JPH05147723A - 物流管理システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 物流管理システムの精度を高める。 【構成】 ホストコンピュータ５１にウエハのロット情
報を予め記録しておく。ウエハに各ウエハに固有の識別
コード４を付しておく。ウエハカセットケース８のスト
ッカ４２にコード読取装置１１を設備しておく。自動搬
送装置４５によりストッカ４２にウエハカセットケース
８が搬入される際に、コード読取装置１１で読み取った
コード４と、そのウエハの記録情報とをホストコンピュ
ータ５１で照合する。 【効果】 照合により、ウエハの物流の適否を検証する
ことができるため、物流管理システムの精度を高めるこ
とができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、物流管理システム、特
に、物品が自動搬送装置によって複数のストッカ間を自
動的に搬送される場合についての物流管理システムに関
し、例えば、半導体装置の製造工程において、半導体ウ
エハ（以下、ウエハという。）の流れを管理するのに利
用して有効なものに関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、物流の管理は人間に頼られてお
り、物品群が梱包されたケース、各物品の確認および、
物品とその物品に関する情報の確認並びに照合は、全て
人が行っていた。しかし、ホストコンピュータの発展に
伴って、省力化の要請並びに物流管理についての信頼性
の向上のため、物流管理システムの自動化が進展して来
ている。

【０００３】近年、半導体装置の製造工場においてはＦ
Ａ化が進み、ウエハ（以下、製品ということがある。）
の各工程への搬送についても搬送ロボットが人にとって
替わっている。

【０００４】半導体装置の製造工場のＦＡラインは、図
２に示されているように、工程別にモジュール化されて
おり、各工程モジュール間を自動搬送装置の一例である
天井走行車を使って搬送するように、フロワ中央に天井
走行車用レールが敷設されている。天井走行車は、各工
程モジュールの出入口に設けられた製品ストッカに対し
製品の出し入れをする。

【０００５】そして、製品ストッカに設備された搬送ロ
ボットは工程モジュール内に設備された製造装置および
検査装置群に対し、天井走行車より受け取った製品を必
要に応じて、自動搬送車に引き渡す。自動搬送車は、工
程モジュール内に設備された製造装置および検査装置群
の中から、指定された装置へ製品を受け渡す。また、自
動搬送車は装置群の中から、処理の終了した製品を取り
出し、製品ストッカ迄運搬する。製品ストッカ内の搬送
ロボットはその製品を次の工程に進めるため、工程間搬
送を司る天井走行車に引き渡す。

【０００６】以上、述べたシーケンスが繰り返し実行さ
れることにより、製品の着工および物流が進められて行
く。

【０００７】半導体装置の製造工場における製品の物流
管理システムには次の２つのシステムがある。

【０００８】 製品ケースにコントロールカードを添
付し、そのコントロールカードによって、そのロットの
ロット情報（品名、ロット番号、枚数）や、全ての工程
進行、プロセス条件が、管理される物流管理システム。

【０００９】 製品の工程進行、プロセス条件や、ロ
ット情報がコンピュータにより集中管理される物流管理
システム。

【００１０】なお、ウエハのデータ管理システムを述べ
てある例としては、特開昭６３−２２０５１３号公報、
がある。また、生産制御技術を述べてある例としては、
特開昭５６−１１４６５０号公報、特開昭５５−１６１
７０１号公報、がある。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかし、コントロール
カードによる物流管理システムにおいては、人間による
検証が常に介在するため、検証ミス等により物流管理シ
ステムの精度が低下するという問題点が残る。

【００１２】また、コンピュータによる集中管理システ
ムにおいては、コンピュータによる管理が正確に実行さ
れているか否についての検証は、人間に頼らざるを得な
いため、全自動化に限界があり、結果的に、検証ミス等
により物流管理システムの精度が低下するという問題点
が残る。

【００１３】本発明の目的は、コンピュータによる管理
情報と、実際の物流状況とを自動的に検証することがで
きる物流管理システムを提供することにある。

【００１４】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。

【００１６】すなわち、複数種類の物品が自動搬送装置
によって複数のストッカ間を自動的に搬送される物流を
コンピュータによって集中管理する物流管理システムに
おいて、前記コンピュータに取り扱う前記物品に関する
情報を予め記録しておくとともに、各物品に固有の識別
コードをそれぞれ付しておき、他方、前記ストッカ内に
各物品に付された識別コードを読み取るコード読取装置
を設備しておき、前記自動搬送装置により物品がストッ
カに搬入または搬出される際に、前記コード読取装置に
よってその物品の識別コードを読み取るとともに、読み
取った識別コードと、前記コンピュータに記録された物
品に付与された情報とを照合し、その物品の流れを検証
することを特徴とする。

【００１７】

【作用】前記した手段によれば、例えば、自動搬送装置
により物品がストッカに搬入される際に、その物品はコ
ード読取装置によりそれに付された物品の固有の識別コ
ードを読み取られる。コード読取装置は読み取った識別
コードをコンピュータに送信する。コンピュータはその
自動搬送装置が搬送して来るように指定した物品の固有
の識別コードと、実際に搬送して来られた物品の現に読
み取られて送信されて来た識別コードとを照合する。

【００１８】両固有の識別コードが合致していた場合に
は、その物品の流れは適正であることが検証されたこと
になる。万一、両方のコードが一致しない場合には、そ
の物品の流れは不適正であることが検証されたことにな
る。このようにして、前記した手段によれば、物流を自
動的に検証することができるため、物流管理システムの
精度を大幅に高めることができ、物流管理システムの全
自動化を実現することができる。

【００１９】

【実施例】図１は本発明の一実施例であるウエハの物流
管理システムを示す模式図、図２はそれが使用されてい
るウエハ加工ラインを示す概略斜視図、図３はそのモジ
ュールを示す概略斜視図、図４はそのストッカを示す概
略斜視図、図５はウエハを示す平面図、図６はウエハカ
セットを示す斜視図、図７はコード読取装置を示す模式
図、図８はその斜視図、図９はコード読み取り作用を説
明するためのフローチャート図、図１０はその斜視図、
図１１は物流管理システムの作用を説明するためのフロ
ーチャート図である。

【００２０】本実施例において、本発明に係る物流管理
システムは、ウエハの流れを自動的に管理する物流管理
システムとして構築されている。物流管理の対象物品で
あるウエハ１は、原則として複数枚が１ロットとしてま
とめられ、カセットに収容されて取り扱われるようにな
っている。さらに、カセットはカセットケースに収容さ
れて各工程間を搬送されて行くようになっている。な
お、例外もあるが、便宜上、１ロット１カセットとして
説明を進める。

【００２１】図５に示されているように、識別コード４
はウエハ１の第１主面２におけるオリエンテーションフ
ラット３と反対側の位置に配されており、エッチング加
工法やレーザ刻印法等のような手段が用いられて数字お
よび英文字により描画されている。本実施例において、
識別コード４は、ウエハ１のロット番号を表示する識別
コード（以下、ロットコードという。）５と、当該ロッ
ト中の個々のウエハ番号を表示する識別コード（以下、
ウエハコード）６とにより構成されている。

【００２２】ちなみに、図６に示されているように、ウ
エハ１を収容するためのカセット７には多数条の保持溝
（スロット）Ｓ１〜Ｓ２５が、多数段（本実施例におい
ては、２５段）列設されており、この保持溝Ｓ１〜Ｓ２
５内にウエハ１がそれぞれ挿入されることにより、複数
枚（本実施例においては、１ロット分）のウエハ１が規
則的に整列された状態で収納されるようになっている。
そして、このカセット７は密閉可能なカセットケース８
に収納されて搬送・保管されるようになっている。図４
に示されているように、カセットケース８の上面にはコ
ントロールカード９が適宜添付されるようになってい
る。

【００２３】半導体装置の製造工場における前工程、す
なわち、ウエハの加工ラインは無人化を図るため、全自
動化が進められている。また、図２に示されているよう
に、ウエハの加工ライン４０は、酸化・拡散、リソグラ
フィー、イオン注入、ＣＶＤ、エッチング等の複数の工
程を備えており、原則として、各工程毎にモジュール化
されている。図３に示されているように、各モジュール
４１にはウエハカセットケース８の受け渡しおよび一時
的なバッファ機能を持つストッカ４２が設備されてい
る。図４に示されているように、このストッカ４２はウ
エハ１群を収容したカセット７を保護するカセットケー
ス８を複数台、複数段の棚４３に並べて格納するように
構成されている。

【００２４】各モジュール４１間には天井レール４４が
敷設されており、このレール４４には自動搬送装置とし
ての工程間搬送装置４５が設備されている。この工程間
搬送装置４５は天井レール４４を自動的に走行して、カ
セットケース８を各モジュール４１間に搬送するととも
に、カセットケース８を各モジュール４１のストッカ４
２に自動的に搬入搬出するように構成されている。

【００２５】図１および図３に示されているように、モ
ジュール４１内には、酸化・拡散装置、露光装置、イオ
ン注入装置、ＣＶＤ装置およびエッチング装置等の半導
体製造装置４６、並びに、膜圧測定装置や外観検査装置
等の検査装置４７が設備されており、それらの装置４
６、４７間に対してウエハカセット７を自動的に搬送す
るための自動搬送車（以下、搬送車という。）４８が設
備されている。また、搬送車４８はストッカ４２からウ
エハ１を収容したカセット７を受け取って製造装置４６
に搬送するとともに、製造装置４６または検査装置４７
からカセット７を受け取ってストッカ４２へ受け渡すよ
うになっている。

【００２６】図１および図３に示されているように、ス
トッカ４２内には複数段の棚４３が架設されており、各
棚４３は複数個のカセットケース８を載置して保管する
ように構成されている。また、ストッカ４２内にはカセ
ットケース搬送装置４９およびカセット搬送ロボット５
０が設備されている。カセットケース搬送装置４９は工
程間搬送装置４５と棚４３との間で、カセットケース８
を授受するように構成されている。また、カセット搬送
ロボット５０は棚４３と搬送車４８および後記するコー
ド読取装置との間で、カセット７を授受するように構成
されている。図示しないが、各搬送装置４５、４８、４
９および５０はホストコンピュータ５１に通信回路によ
りそれぞれ接続されており、ホストコンピュータ５１の
指令により搬送作業を実行するようになっている。

【００２７】ストッカ４２内には図７および図８に示さ
れているコード読取装置１１が設備されており、コード
読取装置１１はウエハ１に付されたコード４を光学的手
段により読み取るように構成されている。

【００２８】本実施例に係るコード読取装置１１は箱形
状に形成されている機枠１２を備えており、この機枠１
２上にはローダと、アンローダと、搬送装置としての多
関節ロボット（以下、ロボットという。）と、人工視覚
装置とがそれぞれ設備されている。ローダ１３は機枠１
２上の中央部分における片側位置に配設されている。ロ
ーダ１３はコントローラ１５により制御されるエレベー
タ１４を備えており、ウエハ１が複数枚収納されている
実カセット１６からエレベータ１４の制御により、ウエ
ハ１を１枚宛払い出し得るように構成されている。アン
ローダ１７は例えば３組のものが機枠１２上の片側位置
に横並びに配設されている。アンローダ１７はコントロ
ーラ１９により制御されるエレベータ１８を備えてお
り、エレベータ１８上に乗せられる空カセット２０へエ
レベータ１８の制御により、ウエハ１を１枚宛スロット
に収納させて行けるように構成されている。

【００２９】搬送装置としてのロボット２１は機枠１２
上の中央部分における片側位置に配設されている。ロボ
ット２１はコントローラ２２により制御されるアーム２
３を備えており、アーム２３の先端部にはウエハ１を保
持するためのグリップ２４が装置されている。ロボット
２１はコントローラ２２により制御されるアーム２３の
操作により、グリップ２４においてローダ１３における
実カセット１６からウエハ１を１枚宛取り出して人工視
覚装置３０に搬送し、さらに、当該ウエハ１を人工視覚
装置３０からアンロード１７へ搬送して、空カセット２
０のスロットに収納するように構成されている。

【００３０】人工視覚装置３０は機枠１２上の後側部分
における略中央位置に配設されており、当該箇所に読み
取りステージ３１が設定されている。この読み取りステ
ージ３１の片脇にはスタンド３２が機枠１２上に立設さ
れており、スタンド３２には照明装置３３および画像取
り込み装置としてのテレビカメラ３５が支持されてい
る。照明装置３３には光源３４が光学的に接続されてお
り、この照明装置３３により光源３４からの光がステー
ジ３１に向けて調光されて照射されるようになってい
る。テレビカメラ３５はステージ３１上において照明さ
れたウエハ１の識別コード４を撮映するように構成され
ている。

【００３１】テレビカメラ３５には識別コード認識装置
３６が電気的に接続されており、この識別コード認識装
置３６は画像処理装置等から構成され、テレビカメラ３
５からの撮像信号に基づいてウエハ１に付された識別コ
ード４を認識し得るように構成されている。識別コード
認識装置３６にはモニタ３７が接続されており、このモ
ニタ３７によりテレビカメラ３５の撮映状況が必要に応
じてモニタリングされるようになっている。

【００３２】さらに、識別コード認識装置３６には識別
コードを逐次記録するための記録手段としてのメモリー
３８が接続されており、このメモリー３８は識別コード
認識装置３６により認識された識別コード４を逐次記録
するように構成されている。このメモリー３８はコンピ
ュータ等から構築されているデータ処理装置３９に接続
されており、データ処理装置３９によりメモリー３８に
記録されたデータが随時読み出されるようになってい
る。データ処理装置３９は前記ロボット２１のコントロ
ーラ２２に、後述するようなヨーイング補正信号を送給
し得るように構成されており、コントローラ２２はこの
信号に基づいてアーム２３を操作することにより、ヨー
イング補正を実行するようになっている。また、データ
処理装置３９はローダ１３のコントローラ１５およびア
ンローダ１７のコントローラ１９にも接続されている。
なお、メモリー３８はデータ処理装置３９側に装備して
もよい。

【００３３】次に、前記の構成に係るコード読取装置１
１の作用を説明する。

【００３４】読み取りステージ３１において、図７に示
されているように、ウエハ１はロボット２１のアーム２
３およびグリップ２４により水平に支持されるととも
に、人工視覚装置３０の照明装置３３およびテレビカメ
ラ３５に正対される。

【００３５】ウエハ１がテレビカメラ３５に正対される
と、図９に示されているようなフローチャートにより、
人工視覚装置３０において識別コード４の読み取り作業
が実行される。

【００３６】ここで、識別コード認識装置３６における
認識が不能であった場合、ヨーイング補正信号がデータ
処理装置３９からロボット２１のコントローラ２２に送
られる。ロボットのコントローラ２２はこの補正信号に
基づいて、図１０に示されているように、アーム２３を
操作することにより、ウエハ１のテレビカメラ３５に対
する傾斜角θを所定の方向へ変更調整する。このヨーイ
ング補正作動が識別コード認識装置３６による識別コー
ド４の認識が実行されるまで繰り返されることにより、
識別コード４の適正な認識が確保される。

【００３７】このようにして読み取られた識別コード４
は、識別コード認識装置３６に接続されているメモリー
３８に一時的に記録される。そして、この記録データに
より、後述する通りウエハの検証処理が実質的にリアル
タイムに実行される。なお、テレビカメラ３５による映
像はモニタ３７に映し出され、作業者によって必要に応
じて監視される。

【００３８】そして、識別コード４が読み取られると、
ウエハ１はロボット２１によりアンローダ１７に搬送さ
れて、図６に示されているように、アンローダ１７のエ
レベータ１８上に供給されている空カセット２０におけ
る所定のスロットＳｎに挿入される。

【００３９】今、例えば、人工視覚装置３０によって読
み取られた識別コード４のウエハコード６の番号が、Ｎ
０．１、であった場合、アンローダ１７のコントローラ
１９の指令によりエレベータ１８が１ピッチ送られ、空
カセット２０における第１スロットＳ１が挿入作動位置
Ｓ０にセットされる。そして、第１スロットＳ１が挿入
作動位置にセットされると、ロボット２１により搬送さ
れて来たウエハコードＮＯ．１のウエハ１がこの第１ス
ロットＳ１に挿入される。

【００４０】次に、人工視覚装置３０によって読み取ら
れた識別コード４のウエハコード６の番号が、Ｎ０．
３、であった場合には、アンローダ１７のコントローラ
１９の指令によりエレベータ１８がさらに２ピッチ送ら
れ、空カセット２０における第３スロットＳ３が挿入作
動位置Ｓ０にセットされる。続いて、ロボット２１によ
り搬送されて来たウエハコードＮ０．３のウエハ１が、
この第３スロットＳ３に挿入される。

【００４１】次に、人工視覚装置３０によって読み取ら
れた識別コード４のウエハコード６の番号が、ＮＯ．
２、であった場合、アンローダ１７のコントローラ１９
の指令によりエレベータ１８が１ピッチ戻されるように
送られ、空カセット２０における第２スロットＳ２が挿
入作動位置Ｓ０にセットされる。続いて、ロボット２１
により搬送されて来たウエハコードＮ０．２のウエハ１
が、この第２スロットＳ２に挿入される。

【００４２】このような作動が繰り返されることによ
り、指定されたウエハコード６のウエハ１群がアンロー
ド１７の空カセット２０内へ、各ウエハコード６による
順番に従って、スロット番号通りに並べられて収容され
ることも可能になる。つまり、このような場合、第１ス
ロットＳ１にはウエハコードＮ０．１のウエハが、第２
スロットＳ２にはウエハコードＮ０．２のウエハが、第
ＮスロットＳｎにはウエハコードＮ０．ｎのウエハがそ
れぞれ挿入されていることになる。

【００４３】コード読取装置１１はホストコンピュータ
５１に通信回路により接続されており、ホストコンピュ
ータ５１にはウエハ加工ライン４０において加工すべき
ウエハ１群についてのロット情報が、生産計画や製品設
計仕様等に基づいて予め記録されている。ロット情報と
しては、当該ウエハ１により製造されるべき半導体装置
の製品名、ロット番号、枚数、工程順序、製造条件、検
査条件等がある。

【００４４】次に、前記構成に係る物流管理システムに
よる管理作業並びにその物流の検証作業について図１１
に基づいて説明する。

【００４５】モジュール４１において所定の工程を終了
したウエハ１はロット毎に元のカセット７に戻され、さ
らに、そのカセット７はカセットケース８に収納され
る。このカセットケース８はホストコンピュータ５１の
指定にしたがって、工程間搬送装置４５により次の工程
を処理するモジュール４１へ搬送され、そのモジュール
４１におけるストッカ４２へ搬入される。

【００４６】ストッカ４２において、カセットケース搬
送装置４９はそのカセットケース８を工程間搬送装置４
５から受け取り、そのケース８内のカセット７をカセッ
ト搬送ロボット５０に受け渡す。カセット搬送ロボット
５０は受け取ったカセット７をコード読取装置１１に搬
送する。

【００４７】コード読取装置１１において、前述した通
り、ウエハ１はカセット７から１枚宛取り出されて、そ
のコード４を順次読み取られる。読み取られたコード４
はホストコンピュータ５１に逐次送信される。

【００４８】ホストコンピュータ５１は、今、搬入され
て来るべきウエハのロット情報と、コード読取装置１１
から送信されて来た現実のコード４とを照合する。例え
ば、この照合作業は、搬送するように指定したウエハカ
セットケース８が待つロット番号と、読み取られたコー
ド４のロット番号５との照合により実行される。そし
て、指定したケース８のロット番号と、実際に搬入され
たケース８のロット番号とが合致している場合には、ウ
エハカセットケース８についての搬送作業が指定通りに
実行されたことが検証されることになる。反対に、合致
しない場合には、搬送作業にミスがあることになるの
で、ホストコンピュータ５１はウエハカセットケース８
の差し戻し等の適当な措置を講じる。

【００４９】照合が終了すると、前述した通り、ウエハ
１はカセット７に順次収納される。ウエハ１が全て戻さ
れたカセット７はカセット搬送ロボット５０およびカセ
ットケース搬送装置４９により元のカセットケース８に
戻された後、正しいと検証されたケース８は棚４３の所
定位置に保管される。

【００５０】ホストコンピュータ５１はモジュール４１
内における製造装置４６の状況により、ストッカ４２か
ら次にモジュール４１内に搬入すべきカセット７を、カ
セット搬送ロボット５０に指定する。カセット搬送ロボ
ット５０はホストコンピュータ５１により指定されたカ
セット７をケース８から取り出して、モジュール４１内
の搬送車４８に受け渡す。

【００５１】搬送車４８はホストコンピュータ５１の指
令にしたがって、受け取ったカセット７を指定された製
造装置４６および検査装置４７へ搬送する。その後、搬
送車４８はホストコンピュータ５１の指令に従って、カ
セット７の各製造装置４６および検査装置４７への搬送
を繰り返して行く。そのモジュール４１内における所定
の工程が最終段階まで終了すると、搬送車４８は製造装
置４６または検査装置４７からカセット７を受け取って
ストッカ４２へ戻す。

【００５２】ストッカ４２内において、カセット搬送ロ
ボット５０は戻されたカセット７をコード読取装置１１
へ搬送する。コード読取装置１１は前述したような作用
により、ウエハ１のコード４を読み取り、読み取ったコ
ード４をホストコンピュータ５１に送信する。

【００５３】ホストコンピュータ５１は、今、モジュー
ル４１からストッカ４２へ搬入されて来るべきウエハカ
セット７のロット情報と、コード読取装置１１から送信
されて来た実際のコード４とを照合する。そして、照合
結果、ロット情報とコード４とが合致した場合には、ウ
エハ１の流れが適正に実施されている状況が検証された
ことになる。反対に、一致しない場合には、モジュール
４１内におけるウエハ１の物流にミスがある状況が検証
されたことになるため、ホストコンピュータ５１は、物
流ミスの原因を検索する等の措置を講じる。

【００５４】照合が終了すると、前述した通り、ウエハ
１はカセット７に順次収納される。ウエハ１が全て戻さ
れたカセット７はカセット搬送ロボット５０およびカセ
ットケース搬送装置４９により元のカセットケース８に
戻された後、正しいと検証されたケース８は棚４３の所
定位置に保管される。

【００５５】その後、ホストコンピュータ５１は次工程
のモジュール４１における製造装置４６の状況により、
次工程のモジュール４１に搬送すべきカセットケース８
をカセットケース搬送装置４９に指定する。カセットケ
ース搬送装置４９はホストコンピュータ５１により指定
されたカセットケース８を棚４３から取り出して、工程
間搬送装置４５に受け渡す。

【００５６】以降、前述した作業が繰り返されることに
より、ウエハ１が各工程モジュール４１を流れて行く。
その物流中、前述した検証作業が随時実施され、物流に
ついて高い精度が確保される。

【００５７】前記実施例によれば次の効果が得られる。 自動搬送装置によりウエハがストッカに搬入される
際に、コード読取装置により当該ウエハに付された識別
コードを読み取るとともに、読み取ったコードをホスト
コンピュータに送信し、ホストコンピュータにおいてそ
の自動搬送装置が搬送して来るように指定した物品の識
別コードと、実際に搬送して来られた物品の現に読み取
られて送信されて来た識別コードとを照合することによ
り、ウエハの物流を自動的に検証することができるた
め、ウエハの物流管理システムの精度を高めることがで
きる。

【００５８】 半導体装置の製造工場におけるウエハ
の物流管理システムの精度を高めることにより、ウエハ
の一貫完全自動生産を実現させることができるととも
に、多品種少量生産に対処することができる。

【００５９】図１２は本発明の他の実施例を示す模式図
である。

【００６０】本実施例２が前記実施例１と異なる点は、
ウエハカセットケース８に付されたコントロールカード
９内の情報を読み取るコントロールカード読取装置６１
がストッカ４２内に設備されており、このコントロール
カード読取装置６１の読み取り結果と、コード読取装置
１１の読み取り結果との照合により、ウエハの物流につ
いての検証が実行されるように構成されている点、にあ
る。

【００６１】すなわち、本実施例２において、コントロ
ールカード９は例えばＩＣカードにより構成されてお
り、コントロールカード読取装置６１はこのＩＣカード
９に記憶された情報を読み取るＩＣリーダにより構成さ
れている。

【００６２】そして、ウエハカセットケース８がストッ
カ４２へ搬入されて来た際、ＩＣリーダ６１はこのケー
ス８に添付されたＩＣカード９の情報を読み取る。他
方、コード読取装置１１はそのケース８内に収納された
ウエハ１のコード４を読み取る。両読取装置６１と１１
との読み取り結果は、例えば、ロット番号について照合
される。この照合作業により、前記実施例１と同様、ウ
エハの物流の検証作業が実施されたことになる。両読取
装置６１と１１とによる照合作業は、いずれかに搭載さ
れているコンピュータによって簡便に実行してもよい
し、ホストコンピュータ５１を介して実行してもよい。

【００６３】本実施例２によれば、前記実施例１の効果
に加えて、ホストコンピュータ５１の負担を軽減するこ
とができるという効果が得られる。

【００６４】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。

【００６５】例えば、コード読取装置の具体的構成、並
びに、コントロールカード読取装置の具体的構成は、前
記実施例１および２に限らず、使用条件や環境等に対応
して適宜選定することができる。

【００６６】照合作業は、ストッカへの搬入時に実施す
るに限らず、搬出時に実施してもよいし、両方とも実施
してもよい。

【００６７】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるウエハ
の物流管理システムに適用した場合について説明した
が、それに限定されるものではなく、フロッピディス
ク、ハードディスク、コンパクトディスク等のデータ記
憶媒体や、その他、大量生産され、かつ、識別コードを
付することが可能な物品全般の物流管理システムに適用
することができる。また、製造工場に限らず、倉庫業や
商品の販売業、運送業等の物流管理システムにも適用す
ることができる。

【００６８】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。

【００６９】自動搬送装置により物品がストッカに搬入
される際に、コード読取装置により当該物品に付された
識別コードを読み取るとともに、読み取ったコードをホ
ストコンピュータに送信し、ホストコンピュータにおい
てその自動搬送装置が搬送して来るように指定した物品
の識別コードと、実際に搬送して来られた物品の現に読
み取られて送信されて来た識別コードとを照合すること
により、物品の流れを自動的に検証することができるた
め、物流管理システムの精度を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるウエハの物流管理シス
テムを示す模式図である。

【図２】それが使用されているウエハ加工ラインを示す
概略斜視図である。

【図３】そのモジュールを示す概略斜視図である。

【図４】そのストッカを示す概略斜視図である。

【図５】ウエハを示す平面図である。

【図６】ウエハカセットを示す斜視図である。

【図７】コード読取装置を示す模式図である。

【図８】その斜視図である。

【図９】コード読み取り作用を説明するためのフローチ
ャート図である。

【図１０】その斜視図である。

【図１１】物流管理システムの作用を説明するためのフ
ローチャート図である。

【図１２】本発明の他の実施例を示す模式図である。

【符号の説明】

１…ウエハ、２…第１主面、３…オリエンテーションフ
ラット、４…識別コード、５…ロットコード、６…ウエ
ハコード、７…カセット、８…カセットケース、９…コ
ントロールカード、１１…コード読取装置、１２…機
枠、１３…ローダ、１４…エレベータ、１５…コントロ
ーラ、１６…実カセット、１７…アンローダ部、１８…
エレベータ、１９…コントローラ、２０…カセット、２
１…ロボット、２２…コントローラ、２３…アーム、２
４…グリップ、３０…人工視覚装置、３１…読み取りス
テージ、３２…スタンド、３３…照明装置、３４…光
源、３５…テレビカメラ、３６…識別コード認識装置、
３７…モニタ、３８…メモリー、３９…データ処理装
置、４０…ウエハ加工ライン、４１…モジュール、４２
…ストッカ、４３…棚、４４…天井走行車用レール、４
５…天井走行車（自動搬送装置）、４６…製造装置、４
７…検査装置、４８…自動搬送車（自動搬送装置）、４
９…ウエハカセットケース搬送装置（自動搬送装置）、
５０…ウエハカセット搬送ロボット（自動搬送装置）、
５１…ホストコンピュータ、６１…コントロールカード
読取装置。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/02 Ａ 8518−4Ｍ 21/68 Ａ 8418−4Ｍ // Ｂ２３Ｑ 41/02 Ｚ 8107−3Ｃ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数種類の物品が自動搬送装置によって
   複数のストッカ間を自動的に搬送される物流をコンピュ
   ータによって集中管理する物流管理システムにおいて、 前記コンピュータに取り扱う前記物品に関する情報を予
   め記録しておくとともに、各物品に固有の識別コードを
   それぞれ付しておき、 他方、前記ストッカ内に各物品に付された識別コードを
   読み取るコード読取装置を設備しておき、 前記自動搬送装置により物品がストッカに搬入または搬
   出される際に、前記コード読取装置によってその物品の
   識別コードを読み取るとともに、読み取った識別コード
   と、前記コンピュータに記録された物品に付与された情
   報とを照合し、その物品の流れを検証することを特徴と
   する物流管理システム。
2. 【請求項２】 物品が半導体装置の製造工場における前
   工程の半導体ウエハであり、前記物品に関する情報とし
   て半導体ウエハのロット情報が前記コンピュータに予め
   記録されているとともに、各半導体ウエハにロット番号
   およびロット内の半導体ウエハ番号が識別コードとして
   付されており、 前記コード読取装置は半導体ウエハに付された前記識別
   コードを光学的に読み取るように構成されており、 前記自動搬送装置により半導体ウエハがストッカに搬入
   または搬出される際に、前記コード読取装置によりその
   半導体ウエハの識別コードが読み取られるとともに、読
   み取られた識別コードと、前記コンピュータに記録され
   たロット情報が照合されることにより、半導体ウエハの
   流れが検証されることを特徴とする請求項１記載の物流
   管理システム。
3. 【請求項３】 複数種類の物品が複数個宛、ケースに収
   納された状態で自動搬送装置によって複数のストッカ間
   を自動的に搬送される物流を自動的に管理する物流管理
   システムにおいて、 前記ケースにケース内の前記物品に関する情報をそれぞ
   れ記録したコントロールカードを付しておくとともに、
   各物品に固有の識別コードをそれぞれ付しておき、 他方、前記ストッカ内に各物品に付された識別コードを
   読み取るコード読取装置と、前記コントロールカードに
   記録された情報を読み取るコントロールカード読取装置
   とを設備しておき、 前記自動搬送装置により物品がストッカに搬入または搬
   出される際に、前記コード読取装置によってその物品の
   識別コードを読み取るとともに、前記コントロールカー
   ド読取装置によってケースに付されたコントロールカー
   ドの記録情報を読み取り、両方の読取結果を照合するこ
   とにより、その物品の流れを検証することを特徴とする
   物流管理システム。