JPH06309435A - パターン認識方法および装置並びにそれが使用されたパターン読取装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 辞書パターンの作成管理を容易にし、パター
ン認識を高速化する。 【構成】 辞書パターンとして標準パターン５１、５
２、５３・・・が予め登録されたメモリー４１と、各標
準パターンの画素がずらされて変形パターン５１ａ、５
１ｂ・・・が生成される変形パターン生成手段４３とを
備え、標準パターン５１と被認識パターン５０とが不一
致であった場合に、変形パターン生成手段４３において
生成された変形パターン５１ａ、５１ｂ・・・と、被認
識パターン５０とが照合されて被認識パターン５０が認
識される。 【効果】 メモリー４１に登録された標準パターン５
１、５２、５３・・・を変形して、多種多様に変形した
被認識パターン５０を全て認識できるため、メモリー４
１に登録しておくパターンの数を低減でき、辞書パター
ンの作成管理を簡単化でき、パターン認識時間を短縮で
きる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、パターン認識技術、特
に、被認識パターンと辞書パターンとを照合することに
より被認識パターンを認識するパターン認識技術に関
し、例えば、半導体装置の製造工程において、半導体ウ
エハ（以下、ウエハという。）に表示された識別コード
を読み取るパターン読取技術に利用して有効なものに関
する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工程において、生産管理やデ
ータ管理のためにウエハに各ウエハ固有の識別コード
（以下、単に、コードということがある。）を表示し、
必要に応じてこのコードを読み取ることが行われてい
る。このウエハに表示されるコードは、英文字および数
字の組み合わせによって構成されており、また、リソグ
ラフィー処理およびエッチング処理によってウエハの主
面に形成された凹凸から成るパターンにより構成されて
いる。

【０００３】このように構成されているウエハのコード
を読み取るコード読取装置としては、コードを構成する
各パターンを撮像する撮像装置と、数字や英字が辞書パ
ターンとして予め登録されているメモリーとを備えてお
り、撮像装置によって撮像されたパターンと、メモリー
に登録された辞書パターンとを照合することによって撮
像パターンを認識し、撮像装置によって撮像されたパタ
ーンを順次読み取って行くパターン読取装置、が一般に
使用されている。

【０００４】なお、光学検査技術を述べてある例として
は、株式会社工業調査会発行「電子材料１９８７年１１
月号別冊」昭和６２年１１月２０日発行 Ｐ２３３〜Ｐ
２３９、がある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前記したウ
エハに付されたコードは、コード形成プロセス以降のウ
エハプロセスの影響を受けるため、ウエハプロセスの途
中で再生されることが度々ある。このコードの再生作業
はコードを構成する元の英文字や数字のパターンの上
に、再生する英文字や数字のパターンが重合される状態
にて実行されるため、重合すべきパターンがずれてしま
うことにより、コードを表示するパターンが多重状態に
なって不適正な状態になることがある。

【０００６】そして、このように再生前後のパターン同
士が多重の状態になったパターン（以下、多重パターン
ということがある。）が前記したパターン読取装置によ
って読み取られるに際しては、撮像装置によって撮像さ
れた多重パターンと、メモリーに予め登録されている辞
書パターンとが相違するため、その多重パターンを認識
することができない。その結果、ウエハのコードを読み
取ることが不能になるため、生産遂行の障害になる。

【０００７】そこで、辞書パターンを多重パターンに対
応し得るように予め作成してメモリーに登録することが
実施されている。しかし、全ての多重パターンに対応す
る辞書パターンを予め作成すると、辞書パターンの数が
膨大になり、その作成と管理が困難になるとともに、パ
ターン認識の処理時間が長期化することになる。

【０００８】本発明の目的は、辞書パターンの作成およ
び管理を容易にすることができるとともに、パターン認
識処理を高速化することができるパターン認識技術を提
供することにある。

【０００９】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。

【００１１】すなわち、被認識パターンとメモリーに登
録された辞書パターンとを照合することにより、被認識
パターンを認識するパターン認識装置において、前記辞
書パターンについて標準パターンが予め登録されている
メモリーと、この標準パターンの画素がずらされて変形
パターンが生成される変形パターン生成手段とを備えて
おり、前記照合に際して、前記標準パターンと被認識パ
ターンとが不一致であった場合に、前記変形パターン生
成手段において生成された変形パターンと、前記被認識
パターンとが照合されることにより、前記被認識パター
ンが認識されることを特徴とする。

【００１２】

【作用】前記した手段によれば、標準パターンと被認識
パターンとの照合が不一致であった場合に、変形パター
ン生成手段において生成された変形パターンと、被認識
パターンとを照合して被認識パターンを認識することに
より、メモリーに予め登録されている標準パターンに基
づいて、多種多様に変形された多くの被認識パターンに
全て対応することができるため、パターンの認識率およ
び認識精度を高めることができる。

【００１３】標準パターンだけをメモリーに登録して置
くことによって、多種多様に変形した多くの被認識パタ
ーンをも認識することができるため、辞書パターンとし
てメモリーに登録しておくパターンの数を大幅に低減す
ることができ、辞書パターン（標準パターン）の作成お
よび管理を簡単化することができるとともに、パターン
認識の処理時間を短縮することができる。

【００１４】

【実施例】図１は本発明の一実施例であるパターン認識
装置を示すブロック図である。図２はそのフローチャー
ト図、図３はパターン認識作用を説明するための各説明
図である。図４はパターン認識装置が使用されているコ
ード読取装置を示す模式図である。

【００１５】本実施例において、本発明に係るパターン
認識装置は、ウエハに付された識別コードを読み取るコ
ード読取装置に使用されており、識別コードを構成する
数字および英文字を順次読み取って行くように構築され
ている。すなわち、数字および英文字が認識すべき被認
識パターンになっている。

【００１６】コード読み取りの対象物品であるウエハ１
は、原則として複数枚が１ロットとしてまとめられ、カ
セット７に収容されて取り扱われるようになっている。
さらに、カセット７はカセットケース（図示せず）に収
容されて各工程間を搬送されて行くようになっている。

【００１７】図１および図４に示されているように、ウ
エハ識別コード４はウエハ１の回路パターン（図示せ
ず）が形成された第１主面２におけるオリエンテーショ
ンフラット３と反対側の位置に配されており、エッチン
グ加工法やレーザ刻印法等のような手段が用いられて数
字および英文字により描画されている。したがって、ウ
エハ識別コード４は数字および英文字の各パターン５に
よって実質的に形成されている。

【００１８】ちなみに、ウエハ識別コード４は、ウエハ
１のロット番号を表示する識別コード（ロットコード）
と、当該ロット中の個々のウエハ番号を表示する識別コ
ード（ウエハコード）とにより構成されている。

【００１９】そして、ウエハ識別コード４はウエハ１の
第１主面２に形成されているため、ウエハ１に処理が施
される毎に、その処理の影響を受けて損傷されて行く。
そこで、ウエハ識別コード４は再生されることが度々あ
る。そして、ウエハ識別コード４が再生される度に、コ
ード４を構成する英文字や数字がずれて多重パターンが
形成されることになる。

【００２０】本実施例において、ウエハのコード読取装
置１１は１台または複数台が各工程のモジュール（図示
せず）内に設備されており、ウエハのコード読取装置１
１はウエハ１に付されたウエハ識別コード４を光学的手
段により読み取るように構成されている。

【００２１】図４に示されているように、本実施例に係
るコード読取装置１１は箱形状に形成されている機枠
（図示せず）を備えており、この機枠の上にはローダお
よびアンローダ機能を持つローダ・アンローダと、プリ
アライメント装置と、搬送装置としての多関節ロボット
（以下、ロボットという。）と、人工視覚装置とがそれ
ぞれ設備されている。

【００２２】ローダ・アンローダ１３は機枠上の片側位
置に配設されている。ローダ・アンローダ１３はコント
ローラ１５により制御されるエレベータ１４を備えてお
り、ウエハ１が複数枚収納されている実カセット７から
エレベータ１４の制御により、ウエハ１を１枚宛払い出
し、かつ、払い出したウエハ１をカセット７の元の位置
に戻し得るように構成されている。

【００２３】プリアライメント装置１７は機枠上のロー
ダ・アンローダ１３の対向位置に配設されており、位置
合わせステージ１８およびこれを制御するコントローラ
２０を備えている。位置合わせステージ１８はコントロ
ーラ２０の指令によって、ウエハ１のオリエンテーショ
ンフラット３を直線部１９に当接することにより、ウエ
ハ１の姿勢を一定に合わせるように構成されている。

【００２４】搬送装置としてのロボット２１は機枠上の
略中央位置に配設されている。ロボット２１はコントロ
ーラ２２によって制御されるアーム２３を備えており、
アーム２３の先端部にはウエハ１を保持するためのグリ
ップ２４が装置されている。ロボット２１はコントロー
ラ２２によって制御されるアーム２３の操作により、グ
リップ２４においてローダ・アンローダ１３における実
カセット７からウエハ１を１枚宛取り出してプリアライ
メント装置１７に搬送し、プリアライメントした後、人
工視覚装置３０に搬送し、さらに、当該ウエハ１を人工
視覚装置３０からローダ・アンローダ１３へ搬送して、
カセット７の元のスロットに収納するように構成されて
いる。

【００２５】人工視覚装置３０は機枠上の後側部分にお
ける片側位置に配設されており、当該箇所に読み取りス
テージ３１が設備されている。読み取りステージ３１は
コントローラ３２の制御により水平面に対してヨーイン
グ補正されるように構成されている。

【００２６】この読み取りステージ３１の片脇にはスタ
ンド（図示せず）が機枠の上に立設されており、スタン
ドには照明装置３３、光学装置３４および反射光を受け
る受光装置としてのテレビカメラ３５が支持されてい
る。照明装置３３は読み取りステージ３１を光学装置３
４を介して照明するように構成されている。テレビカメ
ラ３５はステージ３１上において照明されたウエハ１の
ウエハ識別コード４を光学装置３４を介して撮像するよ
うに構成されている。

【００２７】テレビカメラ３５にはパターン認識装置３
６が電気的に接続されている。このパターン認識装置３
６は画像処理装置等が用いられて後記するように構成さ
れており、テレビカメラ３５からの撮像信号に基づいて
ウエハ１に付されたウエハ識別コード４を構成する各パ
ターンを認識して、ウエハ識別コード４を読み取るよう
に構成されている。パターン認識装置３６にはモニタ３
７が接続されており、このモニタ３７によりテレビカメ
ラ３５の撮像状況がモニタリングされるようになってい
る。

【００２８】さらに、パターン認識装置３６には識別コ
ードを逐次記録するための記録手段としてのメモリー３
８が接続されており、このメモリー３８はパターン認識
装置３６により認識されたウエハ識別コード４を逐次記
録するように構成されている。メモリー３８はコンピュ
ータ等から構築されているデータ処理装置３９に接続さ
れており、データ処理装置３９によりメモリー３８に記
録されたデータが随時読み出されるようになっている。
なお、メモリー３８はデータ処理装置３９側に装備して
もよい。

【００２９】データ処理装置３９はローダ・アンローダ
１３のコントローラ１５、プリアライメント装置１７の
コントローラ２０、ロボット２１のコントローラ２２お
よび読み取りステージ３１のコントローラ３２にそれぞ
れ接続されている。

【００３０】本実施例において、図１に詳示されている
ように、パターン認識装置３６は、標準パターンメモリ
ー４１と、切換スイッチ４２と、変形パターン生成回路
４３と、パターンレジスター４４と、一致度検出器４５
と、二次元局部メモリー４６と、並列切出し回路４７
と、これらを統括して制御するコントローラ４８とを備
えている。

【００３１】標準パターンメモリー４１には各種の標準
パターンが各辞書パターンとしてそれぞれ登録されて記
憶されている。例えば、個々の標準パターンとしては、
算用数字および英文字がそれぞれ選定されて登録され
る。図３には数字の「８」が標準パターン５１の一例と
して、図示されている。以下、説明を理解し易くするた
め、この標準パターン５１について具体的に説明を進め
て行く。

【００３２】切換スイッチ４２はコントローラ４８の指
令によって、標準パターンメモリー４１に対する変形パ
ターン生成回路４３と、パターンレジスター４４との接
続を切り換えるように構成されている。

【００３３】変形パターン生成装置４３はコントローラ
４８の指令によって、標準パターンメモリー４１からの
標準パターン５１を後記するように画素について適宜ず
らすことによって変形し、図３に示されているような変
形パターン５１ａ、５１ｂ、５１ｃ、５１ｄを適宜生成
するように構成されている。そして、生成された各変形
パターン５１ａ、５１ｂ、５１ｃ、５１ｄはパターンレ
ジスター４４に順次送信されるようになっている。

【００３４】パターンレジスター４４は標準パターン５
１または変形パターン５１ａ〜５１ｄを一致度検出器４
５に各パターンの１列の画素群毎に順次送信するように
なっている。

【００３５】二次元局部メモリー４６はテレビカメラ３
５に接続されており、テレビカメラ３５の画像信号の１
パターン分の信号を一時的に記憶するように構成されて
いる。そして、二次元局部メモリー４６に記憶されたパ
ターンが被認識パターン５０として並列切出し回路４７
を経由して一致度検出器４５に送信されるようになって
いる。並列切出し回路４７は被認識パターン５０を１列
の画素群毎に一致度検出器４５に順次送信するように構
成されている。

【００３６】そして、一致度検出器４５はパターンレジ
スター４４から送信されて来る標準パターン５１または
変形パターン５１ａ〜５１ｄと、並列切出し回路４７か
ら送信されて来る被認識パターン５０との一致度を比較
し、一致度が予め設定された度合いに達している場合に
は一致している旨の信号を発生し、メモリー３８に送信
するように構成されている。

【００３７】コントローラ４８は一致度検出器４５にお
けるパターン同士の照合が同期して実行されるように前
記各構成部を制御するようになっている。

【００３８】次に、前記構成に係るウエハのコード読取
装置１１の作用を説明する。

【００３９】ローダ・アンローダ１３から払い出された
ウエハ１はロボット２１によりプリアライメント装置１
７に搬送される。プリアライメント装置１７において、
ウエハ１はオリエンテーションフラット３を直線部１９
に当接されることにより、所定の姿勢に合わせられる。

【００４０】位置合わせされたウエハ１はロボット２１
により人工視覚装置３０の読み取りステージ３１に搬送
され、予め位置合わせされた姿勢をもって読み取りステ
ージ３１の上に移載される。読み取りステージ３１にお
いて、ウエハ１は読み取りステージ３１により水平に支
持されるとともに、人工視覚装置３０の照明装置３３お
よびテレビカメラ３５に光学装置３４を介して光学的に
正対される。

【００４１】ウエハ１が照明装置３３およびテレビカメ
ラ３５に正対されると、人工視覚装置３０においてパタ
ーン認識装置３６によるパターン認識が順次実行される
ことによりウエハ識別コード４の読み取り作業が実行さ
れる。

【００４２】ここで、パターン認識装置３６における認
識が不能であった場合、まず、ヨーイング補正信号がデ
ータ処理装置３９から読み取りステージ３１のコントロ
ーラ３２に送られる。読み取りステージ３１のコントロ
ーラ３２はこの補正信号に基づいて、読み取りステージ
３１を操作することにより、ウエハ１のテレビカメラ３
５に対する傾斜角や高さ、位置等を適宜変更調整する。

【００４３】第１段階としてのパターン認識が確保され
ない場合には、図２に示されているフローチャート図の
処理に従ってパターン認識作業が実行される。以下、図
２に基づいて、本発明の一実施例であるパターン認識方
法を説明する。

【００４４】テレビカメラ３５側においては、二次元局
部メモリー４６に記憶されたパターンが被認識パターン
５０として並列切出し回路４７を経由して一致度検出器
４５に、コントローラ４８の指令に従って送信される。

【００４５】パターンレジスター４４側においては、標
準パターンメモリー４１に登録された標準パターン５１
がパターンレジスター４４にセットされる。パターンレ
ジスター４４にセットされた標準パターン５１は、コン
トローラ４８の指令に従って１列の画素群毎に一致度検
出器４５に順次送信される。

【００４６】そして、一致度検出器４５においては、並
列切出し回路４７から送信されて来る被認識パターン５
０と、パターンレジスター４４から送信されて来る標準
パターン５１とが、１列の画素群毎に照合されてパター
ンマッチングされる。

【００４７】一致度検出器４５において、一致度が設定
された一致度に達した場合には、被認識パターン５０は
その一致した標準パターン５１であると認識される。そ
の認識結果は、一致度検出器４５から出力されてコード
読取装置１１のメモリー３８に送信されて記憶される。

【００４８】他方、一致度検出器４５において、一致度
が設定された一致度に達しなかった場合には、コントロ
ーラ４８の指令により、標準パターンメモリー４１に登
録された第２の標準パターン５２（図１参照）がパター
ンレジスター４４にセットされる。パターンレジスター
４４にセットされた第２の標準パターン５２は、コント
ローラ４８の指令に従って１列の画素群毎に一致度検出
器４５に順次送信される。

【００４９】そして、一致度検出器４５においては、並
列切出し回路４７から送信されて来る被認識パターン５
０と、パターンレジスター４４から送信されて来る第２
の標準パターン５２とが、１列の画素群毎に照合されて
パターンマッチングされる。一致度検出器４５におい
て、一致度が設定された一致度に達した場合には、被認
識パターン５０はその一致した第２の標準パターン５２
であると認識される。その認識結果は、一致度検出器４
６から出力されてコード読取装置１１のメモリー３８に
送信されて記憶される。

【００５０】他方、一致度検出器４５において、被認識
パターン５０が認識されなかった場合には、標準パター
ンメモリー４１に登録された第３の標準パターン５３、
第４の標準パターンというように全ての標準パターンに
ついて、前記されたパターンマッチング作業が順次実行
されて行く。

【００５１】そして、全ての標準パターンについてパタ
ーンマッチング作業が実行されても猶、被認識パターン
５０と標準パターンとの一致が得られなかった場合に
は、コントローラ４８によって切換スイッチ４２が変形
パターン生成回路４３側に切り換えられる。

【００５２】スイッチ４２が変形パターン生成回路４３
側に切り換えられると、標準パターンメモリー４１から
標準パターン５１が変形パターン生成回路４３に送信さ
れてセットされる。また、変形パターン生成回路４３に
はコントローラ４８から標準パターン５１を変形させる
のに必要な条件ないしはパラメーターが指令されてセッ
トされる。この条件ないしはパラメーターとしては、標
準パターン５１の画素をずらす方向および数が指令され
てセットされる。

【００５３】次いで、変形パターン生成回路４３はこの
コントローラ４８の指令に従って標準パターン５１を変
形し、まず、図２（ａ）に示されている変形パターン５
１ａを生成する。ちなみに、図２（ａ）に示されている
変形パターン５１ａは、標準パターン５１がその画素を
横方向に２個宛ずらされて生成されている。

【００５４】このようにして生成された第１の変形パタ
ーン５１ａはパターンレジスター４４にセットされる。
パターンレジスター４４にセットされた第１の変形パタ
ーン５１ａは、コントローラ４８の指令に従って１列の
画素群毎に一致度検出器４５に順次送信される。

【００５５】そして、一致度検出器４５においては、並
列切出し回路４７から送信されて来る被認識パターン５
０と、パターンレジスター４４から送信されて来る第１
の変形パターン５１ａとが、１列の画素群毎に照合され
てパターンマッチングされる。

【００５６】一致度検出器４５において、一致度が設定
された一致度に達した場合には、被認識パターン５０は
その一致した第１の変形パターン５１ａの基になった標
準パターン５１であると認識される。その認識結果は、
一致度検出器４６から出力されてコード読取装置１１の
メモリー３８に送信されて記憶される。

【００５７】他方、一致度検出器４５において一致度が
設定された一致度に達しなかった場合には、変形パター
ン生成回路４３にはコントローラ４８から標準パターン
５１を新たに変形させるために、標準パターン５１の画
素をずらす方向および数が新たに指令されてセットされ
る。

【００５８】そして、変形パターン生成回路４３はこの
コントローラ４８の新たな指令に従って標準パターン５
１を新たに変形し、図２（ｂ）に示されている第２の変
形パターン５１ｂを生成する。ちなみに、図２（ｂ）に
示されている第２の変形パターン５１ｂは、標準パター
ン５１がその画素を縦方向に２個宛ずらされて生成され
ている。

【００５９】このようにして生成された第２の変形パタ
ーン５１ｂはパターンレジスター４４にセットされる。
パターンレジスター４４にセットされた第２の変形パタ
ーン５１ｂは、コントローラ４８の指令に従って１列の
画素群毎に一致度検出器４５に順次送信される。

【００６０】次いで、一致度検出器４５においては、前
述と同様に、並列切出し回路４７から送信されて来る被
認識パターン５０と、パターンレジスター４４から送信
されて来る第２の変形パターン５１ｂとが、１列の画素
群毎に照合されてパターンマッチングされる。

【００６１】一致度検出器４５において、一致度が設定
された一致度に達した場合には、被認識パターン５０は
その一致した第２の変形パターン５１ｂの基になった標
準パターン５１であると認識される。その認識結果は、
一致度検出器４６から出力されてコード読取装置１１の
メモリー３８に送信されて記憶される。

【００６２】他方、一致度検出器４５において、被認識
パターン５０が認識されなかった場合には、コントロー
ラ４８に登録された画素をずらす方向および数による全
ての条件ないしはパラメータについて、第３の変形パタ
ーン５１ｃ、第４変形パターン５１ｄ・・・というよう
に、変形パターンが順次生成されるとともに、これら生
成された変形パターン５１ｃ、５１ｄ・・・について前
記されたパターンマッチング作業が順次実行されて行
く。

【００６３】ちなみに、図２（ｃ）に示されている第３
の変形パターン５１ｃは標準パターン５１がその画素を
左斜め方向に２個宛ずらされて生成されている。また、
図２（ｄ）に示されている第４の変形パターン５１ｄは
標準パターン５１がその画素を右斜め方向に２個宛ずら
されて生成されている。

【００６４】そして、第１の標準パターン５１に対する
全ての変形パターン５１ａ、５１ｂ、５１ｃ、５１ｄ・
・・についてパターンマッチング作業が実行されても
猶、被認識パターン５０と辞書パターン側との一致が得
られなかった場合には、パターンレジスター４４側にお
いて、標準パターンメモリー４１に登録された第２の標
準パターン５２が変形パターン生成回路４５ににセット
される。

【００６５】以降、標準パターンメモリー４１に登録さ
れた全ての標準パターンについて、前記された変形パタ
ーンの生成およびそのパターンマッチング作業が実行さ
れて行く。そして、全ての標準パターンによる全ての変
形パターンについてパターンマッチング作業が実行され
ても猶、被認識パターン５０と辞書パターン側との一致
が得られなかった場合には、説明は省略するが、コント
ローラ４８によって認識不能等の次の段階への指令が発
生される。

【００６６】以上のようにして読み取られた被認識パタ
ーン５０は、パターン認識装置３６に接続されているメ
モリー３８に一時的に記録される。そして、認識された
パターン５０群によって、被読取対象物品であるウエハ
１のウエハ識別コード４が読み取られて、メモリー３８
に記録される。

【００６７】このメモリー３８に記録されたウエハ識別
コード４に関するデータが適宜利用されることにより、
ウエハのデータ管理や物流管理等が実質的にリアルタイ
ムに実行されることになる。なお、テレビカメラ３５に
よる映像はモニタ３７に映し出され、作業者によって必
要に応じて監視される。

【００６８】そして、ウエハ識別コード４が読み取られ
ると、読取対象物品としてのウエハ１はロボット２１に
より読み取りステージ３１から下ろされてローダ・アン
ローダ１３に搬送され、図１に示されているように、ロ
ーダ・アンローダ１３のエレベータ１４のカセット７に
おける元のスロットに挿入される。

【００６９】以上説明した前記実施例によれば次の効果
が得られる。 （１） 辞書パターンについて標準パターンが予め登録
されているメモリーと、この標準パターンの画素がずら
されて変形パターンが生成される変形パターン生成手段
とを設け、標準パターンと被認識パターンとの照合が不
一致であった場合に、変形パターン生成手段において生
成された変形パターンと、被認識パターンとを照合して
被認識パターンを認識することにより、メモリーに予め
登録されている標準パターンに基づいて、多種多様に変
形された多くの被認識パターンに全て対応することがで
きるため、パターンの認識率および認識精度を高めるこ
とができる。

【００７０】（２） 標準パターンだけをメモリーに登
録して置くことによって、多種多様に変形した多くの被
認識パターンをも認識することができるため、辞書パタ
ーンとしてメモリーに登録しておくパターンの数を大幅
に低減することができ、辞書パターン（標準パターン）
の作成および管理を簡単化することができるとともに、
パターン認識の処理時間を短縮することができる。

【００７１】（３） ウエハのコード読取装置におい
て、コードを構成するパターンの認識率および精度を高
めることにより、ウエハのコード読取装置を完全自動化
することができるため、ウエハのデータ管理および物流
管理等の自動化を促進することができる。

【００７２】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。

【００７３】例えば、撮像装置としては、テレビカメラ
を使用するに限らず、固体撮像装置や、リニアイメージ
センサおよびその他の光学式文字読取装置（ＯＣＲ）等
を使用することができる。

【００７４】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるウエハ
のコード読取技術に適用した場合について説明したが、
それに限定されるものではなく、ウエハに付されたアラ
イメント用ターゲットマークやウエハの回路パターン等
のパターン読取技術全般に適用することができる。ま
た、ウエハのパターンに限らず、液晶パネルやフロッピ
ディスク、コンパクトディスク等、非読取物にパターン
が付された後、非読取パターン上に処理が施されること
等により読取条件が異なる場合のパターン読取技術全般
に適用することができる。

【００７５】さらに、パターン認識技術は、コード読取
技術やその他のパターン読取技術に適用するに限らず、
パターン読取技術以外の分野のパターン認識技術全般に
適用することができる。

【００７６】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。辞書パターンについて標準パターンが予
め登録されているメモリーと、この標準パターンの画素
がずらされて変形パターンが生成される変形パターン生
成手段とを設け、標準パターンと被認識パターンとの照
合が不一致であった場合に、変形パターン生成手段にお
いて生成された変形パターンと、被認識パターンとを照
合して被認識パターンを認識することにより、メモリー
に予め登録されている標準パターンに基づいて、多種多
様に変形された多くの被認識パターンに全て対応するこ
とができるため、パターンの認識率および認識精度を高
めることができる。

【００７７】標準パターンだけをメモリーに登録して置
くことによって、多種多様に変形した多くの被認識パタ
ーンをも認識することができるため、辞書パターンとし
てメモリーに登録しておくパターンの数を大幅に低減す
ることができ、辞書パターン（標準パターン）の作成お
よび管理を簡単化することができるとともに、パターン
認識の処理時間を短縮することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるパターン認識装置を示
すブロック図である。

【図２】そのフローチャート図である。

【図３】パターン認識作用を説明するための各説明図で
ある。

【図４】パターン認識装置が使用されているコード読取
装置を示す模式図である。

【符号の説明】

１…ウエハ、２…第１主面、３…オリエンテーションフ
ラット、４…ウエハ識別コード、５…被認識パターン、
７…カセット、１１…コード読取装置（パターン読取装
置）、１３…ローダ・アンローダ、１４…エレベータ、
１５…コントローラ、１７…プリアライメント装置、１
８…アライメントステージ、１９…直線部、２０…コン
トローラ、２１…ロボット、２２…コントローラ、２３
…アーム、２４…グリップ、３０…人工視覚装置、３１
…読み取りステージ、３２…コントローラ、３３…照明
装置、３４…光学装置、３５…テレビカメラ（撮像装
置）、３６…パターン認識装置、３７…モニタ、３８…
メモリー、３９…データ処理装置、４１… 標準パター
ンメモリー、４２…切換スイッチ、４３…変形パターン
生成回路、４４…パターンレジスター、４５…一致度検
出器、４６…二次元局部メモリー、４７…列切出し回
路、４８…コントローラ、５０…被認識パターン、５１
…標準パターン、５１ａ〜５１ｄ…変形パターン。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宮崎 功 東京都小平市上水本町５丁目20番１号 株 式会社日立製作所半導体事業部内 (72)発明者 赤岩 正康 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被認識パターンと、予め登録されている
   辞書パターンとを照合することにより、被認識パターン
   を認識するパターン認識方法において、 前記辞書パターンについて標準パターンが予め登録され
   ており、 前記照合に際して、この標準パターンと被認識パターン
   とが不一致であった場合に、標準パターンの画素がずら
   されて変形パターンが生成され、この変形パターンと前
   記被認識パターンとが照合されることにより、前記被認
   識パターンが認識されることを特徴とするパターン認識
   方法。
2. 【請求項２】 被認識パターンとメモリーに登録された
   辞書パターンとを照合することにより、被認識パターン
   を認識するパターン認識装置において、 前記辞書パターンについて標準パターンが予め登録され
   ているメモリーと、 この標準パターンの画素がずらされて変形パターンが生
   成される変形パターン生成手段とを備えており、 前記照合に際して、前記標準パターンと被認識パターン
   とが不一致であった場合に、前記変形パターン生成手段
   において生成された変形パターンと、前記被認識パター
   ンとが照合されることにより、前記被認識パターンが認
   識されることを特徴とするパターン認識装置。
3. 【請求項３】 パターンを撮像する撮像装置と、辞書パ
   ターンが予め登録されているメモリーとを備えており、
   撮像装置によって撮像されたパターンと、メモリーに登
   録された辞書パターンとを照合することによって撮像パ
   ターンを認識し、撮像装置によって撮像されたパターン
   を順次読み取って行くパターン読取装置において、 前記辞書パターンについて標準パターンが予め登録され
   ているメモリーと、 この標準パターンの画素がずらされて変形パターンが生
   成される変形パターン生成手段とを備えており、 前記照合に際して、前記標準パターンと撮像パターンと
   が不一致であった場合に、前記変形パターン生成手段に
   おいて生成された変形パターンと、前記撮像パターンと
   が照合されることにより、前記撮像パターンが認識され
   ることを特徴とするパターン読取装置。