CN116387210A - 制造工厂的物流系统 - Google Patents

制造工厂的物流系统 Download PDF

Info

Publication number
CN116387210A
CN116387210A CN202211603398.9A CN202211603398A CN116387210A CN 116387210 A CN116387210 A CN 116387210A CN 202211603398 A CN202211603398 A CN 202211603398A CN 116387210 A CN116387210 A CN 116387210A
Authority
CN
China
Prior art keywords
central passage
logistics system
load port
track
articles
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202211603398.9A
Other languages
English (en)
Inventor
李珍镐
郑钟元
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Semes Co Ltd
Original Assignee
Semes Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from KR1020220020817A external-priority patent/KR102611190B1/ko
Application filed by Semes Co Ltd filed Critical Semes Co Ltd
Publication of CN116387210A publication Critical patent/CN116387210A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67715Changing the direction of the conveying path
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706Mechanical details, e.g. roller, belt
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06QINFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G06Q10/00Administration; Management
    • G06Q10/08Logistics, e.g. warehousing, loading or distribution; Inventory or stock management
    • G06Q10/083Shipping
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06QINFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G06Q10/00Administration; Management
    • G06Q10/08Logistics, e.g. warehousing, loading or distribution; Inventory or stock management
    • G06Q10/087Inventory or stock management, e.g. order filling, procurement or balancing against orders
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67727Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using a general scheme of a conveying path within a factory
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773Conveying cassettes, containers or carriers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733Overhead conveying
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736Loading to or unloading from a conveyor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769Storage means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66CCRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C19/00Cranes comprising trolleys or crabs running on fixed or movable bridges or gantries

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Business, Economics & Management (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Economics (AREA)
  • Marketing (AREA)
  • Development Economics (AREA)
  • Entrepreneurship & Innovation (AREA)
  • Human Resources & Organizations (AREA)
  • Operations Research (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Strategic Management (AREA)
  • Tourism & Hospitality (AREA)
  • General Business, Economics & Management (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Finance (AREA)
  • Accounting & Taxation (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Abstract

本发明的实施例提供一种可以在制造工厂的特定区间,防止发生搬运台车的停滞的物流系统。根据本发明的制造工厂的物流系统包括:储存设备,与中央通路相邻配置并保管物品;以及轨道,提供向所述储存设备装载和卸载物品的搬运台车的行驶路径。所述储存设备包括:装载端口,配置于所述中央通路的相反侧;以及支架,提供保管所述物品的空间,所述轨道包括:中央轨道,沿着所述中央通路形成;以及分支轨道,从所述中央通路分支而沿着所述装载端口的周围形成。

Description

制造工厂的物流系统
技术领域
本发明涉及用于有效地搬运物品的制造工厂的物流系统。
背景技术
半导体或者显示装置制造工艺作为在基板(晶圆或者玻璃)上通过数十至数百个步骤的处理工艺制造最终产品的的工艺,可以通过在每个工艺中执行相应工艺的制造设备执行。若结束特定制造设备中的工艺,则为了进行下一个工艺,可以将物品(基板)搬运到下一个制造设备,并可以在保管设备中保管一段时间。
可以是,如上所述,制造工厂的物流系统指代为了制造工艺而搬运或保管物品的系统,主要区分为搬运物品的搬运设备和储存物品的储存设备。在物流系统中,沿着设置在棚顶的轨道行驶的OHT(overhead hoist transport)系统适用于制造工厂。
另一方面,为了增加制造工厂的生产效率,在制造设备之间迅速搬运物品变得重要。为了物品的迅速搬运,需要提高移送物品的搬运台车的速度的同时,也需要搬运台车行驶的行驶路径有效的构成。特别是,在设计行驶路径时,需要去除搬运台车停滞的区间。
发明内容
本发明的实施例可以提供防止在制造工厂的特定区间发生搬运台车的停滞的物流系统。
可以是,根据本发明的制造工厂的物流系统包括:储存设备,与中央通路相邻配置并保管物品;以及轨道,提供向所述储存设备装载和卸载物品的搬运台车的行驶路径,所述储存设备包括:装载端口,配置于所述中央通路的相反侧;以及支架,提供保管所述物品的空间,所述轨道包括:中央轨道,沿着所述中央通路形成;以及分支轨道,从所述中央通路分支而沿着所述装载端口的周围形成。
根据本发明的实施例,可以是,所述分支轨道从所述中央通路分支而沿着所述装载端口的周围形成并构成为向所述中央通路汇合。
根据本发明的实施例,可以是,所述搬运台车从所述中央轨道向所述分支轨道行驶而向所述装载端口装载和卸载物品。
根据本发明的实施例,可以是,所述中央轨道沿着水平方向构成为多个线路。
根据本发明的实施例,可以是,所述中央轨道以及所述分支轨道沿着垂直方向构成为多层线路。
根据本发明的实施例,可以是,所述装载端口构成在由多层构成的所述分支轨道的下层线路的下方。
可以是,跟据本发明的相反侧面的制造工厂的物流系统包括:多个储存设备,以中央通路为基准配置于两侧;以及轨道,提供向所述储存设备装载和卸载物品的搬运台车的行驶路径,所述储存设备包括:装载端口,配置于所述中央通路的相反侧;以及支架,提供保管所述物品的空间,所述轨道包括:中央轨道,沿着所述中央通路形成;以及分支轨道,从所述中央通路分支而沿着所述装载端口的周围形成。
根据本发明的实施例,可以是,所述分支轨道从所述中央通路分支而沿着所述装载端口的周围形成并构成为向所述中央通路汇合。
根据本发明的实施例,可以是,所述搬运台车从所述中央轨道向所述分支轨道行驶而向所述装载端口装载和卸载物品。
根据本发明的实施例,可以是,所述中央轨道沿着水平方向构成为多个线路。
根据本发明的实施例,可以是,所述中央轨道以及所述分支轨道沿着垂直方向构成为多层线路。
根据本发明的实施例,可以是,所述装载端口构成在以多层构成的所述分支轨道的下层线路的下方。
可以是,根据本发明的相反侧面的制造工厂的物流系统包括:多个储存设备,以中央通路为基准配置于两侧;轨道,提供向所述储存设备装载和卸载物品的搬运台车的行驶路径;以及接口模组,形成为横穿所述中央通路而在所述储存设备之间搬运所述物品,所述储存设备包括:装载端口,配置于所述中央通路的相反侧;以及支架,提供保管所述物品的空间,所述轨道包括:中央轨道,沿着所述中央通路形成;以及分支轨道,从所述中央通路分支而沿着所述装载端口的周围形成,所述接口模组构成为将向所述储存设备的装载端口投入的所述物品向相反侧的储存设备移送。
根据本发明的实施例,可以是,所述分支轨道从所述中央通路分支而沿着所述装载端口的周围形成并构成为向所述中央通路汇合。
根据本发明的实施例,可以是,所述搬运台车从所述中央轨道向所述分支轨道行驶而向所述装载端口装载和卸载物品。
根据本发明的实施例,可以是,所述中央轨道沿着水平方向构成为多个线路。
根据本发明的实施例,可以是,所述接口模组包括在彼此相反的方向上移送所述物品的一对输送机。
根据本发明的实施例,可以是,所述中央轨道以及所述分支轨道沿着垂直方向构成为多层线路。
根据本发明的实施例,可以是,所述装载端口构成在由多层构成的所述分支轨道的下层线路的下方。
根据本发明的实施例,可以是,所述接口模组构成在所述分支轨道的下层线路的下方。
在根据本发明的制造工厂的物流系统中,可以是,储存设备的装载端口位于中央通路的相反侧,分支轨道从中央轨道分支而使得沿着装载端口的周围形成,从而防止通过从中央通路周围向储存设备装载和卸载物品的搬运台车的停滞。
附图说明
图1示出能够适用本发明的制造工厂的物流系统。
图2是用于说明搬运台车向储存设备装载和卸载物品的过程中发生的停滞。
图3以及图4示出根据本发明的一侧面的制造工厂的物流系统的构成。
图5以及图6示出根据本发明的另一侧面的制造工厂的物流系统的构成。
图7以及图8示出根据本发明的又另一侧面的制造工厂的物流系统的构成。
图9至图12示出用于穿过中央通路而移送物品的实施例。
图13示出使用储存设备而搬运机架之间的物品的情况。
图14示出使用储存设备而搬运线之间的物品的情况。
(附图标记说明)
1:制造工厂
10:中央通路
20:机架
25:制造设备
100:储存设备
110:装载端口
120:支架
200:轨道
210:中央轨道
220:分支轨道
250:接口模组
300:搬运台车
具体实施方式
以下,参照所附附图,详细说明本发明的实施例,使得在本发明所属技术领域中具有通常知识的人能够容易地实施。本发明可以以各种不同的形式实现,并不限于在这里说明的实施例。
为了明确说明本发明,省略了与说明无关的部分,通过整个说明书对相同或相似的构成要件附加相同的附图标记。
另外,在多个实施例中,对于具有相同构成的构成要件,使用相同的符号而仅在代表性实施例中进行说明,在其之外的实施例中,仅在代表性实施例和其它构成中进行说明。
在整个说明书中,当某部分与其它部分“连接(或者结合)”时,其不仅包括“直接连接(或者结合)”的情况,还包括隔着其它部件“间接连接(或者结合)”的情况。另外,当某部分“包括”某构成要件时,这意指除非有特别相反的记载,可以还包括其它构成要件,而不是排除其它构成要件。
只要没有不同地定义,在这里使用的包括技术术语及科学术语的所有术语,具有与本发明所属技术领域的人员通常所理解的含义相同的含义。通常使用的词典中所定义的术语之类的术语应解释为具有与相关技术的文脉上含义相同的含义,只要没有明确地定义,不应被解释为过于理想化或过于形式化的含义。
以下,对根据本发明的制造工厂中用于有效地搬运物品的物流系统进行说明。
图1示出能够适用本发明的制造工厂的物流系统。以下,作为适用本发明的制造工厂,以制造半导体产品的半导体制造工厂为例进行说明。但是,可以是,适用本发明的制造工厂的范围并不限于特定类型,并适用于各种行业的制造工厂。例如,本发明的物品搬运系统可以适用于生产显示面板、电子设备、汽车或者二次电池等产品的其它种类的制造工厂。
可以是,制造工厂1构成为一个或其以上的清净室,各清净室中设置用于执行半导体制造工艺的制造设备25。通常,可以是,在基板(例:晶圆)中反复执行多个制造工艺,从而完成最终处理的基板,若在特定半导体制造设备25中完成制造工艺,则向用于下一个制造工艺的制造设备25搬运基板。在这里,晶圆可以以保管在能够容纳多个基板的搬运容器(例:front opening unified pod,FOUP)的状态下搬运。收纳晶圆的搬运容器可以通过搬运台车300搬运。搬运台车300可以指代为沿着设置在棚顶的轨道200行驶的OHT(overheadhoist transport)。
参照图1,制造工厂1内设置用于执行工艺的制造设备25,并提供制造设备25之间移送物品的搬运台车300和提供搬运台车300的行驶路径的轨道200。在这里,当搬运台车300在制造设备25之间搬运物品时,物品也可以立即从特定制造设备25搬运到其它制造设备25,物品可以在保管在储存设备100后向其它制造设备搬运。在图1中,可以是,以中央通路10为基准,上侧方向(Y方向)指代北侧方向,下侧方向(-Y方向)指代南侧方向,与南北方向相对应地,左侧方向(-X方向)指代西侧方向,右侧方向(X方向)指代东侧方向。
另一方面,参照图1,沿着中央通路10设置形成循环路径的轨道200,从中央通路10分支的轨道200重新构成循环路径。沿着分支的轨道200的循环路径的周围配置制造设备25,从而构成一个机架20。即,制造工厂1的中心部构成中央通路10,中央通路10的周围构成多个机架20。在这里,在各个机架20或者相邻的机架20的集合中可以排列用于执行相同或类似的半导体处理工艺的半导体制造设备25。例如,可以是,位于西北侧的机架20配置蚀刻工艺设备,位于东北侧的机架20配置曝光工艺设备,位于西南侧的机架20配置蒸镀工艺设备,位于东南侧的机架20配置氧化膜工艺设备。
另一方面,中央通路10的周围可以配置用于保管物品的储存设备100。储存设备100作为保管物品的库房,设定为收纳在特定制造设备25中完成工艺的晶圆的容器向其它制造设备25移送前保管在相应的容器。储存设备100主要包括装载物品的装载端口110和提供保管物品的空间的支架120。装载端口110从位于下方的搬运台车300拾取物品或将通过搬运台车300要拾取的物品排出。支架120构成为保管在装载端口110中收取的物品的多个搁板。可以是,在支架120的内部空间沿着垂直以及水平方向排列,并具备用于在内部移送物品的吊车或者机器人。
另一方面,储存设备100通常配置在中央通路10的周围,搬运台车300为了从储存设备100装载和卸载物品,在储存设备100的周围停车后,向装载端口110装载物品或从装载端口110卸载物品。此时,如图2所示,储存设备100周围的区域A可以发生由于搬运台车300的停车的停滞。参照图2,为了向储存设备100装载和卸载物品,若搬运台车300A停车,则位于搬运台车300A的后方的搬运台车300B需要待机至搬运台车300A的装载和卸载物品完成。另一方面,在中央通路10中行驶多个搬运台车300A,从特定机架20移动到其它机架20的搬运台车300A需要穿过中央通路10周围的轨道200。特别是,从南侧机架20移动到北侧机架20的搬运台车300必须经过中央通路10周围的轨道200移动。即,在中央通路10周围的轨道200中需要行驶多个搬运台车300,由于为了向储存设备100装载和卸载物品而搬运台车300停车,在中央通路10的轨道200发生停滞。
若在中央通路10的轨道200发生停滞,则可能会发生整体物流流动迟缓的现象,其可能引起制造工厂1的生产效率低下。因此,本发明的实施例可以提供能够防止在中央通路10的轨道200发生停滞现象的物流系统。另外,本发明的实施例提供能够以中央通路10为基准在南侧和北侧之间顺畅地移送物品的物流系统。
根据本发明的一侧面的制造工厂1的物流系统包括与中央通路10相邻配置并保管物品的储存设备100和提供向储存设备100装载和卸载物品的搬运台车300的行驶路径的轨道200。储存设备100包括配置在中央通路10的相反侧的装载端口110和提供保管物品的空间的支架120。轨道200包括沿着中央通路10形成的中央轨道210和从中央通路10分支而沿着装载端口110的周围形成的分支轨道220。
参照图3,储存设备100的装载端口110位于中央通路10的相反侧,而不是位于中央通路10周围。中央轨道210形成在中央通路10周围,并从中央轨道210分支的分支轨道220向中央通路10的相反侧延伸而沿着储存设备100的装载端口110形成,并且构成为重新向中央通路10汇合。
如图3所示,向储存设备100装载和卸载物品的搬运台车300A可以从中央轨道210向分支轨道220行驶而在装载端口110的周围停车,并向装载端口110装载或者卸载物品。因此,通过中央通路10行驶的搬运台车300B可以不被向储存设备100装载和卸载物品的搬运台车300A而阻碍并行驶,并可以防止在中央通路10周围发生停滞。
根据本发明的实施例,中央轨道210沿着水平方向(Y方向)构成为多个线路。参照图3以及图4,中央轨道210可以构成为在中央通路10的周围并联配置的线路。在搬运台车300的通行量多的中央通路10的周围构成多个的线路,从而即使在一个线路发生停滞,也可以使得搬运台车300通过追加的线路行驶。如图3以及图4那样沿着水平方向(Y方向)构成多个线路,从而防止在中央通路10中发生停滞并能够迅速搬运物品。
根据本发明的实施例,中央轨道210和分支轨道220沿着垂直方向(Z方向)构成为多层线路。参照图4,中央轨道210和分支轨道220可以构成为在中央通路10的周围沿着垂直方向(Z方向)并联配置的线路。即,中央轨道210和分支轨道220可以构成为多层。不仅在水平方向(Y方向)上也在垂直方向(Z方向)上将中央轨道210和分支轨道220构成为多个线路,从而即使在一个线路发生停滞,也可以使得搬运台车300通过追加的线路行驶。如图4那样沿着水平方向(Y方向)构成多个线路,从而防止在中央通路10中发生停滞并能够迅速搬运物品。
根据本发明的实施例,装载端口110可以构成在由多层构成的分支轨道220中的下层线路的下方。如图4所示,装载端口110位于分支轨道220的下层线路的下方。向装载端口110要装载和卸载物品的搬运台车300A可以向下层线路的分支轨道220进入而在装载端口110的周围停车后装载或者卸载物品。另一方面,装载端口110可以位于上层的分支轨道220的下方高度,行驶在上层的分支轨道220的搬运台车300向上方的装载端口110装载和卸载物品。
另一方面,可以是,根据本发明的另一侧面的制造工厂的物流系统在中央通路10的两侧配置储存设备100,在各储存设备100中,在中央通路10的相反侧分别配置装载端口110。
根据本发明的另一侧面的制造工厂1的物流系统包括以中央通路10为基准配置在两侧的多个储存设备100和提供向储存设备100装载和卸载物品的搬运台车300的行驶路径的轨道200。储存设备100包括配置在中央通路10的相反侧的装载端口110和提供保管物品的空间的支架120。轨道200包括沿着中央通路10形成的中央轨道210和从中央通路10分支而沿着装载端口110的周围形成的分支轨道220。
参照图5,以中央通路10为中心配置在两侧的储存设备100的装载端口110分别配置在中央通路10的相反侧,而不是朝向中央通路10配置。中央轨道210形成在中央通路10周围,并从中央轨道210分支的分支轨道220向中央通路10的相反侧延伸而沿着储存设备100的装载端口110形成并且构成为重新向中央通路10汇合。
如图5所示,向储存设备100装载和卸载物品的搬运台车300A可以从中央轨道210向分支轨道220行驶而在装载端口110的周围停车,并向装载端口110装载或者卸载物品。因此,通过中央通路10行驶的搬运台车300B可以不被向储存设备100装载和卸载物品的搬运台车300A而阻碍并行驶,并可以防止在中央通路10周围发生停滞。
根据本发明的实施例,中央轨道210沿着水平方向(Y方向)构成为多个线路。参照图5以及图6,中央轨道210可以构成为在中央通路10的周围并联配置的线路。在搬运台车300的通行量多的中央通路10的周围构成多个的线路,从而即使在一个线路发生停滞,也可以使得搬运台车300通过追加的线路行驶。如图5以及图6那样沿着水平方向(Y方向)构成多个线路,从而防止在中央通路10中发生停滞并能够迅速搬运物品。
根据本发明的实施例,中央轨道210和分支轨道220沿着垂直方向(Z方向)构成为多层线路。参照图6,中央轨道210和分支轨道220可以构成为在中央通路10的周围沿着垂直方向(Z方向)并联配置的线路。即,中央轨道210和分支轨道220可以构成为多层。不仅在水平方向(Y方向)上也在垂直方向(Z方向)上将中央轨道210和分支轨道220构成为多个线路,从而即使在一个线路发生停滞,也可以使得搬运台车300通过追加的线路行驶。如图6那样沿着水平方向(Y方向)构成多个线路,从而防止在中央通路10中发生停滞并能够迅速搬运物品。
根据本发明的实施例,装载端口110可以构成在由多层构成的分支轨道220中的下层线路的下方。如图6所示,装载端口110位于分支轨道220的下层线路的下方。向装载端口110要装载和卸载物品的搬运台车300A可以向下层线路的分支轨道220进入而在装载端口110的周围停车后装载或者卸载物品。另一方面,装载端口110可以位于上层的分支轨道220的下方高度,行驶在上层的分支轨道220的搬运台车300向上方的装载端口110装载和卸载物品
另一方面,可以是,根据本发明的另一侧面的制造工厂的物流系统在中央通路10的两侧配置储存设备100,在两侧的储存设备100之间构成搬运物品的接口模组250。通过接口模组250,物品可以通过南北方向(Y方向)直接移送。
根据本发明的另一侧面的制造工厂1的物流系统包括以中央通路10为基准配置在两侧的多个储存设备100、提供向储存设备100装载和卸载物品的搬运台车300的行驶路径的轨道200以及形成为横穿中央通路10而在储存设备100之间搬运物品的接口模组250。储存设备100包括在中央通路10的相反侧配置的装载端口110和提供保管物品的空间的支架120。轨道200包括沿着中央通路10形成的中央轨道210和从中央通路10分支而沿着装载端口110的周围形成的分支轨道220。接口模组250构成为向储存设备100的装载端口110投入的物品向相反侧的储存设备100移送。
可以是,根据本发明的实施例,当从南侧的机架20向北侧的机架20移送物品时(或者向相反的方向移送时),向北侧的储存设备100卸载物品后,通过接口模组250使得向南侧的储存设备100传递物品,且使得位于南侧的储存设备100周围的搬运台车300拾取相应的物品后移送。这种情况,搬运台车300不需要循环中央通路10周围的轨道200而行驶,因此可以减少行驶中央通路10周围的搬运台车300的台数。可以减少在中央通路10周围行驶的搬运台车300的台数,从而防止在中央通路10发生停滞。
参照图7,以中央通路10为中心配置在两侧的储存设备100的装载端口110分别配置在中央通路10的相反侧,而不是朝向中央通路10配置。中央轨道210形成在中央通路10周围,并从中央轨道210分支的分支轨道220向中央通路10的相反侧延伸而沿着储存设备100的装载端口110形成,并且构成为重新向中央通路10汇合。接口模组250可以构成为在北侧的储存设备100和南侧的储存设备100之间移送物品。
如图7所示,向储存设备100装载和卸载物品的搬运台车300A可以从中央轨道210向分支轨道220行驶而在装载端口110的周围停车,并向装载端口110装载或者卸载物品。因此,通过中央通路10行驶的搬运台车300B可以不被向储存设备100装载和卸载物品的搬运台车300A而阻碍并行驶,并可以防止在中央通路10周围发生停滞。
根据本发明的实施例,中央轨道210沿着水平方向(Y方向)构成为多个线路。参照图7以及图8,中央轨道210可以构成为在中央通路10的周围并联配置的线路。在搬运台车300的通行量多的中央通路10的周围构成多个的线路,从而即使在一个线路发生停滞,也可以使得搬运台车300通过追加的线路行驶。如图7以及图8那样沿着水平方向(Y方向)构成多个线路,从而防止在中央通路10中发生停滞并能够迅速搬运物品。
根据本发明的实施例,接口模组250可以包括在彼此相反的方向上移送物品的一对输送机。即,构成为可以在彼此相反的方向上移送物品的一对输送机以中央通路10为基准,结合于位于彼此相反侧的储存设备100。接口模组250可以与各储存设备100的装载端口110连接而向相反侧的储存设备100传递物品。作为本发明的接口模组250,能够适用的输送机的形式可以不受限制,接口模组250不仅是输送机,可以以单独收取物品而移动的托架(Saddle)的形式实现。
根据本发明的实施例,中央轨道210和分支轨道220沿着垂直方向(Z方向)构成为多层线路。参照图8,中央轨道210和分支轨道220可以构成为在中央通路10的周围沿着垂直方向(Z方向)并联配置的线路。即,中央轨道210和分支轨道220可以构成为多层。不仅在水平方向(Y方向)上也在垂直方向(Z方向)上将中央轨道210和分支轨道220构成为多个线路,从而即使在一个线路发生停滞,也可以使得搬运台车300通过追加的线路行驶。如图8那样沿着水平方向(Y方向)构成多个线路,从而防止在中央通路10中发生停滞并能够迅速搬运物品。
根据本发明的实施例,装载端口110可以构成在由多层构成的分支轨道220中的下层线路的下方。如图8所示,装载端口110位于分支轨道220的下层线路的下方。向装载端口110要装载和卸载物品的搬运台车300A可以向下层线路的分支轨道220进入而在装载端口110的周围停车后装载或者卸载物品。另一方面,可以是,装载端口110可以位于上层的分支轨道220的下方高度,行驶在上层的分支轨道220的搬运台车300向上方的装载端口110装载和卸载物品。
根据本发明的实施例,接口模组250可以构成在分支轨道220的下层线路的下方。如图8所示,接口模组250可以设置在与装载端口110相同或类似的高度而将装载在装载端口110的物品向相反侧的储存设备100传递。另一方面,接口模组250也可以位于分支轨道220的下方高度而将从行驶分支轨道220的搬运台车300传递的物品向相反侧的储存设备100移送。
另一方面,本发明的范围不仅是如图8那样的形式的输送机,用于穿过中央通路10移送物品的各种实施例可以适用于本发明。
图9至图12示出用于穿过中央通路10而移送物品的实施例。
如图9所示,循环型输送机400可以构成为隔着中央通路10的储存设备100循环。可以是,循环型输送机400与隔着中央通路10的储存设备100的装载端口110连接,并使得向相反侧的储存设备100移送物品。可以是,安置在储存设备100的装载端口110的物品在顺时针方向或者逆时针方向上沿着循环型输送机400移动而向相反侧的储存设备100传递。
另外,如图10所示,可以使用在隔着中央通路10的储存设备100之间往返移动的可移动机器人500移送物品。参照图10,可以是,可移动机器人500沿着地上50的路径行驶,并具备用于装载和卸载物品的机构。可以是,可移动机器人500构成为穿过中央通路1而在储存设备100之间往返移动,从一侧的储存设备100向相反侧的储存设备100移送物品。
另一方面,如图11所示,可以是,使用设置在棚顶60的吊车600而穿过中央通路10在储存设备100之间移送物品。可以是,吊车600构成为沿着设置在棚顶60的路径移动,与吊车600结合的拾取机构610拾取安置在储存设备100的装载端口110的物品而向位于相反侧的储存设备100的装载端口110移送物品。
另外,如图12所示,可以沿着隔着中央通路10的储存设备100之间形成的地下路径70移送物品。参照图12,可以是,在储存设备100的装载端口110连接升降机构700,安置在装载端口110的物品F通过升降机构700下降并沿着地下路径70向相反侧的储存设备100移动。地下路径70可以通过具备在地下的输送机或者托架实现。
另一方面,可以是,本发明的范围是使用储存设备100的接口搬运路径而从机架向其它机架移送物品,或在制造工厂1中,向在特定生产线中通过壁体划分的其它生产线移送物品。
如图13所示,可以是,通过在位于第一机架BAY1的储存设备100和位于第二机架BAY2的储存设备100之间连接的接口模组250移送物品。
另外,如图14所示,可以是,为了在通过壁体5划分的第一生产线LINE1和第二生产线LINE2之间移送物品,在位于第一生产线LINE1的储存设备100和位于第二生产线LINE2的储存设备100之间构成接口模组250。可以通过在储存设备100之间具w备的接口模组250而在第一生产线LINE1和第二生产线LINE2之间移送物品。
另一方面,可以是,本发明的范围不仅是储存设备100的装载端口110,也适用于使用其它设备的装载端口而移送物品的情况。
本实施例以及本说明书中所附的附图只是明确地体现了本发明中包含的部分技术构思,本发明的说明书以及附图中包含的技术构思的范围内,本领域技术人员可以容易地推测的变形例和具体实施例都包含在本发明的权利范围内,这是显而易见的。
因此,本发明的构思不能局限于说明的实施例,不仅是所附的权利要求范围,与该权利要求范围均等或等效变形的一切都属于本发明构思的范畴。

Claims (20)

1.一种制造工厂的物流系统,其中,所述制造工厂的物流系统包括:
储存设备,与中央通路相邻配置并保管物品;以及
轨道,提供向所述储存设备装载和卸载物品的搬运台车的行驶路径,
所述储存设备包括:
装载端口,配置于所述中央通路的相反侧;以及
支架,提供保管所述物品的空间,
所述轨道包括:
中央轨道,沿着所述中央通路形成;以及
分支轨道,从所述中央通路分支而沿着所述装载端口的周围形成。
2.根据权利要求1所述的制造工厂的物流系统,其中,
所述分支轨道从所述中央通路分支而沿着所述装载端口的周围形成并构成为向所述中央通路汇合。
3.根据权利要求1所述的制造工厂的物流系统,其中,
所述搬运台车从所述中央轨道向所述分支轨道行驶而向所述装载端口装载和卸载物品。
4.根据权利要求1所述的制造工厂的物流系统,其中,
所述中央轨道沿着水平方向构成为多个线路。
5.根据权利要求1所述的制造工厂的物流系统,其中,
所述中央轨道以及所述分支轨道沿着垂直方向构成为多层线路。
6.根据权利要求5所述的制造工厂的物流系统,其中,
所述装载端口构成在由多层构成的所述分支轨道的下层线路的下方。
7.一种制造工厂的物流系统,其中,所述制造工厂的物流系统包括:
多个储存设备,以中央通路为基准配置于两侧;以及
轨道,提供向所述储存设备装载和卸载物品的搬运台车的行驶路径,
所述储存设备包括:
装载端口,配置于所述中央通路的相反侧;以及
支架,提供保管所述物品的空间,
所述轨道包括:
中央轨道,沿着所述中央通路形成;以及
分支轨道,从所述中央通路分支而沿着所述装载端口的周围形成。
8.根据权利要求7所述的制造工厂的物流系统,其中,
所述分支轨道从所述中央通路分支而沿着所述装载端口的周围形成并构成为向所述中央通路汇合。
9.根据权利要求7所述的制造工厂的物流系统,其中,
所述搬运台车从所述中央轨道向所述分支轨道行驶而向所述装载端口装载和卸载物品。
10.根据权利要求7所述的制造工厂的物流系统,其中,
所述中央轨道沿着水平方向构成为多个线路。
11.根据权利要求7所述的制造工厂的物流系统,其中,
所述中央轨道以及所述分支轨道沿着垂直方向构成为多层线路。
12.根据权利要求11所述的制造工厂的物流系统,其中,
所述装载端口构成在由多层构成的所述分支轨道的下层线路的下方。
13.一种制造工厂的物流系统,其中,所述制造工厂的物流系统包括:
多个储存设备,以中央通路为基准配置于两侧;
轨道,提供向所述储存设备装载和卸载物品的搬运台车的行驶路径;以及
接口模组,形成为横穿所述中央通路而在所述储存设备之间搬运所述物品,
所述储存设备包括:
装载端口,配置于所述中央通路的相反侧;以及
支架,提供保管所述物品的空间,
所述轨道包括:
中央轨道,沿着所述中央通路形成;以及
分支轨道,从所述中央通路分支而沿着所述装载端口的周围形成,
所述接口模组构成为将向所述储存设备的装载端口投入的所述物品向相反侧的储存设备移送。
14.根据权利要求13所述的制造工厂的物流系统,其中,
所述分支轨道从所述中央通路分支而沿着所述装载端口的周围形成并构成为向所述中央通路汇合。
15.根据权利要求13所述的制造工厂的物流系统,其中,
所述搬运台车从所述中央轨道向所述分支轨道行驶而向所述装载端口装载和卸载物品。
16.根据权利要求13所述的制造工厂的物流系统,其中,
所述中央轨道沿着水平方向构成为多个线路。
17.根据权利要求13所述的制造工厂的物流系统,其中,
所述接口模组包括在彼此相反的方向上移送所述物品的一对输送机。
18.根据权利要求13所述的制造工厂的物流系统,其中,
所述中央轨道以及所述分支轨道沿着垂直方向构成为多层线路。
19.根据权利要求18所述的制造工厂的物流系统,其中,
所述装载端口构成在由多层构成的所述分支轨道的下层线路的下方。
20.根据权利要求18所述的制造工厂的物流系统,其中,
所述接口模组构成在所述分支轨道的下层线路的下方。
CN202211603398.9A 2021-12-30 2022-12-13 制造工厂的物流系统 Pending CN116387210A (zh)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20210192606 2021-12-30
KR10-2021-0192606 2021-12-30
KR1020220020817A KR102611190B1 (ko) 2021-12-30 2022-02-17 제조 공장의 물류 시스템
KR10-2022-0020817 2022-02-17

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN116387210A true CN116387210A (zh) 2023-07-04

Family

ID=86971853

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202211603398.9A Pending CN116387210A (zh) 2021-12-30 2022-12-13 制造工厂的物流系统

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20230215749A1 (zh)
CN (1) CN116387210A (zh)

Also Published As

Publication number Publication date
US20230215749A1 (en) 2023-07-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9659801B2 (en) High efficiency buffer stocker
US11978652B2 (en) Automatic handling buffer for bare stocker
US9299597B2 (en) Scalable stockers with automatic handling buffer
WO2007051070A2 (en) Horizontal array stocker
KR101414530B1 (ko) 반송차 시스템
JP2007022809A (ja) 平板表示装置製造用搬送システム
JP7211439B2 (ja) 搬送システム
US20090022575A1 (en) Article storing apparatus
JP2008019017A (ja) 物品収納装置
KR102294887B1 (ko) 물품 이송 장치
CN116387210A (zh) 制造工厂的物流系统
KR102611190B1 (ko) 제조 공장의 물류 시스템
KR20090009529A (ko) 물품 수납 장치
WO2004080852A1 (ja) 自動保管システム
JPH11199007A (ja) カセットの搬送方法及び処理設備
JP2009035414A (ja) 別階層工程間搬送システム
JP6578794B2 (ja) 搬送システム
JP5434417B2 (ja) 基板を加工処理する生産ライン
KR102655946B1 (ko) 물품 반송 장치
JP5286721B2 (ja) 搬送システム
KR20220057012A (ko) 타워 리프트 장치
KR20230104488A (ko) 스토커
KR20230034457A (ko) 기판 처리 시스템
KR20090038093A (ko) 클린룸 카세트 반송시스템
CN117897347A (zh) 保管系统

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination