KR102031805B1 - 물품 반송 설비 - Google Patents

물품 반송 설비

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KR102031805B1
KR102031805B1 KR1020120130227A KR20120130227A KR102031805B1 KR 102031805 B1 KR102031805 B1 KR 102031805B1 KR 1020120130227 A KR1020120130227 A KR 1020120130227A KR 20120130227 A KR20120130227 A KR 20120130227A KR 102031805 B1 KR102031805 B1 KR 102031805B1
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Abstract

본 발명의 물품 반송(搬送) 설비는, 천정부 T로부터 현수(懸垂) 지지되고, 물품 반송차(搬送車) A를 안내하는 주행 레일 L과, 주행 레일 L의 가로측 방향이면서 하방 개소(箇所)에 배치되고, 물품 반송차 A와의 사이에서 이송탑재(transfer)하는 물품 B를 탑재 지지하는 물품 탑재체 U와, 물품 반송차 A와의 사이에서 물품 B를 이송탑재하는 이송탑재용 위치와 그 이송탑재용 위치로부터 위쪽으로 퇴피(退避)시킨 퇴피 위치로 위치 조정 가능하게, 물품 탑재체 U를 천정부 T로부터 현수 지지하는 지지 기구(機構) D를 구비한다. 지지 기구 D는, 물품 B를 탑재한 상태의 물품 탑재체 U를, 이송탑재용 위치와 퇴피 위치로 위치 변경할 수 있도록 구성되어 있다.

Description

물품 반송 설비{ARTICLE TRANSPORT FACILITY}
본 발명은, 천정부로부터 현수(懸垂) 지지되고, 물품 반송차(搬送車)를 안내하는 주행 레일과, 상기 주행 레일의 가로측 방향이면서 하방 개소(箇所)에 배치되고, 상기 물품 반송차와의 사이에서 이송탑재(transfer)하는 물품을 탑재 지지하는 물품 탑재체와, 상기 물품 반송차와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 이송탑재용 위치와 그 이송탑재용 위치로부터 위쪽으로 퇴피(退避)시킨 퇴피 위치로 위치 조정 가능하게, 상기 물품 탑재체를 상기 천정부로부터 현수 지지하는 지지 기구(機構)가 설치된 물품 반송 설비에 관한 것이다.
상기와 같은 물품 반송 설비는, 예를 들면, 청정실(淸淨室) 내에 설치되어, 실리콘 기판 등의 기판을 수납하는 수납 용기를 물품으로서 반송하기 위해 사용된다.
즉, 기판에 대하여 복수 종류의 처리를 행하는 복수의 기판 처리 장치의 반출입부(搬出入部)를 경유하는 상태로 주행 레일이 설치되어, 물품 반송차가 물품을 복수의 기판 처리 장치에 대하여 반송한다. 그리고, 물품 탑재체가, 처리 도중의 물품을 일시적으로 보관하기 위해 사용된다.
즉, 물품 탑재체는, 주행 레일의 가로측 방향의 공간을 이용하여, 주행 레일의 길이 방향의 각 처에 복수 설치할 수 있으므로, 처리 도중의 물품을, 다음에, 반송해야 할 기판 처리 장치 근처의 물품 탑재체에 보관함으로써, 물품의 반송 효율을 향상시키는 데 있어서 유리하게 된다. 또한, 물품 탑재체를 설치하지 않는 경우에는, 처리 도중의 물품을 보관하는 보관 장치를 바닥면에 설치할 때, 대규모의 보관 장치를 설치할 필요가 있지만, 물품 탑재체를 설치함으로써, 보관 장치를 필요로 하지 않거나 또는 보관 장치의 소형화를 도모할 수 있다.
또한, 물품 반송 설비에 있어서는, 예를 들면, 청정실에 있어서 레이아웃의 변경 등을 위해 기반 처리 장치를 반출입할 때, 천정부 측에 위치하는 것의, 주행 레일보다 아래쪽에 위치하는 물품 탑재체가, 기판 처리 장치의 반송의 방해가 되는 등, 물품 탑재체가 방해가 되는 경우가 있다. 이와 같은 때는, 물품 탑재체를 이송탑재용 위치로부터 위쪽으로 퇴피시킨 퇴피 위치로 위치 변경시킬 수 있으므로, 물품 탑재체가 방해가 되는 것을 회피할 수 있다.
일본공개특허 제2008-169005호 공보(특허 문헌 1)에는, 이와 같은 물품 반송 설비의 일례가 개시되어 있고, 상기 물품 반송 설비에 설치되는 물품 탑재체는, 물품을 탑재하지 않는 상태에서, 이송탑재용 위치와 퇴피 위치로 위치 변경할 수 있도록 지지되어 있다.
즉, 이 특허 문헌 1에 있어서는, 복수의 링크를 굴절 가능하게 연결한 링크 기구에 의해, 천정부에 대하여 물품 탑재체를 현수 지지하고 있다. 그리고, 물품 탑재체를 이송탑재용 위치에 위치시킬 때는, 링크 기구가 직선형으로 신장된 자세로 되고, 물품 탑재체를 퇴피 위치에 위치시킬 때는, 링크 기구가 물품탑재체의 위쪽으로 중복되는 상태로 굴절 자세로 된다. 그러므로, 물품 탑재체를 이송탑재용 위치로부터 퇴피 위치로 위치 변경했을 때는, 물품 탑재체의 상부에는, 물품이 존재하기 위한 공간이 확보되지 않으므로, 그 결과, 물품 탑재체를 퇴피 위치에 위치시킬 때는, 물품 탑재체에는 물품을 탑재할 수 없다.
또한, 특허 문헌 1의 물품 반송 설비에 있어서는, 물품 탑재체를 퇴피 위치에 위치시키면, 물품 탑재체와 천정부와의 사이의 간격이, 물품을 존재시키기 위해 필요한 간격보다 작아진다. 이 점으로부터도, 물품 탑재체를 이송탑재용 위치로부터 퇴피 위치로 위치 변경했을 때는, 물품 탑재체의 상부에는, 물품을 존재하기 위한 공간이 확보되지 않으므로, 물품 탑재체를 퇴피 위치에 위치시킬 때는, 물품 탑재체에는 물품을 탑재할 수 없다.
또한, 특허 문헌 1에 있어서는, 상하 방향으로 슬라이드하는 슬라이드 기구를 사용하여, 물품 탑재체를 이송탑재용 위치와 퇴피 위치로 위치 변경시키는 것이, 다른 실시예로서 기재되어 있다. 이와 같은 슬라이드 기구를 사용하고 있다고 해도, 물품 탑재체를 퇴피 위치에 위치시켰을 때, 물품 탑재체와 천정부와의 사이의 간격이 물품을 존재시키기 위해 필요한 간격보다 작아지므로, 물품 탑재체를 퇴피 위치에 위치시킬 때는, 물품 탑재체에는 물품을 탑재할 수 없다.
물품 탑재체를 이송탑재용 위치로부터 퇴피 위치로 퇴피시킬 필요가 생겼을 때, 퇴피시키는 물품 탑재체에 물품이 탑재되어 있는 경우가 있다. 이와 같은 경우에 있어서, 종래의 물품 반송 설비에서는, 먼저, 수작업에 의해 물품을 물품 탑재체로부터 제거하고, 그 후, 물품 탑재체를 퇴피 위치로 위치 변경시키기 때문에, 물품 탑재체를 이송탑재용 위치와 퇴피 위치로 위치 변경하는 작업이 번거로운 작업으로 된다.
또한, 물품 탑재체를 퇴피 위치로부터 이송탑재용 위치로 되돌렸을 때는, 수작업에 의해, 제거한 물품을 제거하기 전과 같은 상태로 되돌릴 필요가 있고, 이 점으로부터도, 물품 탑재체를 이송탑재용 위치와 퇴피 위치로 위치 변경하는 작업이 번거로운 작업으로 된다.
또한, 일반적으로, 반송되는 물품의 위치는, 물품 반송 설비를 관리하는 관리 수단에 의해 관리되므로 제거한 물품을 물품 탑재체로 되돌릴 때는, 제거하기 전과 같은 위치로 정확하게 되돌릴 필요가 있다.
그러나, 복수의 물품 탑재체가 동시에 퇴피 위치로 퇴피되는 것과 같은 경우 등에 있어서는, 제거한 물품을 되돌리는 위치가 제거하기 전과는 상이한 에러가 발생하여, 반송되는 물품의 위치 관리를 적정하게 행할 수 없는 상태를 초래할 염려도 있다.
일본공개특허 제2008-169005호 공보
상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해서는, 물품이 탑재되어 있는 물품 탑재체를 이송탑재용 위치와 퇴피 위치로 위치 변경하는 작업의 간략화를 도모할 수 있는 물품 반송 설비의 실현이 요구된다.
본 발명의 물품 반송 설비는,
천정부로부터 현수 지지되고, 물품 반송차를 안내하는 주행 레일;
상기 주행 레일의 가로측 방향이면서 하방 개소에 배치되고, 상기 물품 반송차와의 사이에서 이송탑재하는 물품을 탑재 지지하는 물품 탑재체;
상기 물품 반송차와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 이송탑재용 위치와 그 이송탑재용 위치로부터 위쪽으로 퇴피시킨 퇴피 위치로 위치 조정 가능하게, 상기 물품 탑재체를 상기 천정부로부터 현수 지지하는 지지 기구;
여기서, 상기 지지 기구는, 물품을 탑재한 상태의 상기 물품 탑재체를, 상기 이송탑재용 위치와 상기 퇴피 위치로 위치 변경할 수 있도록 구성되어 있다.
즉, 물품 탑재체가, 물품을 탑재한 상태에서, 이송탑재용 위치와 퇴피 위치로 위치 변경할 수 있도록 지지되므로, 물품 탑재체를 이송탑재용 위치로부터 퇴피 위치로 이동시킬 때, 물품 탑재체에 물품이 탑재되어 있어도, 그 상태인 채, 물품 탑재체를 이송탑재용 위치로부터 퇴피 위치로 이동시킬 수 있고, 또한 물품 탑재체를 퇴피 위치로부터 이송탑재용 위치로 되돌리는 것이 가능하다.
또한, 물품을 탑재한 물품 탑재체가 이송탑재용 위치와 퇴피 위치로 위치 변경 가능한 상태란, 물품 탑재체를 이송탑재용 위치로부터 퇴피 위치로 위치 변경시키는 도중, 및 퇴피 위치에 있어서, 물품 탑재체가 물품을 탑재하는 자세로 유지되고, 또한 물품 탑재체의 상부에는, 물품을 존재하기 위한 공간이 확보되는 상태인 것을 의미한다.
이와 같이, 물품 탑재체를 이송탑재용 위치로부터 퇴피 위치로 위치 변경시킬 때, 물품 탑재체에 물품이 탑재되어 있어도, 그 상태인 채, 물품 탑재체를 이송탑재용 위치로부터 퇴피 위치로 이동시킬 수 있고, 또한 물품 탑재체를 퇴피 위치로부터 이송탑재용 위치로 되돌리는 것이 가능하므로, 물품 탑재체를 이송탑재용 위치와 퇴피 위치로 위치 변경하는 작업의 간략화를 도모할 수 있다.
요컨대, 상기한 구성에 의하면, 물품이 탑재되어 있는 물품 탑재체를 이송탑재용 위치와 퇴피 위치로 위치 변경하는 작업의 간략화를 도모할 수 있는 물품 반송 설비를 제공할 수 있다.
본 발명의 물품 반송 설비 실시예에 있어서는,
상기 지지 기구는, 상기 퇴피 위치에 위치하는 상기 물품 탑재체와 상기 주행 레일을 주행하는 상기 물품 반송차가 접촉하여 간섭하지 않도록, 상기 퇴피 위치에 있어서는 상기 이송탑재용 위치보다 상기 주행 레일로부터 가로측 방향으로의 이격(離隔) 거리가 길어지도록 상기 물품 탑재체를 지지하는 것이 바람직하다.
상기한 구성에 의하면, 물품 탑재체가, 퇴피 위치에 위치할 때 주행 레일을 주행하는 물품 반송차와의 접촉 간섭을 회피하기 위해, 퇴피 위치에 있어서는 이송탑재용 위치보다 주행 레일에 대하여 가로측 방향으로 크게 이격되는 형태로 위치 변경할 수 있도록 지지되므로, 퇴피 위치의 물품 탑재체가, 주행 레일을 주행하는 물품 반송차와 접촉하여 간섭하지 않는다.
즉, 물품 탑재체를 퇴피 위치로 위치 변경시킬 때란, 예를 들면, 청정실에 있어서 레이아웃(layout)의 변경 등을 위해 기판 처리 장치를 반출입할 때이다. 이 때, 물품의 반송 작업은 정지하고, 물품 탑재체를 퇴피 위치에 위치시킨 상태에 있어서는, 물품 반송차를 물품의 반송을 위해 주행시킬 필요가 없기는 하지만, 물품 탑재체를 퇴피 위치에 위치시킨 상태에 있어서, 예를 들면, 물품 반송차를 레이아웃의 변경 작업에 방해가 되지 않는 퇴피 개소로 주행시키는 등, 물품 반송차를 주행시키는 것이 요구되는 경우가 있다. 이와 같은 경우에 있어서, 상기한 구성에 의하면, 물품 반송차를, 퇴피 위치의 물품 탑재체와 접촉시키지 않고, 양호하게 주행시키는 것이 가능하다.
요컨대, 상기한 구성에 의하면, 물품 탑재체가 퇴피 위치로 위치 변경된 상태에 있어서도, 물품 반송차를 양호하게 주행시키는 것이 가능한 물품 반송 설비를 제공할 수 있다.
본 발명의 물품 반송 설비 실시예에 있어서는,
상기 지지 기구는, 상기 이송탑재용 위치로부터 상기 퇴피 위치로 상승함에 따라서 상기 주행 레일로부터 가로측 방향으로의 이격 거리가 길어지도록, 상기 물품 탑재체를 슬라이드 이동 가능하게 지지하는 것이 바람직하다.
즉, 물품 탑재체를 이송탑재용 위치로부터 퇴피 위치로 직선형으로 슬라이드 이동시킴으로써, 물품 탑재체를, 퇴피 위치에 있어서는 이송탑재용 위치보다 주행 레일에 대하여 가로측 방향으로 크게 이격시킬 수 있다. 또한, 물품 탑재체를 퇴피 위치로부터 이송탑재용 위치로 직선형으로 슬라이드 이동시킴으로써, 물품 탑재체를, 퇴피 위치로부터 이송탑재용 위치로 되돌리는 것이 가능하다.
즉, 물품 탑재체를, 퇴피 위치에 있어서는 이송탑재용 위치보다 주행 레일에 대하여 가로측 방향으로 크게 이격시키면서, 이송탑재용 위치와 퇴피 위치와의 사이에서의 물품 탑재체의 위치 변경을, 단지, 물품 탑재체를 직선형으로 슬라이드 이동시킬뿐인 간단한 조작에 의해 행할 수 있다.
설명을 추가하면, 예를 들면, 이송탑재용 위치의 물품 탑재체를, 먼저, 주행 레일의 가로 폭 방향을 따라, 주행 레일로부터 이격되는 방향으로 이동시키고, 그 후, 퇴피 위치를 향해 위쪽으로 이동시키도록 하는 등, 주행 레일의 가로 폭 방향에서의 이동과 위쪽으로의 이동과의 2단계의 이동을 조합함으로써, 물품 탑재체를 이송탑재용 위치로부터 상기 이송탑재용 위치보다 주행 레일에 대해 가로측 방향으로 크게 이격된 퇴피 위치로 위치 변경시키고, 또한 마찬가지로 퇴피 위치로부터 이송탑재용 위치로 되돌리도록 한 구성을 생각할 수 있다. 이와 같은 구성에서는, 2단계의 이동을 조합시켜 물품 탑재체를 이송탑재용 위치와 퇴피 위치와의 사이에서 위치 변경시키기 때문에, 물품 탑재체의 이동 조작이 번거롭게 된다.
이에 대하여, 상기한 구성에 의하면, 물품 탑재체를, 단지, 직선형으로 슬라이드 이동시킴으로써, 물품 탑재체를 이송탑재용 위치와 퇴피 위치와의 사이에서 위치 변경시킬 수 있으므로, 물품 탑재체의 이동 조작의 간략화를 도모할 수 있다.
요컨대, 상기한 구성에 의하면, 물품 탑재체의 이동 조작의 간략화를 도모할 수 있는 물품 반송 설비를 제공할 수 있다.
본 발명의 물품 반송 설비 실시예에 있어서는,
상기 주행 레일의 길이 방향을 따른 장척형(長尺形)의 물품 탑재 테이블에, 복수의 상기 물품 탑재체가 상기 주행 레일의 길이 방향을 따라 배열되어 설치되고,
상기 물품 탑재대에서의 상기 주행 레일의 길이 방향의 양 단부(端部)의 각각에, 위쪽을 향해 돌출하는 하부 프레임이 구비되고,
상기 지지 기구는, 한쌍의 상기 하부 프레임의 각각을 상기 천정부에 현수 지지된 한쌍의 상부 프레임에 대하여 승강 가능하게 안내하는 슬라이드 레일 기구를 가지고, 상기 슬라이드 레일 기구는, 상승함에 따라서 상기 주행 레일로부터 가로측 방향으로의 이격 거리가 길어지도록, 상기 하부 프레임을 상기 상부 프레임에 대하여 안내하는 것이 바람직하다.
즉, 주행 레일의 길이 방향을 따른 장척형의 물품 탑재대에 구비된 하부 프레임을, 천정부에 현수 지지된 상부 프레임에 대하여, 상승할수록 주행 레일에 대하여 가로측 방향으로 크게 이격되는 형태로 슬라이드 레일 기구에 의해 승강 가능하게 지지할 수 있다. 이로써, 주행 레일의 길이 방향을 따라 배열된 상태로 물품 탑재대에 설치한 복수의 물품 탑재체를, 이송탑재용 위치로부터 퇴피 위치로 상승할수록 주행 레일에 대하여 가로측 방향으로 크게 이격되는 형태(즉, 직선형으로 슬라이드 이동하는 슬라이드 이동 형태)로 위치 변경할 수 있도록 지지할 수 있다. 그러므로, 물품 탑재대를 슬라이드 레일 기구를 따라 승강시킴으로써, 복수의 물품 탑재체를, 일거에(즉, 1번의 동작으로), 이송탑재용 위치와 퇴피 위치로 위치 변경시킬 수 있다.
또한, 물품 탑재대의 양단에 구비하는 하부 프레임의 각각이, 천정부에 현수 지지된 상부 프레임에 지지되므로, 즉 주행 레일의 길이 방향을 따른 장척형의 물품 탑재 테이블의 양단이 승강 가능하게 지지되므로, 복수의 물품 탑재체를 이송탑재용 위치와 퇴피 위치로 위치 변경시키기 위해 승강되는 물품 탑재대의 자세가 안정된다. 따라서, 그 물품 탑재대에 설치한 복수의 물품 탑재체의 자세가 안정되어, 물품 탑재체를 이송탑재용 위치와 퇴피 위치로 위치 변경시킬 때, 물품 탑재체에 탑재 지지하고 있는 물품의 자세가 흐트러지는 것을 회피할 수 있다.
요컨대, 상기한 구성에 의하면, 복수의 물품 탑재체를, 일거에 이송탑재용 위치와 퇴피 위치로 위치 변경시킬 수 있고, 또한 물품 탑재체를 이송탑재용 위치와 퇴피 위치로 위치 변경시킬 때, 물품 탑재체에 탑재 지지하고 있는 물품의 자세가 흐트러지는 것을 회피할 수 있는 물품 반송 설비를 제공할 수 있다.
본 발명의 물품 반송 설비 실시예에 있어서는,
상기 물품 탑재체의 식별 정보를 표시하는 표시체의 위치를, 상기 물품 반송차에 장비한 식별 정보 검출 센서가 검출 가능한 피검출 위치와, 상기 식별 정보 검출 센서가 검출 불가능한 검출 불가능 위치에, 상기 물품 탑재체의 위치 변경과 연동시켜 변경하는 연동 기구가 설치되고,
상기 연동 기구는, 상기 물품 탑재체가 상기 이송탑재용 위치에 위치할 때는 상기 피검출 위치에 상기 표시체가 배치되고, 또한 상기 물품 탑재체가 상기 퇴피 위치에 위치할 때는 상기 검출 불가능 위치에 상기 표시체가 배치되도록, 상기 표시체의 위치를 상기 물품 탑재체의 위치 변경과 연동시키는 것이 바람직하다.
즉, 물품 탑재체가 이송탑재용 위치에 위치할 때는, 물품 탑재체의 식별 정보를 표시하는 표시체가 피검출 위치에 배치되는 상태로 된다. 이 때, 물품 반송차에 장비한 식별 정보 검출 센서가, 표시체가 표시하는 식별 정보를 검출할 수 있으므로, 그 식별 정보에 기초하여, 물품 탑재체가 이송탑재 대상의 물품 탑재체인지의 여부를 판별할 수 있다.
물품 탑재체가 퇴피 위치에 위치할 때는, 표시체가 검출 불가능 위치에 배치되는 상태로 된다. 이 때, 물품 반송차에 장비한 식별 정보 검출 센서가, 표시체가 표시하는 식별 정보를 검출할 수 없으므로, 이송탑재 대상의 물품 탑재체가 존재하지 않는 상태인 것으로 하여, 물품의 잘못된 이송탑재를 정지할 수 있다.
즉, 물품 탑재체가 이송탑재용 위치에 위치할 때는, 피검출 위치에 표시체가 배치되고, 또한 물품 탑재체가 퇴피 위치에 위치할 때는, 검출 불가능 위치에 표시체가 배치되도록, 물품 탑재체의 위치 변경과 연동하여, 표시체를 피검출 위치와 검출 불가능 위치로 위치 변경할 수 있다. 그러므로, 물품 탑재체가 퇴피 위치에 위치할 때, 그 물품 탑재체에 대한 물품의 이송탑재가 물품 반송차에 지시되도록 한 경우가 있어도, 그 물품 탑재체에 대응하는 표시체가 표시하는 식별 정보를, 식별 정보 검출 센서가 검출할 수 없으므로, 퇴피 위치의 물품 탑재체에 대하여, 잘못하여 물품의 이송탑재를 행하는 것을 회피할 수 있다.
따라서, 물품 탑재체를 퇴피 위치로 위치 변경시켜, 예를 들면, 청정실에 있어서 레이아웃의 변경 등을 위해 기판 처리 장치를 반출입하는 작업을 행한 후, 물품 탑재체를 이송탑재용 위치로 되돌리는 것을 잊었을 경우 등에 있어서, 퇴피 위치의 물품 탑재체에 대하여, 잘못하여 물품의 이송탑재를 행하는 것을 회피할 수 있다.
요컨대, 상기한 구성에 의하면, 퇴피 위치의 물품 탑재체에 대하여, 잘못하여 물품의 이송탑재를 행하는 것을 회피할 수 있는 물품 반송 설비를 제공할 수 있다.
본 발명의 물품 반송 설비 실시예에 있어서는,
상기 퇴피 위치는, 상기 퇴피 위치에 위치하는 상기 물품 탑재체와 상기 천정부와의 사이의 간격이 상기 물품의 높이 이상으로 되는 위치로 설정되고,
상기 지지 기구는, 상기 이송탑재용 위치와 상기 퇴피 위치와의 사이를 이동하는 상기 물품 탑재체에 대하여, 위쪽에서 볼 때 중복되지 않는 위치에 배치되어 있는 것이 바람직하다.
도 1은 물품 반송 설비를 나타낸 사시도이다.
도 2는 상기 물품 반송 설비의 정면도이다.
도 3은 물품 탑재대를 퇴피시킨 상태의 정면도이다.
도 4는 물품 탑재 테이블의 장착부를 나타낸 사시도이다.
도 5는 물품 탑재 테이블의 지지 기구를 나타낸 분해사시도이다.
도 6은 다른 실시예의 정면도이다.
다음에, 본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 설명한다.
도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 물품 반송차 A를 안내하는 주행 레일 L이, 천정부 T로부터 현수 지지되는 상태로 설치되고, 주행 레일 L의 가로측 방향이면서 하방 개소에, 물품 반송차 A와의 사이에서 이송탑재하는 물품 B를 탑재 지지하는 물품 탑재체 U가, 천정부 T로부터 현수 지지되는 상태로 설치되어 있다. 본 실시예에서는, 물품 탑재체 U는, 주행 레일 L의 양측 옆쪽의 각각에 설치되어 있다. 물품 반송차 A는, 반송하는 물품 B를 물품 탑재체 U에 건네어 보관하고, 또한 물품 탑재체 U에 보관한 물품 B를 인출하여 반송한다. 이들 주행 레일 L, 물품 탑재체 U, 및 물품 반송차 A를 구비하여, 물품 반송 설비가 구성되어 있다.
본 실시예의 물품 반송 설비는, 청정실에 있어서, 실리콘 기판 등의 기판을 수납하는 수납 용기(FOUP)를 물품 B로서 반송하는 설비이다. 도시는 생략하지만, 주행 레일 L은, 복수의 기판 처리 장치의 물품 반출입부를 경유하는 상태로 설치되고, 물품 반송차 A는, 물품 B를 복수의 기판 처리 장치에 대하여 반송하도록 구성되어 있다. 그리고, 물품 B는, 물품 탑재체 U에 일시적으로 보관되도록 구성되어 있다.
주행 레일 L은, 레일용 지지체(1)에 의해, 천정부 T로부터 현수된 상태로 설치되어 있다.
본 실시예에서는, 주행 레일 L은, 간격을 두고 좌우 방향으로 배열된 좌우 한쌍의 주행 레일부(2)를 구비하고, 좌우 한쌍의 주행 레일부(2)가, 레일용 지지체(1)에 의해 천정부 T로부터 현수 상태로 설치되어 있다. 여기서 말하는 「좌우 방향」은, 주행 레일 L의 길이 방향과 직교하는 수평 방향이다.
물품 반송차 A는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 주행 레일 L 상을 주행하는 주행부 A1과, 주행 레일 L의 아래쪽에 위치하는 차체 본체부 A2를 구비하고, 차체 본체부 A2가, 좌우 한쌍의 주행 레일부(2)의 사이에 위치하는 연결축(3)에 의해, 주행부 A1에 현수 지지되어 있다.
차체 본체부 A2는, 측면에서 볼 때 형상이 역 U자형의 커버체(4)의 내부의 위쪽 개소에, 물품 B를 현수한 상태로 파지하는 파지부(5)를 구비하고 있다. 파지부(5)는, 승강 구동 가능 및 가로측 방향을 따라 가로 슬라이드 구동 가능하게 구비되어 있고, 파지부(5)의 승강 이동과 가로 슬라이드 이동에 의해, 물품 반송차 A는, 물품 탑재체 U나 기판 처리 장치의 물품 반출입부와의 사이에서, 물품 B를 이송탑재하도록 구성되어 있다.
물품 탑재체 U 사이에서의 물품 B의 이송탑재에 대하여 추가적으로 설명한다. 물품 B를 물품 탑재체 U에 건네는 경우에는, 물품 B를 파지한 파지부(5)를 가로 외측을 향해 슬라이드 이동시키고, 다시 하강시킨 후, 물품 B의 파지를 해제한다. 그 후, 파지부(5)를 상승시키고, 또한 차체 내측으로 슬라이드 이동시켜, 파지부(5)를 커버체(4)의 내부 개소로 되돌린다.
또한, 물품 B를 물품 탑재체 U로부터 수취하는 경우에는, 파지부(5)를 가로 외측을 향해 슬라이드 이동시키고, 다시 하강시킨 후, 물품 B를 파지한다. 그 후, 물품 B를 파지한 파지부(5)를 상승시키고, 또한 차체 내측으로 슬라이드 이동시켜, 파지부(5)를 커버체(4)의 내부 개소로 되돌린다.
물품 탑재체 U는, 물품 반송차 A와의 사이에서 물품 B를 주고받는 이송탑재용 위치(도 2 참조)와 그 이송탑재용 위치로부터 위쪽으로 퇴피시킨 퇴피 위치(도 3 참조)로 위치 조정 가능하게 지지된 상태로 설치되어 있다. 퇴피 위치는, 주행 레일 L을 주행하는 물품 반송차 A 및 상기 물품 반송차 A에 의해 반송되는 물품 B와의 접촉이 회피되는 위치로 설정되어 있다. 따라서, 물품 탑재체 U를 퇴피 위치에 위치시킨 상태에 있어서, 예를 들면, 물품 반송차 A를 레이아웃의 변경 작업에 방해가 되지 않는 퇴피 개소로 주행시키는 등, 물품 반송차 A를 주행시키는 경우에, 물품 반송차 A를, 퇴피 위치의 물품 탑재체 U와 접촉시키지 않고, 양호하게 주행시키는 것이 가능하다. 본 실시예에서는, 이송탑재용 위치도, 주행 레일 L을 주행하는 물품 반송차 A 및 상기 물품 반송차 A에 의해 반송되는 물품 B와의 접촉이 회피되는 위치로 설정되어 있다.
본 실시예에서는, 천정부 T에 대하여 물품 탑재체 U를 현수 지지하는 지지 기구 D가, 물품 B를 탑재한 물품 탑재체 U가 이송탑재용 위치와 퇴피 위치로 위치 변경 가능한 상태에서, 물품 탑재체 U를 지지하도록 구성되어 있다. 또한, 지지 기구 D는, 이송탑재용 위치보다 퇴피 위치를 주행 레일 L의 가로측 방향으로 이격시키는 상태로, 물품 탑재체 U를 지지하도록 구성되어 있다. 즉, 퇴피 위치는, 이송탑재용 위치보다 위쪽으로서, 주행 레일 L로부터 가로측 방향으로의 이격 거리(물품 탑재체 U와 주행 레일 L과의 사이의 수평 방향의 거리)가 이송탑재용 위치보다 길어지는 위치로 설정되어 있다. 또한, 퇴피 위치는, 천정부 T보다 하방으로서, 물품 탑재체 U와 천정부 T와의 사이의 간격이 물품 B의 높이 이상으로 되는 위치로 설정되어 있다.
본 실시예에서는, 물품 반송차 A가, 이송탑재용 위치의 물품 탑재체 U보다 위쪽으로 물품 B를 지지한 상태로 반송하도록 구성되어 있다. 그러므로, 이송탑재용 위치의 물품 탑재체 U를, 평면에서 볼 때, 물품 반송차 A가 통과하는 공간에 근접하거나 또는 상기 공간 내로 돌출하는 상태로 설치할 수 있고, 이 결과, 물품 B를 이송탑재할 때, 주행 레일 L의 가로 폭 방향으로 물품 B를 이동하는 양을 적게 하여, 물품 B의 이송탑재를 효율적으로 행할 수 있다.
지지 기구 D에 대하여 추가적으로 설명한다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 천정부 T로부터 현수 지지체(7)에 의해 현수 지지되는 좌우 한쌍의 상부 프레임(8)이 설치되고, 이 좌우 한쌍의 상부 프레임(8)의 각각에 대하여, 하부 프레임(9)이, 슬라이드식의 레일 기구(10)에 의해, 승강 가능하게 안내되어 있다. 좌우 한쌍의 상부 프레임(8)은, 간격을 두고 좌우 방향으로 배열되도록 설치되어 있다. 여기서 말하는 「좌우 방향」은, 주행 레일 L의 길이 방향으로 평행한 수평 방향이다.
그리고, 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 슬라이드식의 레일 기구(10)가, 상방측으로 갈수록 주행 레일 L에 대하여 가로측 방향 측에 위치하는 경사 자세로 설치되어 있다. 따라서, 하부 프레임(9)은, 상방 측을 향함에 따라 주행 레일 L로부터 가로측 방향으로의 이격 거리가 길어지도록, 레일 기구(10)에 의해 안내된다. 이와 같이, 본 실시예에서는, 지지 기구 D는, 상부 프레임(8), 하부 프레임(9), 및 레일 기구(10)를 구비하고 있다. 이송탑재용 위치로부터 퇴피 위치로 상승함에 따라서 주행 레일 L로부터 가로측 방향으로의 이격 거리가 길어지도록, 지지 기구 D가 물품 탑재체 U를 슬라이드 이동 가능하게 지지하는 구성으로 함으로써, 이송탑재용 위치와 퇴피 위치와의 사이에서의 물품 탑재체 U의 위치 변경을, 단지, 물품 탑재체 U를 직선형으로 슬라이드 이동시킬뿐인 간단한 조작에 의해 행할 수 있어, 물품 탑재체 U의 이동 조작의 간략화를 도모할 수 있다.
레일 기구(10)는, 적어도 2개의 레일을 구비한다. 본 실시예에서는, 레일 기구(10)는, 상부 프레임(8) 및 하부 프레임(9)의 각각에 장착한 고정 레일(10A)과, 이들 고정 레일(10A)을 슬라이드 가능하게 결합하는 중간 레일(10B)과의, 3개의 레일로 구성되어 있다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 상부 프레임(8)의 하단부에, 한쌍의 상부 프레임 측 접촉체(11)가 설치되어 있다. 그리고, 하부 프레임(9)의 상단부에, 상부 프레임 측 접촉체(11)의 접촉에 의해, 하부 프레임(9)의 하강 범위를 규제하는 한쌍의 하강 한도 규제용 접촉체(12)가 설치되어 있다. 또한, 하부 프레임(9)의 하단부에, 상부 프레임 측 접촉체(11)의 접촉에 의해, 하부 프레임(9)의 상승 범위를 규제하는 한쌍의 상승 한도 규제용 접촉체(13)가 설치되어 있다. 이들 접촉체(11, 12, 13)에 의해, 상부 프레임(8)에 대한 하부 프레임(9)의 승강 범위가 규제되도록 구성되어 있다.
그리고, 도 2에 나타낸 바와 같이, 하부 프레임(9)이 하강 한도에 위치할 때, 즉 하강 한도 규제용 접촉체(12)가 상부 프레임 측 접촉체(11)에 접촉한 상태로 될 때, 물품 탑재체 U가 이송탑재용 위치로 되고, 도 3에 나타낸 바와 같이, 하부 프레임(9)이 상승 한도에 위치할 때, 즉 상승 한도 규제용 접촉체(13)가 상부 프레임 측 접촉체(11)에 접촉한 상태로 될 때, 물품 탑재체 U가 퇴피 위치로 되도록 구성되어 있다.
또한, 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 물품 탑재체 U를 퇴피 위치에 유지할 때는, 한쌍의 상부 프레임 측 접촉체(11) 중 한쪽의 상부 프레임 측 접촉체(11)에 나사 이동 가능하게 나사결합시킨 위치결정핀(14)을, 하부 프레임(9)에 형성한 위치결정공(15)에 끼워맞추어져, 하부 프레임(9)의 하강을 규제하도록 구성되어 있다.
본 실시예에 있어서는, 도 1 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 복수(구체적으로는 3개)의 물품탑재체 U가, 주행 레일 L의 길이 방향으로 배열된 상태로 물품 탑재대 E에 구비되고, 이 물품 탑재 테이블 E의 양 단부의 각각에, 전술한 하부 프레임(9)이 위쪽으로 돌출하는 자세로 구비되어 있다. 그러므로, 복수의 물품 탑재체 U를, 일거에(즉, 1번의 동작으로), 이송탑재용 위치와 퇴피 위치로 위치 변경시킬 수 있다.
구체적으로는, 좌우 한쌍의 하부 프레임(9)의 각각의 하단부에, 받이 프레임(17)이 볼트에 의해 연결되어 있고, 주행 레일 L의 길이 방향으로 연장되는 한쌍의 장척 프레임(18)이, 주행 레일 L의 가로 폭 방향으로 배열된 상태로, 그 양 단부를 받이 프레임(17)에 탑재 지지되어 있다. 한쌍의 장척 프레임(18)을 주요부로 하여, 물품 탑재대 E가 구성되어 있다.
그리고, 3개의 물품 탑재체 U가, 한쌍의 장척 프레임(18)에 의해 탑재 지지된 상태로, 주행 레일 L의 길이 방향으로 배열되어 설치되어 있다.
물품 탑재체 U는, 물품 B를 탑재한 상태에서, 이송탑재용 위치와 퇴피 위치로 위치 변경할 수 있도록 지지되어 있다. 이 때, 본 실시예에서는, 주행 레일 L의 길이 방향을 따른 장척형의 물품 탑재 테이블 E의 양단이 승강 가능하게 지지되므로, 복수의 물품 탑재체 U를 이송탑재용 위치와 퇴피 위치로 위치 변경시키기 위해 승강되는 물품 탑재대 E의 자세가 안정된다. 따라서, 그 물품 탑재대 E에 설치한 복수의 물품 탑재체 U의 자세가 안정되어, 물품 탑재체 U를 이송탑재용 위치와 퇴피 위치로 위치 변경시킬 때, 물품 탑재체 U에 탑재 지지하고 있는 물품 B의 자세가 흐트러지는 것을 회피할 수 있다. 그리고, 지지 기구 D는, 이송탑재용 위치와 퇴피 위치와의 사이를 이동하는 물품 탑재체 U에 대하여, 위쪽에서 볼 때 중복되지 않는 위치에 배치되어 있다. 구체적으로는, 지지 기구 D가 구비하는 상부 프레임(8), 하부 프레임(9), 및 레일 기구(10)의 각각이, 주행 레일 L의 길이 방향에 있어서, 물품 탑재체 U와는 상이한 위치에 배치되어 있다. 또한, 상기한 바와 같이, 퇴피 위치는, 천정부 T보다 하방으로서, 물품 탑재체 U와 천정부 T와의 사이의 간격이 물품 B의 높이 이상으로 되는 위치로 설정되어 있다. 따라서, 물품 탑재체 U가 퇴피 위치에 위치할 때도, 각 물품 탑재체 U의 위쪽에 물품 B를 존재시키는 공간을 확보할 수 있다. 이와 같이, 지지 기구 D는, 물품 B를 탑재한 물품 탑재체 U가 이송탑재용 위치와 퇴피 위치로 위치 변경 가능한 상태에서, 물품 탑재체 U를 지지하도록 구성되어 있다.
도 1 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 상부 프레임(8)과 하부 프레임(9)과의 사이에는, 정하중(定荷重; balance) 스프링(19)이, 권취부(19A)가 상부 프레임(8)에 위치하는 상태로 설치되어 있다.
따라서, 3개의 물품 탑재체 U를 구비하는 물품 탑재대 E의 승강을 적은 조작력에 의해 경쾌하게 행할 수 있도록 구성되어 있다.
물품 반송차 A에는, 물품 탑재체 U에 물품 B가 존재하는지의 여부를 검출하는 물품 존재 여부 검출 센서(21), 및 각 물품 탑재체 U의 식별 정보를 검출하는 식별 정보 검출 센서(22)가 장비되어 있다.
물품 존재 여부 검출 센서(21)는, 각 물품 탑재체 U의 탑재면에 상당하는 개소에 설치한 광반사체(23)를 검출하는, 반사식 광센서를 사용하여 구성되어 있다.
식별 정보 검출 센서(22)는, 각 물품 탑재체 U로부터 위쪽으로 이격된 개소에 설치한 표시체(24)에 표시되어 있는 식별 정보(예를 들면, 이차원 코드)를 검출하도록 구성되어 있다.
즉, 물품 반송차 A는, 각 물품 탑재체 U에 대하여 물품 B를 이송탑재할 때는, 표시체(24)에 의해 나타내는 식별 정보를 식별 정보 검출 센서(22)에 의해 검출하여, 물품 B를 이송탑재하는 이송탑재 대상의 물품 탑재체 U인지의 여부를 확인하도록 구성되어 있다. 또한, 물품 반송차 A는, 이송탑재 대상의 물품 탑재체 U에 물품 B가 탑재되어 있는지의 여부를, 물품 존재 여부 검출 센서(21)의 정보에 기초하여 확인하도록 구성되어 있다.
표시체(24)는, 물품 탑재체 U가 이송탑재용 위치에 위치할 때는, 식별 정보 검출 센서(22)가 검출 가능한 피검출 위치에 배치되고, 또한 물품 탑재체 U가 퇴피 위치에 위치할 때는, 식별 정보 검출 센서(22)가 검출 불가능한 검출 불가능 위치에 배치되도록, 물품 탑재체 U의 위치 변경과 연동하여, 피검출 위치와 검출 불가능 위치로 위치 변경되도록 설치되어 있다. 이와 같은, 표시체(24)의 위치와 물품 탑재체 U의 위치와의 연동은, 본 실시예에서는 연동 기구 M에 의해 실현된다.
설명을 추가하면, 도 1 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 3개의 물품 탑재체 U에 대응하는 3개의 표시체(24)를 지지하는 장척형의 지지 프레임(25)가 설치되어 있다. 그리고, 지지 프레임(25)의 양 단부를 캐치(catch)하여 지지하는 한쌍의 받이체(26)가, 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 표시체(24)를 피검출 위치와 검출 불가능 위치로 위치 변경시키기 위해, 한쌍의 상부 프레임(8)의 각각에 설치한 안내 레일(27)에 의해 일정 범위 내에서 가능하게 지지되어 있다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 록핀(29)이, 지지 프레임(25)에 연결된 지지 브래킷(30)에 슬라이드 가능하게 지지되는 상태로 설치되어 있다. 록핀(29)은, 접수체(26)가 승강 범위의 최하강 위치에 위치할 때, 상부 프레임(8)의 위치결정공(28)에 걸어맞추어진다. 또한, 그 지지 브래킷(30)에는, 록핀(29)을 슬라이드 조작하는 요동(搖動) 레버(31)가 장비되어 있다.
즉, 받이체(26)가 승강 범위의 최하강 위치에 위치할 때, 표시체(24)가 피검출 위치에 배치된다. 이 때, 록핀(29)을 위치결정공(28)에 걸어맞춤으로써, 표시체(24)가 피검출 위치에 유지되도록 구성되어 있다.
또한, 도 3 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 물품 탑재체 U가 이송탑재용 위치로부터 퇴피 위치로 이동될 때, 접수체(26)의 일부에 의해 형성되는 피접촉체(32)를 압압하여, 접수체(26)를 상승시키는 압압체(33)가, 하부 프레임(9)에 장착되어 있고, 물품 탑재체 U를 이송탑재 위치로부터 퇴피 위치로 이동시키기 위해 하부 프레임(9)을 상승시키면, 표시체(24)를 지지하는 지지 프레임(25)이 상승하도록 구성되어 있다. 이와 같이, 본 실시예에서는, 연동 기구 M은, 접수체(26), 안내 레일(27), 및 압압체(押壓體)(33)를 구비하고 있다.
즉, 물품 탑재체 U를 이송탑재 위치로부터 퇴피 위치로 이동시키기 위해 하부 프레임(9)을 최상승 위치로 상승시킬 때, 표시체(24)가 검출 불가능 위치로 되고, 그리고, 전술한 바와 같은, 최상승 위치로 상승시킨 하부 프레임(9)을 위치결정핀(14)에 의해 유지하여 하부 프레임(9)의 하강을 규제함으로써, 표시체(24)가 검출 불가능 위치에 유지되도록 구성되어 있다.
따라서, 표시체(24)는, 물품 탑재체 U를 이송탑재 위치로부터 퇴피 위치로 이동시키기 위해 하부 프레임(9)을 최상승 위치로 상승시킴에 따라, 피검출 위치로부터 검출 불가능 위치로 상승 조작되고, 또한 물품 탑재체 U를 퇴피 위치로부터 이송탑재용 위치로 이동시키기 위해 하부 프레임(9)을 하강시킴에 따라, 피검출 위치로 낙하 이동하도록 구성되어 있다.
그리고, 물품 탑재체 U를 이송탑재용 위치로부터 퇴피 위치로 이동시키기 위해 하부 프레임(9)을 최상승 위치로 상승시킬 때는, 록핀(29)을 위치결정공(28)으로부터 이탈시킨다. 또한, 물품 탑재체 U를 퇴피 위치로부터 이송탑재용 위치로 이동시키기 위해 하부 프레임(9)을 하강시킨 후에 있어서, 록핀(29)을 위치결정공(28)에 걸어맞춘다.
이상과 같이, 본 실시예의 물품 반송 설비는, 물품 탑재체 U가, 이송탑재용 위치와 퇴피 위치로 위치 변경할 수 있도록 지지되므로, 레이아웃의 변경 등을 위해 기판 처리 장치를 반출입할 때, 물품 탑재체 U를 퇴피 위치로 위치 변경함으로써, 물품 탑재체 U가 기판 처리 장치의 반송에 방해가 되는 것을 회피할 수 있다.
그리고, 물품 탑재체 U가, 물품 B를 탑재한 상태에서, 이송탑재용 위치와 퇴피 위치로 위치 변경할 수 있도록 지지되므로, 물품 탑재체 U에 물품 B가 재치되어 있어도, 물품 B를 제거하는 등의 수고 없이, 물품 탑재체 U를 퇴피 위치로 위치 변경할 수 있다.
또한, 물품 탑재체 U의 이송탑재용 위치와 퇴피 위치와의 위치 변경과 연동하여, 물품 탑재체 U의 식별 정보를 표시하는 표시체(24)가, 피검출 위치와 검출 불가능 위치로 위치 변경한다. 그러므로, 물품 탑재체 U가 이송탑재용 위치에 위치할 때는, 식별 정보 검출 센서(22)에 의해 검출되는 식별 정보에 기초하여, 물품 탑재체 U가 이송탑재 대상의 물품 탑재체인지의 여부를 판별할 수 있고, 또한 물품 탑재체 U가 퇴피 위치에 위치할 때는, 이송탑재 대상의 물품 탑재체 U가 존재하지 않는 상태인 것으로 하여, 물품 B의 잘못된 이송탑재를 정지할 수 있다. 즉, 물품 탑재체 U를 퇴피 위치로부터 이송탑재용 위치로 되돌리는 것을 잊은 상태에서, 물품 반송차 A에 의한 물품 B의 반송을 재개했을 때, 퇴피 위치의 물품 탑재체 U에 대하여 물품 반송차 A가 잘못하여 물품 B의 이송탑재를 행하는 것을 회피할 수 있다.
[다른 실시예]
다음에, 다른 실시예에 대하여 설명한다.
(1) 상기 실시예에서는, 정가중 스프링(19)을 사용하여, 상부 프레임(8)에 대하여 하부 프레임(9)을 유지하여, 물품 탑재 테이블 E를 승강 조작하는 형태를 예시했지만, 도 6에 나타낸 바와 같이, 천정부 T에 설치한 풀리(pulley)(35)로부터 수평 방향으로 송출되는 로프형체(36)를, 천정부 T에 설치한 아이들링 풀리(37)에 의해 하방향으로 안내하고, 그 단부를 하부 프레임(9)에 접속함으로써, 풀리(35)의 회동(回動) 조작에 의해, 물품 탑재대 E를 승강 조작하는 형태로 실시해도 된다.
즉, 풀리(35)는, 크랭크 레버 등을 사용하여, 적은 조작력에 의해 회동 조작할 수 있으므로, 3개의 물품 탑재체 U를 구비하는 물품 탑재대 E를 양호하게 승강 조작할 수 있다.
(2) 상기 실시예에서는, 주행 레일 L의 길이 방향을 따른 물품 탑재대 E에, 3개의 물품 탑재체 U를 탑재하는 경우를 예시했지만, 물품 탑재 테이블 E에, 2개나 4개 이상의 물품 탑재체 U를 탑재하는 형태로 실시해도 되고, 또한 물품 탑재대 E를 구비하지 않고, 각 물품 탑재체 U의 각각을, 별개로 위치 변경할 수 있도록 지지하는 형태로 실시해도 된다.
(3) 상기 실시예에서는, 주행 레일 L의 양측의 가로측 방향으로 물품 탑재체 U를 설치하는 경우를 예시했지만, 주행 레일 L의 한쪽의 가로측 방향으로만 물품 탑재체 U를 설치하는 등, 주행 레일 L에 대한 물품 탑재체 U의 설치 형태는 각종 변경할 수 있다.
(4) 상기 실시예에서는, 물품 B로서, 기판을 수납하는 수납 용기(FOUP)를 예시했지만, 본 발명의 물품 반송 설비는, 각종 물품을 반송하는 데 사용할 수 있는 것이며, 그리고, 물품 반송차 A의 구체 구성은, 반송하는 물품에 따라 각종 변경할 수 있다.
8: 상부 프레임, 9: 하부 프레임, 10: 슬라이드 레일 기구, 22: 식별 정보 검출 센서, 24: 표시체, A: 물품 반송차, D: 지지 기구, E: 물품 탑재 테이블, L: 주행 레일, M: 연동 기구, T: 천정부, U: 물품 탑재체

Claims (7)

  1. 천정부로부터 현수(懸垂) 지지되고, 물품 반송차(搬送車)를 안내하는 주행 레일;
    상기 주행 레일의 가로측 방향이면서 또한 하방 개소(箇所)에 배치되고, 상기 물품 반송차와의 사이에서 이송탑재(transfer)하는 물품을 탑재 지지하는 물품 탑재체;
    상기 주행 레일의 가로측 방향이면서 또한 하방 개소에 위치하여 상기 물품 반송차와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 이송탑재용 위치와, 그 이송탑재용 위치로부터 상기 주행 레일의 가로측 방향에 있어서 상방으로 퇴피(退避)시킨 퇴피 위치로, 위치 조정 가능하게, 상기 물품 탑재체를 상기 천정부로부터 현수 지지하는 지지 기구(機構);
    를 포함하는 물품 반송 설비로서,
    상기 지지 기구는, 물품을 탑재한 상태의 상기 물품 탑재체를, 상기 이송탑재용 위치와 상기 퇴피 위치로 위치 변경할 수 있도록 구성되어 있는,
    물품 반송 설비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 지지 기구는, 상기 퇴피 위치에 위치하는 상기 물품 탑재체와 상기 주행 레일을 주행하는 상기 물품 반송차가 접촉하여 간섭하지 않도록, 상기 퇴피 위치에 있어서는 상기 이송탑재용 위치보다 상기 주행 레일로부터 가로측 방향으로의 이격(離隔) 거리가 길어지도록 상기 물품 탑재체를 지지하는, 물품 반송 설비.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 지지 기구는, 상기 이송탑재용 위치로부터 상기 퇴피 위치로 상승함에 따라서 상기 주행 레일로부터 가로측 방향으로의 이격 거리가 길어지도록, 상기 물품 탑재체를 슬라이드 이동 가능하게 지지하는, 물품 반송 설비.
  4. 천정부로부터 현수(懸垂) 지지되고, 물품 반송차(搬送車)를 안내하는 주행 레일;
    상기 주행 레일의 가로측 방향이면서 또한 하방 개소(箇所)에 배치되고, 상기 물품 반송차와의 사이에서 이송탑재(transfer)하는 물품을 탑재 지지하는 물품 탑재체;
    상기 물품 반송차와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 이송탑재용 위치와, 그 이송탑재용 위치로부터 상방으로 퇴피(退避)시킨 퇴피 위치로, 위치 조정 가능하게, 상기 물품 탑재체를 상기 천정부로부터 현수 지지하는 지지 기구(機構);
    를 포함하는 물품 반송 설비로서,
    상기 지지 기구는, 물품을 탑재한 상태의 상기 물품 탑재체를, 상기 이송탑재용 위치와 상기 퇴피 위치로 위치 변경할 수 있도록 구성되고,
    상기 지지 기구는, 상기 퇴피 위치에 위치하는 상기 물품 탑재체와 상기 주행 레일을 주행하는 상기 물품 반송차가 접촉하여 간섭하지 않도록, 상기 퇴피 위치에 있어서는 상기 이송탑재용 위치보다 상기 주행 레일로부터 가로측 방향으로의 이격(離隔) 거리가 길어지도록 상기 물품 탑재체를 지지하고,
    상기 지지 기구는, 상기 이송탑재용 위치로부터 상기 퇴피 위치로 상승함에 따라서 상기 주행 레일로부터 가로측 방향으로의 이격 거리가 길어지도록, 상기 물품 탑재체를 슬라이드 이동 가능하게 지지하고,
    상기 주행 레일의 길이 방향을 따른 장척형(長尺形)의 물품 탑재대에, 복수의 상기 물품 탑재체가 상기 주행 레일의 길이 방향을 따라 배열되어 설치되고,
    상기 물품 탑재대에서의 상기 주행 레일의 길이 방향의 양 단부(端部)의 각각에, 상방을 향해 돌출하는 하부 프레임이 구비되고,
    상기 지지 기구는, 한쌍의 상기 하부 프레임의 각각을 상기 천정부에 현수 지지된 상부 프레임에 대하여 승강 가능하게 안내하는 슬라이드 레일 기구를 가지고, 상기 슬라이드 레일 기구는, 상승함에 따라서 상기 주행 레일로부터 가로측 방향으로의 이격 거리가 길어지도록, 상기 하부 프레임을 상기 상부 프레임에 대하여 안내하는,
    물품 반송 설비.
  5. 천정부로부터 현수(懸垂) 지지되고, 물품 반송차(搬送車)를 안내하는 주행 레일;
    상기 주행 레일의 가로측 방향이면서 또한 하방 개소(箇所)에 배치되고, 상기 물품 반송차와의 사이에서 이송탑재(transfer)하는 물품을 탑재 지지하는 물품 탑재체;
    상기 물품 반송차와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 이송탑재용 위치와, 그 이송탑재용 위치로부터 상방으로 퇴피(退避)시킨 퇴피 위치로, 위치 조정 가능하게, 상기 물품 탑재체를 상기 천정부로부터 현수 지지하는 지지 기구(機構);
    를 포함하는 물품 반송 설비로서,
    상기 지지 기구는, 물품을 탑재한 상태의 상기 물품 탑재체를, 상기 이송탑재용 위치와 상기 퇴피 위치로 위치 변경할 수 있도록 구성되고,
    상기 물품 탑재체의 식별 정보를 표시하는 표시체의 위치를, 상기 물품 반송차에 장비한 식별 정보 검출 센서가 검출 가능한 피검출 위치와, 상기 식별 정보 검출 센서가 검출 불가능한 검출 불가능 위치에, 상기 물품 탑재체의 위치 변경과 연동시켜 변경하는 연동 기구가 설치되고,
    상기 연동 기구는, 상기 물품 탑재체가 상기 이송탑재용 위치에 위치할 때는 상기 피검출 위치에 상기 표시체가 배치되고, 또한 상기 물품 탑재체가 상기 퇴피 위치에 위치할 때는 상기 검출 불가능 위치에 상기 표시체가 배치되도록, 상기 표시체의 위치를 상기 물품 탑재체의 위치 변경과 연동시키는,
    물품 반송 설비.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 퇴피 위치는, 상기 퇴피 위치에 위치하는 상기 물품 탑재체와 상기 천정부와의 사이의 간격이 상기 물품의 높이 이상으로 되는 위치로 설정되고,
    상기 지지 기구는, 상기 이송탑재용 위치와 상기 퇴피 위치와의 사이를 이동하는 상기 물품 탑재체에 대하여, 상방에서 볼 때 중복되지 않는 위치에 배치되어 있는, 물품 반송 설비.
  7. 삭제
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