JPH06193746A - ゲートバルブ - Google Patents
ゲートバルブInfo
- Publication number
- JPH06193746A JPH06193746A JP34251792A JP34251792A JPH06193746A JP H06193746 A JPH06193746 A JP H06193746A JP 34251792 A JP34251792 A JP 34251792A JP 34251792 A JP34251792 A JP 34251792A JP H06193746 A JPH06193746 A JP H06193746A
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- Japan
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- plate
- fluid
- opening
- gate valve
- valve body
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被搬送物体を浮上させたままで圧力が異なる
雰囲気間に設けられたゲートを通過することができるよ
うにする。 【構成】 流体の流れを利用して空間に浮上させた状態
で板状体を搬送する気流搬送装置と大気圧以下の圧力で
用いられるロードロック室との仕切り部に配設され、こ
の仕切り部に面した開口３を開閉する弁体５、及び前記
開口３を通過する板状体に対し弁体５の上部に設けられ
たノズル７から流体を噴出させて浮上搬送する。
雰囲気間に設けられたゲートを通過することができるよ
うにする。 【構成】 流体の流れを利用して空間に浮上させた状態
で板状体を搬送する気流搬送装置と大気圧以下の圧力で
用いられるロードロック室との仕切り部に配設され、こ
の仕切り部に面した開口３を開閉する弁体５、及び前記
開口３を通過する板状体に対し弁体５の上部に設けられ
たノズル７から流体を噴出させて浮上搬送する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は物体の搬送制御技術、特
に、流体力によって板状体を浮上させて搬送するために
用いて効果のある技術に関するものである。
に、流体力によって板状体を浮上させて搬送するために
用いて効果のある技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年の半導体の微細化にともない、移送
中において移送物品に異物の付着しないことが要求され
ている。異物の付着としては、浮遊塵埃の付着や治具な
どの物体との接触による付着が主な原因である。異物付
着を防止するためには、異物発生源を板状体移送雰囲
気に入れないようにする、板状体の接触を最小限にす
る、などの対策が要求される。
中において移送物品に異物の付着しないことが要求され
ている。異物の付着としては、浮遊塵埃の付着や治具な
どの物体との接触による付着が主な原因である。異物付
着を防止するためには、異物発生源を板状体移送雰囲
気に入れないようにする、板状体の接触を最小限にす
る、などの対策が要求される。
【０００３】そこで、エアーなどの流体力によって半導
体ウェハなどの板状体を浮上させた状態で、かつ周囲の
部材（搬送路など）に対し非接触で移送する方法が採用
されている。この移送方式には磁気浮上搬送式、気流搬
送式などがある。
体ウェハなどの板状体を浮上させた状態で、かつ周囲の
部材（搬送路など）に対し非接触で移送する方法が採用
されている。この移送方式には磁気浮上搬送式、気流搬
送式などがある。
【０００４】従来、流体によって板状体を移送する装置
は、大気圧のみの移送であったが、大気圧以下の減圧で
の処理を行う装置への移送に際しては、処理室（スパッ
タ装置など）の前に雰囲気圧力を制御する前室（例え
ば、ロードロック室）を設け、その空間を仕切っている
ゲートバルブを通して移送が行われる。
は、大気圧のみの移送であったが、大気圧以下の減圧で
の処理を行う装置への移送に際しては、処理室（スパッ
タ装置など）の前に雰囲気圧力を制御する前室（例え
ば、ロードロック室）を設け、その空間を仕切っている
ゲートバルブを通して移送が行われる。
【０００５】このゲートバルブは、板状体の移送方向に
対して垂直方向に往復運動して弁の開閉を行うもので、
板状体を気流搬送装置から処理部へ送り込む動作と、処
理の済んだ板状体を処理部から気流搬送装置へ戻す動作
とが要求されるため、エアーの吹き出し方向を移送方向
に応じて切り換えできるようになっている。
対して垂直方向に往復運動して弁の開閉を行うもので、
板状体を気流搬送装置から処理部へ送り込む動作と、処
理の済んだ板状体を処理部から気流搬送装置へ戻す動作
とが要求されるため、エアーの吹き出し方向を移送方向
に応じて切り換えできるようになっている。
【０００６】また、ゲートバルブは、板状体移送の開口
部に押し付ける方式が主として用いられており、そのタ
イプにはリンク式、カム式、ボール式、コロ式、圧力式
などがある。現在、その中でも摺動による異物発生を防
止するために圧力式の無摺動バルブが開発されている。
この方式によるゲートバルブは、例えば、入江工研株式
会社、株式会社岸川特殊バルブなどから市販されてい
る。
部に押し付ける方式が主として用いられており、そのタ
イプにはリンク式、カム式、ボール式、コロ式、圧力式
などがある。現在、その中でも摺動による異物発生を防
止するために圧力式の無摺動バルブが開発されている。
この方式によるゲートバルブは、例えば、入江工研株式
会社、株式会社岸川特殊バルブなどから市販されてい
る。
【０００７】なお、ゲートバルブに関する技術には、例
えば、半導体基盤技術研究会「ウルトラクリーンテクノ
ロジー」１９９１年４月２５日発行、Ｖｏｌ．３
（２）、７０〜７２頁に記載がある。
えば、半導体基盤技術研究会「ウルトラクリーンテクノ
ロジー」１９９１年４月２５日発行、Ｖｏｌ．３
（２）、７０〜７２頁に記載がある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明者の検討によれ
ば、現状のゲートバルブは、板状体の移送方向に対する
厚みが１００ｍｍ程度あり、板状体を浮上させるために
は、床面より流体を噴出させるノズルの間隔が最低４０
〜５０ｍｍが必要であり、浮上させたままでの板状体の
移送は困難であるという問題がある。
ば、現状のゲートバルブは、板状体の移送方向に対する
厚みが１００ｍｍ程度あり、板状体を浮上させるために
は、床面より流体を噴出させるノズルの間隔が最低４０
〜５０ｍｍが必要であり、浮上させたままでの板状体の
移送は困難であるという問題がある。
【０００９】そこで、本発明の目的は、被搬送物体を浮
上させたままで仕切り部を通過することが可能な技術を
提供することにある。
上させたままで仕切り部を通過することが可能な技術を
提供することにある。
【００１０】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかにな
るであろう。
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかにな
るであろう。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下の通りである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下の通りである。
【００１２】すなわち、流体の流れを利用して空間に浮
上させた状態で板状体を搬送する気流搬送装置と大気圧
以下の圧力で用いられる処理部との仕切り部に配設さ
れ、前記仕切り部に面した開口部を開閉する弁体と、前
記開口部を通過する前記板状体に対し流体を噴出させて
浮上搬送する流体噴出部とを設けるようにしている。
上させた状態で板状体を搬送する気流搬送装置と大気圧
以下の圧力で用いられる処理部との仕切り部に配設さ
れ、前記仕切り部に面した開口部を開閉する弁体と、前
記開口部を通過する前記板状体に対し流体を噴出させて
浮上搬送する流体噴出部とを設けるようにしている。
【００１３】
【作用】上記した手段によれば、気流搬送装置からの板
状体が処理部へ抜ける開口部に進入しようとするとき、
開口部から弁体が抜け出ると同時に流体噴出部から流体
が吹き出し、板状体を浮上させたまま処理部へ搬送し、
通過終了と共に弁体が開口部を閉じる。したがって、板
状体はゲートバルブ内を浮上したまま通過することがで
き、簡単な構成により大気圧以下の雰囲気への浮上搬送
が可能になる。
状体が処理部へ抜ける開口部に進入しようとするとき、
開口部から弁体が抜け出ると同時に流体噴出部から流体
が吹き出し、板状体を浮上させたまま処理部へ搬送し、
通過終了と共に弁体が開口部を閉じる。したがって、板
状体はゲートバルブ内を浮上したまま通過することがで
き、簡単な構成により大気圧以下の雰囲気への浮上搬送
が可能になる。
【００１４】
【実施例１】図１は本発明によるゲートバルブの一実施
例を示す正面図であり、図２は図１の実施例の側面断面
図である。
例を示す正面図であり、図２は図１の実施例の側面断面
図である。
【００１５】ゲートバルブ１の外形は図１に示すように
“Ｔ”字形を成し、本体２の上部には通過する被搬送物
の断面サイズより大きめの開口３が開けられている。本
体２は図２に示すように箱状を成し、中心部には縦方向
に軸４が挿通され、この軸４の上端には板状の弁体５が
取り付けられている。
“Ｔ”字形を成し、本体２の上部には通過する被搬送物
の断面サイズより大きめの開口３が開けられている。本
体２は図２に示すように箱状を成し、中心部には縦方向
に軸４が挿通され、この軸４の上端には板状の弁体５が
取り付けられている。
【００１６】弁体５は、開口３の面積より大きい面積を
有し、その材料にはステンレスなどが用いられている。
さらに、弁体５の上部には、被搬送物（板状体）に対し
て流体を噴射するためのノズル部６が設けられている。
ノズル部６には多数のノズル７が所定間隔に形成されて
おり、これらに流体（エアー、ガスなど）を供給するた
めに、軸４及び弁体５には１本の流体供給孔８が設けら
れている。
有し、その材料にはステンレスなどが用いられている。
さらに、弁体５の上部には、被搬送物（板状体）に対し
て流体を噴射するためのノズル部６が設けられている。
ノズル部６には多数のノズル７が所定間隔に形成されて
おり、これらに流体（エアー、ガスなど）を供給するた
めに、軸４及び弁体５には１本の流体供給孔８が設けら
れている。
【００１７】本体２の下端には、軸４及び弁体５を上下
動させる駆動源となる駆動部９（ガスシリンダ）が設け
られ、外部からガスポンプ（不図示）からガスが供給さ
れる。さらに、駆動部９の下部には、流体供給孔８に連
通する流体供給口１０が設けられている。
動させる駆動源となる駆動部９（ガスシリンダ）が設け
られ、外部からガスポンプ（不図示）からガスが供給さ
れる。さらに、駆動部９の下部には、流体供給孔８に連
通する流体供給口１０が設けられている。
【００１８】次に、図３（圧力差のある２つの空間の仕
切り部に本発明によるゲートバルブ１を設置した状態を
示す主要部の断面図）及び図４（図２のＩＶ−ＩＶ断面
図）を用いて実施例の動作を説明する。
切り部に本発明によるゲートバルブ１を設置した状態を
示す主要部の断面図）及び図４（図２のＩＶ−ＩＶ断面
図）を用いて実施例の動作を説明する。
【００１９】ゲートバルブ１は、図３に示すように、気
流搬送装置１１とロードロック室１２との間に設置され
る。気流搬送装置１１（大気圧雰囲気で使用）及びロー
ドロック室１２（真空雰囲気で使用）の搬送路１３の床
面からは、その上方を通過する板状体１４（ここでは半
導体ウェハ）に向けてガスが吹き出している。
流搬送装置１１とロードロック室１２との間に設置され
る。気流搬送装置１１（大気圧雰囲気で使用）及びロー
ドロック室１２（真空雰囲気で使用）の搬送路１３の床
面からは、その上方を通過する板状体１４（ここでは半
導体ウェハ）に向けてガスが吹き出している。
【００２０】図３に示すように、板状体１４は図の左側
から右側へ搬送される。気流搬送装置１１内にあって
は、搬送路１３からのガスは矢印図示のように上方向へ
吹き出ており、板状体１４は浮上したまま気流搬送装置
１１内の右側へ搬送される。そして、ゲートバルブ１の
手前に板状体１４が到達した段階で、それまで閉じてい
た弁体５が下降し、ゲートが開けられる。ついで、ノズ
ル部６のノズル７よりガスを噴射させる。
から右側へ搬送される。気流搬送装置１１内にあって
は、搬送路１３からのガスは矢印図示のように上方向へ
吹き出ており、板状体１４は浮上したまま気流搬送装置
１１内の右側へ搬送される。そして、ゲートバルブ１の
手前に板状体１４が到達した段階で、それまで閉じてい
た弁体５が下降し、ゲートが開けられる。ついで、ノズ
ル部６のノズル７よりガスを噴射させる。
【００２１】ノズル７は、図４に示すように、板状体１
４（図３）の左右の振れを防止すべく両側から中心に向
かってガスが吹き出るノズル７ａ、このノズルのすぐ内
側に配設されてロードロック室１２方向へガスが吹き出
す一対のノズル７ｂ、及びこのノズル７ｂ間に配設され
て気流搬送装置１１方向へ吹き出るノズル７ｃを備えて
いる（なお、ノズル７ｂとノズル７ｃは、板状体１４に
推進力を付与すると共に加速または減速、さらには非常
停止後の復旧のために用いられる）。
４（図３）の左右の振れを防止すべく両側から中心に向
かってガスが吹き出るノズル７ａ、このノズルのすぐ内
側に配設されてロードロック室１２方向へガスが吹き出
す一対のノズル７ｂ、及びこのノズル７ｂ間に配設され
て気流搬送装置１１方向へ吹き出るノズル７ｃを備えて
いる（なお、ノズル７ｂとノズル７ｃは、板状体１４に
推進力を付与すると共に加速または減速、さらには非常
停止後の復旧のために用いられる）。
【００２２】これにより、開口３内に進入した板状体１
４はノズル７から吹き出たガスによって浮上し、板状体
１４は開口３の側壁部に接触することなく通過する。板
状体１４が開口３内を通過し終わると、ノズル７からの
ガスの噴出を止め、弁体５を上昇させ、ゲートを閉じ
る。
４はノズル７から吹き出たガスによって浮上し、板状体
１４は開口３の側壁部に接触することなく通過する。板
状体１４が開口３内を通過し終わると、ノズル７からの
ガスの噴出を止め、弁体５を上昇させ、ゲートを閉じ
る。
【００２３】
【実施例２】図５は本発明の他の実施例を示す側面断面
図である。ここでは、図２と同一であるものには同一引
用数字を用いたので、重複する説明は省略する。
図である。ここでは、図２と同一であるものには同一引
用数字を用いたので、重複する説明は省略する。
【００２４】前記実施例１においては、ノズル７を弁体
５の頂部に設けるものとしたが、これに代えて本実施例
では、図５に示すように、ゲートバルブ１の開口３の下
部の周辺にノズル１５を設け、ノズル７と同様の効果を
得ている。
５の頂部に設けるものとしたが、これに代えて本実施例
では、図５に示すように、ゲートバルブ１の開口３の下
部の周辺にノズル１５を設け、ノズル７と同様の効果を
得ている。
【００２５】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。
【００２６】例えば、開口３及び弁体５は半導体ウェハ
を対象にしたため、横長の形状にしたが、被搬送物の形
状に応じて任意の形にすることができる。
を対象にしたため、横長の形状にしたが、被搬送物の形
状に応じて任意の形にすることができる。
【００２７】また、以上の説明では、主として本発明者
によってなされた発明をその利用分野である半導体ウェ
ハに適用した場合について説明したが、これに限定され
るものではなく、同様に異物付着を防止する必要のある
板状体、例えば、ＣＤ、液晶表示器などに対しても本発
明を適用することができる。
によってなされた発明をその利用分野である半導体ウェ
ハに適用した場合について説明したが、これに限定され
るものではなく、同様に異物付着を防止する必要のある
板状体、例えば、ＣＤ、液晶表示器などに対しても本発
明を適用することができる。
【００２８】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記の通りである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記の通りである。
【００２９】すなわち、流体の流れを利用して空間に浮
上させた状態で板状体を搬送する気流搬送装置と大気圧
以下の圧力で用いられる処理部との仕切り部に配設さ
れ、前記仕切り部に面した開口部を開閉する弁体と、前
記開口部を通過する前記板状体に対し流体を噴出させて
浮上搬送する流体噴出部とを設けるようにしたので、板
状体はゲートバルブ内を浮上したまま通過することがで
き、簡単な構成により大気圧以下の雰囲気への浮上搬送
が可能になる。
上させた状態で板状体を搬送する気流搬送装置と大気圧
以下の圧力で用いられる処理部との仕切り部に配設さ
れ、前記仕切り部に面した開口部を開閉する弁体と、前
記開口部を通過する前記板状体に対し流体を噴出させて
浮上搬送する流体噴出部とを設けるようにしたので、板
状体はゲートバルブ内を浮上したまま通過することがで
き、簡単な構成により大気圧以下の雰囲気への浮上搬送
が可能になる。
【００３０】したがって、板状体が半導体ウェハの場
合、ＩＣなどの回路の微小化及び高性能化が可能にな
り、半導体装置や半導体素子及び製造装置の信頼性を向
上させることができる。
合、ＩＣなどの回路の微小化及び高性能化が可能にな
り、半導体装置や半導体素子及び製造装置の信頼性を向
上させることができる。
【図１】本発明によるゲートバルブの一実施例を示す正
面図である。
面図である。
【図２】図１の実施例の側面断面図である。
【図３】本発明によるゲートバルブを気流搬送装置とロ
ードロック室との仕切り部に設けた状況を示す断面図で
ある。
ードロック室との仕切り部に設けた状況を示す断面図で
ある。
【図４】図２のＩＶ−ＩＶ断面図である。
【図５】本発明によるゲートバルブの他の実施例を示す
側面断面図である。
側面断面図である。
１ ゲートバルブ ２ 本体 ３ 開口 ４ 軸 ５ 弁体 ６ ノズル部 ７，７ａ，７ｂ，７ｃ ノズル ８ 流体供給孔 ９ 駆動部 １０ 流体供給口 １１ 気流搬送装置 １２ ロードロック室 １３ 搬送路 １４ 板状体 １５ ノズル
Claims (3)
- 【請求項１】 流体の流れを利用して空間に浮上させた
状態で板状体を搬送する気流搬送装置と大気圧以下の圧
力で用いられる処理部との仕切り部に配設され、前記仕
切り部に面した開口部を開閉する弁体と、前記開口部を
通過する前記板状体に対し流体を噴出させて浮上搬送す
る流体噴出部とを具備することを特徴とするゲートバル
ブ。 - 【請求項２】 前記流体噴出部は、弁体の上部に設けら
れたノズルであることを特徴とする請求項１記載のゲー
トバルブ。 - 【請求項３】 前記流体噴出部は、バルブ本体の前記開
口の周縁に設けたノズルであることを特徴とする請求項
１記載のゲートバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34251792A JPH06193746A (ja) | 1992-12-22 | 1992-12-22 | ゲートバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34251792A JPH06193746A (ja) | 1992-12-22 | 1992-12-22 | ゲートバルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06193746A true JPH06193746A (ja) | 1994-07-15 |
Family
ID=18354361
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34251792A Pending JPH06193746A (ja) | 1992-12-22 | 1992-12-22 | ゲートバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06193746A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006222209A (ja) * | 2005-02-09 | 2006-08-24 | Shinko Electric Co Ltd | エア浮上ユニット、搬送方法、及びエア浮上搬送装置 |
| WO2010058689A1 (ja) * | 2008-11-18 | 2010-05-27 | オイレス工業株式会社 | 非接触搬送装置 |
-
1992
- 1992-12-22 JP JP34251792A patent/JPH06193746A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006222209A (ja) * | 2005-02-09 | 2006-08-24 | Shinko Electric Co Ltd | エア浮上ユニット、搬送方法、及びエア浮上搬送装置 |
| JP4501713B2 (ja) * | 2005-02-09 | 2010-07-14 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | エア浮上搬送装置 |
| WO2010058689A1 (ja) * | 2008-11-18 | 2010-05-27 | オイレス工業株式会社 | 非接触搬送装置 |
| JP5406852B2 (ja) * | 2008-11-18 | 2014-02-05 | オイレス工業株式会社 | 非接触搬送装置 |
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