JP2012112026A - めっき装置、めっき方法及びめっき装置に用いるワゴン - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板のめっき処理を行うめっき処理部130と、前記基板を保持する基板ホルダ110と、前記基板ホルダ110を保持して搬送する基板ホルダ搬送部140と、前記基板ホルダ110を収納するワゴン150と、前記ワゴン150を収納するワゴン設置部160とを有し、前記ワゴン150は、前記ワゴン150を前記ワゴン設置部160の内外に移動する移動手段を有することを特徴とするめっき装置。
【選択図】図1
Description
110 基板ホルダ
120 テーブル
130 めっき処理部
140 基板ホルダ搬送部
150 ワゴン
160 ワゴン設置部
500 基板
Claims (15)
- 基板のめっき処理を行うめっき処理部と、
前記基板を保持する基板ホルダと、
前記基板ホルダを保持して搬送する基板ホルダ搬送部と、
前記基板ホルダを収納するワゴンと、
前記ワゴンを収納するワゴン設置部とを有し、
前記ワゴンは、前記ワゴンを前記ワゴン設置部の内外に移動する移動手段を有する
ことを特徴とするめっき装置。 - 前記移動手段はキャスタであり、前記キャスタにより前記ワゴンを移動させてめっき装置から分離させることを特徴とする請求項1に記載のめっき装置。
- 前記ワゴン設置部は、開閉可能な開閉部と、前記開閉部が開状態にある場合に、前記ワゴン設置部と前記めっき装置内部との雰囲気を遮断するための開閉自在なシャッタと、を有することを特徴とする請求項1または2記載のめっき装置。
- 前記基板ホルダ搬送部は、前記ワゴンにおける前記基板ホルダの有無及び/又は位置を検知するセンサを有することを特徴とする請求項1または2に記載のめっき装置。
- 前記基板ホルダ搬送部及び前記ワゴン設置部の状態を監視制御する制御部と、前記制御部に対して前記ワゴンを移動させることを通知する通知手段を有することを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のめっき装置。
- 前記ワゴンは、前記ワゴン設置部において前記ワゴンを固定するラッチハンドルを有し、前記ワゴン設置部は、ラッチ受けを有することを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のめっき装置。
- 前記ワゴン設置部は、前記開閉部の開放を制限する開放部スイッチと、前記シャッタの開放を制限するシャッタスイッチとを有し、前記開放部ロックスイッチと前記シャッタロックスイッチとは連動していることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載のめっき装置。
- ワゴンから基板ホルダを取り出し、
基板を前記基板ホルダで保持し、
前記基板を保持した前記基板ホルダを基板ホルダ搬送部によりめっき処理部に搬送し、
前記めっき処理部においてめっき処理を行い、
前記基板ホルダ搬送部が前記基板ホルダを前記ワゴンへ搬送し、前記基板ホルダを前記ワゴンに戻すこと
を自動で行うめっき方法であって、
前記めっき装置の自動運転中に前記ワゴンの移動手段により前記ワゴンを前記めっき装置外に移動可能なことを特徴とするめっき方法。 - 前記ワゴンはキャスタを有し、前記ワゴンを前記キャスタにより移動させる際に前記ワゴンは、前記めっき装置から分離することを特徴とする請求項8記載のめっき方法。
- 前記めっき装置の自動運転中、前記ワゴンを前記めっき装置外へ移動する前に、前記ワゴンの前記めっき装置外への移動を前記めっき装置の制御部に通知すること、をさらに含むことを特徴とする請求項8または9に記載のめっき方法。
- 前記ワゴンを移動させる際に、前記ワゴンを前記めっき装置外に移動させる前に、シャッタを閉じて前記めっき装置内を外気から遮断し、前記ワゴンを前記めっき装置内に移動させた後に前記シャッタを開放して前記基板ホルダ搬送部が前記ワゴンにアクセス可能とすることを特徴とする請求項8から10のいずれかに記載のめっき方法。
- めっき装置に用いられる基板ホルダを収納するワゴンであって、
基板ホルダを収納する基板ホルダ収納部と、
移動手段とを有し、
前記移動手段により前記ワゴンを移動させてめっき装置から分離することを特徴とするワゴン。 - 底部にドレインパンをさらに有することを特徴とする請求項12に記載のワゴン。
- 前記基板ホルダ収納部は、アノードホルダを収納可能であることを特徴とする請求項12または13に記載のワゴン。
- めっき装置に用いられるアノードホルダを収納するワゴンであって、
アノードホルダを収納するアノードホルダ収納部と、
底部に設置されたドレインパンと、
移動手段とを有し、
前記移動手段により前記ワゴンを移動させてめっき装置から分離することを特徴とするワゴン。
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