JPH0536765A - プローバ - Google Patents
プローバInfo
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- JPH0536765A JPH0536765A JP3190463A JP19046391A JPH0536765A JP H0536765 A JPH0536765 A JP H0536765A JP 3190463 A JP3190463 A JP 3190463A JP 19046391 A JP19046391 A JP 19046391A JP H0536765 A JPH0536765 A JP H0536765A
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 3
- 239000000523 sample Substances 0.000 abstract description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】半導体チップ上の電極パッドについたプローブ
カードの針跡を記憶することにより、プローバのオーバ
ドライブを自動的に補正する。 【構成】半導体チップの電極パッドについた針跡を認識
するカメラ２と、このカメラ２で映された画像信号を画
像処理制御部６と二値化部７とで処理し、アドレス指定
部８の指示により記憶する記憶部Ａ１０と、何回か接触
後の針跡を前記同様に記憶する記憶部Ｂ１１と、プロー
バ制御部５からの、画像比較の命令により、記憶部Ａ１
０と記憶部Ｂ１１から読み出されたデータに基づいて比
較画像を作成する比較部１２と、この比較画像に基づ
き、２つの記憶画像の類似度を認識し、その判断結果に
応じて、ステージ３の駆動命令を出すプローバ制御部５
とを有する。
カードの針跡を記憶することにより、プローバのオーバ
ドライブを自動的に補正する。 【構成】半導体チップの電極パッドについた針跡を認識
するカメラ２と、このカメラ２で映された画像信号を画
像処理制御部６と二値化部７とで処理し、アドレス指定
部８の指示により記憶する記憶部Ａ１０と、何回か接触
後の針跡を前記同様に記憶する記憶部Ｂ１１と、プロー
バ制御部５からの、画像比較の命令により、記憶部Ａ１
０と記憶部Ｂ１１から読み出されたデータに基づいて比
較画像を作成する比較部１２と、この比較画像に基づ
き、２つの記憶画像の類似度を認識し、その判断結果に
応じて、ステージ３の駆動命令を出すプローバ制御部５
とを有する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はプローバに関し、特に画
像認識による画像情報の記憶およびプローバのステージ
位置の制御を行なうプローバに関する。
像認識による画像情報の記憶およびプローバのステージ
位置の制御を行なうプローバに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、プローバにおいて、電気検査用の
探針を設けた基板（以下プローブカードと称す）をとり
つけ、半導体チップ上の電極パッド（以下パッドを称
す）にプローブカードの針を接触させて電気検査を行
う。この時、プローブカードの針とパッドの間に接触圧
力を加える必要がある。このために、針がパッドに接触
した点からいくらか食い込ませる量（以下オーバードラ
イブ量と称す）をプローバで設定する。このオーバドラ
イブ量を変化させる為には、プローバから人間による設
定値の入力作業が必要であった。この設定値の値によ
り、プローバのステージ高さを変化させることにより、
オーバドライブ量の設定を行っていた。
探針を設けた基板（以下プローブカードと称す）をとり
つけ、半導体チップ上の電極パッド（以下パッドを称
す）にプローブカードの針を接触させて電気検査を行
う。この時、プローブカードの針とパッドの間に接触圧
力を加える必要がある。このために、針がパッドに接触
した点からいくらか食い込ませる量（以下オーバードラ
イブ量と称す）をプローバで設定する。このオーバドラ
イブ量を変化させる為には、プローバから人間による設
定値の入力作業が必要であった。この設定値の値によ
り、プローバのステージ高さを変化させることにより、
オーバドライブ量の設定を行っていた。
【０００３】また、パッド上についた針跡を見る方法に
ついては、プローバに取付けられたカメラにより、ウエ
ハを乗せたステージをカメラ下を移動させる事により、
その時の針跡をプローバのモニタで見る方法があった。
また、一度パッドに針跡を付けた後で、プローバのステ
ージからウエハを取り去り金属顕微鏡で針跡をチェック
する方法があった。
ついては、プローバに取付けられたカメラにより、ウエ
ハを乗せたステージをカメラ下を移動させる事により、
その時の針跡をプローバのモニタで見る方法があった。
また、一度パッドに針跡を付けた後で、プローバのステ
ージからウエハを取り去り金属顕微鏡で針跡をチェック
する方法があった。
【０００４】プローバにおける画像認識の方法として
は、プローバに取付けられたカメラから入力された画像
データを、画像処理部で二値化処理し、これをプローバ
の記憶部に記憶していた。このデータは、プローバにお
いて、ウエハごとにチップのＸＹ方向をプローブカード
の針の座標に合わせるように調整する（以下アライメン
トと称す）時、この記憶されたデータと新しく取り込ま
れる画像データとのパターンマッチングに用いられてい
る。
は、プローバに取付けられたカメラから入力された画像
データを、画像処理部で二値化処理し、これをプローバ
の記憶部に記憶していた。このデータは、プローバにお
いて、ウエハごとにチップのＸＹ方向をプローブカード
の針の座標に合わせるように調整する（以下アライメン
トと称す）時、この記憶されたデータと新しく取り込ま
れる画像データとのパターンマッチングに用いられてい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前述した従来のオーバ
ードライブの設定方法では、パッド上の針跡が、針を何
回かコンタクトさせることにより変化してくる。これ
は、プローブカードの針先が摩耗する事によりオーバド
ライブ量が変化することや、プローブカードの針が曲が
ってしまう事に起因する。この為、パッドはつねに安定
したオーバドライブがかからないという欠点があった。
ードライブの設定方法では、パッド上の針跡が、針を何
回かコンタクトさせることにより変化してくる。これ
は、プローブカードの針先が摩耗する事によりオーバド
ライブ量が変化することや、プローブカードの針が曲が
ってしまう事に起因する。この為、パッドはつねに安定
したオーバドライブがかからないという欠点があった。
【０００６】したがって、プローバのオーバドライブを
任意に変更する必要があるが、今までのプローバから人
間が設定値を入力する方法では、プローブカードの変化
に随時対応できず、また従来の技術で前述したように、
プローバのモニタによる針跡の検出や、金属顕微鏡によ
る針跡検出では、人間の判断が必要なばかりでなく、針
跡の変化に即座に対応出来ないという欠点があった。
任意に変更する必要があるが、今までのプローバから人
間が設定値を入力する方法では、プローブカードの変化
に随時対応できず、また従来の技術で前述したように、
プローバのモニタによる針跡の検出や、金属顕微鏡によ
る針跡検出では、人間の判断が必要なばかりでなく、針
跡の変化に即座に対応出来ないという欠点があった。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のプローバは、パ
ッドの針跡を認識する画像認識部と、この認識部からの
信号を記憶する記憶部と、何回か接触させた後の針跡を
認識しその信号を記憶する記憶部と、前記２つの信号を
比較する比較部と、この比較部の結果に基づきプローバ
を制御するプローバ制御部とを有する。
ッドの針跡を認識する画像認識部と、この認識部からの
信号を記憶する記憶部と、何回か接触させた後の針跡を
認識しその信号を記憶する記憶部と、前記２つの信号を
比較する比較部と、この比較部の結果に基づきプローバ
を制御するプローバ制御部とを有する。
【０００８】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の実施例１のシステム構成図である。
プローバ１にはカメラ２が設けてあり、プローバ１にあ
るステージ３上のウエハ４に形成されたチップをカメラ
２で認識しモニタ１６に映し出す。この処理は画像処理
制御部６で行われる。画像処理制御部６はプローバ制御
部５によりコントロールされる。また画像処理制御部６
は、画像信号の二値化制御及び信号記憶の制御とプロー
バのモニタ制御の機能を有する。
る。図１は本発明の実施例１のシステム構成図である。
プローバ１にはカメラ２が設けてあり、プローバ１にあ
るステージ３上のウエハ４に形成されたチップをカメラ
２で認識しモニタ１６に映し出す。この処理は画像処理
制御部６で行われる。画像処理制御部６はプローバ制御
部５によりコントロールされる。また画像処理制御部６
は、画像信号の二値化制御及び信号記憶の制御とプロー
バのモニタ制御の機能を有する。
【０００９】本発明の実施例１をデータの流れにより説
明する。まずプローバ１にあるウエハ４上のチップをカ
メラ２で認識し、この画像データ（以下データと称す）
を画像処理制御部６に送る。画像処理制御部６はこのデ
ータを、モニタ１６に映し出す。モニタ１６の制御はモ
ニタ制御部１５で行われる。また、画像処理制御部６
は、カメラ２で取り込んだデータを二値化部７で二値化
処理し、アドレス指定部８の指定により、Ｉ／Ｏ９ａを
介して記憶部Ａ１０にデータを記憶する。このデータ
は、プローバにおいて、アライメント時のパターンマッ
チングのためのデータとしている。プローバでパッドと
プローブカードの針とが接触する回数（以下コンタクト
回数と称す）を任意に設定し、この回数に達したら、プ
ローバ制御部５より、比較制御部１４へ命令を出し、比
較制御部１４はアドレス指定部８へ、次に取り込まれる
画像データを記憶部Ｂ１１へ書き込むよう命令を出す。
明する。まずプローバ１にあるウエハ４上のチップをカ
メラ２で認識し、この画像データ（以下データと称す）
を画像処理制御部６に送る。画像処理制御部６はこのデ
ータを、モニタ１６に映し出す。モニタ１６の制御はモ
ニタ制御部１５で行われる。また、画像処理制御部６
は、カメラ２で取り込んだデータを二値化部７で二値化
処理し、アドレス指定部８の指定により、Ｉ／Ｏ９ａを
介して記憶部Ａ１０にデータを記憶する。このデータ
は、プローバにおいて、アライメント時のパターンマッ
チングのためのデータとしている。プローバでパッドと
プローブカードの針とが接触する回数（以下コンタクト
回数と称す）を任意に設定し、この回数に達したら、プ
ローバ制御部５より、比較制御部１４へ命令を出し、比
較制御部１４はアドレス指定部８へ、次に取り込まれる
画像データを記憶部Ｂ１１へ書き込むよう命令を出す。
【００１０】次に比較制御部１４より比較部１２へデー
タ読出し命令を出し、Ｉ／Ｏ９ｂを介して記憶部Ａ１０
と記憶部Ｂ１１から二値化された画像データを読出す。
比較部１２において、図２の詳細図に示す比較を行う。
図２において、１９は記憶部Ａに入力されたセットアッ
プ時のデータで、基準となる針跡１７の二値化画像であ
る。２０は任意に設定されたコンタクト回数後に収集さ
れた記憶部Ｂのデータで、比較対象となる針跡１８の二
値化画像である。１７，１８はそれぞれの時のモニタで
映した実際の針跡画像である。この１９と２０の２つの
データの排他的論理和を取ることにより、針跡形状の異
なる部分は“１”で表示される。この比較後の比較画像
２１は、比較画像信号記憶部１３へ記憶される。比較制
御部１４で排他的論理和を取った後のデータの“１”で
表される部分のメモリ上での割合を定義する事により、
針跡の形状の類似度を画像から判定することが出来る。
タ読出し命令を出し、Ｉ／Ｏ９ｂを介して記憶部Ａ１０
と記憶部Ｂ１１から二値化された画像データを読出す。
比較部１２において、図２の詳細図に示す比較を行う。
図２において、１９は記憶部Ａに入力されたセットアッ
プ時のデータで、基準となる針跡１７の二値化画像であ
る。２０は任意に設定されたコンタクト回数後に収集さ
れた記憶部Ｂのデータで、比較対象となる針跡１８の二
値化画像である。１７，１８はそれぞれの時のモニタで
映した実際の針跡画像である。この１９と２０の２つの
データの排他的論理和を取ることにより、針跡形状の異
なる部分は“１”で表示される。この比較後の比較画像
２１は、比較画像信号記憶部１３へ記憶される。比較制
御部１４で排他的論理和を取った後のデータの“１”で
表される部分のメモリ上での割合を定義する事により、
針跡の形状の類似度を画像から判定することが出来る。
【００１１】ここで、類似度が定義された数値より低か
った場合、比較制御部１４よりプローバ制御部５へステ
ージ３を駆動させる命令を出し、プローバ制御部５よ
り、プローバ１上のステージ３の高さを自動的に変化さ
せる。また、図２において、“１”で表されているアド
レスについて、その中心のアドレスを、基準となる針跡
１７と比較対象となる針跡１８のそれぞれについて求め
ることにより、基準となる針跡１７に対する比較対象の
針跡１８のパッドに対するずれ量を求める事が出来る。
このずれ量に対する補正量を、比較部１４よりプローバ
制御部５へ送り、ステージ３をずれ量に相当した補正量
だけ移動させる。
った場合、比較制御部１４よりプローバ制御部５へステ
ージ３を駆動させる命令を出し、プローバ制御部５よ
り、プローバ１上のステージ３の高さを自動的に変化さ
せる。また、図２において、“１”で表されているアド
レスについて、その中心のアドレスを、基準となる針跡
１７と比較対象となる針跡１８のそれぞれについて求め
ることにより、基準となる針跡１７に対する比較対象の
針跡１８のパッドに対するずれ量を求める事が出来る。
このずれ量に対する補正量を、比較部１４よりプローバ
制御部５へ送り、ステージ３をずれ量に相当した補正量
だけ移動させる。
【００１２】次に、実施例２を図３のシステム構成図で
説明する。図３では、カメラ２で取り込んだデータはサ
ンプリング部２２で多階調のデータとして取り込まれ
る。そして、画像多階調下部２３において、例えば、画
像の明るさを２５６階調に分割し、記憶部のそれぞれの
アドレスに対して２５６階調を割り当てる。そして、実
施例１と同様に多階調比較部２４において比較画像を作
成し、その類似度を求めることにより、その結果に応じ
たオーバドライブ量の補正ができる。実施例２では、多
階調のサンプリングを用いたが、これにより、より正確
な類似画像を作成する事が出来る。
説明する。図３では、カメラ２で取り込んだデータはサ
ンプリング部２２で多階調のデータとして取り込まれ
る。そして、画像多階調下部２３において、例えば、画
像の明るさを２５６階調に分割し、記憶部のそれぞれの
アドレスに対して２５６階調を割り当てる。そして、実
施例１と同様に多階調比較部２４において比較画像を作
成し、その類似度を求めることにより、その結果に応じ
たオーバドライブ量の補正ができる。実施例２では、多
階調のサンプリングを用いたが、これにより、より正確
な類似画像を作成する事が出来る。
【００１３】また、これまでは、プローブカードの針跡
の検出について述べてきたが、同様な構成で、不良チッ
プに対して打点されたマークの検出にも使用出来る。こ
れにより、マーキングの不良を防止出来るという効果を
有する。
の検出について述べてきたが、同様な構成で、不良チッ
プに対して打点されたマークの検出にも使用出来る。こ
れにより、マーキングの不良を防止出来るという効果を
有する。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明はプローブ
カードのオーバードライブ量を、実際のパッド上の針跡
をカメラで検出して比較するので、常に適正なオーバー
ドライブ量を与えることができ安定した判定が行え、か
つプローブカードの管理が容易になるという効果を有す
る。
カードのオーバードライブ量を、実際のパッド上の針跡
をカメラで検出して比較するので、常に適正なオーバー
ドライブ量を与えることができ安定した判定が行え、か
つプローブカードの管理が容易になるという効果を有す
る。
【図１】本発明の実施例のシステム構成図である。
【図２】図１の比較部の動作詳細図である。
【図３】本発明の実施例２のシステム構成図を示す。
１ プローバ
２ カメラ
３ ステージ
４ ウエハ
５ プローバ制御部
６ 画像処理制御部
７ 二値化部
８ アドレス指定部
９ａ，９ｂ Ｉ／Ｏ
１０ 記憶部Ａ
１１ 記憶部Ｂ
１２ 比較部
１３ 比較画像信号記憶部
１４ 比較制御部
１５ モニタ制御部
１６ モニタ
１７ 基準となる針跡
１８ 比較対象となる針跡
１９ １７の二値化画像
２０ １８の二値化画像
２１ １９と２０の排他的論理和をとった比較画像
２２ サンプリング部
２３ 画像多階調化部
２４ 多階調比較部
Claims (3)
- 【請求項１】 ウエハ上に形成された半導体チップの電
極パッドに針を接触させ、電気検査を行なうプローバに
おいて、前記電極パッドについた針跡を確認する画像認
識部と、この画像認識部からの信号を記憶する記憶部
と、何回か接触後の針跡を認識しその信号を記憶する記
憶部と、前記２つの信号を比較する比較部と、この比較
部の結果に基づきプローバを制御するプローバ制御部と
を有することを特徴とするプローバ。 - 【請求項２】 前記２つの記憶部の一方から比較用デー
タを読み出し、他方の記憶部から被比較用データを読み
出して比較画像を作成する請求項１記載のプローバ。 - 【請求項３】 前記比較部において比較した画像の類似
度により、プローバのステージ高さ及び位置を制御する
請求項１記載のプローバ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3190463A JPH0536765A (ja) | 1991-07-31 | 1991-07-31 | プローバ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3190463A JPH0536765A (ja) | 1991-07-31 | 1991-07-31 | プローバ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0536765A true JPH0536765A (ja) | 1993-02-12 |
Family
ID=16258539
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3190463A Pending JPH0536765A (ja) | 1991-07-31 | 1991-07-31 | プローバ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0536765A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0729946A (ja) * | 1993-07-13 | 1995-01-31 | Nec Corp | ウェハープローバー |
| EP0592878A3 (de) * | 1992-10-15 | 1995-02-01 | Ehlermann Eckhard | Verfahren und Vorrichtung zur Prüfung von Nadelkarten für die Prüfung von integrierten Schaltkreisen. |
| JP2002157676A (ja) * | 2000-11-21 | 2002-05-31 | Natl Inst For Land & Infrastructure Management Mlit | 可視画像式路面状況把握装置における路面状況判定方法 |
| JP2003068813A (ja) * | 2001-08-23 | 2003-03-07 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | プローブ痕測定方法およびプローブ痕測定装置 |
| JP2009283796A (ja) * | 2008-05-23 | 2009-12-03 | Tokyo Electron Ltd | 針跡検査装置、プローブ装置、及び針跡検査方法、並びに記憶媒体 |
| US7649370B2 (en) | 2006-01-23 | 2010-01-19 | Fujitsu Microelectronics Limited | Evaluation method of probe mark of probe needle of probe card using imaginary electrode pad and designated determination frame |
| US8013621B2 (en) * | 2008-01-23 | 2011-09-06 | Tokyo Electron Limited | Inspection method and program for inspecting electrical characteristics of a semiconductor wafer |
| CN104897687A (zh) * | 2015-05-27 | 2015-09-09 | 上海华力微电子有限公司 | 探针针痕位置的检测系统及方法 |
-
1991
- 1991-07-31 JP JP3190463A patent/JPH0536765A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0592878A3 (de) * | 1992-10-15 | 1995-02-01 | Ehlermann Eckhard | Verfahren und Vorrichtung zur Prüfung von Nadelkarten für die Prüfung von integrierten Schaltkreisen. |
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| CN104897687A (zh) * | 2015-05-27 | 2015-09-09 | 上海华力微电子有限公司 | 探针针痕位置的检测系统及方法 |
| CN104897687B (zh) * | 2015-05-27 | 2018-02-27 | 上海华力微电子有限公司 | 探针针痕位置的检测系统及方法 |
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