JP2013131770A - 塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板搬送部によって基板を搬送させつつ当該基板に液状体を塗布する塗布部を備える塗布装置であって、塗布部は、液状体を吐出するノズルを有し、基板搬送部は、基板と対向するステージ表面が形成されたステージを有すると共に、基板の基板面がステージ表面に沿うように搬送可能であり、ステージ表面を搬送される基板に対してノズルが平行になるようにステージ表面を基準としたノズルの平行調整を基板搬送部上の所定位置で行う調整機構を備え、調整機構は、ノズルに当接させてノズルの位置を規制する当接部を有することを特徴とする。
【選択図】図6
Description
本発明によれば、基板搬送部が基板に液状体を塗布させる塗布領域を有し、水平調整を行う所定位置が塗布領域に対して基板搬送方向の側方の位置であることとしたので、塗布領域に配置されるノズルの水平調整を容易に行うことができる。
本発明によれば、水平調整を行う所定位置がノズルに対して基板搬送方向の側方の位置であることとしたので、液状体を塗布する位置でノズルの水平調整を一層容易に行うことができる。
本発明によれば、所定位置が塗布領域を挟んで設けられる複数の位置であることとしたので、当該複数の位置を基準としてノズルの水平調整が行われることになる。これにより、水平調整の精度を向上させることができる。
本発明によれば、基板搬送部が基板に液状体を塗布させる塗布領域を有し、所定位置が塗布領域から外れた位置であることとしたので、液状体の塗布状態に及ぼす影響を抑えつつノズルの水平調整及びノズルと基板との距離の調整を行うことができる。
本発明によれば、基板搬送部には、基板を搬入する基板搬入領域及び基板を搬出する基板搬出領域が塗布領域を挟むように設けられており、水平調整を行う所定位置が基板搬入領域及び基板搬出領域のうち少なくとも一方の領域内の位置であるので、液状体の塗布状態に及ぼす影響を抑えつつノズルの水平調整及びノズルと基板との距離の調整を行うことができる。
本発明によれば、基板搬送部が基板に液状体を塗布させる塗布領域を有し、所定位置が塗布領域内の位置であることとしたので、液状体の塗布を行う塗布領域においてノズルの水平調整及びノズルと基板との距離の調整を行うことができる。これにより、所期の塗布性能を有する塗布装置を得ることができる。
本発明によれば、所定位置が塗布領域内のうちノズルに重なる領域から外れた位置であることとしたので、液状体の塗布状態に及ぼす影響を抑えつつノズルの水平調整及びノズルと基板との距離の調整を行うことができる。これにより、所期の塗布性能を確保することができる。
本発明によれば、所定位置が基板搬送部のうち平面視で基板搬送方向に直交する方向の中央の位置であることとしたので、ノズルに撓みがある場合であっても、当該撓みを無くす方向に調整することができる。
本発明によれば、所定位置が基板搬送部のうち平面視で基板搬送方向に直交する方向の端部側の位置であることとしたので、ノズルの端部に反りがある場合であっても、当該反りを無くす方向に調整することができる。
本発明によれば、所定位置がノズルの長手方向に沿って設けられる複数の位置であることとしたので、ノズルの長手方向について水平調整及び基板との間の距離の調整を行うことができる。調整の精度を向上させることができる。
本発明によれば、調整機構が基板搬送部上に出没可能な測長部材を有し、測長部材が所定位置ごとに設けられていることとしたので、当該測長部材によってノズルの水平調整をすると共にノズルと基板との距離の調整を行うことができる。
本発明によれば、基板搬送部の傾きを測定する測定機構と、当該測定機構による結果に基づいて基板搬送部の傾きを補正する補正機構とを更に備えることとしたので、基板搬送部の傾きを水平に調整することができる。これにより、ノズルの水平調整の精度及びノズルと基板との間の距離の調整の精度を一層向上させることができる。
本発明によれば、測定機構が基板搬送部のうち少なくとも基板に液状体を塗布させる塗布領域の傾きを測定し、補正機構が基板搬送部のうち少なくとも基板に液状体を塗布させる塗布領域の傾きを補正することとしたので、塗布領域を水平に調整することができる。
これにより、ノズルの水平調整の精度を向上させると共に、ノズルと基板との間の距離の調整の精度を向上させることができ、所期の塗布性能を得ることができる。
図1は本実施形態に係る塗布装置1の斜視図である。
図1に示すように、本実施形態に係る塗布装置1は、例えば液晶パネルなどに用いられるガラス基板上にレジストを塗布する塗布装置であり、基板搬送部2と、塗布部3と、管理部4とを主要な構成要素としている。塗布装置1では、基板搬送部2によって基板が浮上した状態で搬送され、塗布部3によって基板上にレジストが塗布され、管理部4によって塗布部3の状態が管理されるようになっている。塗布装置1は、例えばクリーンルーム内など清浄な環境下に配置されて用いられることが好ましい。
まず、基板搬送部2の構成を説明する。
基板搬送部2は、フレーム21と、ステージ22と、搬送機構23とを有している。基板搬送部2では、搬送機構23によって基板Sがステージ22上を+X方向に搬送されるようになっている。
フレーム側部21bとフレーム中央部21aとの間には隙間が設けられている。フレーム側部21cは、フレーム中央部21aの+Y方向側に配置されており、搬送機構23を支持している。フレーム側部21cとフレーム中央部21aとの間には隙間が設けられている。フレーム中央部21a、フレーム側部21b及びフレーム側部21cはX方向に長手になっており、各部のX方向の寸法はほぼ同一になっている。
本実施形態では、搬出側ステージ28上の領域が基板搬出領域28Sである。基板搬出領域28Sは、レジストの塗布された基板Sを装置外部へ搬出する基板搬出領域28Sである。
また、上記の基板Sの半分程度の面積を有する基板を搬送する場合には、例えば2つの搬送機構23で1枚ずつ保持し、これら2つの搬送機構23を+X方向に並進させることによって、2枚の基板を同時に搬送させることもできるようになっている。
図2から図4に戻って、塗布部3の構成を説明する。
塗布部3は、基板S上にレジストを塗布する部分であり、門型フレーム31と、ノズル32とを有している。
管理部4の構成を説明する。
管理部4は、基板Sに吐出されるレジスト(液状体)の吐出量が一定になるようにノズル32を管理する部位であり、基板搬送部2のうち塗布部3に対して−X方向側に設けられている。この管理部4は、予備吐出機構41と、ディップ槽42と、ノズル洗浄装置43と、これらを収容する収容部44と、当該収容部を保持する保持部材45とを有している。
図2から図4を参照して、本実施形態に係る塗布装置1の特徴的構成要素である調整機構を説明する。
調整機構51は、ノズル32のうちノズル先端32cの水平調整を行うための水平調整機構である。調整機構51は、基板搬入領域25S内に複数、例えば3つ設けられている。
次に、上記のように構成された塗布装置1の動作を説明する。
図5は、塗布装置1の動作過程を示す平面図である。同図を参照して、基板SにレジストRを塗布する動作を説明する。この動作では、短手方向が搬送方向に平行になるように基板Sを基板搬入領域25Sに搬入し、当該基板Sを浮上させて搬送しつつ塗布処理領域27Sでレジストを塗布し、当該レジストを塗布した基板Sを基板搬出領域28Sから搬出する。図5では管理部4の図示を省略し、搬入側ステージ25の構成を判別しやすくした。また、門型フレーム31を破線で示し、ノズル32及びセンサ33の構成を判別しやすくした。以下、各部分における詳細な動作を説明する。
基板Sがレジストを吐出する開口部32aの下を通過することにより、基板Sの所定の領域にレジスト膜Rが形成される。このとき、処理ステージ27のエア噴出孔27aから噴出されるエアの温度は、塗布装置1の周囲の温度にほぼ等しくなるよう調節されているため、当該エアに接する基板Sには温度ムラが発生しにくくなり、レジストRの膜厚ムラが形成されにくくなる。
処理ステージ27上で基板Sが搬送される状態においては、当該基板Sは処理ステージ27に平行になった状態で搬送される。ノズル32が処理ステージ27に対して傾いて配置されている場合、当然にノズル先端32cが処理ステージ27の表面27cに対して傾いて配置されることになる。そうなると、ノズル32から吐出されるレジストRが基板Sに対して傾いた状態で塗布されることになり、塗布性能が低下してしまう。
図7(a)に示すように、処理ステージ27上に基準板52を載置する。基準板52は剛体の板状部材であり、処理ステージ27上に載置される載置面52aが平坦に形成されている。基準板52のX軸方向の寸法は、処理ステージ27上に載置した状態で3つの貫通孔50を塞ぐことができる程度の寸法になっている。基準板52を処理ステージ27に載置すると、貫通孔50の+Z方向側に載置面52aが位置することになる。このとき載置面52aのZ軸方向上の位置は、処理ステージ27の表面27cのZ軸方向上の位置と等しくなる。
処理ステージ27の表面27c自体が床面に対して傾いた状態になっている場合、上記の水平調整を行った場合であっても、ノズル先端32cが床面に対して傾いた状態になる。このため、ノズル32から吐出されるレジストRは基板Sに傾いて塗布される虞がある。これに対して、本実施形態では、ノズル先端32cの水平調整を行う前に、予め処理ステージ27の表面27cの水平調整を行っておくようにする。
上記実施形態においては、調整機構51を搬入側ステージ25の領域のうち処理ステージ27に沿った位置に配置する構成であったが、これに限られることは無く、搬入側ステージ25の他の位置に配置する構成であっても構わない。このような他の位置としては、例えば平面視で管理部4に含まれる位置などが挙げられる。また、上記実施形態においては、調整機構51を搬入側ステージ25の領域内に配置する構成であったが、これに限られることは無く、以下のような構成とすることも可能である。
Claims (11)
- 基板搬送部によって基板を搬送させつつ当該基板に液状体を塗布する塗布部を備える塗布装置であって、
前記塗布部は、前記液状体を吐出するノズルを有し、
前記基板搬送部は、前記基板と対向するステージ表面が形成されたステージを有すると共に、前記基板の基板面が前記ステージ表面に沿うように搬送可能であり、
前記ステージ表面を搬送される前記基板に対して前記ノズルが平行になるように前記ステージ表面を基準とした前記ノズルの平行調整を前記基板搬送部上の所定位置で行う調整機構を備え、
前記調整機構は、前記ノズルに当接させて前記ノズルの位置を規制する当接部を有する
ことを特徴とする塗布装置。 - 前記基板搬送部は、前記基板に液状体を塗布させる塗布領域を有し、
前記所定位置は、前記塗布領域から外れた位置である
ことを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。 - 前記基板搬送部には、前記基板を搬入する基板搬入領域及び前記基板を搬出する基板搬出領域が前記塗布領域を挟むように設けられており、
前記所定位置は、前記基板搬入領域及び前記基板搬出領域のうち少なくとも一方の領域内の位置である
ことを特徴とする請求項2に記載の塗布装置。 - 前記基板搬送部は、前記基板に液状体を塗布させる塗布領域を有し、
前記所定位置は、前記塗布領域内の位置である
ことを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。 - 前記所定位置は、前記塗布領域内のうち前記ノズルに重なる領域から外れた位置である
ことを特徴とする請求項4に記載の塗布装置。 - 前記所定位置は、前記基板搬送部のうち平面視で基板搬送方向に直交する方向の中央の位置である
ことを特徴とする請求項1から請求項5のうちいずれか一項に記載の塗布装置。 - 前記所定位置は、前記基板搬送部のうち平面視で基板搬送方向に直交する方向の端部側の位置である
ことを特徴とする請求項1から請求項6のうちいずれか一項に記載の塗布装置。 - 前記ノズルは、長尺ノズルであり、
前記所定位置は、前記ノズルの長手方向に沿って設けられる複数の位置である
ことを特徴とする請求項1から請求項7のうちいずれか一項に記載の塗布装置。 - 前記当接部は、前記基板搬送部上に出没可能な測長部材を有し、
前記測長部材は、前記所定位置ごとに設けられている
ことを特徴とする請求項1から請求項8のうちいずれか一項に記載の塗布装置。 - 前記基板搬送部の傾きを測定する測定機構と、
前記測定機構による結果に基づいて前記基板搬送部の傾きを補正する補正機構と
を更に備えることを特徴とする請求項1から請求項9のうちいずれか一項に記載の塗布装置。 - 前記測定機構は、前記基板搬送部のうち少なくとも前記基板に液状体を塗布させる塗布領域の傾きを測定し、
前記補正機構は、前記基板搬送部のうち少なくとも前記基板に液状体を塗布させる塗布領域の傾きを補正する
ことを特徴とする請求項10に記載の塗布装置。
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JP2008164210A Division JP5416925B2 (ja) | 2008-06-24 | 2008-06-24 | 塗布装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2013131770A true JP2013131770A (ja) | 2013-07-04 |
JP5470474B2 JP5470474B2 (ja) | 2014-04-16 |
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