JPH0761538A - 物品搬送及び処理方法 - Google Patents
物品搬送及び処理方法Info
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- JPH0761538A JPH0761538A JP5311910A JP31191093A JPH0761538A JP H0761538 A JPH0761538 A JP H0761538A JP 5311910 A JP5311910 A JP 5311910A JP 31191093 A JP31191093 A JP 31191093A JP H0761538 A JPH0761538 A JP H0761538A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 23
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims abstract description 17
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 12
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 21
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 15
- 238000003672 processing method Methods 0.000 claims description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 9
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 3
- 208000002925 dental caries Diseases 0.000 abstract 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 35
- 238000007726 management method Methods 0.000 description 9
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 6
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 3
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 101100321304 Bacillus subtilis (strain 168) yxdM gene Proteins 0.000 description 1
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000013404 process transfer Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
Abstract
(57)【要約】
【目的】 自動化の促進、工程変更等の自由度の増大を
図ることができ、かつ、塵埃の発生量を低減することの
できる物品搬送及び処理方法を提供する。 【構成】 搬送ロボット１７は、物品搬送用収納装置１
を収容し、この物品搬送用収納装置１と光による通信を
行い、ＲＡＭ６内の処理装置名の情報を読み出して、物
品搬送用収納装置１をその処理装置へ搬送しロ―ドす
る。物品搬送用収納装置１をロ―ドされた処理装置１８
は、物品搬送用収納装置１と光による通信を行い、ＲＡ
Ｍ６内の処理プログラムを読み出し、この処理プログラ
ムに従って物品収納部２内の物品の処理を行い、処理を
終了した後は、処理内容あるいは測定デ―タ等をＲＡＭ
６に書き込む。
図ることができ、かつ、塵埃の発生量を低減することの
できる物品搬送及び処理方法を提供する。 【構成】 搬送ロボット１７は、物品搬送用収納装置１
を収容し、この物品搬送用収納装置１と光による通信を
行い、ＲＡＭ６内の処理装置名の情報を読み出して、物
品搬送用収納装置１をその処理装置へ搬送しロ―ドす
る。物品搬送用収納装置１をロ―ドされた処理装置１８
は、物品搬送用収納装置１と光による通信を行い、ＲＡ
Ｍ６内の処理プログラムを読み出し、この処理プログラ
ムに従って物品収納部２内の物品の処理を行い、処理を
終了した後は、処理内容あるいは測定デ―タ等をＲＡＭ
６に書き込む。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、製造工場等において製
品および製造部品等の物品の搬送に利用される多機能物
品搬送用収納装置を用いた物品搬送及び処理方法に関す
る。
品および製造部品等の物品の搬送に利用される多機能物
品搬送用収納装置を用いた物品搬送及び処理方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】一般に製造工場内等では、製造途中の半
製品および部品等はそれぞれの物品の形状に合せて形成
されたラック、トレ―、ボックス等の物品搬送用収納装
置に収納され各工程間を搬送される。
製品および部品等はそれぞれの物品の形状に合せて形成
されたラック、トレ―、ボックス等の物品搬送用収納装
置に収納され各工程間を搬送される。
【０００３】このような製造工場内における工程管理で
は、上述のような物品搬送用収納装置内に収納された複
数の物品を１つの単位として取扱うことが多く、自動化
された製造ラインでは、工程管理用コンピュ―タによっ
てこれら１つ１つの物品搬送用収納装置が例えばバ―コ
―ド等により識別され監視される。そしてこれらの情報
はすべて上位コンピュ―タである工場管理用コンピュ―
タへ送られてその管理が行われている。
は、上述のような物品搬送用収納装置内に収納された複
数の物品を１つの単位として取扱うことが多く、自動化
された製造ラインでは、工程管理用コンピュ―タによっ
てこれら１つ１つの物品搬送用収納装置が例えばバ―コ
―ド等により識別され監視される。そしてこれらの情報
はすべて上位コンピュ―タである工場管理用コンピュ―
タへ送られてその管理が行われている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
従来の物品搬送用収納装置を用いた工場等においては、
管理用コンピュ―タに情報が集中するため、管理用コン
ピュ―タに故障が発生した場合に生産ラインがすべて停
止してしまう等の問題と、これらの管理用コンピュ―タ
の負担が増大し、このため自動化が制限されたり、工程
変更等の変更が困難になる等の問題がある。
従来の物品搬送用収納装置を用いた工場等においては、
管理用コンピュ―タに情報が集中するため、管理用コン
ピュ―タに故障が発生した場合に生産ラインがすべて停
止してしまう等の問題と、これらの管理用コンピュ―タ
の負担が増大し、このため自動化が制限されたり、工程
変更等の変更が困難になる等の問題がある。
【０００５】また、例えば半導体デバイスの製造工程等
では、塵埃の存在が半導体デバイス歩留まり低下の一因
となるので、塵埃発生の少ない物品搬送及び処理方法の
開発が望まれていた。
では、塵埃の存在が半導体デバイス歩留まり低下の一因
となるので、塵埃発生の少ない物品搬送及び処理方法の
開発が望まれていた。
【０００６】本発明はかかる従来の問題に対処してなさ
れたもので、自動化の促進、工程変更等の自由度の増大
を図ることができ、かつ、塵埃の発生量を低減すること
のできる物品搬送及び処理方法を提供しようとするもの
である。
れたもので、自動化の促進、工程変更等の自由度の増大
を図ることができ、かつ、塵埃の発生量を低減すること
のできる物品搬送及び処理方法を提供しようとするもの
である。
【０００７】
【課題を解決するための手段】すなわち、第１の発明の
物品搬送及び処理方法は、収納する物品の形状および数
に応じて形成された物品搬送用収納装置内に、物品を収
納し、前記物品搬送用収納装置に設けられた記憶装置へ
外部から光による通信により前記物品についての情報を
書き込み、前記物品搬送用収納装置に設けられたバック
アップ電源により前記記憶装置がバックアップされる第
１の工程と、製造工程間で搬送を行う搬送ロボットによ
り、前記第１の工程の前記物品搬送用収納装置を搬送
し、処理装置に載置する第２の工程と、前記処理装置が
前記物品搬送用収納装置と光による通信を行い、前記記
憶装置が記憶する情報を読み出し、この情報に従って処
理を行う第３の工程とを具備したことを特徴とする。
物品搬送及び処理方法は、収納する物品の形状および数
に応じて形成された物品搬送用収納装置内に、物品を収
納し、前記物品搬送用収納装置に設けられた記憶装置へ
外部から光による通信により前記物品についての情報を
書き込み、前記物品搬送用収納装置に設けられたバック
アップ電源により前記記憶装置がバックアップされる第
１の工程と、製造工程間で搬送を行う搬送ロボットによ
り、前記第１の工程の前記物品搬送用収納装置を搬送
し、処理装置に載置する第２の工程と、前記処理装置が
前記物品搬送用収納装置と光による通信を行い、前記記
憶装置が記憶する情報を読み出し、この情報に従って処
理を行う第３の工程とを具備したことを特徴とする。
【０００８】第２の発明の物品搬送及び処理方法は、収
納する物品の形状および数に応じて形成された物品搬送
用収納装置を複数収容するブロックストッカで、前記物
品搬送用収納装置に設けられた記憶装置へ外部から光に
よる通信により前記物品についての情報を書き込み、前
記物品搬送用収納装置に設けられたバックアップ電源に
より前記記憶装置がバックアップされる第１の工程と、
製造工程間で搬送を行う搬送ロボットにより、前記第１
の工程の前記物品搬送用収納装置を搬送し、処理装置に
載置する第２の工程と、前記処理装置が前記物品搬送用
収納装置と光による通信を行い、前記記憶装置が記憶す
る情報を読み出し、この情報に従って処理を行う第３の
工程とを具備したことを特徴とする。
納する物品の形状および数に応じて形成された物品搬送
用収納装置を複数収容するブロックストッカで、前記物
品搬送用収納装置に設けられた記憶装置へ外部から光に
よる通信により前記物品についての情報を書き込み、前
記物品搬送用収納装置に設けられたバックアップ電源に
より前記記憶装置がバックアップされる第１の工程と、
製造工程間で搬送を行う搬送ロボットにより、前記第１
の工程の前記物品搬送用収納装置を搬送し、処理装置に
載置する第２の工程と、前記処理装置が前記物品搬送用
収納装置と光による通信を行い、前記記憶装置が記憶す
る情報を読み出し、この情報に従って処理を行う第３の
工程とを具備したことを特徴とする。
【０００９】
【作用】上記構成の本発明の物品搬送及び処理方法で
は、外部から書き込み読み出し自在な記憶装置に物品搬
送用収納装置内に収納された物品の情報が、各工程等に
おいて書き込まれ、これらの情報が物品搬送用収納装置
と共に搬送されるので、情報が分散され管理用コンピュ
―タの負担を低減することができる。
は、外部から書き込み読み出し自在な記憶装置に物品搬
送用収納装置内に収納された物品の情報が、各工程等に
おいて書き込まれ、これらの情報が物品搬送用収納装置
と共に搬送されるので、情報が分散され管理用コンピュ
―タの負担を低減することができる。
【００１０】また、本発明の物品搬送及び処理方法で
は、外部との通信を光により行い、かつ、物品搬送用収
納装置がバックアップ電源を備えているので、電気的な
接続端子が不要であり、接続端子の汚れ等による接続不
良が生じることもなく、接続端子の挿入時に生じる塵の
発生もないクリーンな雰囲気を維持できる。
は、外部との通信を光により行い、かつ、物品搬送用収
納装置がバックアップ電源を備えているので、電気的な
接続端子が不要であり、接続端子の汚れ等による接続不
良が生じることもなく、接続端子の挿入時に生じる塵の
発生もないクリーンな雰囲気を維持できる。
【００１１】なお、半導体ウエハ等を製造工程間で搬送
する半導体製造工程場合、塵の発生は半導体デバイスの
不良原因となるが、本発明では塵の発生がないので、歩
留まりの向上を図ることができる。
する半導体製造工程場合、塵の発生は半導体デバイスの
不良原因となるが、本発明では塵の発生がないので、歩
留まりの向上を図ることができる。
【００１２】
【実施例】以下本発明方法の実施例を図面を参照して説
明する。
明する。
【００１３】図１および図２は製造工場内等で用いられ
る製造部品を収納する搬送用のボックス型の物品搬送用
収納装置を示すもので、この実施例の物品搬送用収納装
置１は、ボックス型に形成された物品収納部２と、内部
にマイクロコンピュ―タ３を収容するマイクロコンピュ
―タ収容部４とから構成されている。
る製造部品を収納する搬送用のボックス型の物品搬送用
収納装置を示すもので、この実施例の物品搬送用収納装
置１は、ボックス型に形成された物品収納部２と、内部
にマイクロコンピュ―タ３を収容するマイクロコンピュ
―タ収容部４とから構成されている。
【００１４】また、マイクロコンピュ―タ３は、プロト
コル等を記憶する内部制御用ＲＯＭ５、情報記憶用のＲ
ＡＭ６、演算用ＣＰＵ７、発光素子８および受光素子９
を備え、動作制御は例えば外部と光通信によって通信を
行う通信用ＬＳＩ１０、バックアップ電源１１および充
電用の太陽電池１２とから構成されている。
コル等を記憶する内部制御用ＲＯＭ５、情報記憶用のＲ
ＡＭ６、演算用ＣＰＵ７、発光素子８および受光素子９
を備え、動作制御は例えば外部と光通信によって通信を
行う通信用ＬＳＩ１０、バックアップ電源１１および充
電用の太陽電池１２とから構成されている。
【００１５】上記構成のこの実施例の物品搬送用収納装
置では、外部との光通信によりＲＡＭ６内の情報の書き
込みおよび読み出しが行われ、例えばロット番号、品
名、部品数、処理プログラム、プロセスフロ―、現在プ
ロセス名、現在処理装置名、測定デ―タ等がＲＡＭ６内
に記憶され、これらの情報は太陽電池１２によって充電
されるバックアップ電源１１からの電気により保持さ
れ、物品収納部２内の物品と共に搬送される。
置では、外部との光通信によりＲＡＭ６内の情報の書き
込みおよび読み出しが行われ、例えばロット番号、品
名、部品数、処理プログラム、プロセスフロ―、現在プ
ロセス名、現在処理装置名、測定デ―タ等がＲＡＭ６内
に記憶され、これらの情報は太陽電池１２によって充電
されるバックアップ電源１１からの電気により保持さ
れ、物品収納部２内の物品と共に搬送される。
【００１６】図３は上記説明の物品搬送用収納装置を用
いて自動化された工場内の概要を示すもので、各工程毎
に、工場管理用コンピュ―タとオンラインで接続された
工程管理用コンピュ―タ（図示せず）を備え物品搬送用
収納装置１を収納するブロックストッカ１３が配置さ
れ、各工程間は工程間搬送システム１４によって接続さ
れている。
いて自動化された工場内の概要を示すもので、各工程毎
に、工場管理用コンピュ―タとオンラインで接続された
工程管理用コンピュ―タ（図示せず）を備え物品搬送用
収納装置１を収納するブロックストッカ１３が配置さ
れ、各工程間は工程間搬送システム１４によって接続さ
れている。
【００１７】この工程間搬送システム１４によって搬送
された物品搬送用収納装置１は、まずブロックストッカ
１３に配置された受取り用ブロックチェッカ１５上に載
置され、ここで光通信により必要な情報の伝達が行わ
れ、ブロックストッカ１３内に収容される。そして、ブ
ロックストッカ１３内では、太陽電池１２に光が照射さ
れ、充電が行われる。
された物品搬送用収納装置１は、まずブロックストッカ
１３に配置された受取り用ブロックチェッカ１５上に載
置され、ここで光通信により必要な情報の伝達が行わ
れ、ブロックストッカ１３内に収容される。そして、ブ
ロックストッカ１３内では、太陽電池１２に光が照射さ
れ、充電が行われる。
【００１８】次に、ブロックストッカ１３内の工程管理
用コンピュ―タは、工程内の状況に応じてＲＡＭ６に処
理装置名、処理プログラム等の情報を書き込み、この後
物品搬送用収納装置１を受渡し用ブロックチェッカ１６
に載置し、搬送ロボット１７に受渡す。
用コンピュ―タは、工程内の状況に応じてＲＡＭ６に処
理装置名、処理プログラム等の情報を書き込み、この後
物品搬送用収納装置１を受渡し用ブロックチェッカ１６
に載置し、搬送ロボット１７に受渡す。
【００１９】搬送ロボット１７は、物品搬送用収納装置
１を収容し、この物品搬送用収納装置１と光による通信
を行い、ＲＡＭ６内の処理装置名の情報を読み出して、
物品搬送用収納装置１をその処理装置へ搬送しロ―ドす
る。
１を収容し、この物品搬送用収納装置１と光による通信
を行い、ＲＡＭ６内の処理装置名の情報を読み出して、
物品搬送用収納装置１をその処理装置へ搬送しロ―ドす
る。
【００２０】物品搬送用収納装置１をロ―ドされた処理
装置１８は、物品搬送用収納装置１と光による通信を行
い、ＲＡＭ６内の処理プログラムを読み出し、この処理
プログラムに従って物品収納部２内の物品の処理を行
い、処理を終了した後は、処理内容あるいは測定デ―タ
等をＲＡＭ６に書き込む。
装置１８は、物品搬送用収納装置１と光による通信を行
い、ＲＡＭ６内の処理プログラムを読み出し、この処理
プログラムに従って物品収納部２内の物品の処理を行
い、処理を終了した後は、処理内容あるいは測定デ―タ
等をＲＡＭ６に書き込む。
【００２１】この後物品搬送用収納装置１は、再び搬送
ロボット１７によりブロックストッカ１３に搬送され、
ここで次の工程等の情報がＲＡＭ６に書き込まれ、払い
出し用ブロックチェッカ１９から工程間搬送システム１
４に払出され、次の工程へ搬送される。
ロボット１７によりブロックストッカ１３に搬送され、
ここで次の工程等の情報がＲＡＭ６に書き込まれ、払い
出し用ブロックチェッカ１９から工程間搬送システム１
４に払出され、次の工程へ搬送される。
【００２２】上述のように、この実施例の物品搬送及び
処理方法では、物品搬送用収納装置１内のマイクロコン
ピュ―タ３により、物品収納部２内に収納された物品に
ついての情報が記憶される。これらの情報は物品と共に
搬送されるので、情報を分散させることができ、管理用
コンピュ―タの負担を従来に比べて大幅に低減すること
ができる。また、外部との通信および充電は、光によっ
て行われるため、電気的な接続端子が不要であり、接続
端子の汚れ等による接続不良が生じたりすることもな
く、接続端子の挿入時等に生じる塵の発生もないため、
クリンル―ム内等においても使用することができる。
処理方法では、物品搬送用収納装置１内のマイクロコン
ピュ―タ３により、物品収納部２内に収納された物品に
ついての情報が記憶される。これらの情報は物品と共に
搬送されるので、情報を分散させることができ、管理用
コンピュ―タの負担を従来に比べて大幅に低減すること
ができる。また、外部との通信および充電は、光によっ
て行われるため、電気的な接続端子が不要であり、接続
端子の汚れ等による接続不良が生じたりすることもな
く、接続端子の挿入時等に生じる塵の発生もないため、
クリンル―ム内等においても使用することができる。
【００２３】図４は他の実施例として半導体ウエハ搬送
用の物品搬送用収納装置２１を示すもので、この実施例
の物品搬送用収納装置２１では、複数の半導体ウエハを
収納する物品収納部２２と、この物品収納部２２の基板
２２ａ上に脱着自在に配置され内部にマイクロコンピュ
―タ（図示せず）を収容するマイクロコンピュ―タ収容
部２３とから構成されている。
用の物品搬送用収納装置２１を示すもので、この実施例
の物品搬送用収納装置２１では、複数の半導体ウエハを
収納する物品収納部２２と、この物品収納部２２の基板
２２ａ上に脱着自在に配置され内部にマイクロコンピュ
―タ（図示せず）を収容するマイクロコンピュ―タ収容
部２３とから構成されている。
【００２４】そしてマイクロコンピュ―タ収容部２３内
のマイクロコンピュ―タは、前述の実施例と同様に構成
されており、外部通信用の発光素子２４および受光素子
２５と、充電用の太陽電池２６とを備えている。
のマイクロコンピュ―タは、前述の実施例と同様に構成
されており、外部通信用の発光素子２４および受光素子
２５と、充電用の太陽電池２６とを備えている。
【００２５】またこの物品搬送用収納装置２１は、基板
２２ａに設けられた凹部によって搬送ロボットに握持さ
れるため、搬送ロボットに握持位置を認識させるための
発光素子２７ａ、２７ｂが配置されている。
２２ａに設けられた凹部によって搬送ロボットに握持さ
れるため、搬送ロボットに握持位置を認識させるための
発光素子２７ａ、２７ｂが配置されている。
【００２６】上記構成の物品搬送用収納装置を用いた物
品搬送及び処理方法でも、前述の実施例と同様な効果を
得ることができ、またマイクロコンピュ―タ収容部２３
が脱着自在とされているため、高温処理等を行う場合
は、このマイクロコンピュ―タ収容部２３を取りはずす
こともでき、高温等によりマイクロコンピュ―タが損傷
を受けることを防止することができる。さらに、搬送ロ
ボットに握持位置を示すための発光素子２７ａ、２７ｂ
が配置されているので、搬送ロボットはこの物品搬送用
収納装置２１を容易に握持することができる。
品搬送及び処理方法でも、前述の実施例と同様な効果を
得ることができ、またマイクロコンピュ―タ収容部２３
が脱着自在とされているため、高温処理等を行う場合
は、このマイクロコンピュ―タ収容部２３を取りはずす
こともでき、高温等によりマイクロコンピュ―タが損傷
を受けることを防止することができる。さらに、搬送ロ
ボットに握持位置を示すための発光素子２７ａ、２７ｂ
が配置されているので、搬送ロボットはこの物品搬送用
収納装置２１を容易に握持することができる。
【００２７】
【発明の効果】以上述べたように本発明の物品搬送及び
処理方法では、外部から書き込み読み出し自在とされた
記憶装置を備えているので、自動化の促進、工程変更等
の自由度の増大を図ることができる。また、外部との通
信を光により行い、かつ、物品搬送用収納装置がバック
アップ電源を備えているので、電気的な接続端子が不要
であり、接続端子の汚れ等による接続不良が生じること
もなく、接続端子の挿入時に生じる塵の発生もないクリ
ーンな雰囲気を維持できる。
処理方法では、外部から書き込み読み出し自在とされた
記憶装置を備えているので、自動化の促進、工程変更等
の自由度の増大を図ることができる。また、外部との通
信を光により行い、かつ、物品搬送用収納装置がバック
アップ電源を備えているので、電気的な接続端子が不要
であり、接続端子の汚れ等による接続不良が生じること
もなく、接続端子の挿入時に生じる塵の発生もないクリ
ーンな雰囲気を維持できる。
【図１】本発明の一実施例の物品搬送用収納装置の構成
を示す斜視図。
を示す斜視図。
【図２】図１の要部を示すブロック図。
【図３】図１に示す物品搬送用収納装置を用いた物品搬
送システムを示す説明図。
送システムを示す説明図。
【図４】他の実施例の物品搬送用収納装置を示す斜視
図。
図。
１ 物品搬送用収納装置 ２ 物品収納部 ４ マイクロコンピュ―タ収容部 ８ 発光素子 ９ 受光素子 １２ 太陽電池
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｂ６５Ｇ 43/00 Ａ
Claims (4)
- 【請求項１】 収納する物品の形状および数に応じて形
成された物品搬送用収納装置内に、物品を収納し、前記
物品搬送用収納装置に設けられた記憶装置へ外部から光
による通信により前記物品についての情報を書き込み、
前記物品搬送用収納装置に設けられたバックアップ電源
により前記記憶装置がバックアップされる第１の工程
と、 製造工程間で搬送を行う搬送ロボットにより、前記第１
の工程の前記物品搬送用収納装置を搬送し、処理装置に
載置する第２の工程と、 前記処理装置が前記物品搬送用収納装置と光による通信
を行い、前記記憶装置が記憶する情報を読み出し、この
情報に従って処理を行う第３の工程とを具備したことを
特徴とする物品搬送及び処理方法。 - 【請求項２】 前記物品が半導体ウエハであることを特
徴とする請求項１記載の物品搬送及び処理方法。 - 【請求項３】 収納する物品の形状および数に応じて形
成された物品搬送用収納装置を複数収容するブロックス
トッカで、前記物品搬送用収納装置に設けられた記憶装
置へ外部から光による通信により前記物品についての情
報を書き込み、前記物品搬送用収納装置に設けられたバ
ックアップ電源により前記記憶装置がバックアップされ
る第１の工程と、 製造工程間で搬送を行う搬送ロボットにより、前記第１
の工程の前記物品搬送用収納装置を搬送し、処理装置に
載置する第２の工程と、 前記処理装置が前記物品搬送用収納装置と光による通信
を行い、前記記憶装置が記憶する情報を読み出し、この
情報に従って処理を行う第３の工程とを具備したことを
特徴とする物品搬送及び処理方法。 - 【請求項４】 前記物品が半導体ウエハであることを特
徴とする請求項３記載の物品搬送及び処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5311910A JPH0761538A (ja) | 1993-12-13 | 1993-12-13 | 物品搬送及び処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5311910A JPH0761538A (ja) | 1993-12-13 | 1993-12-13 | 物品搬送及び処理方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61106486A Division JPS62263510A (ja) | 1986-05-09 | 1986-05-09 | 物品搬送用収納装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0761538A true JPH0761538A (ja) | 1995-03-07 |
Family
ID=18022895
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5311910A Pending JPH0761538A (ja) | 1993-12-13 | 1993-12-13 | 物品搬送及び処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0761538A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7667157B2 (en) * | 2004-09-29 | 2010-02-23 | General Electric Company | Portable plenum laser forming |
| US7769203B2 (en) * | 2004-12-14 | 2010-08-03 | Honda Motor Co., Ltd. | Target object detection apparatus and robot provided with the same |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5894020U (ja) * | 1981-12-17 | 1983-06-25 | 三菱電機株式会社 | 記憶装置 |
| JPS59130130U (ja) * | 1983-02-21 | 1984-09-01 | カシオ計算機株式会社 | 太陽電池によるメモリ保護装置 |
| JPS6057538A (ja) * | 1983-07-27 | 1985-04-03 | ポリグラム・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | デイスク状の情報担体を大量生産するための搬送系 |
| JPS6048241U (ja) * | 1983-09-09 | 1985-04-04 | 日本電気株式会社 | ウエ−ハキヤリア |
| JPS60193022A (ja) * | 1984-03-14 | 1985-10-01 | Idec Izumi Corp | 自動搬送制御装置 |
| JPS612603A (ja) * | 1984-06-14 | 1986-01-08 | ソシエテ アノニム レドウ−テ カタログ | 自己推進ロボツト型台状搬送車 |
| JPS6118605A (ja) * | 1984-07-06 | 1986-01-27 | Nec Corp | 搬送装置 |
| JPS61236136A (ja) * | 1985-04-12 | 1986-10-21 | Hitachi Ltd | ウエハカセツト治具 |
-
1993
- 1993-12-13 JP JP5311910A patent/JPH0761538A/ja active Pending
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5894020U (ja) * | 1981-12-17 | 1983-06-25 | 三菱電機株式会社 | 記憶装置 |
| JPS59130130U (ja) * | 1983-02-21 | 1984-09-01 | カシオ計算機株式会社 | 太陽電池によるメモリ保護装置 |
| JPS6057538A (ja) * | 1983-07-27 | 1985-04-03 | ポリグラム・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | デイスク状の情報担体を大量生産するための搬送系 |
| JPS6048241U (ja) * | 1983-09-09 | 1985-04-04 | 日本電気株式会社 | ウエ−ハキヤリア |
| JPS60193022A (ja) * | 1984-03-14 | 1985-10-01 | Idec Izumi Corp | 自動搬送制御装置 |
| JPS612603A (ja) * | 1984-06-14 | 1986-01-08 | ソシエテ アノニム レドウ−テ カタログ | 自己推進ロボツト型台状搬送車 |
| JPS6118605A (ja) * | 1984-07-06 | 1986-01-27 | Nec Corp | 搬送装置 |
| JPS61236136A (ja) * | 1985-04-12 | 1986-10-21 | Hitachi Ltd | ウエハカセツト治具 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7667157B2 (en) * | 2004-09-29 | 2010-02-23 | General Electric Company | Portable plenum laser forming |
| US7769203B2 (en) * | 2004-12-14 | 2010-08-03 | Honda Motor Co., Ltd. | Target object detection apparatus and robot provided with the same |
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