JP4069980B2 - 塗布膜形成装置 - Google Patents
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Description
2;処理ステーション
3;インターフェイスステーション
12a;搬入ステージ
12b;塗布ステージ
12c;搬出ステージ
13a〜13c;第1〜第3基板搬送機構
14;レジスト供給ノズル
15;ノズル洗浄ユニット
16:ガス噴射口
23;レジスト処理ユニット
23a;レジスト塗布装置(CT)
100;レジスト塗布・現像処理システム
G;LCD基板
Claims (10)
- 基板を略水平姿勢で一方向に搬送しながら前記基板に所定の塗布液を供給して塗布膜を形成する塗布膜形成装置であって、
基板を搬入するための基板搬入部と、
基板に所定の塗布液を供給して塗布膜を形成するための塗布処理部と、
塗布膜の形成された基板を搬出するための基板搬出部と、
前記基板搬入部と前記基板搬出部との間に実質的に直列に配置され、前記基板搬入部から前記基板搬出部へ基板を搬送する複数の基板搬送機構と、を具備し、
前記複数の基板搬送機構が、前記基板搬入部から前記塗布処理部へ基板を搬送する第1の基板搬送機構と、前記塗布処理部において基板を搬送する第2の基板搬送機構と、前記塗布処理部から前記基板搬出部へ基板を搬送する第3の基板搬送機構と、を備え、
前記塗布処理部が、所定のガスを噴射するガス噴射口を有する主ステージを備え、
前記第2の基板搬送機構が、基板の基板搬送方向に垂直な方向の端部近傍で基板を保持する第1のチャック部材と、前記第1のチャック部材を移動させる第1のチャック移動機構と、を備え、
前記第1のチャック部材に保持された基板が、前記ガス噴射口から噴射されるガスによって前記主ステージから浮いた状態で搬送されることを特徴とする塗布膜形成装置。 - 前記第1、第2、第3の基板搬送機構はそれぞれ、基板搬送精度を制御するための第1、第2、第3のリニアスケールを具備し、
前記第2のリニアスケールは前記第1および第3のリニアスケールよりも高精度であることを特徴とする請求項1に記載の塗布膜形成装置。 - 前記基板搬入部および前記基板搬出部はそれぞれ、所定のガスを噴射するガス噴射口および基板搬送方向と平行に設けられた所定幅の帯状の貫通孔とを有する副ステージを具備し、
前記第1および第3の基板搬送機構はそれぞれ、前記貫通孔に配置され、基板の裏面を吸着保持する第2のチャック部材と、前記第2のチャック部材を前記貫通孔の長手方向で移動させる第2のチャック移動機構と、を具備し、
前記第2のチャック部材に保持された基板は、前記ガス噴射口から噴射されるガスによって前記ステージから浮いた状態で搬送されることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の塗布膜形成装置。 - 基板を略水平姿勢で一方向に搬送しながら前記基板に所定の塗布液を供給して塗布膜を形成する塗布膜形成装置であって、
基板を搬入するための基板搬入部と、
基板に所定の塗布液を供給して塗布膜を形成するための塗布処理部と、
塗布膜の形成された基板を搬出するための基板搬出部と、
前記基板搬入部と前記基板搬出部との間に実質的に直列に配置され、前記基板搬入部から前記基板搬出部へ基板を搬送する複数の基板搬送機構と、を具備し、
前記複数の基板搬送機構が、前記基板搬入部から前記塗布処理部へ基板を搬送し、かつ、前記塗布処理部において基板を搬送する第1の基板搬送機構と、前記塗布処理部から前記基板搬出部へ基板を搬送する第2の基板搬送機構と、を備え、
前記塗布処理部が、所定のガスを噴射するガス噴射口を有する主ステージを備え、
前記第2の基板搬送機構が、基板の基板搬送方向に垂直な方向の端部近傍で基板を保持する第1のチャック部材と、前記第1のチャック部材を移動させる第1のチャック移動機構と、備え、
前記第1のチャック部材に保持された基板が、前記ガス噴射口から噴射されるガスによって前記主ステージから浮いた状態で搬送されることを特徴とする塗布膜形成装置。 - 前記第1、第2の基板搬送機構はそれぞれ、基板搬送精度を制御するための第1、第2のリニアスケールを具備し、
前記第1のリニアスケールは前記第2リニアスケールよりも高精度であることを特徴とする請求項4に記載の塗布膜形成装置。 - 前記基板搬出部は所定のガスを噴射するガス噴射口および基板搬送方向と平行に設けられた所定幅の帯状の貫通孔とを有する副ステージを具備し、
前記第1の基板搬送機構は、基板の基板搬送方向に垂直な方向の端部近傍で基板を保持する第1のチャック部材と、前記第1のチャック部材を移動させる第1のチャック移動機構と、を具備し、
前記第2の基板搬送機構は、前記貫通孔に配置され、基板の裏面を吸着保持する第2のチャック部材と、前記第2のチャック部材を前記貫通孔の長手方向で移動させる第2のチャック移動機構と、を具備し、
基板は、前記ガス噴射口から噴射されるガスによって前記主ステージおよび前記副ステージから浮いた状態で搬送されることを特徴とする請求項4または請求項5に記載の塗布膜形成装置。 - 基板を略水平姿勢で一方向に搬送しながら前記基板に所定の塗布液を供給して塗布膜を形成する塗布膜形成装置であって、
基板を搬入するための基板搬入部と、
基板に所定の塗布液を供給して塗布膜を形成するための塗布処理部と、
塗布膜の形成された基板を搬出するための基板搬出部と、
前記基板搬入部と前記基板搬出部との間に実質的に直列に配置され、前記基板搬入部から前記基板搬出部へ基板を搬送する複数の基板搬送機構と、を具備し、
前記複数の基板搬送機構が、前記基板搬入部から前記塗布処理部へ基板を搬送する第1の基板搬送機構と、前記塗布処理部において基板を搬送し、かつ、前記塗布処理部から前記基板搬出部へ基板を搬送する第2の基板搬送機構と、を備え、
前記塗布処理部が、所定のガスを噴射するガス噴射口を有する主ステージを具備し、
前記第2の基板搬送機構が、基板の基板搬送方向に垂直な方向の端部近傍で基板を保持する第1のチャック部材と、前記第1のチャック部材を移動させる第1のチャック移動機構と、を備え、
前記第1のチャック部材に保持された基板が、前記ガス噴射口から噴射されるガスによって前記主ステージから浮いた状態で搬送されることを特徴とする塗布膜形成装置。 - 前記第1、第2の基板搬送機構はそれぞれ、基板搬送精度を制御するための第1、第2のリニアスケールを具備し、
前記第2のリニアスケールは前記第1のリニアスケールよりも高精度であることを特徴とする請求項7に記載の塗布膜形成装置。 - 前記基板搬入部は所定のガスを噴射するガス噴射口および基板搬送方向と平行に設けられた所定幅の帯状の貫通孔とを有する副ステージを具備し、
前記第2の基板搬送機構は、基板の基板搬送方向に垂直な方向の端部近傍で基板を保持する第1のチャック部材と、前記第1のチャック部材を移動させる第1のチャック移動機構と、を具備し、
前記第1の基板搬送機構は、前記貫通孔に配置され、基板の裏面を吸着保持する第2のチャック部材と、前記第2のチャック部材を前記貫通孔の長手方向で移動させる第2のチャック移動機構と、を具備し、
基板は、前記ガス噴射口から噴射されるガスによって前記主ステージおよび前記副ステージから浮いた状態で搬送されることを特徴とする請求項7または請求項8に記載の塗布膜形成装置。 - 前記塗布処理部は、
水平面において基板搬送方向に直交する方向に伸び、帯状に塗布液を吐出するスリット状の塗布液吐出口を有する塗布液供給ノズルと、
前記塗布液供給ノズルに少なくとも洗浄処理を施すノズル洗浄ユニットと、
前記塗布液供給ノズルを、前記第2の基板搬送機構によって搬送される基板に塗布液を供給する位置および前記ノズル洗浄ユニットにアクセスさせるノズル移動機構と、
を具備することを特徴とする請求項1乃至請求項9いずれか一項に記載の塗布膜形成装置。
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