KR20110095240A - 비접촉 반송 장치 - Google Patents

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Abstract

제조 비용이나 운전 비용이 증대하거나, 장치의 설치 장소에 제한을 받는 것을 회피하면서, 피반송물이 반송 레일의 이음매에 걸려서 반송 불량이 생기거나, 피반송물에 상처가 나는 것을 방지한다.
복수의 반송 레일(2)을 유리(3)의 반송 방향을 따라 배치하고, 유리(3)를 부상시키면서 반송하는 비접촉 반송 장치(1)이며, 반송 레일(2)의 단부 이외의 반송면에 설치되고, 선회류를 생기게 하여 유리(3)를 부상시키는 선회류 형성체(4a, 4b)와, 반송 레일(2)의 단부(2a)의 반송면에 설치되고, 반송 레일(2) 위에 반송되는 유리(3)의 단부(3a)가 이웃하는 반송 레일(2) 사이의 이음매 또는 그 근방에 도달했을 때, 유리(3)의 단부(3a)에 공기를 뿜어, 유리(3)의 단부(3a)를 부상시키는 상면에서 보아 가늘고 긴 형상의 분출 슬롯(6c)을 구비한다.

Description

비접촉 반송 장치{NON-CONTACT CONVEYING DEVICE}
본 발명은 비접촉 반송 장치에 관한 것으로, 특히, 대형 FPD 패널이나 태양전지 패널 등의 부상 반송(浮上 搬送)에 사용하는 장치에 관한 것이다.
종래, FPD 패널이나 태양전지 패널의 생산시에, 한 장의 패널을 대형화함으로써 생산 효율을 높이는 방법이 채용되고 있다. 예를 들면, 액정 유리의 경우에는, 제 10 세대로 2850×3050×0.7mm의 크기가 된다. 그 때문에, 종래와 같이, 복수개 나열된 롤러 위에 액정 패널을 태우고 롤러를 굴려 반송하면, 샤프트의 휨이나 롤러 높이의 편차에 의해 유리에 국부적으로 강한 힘이 작용하여, 유리를 상처 입힐 우려가 있다. 또한, 프로세스 공정에서는, 비접촉인 것이 요구되고 있기 때문에, 공기 부상 반송이 채용되기 시작하고 있다.
공기 부상 반송 장치의 일례로서, 액정용의 유리를 부상시킴에 있어서, 작은 직경의 구멍을 복수개 설치하고, 이들 작은 직경의 구멍으로부터 공기가 분출하는 판 형상의 레일을 유리의 크기에 맞추어 복수개 서로 연결시켜 반송 장치를 구성하는 것이 행해지고 있다. 또, 다공질 카본을 레일재에 사용하고, 그 기공으로부터 공기를 분출시키는 방법도 존재한다.
그러나, 상기의 방법에서는, 1000×1000mm의 면적당의 공기 유량으로서, 다수 구멍 타입에서 250L/min, 카본 다공질 타입에서 150L/min을 요하여, 극히 많은 공기 유량이 요구된다. 또한 종래의 비접촉 반송 장치는, 진공흡착과 공기의 분출의 힘의 균형 원리를 이용하여 부상 높이의 정밀도를 유지하는데, 그 때, 진공흡착용에 항상 펌프를 운전할 필요가 있기 때문에, 막대한 에너지를 소비한다고 하는 문제도 있다.
그래서, 일본 특원 2008-75068호에 있어서, 본 출원인은, 부상 높이 정밀도를 높게 유지하면서, 공기 유량 및 에너지 소비량을 저감하기 위하여, 선회류(旋回流)를 이용한 비접촉 반송 장치를 제안했다. 이 비접촉 반송 장치는, 도 10에 도시하는 바와 같이, 표면으로부터 이면으로 관통하는 횡단면 원형의 관통구멍(61)과, 관통구멍(61) 내에 공기를 분출하여 선회류를 생기게 하는 유체 분출구(62)와, 유체 분출구(62)에 공기를 공급하는 둥근 고리 형상의 급기홈(63)을 갖는 선회류 형성체(64)를 구비한다. 그리고, 급기홈(63)에 공기를 공급하는 공기 공급로(65)가 설치된 기체(基體)(반송 레일)(66)의 표면에, 상기의 선회류 형성체(64)를 배치하여 반송 장치를 구성한다.
상기 비접촉 반송 장치에 의하면, 선회류 형성체(64)의 표면측에 상방을 향하는 상승 선회류를 발생시킴으로써 피반송물(유리)(67)를 부상시키고, 그것에 의하여, 종래의 1/2 정도의 공기 유량으로의 반송을 가능하게 한다. 그 한편으로, 관통구멍(61)의 개구부 근방에 부압에 의한 하방으로의 공기류를 생기게 하고, 부상 높이 정밀도를 유지하기 위한 진공흡착과 동등한 효과를 발휘시킨다. 이것에 의해, 진공흡착용의 펌프를 불필요로 하고, 에너지 소비량을 저감한다.
상기 비접촉 반송 장치를 사용하여, FPD 패널이나 태양전지 패널 등의 대형 패널을 반송하는 경우, 도 11에 도시하는 바와 같이, 표면상에 다수의 선회류 형성체(64)를 설치한 복수의 반송 레일(66)을 병렬로 배치하여 반송 레인을 구성하고, 피반송물(67)을 부상시키면서 이동시켜 간다.
그런데, 상기 반송 레인에 있어서, 피반송물(67)의 반송 거리를 연장시키는 경우에는, 반송 레일(66)을 피반송물(67)의 반송 방향으로 덧붙여서 거리를 연장하게 되는데, 그 때, 도 12에 도시하는 바와 같이, 반송 레일(66)의 이음매에 단차(71)가 생기거나, 반송 레일(66) 사이의 간극(72)이 커지면, 피반송물(67)이 반송 레일(66)의 이음매를 뛰어넘을 수 없고, 도중에 걸려 반송 불량이 생기거나, 피반송물(67)에 상처가 날 우려가 있다.
이 때문에, 반송 레일(66)의 설치에 있어서는, 레일 간의 이음매에 생기는 단차(71) 및 간극(72)의 각각을 허용값 내(예를 들면, 1000×1000×0.7(두께)mm의 유리에서 부상량이 300㎛인 경우에는, 단차(71)를 100㎛ 이내, 간극(72)을 30mm 이내)에 들어가게 하는 것이 요구된다. 그러나, 이 경우, 반송 레일(66)을 고정밀도로 가공할 필요가 생기기 때문에, 반송 장치의 제조비용이 증대할 우려가 있고, 또한 설치 장소의 조건에 따라서는, 반송 레일(66)의 가공정밀도에 관계없이, 이음매의 단차 등을 허용치 내에 들어가게 할 수 없는 경우가 있다.
상기의 문제를 해결하는 방법의 하나로서, 선회류 형성체(64)로부터의 상승 선회류를 증대하고, 피반송물(67) 전체의 부상량을 크게 하는 것을 생각할 수 있는데, 이 경우, 선회류 형성체(64)로의 공기 공급량을 증가할 필요가 있기 때문에, 운전 비용의 앙등을 초대한다고 하는 문제가 있다.
또한 다른 방법으로서, 도 13에 도시하는 바와 같이, 병렬 배치되는 반송 레일(66a∼66c) 사이에서 이음매의 위치를 비켜 놓고, 피반송물(67)이 양 옆의 반송 레일(66a, 66c)의 이음매에 위치할 때, 중앙의 반송 레일(66b)에 의해 피반송물(67)의 단부를 부상시키는 안이 있는데, 설치 장소나 대형 장치의 분할 설계의 제약상, 그와 같이 반송 레일(66)을 배치할 수 없는 경우가 있어, 반드시 만전하다고는 할 수 없다.
그래서, 본 발명은, 상기의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 제조 비용이나 운전 비용이 증대하거나, 장치의 설치장소에 제한을 받는 것을 회피하면서, 피반송물이 반송 레일의 이음매에 걸려서 반송 불량이 생기거나, 피반송물에 상처가 나는 것을 방지하는 것이 가능한 비접촉 반송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 복수의 반송 레일을 피반송물의 반송 방향을 따라 배치하고, 이 복수의 반송 레일 위에서 이 피반송물을 부상시키면서 반송하는 비접촉 반송 장치이며, 상기 반송 레일의 단부 이외의 반송면에 설치되고, 상승 선회류를 생기게 하여 상기 피반송물을 부상시키는 제 1 유체 분출 수단과, 상기 반송 레일의 단부의 반송면에 설치되고, 이 반송 레일 위에 반송되는 피반송물의 단부가, 이웃하는 상기 반송 레일 사이의 이음매 또는 그 근방에 도달했을 때, 이 피반송물의 단부에 유체를 뿜어, 이 피반송물의 단부를 부상시키는 제 2 유체 분출 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.
그리고, 본 발명에 의하면, 반송 레일의 단부에 제 2 유체 분출 수단을 설치하기 때문에, 반송 레일 위에 반송되는 피반송물의 단부가 반송 레일 사이의 이음매에 접근했을 때, 피반송물의 단부를 부상시킬 수 있어, 피반송물이 반송 레일 사이의 이음매의 단차나 간극을 용이하게 뛰어넘는 것이 가능하게 된다. 이 때문에, 반송 레일을 설치할 때의 이음매의 단차 및 간극의 허용값을 완화할 수 있어, 비접촉 반송 장치의 제조 비용이 증대하거나, 장치의 설치 장소에 제한을 받는 것을 회피하는 것이 가능하게 된다. 또, 피반송물 전체의 부상량을 크게 하는 것이 아니고, 반송 레일의 이음매에 위치하는 부분에만 부상력을 부여함으로써 반송 레일 사이의 뛰어넘기의 개선을 도모하기 위하여, 펌프로부터의 공기량을 증대할 필요가 없어, 운전 비용의 증대를 초래하지도 않는다.
상기 비접촉 반송 장치에 있어서, 상기 제 2 유체 분출 수단을, 상기 반송 레일의 단부에서, 이 반송 레일의 반송면으로부터 상방을 향하여 유체를 분출하는 상면에서 보아 세로로 긴 형상의 분출 슬롯으로 할 수 있다. 이것에 의하면, 제 2 유체 분출 수단에 공급되는 유체를 압축하면서 분출할 수 있기 때문에, 피반송물의 단부에 충분한 부상력을 부여할 수 있어, 피반송물의 단부를 적절하게 부상시키는 것이 가능하게 된다.
상기 비접촉 반송 장치에 있어서, 상기 제 2 유체 분출 수단을 상기 피반송물의 단면에 대하여 비스듬히 교차하도록 배치할 수 있다. 이것에 의하면, 제 2 유체 분출 수단으로부터의 유체를 피반송물의 단부에 뿜었을 때, 피반송물의 상방에 소용돌이 기류가 발생하는 것을 억제할 수 있어, 피반송물이 상하로 진동하는 것을 억제하는 것이 가능하게 된다.
상기 비접촉 반송 장치에 있어서, 상기 제 2 유체 분출 수단과 상기 피반송물의 단면이 이루는 각도를 10° 이하로 할 수 있다. 이러한 각도를 10° 이상으로 함으로써, 발생하는 소용돌이 기류가 약해져, 피반송물이 진동하는 것을 억제하는 것이 가능하게 된다.
상기 비접촉 반송 장치에 있어서, 상기 제 2 유체 분출 수단과 상기 피반송물의 단면이 이루는 각도를 10° 이상 45° 이하로 할 수 있다. 이러한 각도가 10° 이상의 경우에는, 상기한 바와 같이, 피반송물의 진동을 억제할 수 있고, 또, 이 효과는 각도가 90° 가까이 될 때까지 계속된다. 그러나, 이 각도가 크면 클수록, 길이방향으로의 돌출량이 커지기 때문에, 배치, 부착상의 스페이스를 필요로 하는 결점이 생긴다. 이 점을 고려하면, 제 2 유체 분출 수단과 피반송물의 단면이 이루는 각도는 45° 이하로 억제하는 것이 바람직하다.
상기 비접촉 반송 장치에 있어서, 상기 제 1 유체 분출 수단이, 표면으로부터 이면으로 관통하는 횡단면 원형의 관통구멍을 갖는 링 형상 부재의 이면에, 유체 분출구를 구비하고, 이 유체 분출구로부터 유체를 분출함으로써, 이 링 형상 부재의 표면측에 이 표면으로부터 떨어지는 방향으로 향하는 선회류를 생기게 함과 아울러, 이 링 형상 부재의 표면측의 상기 관통구멍의 개구부 근방에 상기 이면방향으로의 유체 흐름을 발생시키도록 구성할 수 있다.
상기 구성에 의하면, 유체 분출구로부터 유체를 분출시켜, 링 형상 부재의 표면측에, 이 표면으로부터 떨어지는 방향으로의 유체 흐름 및 선회류를 발생시켜 피반송물을 부상시키기 때문에, 종래의 1/2 정도의 100L/min 정도의 적은 유체 유량으로의 반송이 가능하게 된다. 또한 유체 분출구로부터 유체를 분출함으로써, 링 형상 부재 표면측의 관통구멍의 개구부 근방에 이면 방향으로의 유체 흐름을 생기게 함으로써, 부상 높이 정밀도를 유지하기 위한 진공흡착과 동등한 효과를 얻을 수 있기 때문에, 진공흡착용의 펌프가 불필요하게 되어, 에너지 소비량도 낮게 억제할 수 있다.
상기 비접촉 반송 장치에 있어서, 상기 제 1 유체 분출 수단이 상기 반송 레일의 반송면에 2열에 걸쳐 각 열에 복수개 배치되고, 일방의 열에 속하는 제 1 유체 분출 수단의 각각의 선회류의 방향과, 타방의 열에 속하는 제 1 유체 분출 수단의 각각의 선회류의 방향이 서로 상이하도록 구성할 수 있다. 이 구성에 의해, 인접하는 열의 이웃하는 제 1 유체 분출 수단으로부터의 선회류가 증강되어 제 1 유체 분출 수단으로부터 분출하는 유체에 의해 피반송물을 부상시키면서 반송할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명에 의하면, 제조 비용이나 운전 비용이 증대하거나, 장치의 설치 장소에 제한을 받는 것을 회피하면서, 피반송물이 반송 레일의 이음매에 걸려서 반송 불량이 발생하거나, 피반송물에 상처가 나는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다.
도 1은 본 발명에 따른 비접촉 반송 장치의 제 1 실시형태를 도시하는 평면도.
도 2는 도 1의 선회류 형성체를 도시하는 도면으로, (a)는 평면도, (b)는 (a)의 B-B선 단면도, (c)는 하면도, (d)는 (c)의 C-C선 단면도, (e)는 선회류 형성체의 이면을 (c)에 나타내는 선회류 형성체의 이면과 좌우대칭이 되도록 형성한 경우를 나타내는 하면도.
도 3은 도 1의 선회류 형성체를 반송 레일에 설치한 상태를 도시하는 도면으로, (a)는 정면 단면도, (b)는 (a)의 E-E선 단면도.
도 4(a)는 도 1의 영역(A)의 확대도, (b)는 (a)의 F-F선 단면도.
도 5는 반송 레일 사이의 이음매에 있어서의 유리의 반송 상태를 도시하는 도면.
도 6은 유리의 상방에서의 소용돌이 기류의 발생 상황을 도시하는 도면.
도 7은 본 발명에 따른 비접촉 반송 장치의 제 2 실시형태를 도시하는 평면도.
도 8(a)는 도 7의 영역(G)의 확대도, (b)는 (a)의 사시도.
도 9는 반송 레일 사이의 이음매에 있어서의 유리의 반송 상태를 도시하는 도면.
도 10은 종래의 비접촉 반송 장치를 도시하는 단면도.
도 11은 종래의 비접촉 반송 장치를 도시하는 평면도.
도 12는 반송 레일 사이의 이음매에 있어서의 유리의 반송 상태를 나타내는 도면.
도 13은 종래의 비접촉 반송 장치를 도시하는 평면도.
다음에 본 발명의 실시형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 반송용 유체로서 공기를 사용하고, 피반송물로서 액정용의 유리(3)를 반송할 경우를 예로 들어 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 비접촉 반송 장치의 제 1 실시형태를 나타내고, 이 비접촉 반송 장치(1)는, 유리(3)의 반송 방향으로 연장되는 각기둥 형상의 반송 레일(2)을, 유리(3)의 반송 방향 및 이 반송 방향과 직교하는 방향으로 나란하게 배치하여 구성된다.
각 반송 레일(2)의 표면 위에는, 복수의 선회류 형성체(4a, 4b)가 2열에 걸쳐 설치되고, 이들 선회류 형성체(4a, 4b)는 도 10에 도시하는 선회류 형성체(64)와 동일한 것이다. 각 선회류 형성체(4)는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 표면으로부터 이면으로 관통하는 관통구멍(41)과, 도 2(c) 및 (d)에 도시하는 바와 같이, 이면에, 공기통로로서의 오목부(42)와, 오목부(42)로부터의 공기를 관통구멍(41)의 내주면 근방에, 내주면에 대하여 접선방향으로 분출하기 위한 분출구(44)를 1쌍 구비한다.
한편, 반송 레일(2)의 표면(반송면)에는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 후술하는 급기 경로(5a, 5b)를 통하여 공기가 공급되는 관통구멍(45)과, 관통구멍(45)으로부터의 공기를 선회류 형성체(4a, 4b)의 이면에 설치된 오목부(42)(도 2 참조)에 공급하기 위한 평면에서 보아 원형상의 환상 홈(46)이 설치된다. 또한 반송 레일(2)의 내부에는, 도 4(a)에 도시하는 바와 같이, 반송 레일(2)의 장축을 따라 배치되고, 펌프(도시하지 않음)로부터 공급되는 공기를 반송하기 위한 2개의 급기 경로(5a, 5b)가 설치된다.
또한, 도 4(a), (b)에 도시하는 바와 같이, 반송 레일(2)의 일방의 단부(2a)에는, 복수의 부착 나사(6a)를 통하여 판 형상의 슬롯 플레이트(6)가 고착되고, 그 내부에는, 급기 경로(5a, 5b)와 연속하도록 배치된 오목부(공기 경로)(6b)와, 오목부(6b)의 상부로부터 반송 레일(2)의 표면을 향하여 뻗는 상면에서 보아 가늘고 긴 분출 슬롯(6c)이 설치된다. 이들 오목부(6b) 및 분출 슬롯(6c)은 반송 레일(2)의 단부(2a)에서 상방으로의 공기류를 생기게 하기 위하여 갖추어진다. 여기에서, 분출 슬롯(6c)의 길이(L)는 급기 경로(5a, 5b)의 직경보다도 크게 형성된다. 또, 분출 슬롯(6c)의 폭(D1)은, 오목부(6b)를 통하여 공급되는 공기를 압축하여 불어 내기(분출하기) 위해, 오목부(6b)의 폭(깊이)(D2)보다도 작게 형성되고, 구체적으로는 0.1mm 이하로 하는 것이 바람직하다.
다음에 상기 비접촉 반송 장치의 동작에 대하여, 도 1∼도 5를 참조하면서 설명한다.
도 3에 도시하는 바와 같이, 펌프로부터 반송 레일(2)의 급기 경로(5a, 5b)에 공급된 공기는, 관통구멍(45)을 통하여 환상 홈(46)에 공급되고, 환상 홈(46)으로부터 선회류 형성체(4a, 4b)의 오목부(42)에 공급되고, 분출구(44)로부터 관통구멍(41)에 분출한다. 이것에 의해, 선회류 형성체(4a, 4b)의 상방에 상승 선회류를 발생시켜, 이 선회류로 유리(3)를 부상시킨다. 또한 분출구(44)로부터 공기를 분출함으로써, 선회류 형성체(4a, 4b)의 관통구멍(41)의 중앙부(관통구멍(41)의 개구부 근방)에 부압(負壓)에 의한 이면 방향으로의 공기 흐름을 생기게 하여, 부상 높이 정밀도를 유지하기 위한 진공흡착과 동등한 효과를 얻을 수 있다.
또, 선회류 형성체(4a, 4b)의 선회류는 서로 역방향이며, 도 1의 지면상에서 상하좌우로 선회류 형성체(4a, 4b)를 번갈아 배치했기 때문에, 각각의 선회류 형성체(4a, 4b)가 형성한 선회류의 수평 분력이 상쇄된다. 이것에 의해, 선회류에 의해 유리(3)에 부가되는 힘은, 부상력 및 흡인력의 2개의 연직성분의 힘만으로 되어, 유리(3)의 회전을 확실하게 방지할 수 있다.
이렇게 하여 부상한 유리(3)는, 도시하지 않은 리니어 모터, 마찰 롤러, 벨트 등에 의해 반송 구동력이 부여되어, 도 1에 도시하는 화살표 방향으로 반송된다. 그리고, 유리(3)의 단부(3a)가 반송 레일(2)의 이음매에 접근하면, 슬롯 플레이트(6)의 분출 슬롯(6c)으로부터 분출하는 공기가 유리(3)의 이면에 뿜어져, 유리(3)의 단부(3a)에 부상력이 부여된다. 그 결과, 도 5에 도시하는 바와 같이, 유리(3)의 단부(3a) 및 그 근방 영역이 부상하여, 반송 레일(2)의 이음매의 단차(2c) 및 반송 레일(2) 사이의 간극(2d)을 유리(3)가 용이하게 뛰어넘을 수 있다.
이 때문에, 반송 레일(2)을 설치할 때의 단차(2c) 및 간극(2d)의 허용값을 완화할 수 있어, 비접촉 반송 장치의 제조 비용이 증대하거나, 장치의 설치 장소에 제한을 받는 것을 회피하는 것이 가능하게 된다. 또한 유리(3) 전체의 부상량을 크게 하는 것이 아니고, 반송 레일(2)의 이음매에 위치하는 부분에만 부상력을 부여함으로써 반송 레일(2) 사이의 뛰어넘기의 개선을 도모하기 때문에, 펌프로부터의 공기량을 증대할 필요가 없어, 운전 비용의 증대를 초대하지도 않는다.
또한, 상기 실시형태에서는, 유체로서 공기를 사용하는 경우에 대하여 설명했지만, 공기 이외의 질소 등의 프로세스 가스를 사용할 수도 있다. 또한 반송 레일(2) 사이의 이음매에서 유리(3)의 단부(3a)를 부상시키는 수단으로서, 상면에서 보아 가늘고 긴 형상의 분출 슬롯(6c)을 설치했지만, 상면에서 보아 타원 형상 등의 관통구멍을 설치하거나, 복수의 작은 관통구멍을 직선상에 나란하게 뚫어 설치하도록 해도 된다.
또한, 상기 실시형태에서는, 반송 레일(2)의 단부(2a)에 슬롯 플레이트(6)를 부설한 뒤에 분출 슬롯(6c)을 형성하지만, 슬롯 플레이트(6)를 부설하지 않고, 반송 레일(2)의 단부(2a)에서, 반송 레일(2)의 표면(반송면)으로부터 내부의 급기 경로(5a, 5b)에 연결되는 관통구멍을 뚫어 설치해도 된다.
도 7은 본 발명에 따른 비접촉 반송 장치의 제 2 실시형태를 도시하는 평면도이며, 도 8은 도 7의 영역(G)의 확대도이다. 또한, 이들 도면에 있어서, 앞의 도 1∼도 5와 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 붙이고, 그 설명을 생략한다.
제 1 실시형태의 비접촉 반송 장치(1)에서는, 분출 슬롯(6c)을 반송 레일(2)의 단면(2b)을 따라 배치하기 때문에(도 4(a) 참조), 유리(3)의 반송처측의 단면(3b)(도 1, 도 5 참조)과 분출 슬롯(6c)이 평행한 위치관계가 된다. 이 경우, 도 6에 도시하는 바와 같이, 유리(3)의 상방에 소용돌이 기류가 발생하기 쉬워져, 유리(3)를 상하로 진동시키는 경우가 있다.
그래서, 본 실시형태의 비접촉 반송 장치(10)에서는, 도 7 및 도 8에 도시하는 바와 같이, 반송 레일(2)과 슬롯 플레이트(6) 사이에 상면에서 보아 직각 삼각형의 사각(斜角) 블록(7)을 배치하고, 분출 슬롯(6c)을 유리(3)의 반송처측의 단면(3b)에 대하여 비스듬히 교차시킨다(슬롯 플레이트(6)의 배치면(7c)을 반송 레일(2)의 단면(2b)에 대하여 비스듬히 배치함). 또한, 사각 블록(7)의 내부에는, 도 8(a)에 도시하는 바와 같이, 반송 레일(2) 내의 급기 경로(5a, 5b)와 슬롯 플레이트(6) 내의 오목부(6b)를 연결시키는 급기 경로(7a, 7b)가 설치되고, 또한 슬롯 플레이트(6)의 배치면(7c)에는, 슬롯 플레이트(6)를 나사고정 하기 위한 복수의 부착구멍(도시하지 않음)이 설치된다.
상기 비접촉 반송 장치(10)에서는, 도 9에 도시하는 바와 같이, 유리(3)의 단부(3a)가 반송 레일(2)의 이음매에 접근했을 때, 유리(3)와 분출 슬롯(6c)이 비스듬히 교차하는 상태에서, 유리(3)의 이면에 공기가 뿜어진다. 이 경우, 한번에 소용돌이 기류가 발생하지 않기 때문에 진동을 발생시키는 힘은 약하여, 유리(3)의 상방에서의 소용돌이 기류의 발생이 경감된다. 이것에 의해, 유리(3)가 상하로 진동하는 것을 억제할 수 있어, 보다 원활하게 반송 레일(2)의 이음매를 이동시키는 것이 가능하게 된다.
여기에서, 유리(3)의 단면(3b)에 대한 분출 슬롯(6c)의 설치각도(θ)(도 8(a) 참조)는 10° 이상으로 하는 것이 바람직하다. 각도(θ)가 10° 미만인 경우에는, 소용돌이 기류의 영향이 커, 진동이 발생하기 쉬워질 우려가 있다. 한편, 각도(θ)가 10° 이상의 경우에는, 소용돌이 기류의 영향이 작아져 진동의 발생을 경감할 수 있다고 하는 이점을 갖는다. 이 이점은 각도(θ)가 90°가까이 될 때까지 계속되지만, 그 반면, 각도(θ)가 크면 클수록, 사각 블록(7)의 길이 방향으로의 돌출량이 커진다. 이 때문에, 배치, 부착상의 스페이스를 필요로 하는 결점이 생기고, 이 점을 고려하면, 각도(θ)는 45° 이하로 억제하는 것이 바람직하다. 따라서, 유리(3)의 단면(3b)에 대한 분출 슬롯(6c)의 설치각도(θ)는 10° 이상으로 하는 것이 바람직하고, 10° 이상 45° 이하로 하는 것이 더욱 바람직하다.
또한, 본 실시형태에서도, 제 1 실시형태와 같이 유체로서 공기 이외의 프로세스 가스를 사용할 수 있고, 또한 분출 슬롯(6c) 대신에 상면에서 보아 타원 형상의 관통구멍 등을 사용할 수 있고, 또한, 슬롯 플레이트(6)를 부설하지 않고, 사각 블록(7)의 표면으로부터 내부의 급기 경로(7a, 7b)에 연결되는 관통구멍을 사각 블록(7)에 뚫어 설치해도 된다.
1 비접촉 반송 장치
2 반송 레일
2a 단부
2b 단면
2c 단차
2d 간극
3 유리
3a 단부
3b 단면
4(4a , 4b) 선회류 형성체
5(5a , 5b) 급기 경로
6 슬롯 플레이트
6a 부착 나사
6b 오목부
6c 분출 슬롯
7 사각 블록
7a, 7b 급기 경로
7c 슬롯 플레이트의 배치면
10 비접촉 반송 장치
41 관통구멍
42 오목부
44 분출구
45 관통구멍
46 환상 홈

Claims (7)

  1. 복수의 반송 레일을 피반송물의 반송 방향을 따라 배치하고, 이 복수의 반송 레일 위에서 이 피반송물을 부상시키면서 반송하는 비접촉 반송 장치로서,
    상기 반송 레일의 단부 이외의 반송면에 설치되고, 상승 선회류를 생기게 하여 상기 피반송물을 부상시키는 제 1 유체 분출 수단과,
    상기 반송 레일의 단부의 반송면에 설치되고, 이 반송 레일 위에 반송되는 피반송물의 단부가, 이웃하는 상기 반송 레일 사이의 이음매 또는 그 근방에 도달했을 때, 이 피반송물의 단부에 유체를 뿜어, 이 피반송물의 단부를 부상시키는 제 2 유체 분출 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 유체 분출 수단은, 상기 반송 레일의 단부에서, 이 반송 레일의 반송면으로부터 상방을 향하여 유체를 분출하는 상면에서 보아 가늘고 긴 형상의 분출 슬롯인 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제 2 유체 분출 수단은 상기 피반송물의 단면에 대하여 비스듬히 교차하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 제 2 유체 분출 수단과 상기 피반송물의 단면이 이루는 각도가 10° 이상인 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.
  5. 제 3 항에 있어서, 상기 제 2 유체 분출 수단과 상기 피반송물의 단면이 이루는 각도가 10° 이상 45° 이하인 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제 1 유체 분출 수단은, 표면으로부터 이면으로 관통하는 횡단면 원형의 관통구멍을 갖는 링 형상 부재의 이면에, 유체 분출구를 구비하고, 이 유체 분출구로부터 유체를 분출함으로써, 이 링 형상 부재의 표면측에 이 표면으로부터 떨어지는 방향을 향하는 선회류를 생기게 함과 아울러, 이 링 형상 부재의 표면측의 상기 관통구멍의 개구부 근방에 상기 이면 방향으로의 유체 흐름을 생기게 하는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제 1 유체 분출 수단은 상기 반송 레일의 반송면에 2열에 걸쳐 각 열에 복수개 배치되고, 일방의 열에 속하는 제 1 유체 분출 수단의 각각의 선회류의 방향과, 타방의 열에 속하는 제 1 유체 분출 수단의 각각의 선회류의 방향이 서로 다른 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.
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