TW201544427A - 非接觸式浮起搬送裝置 - Google Patents

Abstract

提供一種活用旋轉流之旋轉力且不須附設接觸式驅動機構即能以簡單之裝置構成以非接觸狀態一邊使被搬送物浮起一邊搬送之非接觸式浮起搬送裝置。 非接觸式浮起搬送裝置(100)，產生由氣體構成之旋轉流之旋轉流形成部(130A,130B)，在搬送被搬送物C之平坦搬送路面(111)之路寬方向S左右彼此分離地配置有一對，在旋轉流形成部(130A,130B)分別產生之旋轉流之旋轉方向，係設定成在搬送路面(111)之路寬方向S彼此為反方向，藉此，使從旋轉流形成部(130A,130B)依序溢出之旋轉流介於被搬送物C之底面與搬送路面(111)之間隙以使被搬送物C浮起，且以旋轉流之旋轉力所產生之搬送力搬送被搬送物C。

Description

非接觸式浮起搬送裝置

本發明係關於一種在搬送被搬送物之搬送路面配置有產生旋轉流之旋轉流形成部且一邊藉由此旋轉流使被搬送物浮起一邊產生對搬送物之驅動力、以完全非接觸狀態使被搬送物浮起並搬送之非接觸式浮起搬送裝置，尤其是，關於使由太陽能電池用平板或用在行動電話、液晶電視、個人電腦用液晶螢幕等之顯示器用玻璃基板構成之被搬送物浮起並搬送之非接觸式浮起搬送裝置。

以往，作為非接觸搬送裝置，已知有下述非接觸搬送裝置，即在基台架之搬送面具備二個以上之旋轉流形成體，高度維持由液晶用玻璃等構成之被搬送物之浮起高度精度並同時使用接觸式驅動機構使被搬送物浮起並搬送，該旋轉流形成體，在具有從表面貫通至背面之橫剖面圓形之貫通孔之環狀構件之背面具備噴出口，藉由從此噴出口噴出空氣在該環狀構件之表面側產生朝向離開該表面之方向之旋轉流，且在該環狀構件之表面側之貫通孔之開口部附近產生往背面方向之空氣流動(參照專利文獻1及專利文獻2)。

專利文獻1：日本專利5237357號公報(尤其是，參照第3頁第6~7段落、圖1、圖2)

專利文獻2：國際公開WO2010/004800號公報(尤其是，參照請求項1、 圖3)

然而，上述習知非接觸搬送裝置，為了避免被搬送物在搬送面上之旋動或晃動並保持浮起高度精度，以旋轉流形成體之旋轉流之旋轉方向交互改變之方式在搬送方向配置複數個旋轉流形成體，藉此，刻意使從各旋轉流形成體往搬送面上送出之旋轉流之旋轉力抵銷，且呈現持續輸送旋轉流以使其介於被搬送物之底面與搬送面之間隙的浮起狀態，但為了將此浮起之被搬送物往搬送方向搬送，必須另外使用摩擦輥或帶體等接觸式驅動機構對被搬送物賦予用於搬送之驅動力來加以搬送，若附設此種接觸式驅動機構，則會有作為搬送裝置之裝置構成整體或其驅動控制變複雜之問題。

因此，本發明係為了解決上述習知技術之問題而構成，亦即，本發明之目的在於提供一種活用旋轉流之旋轉力且不須附設接觸式驅動機構即能以簡單之裝置構成以完全非接觸狀態一邊使被搬送物浮起一邊搬送之非接觸式浮起搬送裝置。

本申請請求項1之發明之非接觸式浮起搬送裝置，係在搬送被搬送物之平坦搬送路面配置有產生由氣體構成之旋轉流之旋轉流形成部，使從該旋轉流形成部依序溢出之旋轉流介於被搬送物之底面與搬送路面之間隙以使被搬送物浮起，且以該旋轉流之旋轉力所產生之搬送力搬送被搬送物，其特徵在於：該旋轉流形成部，在該搬送路面之路寬方向左右彼此分離地配置有一對；在該旋轉流形成部分別產生之旋轉流之旋轉方向，係設定成在該搬送路面之路寬方向彼此為反方向，藉此解決上述課題。

本申請請求項2之發明，除了請求項1記載之非接觸式浮起搬送裝置之構成外，該旋轉流形成部，在該搬送路面之搬送方向前後彼此分離地配置有複數個，且在該旋轉流形成部分別產生之旋轉流之旋轉方向，係設定成在該搬送路面之搬送方向彼此為同一方向，藉此解決上述課題。

本申請請求項3之發明，除了請求項1或請求項2記載之非接觸式浮起搬送裝置之構成外，該旋轉流形成部具備設在該搬送路面下且在搬送路面上開口之有底之周側壁、及從該周側壁之切線方向往周側壁所圍繞之旋轉形成空間區域內噴射該氣體以產生旋轉流之氣體噴射口，藉此進一步解決上述課題。

本申請請求項4之發明，除了請求項3記載之非接觸式浮起搬送裝置之構成外，使從該旋轉流形成部溢出至搬送路面與被搬送物之間隙而滯留過多之氣體排出之氣體解放孔，係分散配置在該搬送路面，藉此進一步解決上述課題。

本申請請求項5之發明，除了請求項3或請求項4記載之非接觸式浮起搬送裝置之構成外，調整該氣體之噴射力之噴射力調整手段，係設在到達該氣體噴射口之氣體路徑上，藉此進一步解決上述課題。

本申請請求項6之發明，除了請求項5記載之非接觸式浮起搬送裝置之構成外，該搬送路面朝向該搬送方向往上傾斜，藉此進一步解決上述課題。

本申請請求項7之發明，除了請求項3至請求項6中任一記載之非接觸式浮起搬送裝置之構成外，該旋轉流形成部，係作為可擇一地 選擇該氣體之噴射力之另一零件拆裝自如地安裝在該搬送路面，藉此進一步解決上述課題。

本發明之非接觸式浮起搬送裝置，在搬送被搬送物之平坦搬送路面配置有產生由氣體構成之旋轉流之旋轉流形成部，藉此使從旋轉流形成部依序溢出之旋轉流介於被搬送物之底面與搬送路面之間隙以使被搬送物浮起，不僅如此，可達到以下特有之效果。

根據本申請請求項1之發明之非接觸式浮起搬送裝置，旋轉流形成部，在搬送路面之路寬方向左右彼此分離地配置有一對，在旋轉流形成部分別產生之旋轉流之旋轉方向，係設定成在搬送路面之路寬方向彼此為反方向，藉此，根據以左右一對旋轉流形成部作用於被搬送物朝向搬送方向之前方區域之旋轉流作用力與朝向搬送方向之後方區域之旋轉流作用力之相對差將被搬送物之搬送方向定向，因此可活用旋轉流之旋轉力且不須附設接觸式驅動機構即能以簡單之裝置構成以非接觸狀態使被搬送物向搬送方向之前方區域浮起並同時搬送。

亦即，在沿著配置有左右一對旋轉流形成部之搬送路面之搬送方向之中央部分側，雙方之旋轉流無處可逃而彼此干涉，各旋轉流之旋轉力彼此抵銷，但在左右一對旋轉流形成部之路寬方向之兩外側，旋轉流之旋轉力不會彼此抵銷，其結果，相對於在左右一對旋轉流形成部彼此間往搬送方向之後方區域作用之旋轉流作用力，在左右一對旋轉流形成部之路寬方向之兩外側往搬送方向之前方區域作用之旋轉流作用力變大，因面摩擦傳至被搬送物之力，往搬送方向之前方區域作用之旋轉流作用力較往搬送方向之後方區域作用之旋轉流作用力大，因此不須附設接觸式驅動機構即能以 非接觸狀態使被搬送物向搬送方向之前方區域搬送。

又，若在旋轉流形成部內連續產生之旋轉流從旋轉流形成部朝向被搬送物側溢出至搬送路面上，則旋轉流之旋轉半徑因此溢出之旋轉流之遠心力擴大，在旋轉流之中心附近部分產生之氣壓相較於在旋轉流之旋轉部分產生之氣壓變低，此變低之氣壓作為負壓作用於被搬送物，藉此將被搬送物保持在將被搬送物往旋轉流形成部側吸引之力與以溢出之旋轉流使被搬送物浮起之力平衡之被搬送物之浮起位置，因此可在使被搬送物穩定之浮起支承狀態下將旋轉流作用力形成之搬送力確實地傳至被搬送物。

亦即，不僅往搬送方向對被搬送物附加氣體之力，在將被搬送物往旋轉流形成部側吸引之力作用之狀態下對被搬送物附加上述旋轉流作用力，因此可確實地將旋轉流作用力形成之搬送力傳至被搬送物。

根據本申請請求項2之發明之非接觸式浮起搬送裝置，除了請求項1之發明達成之效果外，旋轉流形成部，在搬送路面之搬送方向前後彼此分離地配置有複數個，且在旋轉流形成部分別產生之旋轉流之旋轉方向，係設定成在搬送路面之搬送方向彼此為同一方向，藉此，在排列在搬送方向之複數組旋轉流形成部產生之旋轉流之各個對被搬送物作用往搬送方向之旋轉流作用力，因此能使搬送力進一步變大。

根據本申請請求項3之發明之非接觸式浮起搬送裝置，除了請求項1或請求項2之發明達成之效果外，旋轉流形成部具備設在搬送路面下且在搬送路面上開口之有底之周側壁、及從該周側壁之切線方向往周側壁所圍繞之旋轉形成空間區域內噴射氣體以產生旋轉流之氣體噴射口， 藉此，以簡單且小型之構成形成旋轉流，因此不需要馬達等旋轉構造，可簡化非接觸式浮起搬送裝置。

根據本申請請求項4之發明之非接觸式浮起搬送裝置，除了請求項3之發明達成之效果外，使從旋轉流形成部溢出至搬送路面與被搬送物之間隙而滯留過多之氣體排出之氣體解放孔，係分散配置在搬送路面，藉此，此氣體解放孔成為滯留過多之氣體之排出處，不會妨礙從旋轉流形成部依序溢出之氣體之流動，因此相較於未設置氣體解放孔時，能使朝向搬送方向之前方區域及後方區域作用之旋轉流作用力變大且其差亦變大，使搬送力增加。

根據本申請請求項5之發明之非接觸式浮起搬送裝置，除了請求項3或請求項4之發明達成之效果外，調整氣體之噴射力之噴射力調整手段，係設在到達氣體噴射口之氣體路徑上，藉此，朝向搬送方向之前方區域作用之旋轉流作用力之大小成為可變自如，因此可藉由對被搬送物之搬送力之增減調整搬送速度。

根據本申請請求項6之發明之非接觸式浮起搬送裝置，除了請求項5之發明達成之效果外，搬送路面朝向搬送方向往上傾斜(即形成為斜坡)，藉此，能隨著噴射力調整手段進行之噴射力之增加調整，抵抗被搬送物之重力將被搬送物往上搬送，且隨著噴射力調整手段進行之噴射力之減少調整，無法抵抗被搬送物之重力將被搬送物往下搬送。

亦即，因重力而搬送路面之下坡方向之力作用於被搬送物，開始從氣體噴射口之噴射產生旋轉流、或者使噴射氣體之壓力變高或使氣體噴射口之口徑變大而增強旋轉流，藉此成為搬送力較往下方向之力大之關係，因 此能以上坡之方式使被搬送物移動。

又，使從氣體噴射口噴射之氣體之壓力消失以使旋轉流消失、或者使噴射氣體之壓力變低或使氣體噴射口之口徑變小而減少旋轉流，藉此成為往下方向之力較搬送力大之關係，因此能以下坡之方式使被搬送物移動。

根據本申請請求項7之發明之非接觸式浮起搬送裝置，除了請求項3至請求項6中之任一發明達成之效果外，旋轉流形成部，係作為可擇一地選擇氣體之噴射力之另一零件拆裝自如地安裝在搬送路面，藉此，僅更換旋轉流形成部即可改變旋轉流之旋轉力之強度，因此不使用閥等之噴射力調整手段即可調整往搬送方向之旋轉流作用力，可任意調整搬送力，不僅如此，能使旋轉流形成部之素材或製作加工之選擇多樣化。

100,200,300,400‧‧‧非接觸式浮起搬送裝置

110,210,310,410‧‧‧基座部

111,211,311,411‧‧‧搬送路面

411a‧‧‧搬送方向後方

411b‧‧‧搬送方向前方

120,220‧‧‧機台架

130A,230A,330A,430A‧‧‧旋轉流形成部

130B,230B,330B,430B‧‧‧旋轉流形成部

131,231,331,431‧‧‧導引凹部

132,432‧‧‧氣體噴射口

150,250‧‧‧氣體解放孔

470‧‧‧噴射力調整手段

C‧‧‧被搬送物

D‧‧‧往下方吸引之力

F1‧‧‧往搬送方向之後方區域作用之旋轉流作用力

fa1,fa2‧‧‧一方之旋轉流形成之旋轉流作用力

F2‧‧‧往搬送方向之前方區域作用之旋轉流作用力

fb1,fb2‧‧‧另一方之旋轉流形成之旋轉流作用力

H‧‧‧水平方向

R‧‧‧旋轉流

S‧‧‧路寬方向

T‧‧‧搬送方向

U‧‧‧浮起方向

圖1係顯示本發明第1實施例之非接觸式浮起搬送裝置之立體圖。

圖2係顯示圖1之符號2之部位之旋轉流形成部之放大立體圖。

圖3係顯示本發明之旋轉流形成部形成之旋轉流及往下方吸引之力產生之原理之概念剖面圖。

圖4係從圖1之符號4觀察之放大俯視圖，係顯示在第1實施例搬送力產生之原理之圖。

圖5係顯示本發明第2實施例之非接觸式浮起搬送裝置之立體圖。

圖6係從圖5之符號6觀察之俯視圖。

圖7係顯示本發明第3實施例之旋轉流形成部之配置之俯視圖。

圖8A係顯示本發明第4實施例之非接觸式浮起搬送裝置之概念側剖面 圖。

圖8B係顯示本發明第4實施例之非接觸式浮起搬送裝置之概念側剖面圖。

本發明之非接觸式浮起搬送裝置，係在搬送被搬送物之平坦搬送路面配置有產生由氣體構成之旋轉流之旋轉流形成部，使從旋轉流形成部依序溢出之旋轉流介於被搬送物之底面與搬送路面之間隙以使被搬送物浮起，且以旋轉流之旋轉力所產生之搬送力搬送被搬送物，其特徵在於：旋轉流形成部，在搬送路面之路寬方向左右彼此分離地配置有一對；在旋轉流形成部分別產生之旋轉流之旋轉方向，係設定成在搬送路面之路寬方向彼此為反方向，藉此，分別設定於左右一對旋轉流形成部之旋轉流之旋轉方向，根據以左右一對旋轉流形成部作用於被搬送物朝向搬送方向之前方區域之旋轉流作用力與朝向搬送方向之後方區域之旋轉流作用力之相對差將被搬送物之搬送方向定向，活用旋轉流之旋轉力且不須附設接觸式驅動機構即能以簡單之裝置構成以非接觸狀態使被搬送物浮起並同時搬送，如此則其具體實施形態並不限定。

亦即，關於在本發明採用之旋轉流形成部之具體實施形態，亦可藉由穿孔加工或切削加工等直接形成在構成搬送路面之基座部本身，但亦可形成為樹脂加工等形成之片狀之成形品等、與構成搬送路面之基座部分開獨立形成，在旋轉流形成部與基座部分開獨立形成之情形，能使旋轉流形成部之素材或製作加工之選擇多樣化，因此更佳。

又，關於旋轉流形成部之具體構造，只要從空氣等氣體形成旋轉流， 則並不限定。例如，亦可為藉由從旋轉流形成部之氣體噴射口噴射之氣體沿著往旋轉方向導引之導引凹部之深度3~10mm程度之周側壁流動形成旋轉流。作為俯視下之導引凹部之形狀並不限定。此導引凹部之具體形狀亦可為例如圓形、環狀、橢圓形、多角形、在圓形形成有缺口部之形狀等，更具體而言，更佳為附凸緣之圓形杯狀。

又，亦可為在具備周側壁之導引凹部內設置吸氣口與風扇，藉由風扇旋轉形成從周側壁所圍繞之導引凹部內朝向上方之旋轉流。

此外，關於本發明之旋轉流形成部之具體排列形態，如上述，分別設定於左右一對旋轉流形成部之旋轉流之旋轉方向，根據以左右一對旋轉流形成部作用於被搬送物朝向搬送方向之前方區域之旋轉流作用力與朝向搬送方向之後方區域之旋轉流作用力之相對差將被搬送物之搬送方向定向，活用旋轉流之旋轉力使被搬送物浮起並同時搬送，只要能構成如此之浮起搬送機構，則排列形態並不限定。旋轉流形成部，可為在搬送路面之路寬方向左右彼此分離地僅配置有一對之排列形態，或者，亦可為在搬送路面之路寬方向左右彼此分離地配置有一對且在搬送路面之搬送方向前後彼此分離地配置有複數個之排列形態。

再者，本發明中，在搬送路面之路寬方向左右彼此分離之一對旋轉流形成部，亦可在搬送方向以相同位置關係排列，亦可在搬送方向以彼此錯開之位置關係排列。

此外，本發明之搬送路面平坦是重要的，若此平坦之搬送路面之加工精度高，則當然可獲得被搬送物之更穩定之搬送狀態。又，視需要，為了抑制從旋轉流形成部放出之氣體從路寬方向之兩側緣露出過多且限制被搬 送物往搬送方向之導引，亦可將導引板設在搬送路面之兩側緣。

此外，作為藉由本發明之非接觸式浮起搬送裝置而浮起搬送之被搬送物，為例如由玻璃、塑膠、金屬等素材構成之薄板狀者，尤其是，作為較佳之被搬送物，為太陽能電池用平板或用在行動電話、液晶電視、個人電腦用液晶螢幕等之0.1至0.5mm程度之顯示器用玻璃基板。

(實施例1)

以下，根據圖1至圖4說明本發明之第1實施例即非接觸式浮起搬送裝置100。

此處，圖1係顯示本發明第1實施例之非接觸式浮起搬送裝置100之立體圖，圖2係顯示圖1之符號2之部位之旋轉流形成部130A之放大立體圖，圖3係顯示本發明之旋轉流形成部130A,130B形成之旋轉流R及往下方吸引之力D產生之原理之概念剖面圖，圖4係從圖1之符號4觀察之放大俯視圖，係顯示在第1實施例搬送力產生之原理之圖。

本發明之第1實施例即非接觸式浮起搬送裝置100之構成，如圖1至圖4所示，產生由氣體構成之旋轉流R之旋轉流形成部130A,130B係配置在搬送由例如0.3mm程度之顯示器用玻璃基板構成之薄板狀之被搬送物C之平坦之搬送路面111，使從旋轉流形成部130A,130B依序溢出之旋轉流R介於被搬送物C之底面與搬送路面111之間隙以使被搬送物C浮起，且以旋轉流R之旋轉力所產生之搬送力搬送被搬送物C。

具體而言，非接觸式浮起搬送裝置100具備基座部110、及支承此基座部110之機台架120。

此外，在基座部110之與被搬送物C對向之搬送路面111，樹脂成形加 工構成之附凸緣之圓形杯狀之旋轉流形成部130A,130B，在搬送路面111之路寬方向S左右彼此分離地配置有一對，亦即僅配置有一組。

在本實施例，旋轉流形成部130A,130B具備設在搬送路面下且在搬送路面上開口之有底之導引凹部131之周側壁131a、及從該周側壁131a之切線方向往周側壁131a所圍繞之旋轉形成空間區域內噴射作為氣體之空氣以產生旋轉流R之氣體噴射口132。

如圖2所示，旋轉流形成部130A(130B)具有將空氣往旋轉方向導引之導引凹部131、及沿著圍繞此導引凹部131之圓筒狀之周側壁131a分別噴射空氣之二個氣體噴射口132。

在本實施例之情形，此等二個氣體噴射口132係設在將圍繞導引凹部131之圓筒狀之周側壁131a劃分為二之位置，確實且穩定地產生旋轉流R。

此外，以上述方式構成之旋轉流形成部130A,130B，藉由旋轉流R溢出至搬送路面111與被搬送物C之間，使被搬送物C浮起例如0.05mm程度。

此處，旋轉流形成部130A之構造與旋轉流形成部130B之構造之關係，為以旋轉流形成部130A及130B間之T軸方向(被搬送物C之搬送方向)之假想中心線為基準之線對稱之關係，在旋轉流形成部130A,130B分別產生之旋轉流Ra,Rb(參照圖4)之旋轉方向，係設定成在搬送路面111之路寬方向S彼此為反方向。

此外，在本實施例，構成旋轉流形成部130A,130B之樹脂成形加工構成之附凸緣之圓形杯狀之構件，係以另一構件與基座部110分開獨立形成而嵌入基座部110，但亦可與基座部110本身一體形成。

又，機台架120係設成將基座部110相對於水平方向之姿勢調整自如，在本實施例，調整成基座部110之搬送路面111之設置姿勢成為水平。

此處，首先，使用圖3說明從旋轉流形成部130A(130B)放出之旋轉流R及將被搬送物C往下方之旋轉流形成部130A(130B)側吸引之力D分別產生之原理。

從上述旋轉流形成部130A(130B)之氣體噴射口132噴射空氣後，噴射之空氣沿著導引凹部131之周側壁131a流動，在導引凹部131內，旋轉流R連續持續地形成。

接著，空氣從氣體噴射口132依序噴射，因此從導引凹部131連續產生之旋轉流R朝向被搬送物C側往上方移動溢出。

此時，旋轉流R從導引凹部131之周側壁131a往上方移動，由於離開導引凹部131之周側壁131a，因此旋轉流R之旋轉半徑因溢出之旋轉流R之遠心力以旋轉流R之旋轉中心為基準擴大。

亦即，旋轉流R一邊往放射方向擴大一邊旋轉。

接著，旋轉流R之旋轉中心附近之空氣被拉向放射方向，旋轉流R之旋轉中心附近之氣壓降低，與在旋轉流R之旋轉部分產生之氣壓相較變低。

因此，負壓作用於被搬送物C，產生將被搬送物C往下方之旋轉流形成部130A(130B)側吸引之力D。

此吸引之力D與以溢出之旋轉流R使被搬送物C浮起之力平衡，將被搬送物保持在被搬送物之浮起位置。

接著，使用圖4說明在第1實施例搬送力產生之原理。

在本實施例，旋轉流形成部130A,130B，在搬送路面111之路寬方向S 左右彼此分離地配置有一對。

此外，U軸係顯示浮起方向(鉛垂方向)。

再者，在旋轉流形成部130A,130B分別產生之旋轉流Ra,Rb之旋轉方向，係設定成在搬送路面111之路寬方向S彼此為反方向。

藉此，根據以左右一對旋轉流形成部130A,130B作用於被搬送物C朝向搬送方向T之前方區域之旋轉流作用力F2與朝向搬送方向T之後方區域之旋轉流作用力F1之相對差將被搬送物C之搬送方向T定向，在該方向產生搬送力。

以下，具體說明之。

此處，設圖4中之左側之旋轉流形成部130A之旋轉流Ra往導引凹部131外流出時往與T軸箭頭之方向相反方向作用之旋轉流Ra之旋轉流作用力為fa1、往T軸箭頭之方向作用之旋轉流Ra之旋轉流作用力為fa2。

同樣地，設圖4中之右側之旋轉流形成部130B之旋轉流Rb往導引凹部131外流出時往與T軸箭頭之方向相反方向作用之旋轉流Rb之旋轉流作用力為fb1、往T軸箭頭之方向作用之旋轉流Rb之旋轉流作用力為fb2。

接著，設fa1、fb1之和、往搬送方向T之後方區域(與T軸箭頭之方向相反方向之區域)作用之旋轉流作用力為F1，設fa2、fb2之和、往搬送方向T之前方區域(T軸箭頭之方向之區域)作用之旋轉流作用力為F2。

此時，在沿著配置之左右一對旋轉流形成部130A,130B所夾之搬送路面111之搬送方向T之中央側部分111a，雙方之旋轉流Ra,Rb無處可逃而彼此干涉，各旋轉流Ra,Rb之旋轉力、亦即旋轉流作用力fa1,fb1 抵銷。

另一方面，在左右一對旋轉流形成部130A,130B之路寬方向之兩外側111b，雙方之旋轉流Ra,Rb不會彼此干涉，因此，旋轉流Ra,Rb之旋轉力、亦即旋轉流作用力fa2,fb2不會抵銷。

其結果，相對於在左右一對旋轉流形成部130A,130B彼此間往搬送方向T之後方區域作用之旋轉流Ra,Rb之旋轉流作用力F1，在左右一對旋轉流形成部130A,130B之路寬方向之兩外側111b往搬送方向T之前方區域作用之旋轉流Ra,Rb之旋轉流作用力F2變大。

再者，因起因於吸引被搬送物C而往下方之旋轉流形成部130A,130B側分別吸引之力D產生之面摩擦傳至被搬送物C之力，往搬送方向T之前方區域作用之旋轉流Ra,Rb之旋轉流作用力F2較往搬送方向T之後方區域作用之旋轉流Ra,Rb之旋轉流作用力F1大。

是以，承受搬送力之被搬送物C往T軸之箭頭方向移動。

亦即，左右一對旋轉流形成部130A,130B活用旋轉流Ra,Rb之旋轉力以非接觸方式使被搬送物C浮起並同時搬送。

此時，不僅往搬送方向對被搬送物C附加空氣之力，在上述負壓形成之吸引之力D作用於被搬送物C之狀態下，附加往搬送方向之旋轉流作用力F1,F2，因此可確實地將搬送力作為旋轉流作用力F1,F2之相對差傳至被搬送物C。

再者，在本實施例，使從旋轉流形成部130A,130B溢出至搬送路面111與被搬送物C之間隙而滯留過多之空氣排出之氣體解放孔150，係分散配置在搬送路面111。

藉此，氣體解放孔150成為滯留過多之氣體之排出處，不會妨礙從旋轉流形成部130A,130B依序溢出之空氣之流動。

亦即，相較於未設置氣體解放孔150之構成，能使朝向搬送方向T之前方區域及後方區域作用之旋轉流Ra,Rb之旋轉流作用力變大且其相對差亦變大，使搬送力增加。

又，在本實施例，旋轉流形成部130A,130B，係作為可擇一地選擇空氣之噴射力之另一零件拆裝自如地安裝在搬送路面111。

藉此，僅更換旋轉流形成部130A,130B即可改變旋轉流R之旋轉力之強度。

例如，藉由改變氣體噴射口132之孔之大小，旋轉流R之旋轉力之強度改變，可自由調整被搬送物C之搬送速度。

以上述方式獲得之本發明之第1實施例即非接觸式浮起搬送裝置100，旋轉流形成部130A,130B，在搬送路面111之路寬方向S左右彼此分離地配置有一對；在旋轉流形成部130A,130B分別產生之旋轉流Ra,Rb之旋轉方向，係設定成在搬送路面111之路寬方向S彼此為反方向，藉此，一對旋轉流形成部130A,130B活用旋轉流Ra,Rb之旋轉力且不須附設接觸式驅動機構即能以簡單之裝置構成以非接觸狀態使被搬送物C浮起並同時搬送，可在使被搬送物C穩定之浮起支承狀態下將旋轉流作用力F1,F2形成之搬送力(F12與F2之相對差)確實地傳至被搬送物。

又，旋轉流形成部130A,130B具備設在搬送路面下且在搬送路面上開口之有底之周側壁131a、及從該周側壁131a之切線方向往周側壁131a所圍繞之旋轉形成空間區域內噴射空氣以產生旋轉流Ra,Rb之氣體 噴射口132，藉此，不需要馬達等旋轉構造，可簡化非接觸式浮起搬送裝置100。

再者，使從旋轉流形成部130A,130B溢出至搬送路面111與被搬送物C之間隙而滯留過多之空氣排出之氣體解放孔150，係分散配置在搬送路面111，藉此，相較於未設置氣體解放孔150之構成，能使朝向搬送方向T之前方區域及後方區域作用之旋轉流Ra,Rb之旋轉流作用力F1,F2變大且其相對差亦變大，使搬送力增加。

又，旋轉流形成部130A,130B，係作為可擇一地選擇空氣之噴射力之另一零件拆裝自如地安裝在搬送路面111，藉此，不使用閥等之噴射力調整手段即可調整往搬送方向T之旋轉流作用力F1,F2，可調整搬送力等，其效果非常大。

(實施例2)

接著，根據圖5及圖6說明本發明之第2實施例即非接觸式浮起搬送裝置200。

此處，圖5係顯示本發明第2實施例之非接觸式浮起搬送裝置200之立體圖，圖6係從圖5之符號6觀察之俯視圖。

第2實施例之非接觸式浮起搬送裝置200係改變第1實施例之非接觸式浮起搬送裝置100之旋轉流形成部130A,130B之配置數及排列形態，關於大多要素，與第1實施例之非接觸式浮起搬送裝置100共通，因此關於共通事項省略詳細說明，僅附加後二位數共通之200多之符號。

在本發明第2實施例之非接觸式浮起搬送裝置200，如圖5及圖6所示，旋轉流形成部230A及旋轉流形成部230B，在搬送路面211之 路寬方向S左右彼此分離地配置有一對，且在搬送路面211之搬送方向T前後彼此分離地配置有複數個。

再者，在旋轉流形成部230A,230B分別產生之旋轉流Ra,Rb之旋轉方向，係設定成在搬送路面211之路寬方向S彼此為反方向，且設定成在搬送路面211之搬送方向T彼此為同一方向。

藉此，可獲得與上述第1實施例相同之效果。

再者，在排列在搬送方向T之複數組旋轉流形成部230A,230B產生之旋轉流Ra,Rb之各個對被搬送物C作用往搬送方向T之旋轉流作用力F1,F2。此外，搬送力作為旋轉流作用力F1,F2之相對差作用於被搬送物C。

以上述方式獲得之本發明之第2實施例即非接觸式浮起搬送裝置200，旋轉流形成部230A,230B，在搬送路面211之路寬方向S左右彼此分離地配置有一對，且在搬送路面211之搬送方向T前後彼此分離地配置有複數個；在旋轉流形成部230A,230B分別產生之旋轉流Ra,Rb之旋轉方向，係設定成在搬送路面211之路寬方向S彼此為反方向，且設定成在搬送路面211之搬送方向T彼此為同一方向，藉此，一對旋轉流形成部230A,230B活用旋轉流Ra,Rb之旋轉力且不須附設接觸式驅動機構即能以簡單之裝置構成以非接觸狀態使被搬送物C浮起並同時產生搬送力以非接觸方式搬送被搬送物C，與上述第1實施例之構成相較，能增大搬送力等，其效果非常大。

(實施例3)

接著，根據圖7說明本發明之第3實施例即非接觸式浮起搬送裝置300。

此處，圖7係顯示本發明第3實施例之旋轉流形成部330A,330B之配 置之俯視圖。

第3實施例之非接觸式浮起搬送裝置300係改變第2實施例之非接觸式浮起搬送裝置200之旋轉流形成部230A,230B之配置數及排列形態，關於大多要素，與第2實施例之非接觸式浮起搬送裝置200共通，因此關於共通事項省略詳細說明，僅附加後二位數共通之300多之符號。

在本發明之第3實施例即非接觸式浮起搬送裝置300，如圖7所示，旋轉流形成部330A及旋轉流形成部330B分別在搬送方向T相隔間隔配置有複數個。

此外，旋轉流形成部330A及旋轉流形成部330B係以在搬送方向T錯開一半間距之位置關係配置。

此情形，亦可獲得與上述第2實施例相同之作用效果。

(實施例4)

接著，根據圖8A及圖8B說明本發明之第4實施例即非接觸式浮起搬送裝置400。

此處，圖8A係顯示本發明第4實施例之從氣體噴射口432噴射之空氣之噴射力較既定噴射力高時之非接觸式浮起搬送裝置400之概念側剖面圖，圖8B係顯示噴射之空氣之噴射力較既定噴射力低時之非接觸式浮起搬送裝置400之概念側剖面圖。

此處，「既定噴射力」係指藉由重力作用於被搬送物C之從搬送方向前方411b往搬送方向後方411a之向下方向之力、與藉由旋轉流作用力作用於被搬送物C之從搬送方向後方411a往搬送方向前方411b之向上方向之力平衡時之氣體(空氣)之噴射力。

第4實施例之非接觸式浮起搬送裝置400係使第1實施例之非接觸式浮起搬送裝置100之基座部110相對於水平方向傾斜，關於大多要素，與第1實施例之非接觸式浮起搬送裝置100共通，因此關於共通事項省略詳細說明，僅附加後二位數共通之400多之符號。

在本發明之第4實施例即非接觸式浮起搬送裝置400，如圖8A及圖8B所示，搬送路面411朝向搬送方向T向上傾斜。

具體而言，基座部410相對於水平方向H傾斜，搬送路面411之搬送方向後方411a係設成較搬送路面411之搬送方向前方411b低。

是以，藉由重力從搬送方向前方411b往搬送方向後方411a之向下方向之力作用於被搬送物C。

又，調整從旋轉流形成部430A,430B之氣體噴射口432噴射之空氣之壓力之壓縮機或閥等噴射力調整手段470，係設在到達氣體噴射口432之氣體路徑上。

藉此，調整朝向搬送方向T之前方區域作用之旋轉流作用力之大小。

再者，能隨著噴射力調整手段470進行之噴射力之增加調整，抵抗被搬送物C之重力將被搬送物C往上搬送，且隨著噴射力調整手段470進行之噴射力之減少調整，無法抵抗被搬送物C之重力將被搬送物C往下搬送。

進一步詳細說明，如圖8A所示，藉由噴射力調整手段470使從氣體噴射口432噴射之空氣之噴射力較既定噴射力高以增強旋轉流R，藉此成為搬送力大於重力造成之向下方向之力之關係。

是以，被搬送物C係以上坡之方式移動。

又，如圖8B所示，藉由噴射力調整手段470使從氣體噴射 口432噴射之空氣之噴射力較既定噴射力低以減弱旋轉流R，藉此搬送力小於重力造成之向下方向之力。

是以，被搬送物C以下坡之方式移動。

此外，雖藉由噴射力調整手段470使從氣體噴射口432噴射之空氣之壓力之大小變化以調整噴射力，但即使藉由使氣體噴射口之口徑之大小變化使空氣量之多寡變化以調整噴射力、或切換噴射之有無以調整噴射力，亦可獲得相同之作用效果。

又，在本實施例，隨著噴射力調整手段470進行之噴射力之增加調整，抵抗被搬送物C之重力將被搬送物C往上搬送。

藉此，在以從搬送方向後方411a往搬送方向前方411b上坡之方式移動時，藉由重力從搬送方向前方411b往搬送方向後方411a之向下方向之力恆作為減速效果作用於被搬送物C。

亦即，容易控制對被搬送物C之速度。

以上述方式獲得之本發明之第4實施例即非接觸式浮起搬送裝置400，藉由調整空氣之噴射力之噴射力調整手段470設在到達氣體噴射口432之氣體路徑上，可對被搬送物C調整搬送力以調整搬送速度。

再者，藉由搬送路面411朝向搬送方向T向上傾斜，隨著噴射力調整手段470進行之噴射力之增加調整，抵抗被搬送物C之重力將被搬送物C往上搬送，且隨著噴射力調整手段470進行之噴射力之減少調整，無法抵抗被搬送物C之重力將被搬送物C往下搬送等，其效果非常大。

100‧‧‧非接觸式浮起搬送裝置

110‧‧‧基座部

111‧‧‧搬送路面

120‧‧‧機台架

130A‧‧‧旋轉流形成部

130B‧‧‧旋轉流形成部

Claims (7)

1. 一種非接觸式浮起搬送裝置，係在搬送被搬送物之平坦搬送路面配置產生由氣體構成之旋轉流之旋轉流形成部，使從該旋轉流形成部依序溢出之旋轉流介於被搬送物之底面與搬送路面之間隙以使被搬送物浮起，且以該旋轉流之旋轉力所產生之搬送力搬送被搬送物，其特徵在於：該旋轉流形成部，係在該搬送路面之路寬方向左右彼此分離配置一對；在該旋轉流形成部分別產生之旋轉流之旋轉方向，係設定成在該搬送路面之路寬方向彼此為反方向。
2. 如申請專利範圍第1項之非接觸式浮起搬送裝置，其中，該旋轉流形成部，係在該搬送路面之搬送方向前後彼此分離配置複數個，且在該旋轉流形成部分別產生之旋轉流之旋轉方向，係設定成在該搬送路面之搬送方向彼此為同一方向。
3. 如申請專利範圍第1或2項之非接觸式浮起搬送裝置，其中，該旋轉流形成部具備設在該搬送路面下且在搬送路面上開口之有底之周側壁、及從該周側壁之切線方向往周側壁所圍繞之旋轉形成空間區域內噴射該氣體以產生旋轉流之氣體噴射口。
4. 如申請專利範圍第3項之非接觸式浮起搬送裝置，其中，使從該旋轉流形成部溢出至搬送路面與被搬送物之間隙而滯留過多之氣體排出之氣體解放孔，係分散配置在該搬送路面。
5. 如申請專利範圍第3或4項之非接觸式浮起搬送裝置，其中，調整該氣體之噴射力之噴射力調整手段，係設在到達該氣體噴射口之氣體路徑上。
6. 如申請專利範圍第5項之非接觸式浮起搬送裝置，其中，該搬送路面 朝該搬送方向往上傾斜。
7. 如申請專利範圍第3至6項中任一項之非接觸式浮起搬送裝置，其中，該旋轉流形成部，係作為可擇一選擇該氣體之噴射力之另一零件拆裝自如地安裝在該搬送路面。