JPH05208716A - 自動保管棚装置 - Google Patents
自動保管棚装置Info
- Publication number
- JPH05208716A JPH05208716A JP352792A JP352792A JPH05208716A JP H05208716 A JPH05208716 A JP H05208716A JP 352792 A JP352792 A JP 352792A JP 352792 A JP352792 A JP 352792A JP H05208716 A JPH05208716 A JP H05208716A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bar code
- box
- shelf
- robot
- hand fork
- Prior art date
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- Forklifts And Lifting Vehicles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】自動保管棚における棚卸機能で、移載ロボット
によってボックスを取り出してからのバーコードを読む
必要をなくし、棚卸データ作成の効率化を図る。 【構成】移載ロボットのハンドフォーク部にアクチュエ
ータを設け、その上にバーコードリーダを取り付ける。
ボックス取り出しなしで棚卸データを復旧させる。
によってボックスを取り出してからのバーコードを読む
必要をなくし、棚卸データ作成の効率化を図る。 【構成】移載ロボットのハンドフォーク部にアクチュエ
ータを設け、その上にバーコードリーダを取り付ける。
ボックス取り出しなしで棚卸データを復旧させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の生産工程
において、半導体基板（以下、ウエハ、という）を収納
した容器（以下、ボックス、という）を自動で保管及び
管理する保管棚装置に関するものである。
において、半導体基板（以下、ウエハ、という）を収納
した容器（以下、ボックス、という）を自動で保管及び
管理する保管棚装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の生産は決められた手順に従
って行なわれ、ひとつの工程で、ひとつの生産設備が割
り付けられ、ウエハの処理を進めて行く。ひとつの設備
で処理が終了すると次の工程の設備で処理するのである
が、この設備が必ずしも処理できる準備状態にあるとは
限らない。このため次工程設備の基準ができるまでウエ
ハを保管する必要がある。このウエハを保管する装置が
保管棚装置である。
って行なわれ、ひとつの工程で、ひとつの生産設備が割
り付けられ、ウエハの処理を進めて行く。ひとつの設備
で処理が終了すると次の工程の設備で処理するのである
が、この設備が必ずしも処理できる準備状態にあるとは
限らない。このため次工程設備の基準ができるまでウエ
ハを保管する必要がある。このウエハを保管する装置が
保管棚装置である。
【０００３】ウエハは通常複数枚をウエハキャリアに収
納され、このウエハキャリアは簡易密閉型のボックスに
収められる。保管棚装置へは、このボックスの形態で格
納される。
納され、このウエハキャリアは簡易密閉型のボックスに
収められる。保管棚装置へは、このボックスの形態で格
納される。
【０００４】従来の保管棚は、図４に示すように縦横に
ますめ８が規則正しく配列され、各ますめ８には図示さ
れてはいないが、在荷の有無を確認する在荷センサと在
荷の有無を表示するランプが取り付けられている。在庫
の管理は制御装置５で行い、ボックス２の側面にあるバ
ーコード３の読み取りは、図３に示すように、ハンドフ
ォーク７がボックス２を保持した状態で、バーコードリ
ーダ６が行う。
ますめ８が規則正しく配列され、各ますめ８には図示さ
れてはいないが、在荷の有無を確認する在荷センサと在
荷の有無を表示するランプが取り付けられている。在庫
の管理は制御装置５で行い、ボックス２の側面にあるバ
ーコード３の読み取りは、図３に示すように、ハンドフ
ォーク７がボックス２を保持した状態で、バーコードリ
ーダ６が行う。
【０００５】通常、作業者が、図示されてはいないが、
棚４の一部に設けられた入庫口にボックス２を置くと、
そのボックス２をハンドフォーク７がすくいあげ、バー
コードリーダ６でボックス２のバーコード３を読み取
る。その後、移載ロボット１は棚４の空いているますめ
８にボックスを収納する。ボックス２がますめ８に置か
れることにより、在荷センサが働き、ボックス２が置か
れた位置つまりアドレスが制御装置５で認識できる。
棚４の一部に設けられた入庫口にボックス２を置くと、
そのボックス２をハンドフォーク７がすくいあげ、バー
コードリーダ６でボックス２のバーコード３を読み取
る。その後、移載ロボット１は棚４の空いているますめ
８にボックスを収納する。ボックス２がますめ８に置か
れることにより、在荷センサが働き、ボックス２が置か
れた位置つまりアドレスが制御装置５で認識できる。
【０００６】このますめのアドレスと先に読んでいるバ
ーコードを合せて、在庫をつくる。これが入庫である。
制御装置５は上位のホストコンピュータに接続されてお
り、ボックスの詳細な内容をこの上位コンピュータから
知ることができる。その内容は、制御装置５のディスプ
レイに表示され、作業者は、管理されているボックスの
詳細な情報を知ることができる。
ーコードを合せて、在庫をつくる。これが入庫である。
制御装置５は上位のホストコンピュータに接続されてお
り、ボックスの詳細な内容をこの上位コンピュータから
知ることができる。その内容は、制御装置５のディスプ
レイに表示され、作業者は、管理されているボックスの
詳細な情報を知ることができる。
【０００７】作業者が出庫の指示を制御装置５で行う
と、制御装置５は出庫すべきボックスがどのますめにあ
るかを確認し、移載ロボット１のハンドフォーク７でボ
ックス２を取り出し、バーコードリーダ６によってバー
コード３を読み、出庫指示のあったバーコード３と照合
し出庫口へ出庫する。
と、制御装置５は出庫すべきボックスがどのますめにあ
るかを確認し、移載ロボット１のハンドフォーク７でボ
ックス２を取り出し、バーコードリーダ６によってバー
コード３を読み、出庫指示のあったバーコード３と照合
し出庫口へ出庫する。
【０００８】また、自動保管棚装置の基本的な機能に棚
卸がある。棚卸とは、停電あるいは、自動保管棚装置自
身の故障などの原因により、制御装置５の在庫管理デー
タが消失してしまった場合などに、棚の中にあるボック
スの在庫データを復旧することである。棚卸動作は、例
えば、まず第１のますめにあるボックス２をハンドフォ
ーク７で取り出し、ボックス２の側面にあるバーコード
３をバーコードリーダ６で読み取る。バーコードが読み
取られると再度同じますめにボックス２を収納する。こ
の時点で制御装置５は上位コンピュータにそのボックス
の詳細な情報を問い合わせ在庫管理データを作る。これ
は入庫手順と同様である。
卸がある。棚卸とは、停電あるいは、自動保管棚装置自
身の故障などの原因により、制御装置５の在庫管理デー
タが消失してしまった場合などに、棚の中にあるボック
スの在庫データを復旧することである。棚卸動作は、例
えば、まず第１のますめにあるボックス２をハンドフォ
ーク７で取り出し、ボックス２の側面にあるバーコード
３をバーコードリーダ６で読み取る。バーコードが読み
取られると再度同じますめにボックス２を収納する。こ
の時点で制御装置５は上位コンピュータにそのボックス
の詳細な情報を問い合わせ在庫管理データを作る。これ
は入庫手順と同様である。
【０００９】続いて移載ロボット１は第２のますめに移
動し、同様にボックスを取り出しバーコードを読み取
り、制御装置５は在庫管理データを作る。以下同様にす
べてのボックスに対して行い在庫管理データを作り、棚
卸し前の状態へ復旧させる。
動し、同様にボックスを取り出しバーコードを読み取
り、制御装置５は在庫管理データを作る。以下同様にす
べてのボックスに対して行い在庫管理データを作り、棚
卸し前の状態へ復旧させる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】この従来の自動保管棚
装置では、棚卸を行う時、前述したように、ハンドフォ
ーク７でボックス２を取り出さなければならない。その
ため、１つのボックスのデータを復旧させるのに約３０
秒費っている。ますめを５０個有している棚の場合は、
全体の棚卸に約２５分が必要である。この棚卸を実行し
ている間は、棚に対して、入庫あるいは出庫ができなく
なり、生産に影響を及ぼすという問題があった。
装置では、棚卸を行う時、前述したように、ハンドフォ
ーク７でボックス２を取り出さなければならない。その
ため、１つのボックスのデータを復旧させるのに約３０
秒費っている。ますめを５０個有している棚の場合は、
全体の棚卸に約２５分が必要である。この棚卸を実行し
ている間は、棚に対して、入庫あるいは出庫ができなく
なり、生産に影響を及ぼすという問題があった。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の自動保管棚装置
は、ボックスを置くための複数個の規則的に配列された
ますめと、各ますめにボックスの有無を検知するセンサ
と、ボックスを入出庫する移載ロボットと、移載ロボッ
トのハンドフォークの後端部に設置するバーコードリー
ダ及び、バーコードリーダのバーコード読み取り面の向
きを変える水平回転機構、あるいはバーコードリーダを
ハンドフォークの前端部へ水平移動させる機構と、これ
らのボックスの有無を検知するセンサと移載ロボット
と、バーコードリーダと、バーコードリーダを回転ある
いは水平移動させる機構と、上位コンピュータとの間で
の通信を制御する制御装置とを備えている。
は、ボックスを置くための複数個の規則的に配列された
ますめと、各ますめにボックスの有無を検知するセンサ
と、ボックスを入出庫する移載ロボットと、移載ロボッ
トのハンドフォークの後端部に設置するバーコードリー
ダ及び、バーコードリーダのバーコード読み取り面の向
きを変える水平回転機構、あるいはバーコードリーダを
ハンドフォークの前端部へ水平移動させる機構と、これ
らのボックスの有無を検知するセンサと移載ロボット
と、バーコードリーダと、バーコードリーダを回転ある
いは水平移動させる機構と、上位コンピュータとの間で
の通信を制御する制御装置とを備えている。
【００１２】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は、本発明の第１の実施例を示すものである。
る。図１は、本発明の第１の実施例を示すものである。
【００１３】図１の（Ａ）と（Ｃ）は、動作前の状態の
側面図と平面図である。棚卸を起動するとまず図１の
（Ａ），（Ｃ）のサーボモータ９によってバーコードリ
ーダ６が矢印ａ−２の方向へ９０°回転し、サーボモー
タ１０によってハンドフォーク７も矢印ｂの方向へ、９
０°回転する。図１の（Ｂ）と（Ｄ）は動作後の状態の
平面図と側面図である。矢印ｅはバーコードリーダのバ
ーコード読み取り面の向きを表している。
側面図と平面図である。棚卸を起動するとまず図１の
（Ａ），（Ｃ）のサーボモータ９によってバーコードリ
ーダ６が矢印ａ−２の方向へ９０°回転し、サーボモー
タ１０によってハンドフォーク７も矢印ｂの方向へ、９
０°回転する。図１の（Ｂ）と（Ｄ）は動作後の状態の
平面図と側面図である。矢印ｅはバーコードリーダのバ
ーコード読み取り面の向きを表している。
【００１４】次に図１の（Ｅ）について説明する。移載
ロボット１のロボットアーム１１を曲げ、バーコードリ
ーダ６の読み取り面を棚４に収納されているボックス２
の側面に取り付けられているバーコード３のすぐ近傍ま
で接近させる。この状態でバーコード３を読むことが可
能になる。バーコードリーダ６の読み取り面をバーコー
ド３に接近させたところでバーコード３を読み取る。こ
のとき制御装置５は読み取ったバーコード３が取り付け
られているボックス２の棚４における位置つまりアドレ
スは認識できるはずであり、これらのバーコードの内容
と棚のアドレスで在庫データを作ることができる。
ロボット１のロボットアーム１１を曲げ、バーコードリ
ーダ６の読み取り面を棚４に収納されているボックス２
の側面に取り付けられているバーコード３のすぐ近傍ま
で接近させる。この状態でバーコード３を読むことが可
能になる。バーコードリーダ６の読み取り面をバーコー
ド３に接近させたところでバーコード３を読み取る。こ
のとき制御装置５は読み取ったバーコード３が取り付け
られているボックス２の棚４における位置つまりアドレ
スは認識できるはずであり、これらのバーコードの内容
と棚のアドレスで在庫データを作ることができる。
【００１５】さらに、これらの情報で上位コンピュータ
に問い合わせ、バーコードを読み取ったボックスの詳細
な情報を制御装置５は知ることができる。以下同様に移
載ロボットは収納されているボックスのすべてについて
バーコードの読み取りを行う。すべてのボックスの詳細
な情報を上位コンピュータから得たところで棚卸は終了
となる。
に問い合わせ、バーコードを読み取ったボックスの詳細
な情報を制御装置５は知ることができる。以下同様に移
載ロボットは収納されているボックスのすべてについて
バーコードの読み取りを行う。すべてのボックスの詳細
な情報を上位コンピュータから得たところで棚卸は終了
となる。
【００１６】次に第２の実施例を図２を参照して説明す
る。図２の（Ａ）は動作前の移載ロボットアームの側面
図である。ハンドフォーク７，後端部に固定されている
エアシリンダ１２の先端にバーコードリーダ６が設置さ
れている。棚卸を起動すると、図２の（Ｂ）に示す側面
図のように、エアーシリンダ１２が矢印Ｃの方向へ延び
ることにより、バーコードリーダ６がハンドフォーク７
の先端部に移動する。
る。図２の（Ａ）は動作前の移載ロボットアームの側面
図である。ハンドフォーク７，後端部に固定されている
エアシリンダ１２の先端にバーコードリーダ６が設置さ
れている。棚卸を起動すると、図２の（Ｂ）に示す側面
図のように、エアーシリンダ１２が矢印Ｃの方向へ延び
ることにより、バーコードリーダ６がハンドフォーク７
の先端部に移動する。
【００１７】次に図２の（Ｃ）について説明する。移動
ロボット１のロボットアーム１１とハンドフォーク７を
曲げバーコードリーダ６読み取り面を棚４に収納されて
いるボックス２の側面に取り付けられているバーコード
３のすぐ近傍まで接近させる。この状態でバーコード３
を読むことが可能になる。
ロボット１のロボットアーム１１とハンドフォーク７を
曲げバーコードリーダ６読み取り面を棚４に収納されて
いるボックス２の側面に取り付けられているバーコード
３のすぐ近傍まで接近させる。この状態でバーコード３
を読むことが可能になる。
【００１８】図２の第２の実施例では、アクチュエータ
が図１の第１の実施例よりも、１つ少ないので、さら
に、速く棚卸を行うことが可能となる。
が図１の第１の実施例よりも、１つ少ないので、さら
に、速く棚卸を行うことが可能となる。
【００１９】
【発明の効果】以上説明した様に回転機構あるいは水平
移動機構などのアクチュエータを用いてバーコードリー
ダをハンドの先端部へ移動することにより、従来の様に
ボックスを取り出して読む必要がなくなり直接バーコー
ドを読み取ることができる。
移動機構などのアクチュエータを用いてバーコードリー
ダをハンドの先端部へ移動することにより、従来の様に
ボックスを取り出して読む必要がなくなり直接バーコー
ドを読み取ることができる。
【００２０】従来、例えば５０個のボックスの棚卸しを
行うと約２５分費っていたが、本発明では、約６分で行
うことができるようになるため棚卸時間を約４分の１に
なり、在庫データの復旧効率を向上できるという効果を
有する。
行うと約２５分費っていたが、本発明では、約６分で行
うことができるようになるため棚卸時間を約４分の１に
なり、在庫データの復旧効率を向上できるという効果を
有する。
【図１】本発明の第１の実施例の平面図と側面図。
【図２】本発明の第２の実施例の平面図と側面図。
【図３】従来の方式のバーコードリーダとボックスの位
置関係とバーコード読み取り方法を表わした図。
置関係とバーコード読み取り方法を表わした図。
【図４】従来技術の保管棚の全体図である。
１ 移動ロボット ２ ボックス ３ バーコード ４ 棚 ５ 制御装置 ６ バーコードリーダ ７ ハンドフォーク ８ ますめ ９ サーボモータ １０ サーボモータ １１ ロボットアーム １２ エアーシリンダ
Claims (2)
- 【請求項１】 縦横に規則正しく配列された複数の棚を
有し、移載用のロボットを用いて棚にワークを出し入れ
する自動方式の保管棚において、ワークをハンドリング
するロボットのハンドフォークの後端部に設けられ、ワ
ークに取り付けられたバーコードを読み取るためのバー
コードリーダのバーコード読み取り部が、水平方向に回
転する機構をハンドフォークの後端部に設けた移載用の
ロボットに有することを特徴とする自動保管棚装置。 - 【請求項２】 ロボットのハンドフォーク後端部に設け
られたバーコードリーダのバーコード読み取り部が、ロ
ボットのハンドフォーク前端部へ直線状に水平移動する
機構をハンドフォーク後端部に設けた移載用のロボット
に有することを特徴とする請求項１に記載の自動保管棚
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP352792A JPH05208716A (ja) | 1992-01-13 | 1992-01-13 | 自動保管棚装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP352792A JPH05208716A (ja) | 1992-01-13 | 1992-01-13 | 自動保管棚装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05208716A true JPH05208716A (ja) | 1993-08-20 |
Family
ID=11559856
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP352792A Withdrawn JPH05208716A (ja) | 1992-01-13 | 1992-01-13 | 自動保管棚装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05208716A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0870027A (ja) * | 1994-08-30 | 1996-03-12 | Canon Inc | 基板保管装置及びそれを有する半導体製造装置 |
| JPH1035827A (ja) * | 1996-07-16 | 1998-02-10 | Murata Mach Ltd | 自動倉庫システム |
| WO1998014984A1 (de) * | 1996-09-30 | 1998-04-09 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur waferidentifizierung in der chipfertigung und vorrichtung zur durchführung des verfahrens |
| JP2000176746A (ja) * | 1998-12-15 | 2000-06-27 | Advantest Corp | 部品ハンドリング装置 |
| CN102874718A (zh) * | 2012-09-19 | 2013-01-16 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 堆垛机及堆垛机对接系统 |
| JP2018115072A (ja) * | 2017-01-20 | 2018-07-26 | 東芝テック株式会社 | 情報収集装置および情報収集システム |
| KR20200051716A (ko) * | 2017-09-29 | 2020-05-13 | 옴니셀 인코포레이티드 | 물품의 자동 분배를 위한 장치, 시스템, 및 방법 |
| CN114961378A (zh) * | 2022-05-18 | 2022-08-30 | 哈尔滨工业大学（深圳） | 一种定向旋转的堆垛式立体停车装置及其停车控制方法 |
-
1992
- 1992-01-13 JP JP352792A patent/JPH05208716A/ja not_active Withdrawn
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0870027A (ja) * | 1994-08-30 | 1996-03-12 | Canon Inc | 基板保管装置及びそれを有する半導体製造装置 |
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| CN102874718A (zh) * | 2012-09-19 | 2013-01-16 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 堆垛机及堆垛机对接系统 |
| WO2014043920A1 (zh) * | 2012-09-19 | 2014-03-27 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 堆垛机及堆垛机系统 |
| JP2018115072A (ja) * | 2017-01-20 | 2018-07-26 | 東芝テック株式会社 | 情報収集装置および情報収集システム |
| CN111465967A (zh) * | 2017-09-29 | 2020-07-28 | 欧美尼公司 | 用于自动分配物品的设备、系统和方法 |
| KR20200051716A (ko) * | 2017-09-29 | 2020-05-13 | 옴니셀 인코포레이티드 | 물품의 자동 분배를 위한 장치, 시스템, 및 방법 |
| JP2020535090A (ja) * | 2017-09-29 | 2020-12-03 | オムニセル， インコーポレイテッド | 物品の自動分配のための装置、システム、及び方法 |
| KR20220016519A (ko) * | 2017-09-29 | 2022-02-09 | 옴니셀 인코포레이티드 | 물품의 자동 분배를 위한 장치, 시스템, 및 방법 |
| US11315381B2 (en) | 2017-09-29 | 2022-04-26 | Omnicell, Inc. | Apparatuses, systems, and methods for the automated dispensing of articles |
| KR20220106853A (ko) * | 2017-09-29 | 2022-07-29 | 옴니셀 인코포레이티드 | 물품의 자동 분배를 위한 장치, 시스템, 및 방법 |
| US11941938B2 (en) | 2017-09-29 | 2024-03-26 | Omnicell, Inc. | Apparatuses, systems, and methods for the automated dispensing of articles |
| CN114961378A (zh) * | 2022-05-18 | 2022-08-30 | 哈尔滨工业大学（深圳） | 一种定向旋转的堆垛式立体停车装置及其停车控制方法 |
| CN114961378B (zh) * | 2022-05-18 | 2023-08-25 | 哈尔滨工业大学（深圳） | 一种定向旋转的堆垛式立体停车装置及其停车控制方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990408 |