TW201441128A - 上浮式搬運裝置、搬運軌道及上浮式搬運方法 - Google Patents

上浮式搬運裝置、搬運軌道及上浮式搬運方法 Download PDF

Info

Publication number
TW201441128A
TW201441128A TW102143006A TW102143006A TW201441128A TW 201441128 A TW201441128 A TW 201441128A TW 102143006 A TW102143006 A TW 102143006A TW 102143006 A TW102143006 A TW 102143006A TW 201441128 A TW201441128 A TW 201441128A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
transport
conveyance
rails
rail
floating
Prior art date
Application number
TW102143006A
Other languages
English (en)
Inventor
Hikaru Sato
Takahiro Yasuda
Akihiko Ito
Original Assignee
Oiles Industry Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Oiles Industry Co Ltd filed Critical Oiles Industry Co Ltd
Publication of TW201441128A publication Critical patent/TW201441128A/zh

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B65G49/066—Transporting devices for sheet glass being suspended; Suspending devices, e.g. clamps, supporting tongs
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G51/00—Conveying articles through pipes or tubes by fluid flow or pressure; Conveying articles over a flat surface, e.g. the base of a trough, by jets located in the surface
    • B65G51/02—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases
    • B65G51/03—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases over a flat surface or in troughs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67784—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations using air tracks

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Advancing Webs (AREA)

Abstract

本發明的課題為使搬運對象物的上浮狀態於通過隔著間隔彼此相鄰在搬運方向的2個搬運軌道之搬運面間的間隙上時更為穩定。其解決手段之上浮式搬運裝置，構成為從排列在搬運方向之搬運軌道(1)的搬運面(110)噴出壓縮空氣，一邊使玻璃基板等搬運對象物(3)從該等搬運軌道(1)的搬運面(110)上浮一邊朝搬運方向搬運。排列在搬運方向之搬運軌道(1)的搬運面(110)當中，於彼此相鄰在搬運方向的2個搬運面(110A、110B)之間，形成有對搬運方向朝指定角度(θ)傾斜之方向的間隙(4)。該等2個搬運面(110A、110B)當中，位於搬運方向下游側的搬運面(110B)，其對應角度(θ)之後端面(123)側的角部(118)前端係形成為比位於搬運方向上游側之搬運面(110A)其對應角度(θ)之前端面(121)側的角部(116)前端還位於搬運方向的上游位置。

Description

上浮式搬運裝置、搬運軌道及上浮式搬運方法
本發明是關於在搬運面和搬運對象物之間形成流體膜，一邊使搬運對象物從搬運面上浮一邊朝搬運方向搬運的上浮式搬運技術，特別是關於可使搬運對象物的上浮狀態於通過隔著間隔排列在搬運方向的搬運軌道之搬運面間的間隙上之通過期間更為穩定。
在平面顯示器(FDP)所使用之玻璃基板等搬運對象物和搬運面之間形成空氣膜，一邊使搬運對象物從搬運面上浮一邊搬運的上浮式搬運裝置，已知有專利文獻1所記載的上浮式搬運裝置。
一般，就該上浮式搬運裝置而言，為了延伸搬運對象物的搬運距離，係沿著搬運對象物之搬運方向加裝搬運軌道藉此構築上浮式搬運路線。因此，於彼此相鄰在搬運方向的搬運軌道間(所謂搬運軌道的接縫)，就會形成有搬運面的不連續部(段差、間隙)，導致搬運中之搬運對象物的端部(搬運方向側的端部)有可能會接觸到後續之搬運軌道的端部。特別是，液晶面板、電漿面板等 平面顯示器所使用的大型玻璃基板等，由於非常薄且容易撓曲，因此搬運中其端部會於搬運對象物之搬運方向下垂在彼此相鄰的搬運軌道之間隙內，導致接觸到後續之搬運軌道端部的可能性高。
於是，專利文獻1所記載的上浮式搬運裝置中，為了讓搬運對象物順利越過上述所示之搬運面的不連續部，係於各搬運軌道的前端面(搬運方向側的端面)固定有孔板。於該孔板，沿著搬運對象物的寬度方向形成有將搬運軌道之供氣路所供應的空氣壓縮後朝搬運對象物噴射的噴出孔。當搬運中的搬運對象物到達搬運面的不連續部時，會受到來自於孔板之噴出孔的壓縮空氣上吹浮力而往上抬，因此就能夠越過搬運面的不連續部順利轉乘在後續的搬運軌道。
再加上，於專利文獻1中，係從孔板之噴出孔對搬運對象物的端部噴吹壓縮空氣藉此防止搬運對象物上方產生的渦旋氣流影響所造成的搬運對象物上下振動，因此所提案的技術係將孔板的噴出孔對搬運對象物的端面(搬運方向側的端面)成傾斜方向的配置。具體而言，係於搬運軌道的前端面和孔板之間，設置已形成有供氣路可將來自於搬運軌道之供氣路的空氣引導至噴出孔的三角柱塊，藉此使孔板對搬運對象物的端面成傾斜。如此一來，孔板的噴出孔就會對通過搬運面之不連續部的搬運對象物之端面成傾斜方向配置，因此就能夠抑制搬運對象物上方之渦旋氣流的急遽產生，能夠防止搬運對象物的上下振 動。
〔先行技術文獻〕 〔專利文獻〕
〔專利文獻1〕國際公開第2010/058689號
由於彼此相鄰在搬運方向的2個搬運軌道之間配置有感測器等，因此對於該位置之搬運對象物的浮上量所要求的精度就高。然而，根據專利文獻1所記載的上浮式搬運裝置時，搬運對象物的端部會因來自於孔板之噴出孔的壓縮空氣吹起，使其抬高的程度能夠越過搬運面之不連續部，然後，維持該抬高狀態直到抵達後續的搬運軌道為止就徐徐下垂。因此，搬運對象物的上浮量會於通過彼此相鄰在搬運方向的2個搬運軌道之間所設置的間隙上時產生變動。
當搬運軌道的前端面和孔板之間設有三角柱狀塊時，孔板的噴出孔會對搬運對象物的前端面成傾斜配置，因此能夠防止渦旋氣流影響造成的上下振動，但卻難以抑制來自於孔板之噴出孔的壓縮空氣噴吹所造成的上浮量變動。此外，從三角柱狀塊的孔板安裝面至後續之搬運軌道的另一方端面為止的距離，係會隨著從搬運軌道的一方側面接近另一方側面而變長。因此，於搬運軌道之另一 方的側面側(至後續之搬運軌道為止的距離為最大的位置)就需將搬運對象物的抬高程度成為可越過搬運面的不連續部。基於此，例如需要加寬搬運軌道的寬度時，就有可能導致搬運對象物的上浮量變動加大。
本發明是有鑑於上述事由而為的發明，其目的在於提供一種能夠使搬運對象物的上浮狀態於通過隔著間隔排列在搬運方向的搬運軌道之搬運面間的間隙上的通過期間更為穩定的上浮式搬運裝置。
為了解決上述課題，於本發明中，構成為搬運對象物之沿搬運方向之端面以外的端面，會於通過彼此相鄰在搬運方向的2個搬運面間形成之間隙上的通過期間，在越過該等2個搬運面當中位於上游側的一方搬運面上之前，就進入位於下游側的另一方搬運面上。
例如：本發明，其為在沿搬運方向的搬運面和搬運對象物之間形成流體膜，藉此一邊使上述搬運對象物從上述搬運面上浮一邊朝上述搬運方向搬運的上浮式搬運裝置，其具備有複數搬運軌道，該複數搬運軌道具有上述搬運面，且可於上述搬運面和上述搬運對象物之間噴出上述流體膜形成用的流體，上述複數搬運軌道，係沿著上述搬運方向排列成使該複數搬運軌道各個的上述搬運面沿著上述搬運方向排列， 於彼此相鄰在上述搬運方向的2個上述搬運面，分別具有可使上述搬運方向之不同位置的2處位置連接的緣部，上述2個搬運面的緣部是形成相向，藉此在該2個上述搬運面之間形成有與上述搬運方向之正交方向交叉的間隙，該相向的2個緣部當中，位於上述搬運方向下游側之一方上述搬運面的緣部，係構成為該緣部所連接的上述2處位置當中，上述搬運方向上游側的位置比位於上述搬運方向上游側之另一方上述搬運面的上述緣部所連接之上述2處位置當中的上述搬運方向下游側的位置還位於上述搬運方向的上游側。
此外，本發明，其為在沿搬運方向排列之複數搬運面的各個搬運面和搬運對象物之間，利用上述各個搬運面所噴出的流體形成流體膜，藉此一邊使上述搬運對象物從上述複數搬運面的各個搬運面上浮一邊朝上述搬運方向搬運的上浮式搬運方法，其構成為，上述搬運對象物所具有的端面當中沿上述搬運方向之端面以外的端面，係對彼此相鄰在上述搬運方向的2個搬運面間形成之間隙的方向成相對性傾斜著，構成為於通過該間隙上的通過期間，在越過該2個搬運面當中位於上游側的一方搬運面上之前，就進入位於下游側的另一方搬運面上。
根據本發明時，可使搬運中之搬運對象物的前端部或者後端部，其寬度方向的整個區域，沒有向前突出於彼此相鄰在搬運方向之搬運面間形成的間隙上之區間，因此，彼此相鄰在搬運方向之搬運面間形成的間隙上通過中之搬運對象物的前端部或者後端部，其寬度方向的任一位置，經常都是由形成在其和該等2個搬運面至少一方的搬運面之間的空氣膜支撐著局部性。因此，就可使搬運對象物的上浮狀態於通過隔著間隔排列在搬運方向之搬運軌道的搬運面間形成之間隙上的通過期間更為穩定。
1、1A、1B、1C、1D、1E、1F、1G、1H、1J‧‧‧搬運軌道
2‧‧‧軌道支撐機構
3、3A‧‧‧搬運對象物
4‧‧‧搬運軌道間的間隙
21‧‧‧底架
31‧‧‧搬運對象物的前端部
32‧‧‧搬運對象物的後端部
100‧‧‧搬運台
110、110A、110B、110C、110D1、110D2、110E1、110E2、110F1、110F2、110G1、110G2、110H1、110H2、110J1、110J2‧‧‧搬運面
112~115‧‧‧搬運面的緣部
116~119‧‧‧搬運面的角部
121‧‧‧搬運軌道的前端面
120、122‧‧‧搬運軌道的側面
123‧‧‧搬運軌道的後端面
第1圖為表示本發明一實施形態相關之上浮式搬運裝置的搬運台100概略構成的外觀圖。
第2(A)圖、第2(B)圖及第2(C)圖分別為搬運軌道1的左側面圖、正面圖及右側面圖。
第3(A)圖為沿著搬運方向隔著指定間隔S2形成排列的複數搬運軌道1當中彼此相鄰在搬運方向的2個搬運軌道1A、1B之搬運面110A、110B間形成的間隙4部份的放大圖，第3(B)圖及第3(C)圖為表示該間隙4上通過之搬運對象物3的前端部31之狀態模式圖。
第4(A)圖及第4(B)圖為表示彼此相鄰在搬運方向的2個搬運軌道1A、1B之搬運面110A、110B間形成的間隙4上通過之搬運對象物3的後端部32之狀態模式 圖。
第5(A)圖、第5(B)圖、第5(C)圖、第5(D)圖及第5(E)圖為搬運台100構成用之搬運軌道1C、1F、1G、1H、1J的搬運面之另一形狀例的說明圖。
第6(A)圖及第6(B)圖為搬運台100構成用之搬運軌道1D、1E的搬運面之形狀例及搬運對象物3之形狀例的說明圖。
〔發明之實施形態〕
以下，參閱圖面對本發明一實施形態進行說明。
首先，針對本實施形態相關之上浮式搬運裝置的概略構成進行說明。
本實施形態相關的上浮式搬運裝置，具備有在搬運路構成用之複數搬運面110和搬運對象物(玻璃基板等)3之間形成有空氣膜，一邊使搬運對象物3從各搬運面110上浮一邊朝沿著搬運路之搬運方向搬運的搬運台100等。第1圖中局部性圖示有該搬運台100的概略構成。另外，為了方便敘述以下的說明，於第1圖中，定義出具有沿搬運方向的X軸及沿垂直方向的Z軸以及與該等2軸XZ正交的Y軸之正交座標系XYZ，於其他的圖中，也是適當採用該正交座標系XYZ。
如圖所示，該搬運台100，具有沿X軸隔著 指定間隔4的同時配置成線狀的複數搬運軌道1及該等搬運軌道1支撐用的軌道支撐機構2等。
各搬運軌道1，其為要將供氣泵浦所供應的壓縮空間經由內部的供氣路(未圖示)從一方的面(搬運面)110噴出的板狀零件。例如：搬運軌道1，具備：於一方的面形成有供氣路的背面金屬；及形成在背面金屬之一方的面(供氣路形成面)上之多孔質燒結層，將供應在位於多孔質燒結層背側之供氣路的壓縮空氣經由多孔質燒結層內部的細孔，從具有搬運面110功能之多孔質燒結層的表面吐出，藉此在搬運面110和其上面通過中之搬運對象物3的背面之間形成空氣膜。複數搬運軌道1，係以上述構成的搬運面110位於指定高度的位置(Z軸方向的指定位置)朝向上方的狀態，沿X軸隔著指定間隔4的同時排列成一列。
另一方面，軌道支撐機構2，具有：於X軸方向隔著指定間隔S1的同時沿Y軸配置的複數支角柱狀底架21；及在每支底架21至少安裝有1支可在各底架21上將搬運軌道1支撐成可調整高度(Z軸方向的位置)的調平裝置(未圖示)等。各搬運軌道1，係以搬運面110朝向上方的狀態，朝X軸方向跨在至少2支底架21，由安裝在該等底架21的調平裝置支撐在複數位置。另外，於本實施形態，係以角柱狀底架21及調平裝置等所構成的軌道支撐機構2為一例揭示，但軌道支撐機構2只要構成為能夠將複數搬運軌道1支撐成穩定，則不一定要具有 上述所示的構造。
其次，針對搬運軌道1之搬運面110的形狀及搬運台100之搬運面110的排列進行說明。
第2(A)圖、第2(B)圖及第2(C)圖分別為搬運軌道1的左側面圖、正面圖及右側面圖。此外，第3(A)圖為隔著指定間隔S2排列在X軸方向的2支搬運軌道1的搬運面110間形成的間隙4部份的放大圖。
如第2(A)圖~第2(C)圖所示，各搬運軌道1，其為一方的面110具有上述搬運面110功能之適當板厚(Z軸方向的厚度)t的板狀零件。搬運軌道1的搬運面110具有大致平行四邊形狀，與該搬運面100相鄰之4個板厚T方向的面120~123當中，彼此相向之一組的面120、122是沿著X軸配置，另一組的面121、123，係以對X軸傾斜成指定角度θ(0°<θ<90°)的狀態，朝向彼此相鄰在X軸方向之搬運軌道1側。如此一來，搬運面110之外緣部所包括的直線狀緣部112~115當中，沿著X軸配置的各面120、122和搬運面110之間形成的一組之緣部(連接著相鄰之2個角部116、119的緣部112及連接著相鄰之2個角部117、118的緣部114)，係沿著X軸配置，此外對X軸傾斜成指定角度θ(0°<θ<90°)的各面121、123和搬運面110之間形成的另一組之緣部(連接著相鄰之2個角部116、117的緣部113及連接著相鄰之2個角部118、119的緣部115)，係沿著對X軸傾斜成指定角度θ(緣部113、115之兩側的角部當中較 小之角部116、118的角度)的方向配置。於以下的說明中，將沿X軸配置的面120、122稱為側面120、122，並將朝向彼此相鄰在X軸方向之搬運軌道1側的面121、123當中朝向搬運方向之一方的面121稱為前端面121，且將朝向搬運方向反方向之另一方的面123稱為後端面123。另外，配置在搬運路之起點及終點的搬運軌道1並不一定要具有平行四邊形狀的搬運面110，配置在搬運路之起點的搬運軌道1，只要構成為至少其朝向搬運路上之下一個搬運軌道1側的前端面121對X軸傾斜成指定角度θ(0°<θ<90°)即可，配置在搬運路之終點的搬運軌道1，只要構成為至少其朝向搬運路上之上一個搬運軌道1側的後端面122對X軸傾斜成指定角度θ(0°<θ<90°)即可。
當將上述構成的搬運軌道1以搬運面110朝向上方的狀態沿X軸排列成一列時，各搬運軌道1的前端面121和與該搬運軌道1於X軸方向彼此相鄰之搬運軌道1的後端面123，就會於X軸方向隔著指定間隔S2配置成彼此大致平行。因此，搬運路上，於彼此相鄰在X軸方向的2個搬運面110間，就會形成有由對X軸傾斜成指定角度θ的緣部113、115所造成之對X軸成傾斜之方向的間隙4。
於此，各搬運面110的Y軸方向寬度b，及，緣部113、115的傾斜角度θ(<90°)，和彼此相鄰在X軸方向的2個搬運面110間之間隙4的X軸方向寬 度S2是設定成需滿足b>S2．tan θ的條件。如此一來，如第3(A)圖所示，彼此相鄰在X軸方向之2個搬運面110A、110B當中，位於搬運方向下游側之一方的搬運面110B，其對應角度θ之後端面123側的角部118就會比位於搬運方向上游側之另一方的搬運面110A所具有之對應角度θ之前端面121側的角部116還要位於搬運方向的上游側。
例如：如第1圖所示，當將具有對相向之Y軸方向的端面31A、32A之板材(矩形狀的玻璃基板等)視為搬運對象物3進行搬運時，搬運中的搬運對象物3的前端部(包括朝向搬運方向之一方的端面31A之Y方向的帶狀區域)31，於通過彼此相鄰在X軸方向的2個搬運面110間形成之間隙4上的通過期間，其Y軸方向的任一位置，經常是由其和該等2個搬運面110之至少一方的搬運面之間形成的空氣膜支撐著局部性。於第3(B)圖及第3(C)圖中，圖示著沿X軸隔著指定間隔S2排列之複數搬運軌道1當中彼此相鄰在X軸方向的2支搬運軌道1A、1B之搬運面110A、110B間形成的間隙4上通過之搬運對象物3的前端部31之狀態模式圖。另外，於第3(B)圖及第3(C)圖中，為了區別彼此相鄰在X軸方向的2支搬運軌道1及該等的搬運面110，對於設置在搬運方向之上游側(往搬運方向的前方側)的搬運軌道1及搬運面110是標示符號1A及110A，對於設置在搬運方向之下游側(往搬運方向的後方側)的搬運軌道1及搬運面 110是標示符號1B及110B。
如第3(B)圖所示，搬運中之搬運對象物3的前端部31於通過2支搬運軌道1A、1B之搬運面110A、110B間的間隙4上時，首先，於搬運軌道1A之一方的側面122側，該搬運中的搬運對象物3的前端面31A會通過搬運軌道1A之搬運面110A的前端面側角部117上，進入2支搬運軌道1A、1B之搬運面110A、110B間的間隙4上。此時，於搬運軌道1A之另一方的側面120側，該搬運對象物3的前端面31A還位於搬運軌道1A的搬運面110A上，因此於搬運對象物3的前端部31和搬運軌道1A的搬運面110A之間，就會形成有從該搬運面110A噴出之壓縮空氣造成的空氣膜。基於此，搬運對象物3的前端部31，即使進入在2支搬運軌道1A、1B之搬運面110A、110B間的間隙4上，但在搬運軌道1A之另一方的側面120側之區域仍然局部性持續受到空氣膜的壓力。
然後，當搬運對象物3更加前進時，如第3(C)圖所示，搬運對象物3的前端面31A，會於搬運軌道1A之另一方的側面120側通過搬運軌道1A之搬運面110A的前端面側角部116上之前，就於下一個搬運軌道1B之一方的側面122側，通過下一個搬運軌道1B之搬運面110B的後端面側角部118上，進入下一個搬運軌道1B的搬運面110B上。如此一來，於搬運對象物3的前端部31和下一個搬運軌道1B的搬運面110B之間，也會形成 有從該搬運面110B噴出之壓縮空間造成的空氣膜，因此搬運對象物3的前端部31就會在搬運軌道1A之另一方的側面120側及下一個搬運軌道1B之一方的側面122側之雙方的區域即Y軸方向兩側的區域受到空氣膜的壓力。
接著，之後，於搬運軌道1A之另一方的側面120側即使搬運對象物3的前端面31A通過搬運軌道1A之搬運面110A的前端面角部116上，但此時於下一個搬運軌道1B之一方的側面122側，搬運對象物3的前端面31A已經位於下一個搬運軌道1B的搬運面110B上，於下一個搬運軌道1B的搬運面110B和搬運對象物3的前端部31之間，會形成有該搬運面110B噴出之壓縮空氣造成的空氣膜。基於此，即使搬運對象物3的前端面31A完全通過搬運軌道1A的前端面121上，但搬運對象物3的前端部31於尚未完全進入在下一個搬運軌道1B的搬運面110B上之前，其位於下一個搬運軌道1B之另一方的側面122側的區域還是會局部性持續受到空氣膜的壓力。
同樣地，搬運中之搬運對象物3的後端部32(包括朝向搬運方向相反方向之另一方的端面32A之Y方向的帶狀區域，參閱第1圖)，也會於通過彼此相鄰在X軸方向之2個搬運面110A、110B間形成的間隙4上的通過期間，於Y軸方向的任一位置，經常由搬運對象物3的後端部32和該等2個搬運面110A、110B至少一方的搬運面之間形成的空氣膜支撐著局部性。第4(A)圖及第4(B)圖為表示沿X軸隔著指定間隔S2排列之複數搬 運軌道1當中彼此相鄰在X軸方向的2支搬運軌道1A、1B之搬運面110A、110B間形成的間隙4上通過之搬運對象物3的後端部32之狀態模式圖。另外，於第4(A)圖及第4(B)圖中，為了區別彼此相鄰在搬運方向的2支搬運軌道1及該等的搬運面110，對於設置在搬運方向之上游側的搬運軌道1及搬運面110是標示符號1A及110A，對於設置在搬運方向之下游側的搬運軌道1及搬運面110是標示符號1B及110B。
如第4(A)圖所示，搬運中之搬運對象物3的後端部32於通過2支搬運軌道1A、1B之搬運面110A、110B間的間隙4上時，首先，於搬運軌道1A之一方的側面122側，該搬運中的搬運對象物3的後端面32A會通過搬運軌道1A之搬運面110A的前端面側角部117上，進入2支搬運軌道1A、1B之搬運面110A、110B間的間隙4上。此時，於搬運軌道1A之另一方的側面120側，該搬運對象物3的後端面32A還位於搬運軌道1A的搬運面110A上，因此於搬運對象物3的後端部32和搬運軌道1A的搬運面110A之間，就會形成有從該搬運面110A噴出之壓縮空氣造成的空氣膜。基於此，搬運對象物3的後端部32，即使進入在2支搬運軌道1A、1B之搬運面110A、110B間的間隙4上，但在搬運軌道1A之另一方的側面120側之區域仍然局部性持續受到空氣膜的壓力。
然後，當搬運對象物3更加前進時，如第4 (B)圖所示，搬運對象物3的後端面32A，會於搬運軌道1A之另一方的側面120側通過搬運軌道1A之搬運面110A的前端面側角部116上之前，就於下一個搬運軌道1B之一方的側面122側，通過下一個搬運軌道1B之搬運面110B的後端面側角部118上，進入下一個搬運軌道1B的搬運面110B上。如此一來，於搬運對象物3的後端部32和下一個搬運軌道1B的搬運面110B之間，也會形成有從該搬運面110B噴出之壓縮空間造成的空氣膜，因此搬運對象物3的後端部32就會在搬運軌道1A之另一方的側面120側及下一個搬運軌道1B之一方的側面122側之雙方的區域即Y軸方向兩側的區域受到空氣膜的壓力。
接著，之後，於搬運軌道1A之另一方的側面120側即使搬運對象物3的後端面32A通過搬運軌道1A之搬運面110A的前端面角部116上，但此時於下一個搬運軌道1B之一方的側面122側，搬運對象物3的後端面32A已經位於下一個搬運軌道1B的搬運面110B上，於下一個搬運軌道1B的搬運面110B和搬運對象物3的後端部32之間，會形成有該搬運面110B噴出之壓縮空氣造成的空氣膜。基於此，即使搬運對象物3的後端面32A完全通過搬運軌道1A的前端面121上，但搬運對象物3的後端部32在搬運對象物3的後端面32A尚未完全進入在下一個搬運軌道1B的搬運面110B上之前，其位於下一個搬運軌道1B之另一方的側面122側的區域還是會局部性持續受到空氣膜的壓力。
如以上說明所示，根據本實施形態時，沿著搬運方向隔著間隔排列的複數搬運軌道1，分別具有於彼此相鄰在搬運方向之搬運軌道1的搬運面110之間形成有對搬運方向成傾斜方向之間隙4的大致平行四邊形的搬運面110，彼此相鄰在搬運方向的2個搬運面110A、110B當中，位於搬運方向下游側之一方的搬運面110B，其朝搬運方向上游突出之角部118的前端，係形成為比位於搬運方向上游側之另一方的搬運面110A所具有之朝搬運方向下游突出的角部116之前端還位於搬運方向的上游側。因此，搬運對象物3的前端面31A及後端面32A，其寬度a方向(Y軸方向，參閱第1圖)的整個區域，沒有向前突出於彼此相鄰在搬運方向之2個搬運面110A、110B間形成的間隙4，該搬運對象物3的前端部31及後端部32，於通過該等2個搬運面110A、110B間的間隙4上的通過期間，經常，位於該等2個搬運面110A、110B之至少一方的搬運面上，且局部性受到來自於至少一方之搬運面的壓縮空氣造成之空氣膜的壓力。基於此，就可抑制搬運對象物3之前端部31及後端部32的撓曲，因此就可使搬運對象物3的上浮狀態在通過隔著間隔排列在搬運方向之搬運軌道1的搬運面110間形成之間隙4上的通過期間更為穩定。基於此，就可抑制搬運對象物3在越過例如配置有感測器等之彼此相鄰在搬運方向的2個搬運軌道1A、1B間之間隙時搬運對象物3上浮量的變動，能夠提昇位於該位置之搬運對象物3之上浮量的精度。
此外，為了防止搬運對象物3之前端部31及後端部32往彼此相鄰在搬運方向的2個搬運軌道1A、1B間下垂，該搬運對象物3之前端部31及後端部32是可從搬運軌道1A順利轉乘在下一個搬運軌道1B。因此，就不需要利用孔板的噴出孔所噴出之壓縮空氣的上揚來抬高搬運對象物3之前端部31及後端部32，因此就可更加抑制搬運對象物3在通過彼此相鄰在搬運方向的2個搬運面110A、110B間之間隙4時搬運對象物3上浮量的變動。另外，由於不需要安裝孔板，因此可相對地降低製造成本。
此外，即使將搬運軌道1之搬運面110的寬度(Y軸方向的寬度)b形成為較寬，但彼此相鄰在搬運方向之2個搬運面110A、110B間的間隙4也不會局部性變寬，因此搬運對象物3之前端部31及後端部32於其寬度a的方向(Y軸方向)任一位置，都能夠穩定上浮且順利地通過該間隙4上。
另外，如專利文獻1記載的上浮式搬運裝置所示，當於搬運軌道之一方的端面連接三角狀塊時，為了避免三角狀塊的上面和搬運軌道的搬運面產生段差，需要一邊調整一邊將三角狀塊固定在全部的搬運軌道。根據本實施形態時，由於不需要上述所示的繁瑣作業，因此就能夠抑制上浮式搬運裝置的製造成本。
此外，於本實施形態中，雖然以各搬運軌道1具有平行四邊形狀的搬運面110為例子，但並不一定要構 成為如上述所示。例如也可將具有如第5(A)圖所示之梯形狀搬運面110C的複數搬運軌道1C構成為一邊交替改變方向一邊沿著搬運方向配置成一列，且配置成可於彼此相鄰在搬運方向的2個搬運面110C間形成有沿著對搬運方向成傾斜方向的間隙4。或者是，如第5(B)圖所示，也可將彼此相鄰在搬運方向之2支搬運軌道1F的搬運面110F1、110F2當中上游側搬運面110F1的緣部113形成為階梯狀，並且將下游側搬運面110F2的緣部115形成為上游側搬運面110F1之緣部113的反轉形狀，於該等之間，使階梯狀的間隙4形成為與搬運對象物3的寬度方向(Y軸方向)交差，或如第5(C)圖所示，也可將彼此相鄰在搬運方向之2支搬運軌道1G的搬運面110G1、110G2當中上游側搬運面110G1的緣部113形成為曲線狀，並且將下游側搬運面110G2的緣部115形成為上游側搬運面110G1之緣部113的反轉形狀，於該等之間，使彎曲的間隙4形成為與搬運對象物3的寬度方向(Y軸方向)交差。於該等形態時，與上述實施形態同樣地，彼此相鄰在搬運方向之2個搬運面當中，位於搬運方向下游側之一方的搬運面110F2、110G2所具有之後端面側角部當中的1個角部118F、118G，構成為比位於搬運方向上游側之另一方的搬運面110F1、110G1所具有之前端面側角部當中的1個角部116F、116G還位於搬運方向的上游位置。
另外，於本實施形態中，位於彼此相鄰在搬 運方向之2個搬運面110A、110B的緣部端部位置之角部116、118彼此朝另一搬運面110B、110A側突出，但並不一定要構成為如上述所示。只要將彼此相鄰在搬運方向之2個搬運面的緣部113、115構成為於Y方向的任一位置彼此朝另一方的搬運面突出，使該等緣部113、115形成為分別可通過在搬運方向之不同位置的2處，並且將位於搬運方向下游側之一方的搬運面之緣部113的突出部構成為比位於搬運方向上游側之另一方的搬運面之緣部115的突出部還位於搬運方向的上游位置即可。例如也可如第5(D)圖、第5(E)圖所示，於彼此相鄰在搬運方向之2支搬運軌道1H、1J，相向的緣部113、115當中，位於搬運方向下游側之搬運面110H2、110J2的緣部115是於兩側以外的位置形成為朝搬運方向的上游側突出著，位於搬運方向上游側之搬運面110H1、110J1的緣部113具有緣部115的反轉形狀。於該等形態時，位於搬運方向下游側之搬運面110H2、110J2的緣部115之突出部115H、115J構成為比位於搬運方向上游側之搬運面之110H1、110J1的緣部113之突出部113H、113J還位於搬運方向的上游位置。或者，也可與第5(D)圖、第5(E)圖所示相反，將位於搬運方向上游側之搬運面110H1、110J1的緣部113於兩側以外的位置形成為朝搬運方向的上游側突出著，將位於搬運方向下游側之搬運面110H2、110J2的緣部115構成為具有緣部113的反轉形狀。
此外，於本實施形態中，雖然將複數支搬運 軌道1沿著X軸排列成一列，但例如當搬運對象物3的Y軸方向寬度a為較寬形態時，也可將複數支搬運軌道1沿著X軸排列成一列，且將該排列狀態的搬運軌道列以複數列排列在Y軸方向。當要構成為該形態時，例如只要將複數的搬運軌道1排列配置在X軸方向及Y軸方向，且排列配置成可使各搬運軌道列之搬運面110間的傾斜間隙4連接於所相鄰之搬運軌道列的搬運面110間的傾斜間隙4即可。此外，也可構成為藉由將第1列之搬運軌道列的搬運軌道1之另一方的側面120至第N列之搬運軌道列的搬運軌道之一方的側面122的距離B，和，對X軸之搬運軌道1的前端面121及後端面123的傾斜角度θ，和，彼此相鄰在X軸方向之2個搬運面110間的間隙之X方向寬度S2設定成可滿足B>S2．tan θ的條件，使搬運對象物3的前端部31及後端部32通過各搬運列間連接形成的間隙4上時，搬運對象物3的前端面31A及後端面32A，於第1列之搬運軌道列的搬運軌道1之另一方的側面120側，在通過搬運軌道1之搬運面110的前端面121側的角部116上之前，就於第N列之搬運軌道列的下一個搬運軌道1之一方的側面122側，通過下一個搬運軌道1之搬運面110的後端面123側的角部118上。
另外，於本實施形態，搬運軌道1之節流的形式雖然以多孔質節流為例示，但搬運軌道1的節流方式並不限於多孔質節流。例如也可採用節流孔節流、表面節流、自成節流等多孔質節流以外之節流方式的搬運軌道做 為搬運軌道1。當採用任一節流方式的搬運軌道做為搬運軌道1時，也是以形成有噴出孔位於可讓搬運對象物3的前端面31A及後端面32A在通過搬運軌道1A之前端面121側的角部116上之前搬運對象物3的前端部31及後端部32就進入下一個搬運軌道1B之搬運面110B上的區域為佳。此外，於搬運軌道1的搬運面110，也可形成有以指定的排列利用吸氣吸引搬運對象物3靠近的複數吸氣孔。
不過，上述實施形態中，於彼此相鄰在搬運方向的2個搬運面110A、110B間，形成有對搬運方向成傾斜方向的間隙4，但彼此相鄰在搬運方向之2個搬運面間形成的間隙4的方向，只要構成為對搬運對象物3的前端面31A及後端面32A成相對性傾斜，並且，不會讓搬運對象物3之前端面31A及後端面32A的整個區域向前突出於該間隙4上即可。
例如也可構成為如第6(A)圖所示，為了讓搬運對象物3A的前端面31A及後端面32A對彼此相鄰在搬運方向(X軸方向)之2個搬運軌道1D的搬運面110D1、110D2間的間隙4成傾斜是將彼此相鄰在搬運方向(X軸方向)之2個搬運軌道1D的搬運面110D1、110D2間的間隙4，和，搬運對象物3A的前端面31A及後端面32A，分別構成為對搬運方向成傾斜著。於該形態時，做為搬運台100構成用之搬運軌道1所使用的搬運軌道1D之搬運面110D1、110D2的形狀及搬運對象物3A的 形狀，設定成可讓搬運對象物3A的前端面31A及後端面32A在完全越過彼此相鄰的2個搬運面110D1、110D2當中上游側的搬運面110D1上之前就會進入在下游側的搬運面110D2上。例如：搬運軌道1D之搬運面110D1、110D2的形狀及搬運對象物3A的形狀，形成為大致平行四邊形具有可滿足上述所示之關係的相向之X軸方向的端面和對搬運方向成傾斜的端面(前端面、後端面)。因此，於彼此相鄰之2個搬運面110D1、110D2間的間隙4上通過中之搬運對象物3A的前端部31，其朝搬運方向之下游突出的一方角部33A，乃會在另一方角部33B還是位於上游側之搬運面110D1上的階段就已經進入在下游側的搬運面110D2上，於彼此相鄰之2個搬運面110D1、110D2間的間隙4上通過中之搬運對象物3A的後端部31，其朝搬運方向之上游突出的一方角部33C，乃會在另一方角部33D已經進入在下游側之搬運面110D2上的階段仍然還是位於上游側的搬運面110D1上。基於此，搬運中之搬運對象物3A的前端部31或後端部32，於通過彼此相鄰在搬運方向之2個搬運面110D1、110D2間的間隙4上的通過期間，其任一位置，經常由其與該等2個搬運面110D1、110D2之至少一方的搬運面之間形成的空氣膜支撐著局部性。
或者，如第6(B)圖所示，即使彼此相鄰在搬運方向(X軸方向)之2個搬運軌道1E的搬運面110E1、110E2間之間隙4的方向對搬運方向成垂直，但 只要藉由將搬運對象物3的平行四邊形狀加工成為使搬運對象物3的前端面31A及後端面32A對搬運方向成傾斜，使搬運對象物3的前端面31A及後端面32A對彼此相鄰在搬運方向之2個搬運軌道1E的搬運面110E1、110E2間之間隙4的方向成傾斜即可。於該形態時，搬運對象物3A的形狀，乃設定成可讓其前端面31A及後端面32A在完全越過彼此相鄰的2個搬運面110E1、110E2當中上游側的搬運面110E1上之前就會進入在下游側的搬運面110E2上。因此，於彼此相鄰之2個搬運面110E1、110E2間的間隙4上通過中之搬運對象物3的前端部31，其朝搬運方向之下游突出的一方角部33A，乃會在另一方角部33B還是位於上游側之搬運面110E1上的階段就已經進入在下游側的搬運面110E2上，於彼此相鄰之2個搬運面110E1、110E2間的間隙4上通過中之搬運對象物3的後端部31，其朝搬運方向之上游突出的一方角部33C，乃會在另一方角部33D已經進入在下游側之搬運面110E2上的階段仍然還是位於上游側的搬運面110E1上。基於此，搬運中之搬運對象物3A的前端部31或後端部32，於通過彼此相鄰在搬運方向之2個搬運面110E1、110E2間的間隙4上的通過期間，其任一位置，經常由其與該等2個搬運面110E1、110E2之至少一方的搬運面之間形成的空氣膜支撐著局部性。另外，於第6(B)圖中，雖然以大致平行四邊形狀的搬運對象物3為例示，但搬運對象物3的形狀，也可以是具有相向之Y軸方向的端面和對搬 運方向傾斜之端面(前端面、後端面)的大致梯形。
於該等形態中，同樣地搬運軌道1D、1E的節流方式並不加以限定，此外，於搬運軌道1D、1E的搬運面110D1、110D2、110E1、110E2，也可形成有以指定排列的形態利用吸氣吸引搬運對象物3A靠近的複數吸氣孔。另外，以形成有噴出孔位於可讓搬運對象物3的前端部31在通過彼此相鄰之2個搬運面間的間隙4上時其另一方角部33B還是位於上游側之搬運面110D1、110E1的階段其另一方角部33A就已經進入在下游側之搬運面110D2、110E2上的區域為佳。此外，也可構成為將複數支搬運軌道1D、1E沿著X軸排列成一列，並將上述排列狀態的搬運軌道列以複數列排列配置在Y軸方向。
另外，於以上的說明中，對要將搬運對象物3、3A朝一方向搬運的上浮式搬運裝置之應用例進行了說明，但本發明也可應用在要將搬運對象物3、3A朝雙方向搬運的上浮式搬運裝置。
1A、1B‧‧‧搬運軌道
3‧‧‧搬運對象物
4‧‧‧搬運軌道間的間隙
31‧‧‧搬運對象物的前端部
31A‧‧‧搬運對象物的前端面
110A、110B‧‧‧搬運面
113、115‧‧‧搬運面的緣部
116~119‧‧‧搬運面的角部
121‧‧‧搬運軌道的前端面
120、122‧‧‧搬運軌道的側面
123‧‧‧搬運軌道的後端面
b‧‧‧搬運面110A、110B的Y軸方向寬度
S2‧‧‧間隙4的X軸方向寬度
θ‧‧‧緣部113、115的傾斜角度

Claims (8)

  1. 一種上浮式搬運裝置，為在沿搬運方向的搬運面和搬運對象物之間形成流體膜，藉此一邊使上述搬運對象物從上述搬運面上浮一邊朝上述搬運方向搬運的上浮式搬運裝置，其特徵為：具備有複數搬運軌道，該複數搬運軌道具有上述搬運面，且在與上述搬運對象物之間噴出上述流體膜形成用的流體，上述複數搬運軌道，係沿著上述搬運方向排列成使該複數搬運軌道各個的上述搬運面沿著上述搬運方向排列，在上述搬運方向彼此相鄰的2個上述搬運面，分別具有可使上述搬運方向之不同位置的2處位置連接的緣部，上述2個搬運面的緣部係形成相向，藉此在該2個上述搬運面之間形成與上述搬運方向之正交方向交叉的間隙，該相向的2個緣部當中位於上述搬運方向下游側之一方上述搬運面的緣部，係構成為該緣部所連接的上述2處位置當中，上述搬運方向上游側的位置比位於上述搬運方向上游側之另一方上述搬運面的上述緣部所連接之上述2處位置當中的上述搬運方向下游側的位置還位於上述搬運方向的上游側。
  2. 如申請專利範圍第1項所記載的上浮式搬運裝置，其中，上述相向之2個緣部，係對上述搬運方向傾斜成可使上述間隙沿著對上述搬運方向成傾斜的方向形成，在上述搬運方向彼此相鄰的2個上述搬運面，係於上 述緣部的兩側具有2個角部，該2個上述搬運面當中，位於上述搬運方向下游側之一方上述搬運面，係構成為該搬運面的上述2個角部當中位於上述搬運方向上游側的角部比位於上述搬運方向上游側之另一方上述搬運面的上述2個角部當中位於上述搬運方向下游側的角部還位於上述搬運方向的上游側。
  3. 如申請專利範圍第1項所記載的上浮式搬運裝置，其中，上述複數搬運軌道的搬運面，具有大致平行四邊形或大致梯形的形狀。
  4. 如申請專利範圍第2項所記載的上浮式搬運裝置，其中，上述複數搬運軌道的搬運面，具有大致平行四邊形或大致梯形的形狀。
  5. 如申請專利範圍第1項所記載的上浮式搬運裝置，其中，上述相向之2個緣部，係形成為曲線狀或階梯狀。
  6. 一種搬運軌道，其特徵為：申請專利範圍第1項至第5項任一項所記載之上浮式搬運裝置中所使用的上述搬運軌道。
  7. 一種上浮式搬運方法，為在沿搬運方向排列之複數搬運面的各個搬運面和搬運對象物之間，利用上述各個搬運面所噴出的流體形成流體膜，藉此一邊使上述搬運對象物從上述複數搬運面的各個搬運面上浮一邊朝上述搬運方向搬運的上浮式搬運方法，其特徵為：上述搬運對象物所具有的端面當中，沿上述搬運方向 之端面以外的端面，係對於在上述搬運方向彼此相鄰的2個搬運面間形成之間隙的方向成相對傾斜著，構成在通過該間隙上的通過期間，在越過該2個搬運面當中位於上游側的一方搬運面上之前，就進入位於下游側的另一方搬運面上。
  8. 如申請專利範圍第7項所記載的上浮式搬運方法，其中，上述搬運對象物，具有大致平行四邊形或大致梯形的形狀，該形狀具有對搬運方向成傾斜的端面，該端面是沿上述搬運方向之端面以外的端面。
TW102143006A 2013-02-14 2013-11-26 上浮式搬運裝置、搬運軌道及上浮式搬運方法 TW201441128A (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013027000A JP6147521B2 (ja) 2013-02-14 2013-02-14 浮上搬送装置、搬送レール、および浮上搬送方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW201441128A true TW201441128A (zh) 2014-11-01

Family

ID=51353705

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW102143006A TW201441128A (zh) 2013-02-14 2013-11-26 上浮式搬運裝置、搬運軌道及上浮式搬運方法

Country Status (7)

Country Link
JP (1) JP6147521B2 (zh)
KR (1) KR20150118989A (zh)
CN (1) CN104995113A (zh)
HK (1) HK1213863A1 (zh)
IL (1) IL239806A0 (zh)
TW (1) TW201441128A (zh)
WO (1) WO2014125686A1 (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6861198B2 (ja) * 2018-12-12 2021-04-21 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板搬送装置および塗布装置
CN113652909A (zh) * 2021-09-24 2021-11-16 江西理工大学 磁悬浮轨道及磁悬浮系统

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56116630A (en) * 1980-02-20 1981-09-12 Hitachi Ltd Work offering feeding mechanism
JPS61169101U (zh) * 1985-04-04 1986-10-20
JPH06228901A (ja) * 1993-01-21 1994-08-16 Kichisho Chin レールの継ぎ目構造
JP2004210490A (ja) * 2003-01-06 2004-07-29 Yuutekku:Kk エアコンベアおよびその搬送方向転換方法
JP3882819B2 (ja) * 2004-01-16 2007-02-21 三菱マテリアルテクノ株式会社 エアフロー整列キャップ供給器
JP4501713B2 (ja) * 2005-02-09 2010-07-14 シンフォニアテクノロジー株式会社 エア浮上搬送装置
JP2007238193A (ja) * 2006-03-06 2007-09-20 Kanto Auto Works Ltd 物品の搬送装置
CN101190748B (zh) * 2006-12-01 2011-09-07 台湾积体电路制造股份有限公司 自动化物料传送系统
CN102239093B (zh) * 2008-11-18 2013-12-18 翁令司工业股份有限公司 非接触式运送装置
KR101064893B1 (ko) * 2009-04-21 2011-09-16 금오공과대학교 산학협력단 평판 플로팅 시스템
TWM412155U (en) * 2011-04-29 2011-09-21 M U Technologies Corp Equipment with air bearing table

Also Published As

Publication number Publication date
CN104995113A (zh) 2015-10-21
JP6147521B2 (ja) 2017-06-14
WO2014125686A1 (ja) 2014-08-21
JP2014156297A (ja) 2014-08-28
HK1213863A1 (zh) 2016-07-15
IL239806A0 (en) 2015-08-31
KR20150118989A (ko) 2015-10-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7908885B2 (en) Non-contact porous air bearing and glass flattening device
JP2011225355A (ja) エア浮上ユニット、ステージ装置、検査システム、露光システム及び塗布システム
JP2008166348A (ja) 基板搬送装置
JP5406852B2 (ja) 非接触搬送装置
JP2006273576A (ja) 搬送物浮上ユニット、搬送物浮上装置、及びステージ装置
JP2008192718A (ja) 基板支持装置、基板支持方法、基板加工装置、基板加工方法、表示装置構成部材の製造方法、検査装置、検査方法
US20110011704A1 (en) Non-contact conveyance system
JP2003063643A (ja) 薄板の搬送方法及び装置
JP2012091122A (ja) 塗布システム
TWI637928B (zh) Glass plate manufacturing method and glass plate manufacturing device
TW201441128A (zh) 上浮式搬運裝置、搬運軌道及上浮式搬運方法
CN106684014B (zh) 基板浮起输送装置
JP2007281285A (ja) 基板搬送装置
JP2010260715A (ja) 浮上ユニット及び浮上装置
KR102588108B1 (ko) 유리판의 제조 방법 및 그 제조 장치
WO2016052248A1 (ja) 形状測定装置
JP4171293B2 (ja) 薄板状材の搬送方法及び装置
JP2003279495A (ja) ガラス基板の検査装置
CN105826168A (zh) 基板处理装置
JP2009011892A (ja) 塗布装置
JP2020032364A (ja) ステージ測定治具、塗布装置およびステージ測定方法
JP2013166608A (ja) 浮上搬送装置および浮上搬送方法
KR102497947B1 (ko) 유리판의 제조 방법 및 그 제조 장치
WO2015178189A1 (ja) 搬送用レールおよび浮上搬送装置
JP6079529B2 (ja) 支持機構および搬送装置