JP2020032364A - ステージ測定治具、塗布装置およびステージ測定方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、実施形態の基板処理装置の一例である塗布装置1の全体構成を模式的に示す側面図である。図2は、実施形態の塗布装置1を鉛直方向上側から見た概略平面図である。図3は、実施形態の塗布機構6を除いた塗布装置1を示す概略平面図である。図4は、図2に示すA−A線に沿う位置における塗布装置1の概略断面図である。図5は、実施形態の浮上ステージ3の一部を示す概略平面図である。
図6は、実施形態のステージ測定治具8を示す概略平面図である。図7は、実施形態のステージ測定治具8を示す概略正面図である。図8は、実施形態のステージ測定治具8を示す概略平面図である。ステージ測定治具8は、浮上ステージ3(ステージ31−33)の各上面31S−33Sの鉛直位置を測定する装置である。ここでは、ステージ測定治具8は、各上面31S−33Sの平面出しをすることを目的に使用される。
図10は、浮上ステージ3の各上面31S−33Sの鉛直位置を測定および調整する処理フローを示す図である。以下に説明する処理フローは、一例であり、これに限定されるものではない。
ステージ測定治具8によると、塗布装置1において基板Wを搬送するために設けられた搬送シャトル5に各ステージ測定器81を接続して、ステージ測定器81を搬送方向D1に移動させる。このため、浮上ステージ3の搬送方向D1における鉛直位置の分布を効率良く測定できる。したがって、浮上ステージ3の各上面31S−33Sの傾きを効率良く測定できる。
以上、実施形態について説明してきたが、本発明は上記のようなものに限定されるものではなく、様々な変形が可能である。
13 調整機構
131 レベリングボルト
133 支持板
3 浮上ステージ
31 入口浮上ステージ
32 塗布ステージ
321h 噴出口
322h 吸引口
33 出口浮上ステージ
31S,32S,33S 上面
31h,33h 噴出口
35 浮上制御機構
5 搬送シャトル
6 塗布機構
8 ステージ測定治具
81 ステージ測定器
83 架橋構造
831 梁部
831S 側面
832,833 支柱部
841,843 連結具
D1 搬送方向
D2 搬送幅方向
W 基板
Claims (7)
- 搬送シャトルによって既定の搬送方向に搬送される基板に浮上力を付与する浮上ステージが有する平面であって、かつ、エアを噴出する複数の孔が形成された鉛直方向上向きである上面の鉛直位置を測定するステージ測定治具であって、
前記浮上ステージの前記上面の鉛直位置を測定する少なくとも1つのステージ測定器と、
前記ステージ測定器を前記搬送方向に移動可能となるように前記搬送シャトルに接続する接続部と、
を含む、ステージ測定治具。 - 請求項1のステージ測定治具であって、
前記接続部は、
前記搬送方向に直交する搬送幅方向に延びており、前記ステージ測定器を前記上面の上方にて支持する梁部と、
前記梁部を前記搬送シャトルに対して取り外し可能に連結する連結具と、
を備える、ステージ測定治具。 - 請求項1又は請求項2のステージ測定治具であって、
前記上面の一部である対象部分の鉛直位置が浮上ステージに設けられた調整機構によって調整可能であり、
前記ステージ測定器は、前記対象部分の鉛直位置を測定可能な位置に設けられている、ステージ測定治具。 - 請求項1から請求項3のいずれか1項のステージ測定治具であって、
前記搬送方向に直交する搬送幅方向に間隔をあけて、複数の前記ステージ測定器が設けられている、ステージ測定治具。 - 基板に処理液を塗布する塗布装置であって、
基板を既定の方向に搬送する搬送シャトルと、
鉛直上向きの上面に設けられた複数の孔からエアを噴出することによって、前記搬送シャトルが搬送方向に搬送する基板に浮上力を付与する浮上ステージと、
前記エアを供給するエア供給部と、
前記上面の鉛直位置を測定する少なくとも1つのステージ測定器と、
前記ステージ測定器を前記搬送方向に移動可能となるように前記搬送シャトルに接続する接続部と、
前記上面の一部である対象部分の鉛直位置を調整する調整具と、
前記搬送シャトルによって前記搬送方向に搬送される基板に向けて処理液を吐出するノズルと、
を備える、塗布装置。 - 搬送シャトルによって既定の搬送方向に搬送される基板に浮上力を付与する浮上ステージが有する平面であって、かつ、エアを噴出する複数の孔が形成された鉛直方向上向きである上面の鉛直位置を測定するステージ測定方法であって、
(a) 接続部を介してステージ測定器を前記搬送シャトルに接続する工程と、
(b) 前記ステージ測定器を前記搬送シャトルの動力によって前記搬送方向に移動させる工程と、
(c) 前記工程(b)において、前記搬送方向に移動する前記ステージ測定器によって、前記上面における前記搬送方向に異なる部分の鉛直位置を測定する工程と、
を含む、ステージ測定方法。 - 既定の搬送方向に搬送される基板に浮上力を付与する浮上ステージが有する平面であって、かつ、エアを噴出する複数の孔が形成された鉛直方向上向きである上面の鉛直位置を測定するステージ測定治具であって、
前記浮上ステージの前記上面の鉛直位置を測定する少なくとも1つのステージ測定器と、
前記ステージ測定器を前記搬送方向に移動させる移動部と、
を含む、ステージ測定治具。
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