JP2011100970A5 - - Google Patents
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- 基板を収納した基板搬送容器が載置される容器載置部と、この容器載置部に載置された基板搬送容器に対して基板の受け渡しを行う受け渡し機構と、を含む基板搬入ブロックと、
基板に対して処理を行うための複数の処理ユニットと、これら処理ユニットに対して基板の受け渡しを行うための基板搬送機構と、を備えた処理ブロックであって、前記基板搬入ブロック側から順に配置される第１の処理ブロック、第２の処理ブロック及び第３の処理ブロックと、
前記受け渡し機構から前記第１の処理ブロックに基板を受け渡すための第１の受け渡しステージと、
前記受け渡し機構から受け取った基板を第２の処理ブロックに直接搬送するための第１直接搬送機構と、
前記受け渡し機構から受け取った基板を第３の処理ブロックに直接搬送するための第２直接搬送機構と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記第１の処理ブロック、第２の処理ブロック及び第３の処理ブロックは、互いに横方向に配置されていることを特徴とする請求項１記載の基板処理装置。
- 前記第２の処理ブロックは、前記第１直接搬送機構との間で基板の受け渡しが行われる受け渡しステージを備え、
前記第３の処理ブロックは、前記第２直接搬送機構との間で基板の受け渡しが行われる受け渡しステージを備えることを特徴とする請求項１又は２記載の基板処理装置。 - 第１の処理ブロック、第２の処理ブロック及び第３の処理ブロックの各々は、互いに積層された上段処理ブロック及び下段処理ブロックを備え、
これら上段処理ブロック及び下段処理ブロックの各々は、各々基板に対して処理を行うための複数の処理ユニットと、これら処理ユニットに対して基板の受け渡しを行うための基板搬送機構と、を備え、
前記第２の処理ブロック及び第３の処理ブロックの各々は、前記上段処理ブロックの基板搬送機構により基板の受け渡しが行われる上段ステージと、前記下段処理ブロックの基板搬送機構により基板の受け渡しが行われる下段ステージと、前記第１直接搬送機構または、第２直接搬送機構により搬送された基板を前記上段ステージあるいは下段ステージに受け渡す上下搬送機構と、を備えることを特徴とする請求項１又は２記載の基板処理装置。 - 第１の処理ブロック、第２の処理ブロック及び第３の処理ブロックの各々は、互いに積層された上段処理ブロック及び下段処理ブロックを備え、
これら上段処理ブロック及び下段処理ブロックの各々は、各々基板に対して処理を行うための複数の処理ユニットと、これら処理ユニットに対して基板の受け渡しを行うための基板搬送機構と、を備え、
前記第２の処理ブロック及び第３の処理ブロックの各々は、前記上段処理ブロックの基板搬送機構により基板の受け渡しが行われる上段ステージと、前記下段処理ブロックの基板搬送機構により基板の受け渡しが行われる下段ステージと、前記第１直接搬送機構または、前記第２直接搬送機構により搬送された基板を前記上段ステージあるいは下段ステージに受け渡す上下搬送機構と、前記第１直接搬送機構または、前記第２直接搬送機構により搬送された基板と前記上下搬送機構との間で基板の受け渡しを行うための受け渡しステージと、を備えることを特徴とする請求項１又は２記載の基板処理装置。 - 前記基板搬入ブロックと前記第１の処理ブロックの間に受け渡しブロックを備え、
前記受け渡しブロックは、前記第１の受け渡しステージと、前記受け渡し機構と第１直接搬送機構との間で基板の受け渡しが行われる第２の受け渡しステージと、前記受け渡し機構と第２直接搬送機構との間で基板の受け渡しが行われる第３の受け渡しステージと、を備えることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 前記各処理ブロック間に区画壁を設け、前記区画壁に前記第１直接搬送機構または、前記第２直接搬送機構により各処理ブロックに基板を受け渡し可能な開口を備えたことを特徴とする請求項１ないし６のいずれか一つに記載の基板処理装置。
- 前記第１の処理ブロックと前記第２の処理ブロック間に区画壁を設け、前記区画壁に前記第１直接搬送機構により前記第２の処理ブロックに基板を受け渡し可能であり、前記第２直接搬送機構が通過可能な開口を備えたことを特徴とする請求項１ないし７のいずれか一つに記載の基板処理装置。
- 前記第１の処理ブロック内に備えられた前記基板搬送機構と、第１の受け渡しステージとの間で基板の受け渡しが行われることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか一つに記載の基板処理装置。
- 前記第１直接搬送機構または、前記第２直接搬送機構は、複数枚の基板を同時に搬送可能であることを特徴とする請求項１ないし９のいずれか一つに記載の基板処理装置。
- 前記第１直接搬送機構及び、前記第２直接搬送機構のそれぞれ上方下方に隔壁を設けていることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれか一つに記載の基板処理装置。
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