JPS6118605A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPS6118605A JPS6118605A JP13993384A JP13993384A JPS6118605A JP S6118605 A JPS6118605 A JP S6118605A JP 13993384 A JP13993384 A JP 13993384A JP 13993384 A JP13993384 A JP 13993384A JP S6118605 A JPS6118605 A JP S6118605A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpieces
- conveying
- amount
- processing device
- workpiece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
- B65G1/0485—Check-in, check-out devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体集積回路の加工物用搬送装置に関するも
のでちる。
のでちる。
生産システムは一連の加工を行々うプロセス処理装置を
群として、この複数の処理装置から構成する事が多い。
群として、この複数の処理装置から構成する事が多い。
ここでプロセス処理装置群間の搬送量は比較的一定なの
に比べ、プロセス処理装置内の個々の装置に関しては処
理能力に応じた変化のある搬送量が必要とされる。
に比べ、プロセス処理装置内の個々の装置に関しては処
理能力に応じた変化のある搬送量が必要とされる。
加工物の待ち時間に代表される無駄な時間を低減し、稼
動率の向上を計るには、プロセス処理装置群間を大量に
移送する第１の搬送機構と、個々のプロセス処理装置へ
小量移送を行なう第２の搬送機構との混在した搬送シス
テムを実現させ、これを適切に制御する事が重要である
。
動率の向上を計るには、プロセス処理装置群間を大量に
移送する第１の搬送機構と、個々のプロセス処理装置へ
小量移送を行なう第２の搬送機構との混在した搬送シス
テムを実現させ、これを適切に制御する事が重要である
。
近年の半導体産業の生産／ステムの形態は多品種、多量
生産であり、同様な種類の機能や、性能をもつプロセス
処理装置をグループにまとめて配置する様な形態、いわ
ゆるジョブショップ型が多く採用されている。
生産であり、同様な種類の機能や、性能をもつプロセス
処理装置をグループにまとめて配置する様な形態、いわ
ゆるジョブショップ型が多く採用されている。
従来この様な環境下でのプロセス処理装置群間を大量ｒ
移送する搬送機構は、フロア−の有効活用設備コストを
考慮すると、搬送台車による移送方式が一般に採用され
ており、移載の順序としては搬送台車に最も近いステー
７ヨンから進行方向に向って順番に積載され、順番にプ
ロセス処理装置に小量移送する搬送系列に移される。
移送する搬送機構は、フロア−の有効活用設備コストを
考慮すると、搬送台車による移送方式が一般に採用され
ており、移載の順序としては搬送台車に最も近いステー
７ヨンから進行方向に向って順番に積載され、順番にプ
ロセス処理装置に小量移送する搬送系列に移される。
この様な搬送形態で故障等であるプロセス処理装置が停
止すると、それ以降プロセス処理装置への移送が出来な
くなる。それが長時間に及んだ場合には、加工物は満席
状態となり、プロセス処理装置群を大量移送する搬送台
車からの移載が出来なくなり停止してしまう。
止すると、それ以降プロセス処理装置への移送が出来な
くなる。それが長時間に及んだ場合には、加工物は満席
状態となり、プロセス処理装置群を大量移送する搬送台
車からの移載が出来なくなり停止してしまう。
従っである１台のプロセス処理装置が長時間停止する事
は大量移送する搬送機構をも停止させて全体の移送量が
著しく低下するという欠点があった。
は大量移送する搬送機構をも停止させて全体の移送量が
著しく低下するという欠点があった。
本発明は安定した移送を確保することができる搬送装置
を提供するものである。
を提供するものである。
本発明は第１図に示すように複数のジョブショップ型の
プロセス処理装置群間で半導体集積回路の加工物を大量
搬送す゛る第１の搬送機構ｌと、各プロセス処理装置５
に半導体集積回路の加工物を小量搬送する第２の搬送機
構４とからなシ、両搬送機構１．４の搬送量の誤差を加
工物の一時保管によυ吸収し第２の搬送機構に必要量の
加工物を供給する保管棚３を備えたものである。
プロセス処理装置群間で半導体集積回路の加工物を大量
搬送す゛る第１の搬送機構ｌと、各プロセス処理装置５
に半導体集積回路の加工物を小量搬送する第２の搬送機
構４とからなシ、両搬送機構１．４の搬送量の誤差を加
工物の一時保管によυ吸収し第２の搬送機構に必要量の
加工物を供給する保管棚３を備えたものである。
第１の搬送機構１により大量搬送された加工物を保管棚
３に一時に保管し、該保管棚３より各プロセス処理装置
５に必要な量の加工物を第？の搬送機構４により搬送す
る。
３に一時に保管し、該保管棚３より各プロセス処理装置
５に必要な量の加工物を第？の搬送機構４により搬送す
る。
以下に、本発明の一実施例を図により説明する。
第１図に示すように、■は半導体集積回路の加工物を大
量搬送する第１の搬送機構の搬送台車であり、ジョブシ
ョップ型のプロセス処理装置群間での大量搬送を行々う
ものである。４は各プロセス処理装置５に加工物を小量
搬送する第２の搬送機構である。
量搬送する第１の搬送機構の搬送台車であり、ジョブシ
ョップ型のプロセス処理装置群間での大量搬送を行々う
ものである。４は各プロセス処理装置５に加工物を小量
搬送する第２の搬送機構である。
前記第２の搬送機構４の供給側に、両搬送機構１．４の
搬送量の誤差を加工物の一時保管によシ吸収し必要量の
加工物を第２の搬送機構４に供給する保管棚３を設置し
、さらに搬送車１よジ加工物を受は取シこれを保管棚３
に搬入する第３の搬送機構２を設ける。
搬送量の誤差を加工物の一時保管によシ吸収し必要量の
加工物を第２の搬送機構４に供給する保管棚３を設置し
、さらに搬送車１よジ加工物を受は取シこれを保管棚３
に搬入する第３の搬送機構２を設ける。
加工物６ａを積載した搬送台車１は搬送機構２に加工物
範を移送する指令を受けると、搬送機構２の定位置に停
止し、加工物６ａを搬送機構２上に移載する。この時の
移載手段としてはフォーク上に加工物を乗せ移載するの
が一般的である。積載された加工物６ｂは搬送機構２に
よシ保管棚３に移載され、プロセス処理製置５からの要
求があるまで保管状態になっている。
範を移送する指令を受けると、搬送機構２の定位置に停
止し、加工物６ａを搬送機構２上に移載する。この時の
移載手段としてはフォーク上に加工物を乗せ移載するの
が一般的である。積載された加工物６ｂは搬送機構２に
よシ保管棚３に移載され、プロセス処理製置５からの要
求があるまで保管状態になっている。
保管棚３の保管方法は２次元的に行ない縦方向に対して
は棚を移動させることによシ加工物を積み上げる形態で
保管し、横方向に対しては加工物を移動させることによ
υ次の縦方向の棚に導いて行なわれる。保管量は全体の
生産量と個々のプロセス処理装置の処理能力によって決
定され任意に設定できる。プロセス処理装置５から要求
が来ると一保管棚３よυ加工物６Ｃを順に取り出し、搬
送機構４を搬出されてプロセス処理装置５内に搬入され
処理される。６ｄはプロセス処理装置５に搬入された加
工物である。
は棚を移動させることによシ加工物を積み上げる形態で
保管し、横方向に対しては加工物を移動させることによ
υ次の縦方向の棚に導いて行なわれる。保管量は全体の
生産量と個々のプロセス処理装置の処理能力によって決
定され任意に設定できる。プロセス処理装置５から要求
が来ると一保管棚３よυ加工物６Ｃを順に取り出し、搬
送機構４を搬出されてプロセス処理装置５内に搬入され
処理される。６ｄはプロセス処理装置５に搬入された加
工物である。
本発明は以上説明したように、搬送量の異なる２つの搬
送機構間の加工物を保管棚に一旦保管し、保管棚から必
要量の加工物を供給するようにしたので、プロセス処理
装置の稼動率に影−されることなく、搬送量を低下させ
ずに安定した搬送を行なうことができる。さらに１台の
プロセス処理装置が故障等によシ一旦停止したとしても
、プロセス処理装置群間での大量搬送に支障を与えるこ
とがなく、プロセス処理装置群間を大量移送する搬送機
構と、個々のプロセス処理装置へ小量移送する搬送機構
との混在した搬送７子テムを適切に制御できる効果を有
するものである。
送機構間の加工物を保管棚に一旦保管し、保管棚から必
要量の加工物を供給するようにしたので、プロセス処理
装置の稼動率に影−されることなく、搬送量を低下させ
ずに安定した搬送を行なうことができる。さらに１台の
プロセス処理装置が故障等によシ一旦停止したとしても
、プロセス処理装置群間での大量搬送に支障を与えるこ
とがなく、プロセス処理装置群間を大量移送する搬送機
構と、個々のプロセス処理装置へ小量移送する搬送機構
との混在した搬送７子テムを適切に制御できる効果を有
するものである。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例の搬送装置とその周辺を示す
立体図である。 １・・・搬送台車（第１の搬送機構）、２−・・第３の
搬送機構、３ ・保管棚、５・プロセス処理装置、４・
・第２の搬送機構、６ａ〜６ｄ・・加工物゛。
立体図である。 １・・・搬送台車（第１の搬送機構）、２−・・第３の
搬送機構、３ ・保管棚、５・プロセス処理装置、４・
・第２の搬送機構、６ａ〜６ｄ・・加工物゛。
Claims (1)
- （１）複数のジョブショップ型のプロセス処理装置群間
で半導体集積回路の加工物を大量搬送する第１の搬送機
構と、名プロセス処理装置に半導体集積回路の加工物を
小量搬送する第２の搬送機構とからなり、両搬送機構の
搬送量の誤差を加工物の一時保管により吸収し第２の搬
送機構に必要量の加工物を供給する保管棚を備えたこと
を特徴とする搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13993384A JPS6118605A (ja) | 1984-07-06 | 1984-07-06 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13993384A JPS6118605A (ja) | 1984-07-06 | 1984-07-06 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6118605A true JPS6118605A (ja) | 1986-01-27 |
Family
ID=15257045
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13993384A Pending JPS6118605A (ja) | 1984-07-06 | 1984-07-06 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6118605A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06278816A (ja) * | 1993-12-13 | 1994-10-04 | Tokyo Electron Ltd | 物品搬送システム |
| JPH0761538A (ja) * | 1993-12-13 | 1995-03-07 | Tokyo Electron Ltd | 物品搬送及び処理方法 |
-
1984
- 1984-07-06 JP JP13993384A patent/JPS6118605A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06278816A (ja) * | 1993-12-13 | 1994-10-04 | Tokyo Electron Ltd | 物品搬送システム |
| JPH0761538A (ja) * | 1993-12-13 | 1995-03-07 | Tokyo Electron Ltd | 物品搬送及び処理方法 |
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