JP2966020B2 - ウエハの識別装置およびウエハの並べ換え装置並びにウエハのデータ管理方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体装置の製造工程において、ウエハの
電気的特性に関する測定値等のようなデータを管理する
技術に関し、例えば、製品の特性解析、不良解析および
異物解析や歩留りの向上等に利用して有効な技術に関す
る。

〔従来の技術〕

従来のウエハのデータ管理方法として、複数のウエハ
の集合からなる識別符号付きのロットにモニタ用のウエ
ハをセットし、そのロットに所定の半導体製造処理を施
した後、前記モニタウエハに対する測定を行い、その測
定値と前記ロットの識別符号とを対応させた測定値履歴
ファイルをデータ処理装置を用いて作成することによ
り、測定値のデータ管理を行うモニタウエハのデータ管
理方法、がある。

そして、この種のモニタウエハのデータ管理方法とし
て、特開昭63−220513号公報に記載されているものがあ
る。

すなわち、このモニタウエハのデータ管理方法は、前
記モニタウエハ上に予め識別コードを付し、その識別コ
ードと前記ロットの識別符号とを対応付けた対応ファイ
ルを前記データ処理装置に記録しておき、前記モニタウ
エハに対する測定を行って、そのモニタウエハの識別コ
ードに対応する測定値を前記データ処理装置に入力し、
そのデータ処理装置により、前記対応ファイルを参照し
つつ、前記測定値履歴ファイルを作成させることを特徴
とする。

このモニタウエハの管理方法によれば、モニタウエハ
上に付された識別コードはモニタウエハと分離せず、そ
のモニタウエハを他のモニタウエハと区別し、ロットと
の対応関係を明らかにする働きをするため、多数のウエ
ハが同時に測定された場合であっても、各ウエハ単位の
測定データは後において、識別コードを基づいてロット
単位測定データとして分類し得ることになる。

また、従来のウエハの並べ換え装置としては、特開昭
62−252148号公報、および、特開昭60−201641号公報、
に記載されているものがある。

前者のウエハの並べ換え装置は、複数の記号のかかれ
たウエハが所定の順番どおりに並べられずに収納された
移載側ウエハカセットと、収納側ウエハカセットとの間
でウエハを搬送する主搬送手段と、該主搬送手段の搬送
径路上で前記ウエハの番号を読みとる読み取り手段と、
該搬送径路の途中からウエハを任意個のバッファ用ウエ
ハカセットへ搬送する副搬送手段と、前記読み取り手段
によって読みとったウエハの記号の種類によって決定さ
れたバッファ用ウエハカセットへ該ウエハを収納し移載
側ウエハカセットに収納されていたウエハをすべてバッ
ファ用ウエハカセットへ振りわけたのちにバッファ用ウ
エハカセットの内容のウエハを収納側ウエハカセットに
所定の順番に収納する収納手段とを含むことを特徴とす
る。

後者のウエハの並べ換え装置は、複数のウエハが所定
の番号どおりに並べられずに収納された第１のウエハカ
セットと、第２のウエハカセットとの間でウエハを搬送
する第１の搬送手段と、該第１の搬送手段の搬送径路上
で前記ウエハの番号を示す記号を読み取る読み取り手段
と、該搬送径路の途中からウエハを第３のウエハカセッ
トへ搬送する第２の搬送手段とを具備し、前記読み取り
手段によって読み取ったウエハの記号が示す番号が収納
すべき番号に一致した時は、該ウエハを第３のウエハカ
セットへ搬送し、一致しない時は第２のウエハカセット
へ搬送し、該第１と第２のウエハカセット間でウエハを
往復させながら該第３のカセットウエハを所定の順番に
収納するようにしたことを特徴とする。

〔発明が解決しようとする課題〕

特開昭63−220513号公報に記載されているウエハのデ
ータ管理方法においては、ウエハのデータ管理がロット
単位によって管理されることになるため、製品の特性解
析、不良解析および異物解析等のデータ管理はロット単
位による管理が限界になり、高い精度の管理を実行する
ことができないという問題がある。

また、特開昭62−252148号公報および特開昭60−2016
41号公報に記載されているウエハの並べ換え装置におい
ては、次のような問題点がある。

（１） ウエハ収納カセットが３個以上使用されるた
め、スペース効率が低く、カセットの操作回数が多くな
る。

（２） 複数ロットのロット別についての並べ換え作業
が限界であるため、ユーザの要求に対応した並べ換え作
業を実行することができない。

本発明の目的は、製品の特性、不良および異物解析、
生産等に関するデータをウエハ単位によって管理するこ
とができるウエハのデータ管理方法を提供することにあ
る。

本発明の他の目的は、カセット数を低減することがで
き、スペース効率およびカセット管理効率を向上するこ
とができるウエハの並べ換え装置を提供することにあ
る。

本発明の別の目的は、ウエハの並べ換え作業をフレキ
シブルに実行することができ、ユーザの要望に広く対応
することができるウエハの並べ換え装置を提供すること
にある。

さらに、本発明の別の目的は、ウエハの並べ換え作業
およびウエハのデータ管理方法を合理的かつ正確に実行
させることができるウエハの識別装置を提供することに
ある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろ
う。

〔課題を解決するための手段〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概
要を説明すれば、次の通りである。

ウエハの識別装置は、それぞれに識別コードが付され
たウエハが複数枚収納されている実カセットが供給され
るローダ部と、前記ウエハに付された識別コードを光学
的に読み取る読み取り装置と、前記ローダ部の実カセッ
トからウエハを１枚宛取り出して前記読み取り装置に搬
送する搬送装置とを備えており、 前記読み取り装置は、搬送された前記ウエハを照明す
る照明装置と、照明されたウエハの前記識別コードの画
像を取り込む画像取り込み装置と、取り込まれた画像信
号から前記識別コードを認識する識別コード認識装置
と、前記識別コード認識装置の認識不能信号に基づいて
前記画像取り込み装置と前記ウエハとの傾斜関係を補正
するヨーイング補正機構部と、前記識別コード認識装置
によって認識された識別コードを逐次記録する記録部と
を備えていることを特徴とする。

ウエハの並べ換え装置は、それぞれに識別コードが付
されたウエハが複数枚収納されている実カセットが供給
されるローダ部と、ウエハを１枚宛各位置に収納可能な
空カセットが供給されるアンローダ部と、前記ウエハに
付された識別コードを光学的に読み取る読み取り装置
と、前記ローダ部の実カセットからウエハを１枚宛取り
出して前記読み取り装置に搬送し、さらに、前記読み取
り装置からウエハを前記アンローダ部の空カセットに搬
送する搬送装置と、前記読み取り装置によって読み取ら
れたウエハの識別コードに基づいて前記搬送装置を操作
することにより各ウエハを前記アンローダの空カセット
における識別コードに対応した所定の位置に収納させる
コントローラとを備えており、 前記読み取り装置は、搬送された前記ウエハを照明す
る照明装置と、照明されたウエハの前記識別コードの画
像を取り込む画像取り込み装置と、取り込まれた画像信
号から前記識別コードを認識する識別コード認識装置
と、前記識別コード認識装置の認識不能信号に基づいて
前記画像取り込み装置と前記ウエハとの傾斜関係を補正
するヨーイング補正機構部とを備えていることを特徴と
する。

前記したウエハの識別装置を使用するウエハの管理方
法は、各ウエハに光学的に読み取り可能な識別コードを
それぞれ付しておき、ウエハに処理が施される前または
以後に前記ウエハに付された識別コードを前記読み取り
装置によって光学的に読み取って記録部に記録し、さら
に、データ処理装置において、各ウエハについての処理
後の検査結果データを前記記録部に記録された識別コー
ドにそれぞれ突き合わせて記録することを特徴とする。

また、前記したウエハの並べ換え装置を使用するウエ
ハの管理方法は、各ウエハに光学的に読み取り可能な識
別コードが付される工程と、 前記ウエハの並べ換え装置のローダ部に供給された実
カセットからウエハを１枚宛取り出して前記読み取り装
置に搬送し、前記ウエハに付された識別コードを前記読
み取り装置によって光学的に読み取り、読み取られたウ
エハの識別コードに基づいて前記搬送装置を操作して各
ウエハを前記アンローダの空カセットにおける識別コー
ドに対応した所定の位置に収納して規則的に並べるとと
もに、前記読み取られたウエハの識別コードを記録部に
記録する工程と、 前記カセットのウエハ収納位置を認識することによ
り、データ処理装置において、各ウエハについての処理
後の検査結果データが前記記録部に記録された識別コー
ドにそれぞれ突き合わされて記録される工程と、を備え
ていることを特徴とする。

〔作用〕

前記ウエハの識別装置によれば、各ウエハの識別コー
ドを読み取るとともに、ウエハを１枚宛取り扱うことに
より、各ウエハを個別化することができる。また、個別
化した上で、ウエハの識別コードを記録部に逐次記録す
ることにより、この各ウエハについての識別コードの記
録と、個別化したウエハに関するデータとは容易に対応
させることができるため、各ウエハのデータ管理を各ウ
エハ毎に対応させることも容易に可能である。

前記ウエハの並べ換え装置によれば、各ウエハの識別
コードを読み取るとともに、ウエハを１枚宛取り扱うこ
とにより、ウエハを個別化することができ、かつ、個別
化した上で、各ウエハを空カセットにおける所定の位置
に収納させることができるため、各ウエハとカセットの
各位置とを所望の通り対応させることができる。つま
り、ロット内における複数枚のウエハを所望の通り並べ
変えることができる。

前記ウエハのデータ管理方法によれば、各ウエハにつ
いての識別コードと、個別化されたウエハに関するデー
タとは突き合わされて記録されるため、各ウエハのデー
タ管理を各ウエハ毎に実行することができる。したがっ
て、製品の特性、不良および異物解析や生産等に関する
データをウエハ毎に管理することができ、ウエハ管理精
度を高め、生産性を高めることができる。

〔実施例１〕 第１図は本発明の一実施例であるウエハの識別装置を
示す模式図、第２図はその斜視図、第３図はその要部を
示す斜視図、第４図はその作用を説明するためのフロー
チャート図、第５図はウエハの平面図である。

第６図は本発明の一実施例であるウエハのデータ管理
方法を示す工程図、第７図はその作用を説明するための
説明図である。

本実施例において、本発明に係るウエハの識別装置11
はウエハ１の表面に付された識別コードを光学的手段に
より読み取り、当該ウエハ１を個々に識別するように構
成されている。

識別コード４はウエハ１の第１主面２におけるオリエ
ンテーションフラット３と反対側の位置に配されて、エ
ッチング加工法やレーザ刻印法等のような手段を用いら
れて数字および文字により描画されている。本実施例に
おいて、識別コード４は、ウエハ１のロット番号を表示
する識別コード（以下、ロットコードという。）５と、
当該ロット中の個々のウエハ番号を表示する識別コード
（以下、ウエハコード）６とにより構成されている。

本実施例に係るウエハの識別装置11は箱形状に形成さ
れている機枠12を備えており、この機枠12上にはローダ
部と、アンローダ部と、搬送装置としての多関節ロボッ
ト（以下、ロボットという。）と、識別コード読み取り
装置とがそれぞれ装置されている。ローダ部13は機枠12
上の前側部分における片側位置に配設されており、コン
トローラ15により制御されるエレベータ14を備えてお
り、ウエハ１が複数枚収納されている実カセット16から
エレベータ14の制御により、ウエハ１を１枚宛払い出し
得るように構成されている。アンローダ部17は機枠12上
の前側部分における他の片側位置に配設されており、コ
ントローラ19により制御されるコンベア18を備えてお
り、コンベア18上に乗せられたウエハ１をコントローラ
19の制御により１枚宛、後記する検査装置にそれぞれ送
給し得るように構成されている。

ちなみに、カセット16には多数条の保持溝（スロッ
ト）が多数段（本実施例では、25段）列設されており、
この保持溝内にウエハを挿入されることにより、複数枚
（本実施例では、１ロット分）のウエハを規則的に整列
させた状態で収納し得るようになっている。

搬送装置としてのロボット21は機枠12上の後側部分に
おける片側位置に配設され、コントローラ22により制御
されるアーム23を備えており、アーム23の先端部にはウ
エハ１を保持するためのグリップ24が装置されている。
ロボット21はコントローラ22により制御されるアーム23
の操作により、グリップ24においてローダ部13における
実カセット16からウエハ１を１枚宛取り出して識別コー
ド読み取り装置に搬送し、さらに、当該ウエハ１を識別
コード読み取り装置からアンロード部17へ搬送して、コ
ンベア18上に移載するように構成されている。

識別コード読み取り装置30は機枠12上の後側部分にお
ける他の片側位置に配設されており、当該箇所に読み取
りステージ31が設定されている。この読み取りステージ
31の片脇にはスタンド32が機枠12上に立設されており、
スタンド32には照明装置33および画像取り込み装置とし
てのテレビカメラ35が支持されている。照明装置33には
光源34が光学的に接続されており、この照明装置33によ
り光源34からの光がステージ31に向けて調光されて照射
されるようになっている。テレビカメラ35はステージ31
上において証明されたウエハ１の識別コード４を撮映す
るように構成されている。

テレビカメラ35には識別コード認識装置36が電気的に
接続されており、この識別コード認識装置36は画像処理
装置等から構成され、テレビカメラ35からの撮像信号に
基づいてウエハ１に付された識別コード４を認識し得る
ように構成されている。識別コード認識装置36は前記ロ
ボット21のコントローラ22に、後述するようなヨーイン
グ補正信号を送給し得るように構成されており、コント
ローラ22はこの信号に基づいてアーム23を操作すること
により、ヨーイング補正を実行するようになっている。
また、識別コード認識装置36にはモニタ37が接続されて
おり、このモニタ37によりテレビカメラ35の撮映状況が
モニタリングされるようになっている。

さらに、識別コード認識装置36には識別コードを逐次
記録するための記録部としてのメモリー38が接続されて
おり、このメモリー38は識別コード認識装置36により認
識された識別コード４を逐次記録するように構成されて
いる。このメモリー38はコンピュータ等から構築されて
いるデータ処理装置40に接続されており、データ処理装
置40によりメモリー38に記録されたデータが随時読み出
されるようになっている。なお、メモリー38はデータ処
理装置40側に装備してもよい。

前記構成に係るウエハの識別装置11が使用されて本発
明の一実施例であるウエハのデータ管理方法が実施され
る場合、前記構成に係るウエハの識別装置11は複数台が
用意され、第６図に示されているように、ウエハ生産ラ
インにおける各工程の検査装置に適宜配置される。

第６図において、実線はウエハ１の流れを、破線はデ
ータの送信をそれぞれ示している。また、A1、A2・・・
Anは、表面酸化工程、リソグラフィー工程、デポジッシ
ョン工程等々のような半導体装置の所謂前工程における
第１工程、第２工程・・・第Ｎ工程を示している。さら
に、1B−１、1B−２、1B−３は第１工程A1における同一
種類の第１、第２、第３製造装置、2B−１、2B−２、2B
−３は第２工程A2における同一種類の第１、第２、第３
製造装置、NB−１〜NB−４は第Ｎ工程における同一種類
の製造装置、1C−１は第１工程A1における検査装置、2C
−１、2C−２は第２工程A2における同一種類の第１、第
２検査装置、NC−１〜NC−３は第Ｎ工程における同一種
類の検査装置をそれぞれ示している。

また、1D−１は第１工程A1に、2D−１、2D−２は第２
工程に、ND−１、ND−２、ND−３、は第Ｎ工程にそれぞ
れ配設されている各ウエハの識別装置11を示しており、
各ウエハの識別装置は各検査装置にそれぞれ組み合わさ
れ、各検査装置へウエハ１が投入される直前にウエハ１
の識別コード４を読み取って、個々のウエハ１を識別す
るとともに、メモリー38に識別コード４を逐次記録し、
当該記録した識別コード４をデータ処理装置40に随時送
信し得るようになっている。

次に、前記構成に係るウエハの識別装置11の作用、お
よびこのウエハの識別装置が使用される場合の本発明の
一実施例であるウエハのデータ管理方法を説明する。

第６図に示されているように、生産ラインに投入され
る前に、識別コード付およびカセットへのロット詰め工
程A0において、各ウエハ１にはロットコード５およびウ
エハコード６から成る識別コード４がエッチング加工や
レーザ加工等のような適当な手段によりそれぞれ付けら
れる。そして、各ウエハ１はロットコード５毎にカセッ
トにそれぞれ収納される。

ロット毎に所定枚数のウエハ１が収納されたカセット
群は第１工程A1に投入され、第１〜第３製造装置1B−１
〜1B−３に適宜分配される。そして、同種の作業を同時
進行的に実施する同一種類の製造装置が複数台使用され
ることにより、他の工程A2〜Anに対し作業時間が適宜調
和されることになる。

各製造装置1B−１、1B−２、1B−３においてウエハ１
は各カセットから取り出される。各製造装置による第１
工程A1における処理が各ウハ１に施されると、各ウエハ
１は当該ロット毎に所定のカセットに再び収納される。

処理済みのウエハ１群が収納された実カセット16は、
各製造装置1B−１、1B−２、1B−３から第１工程A1にお
けるウエハの識別装置1D−１へ順次送られる。このウエ
ハの識別装置1D−１において、次に述べる作用により、
各ウエハ１は識別コード４をそれぞれ読み取られてメモ
リー38に記録されるとともに、このウエハの識別装置1D
−１に組み合わせられている検査装置に１枚宛供給され
て所定の検査を実施される。

すなわち、ウエハの識別装置11において、実カセット
16はローダ部13のエレベータ14上に順次供給される。エ
レベータ14上に実カセット16が供給されると、ロボット
21はアーム23の操作によって実カセット16内のウエハ１
を１枚宛、グリップ24により保持して実カセット16内か
ら取り出し、読み取り装置30のステージ31に順次供給す
る。

読み取りステージ31において、第３図に示されている
ように、ウエハ１はロボット21のアーム23およびグリッ
プ24により水平に支持されるとともに、読み取り装置30
の照明装置33およびテレビカメラ35に正対される。

ウエハ１がテレビカメラ35に正対されると、第４図に
示されているようなフローチャートにより、読み取り装
置30において識別コード４の読み取り作業が実行され
る。

ここで、識別コード認識装置36における認識が不能で
あった場合、ヨーイング補正信号がロボット21のコント
ローラ22に送られる。ロボットのコントローラ22はこの
補正信号に基づいて、アーム23を操作することにより、
ウエハ１のテレビカメラ35に対する傾斜角θを所定の方
向へ変更調整する。このヨーイング補正作動が識別コー
ド認識装置36による識別コード４の認識が実行されるま
で繰り返されることにより、識別コード４についての適
正な認識が確保される。

このようにして読み取られた識別コード４は、識別コ
ード認識装置36に接続されているメモリー38に記録され
る。なお、テレビカメラ35による映像はモニタ37に映し
出され、作業者によって必要に応じて監視される。

そして、識別コード４を読み取られると、ウエハ１は
ロボット21によりアンローダ部17に敷設されているコン
ベア18上に搬送されて移載される。コンベア18に移載さ
れたウエハ１はこのコンベア18により、これに接続され
ている検査装置1C−１に搬送される。

検査装置1C−１において、各ウエハ１は製造装置1B−
１〜1B−３によって施された処理について、例えば、膜
厚測定等のような検査を実施される。この検査装置によ
る検査結果データはデータ処理装置40に逐次送信され
る。

第１工程A1における検査を終えたウエハ１は不良品を
除き、ロット毎に実カセットに収納され、第２工程A2へ
送られる。

以降、前述した手順により、ウエハ１は第２工程A2、
第３工程・・・第Ｎ工程Anにおいて、所定の処理、識別
コード読み取り作業および検査をそれぞれ実施されるこ
とにより、工程が完了される。

そして、本実施例に係るウエハのデータ管理方法にお
いては、各工程におけるウエハの識別装置1D−１、2D−
１、2D−２およびND−１、ND−２、ND−３によって識別
された各ウエハ１毎の識別コード４と、各工程における
検査装置1C−１、2C−１、2C−２、およびNC−１、NC−
２、NC−３によって得られた各ウエハ１毎の検査結果デ
ータとによって、第７図に示されているようなデータフ
ァイルがデータ処理装置40において仮想的に作成され
る。

次に、このデータファイルの作成手順を簡単に 説明する。

第１工程A1におけるウエハの識別装置1D−１によって
ウエハ１の識別コード４が読み取られて、メモリー38に
逐次記録されると、データ処理装置40は当該メモリー38
から当該ウエハ１のロットコード５およびウエハコード
６を読み出し、データファイルに記録する。

ウエハの識別装置1D−１によって識別コード４を読み
取られたウエハ１は直ちに検査装置1C−１に送られるた
め、データ処理装置40は検査装置1C−１から送信されて
来る検査結果データを、今、ウエハの識別装置1D−１か
ら読み出したウエハ１のロットコード５およびウエハコ
ード６に突き合わせて、データファイルにおける検査結
果の欄に記録する。

そして、第１工程A1について各ウエハおよび、各ロッ
ト毎に前記作動が繰り返されることにより、第１工程A1
についてのデータファイルが作成される。

以降、第２工程A2、第３工程・・・第Ｎ工程Anについ
てのデータファイルが順次作成されて行き、全ロットお
よび全ウエハについてのデータが各ウエハ毎に整理され
てファイルされることになる。但し、ある工程で不良品
ウエハが発生してロットから除かれた場合には、当該ウ
エハについての当該工程以降のデータは、当然のことな
がら作成されないことになる。

このようにして、全ロットおよび全ウエハについて識
別コード４が全て読み出されてデータファイルに記録さ
れるため、この識別コード４に関する記録を利用するこ
とにより、前述したウエハの識別装置11における識別コ
ード読み取り装置30による読み取り精度を高めることが
できる。

例えば、第２工程A2のウエハの識別装置2D−１におけ
る識別コード読み取り装置30が現在読み取った識別コー
ド４は、第１工程A1のデータファイルの中に存在するか
否かを、データ処理装置40が照合することにより、現在
読み取り中の識別コード４の正誤は判定することができ
る。すなわち、現在読み取り中の識別コード４がデータ
ファイル中に存在すれば、当該読み取りは正しく、存在
しなければ、当該読み取りは誤りである。誤りである場
合には、前述したヨーイング補正機能が作動されること
になる。もしくは、単純に再認識処理を実行する。ま
た、オペレータによる目視認識結果を、入力することに
なる。

以上のようにして作成されたデータファイルは、ウエ
ハの特性解析、不良解析および異物解析や、生産管理等
に適宜利用される。この場合、このデータファイルには
各ウエハ毎にデータが整理されているため、ウエハ毎の
解析が可能になり、解析の精度はきわめて高められるこ
とになる。

前記実施例によれば次の効果が得られる。

（１） 各ウエハに識別コードをそれぞれ付しておき、
ウエハに処理が施される前または以後に、各ウエハの識
別コードを読み取って記録部に記録するとともに、各ウ
エハについての処理後の検査結果データを前記記録部に
記録された識別コードにそれぞれ突き合わせて記録する
ことにより、各ウエハ毎に検査結果データを整理したデ
ータファイルを仮想的に作成することができるため、ウ
エハの特性解析、不良解析、異物解析およびデータ管理
等を各ウエハ毎に実行することができ、その解析および
管理等についての精度を高めることができる。

（２） 各ウエハに識別コードをそれぞれ付しておき、
各ウエハの識別コードを光学的に読み取って記録部に記
録することにより、この識別コードと各ウエハに関する
検査結果データを突き合わせて記録することができるた
め、各ウエハ毎に検査結果データをファイリングするの
を実現することができる。

（３） ウエハの識別装置にヨーイング機能を設けるこ
とにより、識別コードの読み取り精度を大幅に高めるこ
とができるため、読み取りの誤りによるデータファイル
の不備の発生を未然に防止することができる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき
具体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。

例えば、ヨーイング補正機構部は、第８図、第９図お
よび第10図に示されているように構成してもよい。

まず、第８図に示されているヨーイング補正機構部50
は、読み取りステージ31にそれぞれ設備されているスト
ッパ51およびウエハ支持具52と、ウエハ支持具52を上下
動させる送りねじ機構53と、この送りねじ機構53を操作
するサーボモータ54と、ヨーイング補正コントローラ55
とを備えている。

そして、ウエハ１はストッパ51に一端辺を突き当てら
れた状態で、支持具52の上に支持される。ヨーイング補
正が実行される際、コントローラ55の指令によってサー
ボモータ54が作動されて、送りねじ機構53により支持具
52が適宜上昇または下降される。この支持具52の動きに
より、ウエハ１がストッパ51を中心にして上下方向に回
動されるため、テレビカメラに対する傾斜角度が変更調
整されることになる。

また、第９図に示されているヨーイング補正機構部60
は、読み取り装置30における照明装置33およびテレビカ
メラ35がスタンド32の代わりに、ロボット61のアーム62
により支持されており、このロボット61がヨーイング補
正コントローラ63により制御されるようになっている。

そして、ウエハ１は搬送用ロボット21のアーム23によ
り読み取りステージ31に供給されて水平に保持される。
この状態で、ヨーイング補正が実行される際、コントロ
ーラ63の指令によってロボット61のアーム62が動かされ
ることにより、テレビカメラ35が傾斜角度が変更調整さ
れる。この傾斜角度の変更調整により、テレビカメラ35
とウエハ１との関係が相対的にヨーイング補正されるこ
とになる。

第10図（ａ）、（ｂ）に示されているヨーイング補正
機構部70は、スタンド32に傾斜可能に支持されていると
ともに、照明装置33およびテレビカメラ35を支持してい
るヨーイング補正具71と、この補正具71を傾斜させる傾
斜機構72と、この傾斜機構72を操作するサーボモータ73
と、サーボモータ73を制御するヨーイング補正コントロ
ーラ74とを備えている。

そして、ウエハ１は搬送用ロボット21のアーム23によ
り読み取りステージ31に供給されて水平に保持される。
ヨーイング補正が実行される際、コントローラ74の指令
によってサーボモータ73が作動されて傾斜機構73が操作
され、もって、ヨーイング補正具71が傾斜される。この
傾斜により、これに支持されているテレビカメラ35が傾
斜され、テレビカメラ35とウエハ１との関係が相対的に
ヨーイング補正されることになる。

〔実施例２〕 第11図は本発明の一実施例であるウエハの並べ換え装
置を示す模式図、第12図はその斜視図、第13図はその要
部を示す斜視図、第14図はその作用を説明するためのフ
ローチャート図である。

第15図は本発明の実施例２であるウエハのデータ管理
方法を示す工程図、第16図はその作用を説明するための
説明図である。

本実施例において、本発明に係るウエハの並べ換え装
置41はウエハ１の表面に付された識別コードを光学的手
段により読み取り、当該ウエハ１を個々に識別するとと
もに、空カセットにおける所定のスロットにそれぞれ収
納し得るように構成されている。

前記実施例１と同様、識別コード４はウエハ１の第１
主面２におけるオリエンテーションフラット３と反対側
の位置に配されて、エッチング加工法やレーザ刻印法等
のような手段を用いられて数字および文字により描画さ
れている。本実施例においても、識別コード４は、ウエ
ハ１のロット番号を表示する識別コード（以下、ロット
コードという。）５と、当該ロット中の個々のウエハ番
号を表示する識別コード（以下、ウエハコード）６とに
より構成されている。

本実施例に係るウエハの並べ換え装置41も前記実施例
に係るウエハの識別装置11と同様に、箱形状に形成され
ている機枠12を備えており、機枠12上にはローダ部13
と、アンローダ部25と、搬送装置としての多関節ロボッ
ト（以下、ロボットという。）21と、識別コード読み取
り装置30とがそれぞれ装置されている。

そして、このウエハの並べ換え装置41が前記ウエハの
識別装置11と異なる点は、アンローダ部25の構成にあ
る。すなわち、アンローダ部25はコントローラ27により
制御されるエレベータ26を備えており、エレベータ26上
に載置される空カセット28へエレベータ14の制御によ
り、ウエハ１を１枚宛所定位置のスロットに収納させて
行けるように構成されている。

ちなみに、第13図に示されているように、空カセット
28には多数条の保持溝（以下、スロットという。）S1〜
Snが多数段（本実施例では、25段）列設されており、こ
の各スロットS1〜Sn内にウエハ１がそれぞれ挿入される
ことにより、複数枚（本実施例では、１ロット分）のウ
エハを規則的に整列させた状態で収納し得るようになっ
ている。

なお、このウエハの並べ換え装置41におけるローダ部
13、ロボット21および識別コード読み取り装置30の構成
は、前記ウエハの識別装置11におけるそれらと同様であ
るので、説明は省略する。

前記構成に係るウエハの並べ換え装置41が使用されて
本発明の実施例２であるウエハのデータ管理方法が実施
される場合、前記構成に係るウエハの並べ換え装置41は
１台または複数台が用意されるが、ここでは複数台が用
意される場合につき説明する。そして、複数台のウエハ
の並べ換え装置41は、第15図に示されているように、ウ
エハ生産ラインにおける各工程に適宜配置される。

第15図において、実線矢印はウエハ１の流れを、破線
矢印はデータの送信をそれぞれ示している。また、A1、
A2・・・Anは、表面酸化工程、リソグラフィー工程、デ
ポジッション工程等々のような半導体装置の所謂前工程
における第１工程、第２工程・・・第Ｎ工程を示してい
る。さらに、1B−１、1B−２、1B−３は第１工程A1にお
ける同一種類の第１、第２、第３製造装置、2B−１、2B
−２、2B−３は第２工程A2における同一種類の第１、第
２、第３製造装置、NB−１〜NB−４は第Ｎ工程における
同一種類の製造装置、1C−１は第１工程A1における検査
装置、2C−１、2C−２は第２工程A2における同一種類の
第１、第２検査装置、NC−１〜NC−３は第Ｎ工程におけ
る同一種類の検査装置をそれぞれ示している。

また、1Eは第１工程A1に、2Eは第２工程に、NEは第Ｎ
工程にそれぞれ配設されている各ウエハの並べ換え装置
41を示しており、各ウエハの並べ換え装置1E〜NEは各工
程へウエハ１が投入される直前にウエハ１の識別コード
４を読み取って、個々のウエハ１を識別するとともに、
メモリー38に識別コード４を逐次記録し、当該記録した
識別コード４をデータ処理装置42に随時送信し得るよう
になっている。

次に、前記の構成に係るウエハの並べ換え装置41の作
用、および、このウエハの並べ換え装置が使用される場
合の本発明の実施例２であるウエハのデータ管理方法を
説明する。

第15図に示されているように、生産ラインに投入され
る前に、識別コード付およびカセットへのロット詰め工
程A0において、各ウエハ１にはロットコード５およびウ
エハコード６から成る識別コード４がエッチング加工法
やレーザ刻印法等のような適当な手段を用いられてそれ
ぞれ付けられる。そして、各ウエハ１はロットコード５
毎にカセットにそれぞれ収納される。

ロット毎に所定枚数のウエハ１が収納されたカセット
群は第１工程A1に投入され、第１〜第３製造装置1B−１
〜1B−３に適宜分配される。そして、同種の作業を同時
進行的に実施する同一種類の製造装置が複数台使用され
ることにより、他の工程A2〜An相互間で作業時間が適宜
調和されることになる。

各製造装置1B−１、1B−２、1B−３においてウエハ１
は各カセットから取り出される。各製造装置による第１
工程A1における処理が各ウエハ１に施されると、各ウエ
ハ１は当該ロット毎に所定のカセットに再び収納され
る。

処理済みのウエハ１群が収納された実カセット16は、
各製造装置1B−１、1B−２、1B−３から第１工程A1にお
けるウエハの並べ換え装置1Eへ順次送られる。このウエ
ハの並べ換え装置1Eにおいて、次に述べる作用により、
各ウエハ１は識別コード４をそれぞれ読み取られてメモ
リー38に記録されるとともに、このウエハの並べ換え装
置1Eに供給されている空カセット28に、そのウエハコー
ド６の番号順に並べられて所定のスロットS1〜Snに挿入
されることにより並べ換えられる。

すなわち、ウエハの並べ換え装置41において、実カセ
ット16はローダ部13のエレベータ14上に順次供給され
る。エレベータ14上に実カセット16が供給されると、ロ
ボット21はアーム23の操作によって実カセット16内のウ
エハ１を１枚宛、グリップ24により保持して実カセット
16内から取り出し、読み取り装置30のステージ31に順次
供給する。

読み取りステージ31において、第11図に示されている
ように、ウエハ１はロボット21のアーム23およびグリッ
プ24により水平に支持されるとともに、読み取り装置30
の照明装置33およびテレビカメラ35に正対される。

ウエハ１がテレビカメラ35に正対されると、第14図に
示されているようなフローチャートにより、読み取り装
置30において識別コード４の読み取り作業が実行され
る。

ここで、識別コード認識装置36における認識が不能で
あった場合、ヨーイング補正信号がロボット21のコント
ローラ22に送られる。ロボットのコントローラ22はこの
補正信号に基づいて、アーム23を操作することにより、
ウエハ１のテレビカメラ35に対する傾斜角θを所定の方
向へ変更調整する。このヨーイング補正動作が識別コー
ド認識装置36による識別コード４の認識が実行されるま
で繰り返されることにより、識別コード４適正な認識が
確保される。

このようにして読み取られた識別コード４は、識別コ
ード認識装置36に接続されているメモリー38に記録され
る。なお、テレビカメラ35による映像はモニタ37に映し
出され、作業者によって必要に応じて監視される。

そして、識別コード４を読み取られると、ウエハ１は
ロボット21によりアンローダ部25に搬送されて、第13図
に示されているように、アンローダ部25のエレベータ26
上に供給されている空カセット28における所定のスロッ
トS1〜Snに挿入される。

今、例えば、識別コード読み取り装置30によって読み
取られた識別コード４のウエハコード６の番号が、No.
1、であった場合、アンローダ部25のコントローラ27の
指令によりエレベータ26が１ピッチ送られ、空カセット
28における第１スロットS1が挿入作動位置29にセットさ
れる。そして、第１スロットS1が挿入作動位置にセット
されると、ロボット21により搬送されて来たウエハコー
ドNo.1のウエハ１がこの第１スロットS1に挿入される。

次に、識別コード読み取り装置30によって読み取られ
た識別コード４のウエハコード６の番号が、No.3、であ
った場合、アンローダ部25のコントローラ27の指令によ
りエレベータ26がさらに２ピッチ送られ、空カセット28
における第３スロットS3が挿入作動位置29にセットされ
る。続いて、ロボット21により搬送されて来たウエハコ
ードNo.3のウエハ１が、この第３スロットS3に挿入され
る。

次に、識別コード読み取り装置30によって読み取られ
た識別コード４のウエハコード６の番号が、No.2であっ
た場合、アンローダ部25のコントローラ27の指令により
エレベータ26が１ピッチ戻されるように送られ、空カセ
ット28における第２スロットS2が挿入作動位置29にセッ
トされる。続いて、ロボット21により搬送されて来たウ
エハコードNo.2のウエハ１が、この第２スロットS2に挿
入される。

このような作動が繰り返されることにより、ロットコ
ード５の番号が共通のウエハ１群がアンローダ部25の空
カセット28内へ、各ウエハコード６による順番に従っ
て、スロット番号通りに並べられて収容されることにな
る。つまり、第１スロットS1にはウエハコードNo.1のウ
エハが、第２スロットS2にはウエハコードNo.2のウエハ
が、第ＮスロットSnにはウエハコードNo.nのウエハがそ
れぞれ挿入されている。

このようにして、ウエハコード番号とスロット番号と
が揃えられている状態で、１ロット分のウエハが収納さ
れた実カセットは、第１工程A1における検査装置1C−１
に搬送される。

検査装置1C−１において、各ウエハ１は製造装置1B−
１〜1B−３によって施された処理について、例えば、膜
厚測定等のような検査を実施される。この検査装置によ
る検査結果データはデータ処理装置42に逐次送信され
る。このとき、カセット28内の各ウエハ１はカセット28
におけるスロットS1〜Snの番号順に従って順４次取り出
されて、検査を逐次実施される。

第１工程A1における検査を終えたウエハ１は不良品を
除き、ロット毎に実カセットに収納され、第２工程A2へ
送られる。

以降、前述した手順により、ウエハ１は第２工程A2、
第３工程・・・第Ｎ工程Anにおいて、所定の処理、識別
コード読み取り作業および検査をそれぞれ実施されるこ
とにより、工程が完了される。

そして、本実施例に係るウエハのデータ管理方法にお
いては、各工程におけるウエハの並べ換え装置1E、2Eお
よびNEによって識別された各ウエハ１毎の識別コード４
と、各工程における検査装置1C−１、2C−１、2C−２、
およびNC−１、NC−２、NC−３によって得られた各ウエ
ハ１毎の検査結果データとによって、第16図に示されて
いるようなデータファイルがデータ処理装置40において
仮想的に作成される。

次に、このデータファイルの作成手順を簡単に説明す
る。

第１工程A1におけるウエハの識別装置1Eによってウエ
ハ１の識別コード４が読み取られて、メモリー38に逐次
記録されると、データ処理装置42は当該メモリー38から
当該ウエハ１のロットコード５およびウエハコード６を
読み出し、データファイルに記録する。

ウエハの並べ換え装置1Eによって識別コード４を読み
取られたウエハ１は、ウエハコード番号とカセット28の
スロット番号とが揃えられた状態で、検査装置1C−１に
送られるため、データ処理装置42は検査装置1C−１から
送信されて来る検査結果データを、その検査装置1C−１
においてウエハが取り出される順番であるカセット28の
スロット番号順に突き合わせて、データファイルにおけ
る検査結果の欄に逐次記録する。

そして、第１工程A1について各ウエハ、および、各ロ
ット毎に前記作動が繰り返されることにより、第１工程
A1についての全ウエハのデータファイルが作成される。

以降、第２工程A2、第３工程・・・第Ｎ工程Anについ
てのデータファイルが順次作成されて行き、全ロットお
よび全ウエハについてのデータが各ウエハ毎に整理され
てファイルされることになる。但し、ある工程で不良品
ウエハが発生してロットから除かれた場合には、当該ウ
エハについての当該工程以降のデータは、当然のことな
がら作成されないことになる。

このようにして、全ロットおよび全ウエハについて識
別コード４が全て読み出されてデータファイルに記録さ
れるため、この識別コード４に関する記録を利用するこ
とにより、前述したウエハの識別装置11と同様、このウ
エハの並べ換え装置41における識別コード読み取り装置
30による読み取り精度を高めることができる。

例えば、第２工程A2のウエハの並べ換え装置2Eにおけ
る識別コード読み取り装置30が現在読み取った識別コー
ド４は、第１工程A1のデータファイルの中に存在するか
否かを、データ処理装置42が照合することにより、現在
読み取り中の識別コード４の正誤は判定することができ
る。すなわち、現在読み取り中の識別コード４がデータ
ファイル中に存在すれば、当該読み取りは正しく、存在
しなければ、当該読み取りは誤りである。誤りである場
合には、前記実施例１と同様に、ヨーイング補正機能が
作動されることになる。もしくは、単純に再認識処理を
実行する。また、オペレータによる目視認識結果を、入
力することになる。

以上のようにして作成されたデータファイルは、ウエ
ハの特性解析、不良解析および異物解析や、生産管理等
に適宜利用される。この場合、このデータファイルは各
ウエハ毎にデータが整理されているため、ウエハ毎の解
析が可能になり、解析の精度はきわめて高められること
になる。

本実施例２によれば、前記実施例１の効果に加えて、
次のような効果が得られる。

（１） ウエハ群の空カセットへの収納時に、ウエハコ
ード番号とカセットのスロット番号とが揃うように並べ
換えられることにより、各ウエハと、各ウエハの検査結
果データとがカセットのスロット番号を介して突き合わ
されることになるため、各検査装置毎にウエハの識別装
置をそれぞれ組み合わせなくて済み、ウエハの並べ換え
装置の共用により設備費の増大化を抑制することができ
る。

（２） ウエハの並べ換え装置におけるカセットの設置
箇所は２箇所であるため、カセット数を低減することが
でき、スペース効率およびカセット管理効率を向上させ
ることができる。

（３） このウエハの並べ換え装置は汎用性に富み、ウ
エハの並べ換え作業をフレキシブルに実行することがで
きる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例２に基づ
き具体的に説明したが、本発明は前記実施例２に限定さ
れるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変
更可能であることはいうまでもない。

例えば、ウエハの並べ換え装置は、前記ウエハのデー
タ管理方法に使用するに限らず、ロット内におけるウエ
ハ群につての分割作業や、異なるロットのウエハ同士の
混合作業等にも使用することができる。

今、１ロット内のウエハ群をNo.1〜No.12と、No.13〜
No.25とに２分割する方法につき、第11図を利用して簡
単に説明する。

ロボット21により実カセット16から取り出されたウエ
ハ１のウエハコード６の番号が、識別コード読み取り装
置30によって、No.1、と読み取られた場合、このNo.1の
ウエハ１はロボット21によりアンローダ部25に搬送され
て、そこの空カセット28における所定のスロットに挿入
される。

続くウエハ１におけるウエハコード６の番号が、No.1
3と読み取られた場合、このNo.13のウエハ１はロボット
21によりローダ部13に搬送されて、そこのカセット16に
おける所定のスロットに挿入される。

以降、前記作動が繰り換えされることにより、１ロッ
ト内のウエハ群がNo.1〜No.2、No.13〜No.25との２グル
ープに、アンローダ部25のカセット28と、ローダ部13の
カセット16とによって分割されることになる。

〔発明の効果〕

本願において開示される発明のうち代表的なものによ
って得られる効果を簡単に説明すれば、次の通りであ
る。

各ウエハに識別コードをそれぞれ付しておき、ウエハ
に処理が施される前または以後に、各ウエハの識別コー
ドを読み取って記録部に記録するとともに、各ウエハに
ついての処理後の検査結果データを前記記録部に記録さ
れた識別コードにそれぞれ突き合わせて記録することに
より、各ウエハ毎に検査結果データを整理したデータフ
ァイルを仮想的に作成することができるため、ウエハの
特性解析、不良解析、異物解析およびデータ管理等を各
ウエハ毎に実行することができ、その解析および管理等
についての精度を高めることができる。

ウエハ群の空カセットへの収納時に、ウエハコード番
号とカセットのスロット番号とが揃うように並べ換える
ことにより、各ウエハと、各ウエハの検査結果データと
をカセットのスロット番号を介して突き合わせることが
できるため、各検査装置毎にウエハの識別装置をそれぞ
れ組み合わせなくて済み、ウエハの並べ換え装置を共用
化することにより、設備費の増大化を抑制することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例であるウエハの識別装置を示
す模式図、 第２図はその斜視図、 第３図はその要部を示す斜視図、 第４図はその作用を説明するためのフローチャート図、 第５図はウエハの平面図である。 第６図は本発明の一実施例であるウエハのデータ管理方
法を示す工程図、 第７図はその作用を説明するための説明図である。 第８図はヨーイング補正機構部の第２実施例を示す斜視
図、 第９図はヨーイング補正機構部の第３実施例を示す斜視
図、 第10図（ａ）、（ｂ）はヨーイング補正機構部の第４実
施例を示す側面図および背面図である。 第11図は本発明の一実施例であるウエハの並べ換え装置
を示す模式図、 第12図はその斜視図、 第13図はその要部を示す斜視図、 第14図はその作用を説明するためのフローチャート図で
ある。 第15図は本発明の実施例２であるウエハのデータ管理方
法を示す工程図、 第16図はその作用を説明するための説明図である。 １……ウエハ、２……第１主面、３……オリエンテーシ
ョンフラット、４……識別コード、５……ロットコー
ド、６……ウエハコード、11……ウエハの識別装置、12
……機枠、13……ローダ部、14……エレベータ、15……
コントローラ、16……実カセット、17……アンローダ
部、18……コンベア、19……コントローラ、21……ロボ
ット、22……コントローラ、23……アーム、24……グリ
ップ、25……アンローダ部、26……エレベータ、27……
コントローラ、28……空カセット、29……挿入作動位
置、30……識別コード読み取り装置、31……読み取りス
テージ、32……スタンド、33……照明装置、34……光
源、35……テレビカメラ、36……識別コード認識装置、
37……モニタ、38……メモリー、40……データ処理装
置、41……ウエハの並べ換え装置、42……データ処理装
置、A1……第１工程、A2……第２工程、An……第Ｎ工
程、1B−１〜ND−３……製造装置、1C−１〜NC−３……
検査装置、1D−１〜ND−３……ウエハの識別装置、1E〜
NE……ウエハの並べ換え装置。

フロントページの続き (72)発明者 村松 公夫 群馬県高崎市西横手町111番地 株式会 社日立製作所高崎工場内 (72)発明者 塚越 雅樹 群馬県高崎市西横手町111番地 株式会 社日立製作所高崎工場内 (72)発明者 山田 精一 群馬県高崎市西横手町111番地 株式会 社日立製作所高崎工場内 (72)発明者 大山 裕一 群馬県高崎市西横手町111番地 株式会 社日立製作所高崎工場内 (72)発明者 有賀 誠 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株式会社日立製作所生産技術研究所内 (56)参考文献 特開 平１−251606（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−299108（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−90838（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) H01L 21/68 H01L 21/02

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】それぞれに識別コードが付されたウエハが
   複数枚収納されている実カセットが供給されるローダ部
   と、前記ウエハに付された識別コードを光学的に読み取
   る読み取り装置と、前記ローダ部の実カセットからウエ
   ハを１枚宛取り出して前記読み取り装置に搬送する搬送
   装置とを備えており、 前記読み取り装置は、搬送された前記ウエハを照明する
   照明装置と、照明されたウエハの前記識別コードの画像
   を取り込む画像取り込み装置と、取り込まれた画像信号
   から前記識別コードを認識する識別コード認識装置と、
   前記識別コード認識装置の認識不能信号に基づいて前記
   画像取り込み装置と前記ウエハとの傾斜関係を補正する
   ヨーイング補正機構部と、前記識別コード認識装置によ
   って認識された識別コードを逐次記録する記録部とを備
   えていることを特徴とするウエハの識別装置。
2. 【請求項２】それぞれに識別コードが付されたウエハが
   複数枚収納されている実カセットが供給されるローダ部
   と、ウエハを１枚宛各位置に収納可能な空カセットが供
   給されるアンローダ部と、前記ウエハに付された識別コ
   ードを光学的に読み取る読み取り装置と、前記ローダ部
   の実カセットからウエハを１枚宛取り出して前記読み取
   り装置に搬送し、さらに、前記読み取り装置からウエハ
   を前記アンローダ部の空カセットに搬送する搬送装置
   と、前記読み取り装置によって読み取られたウエハの識
   別コードに基づいて前記搬送装置を操作することにより
   各ウエハを前記アンローダの空カセットにおける識別コ
   ードに対応した所定の位置に収納させるコントローラと
   を備えており、 前記読み取り装置は、搬送された前記ウエハを照明する
   照明装置と、照明されたウエハの前記識別コードの画像
   を取り込む画像取り込み装置と、取り込まれた画像信号
   から前記識別コードを認識する識別コード認識装置と、
   前記識別コード認識装置の認識不能信号に基づいて前記
   画像取り込み装置と前記ウエハとの傾斜関係を補正する
   ヨーイング補正機構部とを備えていることを特徴とする
   ウエハの並べ換え装置。
3. 【請求項３】特許請求の範囲第１項記載のウエハの識別
   装置を使用するウエハの管理方法であって、 各ウエハに光学的に読み取り可能な識別コードをそれぞ
   れ付しておき、ウエハに処理が施される前または以後に
   前記ウエハに付された識別コードを前記読み取り装置に
   よって光学的に読み取って記録部に記録し、さらに、デ
   ータ処理装置において、各ウエハについての処理後の検
   査結果データを前記記録部に記録された識別コードにそ
   れぞれ突き合わせて記録することを特徴とするウエハの
   データ管理方法。
4. 【請求項４】特許請求の範囲第２項記載のウエハの並べ
   換え装置を使用するウエハの管理方法であって、 各ウエハに光学的に読み取り可能な識別コードが付され
   る工程と、 前記ウエハの並べ換え装置のローダ部に供給された実カ
   セットからウエハを１枚宛取り出して前記読み取り装置
   に搬送し、前記ウエハに付された識別コードを前記読み
   取り装置によって光学的に読み取り、読み取られたウエ
   ハの識別コードに基づいて前記搬送装置を操作して各ウ
   エハを前記アンローダの空カセットにおける識別コード
   に対応した所定の位置に収納して規則的に並べるととも
   に、前記読み取られたウエハの識別コードを記録部に記
   録する工程と、 前記カセットのウエハ収納位置を認識することにより、
   データ処理装置において、各ウエハについての処理後の
   検査結果データが前記記録部に記録された識別コードに
   それぞれ突き合わされて記録される工程と、を備えてい
   ることを特徴とするウエハのデータ管理方法。
5. 【請求項５】前記読み取り装置によって識別コードが読
   み取られる際に、前記データ処理装置において、過去に
   記録されている識別コードと現在読み取っている識別コ
   ードとが照合されることにより、読み取り精度が高めら
   れることを特徴とする特許請求の範囲第３項または第４
   項記載のウエハのデータ管理方法。