋轉流體，故不需要馬達等旋轉構造而可將非接觸式浮起搬送裝置簡化。

根據本請求項4之非接觸式浮起搬送裝置，除請求項1之發明發揮之效果外，存在於比前述搬送路面低位置之氣體接受凹部之底面部分朝向前述搬送路面之背面側開放，藉此，提供進入氣體接受凹部之旋轉流體之氣體之充分之釋放場所而不會妨礙氣體之流動，故與氣體接受凹部沒有開放時相比，可使往搬送方向之前方區域作用之旋轉流體之旋轉流體作用力增大而使搬送力增加。

根據本請求項5之非接觸式浮起搬送裝置，除請求項1之發明發揮之效果外，存在於比前述搬送路面低位置之氣體接受凹部之底面部分形成為開閉自如，藉此，流入氣體接受凹部之旋轉流體之流量會變化，故可改變往搬送方向之前方區域作用之旋轉流體作用力之大小與往搬送方向之後方 區域作用之旋轉流體作用力之大小之大小關係而切換被搬送物之移動方向。

此外，隨著從搬送方向觀察之氣體接受凹部之剖面積等不同，在往搬送方向之前方區域作用之旋轉流體作用力之旋轉流體作用力之大小與往搬送方向之後方區域作用之旋轉流體作用力之大小之大小關係被維持之狀態下往搬送方向之前方區域作用之旋轉流體作用力之旋轉流體作用力之大小會變化，故可調整往搬送方向之前方區域之搬送力。

根據本請求項6之非接觸式浮起搬送裝置，除請求項1之發明發揮之效果外，將從前述旋轉流體形成部往搬送路面與被搬送物之間隙溢出而過剩滯留之氣體釋放之氣體釋放孔分散配設於前述搬送路面，藉此，此氣體釋放孔成為過剩滯留之氣體之釋放空間，從旋轉流體形成部依序溢出之氣體之流動不被妨礙，故比起沒有設氣體釋放孔時可使往搬送方向之前方區域與搬送方向之後方區域作用之旋轉流體作用力變大且使其差亦變大而使搬送力增加。

根據本請求項7之非接觸式浮起搬送裝置，除請求項1之發明發揮之效果外，前述旋轉流體形成部做為可將前述氣體之噴射力擇一地選擇之其他零件裝卸自如地安裝於前述搬送路面，藉此，只要換裝旋轉流體形成部，由旋轉流體產生之旋轉力之強度即可變更，不僅不使用閥等噴射力調整手段就可調整往搬送方向之旋轉流體作用力而將搬送力調整為任意值，還可使旋轉流體形成部之素材或之至製作加工之選項多樣化。

100、200、300、400‧‧‧非接觸式浮起搬送裝置

110、210、410‧‧‧基座部

111、211、311、411‧‧‧搬送路面

120、220‧‧‧機台支架

130A、230A、330A、430A‧‧‧旋轉流體形成部

130B、230B、330B、430B‧‧‧旋轉流體形成部

131、231、331、431‧‧‧導引凹處

132‧‧‧氣體噴射口

140、240、340、440‧‧‧氣體接受凹部

150、250‧‧‧氣體釋放孔

360‧‧‧開閉切換手段

A‧‧‧氣體合流區域

C‧‧‧被搬送物

D‧‧‧欲往下方拉近之力

F1‧‧‧往與T軸箭頭之方向相反方向作用之旋轉流體作用力

fa1、fa2‧‧‧由一方之旋轉流體產生之旋轉流體作用力

F2‧‧‧往T軸箭頭之方向作用之旋轉流體作用力

fb1、fb2‧‧‧由另一方之旋轉流體產生之旋轉流體作用力

R‧‧‧旋轉流體

S‧‧‧路寬方向

T‧‧‧搬送方向

U‧‧‧浮起方向

圖1係顯示本發明之第1實施例之非接觸式浮起搬送裝置之立體圖。

圖2係顯示圖1之符號2之位置之旋轉流體形成部之擴大立體圖。

圖3係顯示由本發明之旋轉流體形成部產生之旋轉流體與欲往下方拉近之力產生之原理之概念剖面圖。

圖4係做為參考而顯示沒有設有氣體接受凹部之構成之旋轉流體作用力之參考圖。

圖5係從圖1之符號5觀看之擴大俯視圖，且係顯示於第1實施例中搬送力產生之原理之圖。

圖6係顯示本發明之第2實施例之非接觸式浮起搬送裝置之立體圖。

圖7係從圖6之符號7觀看之俯視圖。

圖8A係顯示於本發明之第3實施例中搬送力產生之原理之圖。

圖8B係顯示於本發明之第3實施例中搬送力產生之原理之圖。

圖9A係顯示本發明之第4實施例之氣體接受凹部之變化之俯視圖。

圖9B係顯示本發明之第4實施例之氣體接受凹部之變化之俯視圖。

圖9C係顯示本發明之第4實施例之氣體接受凹部之變化之俯視圖。

本發明只要是使由氣體構成之旋轉流體產生之旋轉流體形成部配設於 搬送被搬送物之平坦之搬送路面，使從前述旋轉流體形成部依序溢出之旋轉流體介在於被搬送物之底面與搬送路面之間隙以使被搬送物浮起，並以由前述旋轉流體之旋轉力產生之搬送力搬送被搬送物，其特徵在於：前述旋轉流體形成部在前述搬送路面之路寬方向左右相互分離配設一對，以前述旋轉流體形成部分別產生之旋轉流體之旋轉方向設定為在前述搬送路面之路寬方向相互相反方向，接受從前述左右一對之旋轉流體形成部分別做為旋轉流體溢出後合流之氣體之氣體接受凹部設於在前述左右一對之旋轉流體形成部之相互間延伸於搬送方向之氣體合流區域內，藉此，基於在以左右一對之旋轉流體形成部對被搬送物作用朝向搬送方向之前方區域之旋轉流體作用力與朝向搬送方向之後方區域之旋轉流體作用力之相互間產生之大小關係而被搬送物之搬送方向被定向，活用旋轉流體之旋轉力而不附設接觸式之驅動機構就以簡便之裝置構成在非接觸狀態下使被搬送物朝向搬送方向之前方區域浮起同時順利搬送者，其具體之實施態樣不論為如何皆無妨。

亦即，關於在本發明採用之旋轉流體形成部之具體實施態樣，可藉由穿孔加工或切銷加工等直接形成於構成搬送路面之基座部本體，亦可為由樹脂加工等形成之晶片狀之成形品等與構成搬送路面之基座部形成為不同個體，於旋轉流體形成部與基座部形成為不同個體之場合，可使旋轉流體形成部之素材或製作加工之選項多樣化，故較理想。

此外，關於旋轉流體形成部之具體構造，只要是從空氣等氣體形成旋轉流體者不論為如何皆無妨。例如，從旋轉流體形成部之氣體噴射口噴射 之氣體藉由沿著往旋轉方向導引之導引凹部之深度3~10mm程度之周側壁流動而形成旋轉流體者亦可。作為俯視之導引凹部之形狀不論為如何者皆無妨。此導引凹部之具體之形狀可為圓形狀、環狀、橢圓形狀、多角形狀、於圓形狀形成有缺口部之形狀等，更具體而言，具鍔部之圓形杯狀者更理想。

此外，亦可為於具備周側壁之導引凹部內設置吸氣口與風扇，藉由風扇旋轉而形成從以周側壁圍繞之導引凹部內往上方旋轉流體者。

關於本發明之旋轉流體形成部之具體之排列形態係如前述般，只要分別設定於左右一對之旋轉流體形成部之旋轉流體之旋轉方向為以左右一對之旋轉流體形成部對被搬送物作用而基於往搬送方向之前方區域之旋轉流體作用力與往搬送方向之後方區域之旋轉流體作用力之相對之差將被搬送物之搬送方向定向，構築可活用旋轉流體之旋轉力而使被搬送物浮起同時搬送之浮起搬送機構者，不論為如何之排列形態皆可。為旋轉流體形成部在搬送路面之路寬方向左右相互分離僅配設一對之排列形態，或在搬送路面之路寬方向左右相互分離配設一對且在搬送路面之搬送方向前後相互分離地配設有複數個之排列形態之任一皆無妨。

另外，在本發明中，在搬送路面之路寬方向左右相互分離之一對之旋轉流體形成部可在搬送方向以相同位置關係排列，亦可在搬送方向以互相錯開之位置關係排列。

此外，關於在本發明採用之氣體接受凹部之具體形態，只要是設於在前述左右一對之旋轉流體形成部之相互間延伸於搬送方向之氣體合流區域內且接受從前述左右一對之旋轉流體形成部分別做為旋轉流體溢出後合流 之氣體者，不論為如何之形狀構造皆可。例如，可為存在於比前述搬送路面低位置之氣體接受凹部之底面部分朝向前述搬送路面之背面側開放者，亦可為存在於比前述搬送路面低位置之氣體接受凹部之底面部分形成為開閉自如者，於前者之場合，與氣體接受凹部沒有開放時相比，可使往搬送方向之前方區域作用之旋轉流體之旋轉力增大而使搬送力增加，於後者之場合，可改變往搬送方向之前方區域作用之旋轉流體作用力之大小與往搬送方向之後方區域作用之旋轉流體作用力之大小之大小關係而切換被搬送物之移動方向。

此外，關於氣體接受凹部之具體之設置形態，只要是設於在前述左右一對之旋轉流體形成部之相互間延伸於搬送方向之氣體合流區域內即可，例如，只要是設置於左右一對之旋轉流體形成部之相互間之稍前方區域、中間區域、稍後方區域之中任一者，或此等之任一者至少組合而一體化之區域內而可接受從前述左右一對之旋轉流體形成部分別做為旋轉流體溢出後合流之氣體者即可。

本發明中之搬送路面係平坦為重要，此平坦之搬送路面之加工精度越高可獲得被搬送物之越安定之搬送狀態係不用說。此外，如果有必要，為了抑制從旋轉流體形成部放出之氣體從路寬方向之兩側緣過度漏出並將被搬送物往搬送方向誘導限制而將導引板設於搬送路面之兩側緣亦可。

另外，做為藉由本發明之非接觸式浮起搬送裝置使浮起搬送之被搬送物係由例如玻璃、塑膠、金屬等素材構成之薄板狀者，而做為特別適合之被搬送物係太陽電池用平板面板或用於行動電話、液晶電視、個人電腦用液晶螢幕等之厚度0.1至0.5mm程度之顯示用玻璃基板。

【實施例1】

於以下，針對為本發明之第1實施例之非接觸式浮起搬送裝置100，基於圖1至圖5說明。

在此，圖1係顯示本發明之第1實施例之非接觸式浮起搬送裝置之立體圖。圖2係顯示圖1之符號2之位置之旋轉流體形成部之擴大立體圖。圖3係顯示由本發明之旋轉流體形成部產生之旋轉流體與欲往下方拉近之力產生之原理之概念剖面圖。圖4係做為參考而顯示沒有設有氣體接受凹部之構成之旋轉流體作用力之參考圖。圖5係從圖1之符號5觀看之擴大俯視圖，且係顯示於第1實施例中搬送力產生之原理之圖。

為本發明之第1實施例之非接觸式浮起搬送裝置100係如於圖1至圖5顯示般，構成為有使由氣體構成之旋轉流體R產生之旋轉流體形成部130A、130B配設於搬送例如由厚度0.3mm程度之顯示用玻璃基板構成之薄板狀之被搬送物C之平坦之搬送路面111，使從前述旋轉流體形成部130A、130B依序溢出之旋轉流體R介在於被搬送物C之底面與搬送路面111之間隙以使被搬送物C浮起，並以由前述旋轉流體R之旋轉力產生之搬送力搬送被搬送物C。

具體地，非接觸式浮起搬送裝置100具備基座部110、支持此基座部110之機台支架120。

而於基座部110中之與被搬送物C對向之搬送路面111有樹脂成形加 工而成之帶有鍔部之圓形杯狀之前述旋轉流體形成部130A、130B在前述搬送路面111之路寬方向S左右相互分離配設一對，亦即，僅配設一組。

在本實施例係旋轉流體形成部130A、130B具備設於前述搬送路面下且於搬送路面上開口之有底之導引凹處131之周側壁131a、從該周側壁131a之切線方向往以周側壁131a圍繞之旋轉形成空間區域內噴射做為氣體之空氣以使旋轉流體R產生之氣體噴射口132。

如於圖2顯示般，旋轉流體形成部130A(130B)具有將空氣往旋轉方向導引之導引凹處131、沿著圍繞此導引凹處131之圓筒狀之周側壁131a分別噴射空氣之2個氣體噴射口132。

於本實施例之場合係此等2個氣體噴射口132設於將圍繞導引凹處131之圓筒狀之周側壁131a二分之位置，使旋轉流體R確實且安定產生。

如上述般構成之旋轉流體形成部130A、130B藉由使旋轉流體R往搬送路面111與被搬送物C之間溢出而使被搬送物C浮起例如0.05mm程度。

在此，旋轉流體形成部130A之構造與旋轉流體形成部130B之構造之關係係以旋轉流體形成部130A與旋轉流體形成部130B間之T軸方向(被搬送物C之搬送方向)之假想中心線為基準之線對稱之關係，以前述旋轉流體形成部130A、130B分別產生之旋轉流體Ra、Rb之旋轉方向(參照圖4、圖5)設定為在前述搬送路面111之路寬方向S相互相反方向。

另外，在本實施例雖係構成旋轉流體形成部130A、130B之樹脂成形加工而成之帶有鍔部之圓形杯狀之構件係以與基座部110不同之構件形成並嵌入基座部110，但一體形成於基座部110本身亦可。

另外，氣體接受凹部140設於在前述左右一對之旋轉流體形成部130A、130B之相互間延伸於搬送方向T之氣體合流區域A內。

而且，氣體接受凹部140係為了接受從前述左右一對之旋轉流體形成部130A、130B分別做為旋轉流體Ra、Rb溢出後合流之空氣而構成為朝向搬送方向T呈細長之矩形狀凹部。

此外，機台支架120係設為可將相對於水平方向之基座部110之姿勢調整自如，在本實施例係調整為基座部110之搬送路面111之設置姿勢成為水平。

在此，首先使用圖3說明關於從旋轉流體形成部130A(130B)溢出之旋轉流體R、與欲將被搬送物C往下方之旋轉流體形成部130A(130B)側拉近之力D產生之原理。

在從前述之旋轉流體形成部130A(130B)之氣體噴射口132有空氣被噴射後，被噴射之空氣沿著導引凹處131之周側壁131a流動，在導引凹處131內旋轉流體R連續且繼續被形成。

之後，空氣從氣體噴射口132依序被噴射，故從導引凹處131內連續產生之旋轉流體R會朝向被搬送物C側往上方移動並溢出。

此時，旋轉流體R從導引凹處131之周側壁131a往上方移動，從導引凹處131之周側壁131a離開，故因溢出之旋轉流體R之離心力而旋轉流體R之旋轉半徑以旋轉流體R之旋轉中心為基準擴大。

亦即，旋轉流體R往放射方向擴大同時旋轉。

之後，旋轉流體R之旋轉中心附近之空氣被拉往放射方向，旋轉流體R之旋轉中心附近之氣壓降低，比起於旋轉流體R之旋轉部分產生之氣壓變為相對較低。

因此，對被搬送物C有負壓作用而有欲將被搬送物C往下方之旋轉流體形成部130A(130B)側吸引並拉近之力D產生。

此欲拉近之力D與欲使被搬送物C以溢出之旋轉流體R浮起之力互相抵銷，被搬送物C保持於被搬送物之浮起位置。

接著，為了使對於本發明之理解更容易，使用圖4說明做為參考而沒有設有氣體接受凹部之構成之旋轉流體作用力。

在圖4之參考圖係前述旋轉流體形成部130A、130B在前述搬送路面111之路寬方向S左右相互分離配設一對。

另外，U軸之箭頭所表示的是浮起方向(鉛直方向)。

另外，以左右一對之旋轉流體形成部130A、130B分別產生之旋轉流體Ra、Rb之旋轉方向設定為在前述搬送路面111之路寬方向S相互相反方向。

在此，假設圖4中之左側之旋轉流體形成部130A之旋轉流體Ra流出到導引凹處131外時對與T軸箭頭之方向相反方向作用之旋轉流體Ra之旋轉流體作用力為fa1，對T軸箭頭方向作用之旋轉流體Ra之旋轉流體作用力為fa2。

同樣地，假設圖4中之右側之旋轉流體形成部130B之旋轉流體Rb流出到導引凹處131外時對與T軸箭頭之方向相反方向作用之旋轉流體Rb之 旋轉流體作用力為fb1，對T軸箭頭反方向作用之旋轉流體Rb之旋轉流體作用力為fb2。

另外，假設為fa1、fb1之和且往搬送方向T之後方區域(與T軸箭頭之方向相反方向區域)作用之旋轉流體作用力為F1，假設為fa2、fb2之和且往搬送方向T之前方區域(T軸箭頭之方向區域)作用之旋轉流體作用力為F2。

此時，在夾於被配置之左右一對之旋轉流體形成部130A、130B之搬送路面111之沿著搬送方向T之中央部分側111a係雙方之旋轉流體Ra、Rb失去釋放空間而相互干涉或亂流，各旋轉流體Ra、Rb之旋轉力，亦即，旋轉流體作用力fa1、fb1被抵銷。

另一方面，在左右一對之旋轉流體形成部130A、130B之路寬方向之兩外側111b係雙方之旋轉流體Ra、Rb不會相互干涉，故旋轉流體Ra、Rb之旋轉力，亦即，旋轉流體作用力fa2、fb2不會被抵銷。

其結果，相對於在左右一對之旋轉流體形成部130A、130B之相互間往搬送方向T之後方區域(與T軸箭頭之方向相反方向區域)作用之旋轉流體Ra、Rb之旋轉流體作用力F1，在左右一對之旋轉流體形成部130A、130B之路寬方向之兩外側往搬送方向T之前方區域(T軸箭頭之方向區域)作用之旋轉流體Ra、Rb之旋轉流體作用力F2相對變大。

另外，因起因於欲吸引被搬送物C往下方之旋轉流體形成部130A、130B側分別拉近之力D而產生之面摩擦而傳向被搬送物C之力係比起往搬送方向T之後方區域(與T軸箭頭之方向相反方向區域)作用之旋轉流體Ra、 Rb之旋轉流體作用力F1，往搬送方向T之前方區域(T軸箭頭之方向區域)作用之旋轉流體Ra、Rb之旋轉流體作用力F2較大。

因此，受到搬送力後被搬送物C係往T軸之箭頭方向移動。

亦即，左右一對之旋轉流體形成部130A、130B活用旋轉流體Ra、Rb之旋轉力使被搬送物C以非接觸狀態浮起同時搬送。

此時，並非單往搬送方向對被搬送物C附加空氣之力，是在有由上述之負壓產生之欲拉近之力D對被搬送物C作用之狀態下附加往搬送之方向之前述之旋轉流體作用力F1、F2，故做為旋轉流體作用力F1、F2之相對差而搬送力被確實地傳往被搬送物C。

接著，使用圖5說明關於於本發明之第1實施例中搬送力產生之原理。

在此，與圖4之參考圖同樣，假設圖5中之左側之旋轉流體形成部130A之旋轉流體Ra流出到導引凹處131外時對與T軸箭頭之方向相反方向作用之旋轉流體Ra之旋轉流體作用力為fa1，對T軸箭頭方向作用之旋轉流體Ra之旋轉流體作用力為fa2。

同樣地，假設圖5中之右側之旋轉流體形成部130B之旋轉流體Rb流出到導引凹處131外時對與T軸箭頭之方向相反方向作用之旋轉流體Rb之旋轉流體作用力為fb1，對T軸箭頭反方向作用之旋轉流體Rb之旋轉流體作用力為fb2。

另外，假設為fa1、fb1之和且往搬送方向T之後方區域(與T軸箭頭之方向相反方向區域)作用之旋轉流體作用力為F1，假設為fa2、fb2之和 且往搬送方向T之前方區域(T軸箭頭之方向區域)作用之旋轉流體作用力為F2。

此時，於左右一對之旋轉流體形成部130A、130B之路寬方向外側111b旋轉流體Ra、Rb係往放射方向被分散而旋轉流體Ra、Rb之旋轉流體作用力fa2、fb2變小。

另一方面，在左右一對之旋轉流體形成部130A、130B之間旋轉流體Ra、Rb流入氣體接受凹部140而有往搬送方向T之前方區域(與T軸箭頭之方向相反方向區域)之流路被形成，隨著氣體接受凹部140之大小而成為氣體接受凹部140中之旋轉流體Ra、Rb之旋轉流體作用力F1比在路寬方向S相鄰之兩個旋轉流體形成部130A、130B之路寬方向外側111b中之旋轉流體R之旋轉流體作用力F2大之關係。

另外，因起因於欲拉近之力D而產生之面摩擦而傳向被搬送物C之力係比起往搬送方向T之後方區域(T軸箭頭之方向區域)作用之旋轉流體Ra、Rb之旋轉流體作用力F2，往搬送方向T之前方區域(與T軸箭頭之方向相反方向區域)作用之旋轉流體Ra、Rb之旋轉流體作用力F1較大。

因此，受到搬送力後被搬送物C係往與T軸箭頭之方向相反方向移動。

亦即，與沒有設有氣體接受凹部140之構成(參照圖4)相比，搬送時之移動方向成為相反方向之關係。

另外，做為技術思想，為了要搬送時之移動方向成為相反方向之關係， 有使氣體接受凹部140之大小，特別是從搬送方向T觀察之剖面積，有一定程度之大小之必要。

本實施例之氣體接受凹部140之大小係設定為滿足此關係之充分之大小。

亦即，即使設氣體接受凹部140，搬送時之移動方向也並非必定成為與圖4之參考圖之例相反之關係，例如，若使從搬送方向T觀察之剖面積緩緩增大，會有旋轉流體作用力F1與旋轉流體作用力F2相等的時候。

然後，只要從搬送方向T觀察之剖面積比相等的時候大，就會成為與圖4之參考圖之例相反方向之關係。

此外，構成為存在於比前述搬送路面111低位置之氣體接受凹部140之底面部分朝向前述搬送路面111之背面側開放亦可。

在此場合，提供進入氣體接受凹部140之旋轉流體Ra、Rb之空氣之充分之釋放場所而不會妨礙空氣之流動。

亦即，與氣體接受凹部140沒有開放時相比，往搬送方向T之前方區域(與T軸箭頭之方向相反方向區域)作用之旋轉流體Ra、Rb之旋轉流體作用力F1變大而搬送力增加。

此外，即使是比旋轉流體作用力F1與旋轉流體作用力F2相等時之從搬送方向T觀察之氣體接受凹部140之剖面積小之場合，藉由氣體接受凹部140之比搬送路面111底側開放，可獲得與比旋轉流體作用力F1與旋轉流體作用力F2相等時之從搬送方向T觀察之氣體接受凹部140之剖面積大 之場合相同效果。

另外，在本實施例係將從前述旋轉流體形成部130A、130B往搬送路面111與被搬送物C之間隙溢出而過剩滯留之氣體釋放之氣體釋放孔150分散配設於前述搬送路面111。

藉此，此氣體釋放孔150成為過剩滯留之氣體之釋放空間，從旋轉流體形成部130A、130B依序溢出之氣體之流動不被妨礙。

亦即，比起沒有設氣體釋放孔150時可使往搬送方向之前方區域與搬送方向之後方區域作用之旋轉流體Ra、Rb之旋轉流體作用力變大且使其差亦變大而使搬送力增加。

此外，在本實施例係前述旋轉流體形成部130A、130B做為可將前述氣體之噴射力擇一地選擇之其他零件裝卸自如地安裝於前述搬送路面111。

藉此，只要換裝旋轉流體形成部130A、130B，由旋轉流體R產生之旋轉力之強度即可變更。

例如，藉由氣體噴射口132之孔之大小改變，旋轉流體R產生之旋轉力之強度就會改變，可將被搬送物C之搬送速度調整自如。

如上述而得之為本發明之第1實施例之非接觸式浮起搬送裝置100係前述旋轉流體形成部130A、130B在前述搬送路面111之路寬方向S左右相互分離配設一對，以前述旋轉流體形成部130A、130B分別產生之旋轉流體Ra、Rb之旋轉方向設定為在前述搬送路面111之路寬方向S相互相反方向， 接受從前述左右一對之旋轉流體形成部130A、130B分別做為旋轉流體Ra、Rb溢出後合流之空氣之氣體接受凹部140設於在前述左右一對之旋轉流體形成部130A、130B之相互間延伸於搬送方向T之氣體合流區域A內，藉此，一對之旋轉流體形成部130A、130B可活用旋轉流體Ra、Rb之旋轉力而不附設接觸式之驅動機構就以簡便之裝置構成使被搬送物C在非接觸狀態下浮起同時順利搬送，且可調整往搬送方向T之前方區域(與T軸箭頭之方向相反方向)之搬送力(F1與F2之相對差)。

此外，前述旋轉流體形成部130A、130B具備設於前述搬送路面下且於搬送路面上開口之有底之周側壁131a、從該周側壁131a之切線方向往以周側壁131a圍繞之旋轉形成空間區域內噴射空氣以使旋轉流體Ra、Rb產生之氣體噴射口132，藉此，不需要馬達等旋轉構造而可將非接觸式浮起搬送裝置100簡化。

另外，在本實施例係存在於比前述搬送路面111低位置之氣體接受凹部140之底面部分朝向前述搬送路面111之背面側開放，藉此，與氣體接受凹部140沒有開放時相比，可使往搬送方向T之前方區域(與T軸箭頭之方向相反方向區域)作用之旋轉流體Ra、Rb之旋轉流體作用力增大而使搬送力增加。

此外，將從前述旋轉流體形成部130A、130B往搬送路面111與被搬送物C之間隙溢出而過剩滯留之氣體釋放之氣體釋放孔150分散配設於前述 搬送路面111，藉此，比起沒有設氣體釋放孔150時可使往搬送方向T之前方區域與後方區域作用之旋轉流體Ra、Rb之旋轉流體作用力F1、F2變大且使其差亦變大而使搬送力增加。

此外，前述旋轉流體形成部130A、130B做為可將前述氣體之噴射力擇一地選擇之其他零件裝卸自如地安裝於前述搬送路面111，藉此，不使用閥等噴射力調整手段就可調整往搬送方向T之旋轉流體作用力F1、F2而可調整搬送力等，其效果甚大。

【實施例2】

接著，針對為本發明之第2實施例之非接觸式浮起搬送裝置200，基於圖6與圖7說明。

在此，圖6係顯示本發明之第2實施例之非接觸式浮起搬送裝置之立體圖。圖7係從圖6之符號7觀看之俯視圖。

第2實施例之非接觸式浮起搬送裝置200係將第1實施例之非接觸式浮起搬送裝置100之旋轉流體形成部130A、130B之配置數與排列形態變更者，關於許多要素則與第1實施例之非接觸式浮起搬送裝置100共通，故關於共通之事項省略詳細之說明，僅賦予下兩位共通之200開頭之符號。

在為本發明之第2實施例之非接觸式浮起搬送裝置200係如於圖6與圖7顯示般，旋轉流體形成部230A與旋轉流體形成部230B在搬送路面211之 路寬方向S左右相互分離配設一對，且在搬送路面211之搬送方向T前後相互分離地配設有複數個。

另外，以旋轉流體形成部230A、230B分別產生之旋轉流體Ra、Rb之旋轉方向設定為在搬送路面211之路寬方向S相互相反方向，且設定為在搬送路面211之搬送方向T相互相同方向。

藉此，可獲得與上述之第1實施例同樣之效果。

另外，排列於搬送方向T之複數組之以旋轉流體形成部230A、230B產生之旋轉流體Ra、Rb分別對被搬送物C作用往搬送方向T之旋轉流體作用力F1、F2。而做為旋轉流體作用力F1、F2之相對差有搬送力對被搬送物C作用。

如上述而得之為本發明之第2實施例之非接觸式浮起搬送裝置200係前述旋轉流體形成部230A、230B在前述搬送路面211之路寬方向S左右相互分離配設一對且在搬送路面211之搬送方向T前後相互分離地配設有複數個，以旋轉流體形成部230A、230B分別產生之旋轉流體Ra、Rb之旋轉方向設定為在搬送路面211之路寬方向S相互相反方向，且設定為在搬送路面211之搬送方向T相互相同方向，接受從前述左右一對之旋轉流體形成部230A、230B分別做為旋轉流體Ra、Rb溢出後合流之空氣之氣體接受凹部240設於在前述左右一對之旋轉流體形成部230A、230B之相互間延伸於搬送方向T之氣體合流區域A內，藉此，一對之旋轉流體形成部230A、230B可活用旋轉流體Ra、Rb之旋轉力而不附設接觸式之驅動機構就以簡便之裝置構成使被搬送物C在非接觸狀態下浮起同時順利搬送，且與上述第1實 施例相比，可使搬送力更大等，其效果甚大。

【實施例3】

接著，針對為本發明之第3實施例之非接觸式浮起搬送裝置300，基於圖8A與圖8B說明。

在此，圖8A係顯示於本發明之第3實施例中氣體接受凹部340之比搬送路面311底側之部分閉塞時搬送力產生之原理之圖。圖8B係顯示於本發明之第3實施例中氣體接受凹部340之比搬送路面311底側之部分開放時搬送力產生之原理之圖。

第3實施例之非接觸式浮起搬送裝置300係將存在於比第1實施例之非接觸式浮起搬送裝置100之搬送路面111低位置之氣體接受凹部140之底面部分形成為開閉自如者，關於許多要素則與第1實施例之非接觸式浮起搬送裝置100共通，故關於共通之事項省略詳細之說明，僅賦予下兩位共通之300開頭之符號。

在為本發明之第3實施例之非接觸式浮起搬送裝置300係如於圖8A與圖8B顯示般，接受從前述左右一對之旋轉流體形成部330A、330B分別做為旋轉流體Ra、Rb溢出後合流之空氣之氣體接受凹部340設於在前述左右一對之旋轉流體形成部330A、330B之相互間延伸於搬送方向T之氣體合流區域A內。

此外，氣體接受凹部340之大小，特別是從搬送方向T觀察之剖面積被設為比旋轉流體作用力F1與旋轉流體作用力F2相等時之從搬送方向T觀察之氣體接受凹部340剖面積之小。

如於圖8A顯示般，因開閉切換手段360而存在於比前述搬送路面311低位置之氣體接受凹部340之底面部分為被閉塞之狀態。

此時，在左右一對之旋轉流體形成部330A、330B之間之中央部分側311a係雖有旋轉流體Ra、Rb流入氣體接受凹部340而有往與T軸箭頭之方向相反方向之流路被形成，但氣體接受凹部340之大小並不充分，故在左右一對之旋轉流體形成部330A、330B之間之中央部分側311a係旋轉流體Ra、Rb失去釋放空間而旋轉流體R之旋轉流體作用力fa1、fb1被抵銷。

另一方面，在左右一對之旋轉流體形成部330A、330B之路寬方向之兩外側311b係雙方之旋轉流體Ra、Rb不會相互干涉，故旋轉流體Ra、Rb之旋轉流體作用力fa2、fb2不會被抵銷。

於是，成為相對於在左右一對之旋轉流體形成部330A、330B之間之中央部分側311a往與T軸箭頭之方向相反方向作用之旋轉流體Ra、Rb之旋轉流體作用力F1，在左右一對之旋轉流體形成部330A、330B之路寬方向外側311b往T軸之箭頭方向作用之旋轉流體Ra、Rb之旋轉流體作用力F2較大之關係。

另外，因起因於前述之欲拉近之力D而產生之面摩擦而傳向被搬送物 C之力係比起往與T軸箭頭之方向相反方向作用之旋轉流體Ra、Rb之旋轉流體作用力F1，往T軸箭頭之方向作用之旋轉流體Ra、Rb之旋轉流體作用力F2較大。

因此，受到搬送力後被搬送物C係往T軸之箭頭方向移動。

接著，如於圖8B顯示般，因開閉切換手段360而存在於比前述搬送路面311低位置之氣體接受凹部340之底面部分為被切換為被開放之狀態。

於是，在左右一對之旋轉流體形成部330A、330B之間之中央部分側311a係提供進入氣體接受凹部340之旋轉流體Ra、Rb之空氣之充分之釋放場所而不會妨礙空氣之流動，與氣體接受凹部340被閉塞時相比，往與T軸之箭頭方向相反方向作用之旋轉流體Ra、Rb之旋轉流體作用力F1變大而搬送力增加。

亦即，旋轉流體Ra、Rb之旋轉流體作用力fa1、fb1不被抵銷，或被抵銷之程度較小。

於是，成為在左右一對之旋轉流體形成部330A、330B之間之中央部分側311a往與T軸箭頭之方向相反方向作用之旋轉流體Ra、Rb之旋轉流體作用力F1比在左右一對之旋轉流體形成部330A、330B之路寬方向外側311b往T軸之箭頭方向作用之旋轉流體Ra、Rb之旋轉流體作用力F2大之關係。

另外，因起因於前述之欲拉近之力D而產生之面摩擦而傳向被搬送物C之力係比起往T軸箭頭之方向作用之旋轉流體Ra、Rb之旋轉流體作用力F2，往與T軸箭頭之方向相反方向作用之旋轉流體Ra、Rb之旋轉流體作用 力F1較大。

因此，受到搬送力後被搬送物C係往與T軸箭頭之方向相反方向移動。

如上述而得之為本發明之第3實施例之非接觸式浮起搬送裝置300係存在於比前述搬送路面311低位置之氣體接受凹部340之底面部分形成為開閉自如，藉此，可切換被搬送物C之搬送時之移動方向等，其效果甚大。

【實施例4】

接著，針對為本發明之第4實施例之非接觸式浮起搬送裝置400，基於圖9A~圖9C說明。

在此，圖9A~圖9C係顯示本發明之第4實施例之氣體接受凹部440a~440c之變化之俯視圖。

第4實施例之非接觸式浮起搬送裝置400係將第1實施例之非接觸式浮起搬送裝置100之氣體接受凹部140之形狀或配置變更者，關於許多要素則與第1實施例之非接觸式浮起搬送裝置100共通，故關於共通之事項省略詳細之說明，僅賦予下兩位共通之400開頭之符號。

在第1變形例係如於圖9A顯示般，氣體接受凹部440a設於在左右一對之旋轉流體形成部430A、430B之相互間延伸於搬送方向T之氣體合流區域A內。

氣體接受凹部440a即使不配設於將左右一對之旋轉流體形成部430A、 430B之各自之中心連結之假想線上，只要配設在其附近，仍可獲得與上述之第1實施例同樣之作用效果。

在第2變形例係如於圖9B顯示般，氣體接受凹部440b設於在左右一對之旋轉流體形成部430A、430B之相互間延伸於搬送方向T之氣體合流區域A內。

氣體接受凹部440b係形成為俯視呈於搬送方向T較長之橢圓形。

此場合亦可獲得與上述之第1實施例同樣之作用效果。

在第3變形例係如於圖9C顯示般，氣體接受凹部440c設於在左右一對之旋轉流體形成部430A、430B之相互間延伸於搬送方向T之氣體合流區域A內。

氣體接受凹部440c係形成為俯視呈圓形，配設於相對於將在路寬方向S相鄰之兩個旋轉流體形成部430A、430B之各自之中心連結之假想線在搬送方向T錯開之位置。

此場合亦可獲得與上述之第1實施例同樣之作用效果。

100‧‧‧非接觸式浮起搬送裝置

110‧‧‧基座部

111‧‧‧搬送路面

120‧‧‧機台支架

130A‧‧‧旋轉流體形成部

130B‧‧‧旋轉流體形成部

140‧‧‧氣體接受凹部

150‧‧‧氣體釋放孔

A‧‧‧氣體合流區域

Claims (7)

1. 一種非接觸式浮起搬送裝置，使由氣體構成之旋轉流體產生之旋轉流體形成部配設於搬送被搬送物之平坦之搬送路面，使從前述旋轉流體形成部依序溢出之旋轉流體介在於被搬送物之底面與搬送路面之間隙以使被搬送物浮起，並以由前述旋轉流體之旋轉力產生之搬送力搬送被搬送物，其特徵在於：前述旋轉流體形成部在前述搬送路面之路寬方向左右相互分離配設一對，以前述旋轉流體形成部分別產生之旋轉流體之旋轉方向設定為在前述搬送路面之路寬方向相互相反方向，接受從前述左右一對之旋轉流體形成部分別做為旋轉流體溢出後合流之氣體之氣體接受凹部設於在前述左右一對之旋轉流體形成部之相互間延伸於搬送方向之氣體合流區域內。
2. 如申請專利範圍第1項之非接觸式浮起搬送裝置，其中，前述旋轉流體形成部在前述搬送路面之搬送方向前後相互分離地配設有複數個，以前述旋轉流體形成部分別產生之旋轉流體之旋轉方向設定為在前述搬送路面之搬送方向相互相同方向。
3. 如申請專利範圍第1項之非接觸式浮起搬送裝置，其中，前述旋轉流體形成部具備設於前述搬送路面下且於搬送路面上開口之有底之周側壁、以及從該周側壁之切線方向往以周側壁圍繞之旋轉形成空間區域內噴射前述氣體以使旋轉流體產生之氣體噴射口。
4. 如申請專利範圍第1項之非接觸式浮起搬送裝置，其中，存在於比前述搬送路面低位置之氣體接受凹部之底面部分朝向前述搬送路面之背面側開放。
5. 如申請專利範圍第1項之非接觸式浮起搬送裝置，其中，存在於比前述搬送路面低位置之氣體接受凹部之底面部分形成為開閉自如。
6. 如申請專利範圍第1項之非接觸式浮起搬送裝置，其中，將從前述旋轉流體形成部往搬送路面與被搬送物之間隙溢出而過剩滯留之氣體釋放之氣體釋放孔分散配設於前述搬送路面。
7. 如申請專利範圍第1項之非接觸式浮起搬送裝置，其中，前述旋轉流體形成部做為可將前述氣體之噴射力擇一地選擇之其他零件裝卸自如地安裝於前述搬送路面。