CN101190748B

CN101190748B - 自动化物料传送系统

Info

Publication number: CN101190748B
Application number: CN2006101607924A
Authority: CN
Inventors: 王惟正
Original assignee: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Current assignee: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Priority date: 2006-12-01
Filing date: 2006-12-01
Publication date: 2011-09-07
Anticipated expiration: 2026-12-01
Also published as: CN101190748A

Abstract

本发明提供一种自动化物料传送系统，包括一防火通道、一第一轨道、一第二轨道、一输送车及一防火门。第一轨道设置于防火通道中，并具有一第一间隙。第二轨道设置于防火通道中，并平行于第一轨道。第二轨道具有一第二间隙。第二间隙对应并平行于第一间隙。输送车设置于第一轨道及第二轨道上，并具有一第一车轮及一第二车轮。第一车轮及第二车轮分别滚动于第一轨道及第二轨道上。第一间隙及第二间隙分别以一预定角度倾斜于第一车轮的轮轴及第二车轮的轮轴。防火门连接于防火通道，并选择性地通过第一及第二间隙，用以在防火通道中建立密闭的防火区隔。本发明除了可符合消防法规需求外，其还可提升制程产品的运送效率，进而可降低制造成本。

Description

自动化物料传送系统

技术领域

本发明是有关于一种自动化物料传送系统，特别是有关于一种可提升运送效率的自动化物料传送系统。

背景技术

一般来说，自动化物料传送系统(automated materialhandling system，AMHS)已被广泛地应用于半导体厂之中，其可用来输送制程产品等。为了符合消防法规需求，在自动化物料传送系统之中通常必须建立多个防火区隔(fire separationarea)，以防止当半导体厂内的某一区域发生火灾时，其火势会经由自动化物料传送系统而蔓延于整个半导体厂之内。

请参阅图1A及图1B，一已知的自动化物料传送系统1主要包括有一防火通道10、两平行的轨道20、多个输送车30(图1A及图1B中仅显示一输送车30)以及多个防火门(fire shutter)40。

两平行的轨道20皆是设置于防火通道10之中，并且具有多个彼此平行的间隙21。

输送车30是运行于轨道20之上。更详细的来说，输送车30具有多个车轮31，而输送车30即是通过车轮31而运行于轨道20之上。此外，输送车30可以是OHT(Overhead Hoist Transporter)或OHS(Overhead Shuttle)的形式。在此，输送车30是以OHT的形式来做说明。

防火门40是以可移动的方式设置于防火通道10的外部，并且防火门40是与轨道20的间隙21对应。更详细的来说，当自动化物料传送系统1接收到火警信号时，多个(或某一个)防火门40便会立即依图1B中的箭头A所示的方向来朝向防火通道10的内部移动，并且多个防火门40会通过轨道20的间隙21，以在自动化物料传送系统1或防火通道10中建立彼此密闭的防火区隔。

然而，自动化物料传送系统1会具有以下的缺点。当防火门40是位于防火通道10的外部时(亦即当自动化物料传送系统1并未接收到火警信号时)，轨道20上的间隙21会影响输送车30的行进。也就是说，输送车30的车轮31在行进于间隙21上时会产生剧烈的碰撞震动，因而易使得输送车30上所载运的制程产品遭受损坏或使得输送车30发生故障，进而会增加制造或维护成本。如上所述，为了避免输送车30在行进于间隙21上时会产生剧烈的碰撞震动，故输送车30在行进于间隙21上时的速度必须大幅降低(例如，将输送车30的速度从3.5m/sec降低至0.4m/sec)。然而，输送车30的速度大幅降低却又常会造成输送车30阻塞于轨道20上，进而会影响制程产品的运送效率。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的是要提供一种自动化物料传送系统，其不但可符合消防法规需求，还可提升制程产品的运送效率。

本发明基本上采用如下所详述的特征以为了要解决上述的问题。也就是说，本发明包括一防火通道；一第一轨道，设置于该防火通道之中，并且具有至少一第一间隙；一第二轨道，设置于该防火通道之中，并且是平行于该第一轨道，其中，该第二轨道具有至少一第二间隙，以及该第二间隙是对应并平行于该第一间隙；至少一输送车，是以移动的方式设置于该第一轨道及该第二轨道之上，并且具有至少一第一车轮及至少一第二车轮，其中，该第一车轮及该第二车轮是分别滚动于该第一轨道及该第二轨道之上，以及该第一间隙及该第二间隙是分别以一预定角度倾斜于该第一车轮的轮轴及该第二车轮的轮轴；以及至少一防火门，是以移动的方式连接于该防火通道，并且是选择性地通过该第一间隙及该第二间隙，用以在该防火通道中建立密闭的防火区隔。

本发明所述的自动化物料传送系统，该第一车轮的长度是大于该第一间隙的水平宽度，以及该第二车轮的长度是大于该第二间隙的水平宽度。

本发明所述的自动化物料传送系统，该第二间隙是对应并平行于该第一间隙。

本发明还提供一种自动化物料传送系统，该自动化物料传送系统包括：一防火通道；一第一轨道，设置于该防火通道之中，并且具有至少一第一间隙；一第二轨道，设置于该防火通道之中，并且是平行于该第一轨道，其中，该第二轨道具有至少一第二间隙；至少一输送车，是以移动的方式设置于该第一轨道及该第二轨道之上，并且具有至少一第一车轮及至少一第二车轮，其中，该第一车轮及该第二车轮是分别滚动于该第一轨道及该第二轨道之上，以及该第一间隙及该第二间隙是分别以一预定角度倾斜于该第一车轮的轮轴及该第二车轮的轮轴；至少一第一防火门，是以移动的方式连接于该防火通道，并且是选择性地通过该第一间隙及该第二间隙；以及至少一第二防火门，是以转动的方式连接于该防火通道，其中，该第二防火门是选择性地转动至该防火通道之中，以与该第一防火门接触密合，并在该防火通道中建立密闭的防火区隔。

本发明还提供一种自动化物料传送系统，该自动化物料传送系统包括：一防火通道；一第一轨道，设置于该防火通道之中，并且具有至少一第一间隙；一第二轨道，设置于该防火通道之中，并且是平行于该第一轨道，其中，该第二轨道具有至少一第二间隙；至少一输送车，是以移动的方式设置于该第一轨道及该第二轨道之上，并且具有至少一第一车轮及至少一第二车轮，其中，该第一车轮及该第二车轮是分别滚动于该第一轨道及该第二轨道之上；以及至少一防火门，是以移动的方式连接于该防火通道，并且具有一支撑杆，其中，该支撑杆是以移动的方式设置于该第一间隙及该第二间隙之中，以及该防火门是选择性地通过该第一间隙及该第二间隙，用以在该防火通道中建立密闭的防火区隔。

本发明所述的自动化物料传送系统，该支撑杆具有一第一缓冲元件及一第二缓冲元件，以及该第一缓冲元件及该第二缓冲元件是分别以移动的方式设置于该第一间隙及该第二间隙之中。

本发明所述的自动化物料传送系统，该第一间隙及该第二间隙是分别平行于该第一车轮的轮轴及该第二车轮的轮轴。

本发明所述的自动化物料传送系统，除了可符合消防法规需求外，其还可提升制程产品的运送效率，进而可降低制造成本。

附图说明

图1A是显示一已知的自动化物料传送系统的部分俯视及剖面示意图；

图1B是显示一已知的自动化物料传送系统的部分前视及剖面示意图；

图2A是显示本发明的第一实施例的自动化物料传送系统的部分前视及剖面示意图；

图2B是显示本发明的第一实施例的自动化物料传送系统的部分俯视及剖面示意图；

图3是显示本发明的第一实施例的自动化物料传送系统于一种运作状态下的局部俯视示意图；

图4A是显示本发明的第二实施例的自动化物料传送系统的部分前视及剖面示意图；

图4B是显示本发明的第二实施例的自动化物料传送系统的部分俯视及剖面示意图；

图5是显示本发明的第二实施例的自动化物料传送系统的防火门的俯视示意图；

图6是显示本发明的第三实施例的自动化物料传送系统的部分前视及剖面示意图；

图7A是显示本发明的第四实施例的自动化物料传送系统于一种运作状态下的部分前视及剖面示意图；

图7B是显示本发明的第四实施例的自动化物料传送系统的部分俯视及剖面示意图；

图8是显示本发明的第四实施例的自动化物料传送系统于另一种运作状态下的前视示意图。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例并配合所附图式做详细说明。

兹配合图式说明本发明的较佳实施例。

第一实施例

请参阅图2A及图2B，本实施例的自动化物料传送系统100可应用于输送一半导体厂中的制程产品，并且主要包括有一防火通道110、一第一轨道120、一第二轨道130、多个输送车140(图2A及图2B中仅显示一输送车140)以及多个防火门150(图2A中仅显示一防火门150)。

第一轨道120是设置于防火通道110之中，并且第一轨道120具有多个第一间隙121。多个第一间隙121是以一预定距离d间隔于彼此。

第二轨道130是设置于防火通道110之中，并且第二轨道130是平行于第一轨道120。第二轨道130具有多个第二间隙131。多个第二间隙131亦是以预定距离d间隔于彼此。值得注意的是，每一个第二间隙131皆是对应并平行于每一个第一间隙121。

输送车140是以移动的方式设置于防火通道110之中以及第一轨道120及第二轨道130之上，并且输送车140具有多个第一车轮141及多个第二车轮142。在本实施例之中，输送车140可以是OHT(Overhead Hoist Transporter)的形式。第一车轮141及第二车轮142是分别滚动于第一轨道120及第二轨道130之上。特别的是，如图3所示，每一个第一间隙121是以一预定角度θ倾斜于第一车轮141的轮轴141a。同样地，每一个第二间隙131亦是以预定角度θ倾斜于第二车轮142的轮轴142a(并未显示于图3之中)。此外，如图2B及图3所示，第一车轮141的长度L1可大于每一个第一间隙121的水平宽度W1，以及第二车轮142的长度L2可大于每一个第二间隙131的水平宽度W2。

每一个防火门150皆是以移动的方式连接于防火通道110，并且每一个防火门150可选择性地通过对应的每一个第一间隙121及每一个第二间隙131。

当自动化物料传送系统100接收到火警信号时，多个(或某一个)防火门150便会立即依图2A中的箭头B所示的方向来朝向防火通道110的内部移动，并且每一个防火门150会通过与其对应的每一个第一间隙121及每一个第二间隙131，以在自动化物料传送系统100或防火通道110中建立彼此密闭的防火区隔。

在另一方面，当防火门150是位于防火通道110的外部时(亦即当自动化物料传送系统100并未接收到任何火警信号时)，输送车140仍可正常地运行于第一轨道120及第二轨道130上。更详细的来说，如图2B及图3所示，由于每一个第一间隙121及每一个第二间隙131分别是以预定角度θ倾斜于第一车轮141的轮轴141a及第二车轮142的轮轴142a，故输送车140于任一瞬间在第一轨道120及第二轨道130上最多只有一个第一车轮141或第二车轮142会行经第一间隙121或第二间隙131。再者，由于第一车轮141的长度L1及第二车轮142的长度L2分别是大于每一个第一间隙121的水平宽度W1及每一个第二间隙131的水平宽度W2，故第一车轮141或第二车轮142在通过第一间隙121或第二间隙131时必定仍会持续地被第一轨道120或第二轨道130所支撑。因此，输送车140在行经第一间隙121或第二间隙131时并不会发生碰撞震动，因而可不需将其运行速度降低。

如上所述，本实施例的自动化物料传送系统100除了可符合消防法规需求外，其还可提升制程产品的运送效率，进而可降低制造成本。

此外，在本实施例的自动化物料传送系统100之中，虽然防火门150是以移动的方式连接于防火通道110的上方来做举例说明，但防火门150亦可以移动的方式连接于防火通道110的侧面(右侧或左侧)，而其亦可达成相同的功效。

第二实施例

在本实施例中，与第一实施例相同的元件均标示以相同的符号。

请参阅图4A及图5，本实施例的自动化物料传送系统100’与第一实施例的自动化物料传送系统100的最大差别是在于防火门的形状不同。

如图5所示，本实施例的防火门150’具有一大致上为闪电形的形状。同时，如图4B所示，每一个第一间隙121及每一个第二间隙131的相对位置亦须与每一个防火门150’的形状对应。

同样地，每一个第一间隙121是以一预定角度θ倾斜于第一车轮141的轮轴141a，而每一个第二间隙131亦是以预定角度θ倾斜于第二车轮142的轮轴142a。

至于本实施例的其他元件构造或特征均与第一实施例相同，故为了使本案的说明书内容能更清晰易懂起见，在此省略其重复的说明。

当自动化物料传送系统100’接收到火警信号时，多个(或某一个)防火门150’便会立即依图4A中的箭头C所示的方向来朝向防火通道110的内部移动，并且每一个防火门150’会通过与其对应的每一个第一间隙121及每一个第二间隙131，以在自动化物料传送系统100’或防火通道110中建立彼此密闭的防火区隔。

在另一方面，当防火门150’是位于防火通道110的外部时(亦即当自动化物料传送系统100’并未接收到任何火警信号时)，输送车140仍可正常地运行于第一轨道120及第二轨道130上。更详细的来说，如图3所示，由于每一个第一间隙121及每一个第二间隙131分别是以预定角度θ倾斜于第一车轮141的轮轴141a及第二车轮142的轮轴142a，故输送车140于任一瞬间在第一轨道120及第二轨道130上最多只有一个第一车轮141及一个第二车轮142会行经第一间隙121及第二间隙131。再者，如图3及图4B所示，由于第一车轮141的长度L1及第二车轮142的长度L2分别是大于每一个第一间隙121的水平宽度W1及每一个第二间隙131的水平宽度W2，故第一车轮141及第二车轮142在行经第一间隙121及第二间隙131时必定仍会持续地被第一轨道120及第二轨道130所支撑。因此，输送车140在行经第一间隙121及第二间隙131时并不会发生碰撞震动，进而可不需将其运行速度降低。

如上所述，本实施例的自动化物料传送系统100’除了可符合消防法规需求外，其还可提升制程产品的运送效率，进而可降低制造成本。

第三实施例

在本实施例中，与第一或第二实施例相同的元件均标示以相同的符号。

请参阅图6，本实施例的自动化物料传送系统100”与第二实施例的自动化物料传送系统100’的最大差别是在于防火门的构造不同。

如图6所示，本实施例的自动化物料传送系统100”具有多个第一防火门151及多个第二防火门152(图6中仅显示一个第一防火门151及一个第二防火门152)。第一防火门151及第二防火门152亦分别具有一大致上为闪电形的形状，以及每一个第一间隙121及每一个第二间隙131的相对位置亦须与每一个第一防火门151的形状对应。特别的是，如图4B及图6所示，每一个第一防火门151皆是以移动的方式连接于防火通道110，并且每一个第一防火门151可选择性地通过对应的每一个第一间隙121及每一个第二间隙131，以及每一个第二防火门152皆是以转动的方式连接于防火通道110。更详细的来说，每一个第一防火门151皆是以移动的方式连接于防火通道110的上方，而每一个第二防火门152皆是以转动的方式连接于防火通道110的侧面。

至于本实施例的其他元件构造或特征均与第二实施例相同，故为了使本案的说明书内容能更清晰易懂起见，在此省略其重复的说明。

当自动化物料传送系统100”接收到火警信号时，多个(或某一个)第一防火门151便会立即依图6中的箭头D所示的方向来朝向防火通道110的内部移动，并且每一个第一防火门151会通过与其对应的每一个第一间隙121及每一个第二间隙131。同时，与移动的第一防火门151所对应的多个(或某一个)第二防火门152会依图6中的箭头E所示的方向来转动至防火通道110之中，以与对应的第一防火门151接触密合，进而在自动化物料传送系统100”或防火通道110中建立彼此密闭的防火区隔。

在另一方面，当第一防火门151及第二防火门152是位于防火通道110的外部时(亦即当自动化物料传送系统100’并未接收到任何火警信号时)，输送车140仍可正常地运行于第一轨道120及第二轨道130上。同样地，如图3所示，由于每一个第一间隙121及每一个第二间隙131分别是以预定角度θ倾斜于第一车轮141的轮轴141a及第二车轮142的轮轴142a，故输送车140于任一瞬间在第一轨道120及第二轨道130上最多只有一个第一车轮141及一个第二车轮142会行经第一间隙121及第二间隙131。再者，如图3及图4B所示，由于第一车轮141的长度L1及第二车轮142的长度L2分别是大于每一个第一间隙121的水平宽度W1及每一个第二间隙131的水平宽度W2，故第一车轮141及第二车轮142在通过第一间隙121及第二间隙131时必定仍会持续地被第一轨道120及第二轨道130所支撑。因此，输送车140在行经第一间隙121及第二间隙131时并不会发生碰撞震动，进而可不需将其运行速度降低。

如上所述，本实施例的自动化物料传送系统100”之所以要采用两个防火门(第一防火门151及第二防火门152)，其主要是在于当防火通道110的上方空间有限或不足时，即使第一防火门151的长度不足，但亦可通过第二防火门152来弥补，以同样在防火通道110中建立彼此密闭的防火区隔。

同样地，本实施例的自动化物料传送系统100”除了可符合消防法规需求外，其还可提升制程产品的运送效率，进而可降低制造成本。

第四实施例

请参阅图7A及图7B，本实施例的自动化物料传送系统200可应用于输送一半导体厂中的制程产品，并且主要包括有一防火通道210、一第一轨道220、一第二轨道230、多个输送车240(图7A及图7B中仅显示一输送车240)以及多个防火门250。

第一轨道220是设置于防火通道210之中，并且第一轨道220具有多个第一间隙221。

第二轨道230是设置于防火通道210之中，并且第二轨道230是平行于第一轨道220。第二轨道230具有多个第二间隙231，而每一个第二间隙231皆是对应并平行于每一个第一间隙221。

输送车240是以移动的方式设置于防火通道210之中以及第一轨道220及第二轨道230之上，并且输送车240具有多个第一车轮241及多个第二车轮242。第一车轮241及第二车轮242是分别滚动于第一轨道220及第二轨道230之上。此外，在本实施例之中，第一轨道220的第一间隙221及第二轨道230的第二间隙231是分别平行于第一车轮241的轮轴及第二车轮242的轮轴。

每一个防火门250皆是以移动的方式连接于防火通道210，并且每一个防火门250可选择性地通过对应的每一个第一间隙221及每一个第二间隙231。此外，每一个防火门250皆具有一支撑杆251，而支撑杆251是以移动的方式设置于第一间隙221及第二间隙231之中。更详细的来说，每一个支撑杆251具有一第一缓冲元件251a及一第二缓冲元件251b，第一缓冲元件251a及第二缓冲元件251b是分别以移动的方式设置于第一间隙221及第二间隙231之中。另外，在本实施例之中，第一缓冲元件251a及第二缓冲元件251b可以是由工程塑胶等材料所制成。

当自动化物料传送系统200接收到火警信号时，多个(或某一个)防火门250便会立即依图7A中的箭头E所示的方向来朝向防火通道210的内部移动，并且每一个防火门250会通过与其对应的每一个第一间隙221及每一个第二间隙231，以在自动化物料传送系统200或防火通道210中建立彼此密闭的防火区隔。此时，如图8所示，防火门250的支撑杆251是位于防火通道210之外。

在另一方面，当防火门250是位于防火通道210的外部时(亦即当自动化物料传送系统200并未接收到任何火警信号时)，输送车240仍可正常地运行于第一轨道220及第二轨道230上。更详细的来说，如图7A及图7B所示，由于防火门250的支撑杆251是位于防火通道210之中，以及支撑杆251的第一缓冲元件251a及第二缓冲元件251b是分别位于第一间隙221及第二间隙231之中，故输送车240在行经第一轨道220的第一间隙221及第二轨道230的第二间隙231时，其第一车轮241及第二车轮242会被第一缓冲元件251a及第二缓冲元件251b所支撑。因此，输送车240在行经第一间隙221及第二间隙231时并不会发生碰撞震动，因而可不需将其行进速度降低。

如上所述，本实施例的自动化物料传送系统200除了可符合消防法规需求外，其还可提升制程产品的运送效率，进而可降低制造成本。

以上所述仅为本发明较佳实施例，然其并非用以限定本发明的范围，任何熟悉本项技术的人员，在不脱离本发明的精神和范围内，可在此基础上做进一步的改进和变化，因此本发明的保护范围当以本申请的权利要求书所界定的范围为准。

附图中符号的简单说明如下：

1、100、100’、200：自动化物料传送系统

10、110、210：防火通道

20：轨道

21：间隙

30、140、240：输送车

31：车轮

40、150、150’、250：防火门

120、220：第一轨道

121、221：第一间隙

130、230：第二轨道

131、231：第二间隙

141、241：第一车轮

141a、142a：轮轴

142、242：第二车轮

151：第一防火门

152：第二防火门

251：支撑杆

251a：第一缓冲元件

251b：第二缓冲元件

d：预定距离

L1、L2：长度

W1、W2：水平宽度

θ：预定角度

Claims

1.一种自动化物料传送系统，其特征在于，该自动化物料传送系统包括：

一防火通道；

一第一轨道，设置于该防火通道之中，并且具有至少一第一间隙；

一第二轨道，设置于该防火通道之中，并且是平行于该第一轨道，其中，该第二轨道具有至少一第二间隙；

至少一输送车，是以移动的方式设置于该第一轨道及该第二轨道之上，并且具有至少一第一车轮及至少一第二车轮，其中，该第一车轮及该第二车轮是分别滚动于该第一轨道及该第二轨道之上，以及该第一间隙及该第二间隙是分别以一预定角度倾斜于该第一车轮的轮轴及该第二车轮的轮轴；以及

至少一防火门，是以移动的方式连接于该防火通道，并且是选择性地通过该第一间隙及该第二间隙，用以在该防火通道中建立密闭的防火区隔。

2.根据权利要求1所述的自动化物料传送系统，其特征在于，该第一车轮的横向宽度大于该第一间隙的水平宽度，以及该第二车轮的横向宽度大于该第二间隙的水平宽度。

3.根据权利要求1所述的自动化物料传送系统，其特征在于，该第二间隙是对应并平行于该第一间隙。

4.一种自动化物料传送系统，其特征在于，该自动化物料传送系统包括：

一防火通道；

至少一输送车，是以移动的方式设置于该第一轨道及该第二轨道之上，并且具有至少一第一车轮及至少一第二车轮，其中，该第一车轮及该第二车轮是分别滚动于该第一轨道及该第二轨道之上，以及该第一间隙及该第二间隙是分别以一预定角度倾斜于该第一车轮的轮轴及该第二车轮的轮轴；

至少一第一防火门，是以移动的方式连接于该防火通道，并且是选择性地通过该第一间隙及该第二间隙；以及

至少一第二防火门，是以转动的方式连接于该防火通道，其中，该第二防火门是选择性地转动至该防火通道之中，以与该第一防火门接触密合，并在该防火通道中建立密闭的防火区隔。

5.根据权利要求4所述的自动化物料传送系统，其特征在于，该第一车轮的横向宽度大于该第一间隙的水平宽度，以及该第二车轮的横向宽度大于该第二间隙的水平宽度。

6.根据权利要求4所述的自动化物料传送系统，其特征在于，该第二间隙是对应并平行于该第一间隙。

7.一种自动化物料传送系统，其特征在于，该自动化物料传送系统包括：

一防火通道；

至少一输送车，是以移动的方式设置于该第一轨道及该第二轨道之上，并且具有至少一第一车轮及至少一第二车轮，其中，该第一车轮及该第二车轮是分别滚动于该第一轨道及该第二轨道之上；以及

至少一防火门，是以移动的方式连接于该防火通道，并且具有一支撑杆，其中，该支撑杆是以移动的方式设置于该第一间隙及该第二间隙之中，以及该防火门是选择性地通过该第一间隙及该第二间隙，用以在该防火通道中建立密闭的防火区隔。

8.根据权利要求7所述的自动化物料传送系统，其特征在于，该支撑杆具有一第一缓冲元件及一第二缓冲元件，以及该第一缓冲元件及该第二缓冲元件是分别以移动的方式设置于该第一间隙及该第二间隙之中。

9.根据权利要求7所述的自动化物料传送系统，其特征在于，该第一间隙及该第二间隙是分别平行于该第一车轮的轮轴及该第二车轮的轮轴。

10.根据权利要求7所述的自动化物料传送系统，其特征在于，该第二间隙是对应并平行于该第一间隙。