JPH1123659A - 半導体装置のテストシステム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】複数ロット、複数品種を複数のテスタにまたが
って仕掛けることを可能とする機構・構成を行うことに
よって稼働ロスを低減させる半導体装置のテストシステ
ムの提供。 【解決手段】複数ロット、複数品種を複数のテスタにま
たがって仕掛ける為の集合型ローダー１０５、アンロー
ダー１０６と、個々がユニークの認識番号を有するパレ
ットと、パレット搬送部１０４と、個々のパレットを認
識・管理する為のバーコード及びバーコードリーダと、
全情報を集中管理する為のホストコンピュータ１０９と
ネットワークを有している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置のテス
トシステムに関し、特に、複数台のテスタを用いて１つ
又は複数のロットとして構成された複数の半導体装置の
電気特性試験を行うテストシステムに関する。本発明
は、異なる種類の半導体装置から構成される複数の異種
ロットを、複数のテスタを用いて電気特性試験を行うテ
ストシステムに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のＩＣテスト装置として、例えば特
開平５−２６９５９号公報には、テスタの同時測定個数
が増えてもテストヘッドおよびハンドラ本体の設計の必
要がないＩＣテスト装置の構成が提案されている。

【０００３】図１４は、上記特開平５−２６９５９号公
報に提案されるＩＣテスト装置の構成を説明するための
図である。図１９は、ＩＣテスト装置のテストヘッドの
要部を拡大して示した斜視図である。

【０００４】図１４において、６０１はＩＣの電気特性
試験をするテスタ、６０２はテスタ６０１にケーブル６
０３を通じて電気的に接続されているテストヘッド、６
０７はテストヘッド６０２が接続され複数台並列に列設
されたハンドラ本体、６０８は電気特性試験前のＩＣが
入ったパレット６０４を投入するローダ部、６０９はこ
のローダ部６０８から供給されたパレット６０４をそれ
ぞれのハンドラ本体６０７へ搬送するためのパレット搬
送部、６１０はそれぞれのハンドラ本体６０７から排出
され、パレット搬送部６０９により送られてきた電気特
性試験後のＩＣ入りパレット６０４を収納するアンロー
ダ、６０４は装置内でＩＣを運搬する単位となるパレッ
ト、６０５は他の装置と当該装置の間でＩＣ４０１を運
搬する単位となる工程間トレーである。

【０００５】また図１９において、４０２は電気特性試
験の際、ＩＣ４０１を挿入・保持する測定用ソケットで
あり、４０３はこのソケット４０２を複数個実装し、こ
れらに対してテストヘッド６０２との電気的接続を図る
テストボードである。

【０００６】先ず、ＩＣ４０１のシステム内での流れと
装置各部の動作について、図１４及び図１９を参照して
説明する。

【０００７】電気特性試験前のＩＣ４０１が収納された
工程間トレー６０５が投入されたローダ部６０８では、
最初に、この工程間トレー６０５から当該装置専用のパ
レット６０４にＩＣ４０１の移載され、その後このパレ
ット６０４がパレット搬送部６０９へ供給される。ここ
でセットされる工程間トレーは１ロット分である。

【０００８】パレット搬送部６０９は、順次、パレット
６０４をそれぞれのハンドラ本体６０７へ供給する。そ
れぞれのハンドラ本体６０７内ではパレット６０４内の
ＩＣ４０１がテストヘッド６０２上に固定されたテスト
ボード４０３に電気的に接続され、ケーブル６０３を通
じてテスタ６０１により電気的内容がテストされる。

【０００９】そして電気特性試験後のＩＣ入りパレット
６０４は、ハンドラ本体６０７よりパレット搬送部６０
９へ排出され、アンローダ部６１０へ送られて収納され
る。

【００１０】アンローダ部６１０内において、各々のパ
レット６０４に一端収納された電気特性試験後のＩＣ４
０１は、それぞれを処理した一意に決定できるハンドラ
６０７から伝達された良否情報及びカテゴリ機構（以下
この２種類のデータを「テスト結果情報」と称す）に基
づいて、不良品及び各カテゴリ毎に用意された工程間ト
レー６０５に分類収納される。

【００１１】以上はテスタ６０１における一回分の電気
特性試験に関するＩＣ４０１の流れ及び各部の動作説明
であり、ローダ６０８内のパレット６０４をすべて試験
し、アンローダ部６１０に収納するまで繰り返される。

【００１２】次に、上述した動作を実現するための処理
フローについて説明する。図１５乃至図１８は、その処
理フローの詳細を説明するための図である。なお、上記
特開平５−２６９５９号公報には、図１５乃至図１８に
示す処理フローは開示されていないが、図１４に示した
ＩＣテスト装置を、実際のテスト工程で機能させるため
に必要と判断された処理フローを示したものである。

【００１３】・ステップ７００〜７０５は、人手作業に
よる装置各部（ローダ部６０８、テスタ６０１）の準備
作業手順、 ・ステップ７１０〜７２０は、ローダ部６０８内部にお
けるパレット６０４の切り出し及び各ハンドラ６０７へ
の供給動作に関わる制御手順、 ・ステップ７３０及び７４０〜７４２は、パレット搬送
部６０９及び各ハンドラ６０７におけるパレット６０４
及びＩＣ４０１ハンドリング動作手順、 ・ステップ７６０〜７６６は、テスタ６０１内部におけ
る電気特性試験とハンドラ６０７に対する情報発信迄の
制御手順、 ・ステップ７７０〜７７８は、電気特性試験終了後のＩ
Ｃ４０１をテストヘッド６０２から回収し、次の未測定
パレット６０４を配膳してもらうための情報発信迄の制
御手順、 ・ステップ７８０は、パレット搬送部６０９におけるパ
レット６０４の回収及びアンローダ６１０に対する配送
迄の制御手順、 ・ステップ７９０〜７９４は、アンローダ６１０におい
て、ハンドラ６０７からの分類情報に基づいて回収した
パレット６０４からＩＣ４０１を工程間トレー６０５へ
移載分類収納する迄の制御手順、を示している。

【００１４】ステップ７９４で電気特性試験終了後のＩ
Ｃ４０１を分類収納する際に、どのパレット６０４がど
のハンドラ６０７で処理されたものかは、パレット６０
４回収時の順序で認識している。例えば図１４に示した
構成の場合、アンローダ６１０に近い側から順番に１、
２、３、４とする。この順序と各ハンドラ６０７から転
送されて来る各ＩＣ４０１の良否情報、カテゴリ情報を
対応させて分類の判断としていた。

【００１５】また、ローダ部６０８にセットされるロッ
トは１ロットであり、従って１台のテスタ６０１が試験
するＩＣ４０１は、１つのロットから供給されたもので
ある。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】被試験ＩＣとしてＤＲ
ＡＭ（書き込み読み出し可能なメモリ）を対象に電気特
性試験を行う場合、一般に、テスタ（メモリテスタ）６
０１は、ＤＲＡＭの種類がシングルビットＩ／Ｏのもの
であれば、例えば最大６４個まで同時に測定することが
可能である。

【００１７】上記装置の場合には、１台のハンドラ（テ
ストヘッド）あたり１６個のＩＣを処理できることにな
るが、実際の測定では、この１６個は測定単位ではな
く、６４個毎のサイクルで処理されるため、ロットサイ
ズ（ロットを構成するＩＣの数量）が６４の整数倍で無
い場合、ロットの最後１回分の電気特性試験において端
数が生じ、テスタ６０１に稼働ロスが発生することにな
る。

【００１８】そして、電気特性試験は半導体装置工程の
終盤工程であることから、試験工程迄の加工工程におけ
る歩留まり変動によって、ここで、常に、ロットサイズ
を６４の整数倍に調整することは不可能である。このた
め、上記従来の装置では、常に稼働ロスが発生している
ことになる。

【００１９】このように、ＩＣの電気特性試験は、１台
のテスタとこれに繋がる複数台のハンドラにより行われ
るが、大容量ＤＲＡＭ等ＩＣのテスト時間長大化に伴
い、１個でも端数が生じた場合でも、従来技術では、シ
ステム全体でこれを測定しなければならず、稼働ロスが
大きい、という問題点を有している。

【００２０】したがって、本発明は、上記問題点に鑑み
てなされたものであって、その目的は、複数ロット、複
数品種を複数のテスタにまたがって仕掛けることを可能
とし、稼働ロスを低減させるテストシステムを提供する
ことにある。

【００２１】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明のテストシステムは、上に挙げた稼働ロスを
防ぐ仕組みとして、電気特性試験を行うための複数のテ
スタと、これらのテスタに接続され且つ各テスタが有す
る複数のテスタと、これらのテスタに接続され且つ各テ
スタが有する複数のテストヘッドに対してＩＣの電気的
接触を図る複数のハンドラ機構で且つ個々それぞれに対
して一意に振り当てた番号を有するハンドラ機構と、全
てのハンドラ機構を連結し、複数のロットを複数のハン
ドラ機構及び複数テスタに対して供給搬送する搬送機構
と、複数個のＩＣを一つの単位として搬送機構中を搬送
する複数のパレットで、且つ個々が一意の認識番号を有
するパレットと、電気特性試験の前後にあるＩＣの製造
工程と電気特性試験を行う工程間のＩＣ移送を行うため
の複数の工程間トレーと、工程間トレーからパレットへ
ＩＣを移載し、ハンドラ機構からの配送要求に基づいて
移載後のパレットを移送機構へ送り出すからローダ機構
と、搬送機構から送られてくる、ハンドラ機構及び前記
テスタによって電気特性試験の実施を完了した複数のＩ
Ｃを載せたパレットを収納し、更にホストコンピュータ
から受理する電気特性試験結果に基づいて工程間トレー
にＩＣを分類しながら移載するアンローダ機構と、ＩＣ
毎に電気特性試験を行う過程で関与したハンドラ認識番
号、パレット認識番号及び電気特性試験結果情報を、ハ
ンドラ機構、ローダ機構及びテスタから収集し且つ収集
した情報をアンローダにアップロードするネットワーク
並びにホストコンピュータで、特に複数のハンドラ機構
並びに複数のテスタから収集した個別情報をパレット認
識番号に基づいてロット単位の情報に再構築するネット
ワーク並びにホストコンピュータと、ホストコンピュー
タに対しパレット認識番号とロットの因果関係を定義す
る制御端末と、パレット認識番号を読み取ってハンドラ
機構、ローダ機構、アンローダ機構に伝達する認識機構
を有している。

【００２２】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について説明
する。本発明のテストシステムは、その好ましい実施の
形態において、複数ロット、複数品種を複数のテスタに
またがって仕掛けるためのローダ機構、アンローダ機構
と、複数個の半導体装置を一つの単位とし搬送手段で搬
送する、ユニークな認識情報（ＩＤ）が付加されたパレ
ットと、パレット搬送手段と、個々のパレットを認識・
管理するためのバーコード及びバーコードリーダと、全
情報を集中管理するためのホストコンピュータとネット
ワークを有している。

【００２３】本発明の実施の形態においては、複数のハ
ンドラを連結し、複数のロットを複数のハンドラ及び複
数のテスタに対して供給搬送する搬送部を備え、ローダ
機構は、電気特性試験の前後にある半導体装置の製造工
程と電気特性試験を行う工程間の半導体装置の移送を行
うための工程間トレーからパレットへ半導体装置を移載
し、かつハンドラからの配送要求に基づいて、移載後の
パレットを搬送手段へ送り出し、アンローダ機構は、搬
送手段から送られてくる、ハンドラ及びテスタによって
電気特性試験の完了した複数の半導体装置を載せたパレ
ットを収納し、ホストコンピュータから受理する電気特
性試験結果に基づいて工程間トレーに半導体装置を分類
しながら移載する。

【００２４】本発明の実施の形態においては、ローダ機
構、アンローダ機構が複数のテスタにまたがって接続
し、全てのパレットにＩＤ情報を付加し、パレットＩＤ
情報、ロット情報の全てをホストコンピュータで制御
し、パレット搬送部によりパレットの搬送等を制御する
ことにより、複数ロット、複数品種を仕掛けることがで
きる。

【００２５】

【実施例】上記した本発明の実施の形態について更に詳
細に説明すべく、本発明の実施例を図面を参照して以下
に説明する。

【００２６】［実施例１］図１は、本発明のテストシス
テムの一実施例の構成を示すブロック図である。図２乃
至図５は、本発明のテストシステムの一実施例の動作手
順を示すフローチャートである。また図６は、本発明の
テストシステムの一実施例におけるＩＣ移送用のパレッ
トを示した斜視図である。図７は、本発明のテストシス
テムの一実施例におけるテストヘッドの要部を示した斜
視図である。

【００２７】図１において、１０１はテスタ、１０２は
テストヘッド、１０３はハンドラ本体、１０４はパレッ
ト搬送部、１０５はローダ部、１０６はアンローダ部、
１０７はパレット、１０８は制御端末、１０９はホスト
コンピュータ、１０９ｂはデータベース、１１４ａ、１
１４ｂ、１１４ｃはバーコードリーダ、６０５は工程ト
レーである。テスタ１０１、制御端末１０８、ホストコ
ンピュータ１０９、アンローダ部１０６はネットワーク
を介して接続し、ローダ部１０５は制御端末１０８に接
続する。

【００２８】図１、図２乃至図５を参照して、本実施例
の動作について以下に説明する。

【００２９】図２のステップ２０１ａ〜２０５ａは、テ
ストシステムに対する被測定ロットの情報入力及び物理
的にロットをローダ部１０５に仕掛ける段取作業に関す
る説明である。

【００３０】テストシステムの外部では、ロットは、複
数の工程間トレー６０５から構成されており、作業者
は、先ずこれらの工程間トレー６０５を、ローダ部１０
５に対して供給する（ステップ２０１ａ）。

【００３１】工程間トレー６０５に搭載されたＩＣはロ
ーダ部１０５内で、テストシステム中のみでＩＣ搬送に
使用するパレット１０７に移載されることになる。段取
作業時点では、移載に使用するパレット１０７も同時に
供給する。供給されるパレット１０７には、図３に示す
ように、各々に一意の識別情報（ＩＤ）としてバーコー
ドＩＤ３０１が付されている。

【００３２】ネットワーク接続された制御端末１０８か
ら作業者のキーボード入力によって、当該ロットのロッ
トサイズ（ロットを構成するＩＣの個数）とロット番号
とが入力され（ステップ２０２ａ）、また当該ロットの
電気特性試験のためにセットした全てのパレット１０７
について、バーコードＩＤ３０１が制御端末１０８付属
のバーコードリーダ１１４ａより入力される（ステップ
２０３ａ）。

【００３３】ここで、同じテストプログラムでテストで
きる他のロットが存在する場合（ステップ２０４ａのＹ
ｅｓ分岐）、ローダ部１０５の許容量内であれば上記の
手順（図２のステップ２０１ａ〜２０４ａ）の繰り返し
により、複数ロットを仕掛ける。

【００３４】ローダ部１０５が満杯（ｆｕｌｌ）になる
か、あるいは同じテストプログラムでテストできる他ロ
ットが無くなった時点（ステップ２０４ａのＮｏ分岐）
で、ＩＣの供給は終了し、次に作業者は、制御端末１０
８からセットしたＩＣの電気特性試験を行うのに必要な
テストプログラム名を入力し（ステップ２０５ａ）、段
取作業を終わる。

【００３５】制御端末１０８のキーボード又はバーコー
ドリーダ１１４ａから入力された上記の各種データのう
ち、ロット番号、ロットサイズ、パレットＩＤの３種に
ついて、制御端末１０８は、これの情報を、テストシス
テム全体を管轄するホストコンピュータ１０９とローダ
部１０５に、結線されたネットワークを通じて転送し、
テストプログラム名については、ホストコンピュータ１
０９に対してのみ転送する（図２のステップ２１０ａ、
２１１ａ）。

【００３６】ホストコンピュータ１０９では、制御端末
１０８から入力された上記データを受信し、これらをデ
ータベース１０９ｂに一時保存し、更に、テストプログ
ラム名については、ネットワーク接続された全てのテス
タ１０１へ送信する（図２のステップ２２０ａ〜２２２
ａ）。

【００３７】各テスタ１０１は、ホストコンピュータ１
０９から転送されたテストプログラム名を受信すると
（ステップ２３０ａ）、以前の電気特性試験の結果（テ
スト結果）を全てクリアし（ステップ２３１ａ）、受信
したテストプログラムを自身のハードディスク装置（図
１では不図示）から読み込んでテスタ１０１のメモリへ
展開する（テストプログラムの自動ロード）（ステップ
２３２ａ）。

【００３８】上記ステップ２１０ａ〜２３２ａの各処理
は、制御端末１０８、ホストコンピュータ１０９、各テ
スタ１０１によって自動的に行われる。

【００３９】各テスタ１０１でのテストプログラムロー
ドが完了すると、テスタ１０１からホストコンピュータ
１０９経由で制御端末１０８に、電気特性試験を行う準
備ができた旨に表示がされ、この表示を待って、作業者
は、制御端末１０８から作業開始のコマンドを入力する
（ステップ２４０ａ）。

【００４０】この信号を受けて、制御端末１０８は、ロ
ーダ部１０５の動作開始の指示を送信し（ステップ２４
１ａ）、ローダ部１０５は、作業開始情報を受けて、自
身が動作開始すると共に、ローダ部１０５の動作に関連
して動作する必要のあるパレット搬送部１０４、ハンド
ラ本体１０３、アンローダ部１０６の動作も開始させる
（ステップ２４０ａ〜２５１ａ）。

【００４１】ローダ部１０５は、動作開始すると、先ず
ハンドラ本体１０３からパレット１０７の供給リクエス
ト信号があるか否かを確認し（ステップ２１５ｂ）、リ
クエストが無い場合には以降の動作に入らない（待ち状
態となる）。

【００４２】リクエストを確認した場合には（ステップ
２１５ｂのＹｅｓ分岐）、リクエストを発信したハンド
ラ本体１０３がどのユニットであるかを判別し、また同
時に、上記ステップ２２０ａで制御端末１０８から送信
された最初の被測定ロットに関する各種情報（ロット番
号、ロットサイズ、パレットｉｄ）を受信する（ステッ
プ２２０ｂ）。

【００４３】ハンドラ本体１０３とローダ部１０５との
間は、パレット搬送部１０４を介して、各ハンドラ本体
１０３毎にポートを設定するように、ネットワーク接続
されており、これによって、ローダ部１０５では、各ハ
ンドラのネットワークにおける、ユニークな論理アドレ
ス（以下「ハンドラｉｄ」という）で知ることができる
（図３のステップ２２５ｂ）。

【００４４】次に、ローダ部１０５では、供給されたロ
ットに含まれるＩＣの内、パレット１０７に移載されな
いまま残っているＩＣの数量を演算して求め、これが正
の数であることを確認する（ステップ２３０ｂ）。

【００４５】ここで、演算の結果が「０」以下である場
合は、このロットに対する移載処理を終了し、供給され
た次のロットの各種データ読み取り、及び移載に取り掛
かる。

【００４６】次ロット情報が無い場合には（ステップ２
３５ｂのＮｏ分岐）、供給するロットが無いものとして
全ての動作を終了する（ステップ２９９ｂ）。

【００４７】また演算結果（パレット１０７に移載され
ないまま残っているＩＣの数量）が正の数である場合、
続けて移載するＩＣが収納すべきパレット１０７がある
かどうかを光学的センサー等によって確認し、供給すべ
きパレット１０７が無い場合には（ステップ２４０ｂの
Ｎｏ分岐）、アラームを発して作業者の注意を喚起さ
せ、同時に制御端末１０８はパレット１０７を追加供給
を促す表示を行う（ステップ２８０ｂ）。

【００４８】ローダ部１０５は、パレット搬送部１０７
との間、より詳細には、ローダ部１０５からパレット搬
送部１０７への出口に取り付けられたバーコードリーダ
１１４ｂによって、移載を完了した各パレット１０７に
付されているバーコード３０１をパレットｉｄとして読
み取り（ステップ２４５ｂ）、上記ステップ２２０ｂで
読み取ったパレットｉｄの何れかに該当することを確認
した後（ステップ２５０ｂ）、被測定ＩＣを工程間トレ
ー６０５からパレット１０７へ移載する（ステップ２５
５ｂ）。

【００４９】ステップ２５０において、認識したパレッ
トｉｄが、上記ステップ２２０ｂで読み取ったパレット
ｉｄの何れにも該当しない場合には、アラームを発して
作業者の注意を喚起させ、同時に制御端末１０８はパレ
ットｉｄの確認要求を表示する（ステップ２８５ｂ）。

【００５０】移載を完了した被測定ＩＣは個数をカウン
トして（ステップ２５７ｂ）、ステップ２３０ｂの演算
に用いられる。

【００５１】ステップ２５７ｂの移載数のカウント処理
は、ローダ部１０５内のＩＣ移載アームのピック＆プレ
イスヘッド部分には、吸着センサーが取り付けられてお
り、移載動作と吸着センサー信号のＯＲ（論理和）信号
を取ることで、移載数をカウントできる。

【００５２】次にローダ部１０５は移載を完了したパレ
ット１０７の、ハンドラ本体１０３に対する供給動作に
入る。

【００５３】先ず、パレットの供給リクエストのあった
ハンドラ本体１０３に対し、被測定ＩＣの移載を完了し
て、これから配送するパレット４０１のパレットｉｄ番
号を送信し（ステップ２６０ｂ）、続いてパレット搬送
部１０４に対し、パレット４０１の届け先であるハンド
ラ本体１０３のハンドラｉｄを送信し（ステップ２６５
ｂ）、その後このパレット１０７をパレット搬送部１０
４に対して送り出す（ステップ２７０ｂ）。

【００５４】１枚のパレット１０７の配送を完了する
と、他のハンドラ本体１０３からの同様の供給リクエス
トがあるか否かを調査し（ステップ２７５ｂ）、供給リ
クエストがあれば、ステップ２３０ｂに戻り、上記した
動作をリクエストが無くなるか、あるいは供給するロッ
ト（又は被測定ＩＣ）が無くなるまで繰り返す。

【００５５】パレット搬送部１０４は、前記の如く、各
ハンドラ本体１０３に対してローダ部１０５の延長線上
のネットワークにあり、各ハンドラｉｄを認識すること
ができるため、ローダ部１０５から図３のステップ２６
５ｂで受けた配送先情報（ハンドラｉｄ）にしたがっ
て、パレット１０７を、目的のハンドラ本体１０３迄搬
送する（図４のステップ２１０ｃ、２１５ｃ）。

【００５６】図３のステップ２６０ｂで送信されたパレ
ットｉｄデータは、パレット搬送部１０４による実際の
パレット１０７供給以前に、目的のハンドラ本体１０３
に着信しており（図４のステップ２２０ｃ）、パレット
１０７が配送された時点で、ハンドラ本体１０３内部に
設置されたバーコードリーダ４０４でパレット１０７に
付されたバーコード３０１（図６参照）を読み取って、
送信されたパレットｉｄデータを一致するかを確認す
る。ここで、バーコードｉｄが一致しなかった場合、ハ
ンドラ本体１０３はアラームを発して動作を一時停止す
る。

【００５７】バーコードｉｄが一致した場合、ハンドラ
本体１０３はパレット１０７からテストヘッド１０２の
測定用ソケットへ被測定ＩＣをセットする（図４のステ
ップ２２５ｃ）。被測定ＩＣ４０１、ソケット４０２、
テストボード４０３の関係及びテスタ１０１による電気
特性試験の実行については、前述の従来技術で説明した
もの（図１６のステップ７４２から図１７のステップ７
７６参照）と同様である。すなわち、ハンドラ１０３は
テストスタート信号を送信し（図４のステップ２３０
ｃ）、テスタ１０１は、このテストスタート信号を受信
して、被測定ＩＣの電気特性テストを行い、テスト終了
時テストエンド信号を送信し、被測定ＩＣ毎のテスト結
果情報をハンドラ側に送信する（以上図４のステップ２
４０ｃ〜２５０ｃ）。ハンドラ１０３は、テスタ１０１
からのテストエンド信号を受信した時、テスト結果情報
を受信し、テストヘッド１０２からパレット１０７へ被
測定ＩＣを戻し入れ、次のパレットを要求することにな
る（図５のステップ２１０ｄ〜２２５ｄ）。

【００５８】パレット１０７、１枚分の電気特性試験が
完了した時点で、ハンドラ本体１０３はテスタ１０１に
よるテスト結果情報及び電気特性試験を開始する前に、
バーコードリーダ４０４で読み取ったパレットｉｄを、
ホストコンピュータ１０９及びパレット搬送部１０４に
対して送信する（図５のステップ２３０ｄ）。

【００５９】パレット搬送部１０４は信号を受信する
と、当該するハンドラ本体１０３から電気特性試験済の
被測定ＩＣを搭載したパレット１０７を回収し（ステッ
プ２３５ｄ）、更にアンローダ部１０６迄配信する（ス
テップ２４０ｄ）。パレット搬送部１０４ではハンドラ
本体１０３から送信されたデータを単なるパレット１０
７回収のリクエストとして認識している。

【００６０】ここまでの動作においてホストコンピュー
タ１０９に対して送信された情報は、全てホストコンピ
ュータ１０９付属のデータベース１０９ｂに保存されて
おり、データ構造は、図１０に示すようなリスト構造に
なっている（データ構造（１）においてＸは、パレット
ｉｄ）。

【００６１】アンローダ部１０６は、パレット搬送部１
０４から送られたパレット１０７について、先ずアンロ
ーダ部１０６の受入口に設けたバーコードリーダ１１４
ｃによってパレットｉｄを読み取り（ステップ２４５
ｄ）、パレットｉｄをホストコンピュータ１０９に送信
し（ステップ２５０ｄ）、ホストコンピュータ１０９か
らのテスト情報の回答を待つ。

【００６２】ホストコンピュータ１０９では、アンロー
ダ部１０６から送られたパレットｉｄを受信し（ステッ
プ２６５ｄ）、受信したパレットｉｄを検索のキー情報
として、データベース１０９ｂを検索し（ステップ２７
０ｄ）、キーにマッチするデータレコードを見つけた時
点で、キー以下のリスト情報を全てアンローダ部１０６
へ返送する（ステップ２７５ｄ）。

【００６３】アンローダ部１０６は、ホストコンピュー
タ１０９からの情報を受信し、この情報から先ずロット
番号を認識し、２ブロック有している収納部の何方に当
該パレット１０７を収容するかを判断する。即ち、既に
このロット番号を持った他のパレット１０７を処理して
いる場合には、それと同じ収納部へこれを収納し、初め
てのロット番号である場合には先着のロットが無い側の
収納部へ収納する。

【００６４】何れの収納部も空である場合は初期値に指
定されたほうへ収納し、何れの収納部も異なるロット番
号の先着ロットがある場合にはアラームを発して動作を
一時停止し、何方かのロットを収納部から取り出すよう
指示する。

【００６５】受け付けたパレット１０７を何方の収納部
で処理するかを決定した後、アンローダ部１０６は、ホ
ストコンピュータ１０９からの情報よりテスト結果情報
を認識して、これに基づいて不良品及びカテゴリ毎に用
意された工程間トレー６０５に分類収納する（ステップ
２６０ｄ）。

【００６６】以上は、１枚のパレット１０７及びそこに
搭載された被測定ＩＣに関する処理フローについて説明
したものであり、ローダ部１０５内の全てのパレット１
０７上のＩＣ４０１を試験するまで繰り返される（ステ
ップ２４５ｄ〜２７５ｄ）。

【００６７】図１１に示すデータ構造（２）は、複数の
ロットを、本実施例のテストシステムを用いて試験した
場合に、ホストコンピュータ１０９のデータベース１０
９ｂに蓄積される情報である。

【００６８】［実施例２］次に、本発明の第２の実施例
として、複数ロットに対し、複数のテストプログラムを
用いて同一システム上で電気特性試験を行うことを可能
とした構成について説明する。

【００６９】本実施例は、その構成要素は、図１と同様
であるため、説明は省略し、テストシステム動作フロー
について、図８及び図９を参照して説明する。

【００７０】図８のステップ５０１ａ〜５０７ａは、テ
ストシステムに対する被測定ロットの情報入力及び物理
的にロットをローダ部１０５に仕掛ける段取作業に関す
る説明である。

【００７１】前記第１の実施例と同様、作業者は、先ず
被測定ＩＣの搭載された工程間トレー６０５及びこれか
ら使用するパレット１０７をローダ部１０５に対して供
給する。以後、ステップ５０１ａ〜５０５ａの動作手順
については前記実施例と同様であるため、説明を省略す
る。

【００７２】ステップ５０６ａ及び５０７ａが前記実施
例と相違する点である。

【００７３】本実施例では仕掛けたロットについて、ど
のハンドラ本体１０３で電気特性試験を行うかを、制御
端末１０８からの作業者入力によってシステムにインプ
ットする。

【００７４】入力されたデータは、ステップ５１０ａ、
５１１ａにおいてホストコンピュータ１０９に送信さ
れ、データベース１０９ｂに一時記憶されるが、ここで
も前記実施例と異なり、データ構造として、各ロット番
号毎に使用するハンドラｉｄの属性を持つような構造体
を形成する（図１２のデータ構造（３）参照）。

【００７５】また、データベース１０９ｂ中には事前に
テスタ１０１とハンドラ本体１０３の接続関係が、図１
３に示すデータ構造（４）の形式でマスタデータとして
定義されており、ステップ５２２ａにおいて各テスタ１
０１へテストプログラム名を送信する際、ハンドラｉｄ
をキーにしてテストプログラム名とテスタを引き当て、
各々のテスタに必要なテストプログラム名を送信する。

【００７６】例えば、データ構造（３）と（４）から、
ハンドラｉｄが１１のものをキーにすると、テストプロ
グラム名の１番がテスタ１番に送信される。

【００７７】以下、ステップ５３０ａ〜５５１ａの動作
手順については前記実施例のステップ２３０ａ〜２５１
ａの動作手順と同様であるため、説明を省略する。

【００７８】図８の最終ステップ５５１ａで作業開始信
号が上げられてから、パレット１０７の各ハンドラ本体
１０３迄の配送動作手順を示したものが図９であり、前
記実施例の図３に示した手順に相当している。一部ステ
ップ５２６ｂが本実施例に特有の手順として存在し、こ
れに準じてステップ５２０ｂの処理内容が異なる。

【００７９】ステップ５２０ａでは、制御端末１０８か
ら送信された最初の被測定ロットに関する各種情報（ロ
ット番号、ロットサイズ、パレットｉｄ、ハンドラｉ
ｄ）を受信しており、ステップ５１５ｂにおいてハンド
ラ本体１０３側からの供給リクエストがある場合でも、
供給しようとするロット番号をキーにして検索されるデ
ータ構造（３）に記述されたハンドラｉｄの中に、その
ハンドラｉｄが無い場合はパレット１０７の供給を行わ
ない。

【００８０】これ以後、ＩＣ収納迄の全てのステップ
は、前記実施例と同様であるため、説明を省略する。

【００８１】以上に示したとおり、本実施例では、ステ
ップ５０６ａ、５０７ａ、５２６ｂの３ステップを設
け、更にステップ２１０ａ、２２０ａ、２２０ｂでの情
報授受において、ハンドラｉｄを加える変更（各々ステ
ップ５１０ａ、５２０ａ、５２０ｂ）を行うことによ
り、複数ロットに対する複数のテストプログラムによる
電気特性試験を実現している。

【００８２】例えば被測定ＩＣとしてＤＲＡＭを用いる
場合、容量４ＭＢｉｔの半導体装置と容量１６ＭＢｉｔ
の半導体装置は、同じパッケージ外形形状とされている
ことがあり、この場合、ハンドラ本体１０３、ローダ部
１０５、アンローダ部１０６、パレット搬送部１０４、
といった機械的な位置決め機構を内部に有するユニット
の調整無しに、テスタ１０１へ読み込ませるテストプロ
グラムをソフト的に切り換えるだけで、同じシステムを
両方に適用することができる。

【００８３】本発明の実施例によれば、従来技術に比べ
て稼働ロスを低減させることができる。

【００８４】・１ハンドラ本体当たりの取数：１６個、 ・１テスタ当たりのハンドラ数：４台、 ・ロットサイズが、２，５００を中心に±３１個の範囲
で一様に分布するとき、 従来技術における理論的稼働ロス（機械系のジャミング
等を考慮しない理論的ロス）が０．６５％であるのに対
し、本実施例では、０．１６％まで低減（０．４９％の
低減）させることができる。

【００８５】また定性的ではあるが、本実施例におい
て、構造上、テストシステムは連続でＩＣを供給できる
ため、内段取の外段取化を行うことが可能であり、上記
定量的以上の効果を上げることができる。

【００８６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
従来技術に比べて稼働ロスを低減させることができる、
という効果を奏する。その理由は、本発明においては、
ローダ機構、アンローダ機構が複数のテスタにまたがっ
て接続し、全てのパレットにＩＤ情報を付加し、パレッ
トＩＤ情報、ロット情報の全てをホストコンピュータで
制御し、パレット搬送部によりパレットの搬送等を制御
することにより、複数ロット、複数品種を仕掛けること
ができるようにしたことによる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の構成を示すブロック図であ
る。

【図２】本発明の一実施例の処理フローを説明するため
の図である。

【図３】本発明の一実施例の処理フローを説明するため
の図である。

【図４】本発明の一実施例の処理フローを説明するため
の図である。

【図５】本発明の一実施例の処理フローを説明するため
の図である。

【図６】本発明の一実施例におけるＩＣ移送用のパレッ
トを示す斜視図である。

【図７】本発明の一実施例におけるＩＣテストシステム
のテストヘッド及びテストヘッドに接続する治工具類を
示した斜視図である。

【図８】本発明の第２の実施例の処理フローを説明する
ための図である。

【図９】本発明の第２の実施例の処理フローを説明する
ための図である。

【図１０】本発明の実施例のデータベースのデータ構成
を説明するための図である。

【図１１】本発明の実施例のデータベースのデータ構成
を説明するための図である。

【図１２】本発明の実施例のデータベースのデータ構成
を説明するための図である。

【図１３】本発明の実施例のデータベースのデータ構成
を説明するための図である。

【図１４】従来のＩＣテストシステムの構成を示すブロ
ック図である。

【図１５】従来のテストシステムの動作手順を示すフロ
ーチャートである。

【図１６】従来のテストシステムの動作手順を示すフロ
ーチャートである。

【図１７】従来のテストシステムの動作手順を示すフロ
ーチャートである。

【図１８】従来のテストシステムの動作手順を示すフロ
ーチャートである。

【図１９】従来のＩＣテストシステムのテストヘッド及
びテストヘッドに接続する治具類を示した図である。

【符号の説明】

１０１、６０１ テスタ １０２、６０２ テストヘッド １０３、６０７ ハンドラ本体 １０４、６０９ パレット搬送部 １０５、６０８ ローダ部 １０６、６１０ アンローダ部 １０７、６０４ パレット １０８ 制御端末 １０９ ホストコンピュータ １０９ｂ データベース １１４ａ、ｂ、ｃ、ｄ バーコードリーダ ２０１ａ〜２５１ａ 動作手順の各ステップ ２１５ｂ〜２９９ｂ 動作手順の各ステップ ２１０ｃ〜２５０ｃ 動作手順の各ステップ ２１０ｄ〜２７５ｄ 動作手順の各ステップ ３０１ バーコード ４０１ ＩＣ ４０２ 測定用ソケット ４０３ テストボード ６０５ 工程間トレー ５０１ａ〜５５１ａ 動作手順の各ステップ ５１５ｂ〜５９９ｂ 動作手順の各ステップ ７００〜７９４ 動作手順の各ステップ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】半導体装置の電気特性試験を行うための複
   数のテスタと、 前記各テスタに接続され、前記テスタが有する複数のテ
   ストヘッドに対して半導体装置の電気的接触を図る複数
   のハンドラ機構であって、各々がユニークの認識番号を
   有するハンドラ機構と、 複数の前記ハンドラ機構を連結し、複数のロットを複数
   の前記ハンドラ機構及び複数の前記テスタに対して供給
   搬送する搬送機構と、 複数個の半導体装置を一つの単位として該搬送機構中を
   搬送する複数のパレットであって、各々がユニークな認
   識番号を有するパレットと、 前記電気特性試験の前後にある半導体装置の製造工程と
   電気特性試験を行う工程間の半導体装置の移送を行うた
   めの複数の工程間トレーと、 前記工程間トレーから前記パレットへ半導体装置を移載
   し、前記ハンドラ機構からの配送要求に基づいて、移載
   後のパレットを前記移送機構へ送り出すローダ機構と、 前記搬送機構から送られてくる、前記ハンドラ機構及び
   前記テスタによって電気特性試験の実施を完了した複数
   の半導体装置を載せた前記パレットを収納し、更に、前
   記ホストコンピュータから受理する電気特性試験結果に
   基づいて前記工程間トレーに該半導体装置を分類しなが
   ら移載するアンローダ機構と、 半導体装置毎に、電気特性試験を行う過程で関与したハ
   ンドラ認識番号、パレット認識番号及び電気特性試験結
   果情報を、前記ハンドラ機構、前記ローダ機構及びテス
   タから収集し、収集した情報を前記アンローダにアップ
   ロードするネットワーク及びホストコンピュータを備
   え、 前記ホストコンピュータは、前記複数のハンドラ機構、
   及び前記複数のテスタから前記ネートワークを介して収
   集した個別情報をパレット認識番号に基づいてロット単
   位の情報に再構築し、 前記ホストコンピュータに対し前記パレット認識番号と
   前記ロットの因果関係を定義する制御端末と、 前記パレット認識番号を読み取って前記ハンドラ機構、
   ローダ機構、アンローダ機構に伝達する認識機構と、 を有することを特徴とする半導体装置のテストシステ
   ム。
2. 【請求項２】複数のテスタがネットワーク接続されてホ
   ストコンピュータと接続し、 前記テスタは１又は複数のテストヘッドを備え、前記テ
   ストヘッドにはハンドラが接続し、 前記複数のハンドラを連結し、複数のロットを複数の前
   記ハンドラ及び複数の前記テスタに対して供給搬送する
   搬送手段と、 複数個の半導体装置を一つの単位とし前記搬送手段にて
   搬送される、ユニークな認識情報（ＩＤ）が付加された
   パレットと、 前記電気特性試験の前後にある半導体装置の製造工程と
   電気特性試験を行う工程間の半導体装置の移送を行うた
   めの工程間トレーから前記パレットへ半導体装置を移載
   し、前記ハンドラからの配送要求に基づいて、移載後の
   パレットを前記搬送手段へ送り出すローダと、 前記搬送手段から送られてくる、前記ハンドラ及び前記
   テスタによって電気特性試験の完了した複数の半導体装
   置を載せた前記パレットを収納し、前記ホストコンピュ
   ータから受理する電気特性試験結果に基づいて前記工程
   間トレーに前記半導体装置を分類しながら移載するアン
   ローダと、 を備え、 パレットＩＤ情報を認識し、該パレットＩＤ情報、ロッ
   ト情報、テスタ、ハンドラ、テストプログラムの情報を
   前記ホストコンピュータで一元管理し、 前記複数のハンドラを連結し、複数のロットを複数の前
   記ハンドラ及び複数の前記テスタに対して供給搬送する
   前記搬送手段での前記パレットの搬送を制御することに
   より、複数ロット、複数品種を仕掛けることができるよ
   うにしたことを特徴とするテストシステム。
3. 【請求項３】複数のテスタがネットワーク接続されてホ
   ストコンピュータと接続し、 前記テスタは１又は複数のテストヘッドを備え、前記テ
   ストヘッドにはハンドラが接続し、 ローダ機構、アンローダ機構が前記複数のハンドラ及び
   テスタにまたがって接続し、全てのパレットにＩＤ情報
   を付加し、パレットＩＤ情報、ロット情報、テスタ、ハ
   ンドラ、テストプログラムの情報を前記ホストコンピュ
   ータで一元管理し、 前記複数のハンドラを連結し、複数のロットを複数の前
   記ハンドラ及び複数の前記テスタに対して供給搬送する
   搬送手段での前記パレットの搬送を制御することによ
   り、複数ロット、複数品種を仕掛けることができるよう
   にしたことを特徴とするテストシステム。