WO2014125686A1 - 浮上搬送装置、搬送レール、および浮上搬送方法 - Google Patents

浮上搬送装置、搬送レール、および浮上搬送方法 Download PDF

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WO2014125686A1
WO2014125686A1 PCT/JP2013/080377 JP2013080377W WO2014125686A1 WO 2014125686 A1 WO2014125686 A1 WO 2014125686A1 JP 2013080377 W JP2013080377 W JP 2013080377W WO 2014125686 A1 WO2014125686 A1 WO 2014125686A1
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transport
conveyance
rail
rails
gap
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PCT/JP2013/080377
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佐藤　光
貴裕 安田
伊藤　彰彦
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オイレス工業株式会社
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B65G49/066—Transporting devices for sheet glass being suspended; Suspending devices, e.g. clamps, supporting tongs
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G51/00—Conveying articles through pipes or tubes by fluid flow or pressure; Conveying articles over a flat surface, e.g. the base of a trough, by jets located in the surface
    • B65G51/02—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases
    • B65G51/03—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases over a flat surface or in troughs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67784—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations using air tracks

Definitions

  • the present invention relates to a levitation transport technique in which a fluid film is formed between a transport surface and a transport target object, and the transport target object is transported in the transport direction while being lifted from the transport surface.
  • the present invention relates to a technique for further stabilizing the floating state of a conveyance object passing through a gap formed between conveyance surfaces of conveyance rails arranged in a row.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Application Laid-Open Publication No. 2004-126826 discloses a levitation conveyance device that forms an air film between a conveyance object such as a glass substrate used for a flat display panel (FDP) and a conveyance surface, and conveys the conveyance object while floating from the conveyance surface. 1 is known.
  • a conveyance object such as a glass substrate used for a flat display panel (FDP) and a conveyance surface
  • a levitation conveyance line is constructed by adding a conveyance rail along the conveyance direction of the conveyance object in order to extend the conveyance distance of the conveyance object.
  • discontinuous portions (steps, gaps) on the transport surface are formed between the transport rails adjacent in the transport direction (so-called joints between the transport rails), and the end of the transport object being transported (the end on the transport direction side) Part) may come into contact with the end of the following transport rail.
  • large glass substrates used for flat display panels such as liquid crystal display panels and plasma display panels are very thin and easily bent, so that during transport, the ends are adjacent in the transport direction of the transport object. There is a high possibility that it hangs down in the gap between the rails and comes into contact with the end of the subsequent transport rail.
  • a slot is formed in the front end surface (end surface on the transport direction side) of each transport rail so that the transport target can smoothly get over such a discontinuous portion of the transport surface.
  • the plate is fixed.
  • the slot plate is formed with ejection slots that compress the air supplied from the air supply path of the transport rail and inject the air toward the transport target along the width direction of the transport target.
  • the object to be conveyed reaches the discontinuous part of the conveying surface, it is lifted by receiving buoyancy caused by the blowing of compressed air from the slot of the slot plate. You can transfer to the rail smoothly.
  • Patent Document 1 when the compressed air is blown from the ejection slot of the slot plate to the end of the object to be conveyed, the object to be conveyed vibrates up and down due to the influence of the vortex generated above the object to be conveyed.
  • the ejection slots of the slot plate in an oblique direction with respect to the end face (end face on the transport direction side) of the transport object. Specifically, by interposing a triangular prism block formed with an air supply path for guiding air from the air supply path of the transfer rail to the ejection slot between the front end surface of the transfer rail and the slot plate, The slot plate is inclined with respect to the end surface of the object.
  • the ejection slot of the slot plate is arranged in an oblique direction with respect to the end surface of the object to be transported that passes through the discontinuous portion of the transport surface, thereby suppressing the sudden generation of vortex airflow above the object to be transported.
  • the vertical vibration of the object to be conveyed is prevented.
  • the slot plate ejection slots are arranged obliquely with respect to the front end surface of the transport object, so Although vibration is prevented, it is difficult to suppress fluctuations in the flying height due to the blowing of compressed air from the ejection slot of the slot plate. Further, the distance from the slot plate mounting surface of the triangular prism-shaped block to the other end surface of the subsequent transport rail becomes longer as it approaches the other side surface from one side surface of the transport rail.
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is a floating state of a conveyance object passing through a gap formed between conveyance surfaces of conveyance rails arranged at intervals in the conveyance direction. It is an object of the present invention to provide a levitating and conveying apparatus that can stabilize the above.
  • the end surface of the object to be transported other than the end surface along the transport direction passes over a gap formed between two transport surfaces adjacent in the transport direction.
  • the two conveyance surfaces before passing over one of the two conveyance surfaces located on the upstream side, the two conveyance surfaces enter the other conveyance surface located on the downstream side.
  • the present invention A levitation transport device that forms a fluid film between a transport surface along a transport direction and a transport target, and transports the transport target in the transport direction while levitating from the transport surface, A plurality of transport rails that eject the fluid for forming the fluid film between the transport surface and the transport target;
  • the plurality of transport rails are arranged along the transport direction such that the transport surfaces of the plurality of transport rails are aligned along the transport direction,
  • the two conveyance surfaces adjacent in the conveyance direction each have an edge portion connecting two positions where the positions in the conveyance direction are different from each other.
  • edges of the two transport surfaces are opposed to each other, and a gap intersecting the orthogonal direction of the transport direction is formed between the two transport surfaces, and the transport direction of the two facing edges is the same.
  • the edge of the one conveyance surface located on the downstream side of the other is located on the upstream side in the conveyance direction of the two positions connected by the edge, and the other edge located on the upstream side in the conveyance direction.
  • the position is positioned on the upstream side in the transport direction with respect to the downstream position in the transport direction.
  • a fluid film is formed between each of a plurality of transport surfaces arranged in the transport direction and a transport target by a fluid ejected from each of the transport surfaces, and the transport target Is a levitating conveyance method for conveying in the conveying direction while levitating from each of the plurality of conveying surfaces,
  • end faces other than the end faces along the transport direction are relatively inclined with respect to the direction of a gap formed between two transport surfaces adjacent in the transport direction. While passing over the gap, before passing over one of the two conveyance surfaces on the upstream side, it enters the other conveyance surface located on the downstream side.
  • the front end portion or the rear end portion of the conveyance target object being conveyed is eliminated over the entire region in the width direction so as to protrude onto the gap formed between adjacent conveyance surfaces in the conveyance direction.
  • the front end portion and the rear end portion of the conveyance object passing through the gap formed between the conveyance surfaces adjacent in the conveyance direction are always at least of the two conveyance surfaces at any position in the width direction. Partly supported by an air film formed between the two. For this reason, the floating state of the conveyance object passing through the gap formed between the conveyance surfaces of the conveyance rails arranged at intervals in the conveyance direction can be further stabilized.
  • FIG. 1 is an external view showing a schematic configuration of a transport table 100 of a levitation transport apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • 2A, 2 ⁇ / b> B, and 2 ⁇ / b> C are a left side view, a front view, and a right side view of the transport rail 1.
  • FIG. 3A shows the space between the transport surfaces 110A and 110B of two transport rails 1A and 1B adjacent in the transport direction among the plurality of transport rails 1 arranged at a predetermined interval S2 along the transport direction.
  • FIG. 3B and FIG. 3C are diagrams schematically showing the state of the front end portion 31 of the conveyance object 3 passing over the gap 4. .
  • FIGS. 6A and 6B are diagrams for explaining an example of the shape of the conveyance surface of the conveyance rails 1D and 1E constituting the conveyance table 100 and an example of the shape of the conveyance object 3.
  • the levitation transfer apparatus forms an air film between a plurality of transfer surfaces 110 and a transfer object (glass substrate or the like) 3 constituting a transfer path, and the transfer object 3 is transferred to each transfer surface.
  • a transport stand 100 or the like that transports in the transport direction along the transport path while floating from 110 is provided.
  • FIG. 1 partially shows a schematic configuration of the transport table 100.
  • FIG. 1 defines an orthogonal coordinate system XYZ having an X axis along the transport direction, a Z axis along the vertical direction, and a Y axis perpendicular to these two axes XZ. In other drawings, this orthogonal coordinate system XYZ is used as appropriate.
  • the transport table 100 includes a plurality of transport rails 1 arranged in a line with a predetermined interval 4 along the X axis, and a rail support mechanism 2 that supports these transport rails 1 and the like. Have.
  • Each conveyance rail 1 is a plate-like component that ejects compressed air supplied from an air supply pump from one surface (conveyance surface) 110 via an internal air supply path (not shown).
  • the conveyance rail 1 includes a back metal in which an air supply path is formed on one surface, and a porous sintered layer formed on one surface (air supply path forming surface) of the back metal.
  • the compressed air supplied to the air supply path located on the back side of the porous sintered layer is discharged from the surface of the porous sintered layer functioning as the conveying surface 110 through the pores inside the porous sintered layer.
  • the plurality of transport rails 1 are arranged in a row with a predetermined interval 4 along the X axis with the transport surface 110 facing upward at a predetermined height (predetermined position in the Z-axis direction). Are listed.
  • the rail support mechanism 2 is attached to each of a plurality of prismatic base frames 21 arranged along the Y axis with a predetermined interval S1 in the X axis direction, and at least one for each base frame 21, A leveling device (not shown) that supports the conveyance rail 1 on the base frame 21 so that the height (position in the Z-axis direction) can be adjusted is provided.
  • Each transport rail 1 is stretched over at least two base frames 21 in the X-axis direction with the transport surface 110 facing upward, and is supported at a plurality of positions by leveling devices attached to these base frames 21. ing.
  • the rail support mechanism 2 configured by the prismatic base frame 21 and the leveling device is shown as an example. However, the rail support mechanism 2 stably supports the plurality of transport rails 1. If possible, it is not always necessary to have such a structure.
  • FIG. 3A is an enlarged view of a gap 4 portion formed between the conveyance surfaces 110 of the two conveyance rails 1 arranged at a predetermined interval S2 in the X-axis direction.
  • each of the transport rails 1 is a plate-shaped component having an appropriate plate thickness (thickness in the Z-axis direction) t in which one surface 110 functions as the transport surface 110 described above. It is.
  • the transport surface 110 of the transport rail 1 has a substantially parallelogram shape, and among the four surfaces 120 to 123 in the thickness direction T adjacent to the transport surface 110, a pair of surfaces 120 and 122 facing each other are: The other pair of surfaces 121 and 123 arranged along the X axis are adjacent to each other in the X axis direction with a predetermined angle ⁇ (0 ° ⁇ ⁇ 90 °) inclined with respect to the X axis. Directed to one side.
  • the edges (the edge 112 connecting the two adjacent corners 116 and 119, and the edge 114 connecting the two adjacent corners 117 and 118) are arranged along the X axis, and have a predetermined length with respect to the X axis.
  • Another set of edges formed between the surfaces 121 and 123 inclined at an angle ⁇ (0 ° ⁇ ⁇ 90 °) and the conveying surface 110 edges connecting two adjacent corners 116 and 117) 113, an edge portion 115 connecting two adjacent corner portions 118 and 119
  • has a predetermined angle ⁇ with respect to the X axis the smaller corner portions 116 and 118 of the corner portions on both sides of the edge portions 113 and 115).
  • the surfaces 120 and 122 arranged along the X-axis are referred to as side surfaces 120 and 122, and one of the surfaces 121 and 123 directed toward the adjacent transport rail 1 in the X-axis direction is directed in the transport direction.
  • the surface 121 is referred to as a front end surface 121, and the other surface 123 oriented in the direction opposite to the conveyance direction is referred to as a rear end surface 123.
  • positioned at the start point and end point of a conveyance path does not necessarily need to have the parallelogram-shaped conveyance surface 110, and the conveyance rail 1 arrange
  • the front end surface 121 directed toward the next conveyance rail 1 on the conveyance path only needs to be inclined at a predetermined angle ⁇ (0 ° ⁇ ⁇ 90 °) with respect to the X axis, and is arranged at the end point of the conveyance path. If the rear end surface 122 directed toward the previous transport rail 1 on the transport path is inclined at a predetermined angle ⁇ (0 ° ⁇ ⁇ 90 °) with respect to the X axis, Good.
  • each transport rail 1 When such transport rails 1 are arranged in a line along the X axis with the transport surface 110 facing upward, the front end surface 121 of each transport rail 1 is adjacent to the transport rail 1 in the X axis direction.
  • the rear end surface 123 of the matching transport rail 1 is disposed substantially parallel to each other with a predetermined interval S2 in the X-axis direction. For this reason, between the two conveyance surfaces 110 adjacent on the conveyance path in the X axis direction, the gaps 4 in the direction oblique to the X axis are formed by the edges 113 and 115 inclined at a predetermined angle ⁇ with respect to the X axis. Is formed.
  • the direction width S2 is determined so as to satisfy b> S2 ⁇ tan ⁇ .
  • one of the transport surfaces 110B positioned on the downstream side in the transport direction corresponds to the angle ⁇ .
  • the corner 118 on the end surface 123 side is positioned on the upstream side in the transport direction with respect to the corner 116 on the front end surface 121 side corresponding to the angle ⁇ of the other transport surface 110A located on the upstream side in the transport direction.
  • 3B and 3C among the plurality of transport rails 1 arranged at a predetermined interval S2 along the X axis, transport of two transport rails 1A and 1B adjacent in the X axis direction.
  • the state of the front-end part 31 of the conveyance target object 3 which passes on the clearance gap 4 formed between surface 110A, 110B is shown typically.
  • 3B and 3C in order to distinguish between the two conveyance rails 1 adjacent to each other in the X-axis direction and their conveyance surfaces 110, the upstream side in the conveyance direction (the front side in the conveyance direction).
  • the reference numerals 1A and 110A are attached to the transport rail 1 and its transport surface 110 installed on the transport rail 1), and the transport rail 1 and its transport surface 110 installed on the downstream side in the transport direction (rearward in the transport direction) are denoted by reference numerals. 1B and 110B are attached.
  • the front end surface 31A of the transport target object 3 is still positioned on the transport surface 110A of the transport rail 1A, and therefore the front end portion 31 of the transport target object 3 and the transport target object 3 are transported.
  • An air film is formed between the rail 1A and the conveyance surface 110A by compressed air ejected from the conveyance surface 110A. For this reason, even if the front end portion 31 of the conveyance object 3 enters the clearance 4 between the conveyance surfaces 110 and 110B of the two conveyance rails 1A and 1B, air is generated in the region on the other side surface 120 side of the conveyance rail 1A. Continue to receive partial pressure from the membrane.
  • the front end surface 31A of the conveyance target 3 is the front end of the conveyance surface 110A of the conveyance rail 1A on the other side surface 120 side of the conveyance rail 1A.
  • the surface side corner portion 116, on the side surface 122 side of the next transport rail 1B it passes over the rear end surface side corner portion 118 of the transport surface 110B of the next transport rail 1B, and the next transport rail 1B. It enters on the conveyance surface 110B of the rail 1B.
  • an air film is formed between the front end portion 31 of the conveyance object 3 and the conveyance surface 110B of the next conveyance rail 1B by compressed air ejected from the conveyance surface 110B.
  • the front end portion 31 receives the pressure of the air film in both regions on the other side surface 120 side of the transport rail 1A and one side surface 122 side of the next transport rail 1B, that is, regions on both sides in the Y-axis direction.
  • the front end surface 31A of the conveyance target 3 passes on the front end surface corner portion 116 of the conveyance surface 110A of the conveyance rail 1A on the other side surface 120 side of the conveyance rail 1A
  • the front end surface 31A of the conveyance object 3 is already positioned on the conveyance surface 110B of the next conveyance rail 1B, and the conveyance surface 110B and the conveyance object of the next conveyance rail 1B.
  • An air film is formed between the three front end portions 31 and the compressed air ejected from the conveying surface 110B.
  • the rear end portion 32 (the belt-like region in the Y direction including the other end surface 32A directed in the opposite direction of the transport direction, see FIG. 1) of the transport target 3 being transported is also adjacent to the two in the X-axis direction. While passing over the gap 4 formed between the transport surfaces 110A and 110B, it is always formed between at least one of the two transport surfaces 110A and 110B at any position in the Y-axis direction. Partially supported by an air film. 4A and 4B, among the plurality of transport rails 1 arranged at a predetermined interval S2 along the X axis, transport of two transport rails 1A and 1B adjacent in the X axis direction is performed.
  • the state of the rear-end part 32 of the conveyance target 3 which passes on the clearance gap 4 formed between surface 110A, 110B is shown typically.
  • 4A and 4B in order to distinguish between two transport rails 1 adjacent to each other in the transport direction and their transport surfaces 110, the transport rail 1 installed on the upstream side in the transport direction and Reference numerals 1A and 110A are attached to the transport surface 110, and reference numerals 1B and 110B are attached to the transport rail 1 installed on the downstream side in the transport direction and the transport surface 110 thereof.
  • An air film is formed between the conveyance surface 110A of the conveyance rail 1A and the compressed air ejected from the conveyance surface 110A. For this reason, even if the rear end portion 32 of the conveyance target 3 enters the gap 4 between the conveyance surfaces 110 and 110B of the two conveyance rails 1A and 1B, it is a region on the other side surface 120 side of the conveyance rail 1A. It continues to receive partial pressure from the air film.
  • the rear end surface 32A of the conveyance object 3 is on the other side surface 120 side of the conveyance rail 1A, and the front end of the conveyance surface 110A of the conveyance rail 1A.
  • the surface side corner portion 116, on the side surface 122 side of the next transport rail 1B it passes over the rear end surface side corner portion 118 of the transport surface 110B of the next transport rail 1B, and the next transport rail 1B. It enters on the conveyance surface 110B of the rail 1B.
  • an air film is formed between the rear end portion 32 of the conveyance object 3 and the conveyance surface 110B of the next conveyance rail 1B by compressed air ejected from the conveyance surface 110B.
  • the rear end portion 32 receives the pressure of the air film in both regions on the other side surface 120 side of the transport rail 1A and one side surface 122 side of the next transport rail 1B, that is, regions on both sides in the Y-axis direction.
  • the rear end surface 32A of the conveyance object 3 passes on the front end surface corner portion 116 of the conveyance surface 110A of the conveyance rail 1A on the other side surface 120 side of the conveyance rail 1A, On one side 122 side of the rail 1B, the rear end surface 32A of the conveyance object 3 is already positioned on the conveyance surface 110B of the next conveyance rail 1B, and the conveyance surface 110B and the conveyance object of the next conveyance rail 1B. 3 is formed with an air film formed by compressed air ejected from the conveying surface 110B.
  • the rear end portion 32A of the conveyance object 3 is the rear end surface 32A of the conveyance object 3.
  • the pressure of the air film is partially received in the region on the one side surface 122 side of the next transport rail 1B.
  • the plurality of transport rails 1 arranged at intervals along the transport direction are respectively between the transport surfaces 110 of the transport rails 1 adjacent in the transport direction.
  • One of the transport surfaces 110B that is positioned protrudes toward the downstream of the transport direction that the other transport surface 110A that is positioned on the upstream side of the transport direction has the tip of the corner 118 that protrudes upstream of the transport direction. It is positioned on the upstream side in the transport direction from the tip of the corner portion 116.
  • the front end surface 31A and the rear end surface 32A of the conveyance target 3 span between the two conveyance surfaces 110A and 110B adjacent in the conveyance direction over the entire area in the width a direction (Y-axis direction, see FIG. 1).
  • the front end portion 31 and the rear end portion 32 of the conveyance object 3 are always transferred over the gap 4 between the two conveyance surfaces 110A and 110B. It is located on at least one of the surfaces 110A and 110B and partially receives the pressure of the air film from the compressed air from at least one of the surfaces.
  • the front end portion 31 and the rear end portion 32 of the transport target object 3 between the two transport rails 1A and 1B adjacent in the transport direction are prevented from dropping, the front end portion 31 and the rear end portion of the transport target object 3 are prevented. 32 can smoothly transfer from the transport rail 1A to the next transport rail 1B. For this reason, since it is not necessary to raise the front end part 31 and the rear end part 32 of the conveyance target object 3 high by the blowing up of the compressed air from the ejection slot of the slot plate, between the two conveyance surfaces 110A and 110B adjacent in the conveyance direction. It is possible to further suppress fluctuations in the flying height of the conveyance target 3 when passing over the gap 4. Further, since it is not necessary to attach a slot plate, the manufacturing cost is reduced accordingly.
  • the gap 4 between the two transport surfaces 110A and 110B adjacent in the transport direction does not partially expand.
  • the front end portion 31 and the rear end portion 32 of the conveyance object 3 can pass smoothly while floating above the gap 4 at any position in the width a direction (Y-axis direction).
  • each transport rail 1 has a parallelogram-shaped transport surface 110
  • a plurality of transport rails 1C having a trapezoidal transport surface 110C as shown in FIG. 5A are spaced between two transport surfaces 110C adjacent in the transport direction along a direction oblique to the transport direction. 4 may be arranged in a line along the transport direction while changing the direction alternately.
  • the edge 113 of the upstream conveyance surface 110F1 of the conveyance surfaces 110F1 and 110F2 of the two conveyance rails 1F adjacent in the conveyance direction is formed stepwise.
  • An edge 115 of the downstream conveyance surface 110F2 is formed in a reverse shape of the edge 113 of the upstream conveyance surface 110F1, and a stepped gap 4 is formed between them in the width direction (Y (Axial direction) may be formed so as to intersect, or as shown in FIG. 5 (C), the upstream side of the transport surfaces 110G1 and 110G2 of the two transport rails 1G adjacent in the transport direction.
  • the edge portion 113 of the surface 110G1 is formed in a curved shape, and the edge portion 115 of the downstream side conveyance surface 110G2 is formed in an inverted shape of the edge portion 113 of the upstream side conveyance surface 110G1, and curved between them.
  • During 4 may be formed so as to intersect with the width direction of the conveying object 3 (Y-axis direction). Also in these cases, one corner 118F, 118G of the rear end face side corners of one of the two conveyance surfaces 110F2, 110G2 located on the downstream side in the conveyance direction among the two conveyance surfaces adjacent in the conveyance direction. Is positioned upstream in the transport direction with respect to one corner 116F, 116G of the front end surface side corners of the other transport surfaces 110F1, 110G1 positioned on the upstream side in the transport direction.
  • the corners 116 and 118 located at the edge ends of the two transport surfaces 110A and 110B adjacent in the transport direction protrude toward the other transport surfaces 110B and 110A.
  • the edges 113 and 115 of the two transport surfaces adjacent in the transport direction are protruded toward the other transport surface at either position in the Y direction, respectively. It is formed so as to pass through two places with different positions, and the protruding portion of the edge 113 of the one conveyance surface located on the downstream side in the conveyance direction is set to the edge 115 of the other conveyance surface located on the upstream side in the conveyance direction. What is necessary is just to make it position in the upstream of a conveyance direction rather than a protrusion part.
  • Edges 115 of surfaces 110H2 and 110J2 protrude upstream in the transport direction at positions other than both sides, and edge 113 of transport surfaces 110H1 and 110J1 located upstream in the transport direction has its inverted shape. It may be.
  • the protrusions 115H and 115J of the edge 115 of the conveyance surfaces 110H2 and 110J2 located on the downstream side in the conveyance direction are replaced with the protrusion 113H of the edge 113 of the conveyance surfaces 110H1 and 110J1 located on the upstream side in the conveyance direction. , 113J and positioned upstream in the transport direction.
  • the edge 113 of the transport surfaces 110H1 and 110J1 located on the upstream side in the transport direction protrudes to the upstream side in the transport direction at positions other than both sides.
  • the edge 115 of the transport surfaces 110H2 and 110J2 located on the downstream side in the direction may have the inverted shape.
  • a plurality of transport rails 1 are arranged in a line along the X axis.
  • the transport rails 1 may be arranged in a line along the X axis, and a plurality of such transport rail arrays may be arranged in the Y axis direction.
  • a plurality of transport rails are formed such that the slant gap 4 between the transport surfaces 110 in each transport rail row is connected to the slant gap 4 between the transport surfaces 110 in the adjacent transport rail row. 1 may be arranged in the Y-axis direction and the Y-axis direction.
  • the inclination angle ⁇ of the rear end surface 123 and the X-direction width S2 of the gap between the two conveyance surfaces 110 adjacent in the X-axis direction so as to satisfy B> S2 ⁇ tan ⁇ .
  • the conveyance rails of the first conveyance rail row One side surface 122 of the transport rail 1 next to the N-th transport rail row before passing on the corner 116 on the front end surface 121 side of the transport surface 110 of the transport rail 1 on the other side surface 120 side of the first rail. On the side Further, it may pass over the corner 118 on the rear end face 123 side of the next conveyance rail 110.
  • a porous diaphragm is shown as an example of the diaphragm type in the transport rail 1, but the diaphragm system in the transport rail 1 is not limited to the porous diaphragm.
  • a diaphragm-type conveyance rail other than a porous diaphragm such as an orifice diaphragm, a surface diaphragm, or a self-comprising diaphragm, may be used as the conveyance rail 1.
  • the transport target object before the front end surface 31 ⁇ / b> A and the rear end surface 32 ⁇ / b> A of the transport target object 3 passes over the corner 116 on the front end surface 121 side of the transport rail 1 ⁇ / b> A. It is preferable that an ejection hole is formed in a region on the transport surface 110B of the next transport rail 1B through which the three front end portions 31 and the rear end portion 32 enter.
  • a plurality of air intake holes that draw the object 3 to be conveyed by intake air may be formed on the conveyance surface 110 of the conveyance rail 1 in a predetermined arrangement.
  • the clearance gap 4 of the diagonal direction with respect to the conveyance direction is formed between two conveyance surfaces 110A and 110B adjacent in the conveyance direction, two adjacent in the conveyance direction.
  • the direction of the gap 4 formed between the conveyance surfaces is relatively inclined with respect to the front end surface 31A and the rear end surface 32A of the conveyance object 3, and the entire front end surface 31A of the conveyance object 3 is located above the gap 4. Further, it is only necessary that the entire rear end face 32A is not protruded.
  • Each may be inclined with respect to the transport direction.
  • the shape of the conveyance surfaces 110D1 and 110D2 of the conveyance rail 1D used as the conveyance rail 1 constituting the conveyance table 100 and the shape of the conveyance object 3A are such that the front end surface 31A and the rear end surface 32A of the conveyance object 3A are adjacent to each other.
  • the two transport surfaces 110D1 and 110D2 are determined to enter the downstream transport surface 110D2 before completely passing over the upstream transport surface 110D1.
  • the shape of the conveyance surfaces 110D1 and 110D2 of the conveyance rail 1D and the shape of the conveyance object 3A satisfy such a relationship, and the end surfaces in the X axis direction that face each other, and end surfaces (front end surfaces, A substantially parallelogram having a rear end face).
  • one corner 33A protruding toward the downstream in the conveyance direction is the other corner.
  • the part 33B has already entered the downstream transport surface 110D2 when it is still positioned on the upstream transport surface 110D1, and is passing through the gap 4 between the two adjacent transport surfaces 110D1 and 110D2.
  • one corner portion 33C protruding toward the upstream side in the conveyance direction has an upstream conveyance surface when the other corner portion 33D enters the downstream conveyance surface 110D2. Still located on 110D1.
  • the front end portion 31 or the rear end portion 32 of the conveyance target 3A being conveyed always passes either one of the gaps 4 formed between the two conveyance surfaces 110D1 and 110D2 adjacent in the conveyance direction. In position, it is partially supported by an air film formed between at least one of the two transport surfaces 110D1, 110D2.
  • the shape of the conveyance object 3A is such that the front end surface 31A and the rear end surface 32A are conveyed downstream before completely passing over the upstream conveyance surface 110E1 of the two adjacent conveyance surfaces 110E1 and 110E2. It is determined to enter on the surface 110E2. For this reason, in the front end portion 31 of the conveyance object 3 passing through the gap 4 between the two adjacent conveyance surfaces 110E1 and 110E2, one corner 33A protruding toward the downstream in the conveyance direction is the other corner.
  • the part 33B has already entered the downstream transport surface 110E2 when it is still positioned on the upstream transport surface 110E1, and is passing through the gap 4 between the two adjacent transport surfaces 110E1 and 110E2.
  • one corner portion 33C protruding toward the upstream in the conveyance direction is conveyed upstream when the other corner portion 33D enters the downstream conveyance surface 110E2. It is still located on the surface 110E1. For this reason, the front end portion 31 or the rear end portion 32 of the conveyance target 3A being conveyed always passes either one of the gaps 4 formed between the two conveyance surfaces 110E1 and 110E2 adjacent in the conveyance direction. In position, it is partially supported by an air film formed between at least one of the two transport surfaces 110E1, 110E22. In FIG.
  • the substantially parallelogram-shaped conveyance object 3 is illustrated, but the shape of the conveyance object 3 is such that the opposite end surface in the Y-axis direction and the end surface inclined with respect to the conveyance direction (A substantially trapezoidal shape having a front end face and a rear end face) may be used.
  • the method of restricting the transport rails 1D and 1E is not limited, and the transport object 3A is sucked onto the transport surfaces 110D1, 110D2, 110E1, and 110E2 of the transport rails 1D and 1E by intake air.
  • a plurality of intake holes to be drawn may be formed in a predetermined arrangement.
  • the front end portion 31 of the conveyance target 3 passes over the gap 4 between two adjacent conveyance surfaces, the other corner portion 33B is still positioned on the upstream conveyance surfaces 110D1 and 110E1.
  • an ejection hole is formed in a region on the downstream conveyance surfaces 110D2 and 110E2 into which one corner 33A has already entered.
  • a plurality of transport rails 1D and 1E may be arranged in a line along the X axis, and such a transport rail array may be arranged in a plurality of lines in the Y axis direction.
  • the present invention is a floating conveyance apparatus that conveys the conveyance objects 3 and 3A in both directions.
  • the present invention can also be applied.
  • a levitation transport device that forms a fluid film between a transport surface and a transport target and transports the transport target in the transport direction while floating from the transport surface
  • transport rails arranged at intervals in the transport direction The present invention can be applied to the purpose of further stabilizing the floating state of the conveyance object passing through the gap formed between the conveyance surfaces.

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Abstract

　搬送方向に間隔をおいて隣り合う２つの搬送レールの搬送面間の隙間上を通過する際の搬送対象物の浮上状態をより安定させる。　浮上搬送装置は、搬送方向に並べられた搬送レール（１）の搬送面（１１０）から圧縮空気を噴出して、ガラス基板等の搬送対象物（３）を、これらの搬送レール（１）の搬送面（１１０）から浮上させながら搬送方向に搬送する。搬送方向に並べられた搬送レール（１）の搬送面（１１０）のうち、搬送方向において隣り合う２つの搬送面（１１０Ａ、１１０Ｂ）の間には、搬送方向に対して所定の角度θ傾斜した方向の隙間（４）が形成されている。これら２つの搬送面（１１０Ａ、１１０Ｂ）のうち、搬送方向の下流側に位置する搬送面（１１０Ｂ）は、角度θに対応する後端面（１２３）側の角部（１１８）の先端を、搬送方向の上流側に位置する搬送面（１１０Ａ）の、角度θに対応する前端面（１２１）側の角部（１１６）の先端よりも搬送方向の上流に位置付けている。

Description

浮上搬送装置、搬送レール、および浮上搬送方法
　本発明は、搬送面と搬送対象物との間に流体膜を形成して、搬送対象物を、搬送面から浮上させながら搬送方向に搬送する浮上搬送技術に係り、特に、搬送方向に間隔をおいて並べられた搬送レールの搬送面間に形成される隙間上を通過中の搬送対象物の浮上状態をより安定させるための技術に関する。
　フラットディスプレイパネル（ＦＤＰ）に用いられるガラス基板等の搬送対象物と搬送面との間に空気膜を形成して、搬送対象物を、搬送面から浮上させながら搬送する浮上搬送装置として、特許文献１に記載の浮上搬送装置が知られている。
　一般に、このような浮上搬送装置においては、搬送対象物の搬送距離を延ばすため、搬送対象物の搬送方向に沿って搬送レールを継ぎ足すことによって浮上搬送ラインが構築されている。このため、搬送方向において隣り合う搬送レール間（いわゆる搬送レールの継ぎ目）に、搬送面の不連続部（段差、隙間）が形成され、搬送中の搬送対象物の端部（搬送方向側の端部）が後続の搬送レールの端部に接触する可能性がある。特に、液晶ディスプレイパネル、プラズマディスプレイパネル等のフラットディスプレイパネルに用いられる大型のガラス基板等は、非常に薄くて撓みやすいため、搬送中、その端部が、搬送対象物の搬送方向において隣り合う搬送レールの隙間内に垂れ下がり、後続の搬送レールの端部と接触する可能性が高い。
　そこで、特許文献１に記載の浮上搬送装置においては、このような搬送面の不連続部を搬送対象物がスムーズに乗り越えられるように、各搬送レールの前端面（搬送方向側の端面）にスロットプレートが固定されている。このスロットプレートには、搬送レールの給気路から供給される空気を圧縮して、搬送対象物に向けて噴射する噴出スロットが、搬送対象物の幅方向に沿って形成されている。搬送中の搬送対象物は、搬送面の不連続部に到達すると、スロットプレートの噴出スロットからの圧縮空気の吹き上げよる浮力を受けて持ち上げられるため、搬送面の不連続部を乗り越えて後続の搬送レールにスムーズに乗り継ぐことができる。
　さらに、特許文献１においては、スロットプレートの噴出スロットから搬送対象物の端部に圧縮空気を吹き付けることで搬送対象物の上方に発生する渦気流の影響によって搬送対象物が上下に振動するのを防止するため、搬送対象物の端面（搬送方向側の端面）に対して斜めの方向にスロットプレートの噴出スロットを配置にすることが提案されている。具体的には、搬送レールの前端面とスロットプレートとの間に、搬送レールの給気路からの空気を噴出スロットに導く給気路が形成された三角柱のブロックを介在させることにより、搬送対象物の端面に対してスロットプレートを傾けている。これにより、スロットプレートの噴出スロットが、搬送面の不連続部を通過する搬送対象物の端面に対して斜めの方向に配置されるため、搬送対象物の上方における渦気流の急激な発生が抑制され、搬送対象物の上下振動が防止される。
国際公開第２０１０／０５８６８９号
　搬送方向において隣り合う２つの搬送レールの間にはセンサ等が配置されるため、この位置における搬送対象物の浮上量には高い精度が要求される。ところが、特許文献１に記載の浮上搬送装置によれば、搬送対象物の端部は、スロットプレートの噴出スロットからの圧縮空気の吹き上げによって、搬送面の不連続部を乗り越えられる程度に高く持ち上げられ、その後、後続の搬送レールに到達するまでに徐々に垂れ下がる。このため、搬送対象物の浮上量は、搬送方向において隣り合う２つの搬送レールの間に設けられた隙間上を通過する際に変動する。
　搬送レールの前端面とスロットプレートとの間に三角柱状のブロックを介在させた場合、搬送対象物の前端面に対して斜めにスロットプレートの噴出スロットが配置されるため、渦気流の影響による上下振動は防止されるが、スロットプレートの噴出スロットからの圧縮空気の吹き上げによる浮上量の変動を抑制することは困難である。また、三角柱状のブロックのスロットプレート取付け面から後続の搬送レールの他方の端面までの距離が、搬送レールの一方の側面から他方の側面に近づくにしたがって長くなる。このため、搬送レールの他方の側面側（後続の搬送レールのまでの距離が最大の位置）において搬送面の不連続部を乗り越えられる程度に搬送対象物の端部を高く持ち上げる必要がある。このため、例えば搬送レールの幅を広くすると、搬送対象物の浮上量の変動が大きくなる可能性がある。
　本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、搬送方向に間隔をおいて並べられた搬送レールの搬送面間に形成される隙間上を通過中の搬送対象物の浮上状態をより安定させることが可能な浮上搬送装置を提供することにある。
　上記課題を解決するために、本発明においては、搬送対象物の、搬送方向に沿った端面以外の端面が、搬送方向において隣り合う２つの搬送面間に形成される隙間上を通過している間、これら２つの搬送面のうち、上流側に位置する一方の搬送面上を越える前に、下流側に位置する他方の搬送面上に進入するようにした。
　例えば、本発明は、
　搬送方向に沿った搬送面と搬送対象物との間に流体膜を形成して、前記搬送対象物を、前記搬送面から浮上させながら前記搬送方向に搬送する浮上搬送装置であって、
　前記搬送面を有し、前記搬送対象物との間に前記流体膜を形成するための流体を噴出する搬送レールを複数備え、
　前記複数の搬送レールは、当該複数の搬送レール各々の前記搬送面が前記搬送方向に沿って並ぶように、前記搬送方向に沿って並べられ、
　前記搬送方向において隣り合う２つの前記搬送面は、それぞれ、前記搬送方向の位置が異なる２箇所の位置を結ぶ縁部を有し、
　前記２つの搬送面の縁部は、対向して、前記搬送方向の直交方向と交差する隙間を当該２つの前記搬送面の間に形成し、当該対向する２つの縁部のうち、前記搬送方向の下流側に位置する一方の前記搬送面の縁部は、当該縁部が結ぶ前記２箇所の位置のうち、前記搬送方向の上流側の位置を、前記搬送方向の上流側に位置する他方の前記搬送面の前記縁部が結ぶ前記２箇所の位置のうちの、前記搬送方向の下流側の位置よりも、前記搬送方向の上流側に位置付ける。
　また、本発明は、搬送方向に沿って並べられた複数の搬送面のそれぞれと搬送対象物との間に、前記それぞれの搬送面から噴出する流体により流体膜を形成して、前記搬送対象物を、前記複数の搬送面のそれぞれから浮上させながら前記搬送方向に搬送する浮上搬送方法であって、
　前記搬送対象物が有する端面のうち、前記搬送方向に沿った端面以外の端面は、前記搬送方向において隣り合う２つの搬送面間に形成される隙間の方向に対して相対的に傾斜しており、当該隙間上を通過している間、当該２つの搬送面のうち、上流側に位置する一方の搬送面上を越える前に、下流側に位置する他方の搬送面上に進入するものである。
　本発明によれば、搬送中の搬送対象物の前端部または後端部が、その幅方向の全域に亘って、搬送方向において隣り合う搬送面間に形成された隙間上にせり出す区間をなくしたため、搬送方向において隣り合う搬送面間に形成された隙間上を通過中の搬送対象物の前端部および後端部は、常に、その幅方向のいずれかの位置において、それら２つの搬送面の少なくとも一方との間に形成される空気膜により部分的に支持される。このため、搬送方向に間隔をおいて並べられた搬送レールの搬送面間に形成された隙間上を通過中の搬送対象物の浮上状態をより安定させることができる。
図１は、本発明の一実施の形態に係る浮上搬送装置の搬送台１００の概略構成を示す外観図である。 図２（Ａ）、（Ｂ）および（Ｃ）は、搬送レール１の左側面図、正面図、右側面図である。 図３（Ａ）は、搬送方向に沿って所定の間隔Ｓ２をおいて並べられた複数の搬送レール１のうち、搬送方向において隣り合う２本の搬送レール１Ａ、１Ｂの搬送面１１０Ａ、１１０Ｂ間に形成された隙間４部分の拡大図であり、図３（Ｂ）および（Ｃ）は、この隙間４上を通過する搬送対象物３の前端部３１の状態を模式的に示した図である。 図４（Ａ）および（Ｂ）は、搬送方向において隣り合う２本の搬送レール１Ａ、１Ｂの搬送面１１０Ａ、１１０Ｂ間に形成された隙間４上を通過する搬送対象物３の後端部３２の状態を模式的に示した図である。 図５（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）および（Ｅ）は、搬送台１００を構成する搬送レール１Ｃ、１Ｆ、１Ｇ、１Ｈ、１Ｊの搬送面の他の形状例を説明するための図である。 図６（Ａ）および（Ｂ）は、搬送台１００を構成する搬送レール１Ｄ、１Ｅの搬送面の形状例および搬送対象物３の形状例を説明するための図である。
　以下、本発明の一実施の形態について、図面を参照して説明する。
　まず、本実施の形態に係る浮上搬送装置の概略構成について説明する。
　本実施の形態に係る浮上搬送装置は、搬送路を構成する複数の搬送面１１０と搬送対象物（ガラス基板等）３との間に空気膜を形成し、搬送対象物３を、各搬送面１１０から浮上させながら、搬送路に沿った搬送方向に搬送する搬送台１００等を備えている。図１に、この搬送台１００の概略構成を部分的に示す。なお、以下の説明の便宜上、図１には、搬送方向に沿ったＸ軸、鉛直方向に沿ったＺ軸、および、これら２軸ＸＺに直交するＹ軸を有する直交座標系ＸＹＺを定義してあり、他の図においても、適宜、この直交座標系ＸＹＺを用いている。
　図示するように、この搬送台１００は、Ｘ軸に沿って所定の間隔４をおきながらライン状に配置された複数の搬送レール１、およびこれらの搬送レール１を支持するレール支持機構２等を有している。
　各搬送レール１は、給気ポンプから供給される圧縮空気を、内部の給気路（不図示）を介して、一方の面（搬送面）１１０から噴出する板状の部品である。例えば、搬送レール１は、給気路が一方の面に形成されたバックメタルと、バックメタルの一方の面（給気路形成面）上に形成された多孔質焼結層と、を備えており、多孔質焼結層裏側に位置する給気路に供給された圧縮空気を、多孔質焼結層内部の細孔を介して、搬送面１１０として機能する多孔質焼結層の表面から吐出することによって、搬送面１１０とその上を通過中の搬送対象物３の裏面との間に空気膜を形成する。複数の搬送レール１は、このような搬送面１１０を所定の高さの位置（Ｚ軸方向の所定の位置）で上方に向けた状態で、Ｘ軸に沿って所定の間隔４をおきながら一列に並べられている。
　一方、レール支持機構２は、Ｘ軸方向に所定の間隔Ｓ１をおきながらＹ軸に沿って配置された複数本の角柱状のベースフレーム２１、およびベースフレーム２１ごとに少なくとも１本取り付けられ、各ベースフレーム２１上で搬送レール１を高さ（Ｚ軸方向の位置）調節可能に支持するレベリング装置（不図示）等を有している。各搬送レール１は、搬送面１１０を上方に向けた状態で、少なくとも２本のベースフレーム２１にＸ軸方向にかけ渡されて、これらのベースフレーム２１に取り付けられたレベリング装置によって複数位置で支持されている。なお、本実施の形態では、角柱状のベースフレーム２１およびレベリング装置等により構成されたレール支持機構２を一例として示したが、レール支持機構２は、複数の搬送レール１を安定に支持することができれば、必ずしも、このような構造を有している必要はない。
　つぎに、搬送レール１の搬送面１１０の形状、および、搬送台１００における搬送面１１０の配列について説明する。
　図２（Ａ）、（Ｂ）および（Ｃ）は、搬送レール１の左側面図、正面図、右側面図である。また、図３（Ａ）は、Ｘ軸方向に所定の間隔Ｓ２をおいて並べられた２本の搬送レール１の搬送面１１０間に形成された隙間４部分の拡大図である。
　図２（Ａ）～（Ｃ）に示すように、各搬送レール１は、一方の面１１０が上述の搬送面１１０として機能する適当な板厚（Ｚ軸方向の厚さ）ｔの板状部品である。搬送レール１の搬送面１１０は略平行四辺形状を有しており、この搬送面１１０と隣り合う４つの板厚Ｔ方向の面１２０～１２３のうち、互いに対向する一組の面１２０、１２２はＸ軸に沿って配置され、他の一組の面１２１、１２３は、Ｘ軸に対して所定の角度θ（０°＜θ＜９０°）傾斜した状態で、Ｘ軸方向において隣り合う搬送レール１側に向けられる。これにより、搬送面１１０の外縁部に含まれる直線状の縁部１１２～１１５のうち、Ｘ軸に沿って配置された各面１２０、１２２と搬送面１１０との間に形成される一組の縁部（隣り合う２つの角部１１６、１１９をつなぐ縁部１１２、隣り合う２つの角部１１７、１１８をつなぐ縁部１１４）は、Ｘ軸に沿って配置され、Ｘ軸に対して所定の角度θ（０°＜θ＜９０°）傾斜した各面１２１、１２３と搬送面１１０との間に形成される他の一組の縁部（隣り合う２つの角部１１６、１１７をつなぐ縁部１１３、隣り合う２つの角部１１８、１１９をつなぐ縁部１１５）は、Ｘ軸に対して所定の角度θ（縁部１１３、１１５の両側の角部のうち、小さいほうの角部１１６、１１８における角度）傾斜した方向に沿って配置される。以下において、Ｘ軸に沿って配置される面１２０、１２２を側面１２０、１２２と呼び、Ｘ軸方向において隣り合う搬送レール１側に向けられる面１２１、１２３のうち、搬送方向に向けられる一方の面１２１を前端面１２１、搬送方向の逆方向に向けられる他方の面１２３を後端面１２３と呼ぶ。なお、搬送路の始点および終点に配置される搬送レール１は、必ずしも、平行四辺形状の搬送面１１０を有している必要はなく、搬送路の始点に配置される搬送レール１は、少なくとも、搬送路上のつぎの搬送レール１側に向けられる前端面１２１が、Ｘ軸に対して所定の角度θ（０°＜θ＜９０°）傾斜していればよく、搬送路の終了点に配置される搬送レール１は、少なくとも、搬送路上の１つ前の搬送レール１側に向けられる後端面１２２が、Ｘ軸に対して所定の角度θ（０°＜θ＜９０°）傾斜していればよい。
　このような搬送レール１を、搬送面１１０を上方に向けた状態で、Ｘ軸に沿って一列に並べた場合、各搬送レール１の前端面１２１と、この搬送レール１とＸ軸方向において隣り合う搬送レール１の後端面１２３とは、Ｘ軸方向に所定の間隔Ｓ２をおいて、互いにほぼ平行に配置される。このため、搬送路上、Ｘ軸方向において隣り合う２つの搬送面１１０間には、Ｘ軸に対して所定の角度θ傾斜した縁部１１３、１１５によって、Ｘ軸に対して斜めの方向の隙間４が形成される。
　ここで、各搬送面１１０のＹ軸方向幅ｂ、および、縁部１１３、１１５の傾斜角度θ（＜９０°）と、Ｘ軸方向において隣り合う２つの搬送面１１０間の隙間４のＸ軸方向幅Ｓ２とは、ｂ＞Ｓ２・ｔａｎθを満たすように定められている。これにより、図３（Ａ）に示すように、Ｘ軸方向において隣り合う２つの搬送面１１０Ａ、１１０Ｂのうち、搬送方向の下流側に位置する一方の搬送面１１０Ｂは、角度θに対応する後端面１２３側の角部１１８を、搬送方向の上流側に位置する他方の搬送面１１０Ａが有する、角度θに対応する前端面１２１側の角部１１６よりも搬送方向の上流側に位置付けている。
　例えば、図１に示したように、対向するＹ軸方向の端面３１Ａ、３２Ａを有する板材（矩形状のガラス基板等）を搬送対象物３として搬送した場合、搬送中の搬送対象物３の前端部（搬送方向に向けられる一方の端面３１Ａを含むＹ方向の帯状領域）３１は、Ｘ軸方向において隣り合う２つの搬送面１１０間に形成された隙間４上を通過している間、常に、Ｙ軸方向のいずれかの位置において、それら２つの搬送面１１０の少なくとも一方との間に形成される空気膜により部分的に支持される。図３（Ｂ）および（Ｃ）に、Ｘ軸に沿って所定の間隔Ｓ２をおいて並べられた複数の搬送レール１のうち、Ｘ軸方向において隣り合う２本の搬送レール１Ａ、１Ｂの搬送面１１０Ａ、１１０Ｂ間に形成された隙間４上を通過する搬送対象物３の前端部３１の状態を模式的に示す。なお、図３（Ｂ）および（Ｃ）においては、Ｘ軸方向において隣り合う２本の搬送レール１およびそれらの搬送面１１０を区別するため、搬送方向の上流側（搬送方向に向かって前方側）に設置された搬送レール１およびその搬送面１１０に符号１Ａおよび１１０Ａを付し、搬送方向の下流側（搬送方向に向かって後方側）に設置された搬送レール１およびその搬送面１１０に符号１Ｂおよび１１０Ｂを付してある。
　図３（Ｂ）に示すように、搬送中の搬送対象物３の前端部３１が２本の搬送レール１Ａ、１Ｂの搬送面１１０Ａ、１１０Ｂ間の隙間４上を通過する際、まず、搬送レール１Ａの一方の側面１２２側において、搬送中の搬送対象物３の前端面３１Ａが、搬送レール１Ａの搬送面１１０Ａの前端面側角部１１７上を通過して、２本の搬送レール１Ａ、１Ｂの搬送面１１０Ａ、１１０Ｂ間の隙間４上に進入する。このとき、搬送レール１Ａの他方の側面１２０側においては、搬送対象物３の前端面３１Ａがまだ搬送レール１Ａの搬送面１１０Ａ上に位置しているため、搬送対象物３の前端部３１と搬送レール１Ａの搬送面１１０Ａとの間には、この搬送面１１０Ａから噴出する圧縮空気による空気膜が形成されている。このため、搬送対象物３の前端部３１は、２本の搬送レール１Ａ、１Ｂの搬送面１１０、１１０Ｂの隙間４上に進入しても、搬送レール１Ａの他方の側面１２０側の領域で空気膜の圧力を部分的に受け続けている。
　その後、搬送対象物３がさらに前進すると、図３（Ｃ）に示すように、搬送対象物３の前端面３１Ａは、搬送レール１Ａの他方の側面１２０側で搬送レール１Ａの搬送面１１０Ａの前端面側角部１１６上を通過する前に、つぎの搬送レール１Ｂの一方の側面１２２側において、つぎの搬送レール１Ｂの搬送面１１０Ｂの後端面側角部１１８上を通過して、つぎの搬送レール１Ｂの搬送面１１０Ｂ上に進入する。これにより、搬送対象物３の前端部３１とつぎの搬送レール１Ｂの搬送面１１０Ｂとの間にも、この搬送面１１０Ｂから噴出する圧縮空気による空気膜が形成されるため、搬送対象物３の前端部３１は、搬送レール１Ａの他方の側面１２０側およびつぎの搬送レール１Ｂの一方の側面１２２側の双方の領域、つまりＹ軸方向両側の領域で空気膜の圧力を受ける。
　そして、その後に、搬送レール１Ａの他方の側面１２０側で搬送対象物３の前端面３１Ａが搬送レール１Ａの搬送面１１０Ａの前端面角部１１６上を通過しても、そのとき、つぎの搬送レール１Ｂの一方の側面１２２側においては、すでにつぎの搬送レール１Ｂの搬送面１１０Ｂ上に搬送対象物３の前端面３１Ａが位置しており、つぎの搬送レール１Ｂの搬送面１１０Ｂと搬送対象物３の前端部３１との間に、この搬送面１１０Ｂから噴出する圧縮空気による空気膜が形成されている。このため、搬送対象物３の前端面３１Ａが搬送レール１Ａの前端面１２１上を完全に通過してしまっても、搬送対象物３の前端部３１は、つぎの搬送レール１Ｂの搬送面１１０Ｂ上に完全に進入するまでの間、つぎの搬送レール１Ｂの一方の側面１２２側の領域で空気膜の圧力を部分的に受け続ける。
　同様に、搬送中の搬送対象物３の後端部３２（搬送方向の逆方向に向けられる他方の端面３２Ａを含むＹ方向の帯状領域、図１参照）も、Ｘ軸方向において隣り合う２つの搬送面１１０Ａ、１１０Ｂ間に形成された隙間４上を通過している間、常に、Ｙ軸方向のいずれかの位置において、それら２つの搬送面１１０Ａ、１１０Ｂの少なくとも一方との間に形成される空気膜により部分的に支持される。図４（Ａ）および（Ｂ）に、Ｘ軸に沿って所定の間隔Ｓ２をおいて並べられた複数の搬送レール１のうち、Ｘ軸方向において隣り合う２本の搬送レール１Ａ、１Ｂの搬送面１１０Ａ、１１０Ｂ間に形成された隙間４上を通過する搬送対象物３の後端部３２の状態を模式的に示す。なお、図４（Ａ）および（Ｂ）においても、搬送方向に隣り合う２本の搬送レール１およびそれらの搬送面１１０を区別するため、搬送方向の上流側に設置された搬送レール１およびその搬送面１１０に符号１Ａおよび１１０Ａを付し、搬送方向の下流側に設置された搬送レール１およびその搬送面１１０に符号１Ｂおよび１１０Ｂを付してある。
　図４（Ａ）に示すように、搬送中の搬送対象物３の後端部３２が２本の搬送レール１Ａ、１Ｂの搬送面１１０Ａ、１１０Ｂ間の隙間４上を通過する際、まず、搬送レール１Ａの一方の側面１２２側において、搬送中の搬送対象物３の後端面３２Ａが、搬送レール１Ａの搬送面１１０Ａの前端面側角部１１７上を通過して、２本の搬送レール１Ａ、１Ｂの搬送面１１０Ａ、１１０Ｂ間の隙間４上に進入する。このとき、搬送レール１Ａの他方の側面１２０側においては、搬送対象物３の後端面３２Ａがまだ搬送レール１Ａの搬送面１１０Ａ上に位置しているため、搬送対象物３の後端部３２と搬送レール１Ａの搬送面１１０Ａとの間に、この搬送面１１０Ａから噴出する圧縮空気による空気膜が形成されている。このため、搬送対象物３の後端部３２は、２本の搬送レール１Ａ、１Ｂの搬送面１１０、１１０Ｂの隙間４上に進入しても、搬送レール１Ａの他方の側面１２０側の領域で空気膜の圧力を部分的に受け続けている。
　その後、搬送対象物３がさらに前進すると、図４（Ｂ）に示すように、搬送対象物３の後端面３２Ａは、搬送レール１Ａの他方の側面１２０側で搬送レール１Ａの搬送面１１０Ａの前端面側角部１１６上を通過する前に、つぎの搬送レール１Ｂの一方の側面１２２側において、つぎの搬送レール１Ｂの搬送面１１０Ｂの後端面側角部１１８上を通過して、つぎの搬送レール１Ｂの搬送面１１０Ｂ上に進入する。これにより、搬送対象物３の後端部３２とつぎの搬送レール１Ｂの搬送面１１０Ｂとの間にも、この搬送面１１０Ｂから噴出する圧縮空気による空気膜が形成されるため、搬送対象物３の後端部３２は、搬送レール１Ａの他方の側面１２０側およびつぎの搬送レール１Ｂの一方の側面１２２側の双方の領域、つまりＹ軸方向両側の領域で空気膜の圧力を受ける。
　そして、その後に、搬送レール１Ａの他方の側面１２０側で搬送対象物３の後端面３２Ａが搬送レール１Ａの搬送面１１０Ａの前端面角部１１６上を通過しても、そのとき、つぎの搬送レール１Ｂの一方の側面１２２側においては、すでにつぎの搬送レール１Ｂの搬送面１１０Ｂ上に搬送対象物３の後端面３２Ａが位置しており、つぎの搬送レール１Ｂの搬送面１１０Ｂと搬送対象物３の後端部３２との間に、この搬送面１１０Ｂから噴出する圧縮空気による空気膜が形成されている。このため、搬送対象物３の後端面３２Ａが搬送レール１Ａの前端面１２１上を完全に通過してしまっても、搬送対象物３の後端部３２は、搬送対象物３の後端面３２Ａがつぎの搬送レール１Ｂの搬送面１１０Ｂ上に完全に進入するまでの間、つぎの搬送レール１Ｂの一方の側面１２２側の領域で空気膜の圧力を部分的に受け続ける。
　以上説明したように、本実施の形態によれば、搬送方向に沿って間隔をおいて並べられる複数の搬送レール１が、それぞれ、搬送方向において隣り合う搬送レール１の搬送面１１０との間に、搬送方向に対して斜めの方向の隙間４を形成する略平行四辺形の搬送面１１０を有しており、搬送方向において隣り合う２つの搬送面１１０Ａ、１１０Ｂのうち、搬送方向の下流側に位置する一方の搬送面１１０Ｂは、搬送方向の上流に向かって突き出した角部１１８の先端を、搬送方向の上流側に位置する他方の搬送面１１０Ａが有する、搬送方向の下流に向かって突き出した角部１１６の先端よりも搬送方向の上流側に位置付けている。このため、搬送対象物３の前端面３１Ａおよび後端面３２Ａが、その幅ａの方向（Ｙ軸方向、図１参照）の全域に亘って、搬送方向において隣り合う２つの搬送面１１０Ａ、１１０Ｂ間の隙間４にせり出すことはなく、搬送対象物３の前端部３１および後端部３２は、これら２つの搬送面１１０Ａ、１１０Ｂ間の隙間４上を通過している間、常に、これら２つの搬送面１１０Ａ、１１０Ｂの少なくとも一方の搬送面上に位置し、少なくとも一方の搬送面からの圧縮空気による空気膜の圧力を部分的に受けている。これにより、搬送対象物３の前端部３１および後端部３２の撓みが抑制されるため、搬送方向に間隔をおいて並べられた搬送レール１の搬送面１１０間に形成される隙間４上を通過中の搬送対象物３の浮上状態をより安定させることができる。したがって、例えばセンサ等が配置される、搬送方向において隣り合う２つの搬送レール１Ａ、１Ｂ間の隙間を乗り越える際における搬送対象物３の浮上量の変動を抑制し、この位置における搬送対象物３の浮上量の精度を向上させることができる。
　また、搬送方向において隣り合う２つの搬送レール１Ａ、Ｂ間への搬送対象物３の前端部３１および後端部３２の垂れ下がりが防止されるため、搬送対象物３の前端部３１および後端部３２は、搬送レール１Ａからつぎの搬送レール１Ｂにスムーズに乗り継ぐことができる。このため、スロットプレートの噴出スロットからの圧縮空気の吹き上げによって搬送対象物３の前端部３１および後端部３２を高く持ち上げる必要がないため、搬送方向において隣り合う２つの搬送面１１０Ａ、１１０Ｂ間の隙間４上を通過する際の搬送対象物３の浮上量の変動をさらに抑制することができる。また、スロットプレートを取り付ける必要がないため、その分、製造コストが低減する。
　また、搬送レール１の搬送面１１０の幅（Ｙ軸方向の幅）ｂを広くしても、搬送方向において隣り合う２つの搬送面１１０Ａ、１１０Ｂ間の隙間４が部分的に広がることはなく、搬送対象物３の前端部３１および後端部３２は、その幅ａの方向（Ｙ軸方向）のいずれの位置においても、この隙間４上を安定に浮上しながらスムーズに通過することができる。
　また、特許文献１記載の浮上搬送装置のように、搬送レールの一方の端面に三角状のブロックをつなぐ場合、三角状のブロックの上面と搬送レールの搬送面とに段差が生じないように調整しながら、すべての搬送レールの一方の面に三角状のブロックを固定する必要がある。本実施の形態によれば、このような必要がないため、浮上搬送装置の製造コストを抑制することができる。
　なお、本実施の形態においては、各搬送レール１が平行四辺形状の搬送面１１０を有する場合を例に挙げたが、必ずしも、このようにする必要はない。例えば、図５（Ａ）に示すような台形状の搬送面１１０Ｃを有する複数の搬送レール１Ｃを、搬送方向において隣り合う２つの搬送面１１０Ｃ間に、搬送方向に対して斜め方向に沿った隙間４が形成されるように、交互に向きを変えながら搬送方向に沿って一列に配置してもよい。または、図５（Ｂ）に示すように、搬送方向において隣り合う２本の搬送レール１Ｆの搬送面１１０Ｆ１、１１０Ｆ２のうち、上流側の搬送面１１０Ｆ１の縁部１１３を階段状に形成するとともに、下流側の搬送面１１０Ｆ２の縁部１１５を、上流側の搬送面１１０Ｆ１の縁部１１３の反転形状に形成し、それらの間に、階段状の隙間４が、搬送対象物３の幅方向（Ｙ軸方向）と交差するように形成されていてもよいし、図５（Ｃ）に示すように、搬送方向において隣り合う２本の搬送レール１Ｇの搬送面１１０Ｇ１、１１０Ｇ２のうち、上流側の搬送面１１０Ｇ１の縁部１１３を曲線状に形成するとともに、下流側の搬送面１１０Ｇ２の縁部１１５を、上流側の搬送面１１０Ｇ１の縁部１１３の反転形状に形成し、それらの間に、湾曲した隙間４が、搬送対象物３の幅方向（Ｙ軸方向）と交差するように形成されていてもよい。これらの場合においても、搬送方向において隣り合う２つの搬送面のうち、搬送方向の下流側に位置する一方の搬送面１１０Ｆ２、１１０Ｇ２が有する後端面側角部のうちの１つの角部１１８Ｆ、１１８Ｇを、搬送方向の上流側に位置する他方の搬送面１１０Ｆ１、１１０Ｇ１が有する前端面側角部のうちの１つの角部１１６Ｆ、１１６Ｇよりも搬送方向の上流に位置付けるようにする。
　また、本実施の形態においては、搬送方向において隣り合う２つの搬送面１１０Ａ、１１０Ｂの縁部端部に位置する角部１１６、１１８が互いに他の搬送面１１０Ｂ、１１０Ａ側に向けて突き出しているが、必ずしも、このようにする必要はない。搬送方向において隣り合う２つの搬送面の縁部１１３、１１５が、Ｙ方向のいずれかの位置において互いに他方の搬送面に向けて突き出すように、これら縁部１１３、１１５を、それぞれ、搬送方向の位置の異なる２箇所を通るように形成するとともに、搬送方向の下流側に位置する一方の搬送面の縁部１１３の突出部を、搬送方向の上流側に位置する他方の搬送面の縁部１１５の突出部よりも搬送方向の上流側に位置付けるようにすればよい。例えば、図５（Ｄ）、（Ｅ）に示すように、搬送方向において隣り合う２本の搬送レール１Ｈ、１Ｊにおいて、対向する縁部１１３、１１５のうち、搬送方向の下流側に位置する搬送面１１０Ｈ２、１１０Ｊ２の縁部１１５が、両側以外の位置において搬送方向の上流側に突き出しており、搬送方向の上流側に位置する搬送面１１０Ｈ１、１１０Ｊ１の縁部１１３が、その反転形状を有していてもよい。これらの場合、搬送方向の下流側に位置する搬送面１１０Ｈ２、１１０Ｊ２の縁部１１５の突出部１１５Ｈ、１１５Ｊを、搬送方向の上流側に位置する搬送面１１０Ｈ１、１１０Ｊ１の縁部１１３の突出部１１３Ｈ、１１３Ｊよりも搬送方向の上流に位置付けるようにする。または、図５（Ｄ）（Ｅ）とは逆に、搬送方向の上流側に位置する搬送面１１０Ｈ１、１１０Ｊ１の縁部１１３が、両側以外の位置において搬送方向の上流側に突き出しており、搬送方向の下流側に位置する搬送面１１０Ｈ２、１１０Ｊ２の縁部１１５が、その反転形状を有していてもよい。
　また、本実施の形態においては、複数本の搬送レール１をＸ軸に沿って一列に配列しているが、例えば、搬送対象物３のＹ軸方向幅ａが広い場合等には、複数本の搬送レール１をＸ軸に沿って一列に並べ、このような搬送レール列を、複数列、Ｙ軸方向に配列してもよい。このようにする場合には、例えば、各搬送レール列における搬送面１１０間の斜めの隙間４が、隣りの搬送レール列における搬送面１１０間の斜めの隙間４につながるように、複数の搬送レール１をＹ軸方向およびＹ軸方向に配置すればよい。また、１列目の搬送レール列の搬送レール１の他方の側面１２０からＮ列目の搬送レール列の搬送レールの一方の側面１２２までの距離Ｂと、Ｘ軸に対する搬送レール１の前端面１２１および後端面１２３の傾斜角度θと、Ｘ軸方向において隣り合う２つの搬送面１１０間の隙間のＸ方向幅Ｓ２とを、Ｂ＞Ｓ２・ｔａｎθを満たすように定めることによって、各搬送レール列間でつなげられた隙間４上を搬送対象物３の前端部３１および後端部３２が通過する際、搬送対象物３の前端面３１Ａおよび後端面３２Ａが、１列目の搬送レール列の搬送レール１の他方の側面１２０側において、搬送レール１の搬送面１１０の前端面１２１側の角部１１６上を通過する前に、Ｎ列目の搬送レール列のつぎの搬送レール１の一方の側面１２２側において、つぎの搬送レール１の搬送面１１０の後端面１２３側の角部１１８上を通過するようにしてもよい。
　また、本実施の形態では、搬送レール１における絞りの形式として多孔質絞りを例に示したが、搬送レール１における絞りの方式は多孔質絞りに限定されるものではない。例えば、オリフィス絞り、表面絞り、自成絞り等、多孔質絞り以外の絞り方式の搬送レールを搬送レール１として用いてもよい。いずれの絞り方式の搬送レールを搬送レール１として用いる場合でも、搬送レール１Ａの前端面１２１側の角部１１６上を搬送対象物３の前端面３１Ａおよび後端面３２Ａが通過する前に搬送対象物３の前端部３１および後端部３２が進入する、つぎの搬送レール１Ｂの搬送面１１０Ｂ上の領域に噴出孔が形成されていることが好ましい。また、搬送レール１の搬送面１１０には、吸気により搬送対象物３を引き寄せる複数の吸気孔が所定の配列で形成されていてもよい。
　ところで、上記の実施の形態においては、搬送方向において隣り合う２つの搬送面１１０Ａ、１１０Ｂ間に、搬送方向に対して斜めの方向の隙間４を形成しているが、搬送方向において隣り合う２つの搬送面間に形成される隙間４の方向が、搬送対象物３の前端面３１Ａおよび後端面３２Ａに対して相対的に傾斜し、かつ、この隙間４上に搬送対象物３の前端面３１Ａ全域および後端面３２Ａ全域がせり出さないようにされていればよい。
　例えば、図６（Ａ）に示すように、搬送方向(Ｘ軸方向)において隣り合う２つの搬送レール１Ｄの搬送面１１０Ｄ１、１１０Ｄ２間の隙間４に対して、搬送対象物３Ａの前端面３１Ａおよび後端面３２Ａが傾斜するように、搬送方向(Ｘ軸方向)において隣り合う２つの搬送レール１Ｄの搬送面１１０Ｄ１、１１０Ｄ２間の隙間４と、搬送対象物３Ａの前端面３１Ａおよび後端面３２Ａとが、それぞれ、搬送方向に対して傾斜していてもよい。この場合、搬送台１００を構成する搬送レール１として用いられる搬送レール１Ｄの搬送面１１０Ｄ１、１１０Ｄ２の形状および搬送対象物３Ａの形状は、搬送対象物３Ａの前端面３１Ａおよび後端面３２Ａが、隣り合う２つの搬送面１１０Ｄ１、１１０Ｄ２のうちの上流側の搬送面１１０Ｄ１上を完全に越える前に下流側の搬送面１１０Ｄ２上に進入するように定められている。例えば、搬送レール１Ｄの搬送面１１０Ｄ１、１１０Ｄ２の形状および搬送対象物３Ａの形状は、このような関係を満たす、対向するＸ軸方向の端面と、搬送方向に対して傾斜した端面（前端面、後端面）とを有するほぼ平行四辺形である。このため、隣り合う２つの搬送面１１０Ｄ１、１１０Ｄ２間の隙間４上を通過中の搬送対象物３Ａの前端部３１において、搬送方向の下流に向かって突き出した一方の角部３３Ａは、他方の角部３３Ｂが上流側の搬送面１１０Ｄ１上にまだ位置している段階で下流側の搬送面１１０Ｄ２上にすでに進入しており、隣り合う２つの搬送面１１０Ｄ１、１１０Ｄ２間の隙間４上を通過中の搬送対象物３Ａの後端部３１において、搬送方向の上流に向かって突き出した一方の角部３３Ｃは、他方の角部３３Ｄが下流側の搬送面１１０Ｄ２上に進入した段階で上流側の搬送面１１０Ｄ１上にまだ位置している。このため、搬送中の搬送対象物３Ａの前端部３１または後端部３２は、搬送方向において隣り合う２つの搬送面１１０Ｄ１、１１０Ｄ２間に形成された隙間４上を通過中、常に、いずれかの位置において、それら２つの搬送面１１０Ｄ１、１１０Ｄ２の少なくとも一方との間に形成される空気膜により部分的に支持される。
　または、図６（Ｂ）に示すように、搬送方向(Ｘ軸方向)において隣り合う２つの搬送レール１Ｅの搬送面１１０Ｅ１、１１０Ｅ２間の隙間４の方向が搬送方向に対して垂直であっても、搬送対象物３の前端面３１Ａおよび後端面３２Ａが搬送方向に対して傾斜するように搬送対象物３を平行四辺形状に加工することによって、搬送方向において隣り合う２つの搬送レール１Ｅの搬送面１１０Ｅ１、１１０Ｅ２の隙間４の方向に対して、搬送対象物３の前端面３１Ａおよび後端面３２Ａを傾斜させればよい。この場合、搬送対象物３Ａの形状は、その前端面３１Ａおよび後端面３２Ａが、隣り合う２つの搬送面１１０Ｅ１、１１０Ｅ２のうちの上流側の搬送面１１０Ｅ１上を完全に越える前に下流側の搬送面１１０Ｅ２上に進入するように定められている。このため、隣り合う２つの搬送面１１０Ｅ１、１１０Ｅ２間の隙間４上を通過中の搬送対象物３の前端部３１において、搬送方向の下流に向かって突き出した一方の角部３３Ａは、他方の角部３３Ｂが上流側の搬送面１１０Ｅ１上にまだ位置している段階で下流側の搬送面１１０Ｅ２上にすでに進入しており、隣り合う２つの搬送面１１０Ｅ１、１１０Ｅ２間の隙間４上を通過中の搬送対象物３の後端部３１において、搬送方向の上流に向かって突き出した一方の角部３３Ｃは、他方の角部３３Ｄが下流側の搬送面１１０Ｅ２上に進入した段階で、上流側の搬送面１１０Ｅ１上にまだ位置している。このため、搬送中の搬送対象物３Ａの前端部３１または後端部３２は、搬送方向において隣り合う２つの搬送面１１０Ｅ１、１１０Ｅ２間に形成された隙間４上を通過中、常に、いずれかの位置において、それら２つの搬送面１１０Ｅ１、１１０Ｅ２２の少なくとも一方との間に形成される空気膜により部分的に支持される。なお、図６（Ｂ）には、ほぼ平行四辺形状の搬送対象物３を例示したが、搬送対象物３の形状は、対向するＹ軸方向の端面と、搬送方向に対して傾斜した端面（前端面、後端面）とを有するほぼ台形であってもよい。
　これらの場合においても、搬送レール１Ｄ、１Ｅの絞りの方式は限定されるものではなく、また、搬送レール１Ｄ、１Ｅの搬送面１１０Ｄ１、１１０Ｄ２、１１０Ｅ１、１１０Ｅ２には、吸気により搬送対象物３Ａを引き寄せる複数の吸気孔が所定の配列で形成されていてもよい。また、隣り合う２つの搬送面間の隙間４上を搬送対象物３の前端部３１が通過する際に、他方の角部３３Ｂが上流側の搬送面１１０Ｄ１、１１０Ｅ１上にまだ位置している段階で一方の角部３３Ａがすでに進入している下流側の搬送面１１０Ｄ２、１１０Ｅ２上の領域に噴出孔が形成されていることが好ましい。また、複数本の搬送レール１Ｄ、１ＥをＸ軸に沿って一列に並べ、このような搬送レール列を、複数列、Ｙ軸方向に配列してもよい。
　なお、以上においては、搬送対象物３、３Ａを一方向に搬送する浮上搬送装置への適用を例に説明したが、本発明は、搬送対象物３、３Ａを双方向に搬送する浮上搬送装置等にも適用可能である。
　搬送面と搬送対象物との間に流体膜を形成して、搬送対象物を、搬送面から浮上させながら搬送方向に搬送する浮上搬送装置において、搬送方向に間隔をおいて並べられた搬送レールの搬送面間に形成される隙間上を通過中の搬送対象物の浮上状態をより安定させる用途に適用できる。
１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ、１Ｅ、１Ｆ、１Ｇ、１Ｈ、１Ｊ：搬送レール、　２：レール支持機構、　３、３Ａ：搬送対象物、　４：搬送レール間の隙間、　２１：ベースフレーム、　３１：搬送対象物の前端部、　３２：搬送対象物の後端部、　１００：搬送台、　１１０、１１０Ａ、１１０Ｂ、１１０Ｃ、１１０Ｄ１、１１０Ｄ２、１１０Ｅ１、１１０Ｅ２、１１０Ｆ１、１１０Ｆ２、１１０Ｇ１、１１０Ｇ２、１１０Ｈ１、１１０Ｈ２、１１０Ｊ１、１１０Ｊ２：搬送面、　１１２～１１５：搬送面の縁部、　１１６～１１９：搬送面の角部、　１２１：搬送レールの前端面、　１２０、１２２：搬送レールの側面、　１２３：搬送レールの後端面

Claims (7)

  1. 　搬送方向に沿った搬送面と搬送対象物との間に流体膜を形成して、前記搬送対象物を、前記搬送面から浮上させながら前記搬送方向に搬送する浮上搬送装置であって、
    　前記搬送面を有し、前記搬送対象物との間に前記流体膜を形成するための流体を噴出する搬送レールを複数備え、
    　前記複数の搬送レールは、当該複数の搬送レール各々の前記搬送面が前記搬送方向に沿って並ぶように、前記搬送方向に沿って並べられ、
    　前記搬送方向において隣り合う２つの前記搬送面は、それぞれ、前記搬送方向の位置が異なる２箇所の位置を結ぶ縁部を有し、
    　前記２つの搬送面の縁部は、対向して、前記搬送方向の直交方向と交差する隙間を当該２つの前記搬送面の間に形成し、当該対向する２つの縁部のうち、前記搬送方向の下流側に位置する一方の前記搬送面の縁部は、当該縁部が結ぶ前記２箇所の位置のうち、前記搬送方向の上流側の位置を、前記搬送方向の上流側に位置する他方の前記搬送面の前記縁部が結ぶ前記２箇所の位置のうちの、前記搬送方向の下流側の位置よりも、前記搬送方向の上流側に位置付ける
    　ことを特徴とする浮上搬送装置。
  2. 　請求項１記載の浮上搬送装置であって、
    　前記対向する２つの縁部は、前記搬送方向に対して傾斜した方向に沿って前記隙間を形成するように前記搬送方向に対して傾斜し、
    　前記搬送方向において隣り合う２つの前記搬送面は、前記縁部の両側に２つの角部を有し、当該２つの前記搬送面のうち、前記搬送方向の下流側に位置する一方の前記搬送面は、当該搬送面の前記２つの角部のうち、前記搬送方向の上流側に位置する角部を、前記搬送方向の上流側に位置する他方の前記搬送面の前記２つの角部のうちの、前記搬送方向の下流側に位置する角部よりも、前記搬送方向の上流側に位置付ける
    　ことを特徴とする浮上搬送装置。
  3. 　請求項１または２記載の浮上搬送装置であって、
    　前記複数の搬送レールの搬送面は、略平行四辺形または略台形の形状を有する
    　ことを特徴とする浮上搬送装置。
  4. 　請求項１記載の浮上搬送装置であって、
    　前記対向する２つの縁部は、曲線状または階段状であることを特徴とする浮上搬送装置。
  5. 　請求項１ないし４のいずれか一項に記載の浮上搬送装置において、前記搬送レールとして用いられる搬送レール。
  6. 　搬送方向に沿って並べられた複数の搬送面のそれぞれと搬送対象物との間に、前記それぞれの搬送面から噴出する流体により流体膜を形成して、前記搬送対象物を、前記複数の搬送面のそれぞれから浮上させながら前記搬送方向に搬送する浮上搬送方法であって、
    　前記搬送対象物が有する端面のうち、前記搬送方向に沿った端面以外の端面は、前記搬送方向において隣り合う２つの搬送面間に形成される隙間の方向に対して相対的に傾斜しており、当該隙間上を通過している間、当該２つの搬送面のうち、上流側に位置する一方の搬送面上を越える前に、下流側に位置する他方の搬送面上に進入する
    　ことを特徴とする浮上搬送方法。
  7. 　請求項６記載の浮上搬送方法であって、
    　前記搬送対象物は、前記搬送方向に沿った端面以外の端面として、搬送方向に対して傾斜した端面を有する略平行四辺形または略台形の形状を有する、
    　ことを特徴とする浮上搬送方法。
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