JP2013058735A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. 被処理物を収納する収納部と、
   前記被処理物に処理を施す処理部と、
   前記被処理物を載置する保持部を積層方向に第１の間隔をおいて複数有する載置部と、
   前記収納部と、前記載置部と、の間における前記被処理物の搬送を行い、前記積層方向における第１の位置において前記載置部に侵入する第１の搬送部と、
   前記処理部と、前記載置部と、の間における前記被処理物の搬送を行い、前記積層方向において前記第１の位置とは異なる第２の位置において前記載置部に侵入する第２の搬送部と、
   を備え、
   前記第１の位置は、前記第２の位置を挟んで前記積層方向に２箇所設けられ、
   前記第１の搬送部と、前記第２の搬送部と、が前記載置部に同時期に侵入することが可能とされたことを特徴とする処理システム。
2. 前記載置部は、載置された前記被処理物を前記積層方向に移動させる移動部を有し、
   前記移動部は、前記第１の搬送部と、前記第２の搬送部と、が前記載置部より退避しているときに、載置された前記被処理物を前記積層方向に移動させることを特徴とする請求項１記載の処理システム。
3. 前記第２の位置は、予め定められた位置とされ、
   前記移動部は、前記第２の位置に応じて、載置された前記被処理物を移動させることを特徴とする請求項２記載の処理システム。
4. 前記処理部は複数設けられ、
   前記第１の搬送部は、前記処理部の数よりも１つ多い数の前記被処理物を搬送することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の処理システム。
5. 前記収納部は、複数の前記被処理物を収納可能であり、
   前記第１の搬送部により同時に搬送される前記被処理物の数は、前記収納部における収納数に収納される前記被処理物の最大数の約数であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の処理システム。
6. 前記第２の搬送部は、第１のアームと、前記第１のアームに対して積層方向に第２の間隔をおいて設けられた第２のアームと、を有し、
   前記第１の搬送部は、前記第２の間隔内にある前記保持部には、前記被処理物を受け渡さないことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載の処理システム。
7. 第１の搬送部により、被処理物を収納する収納部と、前記被処理物を載置する保持部を積層方向に第１の間隔をおいて複数有する載置部と、の間における前記被処理物の搬送を行う工程と、
   第２の搬送部により、前記被処理物に処理を施す処理部と、前記載置部と、の間における前記被処理物の搬送を行う工程と、
   前記処理部において、前記被処理物に処理を施す工程と、
   を備え、
   前記第１の搬送部は、前記積層方向における第１の位置において前記載置部に侵入し、
   前記第２の搬送部は、前記積層方向において前記第１の位置とは異なる第２の位置において前記載置部に侵入し、
   前記第１の位置は、前記第２の位置を挟んで前記積層方向に２箇所設けられ、
   前記第１の搬送部と、前記第２の搬送部と、が前記載置部に同時期に侵入することが可能とされたことを特徴とする処理方法。